JP2002270873A - 太陽電池セル特性の連続自動測定方法および装置 - Google Patents
太陽電池セル特性の連続自動測定方法および装置Info
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02S—GENERATION OF ELECTRIC POWER BY CONVERSION OF INFRARED RADIATION, VISIBLE LIGHT OR ULTRAVIOLET LIGHT, e.g. USING PHOTOVOLTAIC [PV] MODULES
- H02S50/00—Monitoring or testing of PV systems, e.g. load balancing or fault identification
- H02S50/10—Testing of PV devices, e.g. of PV modules or single PV cells
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- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 長尺フィルム基板上に異なるセルパターンが
存在する場合であっても、太陽電池セル特性の連続自動
測定が可能な測定方法および装置を提供する。 【解決手段】 基板搬送手段と、模擬光照射手段と、セ
ル特性測定手段とを備え、さらに、セルパターン検出用
の２組の電極対（Ｐ１およびＰ２）と、セル特性測定用
の２組の電極対（Ｍ１およびＭ２）と、前記電極対（Ｐ
１およびＰ２）のいずれか一方が短絡した際に接続動作
するリレーと、このリレーの接続動作により、セル特性
測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）のいずれか一方と前記
セル特性測定手段とを接続する回路とを備え、電力取出
電極層２２または取出電極層に隣接した接続電極層に、
セルパターン検出用電極対を当接し、この電極対の短絡
もしくは非短絡の検出により、セルパターンを判定し、
セルパターンの判定結果に応じて、セル特性測定用電極
対を選択することとする。
存在する場合であっても、太陽電池セル特性の連続自動
測定が可能な測定方法および装置を提供する。 【解決手段】 基板搬送手段と、模擬光照射手段と、セ
ル特性測定手段とを備え、さらに、セルパターン検出用
の２組の電極対（Ｐ１およびＰ２）と、セル特性測定用
の２組の電極対（Ｍ１およびＭ２）と、前記電極対（Ｐ
１およびＰ２）のいずれか一方が短絡した際に接続動作
するリレーと、このリレーの接続動作により、セル特性
測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）のいずれか一方と前記
セル特性測定手段とを接続する回路とを備え、電力取出
電極層２２または取出電極層に隣接した接続電極層に、
セルパターン検出用電極対を当接し、この電極対の短絡
もしくは非短絡の検出により、セルパターンを判定し、
セルパターンの判定結果に応じて、セル特性測定用電極
対を選択することとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ユニットセルを
複数個直列接続した薄膜太陽電池のセル特性の連続自動
測定方法および装置に関する。
複数個直列接続した薄膜太陽電池のセル特性の連続自動
測定方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】薄膜太陽電池は、薄型で軽量、製造コス
トの安さ、大面積化が容易であることなどから、今後の
太陽電池の主流となると考えられ、電力供給用以外に、
建物の屋根や窓などにとりつけて利用される業務用，一
般住宅用にも需要が広がってきている。
トの安さ、大面積化が容易であることなどから、今後の
太陽電池の主流となると考えられ、電力供給用以外に、
建物の屋根や窓などにとりつけて利用される業務用，一
般住宅用にも需要が広がってきている。
【０００３】従来の薄膜太陽電池はガラス基板を用いて
いるものが一般的であった。近年、軽量化、施工性、量
産性においてプラスチックフィルムを用いたフレキシブ
ルタイプの太陽電池の研究開発が進められ実用化されて
いる。さらに、フレキシブルな金属材料に絶縁被覆した
フィルム基板を用いたものも開発されている。このフレ
キシブル性を生かし、ロールツーロール方式やステッピ
ングロール方式の製造方法により大量生産が可能となっ
た。
いるものが一般的であった。近年、軽量化、施工性、量
産性においてプラスチックフィルムを用いたフレキシブ
ルタイプの太陽電池の研究開発が進められ実用化されて
いる。さらに、フレキシブルな金属材料に絶縁被覆した
フィルム基板を用いたものも開発されている。このフレ
キシブル性を生かし、ロールツーロール方式やステッピ
ングロール方式の製造方法により大量生産が可能となっ
た。
【０００４】上記の薄膜太陽電池は、電気絶縁性フィル
ム基板上に第１電極（以下、下電極ともいう）、薄膜半
導体層からなる光電変換層および第２電極（以下、透明
電極ともいう）が積層されてなる光電変換素子（または
セル）が複数形成されている。ある光電変換素子の第１
電極と隣接する光電変換素子の第２電極を電気的に接続
することを繰り返すことにより、最初の光電変換素子の
第１電極と最後の光電変換素子の第２電極とに必要な電
圧を出力させることができる。例えば、インバータによ
り交流化し商用電力源として交流１００Ｖを得るために
は、薄膜太陽電池の出力電圧は１００Ｖ以上が望まし
く、実際には数１０個以上の素子が直列接続される。
ム基板上に第１電極（以下、下電極ともいう）、薄膜半
導体層からなる光電変換層および第２電極（以下、透明
電極ともいう）が積層されてなる光電変換素子（または
セル）が複数形成されている。ある光電変換素子の第１
電極と隣接する光電変換素子の第２電極を電気的に接続
することを繰り返すことにより、最初の光電変換素子の
