JP2002292560A

JP2002292560A - 研削加工方法及び装置

Info

Publication number: JP2002292560A
Application number: JP2001095215A
Authority: JP
Inventors: Kenro Sanada; 謙郎真田; Shigemitsu Sumiyoshi; 茂光住吉
Original assignee: Toyo Advanced Technologies Co Ltd
Current assignee: Toyo Advanced Technologies Co Ltd
Priority date: 2001-03-29
Filing date: 2001-03-29
Publication date: 2002-10-08

Abstract

(57)【要約】【課題】サイクルタイムの短縮を図りながら、研削開
始時に砥石が受けるダメージを有効に抑止する。【解決手段】砥石を予め設定された表面研削用切込み
送り速度で切込み送りして前記ワークの表面研削加工を
行った後にその切込み送り速度を前記表面研削用切込み
送り速度よりも高い本研削用切込み送り速度に切換えて
本研削加工を行う研削加工方法と装置。電力振幅判定部
５３は、モータ電力検出部５２によるモータ電力検出値
の変動を監視し、当該検出値の変動の振幅が一定以下に
なったか否かを判定する。切込み送り制御部５４は、前
記変動の振幅が一定以下になったと判定された時点で切
込み送り速度を前記表面研削用切込み送り速度から前記
本研削用切込み送り速度に切換える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、砥石を回転駆動し
ながらワーク加工面に対して切込み送りすることにより
研削加工を行う方法及び装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ワーク加工面を研削する方法と
して、まず所定の接近用切込み送り速度でワークに砥石
を接近させ、その接触が検出された時点（例えば砥石を
回転駆動するモータ電力が一定値まで上昇した時点）で
切込み送り速度を前記接近用切込み送り速度から加工用
切込み送り速度（例えば粗加工用速度）に切換えるとい
った方法が知られている。

【０００３】しかしながら、前加工時のクランプ歪みや
焼き入れ歪み等によって変形したワーク加工面を研削す
る場合には、当該加工面と砥石とが接触してからしばら
くの間は両者が前記ワーク加工面の変形に起因して特定
の周期（一般にはワークの回転周期と同じ周期）で断続
的に接触するため、これに起因していわゆるビビリ現象
が発生しやすく、このときの切込み送り速度が高いと砥
石に大きなダメージを与えてしまうおそれがある。

【０００４】そこで従来は、ワークに砥石が接触した時
点から所定時間が経過するまでは、砥石の切込み送り速
度を前記接触用速度よりも低い表面研削用速度に一旦下
げていわゆる黒皮研削を行い、前記所定時間の経過後に
切込み送り速度を前記表面研削用切込み送り速度よりも
高い本研削用（例えば粗加工用）切込み送り速度に切換
えるといった手段がとられている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前記ワーク加工面の歪
みの大きさには相当のばらつきがあるため、前記のよう
に予め設定された時間だけ表面研削（いわゆる黒皮研
削）を行う方法によって砥石のダメージを確実に防ぐに
は、前記表面研削を行う時間を長めに設定しなければな
らない。すなわち、表面研削加工時間としては、歪みの
大きいワークを想定して十分長い時間を設定しなければ
ならないので、比較的歪みの小さいワーク、すなわち本
来は前記表面研削に長い時間を費す必要がないワークで
あっても、歪みが大きいワークと同じように長い表面研
削時間が与えられることになる。従って、歪みの小さい
ワークについては無駄な表面研削時間が設定されること
になり、これがサイクルタイム短縮の大きな妨げとな
る。

【０００６】本発明は、このような事情に鑑み、サイク
ルタイムの短縮を図りながら、研削開始時に砥石が受け
るダメージを有効に抑止できる研削加工方法及び装置を
提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】加工面が歪んだワークを
回転させながらその加工面に砥石を接触させた場合、当
該砥石に作用する研削抵抗は前記ワークの回転に伴って
周期的に変動する。また、前記砥石を軸方向にオシレー
ト（振動）させながら加工する場合には、そのオシレー
トによっても前記研削抵抗が周期的に変動する。そし
て、この研削抵抗の周期的な変動は表面研削加工が進ん
で加工面の歪みが是正されるに従って低下することにな
る。よって、この研削抵抗の周期的変動を監視し、その
変動が低減した段階で切込み送り速度を表面研削用切込
み送り速度から本研削用切込み送り速度に切換えるよう
にすれば、ワーク加工面の歪みの大小にかかわらず常に
適正な表面研削加工時間を決めることができることにな
る。

【０００８】本発明は、このような観点からなされたも
のであり、ワークを回転させ、かつ、砥石を回転駆動し
ながら、前記ワークの加工面に対して予め設定された表
面研削用切込み送り速度で前記砥石を切込み送りするこ
とにより表面研削加工を行った後、その切込み送り速度
を前記表面研削用切込み送り速度よりも高い本研削用切
込み送り速度に切換えて本研削加工を行う研削加工方法
において、前記表面研削加工時にその研削抵抗に相当す
る値を検出して当該検出値の変動を監視し、この検出値
の変動の振幅が一定以下になったと判定した時点で切込
み送り速度を前記表面研削用切込み送り速度から本研削
用切込み送り速度に切換えるものである。

【０００９】また本発明は、ワークを回転させるワーク
駆動手段と、砥石を回転駆動する砥石駆動手段と、前記
砥石を前記ワークの加工面に対して切込み送りする切込
み送り手段と、その切込み送り速度を制御する切込み送
り制御手段とを備え、前記砥石を予め設定された表面研
削用切込み送り速度で切込み送りして前記ワークの表面
研削加工を行った後にその切込み送り速度を前記表面研
削用切込み送り速度よりも高い本研削用切込み送り速度
に切換えて本研削加工を行うように構成された研削加工
装置において、前記表面研削加工時にその研削抵抗に相
当する値を検出する電力検出手段と、その検出値の変動
を監視し、当該検出値の変動の振幅が一定以下になった
か否かを判定する振幅判定手段とを備え、この振幅判定
手段が前記変動の振幅が一定以下になったと判定した時
点で切込み送り速度を前記表面研削用切込み送り速度か
ら本研削用切込み送り速度に切換えるように前記切込み
送り制御手段が構成されているものである。

【００１０】これらの方法及び装置によれば、研削抵抗
に相当する値の変動の振幅に基づいて切込み送り速度の
切換をすることにより、サイクルタイムの短縮を図りな
がら砥石の受けるダメージを有効に抑止することが可能
になる。

【００１１】ここで、前記振幅の判定をする方法として
は、例えば、前記表面研削加工時に前記検出値の最大値
を更新記憶し、その更新記憶した最大値と当該更新後の
検出値との差を時々刻々演算し、その差が予め設定され
た許容値以下となる状態が所定の判定時間以上続いたと
きに前記検出値の変動の振幅が一定以下になったと判定
する方法が好適である。

【００１２】すなわち、前記振幅判定手段としては、前
記表面研削加工時における前記検出値の最大値を更新記
憶する最大値記憶手段と、その更新記憶された最大値と
当該更新後の検出値との差を時々刻々演算する演算手段
と、その演算された差が予め設定された許容値以下であ
る状態が一定時間以上続いたか否かを判定する継続時間
判定手段とを備え、この継続時間判定手段により前記状
態が所定の判定時間以上続いたと判定された時点で切込
み送り速度を前記表面研削用切込み送り速度から前記本
研削用切込み送り速度に切換えるように前記切込み送り
制御手段が構成されているものが好適である。

【００１３】これらの構成によれば、更新記憶される最
大値と現時点での検出値とを比較するだけの簡単な演算
動作によって、当該検出値の変動の振幅が一定以下に収
まったか否かを的確に判定することができる。

【００１４】ここで、前記判定時間としては、前記ワー
クの回転周期の１倍以上２倍以下の時間に設定するのが
好ましい。

【００１５】また、前記ワークに対して前記砥石をその
軸方向に相対的にオシレート（振動）させながら前記表
面研削加工を行う場合には、前記判定時間を前記砥石の
振動周期の１倍以上２倍以下の時間に設定するようにし
てもよい。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の形態を図
面に基づいて説明する。なお、この実施の形態ではワー
ク２０の内周面を研削する内面研削盤に本発明を適用し
たものを示すが、本発明はその他の研削盤、例えば円筒
研削盤にも有効に適用し得るものである。