第１電極と最後の光電変換素子の第２電極とに必要な電
圧を出力させることができる。例えば、インバータによ
り交流化し商用電力源として交流１００Ｖを得るために
は、薄膜太陽電池の出力電圧は１００Ｖ以上が望まし
く、実際には数１０個以上の素子が直列接続される。
【０００５】このような光電変換素子とその直列接続
は、電極層と光電変換層の成膜と各層のパターニングお
よびそれらの組み合わせ手順により形成される。上記太
陽電池の構成および製造方法の一例として、本願出願人
により、いわゆるＳＣＡＦ（Series Connection throug
h Apertures on Film ）型の薄膜太陽電池が提案されて
おり、例えば特開平１０−２３３５１７号公報や特願平
１１−１９３０６号に記載されている。
は、電極層と光電変換層の成膜と各層のパターニングお
よびそれらの組み合わせ手順により形成される。上記太
陽電池の構成および製造方法の一例として、本願出願人
により、いわゆるＳＣＡＦ（Series Connection throug
h Apertures on Film ）型の薄膜太陽電池が提案されて
おり、例えば特開平１０−２３３５１７号公報や特願平
１１−１９３０６号に記載されている。
【０００６】図８は、上記特開平１０−２３３５１７号
公報に記載された薄膜太陽電池の一例を示し、（ａ）は
平面図、（ｂ）は（ａ）における線ＡＢＣＤおよびＢＱ
Ｃに沿っての断面図であり、（ｃ）は（ａ）におけるＥ
Ｅ断面図を示す。
公報に記載された薄膜太陽電池の一例を示し、（ａ）は
平面図、（ｂ）は（ａ）における線ＡＢＣＤおよびＢＱ
Ｃに沿っての断面図であり、（ｃ）は（ａ）におけるＥ
Ｅ断面図を示す。
【０００７】電気絶縁性でフレキシブルな樹脂からなる
長尺のフィルム基板上に、順次、第１電極層、光電変換
層、第２電極層が積層され、フィルム基板の反対側（裏
面）には第３電極層、第４電極層が積層され、裏面電極
が形成されている。光電変換層は例えばアモルファスシ
リコンのpin接合である。フィルム基板用材料として
は、ポリイミドのフィルム、例えば厚さ５０μｍのフィ
ルムが用いられている。
長尺のフィルム基板上に、順次、第１電極層、光電変換
層、第２電極層が積層され、フィルム基板の反対側（裏
面）には第３電極層、第４電極層が積層され、裏面電極
が形成されている。光電変換層は例えばアモルファスシ
リコンのpin接合である。フィルム基板用材料として
は、ポリイミドのフィルム、例えば厚さ５０μｍのフィ
ルムが用いられている。
【０００８】次に、製造工程の概要につき以下に説明す
る。
る。
【０００９】先ず、フィルム基板にパンチを用いて、接
続孔ｈ１を開け、基板の片側（表側とする）に第１電極
層として、スパッタにより銀を、例えば１００ｎｍの厚
さに成膜し、これと反対の面（裏側とする）には、第３
電極層として、同じく銀電極を成膜する。接続孔ｈ１の
内壁で第１電極層と第３電極層とは重なり、導通する。
続孔ｈ１を開け、基板の片側（表側とする）に第１電極
層として、スパッタにより銀を、例えば１００ｎｍの厚
さに成膜し、これと反対の面（裏側とする）には、第３
電極層として、同じく銀電極を成膜する。接続孔ｈ１の
内壁で第１電極層と第３電極層とは重なり、導通する。
【００１０】成膜後、表側では、第１電極層を所定の形
状にレーザ加工して、下電極ｌ１〜ｌ６をパターニング
する。下電極ｌ１〜ｌ６の隣接部は一本の分離線ｇ２
を、二列の直列接続の光電変換素子間および周縁導電部
ｆとの分離のためには二本の分離線ｇ２を形成し、下電
極ｌ１〜ｌ６は分離線により囲まれるようにする。再度
パンチを用いて、集電孔ｈ２を開けた後、表側に、光電
変換層ｐとしてa-Si層をプラズマＣＶＤにより成膜す
る。マスクを用いて幅Ｗ２の成膜とし、レーザ加工によ
り二列素子の間だけに第１電極層と同じ分離線を形成す
る。なお、前記幅Ｗ２は、接続孔ｈ１にまたがってもよ
い。
状にレーザ加工して、下電極ｌ１〜ｌ６をパターニング
する。下電極ｌ１〜ｌ６の隣接部は一本の分離線ｇ２
を、二列の直列接続の光電変換素子間および周縁導電部
ｆとの分離のためには二本の分離線ｇ２を形成し、下電
極ｌ１〜ｌ６は分離線により囲まれるようにする。再度
パンチを用いて、集電孔ｈ２を開けた後、表側に、光電
変換層ｐとしてa-Si層をプラズマＣＶＤにより成膜す
る。マスクを用いて幅Ｗ２の成膜とし、レーザ加工によ
り二列素子の間だけに第１電極層と同じ分離線を形成す
る。なお、前記幅Ｗ２は、接続孔ｈ１にまたがってもよ
い。
【００１１】さらに第２電極層として表側に透明電極層
（ＩＴＯ層）を成膜する。但し、二つの素子列の間とこ
れに平行な基板の両側端部にはマスクを掛け接続孔ｈ１
には成膜しないようにし、素子部のみに成膜する。
（ＩＴＯ層）を成膜する。但し、二つの素子列の間とこ
れに平行な基板の両側端部にはマスクを掛け接続孔ｈ１
には成膜しないようにし、素子部のみに成膜する。
【００１２】次いで裏面全面に第４電極層として金属膜
などの低抵抗導電膜からなる層を成膜する。第４電極の
成膜により、集電孔ｈ２の内壁で第２電極と第４電極と
が重なり、導通する。表側では、レーザ加工により下電
極と同じパターンの分離線を入れ、個別の第２電極ｕ１
〜ｕ６を形成し、裏側では第３電極と第４電極とを同時
にレーザ加工し、接続電極ｅ１２〜ｅ５６、および電力
取り出し電極ｏ１，ｏ２を個別化し、基板の周縁部では
表側の分離線ｇ３と重なるように分離線ｇ２を形成し、
隣接電極間には一本の分離線を形成する。
などの低抵抗導電膜からなる層を成膜する。第４電極の
成膜により、集電孔ｈ２の内壁で第２電極と第４電極と
が重なり、導通する。表側では、レーザ加工により下電
極と同じパターンの分離線を入れ、個別の第２電極ｕ１
〜ｕ６を形成し、裏側では第３電極と第４電極とを同時
にレーザ加工し、接続電極ｅ１２〜ｅ５６、および電力
取り出し電極ｏ１，ｏ２を個別化し、基板の周縁部では
表側の分離線ｇ３と重なるように分離線ｇ２を形成し、
隣接電極間には一本の分離線を形成する。
【００１３】全ての薄膜太陽電池素子を一括して囲う周
縁、および二列の直列接続太陽電池素子の隣接する境界
には（周縁導電部ｆの内側）分離線ｇ３がある。分離線
ｇ３の中にはどの層も無い。裏側では、全ての電極を一
括して囲う周縁、および二列の直列接続電極の隣接する
境界には（周縁導電部ｆの内側）分離線ｇ２がある。分
離線ｇ２の中にはどの層も無い。
縁、および二列の直列接続太陽電池素子の隣接する境界
には（周縁導電部ｆの内側）分離線ｇ３がある。分離線
ｇ３の中にはどの層も無い。裏側では、全ての電極を一
括して囲う周縁、および二列の直列接続電極の隣接する
境界には（周縁導電部ｆの内側）分離線ｇ２がある。分
離線ｇ２の中にはどの層も無い。
【００１４】こうして、電力取り出し電極ｏ１−集電孔
ｈ２−上電極ｕ１、光電変換層、下電極ｌ１−接続孔ｈ
１−接続電極ｅ１２−上電極ｕ２、光電変換層、下電極
ｌ２−接続電極ｅ２３−・・・−上電極ｕ６、光電変換
層、下電極ｌ６−接続孔ｈ１−電力取出し電極ｏ２の順
の光電変換素子の直列接続が完成する。
ｈ２−上電極ｕ１、光電変換層、下電極ｌ１−接続孔ｈ
１−接続電極ｅ１２−上電極ｕ２、光電変換層、下電極
ｌ２−接続電極ｅ２３−・・・−上電極ｕ６、光電変換
層、下電極ｌ６−接続孔ｈ１−電力取出し電極ｏ２の順
の光電変換素子の直列接続が完成する。
【００１５】なお、第３電極層と第４電極層は電気的に
は同一の電位であるので、以下の説明においては説明の
便宜上、併せて一層の接続電極層として扱うこともあ
る。
は同一の電位であるので、以下の説明においては説明の
便宜上、併せて一層の接続電極層として扱うこともあ
る。
【００１６】図９は、構造の理解の容易化のために、薄
膜太陽電池の構成を簡略化して斜視図で示したものであ
る。図９において、基板６１の表面に形成した単位光電
変換素子６２および基板６１の裏面に形成した接続電極
層６３は、それぞれ複数の単位ユニットに完全に分離さ
れ、それぞれの分離位置をずらして形成されている。こ
のため、素子６２のアモルファス半導体部分である光電
変換層６５で発生した電流は、まず透明電極層６６に集
められ、次に該透明電極層領域に形成された集電孔６７
（ｈ２）を介して背面の接続電極層６３に通じ、さらに
該接続電極層領域で素子の透明電極層領域の外側に形成
された直列接続用の接続孔６８（ｈ１）を介して上記素
子と隣り合う素子の透明電極層領域の外側に延びている
下電極層６４に達し、両素子の直列接続が行われてい
る。
膜太陽電池の構成を簡略化して斜視図で示したものであ
る。図９において、基板６１の表面に形成した単位光電
変換素子６２および基板６１の裏面に形成した接続電極
層６３は、それぞれ複数の単位ユニットに完全に分離さ
れ、それぞれの分離位置をずらして形成されている。こ
のため、素子６２のアモルファス半導体部分である光電
変換層６５で発生した電流は、まず透明電極層６６に集
められ、次に該透明電極層領域に形成された集電孔６７
（ｈ２）を介して背面の接続電極層６３に通じ、さらに
該接続電極層領域で素子の透明電極層領域の外側に形成
された直列接続用の接続孔６８（ｈ１）を介して上記素
子と隣り合う素子の透明電極層領域の外側に延びている
下電極層６４に達し、両素子の直列接続が行われてい
る。
【００１７】次に、前記ロール搬送方式の薄膜太陽電池
の製造プロセスおよび各種装置の概要の一例を、図１０
に示す。図１０の左側に各プロセスを示し、右側に各プ
ロセスで使用される装置の概要を矢印で示す（詳細は、
例えば特願平１１−２０９３２２号参照）。
の製造プロセスおよび各種装置の概要の一例を、図１０
に示す。図１０の左側に各プロセスを示し、右側に各プ
ロセスで使用される装置の概要を矢印で示す（詳細は、
例えば特願平１１−２０９３２２号参照）。
【００１８】装置としては、穴あけ装置５１，スパッタ
装置５２，ステッピングロール方式成膜装置５３，レー
ザースクライバー５４，特性評価装置５５などがあり、
前記各装置は、巻出し用ロール１ａ，１ｂ，１ｃ，１
ｄ，１ｅおよび巻取り用ロール２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ
と、ガイドロール３、張力ロール４などを備えて、自動
連続生産のためにロール搬送が行なわれている。
装置５２，ステッピングロール方式成膜装置５３，レー
ザースクライバー５４，特性評価装置５５などがあり、
前記各装置は、巻出し用ロール１ａ，１ｂ，１ｃ，１
ｄ，１ｅおよび巻取り用ロール２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ
と、ガイドロール３、張力ロール４などを備えて、自動
連続生産のためにロール搬送が行なわれている。
【００１９】前述のように、薄膜太陽電池は、自動連続
生産が基本であるため、太陽電池セルの特性測定におい
ても自動化が不可欠である。現在、ソーラーシミュレー
タによるセル特性パラメータの計測、および単体の太陽
電池素子（ユニットセル）のリーク電流測定によるシャ
ント抵抗測定を、セル全数に対して行なっている。
生産が基本であるため、太陽電池セルの特性測定におい
ても自動化が不可欠である。現在、ソーラーシミュレー
タによるセル特性パラメータの計測、および単体の太陽
電池素子（ユニットセル）のリーク電流測定によるシャ
ント抵抗測定を、セル全数に対して行なっている。
【００２０】次に、前記セル特性パラメータの計測につ
いて、その概要を以下に述べる。図６は、従来から使用
しているセル特性の連続自動測定装置の概略構成を示
す。
いて、その概要を以下に述べる。図６は、従来から使用
しているセル特性の連続自動測定装置の概略構成を示
す。
【００２１】前述のように、ユニットセルの受光面側で
発生した電流は透明電極から集電孔を通してフィルムの
裏面側の接続電極層に伝わり、裏面の接続電極層は接続
孔を通して下電極層に接続されているので、フィルム裏
面の接続電極層に測定用プローブを当てることにより太
陽電池セルと測定回路を電気的に接続してセル特性の測
定を行なうことができる。量産の場合には、ユニットセ