【００１７】図１に示す研削盤は、ベッド１０を備え、
このベッド１０上にワーク駆動装置１２及び砥石駆動装
置１４が相対向する状態で配設されている。

【００１８】ワーク駆動装置１２は、主軸台１５を備
え、この主軸台１５に図略の主軸がＺ軸方向（図１の左
右方向）に延びる状態で回転可能に支持されている。こ
の主軸の後端（図１では左端）には主軸駆動モータ（ワ
ーク駆動手段）１６が連結され、前端（同図右端）には
ワーク２０を把持するチャック１８が設けられている。
そして、このワーク２０の本体が前記チャック１８に把
持された状態で主軸駆動モータ１６が作動することによ
り、図略の主軸と一体にワーク２０がその中心軸回りに
回転駆動されるようになっている。

【００１９】砥石駆動装置１４は、固定台３０を備え、
この固定台３０はベッド１０上に固定されている。固定
台３０上には、Ｘ軸テーブル３２が前記主軸と直交する
Ｘ軸方向（図１では上下方向）にスライド可能に設置さ
れ、このＸ軸テーブル３２はＸ軸駆動モータ３４及び図
略の送りねじ機構からなる切込み送り手段によってＸ軸
方向にスライド駆動される（すなわち切込み送りされ
る）ようになっている。

【００２０】なお、本発明では、必ずしも砥石側を動か
さなくてもよく、ワーク側を切込み方向に動かして切込
み送りを行うようにしてもよい。

【００２１】Ｘ軸テーブル３２上には、Ｚ軸テーブル３
６が前記主軸と平行なＺ軸方向（図１では左右方向）に
スライド可能に設置され、このＺ軸テーブル３６はＺ軸
駆動モータ３８及び図略の送りねじ機構によってＺ軸方
向にスライド駆動されるようになっている。そして、こ
のＺ軸テーブル３６上に砥石支持台４０が設けられてい
る。

【００２２】この砥石支持台４０には、スピンドルが回
転可能に支持され、このスピンドルも前記主軸と同様に
Ｚ軸方向に延びている。このスピンドルの後端（図１で
は右端）には電動モータからなる砥石駆動モータ（砥石
駆動手段）４４が連結され、前端（同図左端）には砥石
把持部４２が設けられている。そして、この砥石把持部
４２に砥石軸４６が把持された状態で、当該砥石把持部
４２、砥石軸４６、及びこの砥石軸４６の先端に固定さ
れた砥石車４８が一体に高速回転駆動されるようになっ
ている。

【００２３】なお、前記ワーク駆動装置１２側には、図
１に示すようなアーム２２を介してドレス用工具２４が
支持され、このドレス用工具２４によって前記砥石車４
８の整形が可能となっている。

【００２４】前記各モータ１６，３４，３８，４４の駆
動制御は、コンピュータを含むコントローラ５０によっ
て行われる。かかる制御のうち、砥石車４８の切込み送
り制御（すなわちＸ軸駆動モータ３４の駆動制御）に関
する機能構成を図２（ａ）に示す。

【００２５】図示のモータ電力検出部５２は、後述の表
面研削加工中に、タイマー５１によって計測される一定
のサンプリング周期で砥石駆動モータ４４のモータ電力
（研削負荷に相当する値）を時々刻々検出する。電力振
幅判定部５３は、前記モータ電力検出部５２により検出
される電力を監視し、その振幅が一定以下に収まったか
否かを判定する。

【００２６】切込み送り制御部５４は、ドライブ回路５
５に制御信号を出力してＸ軸駆動モータ３４の駆動速度
ひいては砥石車４８の切込み送り速度を制御する。具体
的には、加工段階に応じて前記切込み送り速度を接触用
速度、表面研削用加工速度、粗加工用速度、仕上げ加工
用速度に順次切換える。さらに、この装置の特徴とし
て、切込み送り制御部５４は、前記表面研削加工中に前
記モータ電力の振幅が一定以下に収まったと前記電力振
幅判定部５３が判定した時点で、切込み送り速度をそれ
までの表面研削用加工速度から本研削用加工速度に切換
える。

【００２７】電力振幅判定部５３の具体的構成を図２
（ｂ）に示す。同図の最大値記憶部５３ａは、前記表面
研削加工中に検出されるモータ電力の最大値を順次更新
記憶する。電力差演算部５３ｂは、前記最大値とその更
新後のモータ電力検出値との差（電力差）を時々刻々演
算する。継続時間判定部５３ｃは、演算された電力差が
予め設定された許容値以下であるか否かを逐次判定する
とともに、当該許容値以下である状態が所定の判定時間
だけ続いたか否かを判定し、続いたと判定した時点で前
記モータ電流の変動の振幅が一定以下に収まったとみな
して、切込み送り制御部５４に前記表面研削用切込み送
り速度から粗研削用切込み送り速度への切換を行わせ
る。