ル毎ではなしに、後述するように、複数セルを一括し
て、図６に示す測定装置により、太陽電池群のセル特性
測定が行なわれる。
発生した電流は透明電極から集電孔を通してフィルムの
裏面側の接続電極層に伝わり、裏面の接続電極層は接続
孔を通して下電極層に接続されているので、フィルム裏
面の接続電極層に測定用プローブを当てることにより太
陽電池セルと測定回路を電気的に接続してセル特性の測
定を行なうことができる。量産の場合には、ユニットセ
ル毎ではなしに、後述するように、複数セルを一括し
て、図６に示す測定装置により、太陽電池群のセル特性
測定が行なわれる。
【００２２】図６に示すように、長尺フィルム基板１０
上に形成されたＳＣＡＦ型薄膜太陽電池群の受光面を下
に向け搬送し、測定装置の所定位置で停止させる。この
時、セルの受光面はガラス面に密着して平面を保ってい
る。ガラス１１を通して下方の光源１２から光を当て、
フィルムの背面側に上から測定用プローブ電極１４を押
し当てて測定を行なう。これを太陽電池群毎に、繰り返
し行なうことによって連続自動測定を行なう。
上に形成されたＳＣＡＦ型薄膜太陽電池群の受光面を下
に向け搬送し、測定装置の所定位置で停止させる。この
時、セルの受光面はガラス面に密着して平面を保ってい
る。ガラス１１を通して下方の光源１２から光を当て、
フィルムの背面側に上から測定用プローブ電極１４を押
し当てて測定を行なう。これを太陽電池群毎に、繰り返
し行なうことによって連続自動測定を行なう。
【００２３】ところで、薄膜太陽電池を量産する場合
に、前述のように基板は長尺基板とし、この長尺基板上
に前記直列に接続してなる薄膜太陽電池と、電力を外部
に取り出すための電力の取り出し用の電極層とを有する
薄膜太陽電池群を、基板の長尺方向に所定の間隔をおい
てパターニングして複数形成し、基板の前記間隔領域に
設けた位置決め用のマーカー穴を基準点として、前記第
１電極層，光電変換層，透明電極層，接続電極層などの
各層の形成ならびに各パターニング等の加工、さらに
は、マーカー穴を基準点として素子の特性評価や薄膜太
陽電池群毎に裁断を行なう等の製造方法が採用されてい
る。
に、前述のように基板は長尺基板とし、この長尺基板上
に前記直列に接続してなる薄膜太陽電池と、電力を外部
に取り出すための電力の取り出し用の電極層とを有する
薄膜太陽電池群を、基板の長尺方向に所定の間隔をおい
てパターニングして複数形成し、基板の前記間隔領域に
設けた位置決め用のマーカー穴を基準点として、前記第
１電極層，光電変換層，透明電極層，接続電極層などの
各層の形成ならびに各パターニング等の加工、さらに
は、マーカー穴を基準点として素子の特性評価や薄膜太
陽電池群毎に裁断を行なう等の製造方法が採用されてい
る。
【００２４】図７は、上記製造方法に関わり、長尺基板
上に複数個の薄膜太陽電池群が形成された薄膜太陽電池
の概略構成を示す模式的平面図である。図７において、
１０は長尺フィルム基板、２０ａ，２０ｂは薄膜太陽電
池群、２５はマーカー穴を示す。薄膜太陽電池群２０
ａ，２０ｂは、パターニングライン２３により複数個の
ユニットセル２１と電力取出電極層２２とに、用途に応
じて適宜分割されている。
上に複数個の薄膜太陽電池群が形成された薄膜太陽電池
の概略構成を示す模式的平面図である。図７において、
１０は長尺フィルム基板、２０ａ，２０ｂは薄膜太陽電
池群、２５はマーカー穴を示す。薄膜太陽電池群２０
ａ，２０ｂは、パターニングライン２３により複数個の
ユニットセル２１と電力取出電極層２２とに、用途に応
じて適宜分割されている。
【００２５】２０ａ，２０ｂの薄膜太陽電池群は、図示
のように、それぞれセルの配置パターンが異なる。２０
ａは、基板長尺方向に２並列多数直列された薄膜太陽電
池群のパターンを示し、また、２０ｂは、基板短尺方向
に４並列多数直列された薄膜太陽電池群のパターンを示
す。
のように、それぞれセルの配置パターンが異なる。２０
ａは、基板長尺方向に２並列多数直列された薄膜太陽電
池群のパターンを示し、また、２０ｂは、基板短尺方向
に４並列多数直列された薄膜太陽電池群のパターンを示
す。
【００２６】図７において、マーカー穴２５は、薄膜太
陽電池群の間隔領域に設けられ、この位置決め用のマー
カー穴を、光透過型または光反射型のセンサーにより検
出し、この穴を基準点として位置決めを行なった上で、
薄膜太陽電池群の各層の形成や各パターニング加工等が
行なわれる。
陽電池群の間隔領域に設けられ、この位置決め用のマー
カー穴を、光透過型または光反射型のセンサーにより検
出し、この穴を基準点として位置決めを行なった上で、
薄膜太陽電池群の各層の形成や各パターニング加工等が
行なわれる。
【００２７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記ＳＣＡ
Ｆ構造の薄膜太陽電池における太陽電池セル特性の連続
自動測定方法および装置においては、下記のような問題
があった。
Ｆ構造の薄膜太陽電池における太陽電池セル特性の連続
自動測定方法および装置においては、下記のような問題
があった。
【００２８】前述のセル特性測定装置において、測定用
プローブ電極は、電流測定用電極と電圧測定用電極が、
ＳＣＡＦ型薄膜太陽電池セルのプラス電極とマイナス電
極に相対する位置に固定されたものである。そのため、
図７の２０ａ，２０ｂの薄膜太陽電池群で示すように、
セルの配置パターンが異なる場合には、そのセルの配置
パターンと合致させる必要があり、パターンの変更に合
わせて測定用プローブ電極の位置ないしは測定用プロー
ブ自体を変更しなければならない。
プローブ電極は、電流測定用電極と電圧測定用電極が、
ＳＣＡＦ型薄膜太陽電池セルのプラス電極とマイナス電
極に相対する位置に固定されたものである。そのため、
図７の２０ａ，２０ｂの薄膜太陽電池群で示すように、
セルの配置パターンが異なる場合には、そのセルの配置
パターンと合致させる必要があり、パターンの変更に合
わせて測定用プローブ電極の位置ないしは測定用プロー
ブ自体を変更しなければならない。