【００２８】次に、このコントローラ５０により具体的
に行われる制御動作を図３のグラフを併せて参照しなが
ら説明する。

【００２９】まず、砥石車４８をワーク２０の内側に位
置させ、かつ、砥石駆動モータ４４を作動させて高速回
転駆動する。この状態でＸ軸駆動モータ３４を作動さ
せ、予め設定された接近用速度（図３の最も左側の領
域）で前記砥石車４８をワーク２０の内周面に接近させ
る。

【００３０】この動作により、砥石車４８がワーク２０
に接触した時点で、砥石駆動モータ４４のモータ電力が
急激に上昇するが、この時点から切込み送り速度をそれ
までの接近用速度から当該接近用速度よりも低い表面研
削用速度に切換え、表面研削加工を開始する。

【００３１】この表面研削加工から次の本研削加工（図
例では粗研削加工）への切換タイミングの設定動作は、
図４のフローチャートに示すとおりである。

【００３２】まず、後述の継続時間演算値Ｔ及び電力最
大値Ｐmaxを０にリセットし（ステップＳ１）、一定の
サンプリング周期で砥石駆動モータ４４のモータ電力Ｐ
を読み込む（ステップＳ２）。その読み込み値（検出
値）Ｐとそれまでに記憶されている電力最大値Ｐmax
（初期状態では０）とを比較し、前者の検出値Ｐの方が
大きい場合には（ステップＳ３でＹＥＳ）それまで記憶
していた電力最大値Ｐmaxを当該検出値Ｐに更新し（ス
テップＳ４）、後者の電力最大値Ｐmaxの方が大きい場
合には（ステップＳ３でＮＯ）当該電力最大値Ｐmaxを
維持する（ステップＳ４）。

【００３３】ここで、前記モータ電力は巨視的に見ると
時間経過とともに漸増することになるが、ワーク２０の
内周面の真円度が不十分である場合には砥石車４８がワ
ーク２０の内周面に対して断続的に接触するため、図５
に示すように前記電力最大値Ｐmaxは間欠的に更新され
ることになる。

【００３４】次に、更新記憶した電力最大値Ｐmaxと現
時点でのモータ電力検出値Ｐとの差（電力差）ΔＰを演
算し（ステップＳ５）、その電力差ΔＰが予め設定され
た許容値ΔＰｏ以下であるか否かを判定する。前記電力
差ΔＰが前記許容値ΔＰｏ以下である場合には（ステッ
プＳ６でＹＥＳ）、その許容値ΔＰｏ以下である状態が
継続している時間の演算値Ｔをサンプリング周期Δｔだ
け増加させる一方（ステップＳ７）、前記差ΔＰが前記
許容値ΔＰｏを上回る場合には（ステップＳ６でＮ
Ｏ）、継続時間演算値Ｔを０にリセットする（ステップ
Ｓ８）。

【００３５】次に、前記継続時間演算値Ｔが所定の判定
時間Ｔｏ以上であるか否か、すなわち、前記電力差ΔＰ
が前記許容値ΔＰｏ以下である状態が前記判定時間Ｔｏ
以上続いたか否かを判断する。前記演算値Ｔが前記判定
時間Ｔｏ以上である場合には（ステップＳ９でＹＥ
Ｓ）、砥石の切込み送り速度をそれまでの表面研削用切
込み送り速度からそれよりも高い粗研削用切込み送り速
度に切換え（ステップＳ１０）、前記演算値Ｔが前記判
定時間Ｔｏ未満である場合には（ステップＳ９でＮＯ）
前記ステップＳ２以下の処理を繰り返す。

【００３６】なお、前記判定時間Ｔｏは適宜設定可能で
あるが、当該判定時間Ｔｏが過度に短いと十分な表面研
削加工時間が確保できなくなるおそれがあり、逆に過度
に長いとサイクルタイム短縮効果が得られにくくなるの
で、適切な値に設定することが望まれる。一般には、モ
ータ電力の振動周期はワーク２０の回転周期τ_wに合致
するので、このワーク回転周期τ_wを基準に前記判定時
間Ｔｏを設定するのが好ましく、具体的にはτ_w≦Ｔｏ
≦２τ_wの範囲内で設定するのがよい（例えばＴｏ＝
１．５τ_w）。