【００２９】上記変更は架台の交換や位置調整等、多大
の段取り時間を要する。特に、図７で示すように、同一
の長尺フィルム基板上に異なるセルパターンが存在する
場合には、自動連続測定は不可能となる。そのためセル
パターンを自動的に検知して測定回路を切り替える機構
が必要となる。
の段取り時間を要する。特に、図７で示すように、同一
の長尺フィルム基板上に異なるセルパターンが存在する
場合には、自動連続測定は不可能となる。そのためセル
パターンを自動的に検知して測定回路を切り替える機構
が必要となる。
【００３０】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、この発明の課題は、同一の長
尺フィルム基板上に異なるセルパターンが存在する場合
であっても、太陽電池セル特性の連続自動測定が可能な
測定方法および装置を提供することにある。
るためになされたもので、この発明の課題は、同一の長
尺フィルム基板上に異なるセルパターンが存在する場合
であっても、太陽電池セル特性の連続自動測定が可能な
測定方法および装置を提供することにある。
【００３１】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め、請求項１の発明によれば、電気絶縁性を有する基板
の表面に下電極層としての第１電極層，光電変換層，透
明電極層（第２電極層）を順次積層してなる光電変換部
と、前記基板の裏面に形成した接続電極層としての第３
電極層および第４電極層とを備え、前記光電変換部およ
び接続電極層を互いに位置をずらして単位部分にパター
ニングしてなり、前記光電変換層形成領域内に形成した
接続孔ならびに集電孔を介して、前記表面上の互いにパ
ターニングされて隣合う単位光電変換部分（ユニットセ
ル）を電気的に直列に接続してなる薄膜太陽電池と、こ
の太陽電池の電力取り出し用の電力取出電極層とを有す
る薄膜太陽電池群を、長尺基板の長尺方向に所定の間隔
をおいて複数形成した前記各薄膜太陽電池群のセル特性
を連続的に自動測定する方法において、以下の１）ない
し６）の工程を含むこととする。 １）薄膜太陽電池群が形成された基板を所定位置に搬送
する工程。 ２）前記基板の太陽電池の受光面側に、太陽の模擬光を
照射する工程。 ３）前記基板の太陽電池の非受光面側における電力取出
電極層または取出電極層に隣接した接続電極層に、セル
パターン検出用電極対を当接し、この電極対の短絡もし
くは非短絡の検出により、セルパターンを判定する工
程。 ４）前記セルパターンの判定結果に応じて、セル特性測
定用電極対を選択する工程。 ５）前記選択されたセル特性測定用電極対により、セル
特性を測定する工程。 ６）前記セル特性測定完了後、隣接する次の薄膜太陽電
池群を測定するために、基板を所定位置に搬送する工
程。
め、請求項１の発明によれば、電気絶縁性を有する基板
の表面に下電極層としての第１電極層，光電変換層，透
明電極層（第２電極層）を順次積層してなる光電変換部
と、前記基板の裏面に形成した接続電極層としての第３
電極層および第４電極層とを備え、前記光電変換部およ
び接続電極層を互いに位置をずらして単位部分にパター
ニングしてなり、前記光電変換層形成領域内に形成した
接続孔ならびに集電孔を介して、前記表面上の互いにパ
ターニングされて隣合う単位光電変換部分（ユニットセ
ル）を電気的に直列に接続してなる薄膜太陽電池と、こ
の太陽電池の電力取り出し用の電力取出電極層とを有す
る薄膜太陽電池群を、長尺基板の長尺方向に所定の間隔
をおいて複数形成した前記各薄膜太陽電池群のセル特性
を連続的に自動測定する方法において、以下の１）ない
し６）の工程を含むこととする。 １）薄膜太陽電池群が形成された基板を所定位置に搬送
する工程。 ２）前記基板の太陽電池の受光面側に、太陽の模擬光を
照射する工程。 ３）前記基板の太陽電池の非受光面側における電力取出
電極層または取出電極層に隣接した接続電極層に、セル
パターン検出用電極対を当接し、この電極対の短絡もし
くは非短絡の検出により、セルパターンを判定する工
程。 ４）前記セルパターンの判定結果に応じて、セル特性測
定用電極対を選択する工程。 ５）前記選択されたセル特性測定用電極対により、セル
特性を測定する工程。 ６）前記セル特性測定完了後、隣接する次の薄膜太陽電
池群を測定するために、基板を所定位置に搬送する工
程。
【００３２】上記によれば、セルパターンに応じてセル
特性測定用電極対を切り替えて測定できるので、連続自
動測定が可能となる。
特性測定用電極対を切り替えて測定できるので、連続自
動測定が可能となる。
【００３３】また、前記請求項１の発明を実施するため
の装置としては、下記請求項２の発明が好ましい。即
ち、請求項１記載の測定方法を実施するための測定装置
であって、基板搬送手段と、模擬光照射手段と、セル特
性測定手段とを備え、さらに、セルパターン検出用の２
組の電極対（Ｐ１およびＰ２）と、セル特性測定用の２
組の電極対（Ｍ１およびＭ２）と、前記電極対（Ｐ１お
よびＰ２）のいずれか一方が短絡した際に接続動作する
リレーと、このリレーの接続動作により、セル特性測定
用電極対（Ｍ１およびＭ２）のいずれか一方と前記セル
特性測定手段とを接続する回路とを備えるものとする
（請求項２の発明）。
の装置としては、下記請求項２の発明が好ましい。即
ち、請求項１記載の測定方法を実施するための測定装置
であって、基板搬送手段と、模擬光照射手段と、セル特
性測定手段とを備え、さらに、セルパターン検出用の２
組の電極対（Ｐ１およびＰ２）と、セル特性測定用の２
組の電極対（Ｍ１およびＭ２）と、前記電極対（Ｐ１お
よびＰ２）のいずれか一方が短絡した際に接続動作する
リレーと、このリレーの接続動作により、セル特性測定
用電極対（Ｍ１およびＭ２）のいずれか一方と前記セル
特性測定手段とを接続する回路とを備えるものとする
（請求項２の発明）。
【００３４】さらに、前記請求項２の発明の実施態様と
しては、下記請求項３ないし６の発明が好適である。即
ち、請求項２記載の測定装置において、前記セル特性測
定用電極対と前記セル特性測定手段との接続を自己保持
するための遅延タイマーを備える（請求項３の発明）。
遅延タイマーの所定の設定時間後にセル特性測定用の２
組の電極対（Ｍ１およびＭ２）を切り離すことにより、
セル特性測定のための接続が確保できる。
しては、下記請求項３ないし６の発明が好適である。即
ち、請求項２記載の測定装置において、前記セル特性測
定用電極対と前記セル特性測定手段との接続を自己保持
するための遅延タイマーを備える（請求項３の発明）。
遅延タイマーの所定の設定時間後にセル特性測定用の２
組の電極対（Ｍ１およびＭ２）を切り離すことにより、
セル特性測定のための接続が確保できる。
【００３５】また、請求項３記載の測定装置において、
前記セル特性測定手段における所定の測定時間を確保す
るために、前記遅延タイマーによって駆動される第２の
遅延タイマーを備える（請求項４の発明）。これによ
り、セル特性測定が確実に実施できる。
前記セル特性測定手段における所定の測定時間を確保す
るために、前記遅延タイマーによって駆動される第２の
遅延タイマーを備える（請求項４の発明）。これによ
り、セル特性測定が確実に実施できる。
【００３６】さらに、請求項２記載の測定装置におい
て、前記セルパターン検出用の２組の電極対（Ｐ１およ
びＰ２）は、それぞれ互いに直交配置し、かつ前記セル
特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）は、それぞれ互い
に直交配置してなり、さらに、前記各電極対の対間距離
は、前記ユニットセルのパターニング幅と同一としてな
るものとする（請求項５の発明）。
て、前記セルパターン検出用の２組の電極対（Ｐ１およ
びＰ２）は、それぞれ互いに直交配置し、かつ前記セル
特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）は、それぞれ互い
に直交配置してなり、さらに、前記各電極対の対間距離
は、前記ユニットセルのパターニング幅と同一としてな
るものとする（請求項５の発明）。
【００３７】上記により、各電極対は、隣接するユニッ
トセルを確実に跨って配置されるので、パターンの判別
およびセル特性測定が、シンプルな構成で確実となる。
トセルを確実に跨って配置されるので、パターンの判別
およびセル特性測定が、シンプルな構成で確実となる。
【００３８】さらにまた、請求項５記載の測定装置にお
いて、前記セル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）
は、それぞれ、電流測定用電極（Ｉ１およびＩ２）と電
圧測定用電極（Ｖ１およびＶ２）とを備えるものとする
（請求項６の発明）。これにより、測定が容易にでき
る。
いて、前記セル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）
は、それぞれ、電流測定用電極（Ｉ１およびＩ２）と電
圧測定用電極（Ｖ１およびＶ２）とを備えるものとする
（請求項６の発明）。これにより、測定が容易にでき
る。
【００３９】
【発明の実施の形態】図面に基づき、本発明の実施例に
ついて以下に述べる。
ついて以下に述べる。
【００４０】図１は、薄膜太陽電池群上の電流測定用電
極（Ｉ１およびＩ２）と電圧測定用電極（Ｖ１およびＶ
２）とを備える２組のセル特性測定用電極対（Ｍ１およ
びＭ２）と、セルパターン検出用の２組の電極対（Ｐ１
およびＰ２）の配置例を示し、図２は、電極対の自動切
替回路の実施例を示す。
極（Ｉ１およびＩ２）と電圧測定用電極（Ｖ１およびＶ
２）とを備える２組のセル特性測定用電極対（Ｍ１およ
びＭ２）と、セルパターン検出用の２組の電極対（Ｐ１
およびＰ２）の配置例を示し、図２は、電極対の自動切
替回路の実施例を示す。
【００４１】図１（ａ）は、前記２並列多数直列の薄膜
太陽電池群２０ａの場合の例、図１（ｂ）は、４並列多
数直列の薄膜太陽電池群２０ｂの場合の例を示す。
太陽電池群２０ａの場合の例、図１（ｂ）は、４並列多
数直列の薄膜太陽電池群２０ｂの場合の例を示す。
【００４２】電流，電圧の測定は、４端子法で行なうた
め、セル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）は、それ
ぞれ、Ｉ+，Ｉ-，Ｖ+，Ｖ-の４個が必要で、これらを正
負の各電力取出電極層２２に接触させて測定を行なう。
各電力取出電極層２２直近の、ユニットセル２１に相当
する接続電極層に接触させて測定を行なうこともでき
る。
め、セル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）は、それ
ぞれ、Ｉ+，Ｉ-，Ｖ+，Ｖ-の４個が必要で、これらを正
負の各電力取出電極層２２に接触させて測定を行なう。
各電力取出電極層２２直近の、ユニットセル２１に相当
する接続電極層に接触させて測定を行なうこともでき
る。
【００４３】図１（ｃ）は、接続電極層に接触させて測
定を行なう場合において、図１（ａ）相当と図１（ｂ）
相当のとを重ね合わせた場合の、２組のセル特性測定用
電極対（Ｍ１およびＭ２）と、セルパターン検出用の２
組の電極対（Ｐ１およびＰ２）の左上部の配置例であっ
て、セルパターンとしては、図１（ａ）に相当するもの
を示す。セルパターンに応じてセル特性測定用電極対を
切り替えて測定できるようにするために、発明に係る装
置は、図１（ｃ）に示すように、各電極対を重ね合わせ
た配置とする必要がある。
定を行なう場合において、図１（ａ）相当と図１（ｂ）
相当のとを重ね合わせた場合の、２組のセル特性測定用
電極対（Ｍ１およびＭ２）と、セルパターン検出用の２
組の電極対（Ｐ１およびＰ２）の左上部の配置例であっ
て、セルパターンとしては、図１（ａ）に相当するもの
を示す。セルパターンに応じてセル特性測定用電極対を
切り替えて測定できるようにするために、発明に係る装
置は、図１（ｃ）に示すように、各電極対を重ね合わせ
た配置とする必要がある。
【００４４】また、セルパターン検出用の２組の電極対