【００３７】また、表面研削加工中にＺ軸テーブル３６
を動かすことにより図６に示すように砥石車４８を軸方
向にオシレート（振動）させながら加工する場合（ワー
ク２０側を動かしてもよい。）、そのオシレート周期τ
_oを基準に前記判定時間Ｔｏを設定してもよく、この場
合もτ_o≦Ｔｏ≦２τ_oの範囲内で設定するのがよい（例
えばＴｏ＝１．５τ_o）。

【００３８】以上のようにして粗研削加工に移行した後
は、当該粗研削用加工にて所定量切込んだ段階で、図３
に示すように切込み送り速度を前記粗研削用切込み送り
速度よりも低い仕上げ研削用切込み送り速度に切換え、
さらには切込み送り速度を０にした状態でのスパークア
ウトを行った後、砥石車４８をワーク２０の内周面から
離間させる。

【００３９】以上示したように、表面研削用切込み送り
速度から粗研削用切込み送り速度への切換タイミング
を、研削負荷に相当する砥石駆動モータ４４のモータ電
力の振幅に基づいて設定するようにすれば、ワークごと
にその内周面の実際の真円度に対応した適切な表面研削
加工時間を確保することができる。

【００４０】例えば、図７（ａ）に示すように表面研削
加工時間ｔｓを一定時間に固定的に設定する従来技術に
おいては、加工面の歪みが大きい場合にも確実に表面研
削加工ができるようにその加工時間ｔｓを長めに設定し
なければならず、従って、加工面の歪みが比較的小さい
ワークを加工する場合には、同図（ｂ）に示すように、
本来必要な表面研削加工時間ｔｒよりも長い加工時間ｔ
ｓが設定されることになり、その差ｔｄだけ無駄な表面
研削加工が行われることになる。

【００４１】これに対して本発明によれば、同図（ｃ）
に示すように、実際のモータ電力の変動の振幅に基づい
て表面研削加工時間ｔｓが定められるので、ワーク加工
面の真円度が高い場合にはそれに応じて短い表面研削加
工時間ｔｓが設定されることとなる。従って、サイクル
タイムの短縮を図りながら十分な表面研削加工をするこ
とができる。

【００４２】なお、この実施の形態では、表面研削加工
後の本研削加工として、粗研削加工、仕上げ研削加工、
およびスパークアウトを順次行うようにしているが、本
研削加工の具体的な内容は問わず、ワークの用途によっ
ては例えば粗研削加工のみを行うようにしてもよい。

【００４３】また、本発明において、研削負荷に相当す
る値（前記例では砥石駆動モータ４４のモータ電力）の
振幅が一定以下に収まったか否かを判断する方法は、前
記のものに限られない。例えば、現時点の検出値も含め
て過去ｎ回（例えば５回）の検出値の平均値を順次演算
し、その平均値と現時点の検出値との差を求め、その差
が一定以下に収まる状態が所定の判定時間以上続いた段
階で変動の振幅が一定以下に収まったと判定するように
してもよいし、サンプリング周期ごとに取り込まれる検
出値を監視してその極大値及び極小値を更新記憶してい
き、その極大値と極小値との差を順次演算してその差が
一定以下となった時点で切込み送り速度を本研削用切込
み送り速度に切換えるようにしてもよい。

【００４４】

【発明の効果】以上のように本発明は、表面研削加工時
にその研削抵抗に相当する値を検出して当該検出値の変
動を監視し、この検出値の変動の振幅が一定以下になっ
たと判定した時点で切込み送り速度を前記表面研削用切
込み送り速度から本研削用切込み送り速度に切換えるも
のであるので、サイクルタイムの短縮を図りながら、研
削開始時に砥石が受けるダメージを有効に抑止すること
ができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態にかかる内面研削盤の平面
図である。

【図２】（ａ）は前記内面研削盤に具備されるコントロ
ーラの機能構成を示すブロック図、（ｂ）は同コントロ
ーラにおける電力振幅判定部の具体的構成を示すブロッ
ク図である。