（Ｐ１およびＰ２）は、それぞれ互いに直交配置し、か
つセル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）も、それぞ
れ互いに直交配置し、さらに、各電極対の対間距離は、
ユニットセルのパターニング幅と同一とする。
（Ｐ１およびＰ２）は、それぞれ互いに直交配置し、か
つセル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）も、それぞ
れ互いに直交配置し、さらに、各電極対の対間距離は、
ユニットセルのパターニング幅と同一とする。
【００４５】上記各電極対配置により、後述する図２に
示す自動切替回路によってセルパターンに応じて切り替
えて、セル特性の測定を行なう。セル特性の測定は、前
述の図６に示す装置により、薄膜太陽電池群に模擬光を
照射して起電力を発生させ、負荷を短絡から開放まで変
化させながら、電流および電圧を測定し、電圧−電流特
性を求める。これから、特性パラメータとして、開放電
圧，短絡電流，最大電力，形状パラメータ，変換効率等
を求める。
示す自動切替回路によってセルパターンに応じて切り替
えて、セル特性の測定を行なう。セル特性の測定は、前
述の図６に示す装置により、薄膜太陽電池群に模擬光を
照射して起電力を発生させ、負荷を短絡から開放まで変
化させながら、電流および電圧を測定し、電圧−電流特
性を求める。これから、特性パラメータとして、開放電
圧，短絡電流，最大電力，形状パラメータ，変換効率等
を求める。
【００４６】次に、図２に示す自動切替回路について説
明する。各電極対をセルに押しつけると、図１（ａ）に
相当するセルパターンの場合、電極対Ｐ1が短絡状態と
なる。そこでリレーＳ１が動作し、遅延タイマーＴ1を
起動する。Ｔ1はパターン検出完了を意味しており、一
定時間の後に電極対Ｐ1，Ｐ２を切り離す。この時Ｓ１
は自己保持されるので、測定用電極Ｉ１，Ｖ１が測定回
路との接続を保持する。
明する。各電極対をセルに押しつけると、図１（ａ）に
相当するセルパターンの場合、電極対Ｐ1が短絡状態と
なる。そこでリレーＳ１が動作し、遅延タイマーＴ1を
起動する。Ｔ1はパターン検出完了を意味しており、一
定時間の後に電極対Ｐ1，Ｐ２を切り離す。この時Ｓ１
は自己保持されるので、測定用電極Ｉ１，Ｖ１が測定回
路との接続を保持する。
【００４７】Ｔ1は同時に遅延タイマーＴ２を起動し測
定完了を待つ。測定が完了すると測定用電極対はセルか
ら離れるので、Ｐ1，Ｐ２，Ｉ１，Ｉ２，Ｖ1，Ｖ２はす
べて回路から切り離される。そこでＴ２がタイムアップ
してＳ１の自己保持を解除して初期状態に戻る。図１
（ｂ）に相当するセルパターンの場合も同様である。こ
のようにしてセルパターンを自動検知して自動連続測定
が可能となる。
定完了を待つ。測定が完了すると測定用電極対はセルか
ら離れるので、Ｐ1，Ｐ２，Ｉ１，Ｉ２，Ｖ1，Ｖ２はす
べて回路から切り離される。そこでＴ２がタイムアップ
してＳ１の自己保持を解除して初期状態に戻る。図１
（ｂ）に相当するセルパターンの場合も同様である。こ
のようにしてセルパターンを自動検知して自動連続測定
が可能となる。
【００４８】ところで、図８に示したＳＣＡＦ型薄膜太
陽電池においては、図３に示すように、ハッチングで示
したセルパターンの外側に太陽電池セルとは切り離され
独立した外側電極が存在する。これは外部との電気的絶
縁を確実にするために設けられた領域である。ここにパ
ターン検出用電極対を配置することにより、前述と同様
に自動切替回路を構成することができる。
陽電池においては、図３に示すように、ハッチングで示
したセルパターンの外側に太陽電池セルとは切り離され
独立した外側電極が存在する。これは外部との電気的絶
縁を確実にするために設けられた領域である。ここにパ
ターン検出用電極対を配置することにより、前述と同様
に自動切替回路を構成することができる。
【００４９】この電極領域はセルパターンとは絶縁され
ているために、セル特性の測定中もパターン検出用電極
対を切り離す必要がなく、パターン検出用のリレーＳ
１，Ｓ２を保持できる。そのため自動切替回路も、図５
に示すように簡単な回路でよい。
ているために、セル特性の測定中もパターン検出用電極
対を切り離す必要がなく、パターン検出用のリレーＳ
１，Ｓ２を保持できる。そのため自動切替回路も、図５
に示すように簡単な回路でよい。
【００５０】この方式は、セルパターン領域と外側電極
とが確実に絶縁されていることが前提であり、場合によ
っては、図４に示すように、２重のパターニングライン
を設ける。
とが確実に絶縁されていることが前提であり、場合によ
っては、図４に示すように、２重のパターニングライン
を設ける。
【００５１】
【発明の効果】この発明によれば前述のように、電気絶
縁性を有する基板の表面に下電極層としての第１電極
層，光電変換層，透明電極層（第２電極層）を順次積層
してなる光電変換部と、前記基板の裏面に形成した接続
電極層としての第３電極層および第４電極層とを備え、
前記光電変換部および接続電極層を互いに位置をずらし
て単位部分にパターニングしてなり、前記光電変換層形
成領域内に形成した接続孔ならびに集電孔を介して、前
記表面上の互いにパターニングされて隣合う単位光電変
換部分（ユニットセル）を電気的に直列に接続してなる
薄膜太陽電池と、この太陽電池の電力取り出し用の電力
取出電極層とを有する薄膜太陽電池群を、長尺基板の長
尺方向に所定の間隔をおいて複数形成した前記各薄膜太
陽電池群のセル特性を連続的に自動測定する場合におい
て、基板搬送手段と、模擬光照射手段と、セル特性測定
手段とを備え、さらに、セルパターン検出用の２組の電
極対（Ｐ１およびＰ２）と、セル特性測定用の２組の電
極対（Ｍ１およびＭ２）と、前記電極対（Ｐ１およびＰ
２）のいずれか一方が短絡した際に接続動作するリレー
と、このリレーの接続動作により、セル特性測定用電極
対（Ｍ１およびＭ２）のいずれか一方と前記セル特性測
定手段とを接続する回路とを備えるものとし、電力取出