【図３】前記研削盤におけるモータ電力及び砥石切込み
位置の時間変化を示すグラフである。

【図４】前記コントローラの制御動作を示すフローチャ
ートである。

【図５】前記モータ電力の微視的な時間変化を示すグラ
フである。

【図６】前記研削盤における砥石を軸方向にオシレート
させる例を示す断面平面図である。

【図７】（ａ）（ｂ）は従来技術において設定される表
面研削加工時間を示すグラフ、（ｃ）は本発明において
設定される表面研削加工時間を示すグラフである。

【符号の説明】

１６主軸駆動モータ（ワーク駆動手段）２０ワーク３４Ｘ軸駆動モータ（切込み送り手段）４４砥石駆動モータ（砥石駆動手段）４８砥石車５０コントローラ５２モータ電力検出部５３電力振幅判定部５３ａ最大値記憶部５３ｂ電力差演算部５３ｃ継続時間判定部５４切込み送り制御部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 3C034 AA05 CA17 CB02 3C043 AA02 CC03

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ワークを回転させ、かつ、砥石を回転駆
動しながら、前記ワークの加工面に対して予め設定され
た表面研削用切込み送り速度で前記砥石を切込み送りす
ることにより表面研削加工を行った後、その切込み送り
速度を前記表面研削用切込み送り速度よりも高い本研削
用切込み送り速度に切換えて本研削加工を行う研削加工
方法において、前記表面研削加工時にその研削抵抗に相
当する値を検出して当該検出値の変動を監視し、この検
出値の変動の振幅が一定以下になったと判定した時点で
切込み送り速度を前記表面研削用切込み送り速度から本
研削用切込み送り速度に切換えることを特徴とする研削
加工方法。
【請求項２】請求項１記載の研削加工方法において、
前記表面研削加工時に前記検出値の最大値を更新記憶
し、その更新記憶した最大値と当該更新後の検出値との
差を時々刻々演算し、その差が予め設定された許容値以
下である状態が所定の判定時間以上続いたときに前記検
出値の変動の振幅が一定以下になったと判定することを
特徴とする研削加工方法。
【請求項３】請求項２記載の研削加工方法において、
前記判定時間を前記ワークの回転周期の１倍以上２倍以
下の時間に設定することを特徴とする研削加工方法。
【請求項４】請求項２記載の研削加工方法において、
前記ワークに対して前記砥石をその軸方向に相対的に振
動させながら前記表面研削加工を行うとともに、前記判
定時間を前記砥石の１倍以上２倍以下の時間に設定する
ことを特徴とする研削加工方法。
【請求項５】ワークを回転させるワーク駆動手段と、
砥石を回転駆動する砥石駆動手段と、前記砥石を前記ワ
ークの加工面に対して切込み送りする切込み送り手段
と、その切込み送り速度を制御する切込み送り制御手段
とを備え、前記砥石を予め設定された表面研削用切込み
送り速度で切込み送りして前記ワークの表面研削加工を
行った後にその切込み送り速度を前記表面研削用切込み
送り速度よりも高い本研削用切込み送り速度に切換えて
本研削加工を行うように構成された研削加工装置におい
て、前記表面研削加工時にその研削抵抗に相当する値を
検出する電力検出手段と、その検出値の変動を監視し、
当該検出値の変動の振幅が一定以下になったか否かを判
定する振幅判定手段とを備え、この振幅判定手段が前記
変動の振幅が一定以下になったと判定した時点で切込み
送り速度を前記表面研削用切込み送り速度から本研削用
切込み送り速度に切換えるように前記切込み送り制御手
段が構成されていることを特徴とする研削加工装置。
【請求項６】請求項５記載の研削加工装置において、
前記振幅判定手段は、前記表面研削加工時における前記
検出値の最大値を更新記憶する最大値記憶手段と、その
更新記憶された最大値と当該更新後の検出値との差を時
々刻々演算する演算手段と、その演算された差が予め設
定された許容値以下である状態が一定時間以上続いたか
否かを判定する継続時間判定手段とを備え、この継続時
間判定手段により前記状態が所定の判定時間以上続いた
と判定された時点で切込み送り速度を前記表面研削用切
込み送り速度から前記本研削用切込み送り速度に切換え
るように前記切込み送り制御手段が構成されていること
を特徴とする研削加工装置。