電極層または取出電極層に隣接した接続電極層に、セル
パターン検出用電極対を当接し、この電極対の短絡もし
くは非短絡の検出により、セルパターンを判定し、前記
セルパターンの判定結果に応じて、セル特性測定用電極
対を選択することとしたので、同一の長尺フィルム基板
上に異なるセルパターンが存在する場合であっても、太
陽電池セル特性の連続自動測定が可能な測定方法および
装置を提供することができる。
縁性を有する基板の表面に下電極層としての第１電極
層，光電変換層，透明電極層（第２電極層）を順次積層
してなる光電変換部と、前記基板の裏面に形成した接続
電極層としての第３電極層および第４電極層とを備え、
前記光電変換部および接続電極層を互いに位置をずらし
て単位部分にパターニングしてなり、前記光電変換層形
成領域内に形成した接続孔ならびに集電孔を介して、前
記表面上の互いにパターニングされて隣合う単位光電変
換部分（ユニットセル）を電気的に直列に接続してなる
薄膜太陽電池と、この太陽電池の電力取り出し用の電力
取出電極層とを有する薄膜太陽電池群を、長尺基板の長
尺方向に所定の間隔をおいて複数形成した前記各薄膜太
陽電池群のセル特性を連続的に自動測定する場合におい
て、基板搬送手段と、模擬光照射手段と、セル特性測定
手段とを備え、さらに、セルパターン検出用の２組の電
極対（Ｐ１およびＰ２）と、セル特性測定用の２組の電
極対（Ｍ１およびＭ２）と、前記電極対（Ｐ１およびＰ
２）のいずれか一方が短絡した際に接続動作するリレー
と、このリレーの接続動作により、セル特性測定用電極
対（Ｍ１およびＭ２）のいずれか一方と前記セル特性測
定手段とを接続する回路とを備えるものとし、電力取出
電極層または取出電極層に隣接した接続電極層に、セル
パターン検出用電極対を当接し、この電極対の短絡もし
くは非短絡の検出により、セルパターンを判定し、前記
セルパターンの判定結果に応じて、セル特性測定用電極
対を選択することとしたので、同一の長尺フィルム基板
上に異なるセルパターンが存在する場合であっても、太
陽電池セル特性の連続自動測定が可能な測定方法および
装置を提供することができる。
【図１】この発明の実施例に関わる各電極対の配置図
【図２】この発明の実施例に関わる電極対の自動切替回
路図
路図
【図３】この発明の実施例に関わる各電極対の異なる配
置図
置図
【図４】この発明の実施例に関わる各電極対の異なる配
置図
置図
【図５】この発明の実施例に関わる電極対の異なる自動
切替回路図
切替回路図
【図６】太陽電池セル特性の連続自動測定装置の概略構
成図
成図
【図７】長尺基板上に複数個の薄膜太陽電池群が形成さ
れた一例の概略構成の模式的平面図
れた一例の概略構成の模式的平面図
【図８】ＳＣＡＦ型薄膜太陽電池の構成を示す図
【図９】ＳＣＡＦ型薄膜太陽電池の概略構成を示す斜視
図
図
【図１０】薄膜太陽電池の製造プロセスおよび各種装置
の概要を示す図
の概要を示す図
２０ａ，２０ｂ：薄膜太陽電池群、２１：ユニットセ
ル、２２：電力取出電極層、Ｉ１，Ｉ２：電流測定用電
極、Ｍ１，Ｍ２：セル特性測定用電極対、Ｐ１，Ｐ２：
セルパターン検出用電極対、Ｖ１，Ｖ２：電圧測定用電
極。
ル、２２：電力取出電極層、Ｉ１，Ｉ２：電流測定用電
極、Ｍ１，Ｍ２：セル特性測定用電極対、Ｐ１，Ｐ２：
セルパターン検出用電極対、Ｖ１，Ｖ２：電圧測定用電
極。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G003 AA06 AB01 AH04 4M106 AA01 AD00 AD01 BA01 BA04 CA01 CA02 CA04 CA17 5F051 AA05 BA14 CA15 CB15 DA04 EA09 EA10 EA11 EA16 FA02 FA06 FA14 GA03 GA05 KA09 KA10
Claims (6)
- 【請求項１】 電気絶縁性を有する基板の表面に下電極
層としての第１電極層，光電変換層，透明電極層（第２
電極層）を順次積層してなる光電変換部と、前記基板の
裏面に形成した接続電極層としての第３電極層および第
４電極層とを備え、前記光電変換部および接続電極層を
互いに位置をずらして単位部分にパターニングしてな
り、前記光電変換層形成領域内に形成した接続孔ならび
に集電孔を介して、前記表面上の互いにパターニングさ
れて隣合う単位光電変換部分（ユニットセル）を電気的
に直列に接続してなる薄膜太陽電池と、この太陽電池の
電力取り出し用の電力取出電極層とを有する薄膜太陽電
池群を、長尺基板の長尺方向に所定の間隔をおいて複数
形成した前記各薄膜太陽電池群のセル特性を連続的に自
動測定する方法において、以下の１）ないし６）の工程
を含むことを特徴とする太陽電池セル特性の連続自動測
定方法。 １）薄膜太陽電池群が形成された基板を所定位置に搬送
する工程。 ２）前記基板の太陽電池の受光面側に、太陽の模擬光を
照射する工程。 ３）前記基板の太陽電池の非受光面側における電力取出
電極層または取出電極層に隣接した接続電極層に、セル
パターン検出用電極対を当接し、この電極対の短絡もし
くは非短絡の検出により、セルパターンを判定する工
程。 ４）前記セルパターンの判定結果に応じて、セル特性測
定用電極対を選択する工程。 ５）前記選択されたセル特性測定用電極対により、セル
特性を測定する工程。 ６）前記セル特性測定完了後、隣接する次の薄膜太陽電
池群を測定するために、基板を所定位置に搬送する工
程。 - 【請求項２】 請求項１記載の測定方法を実施するため
の測定装置であって、基板搬送手段と、模擬光照射手段
と、セル特性測定手段とを備え、さらに、セルパターン
検出用の２組の電極対（Ｐ１およびＰ２）と、セル特性
測定用の２組の電極対（Ｍ１およびＭ２）と、前記電極
対（Ｐ１およびＰ２）のいずれか一方が短絡した際に接
続動作するリレーと、このリレーの接続動作により、セ
ル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）のいずれか一方
と前記セル特性測定手段とを接続する回路とを備えるこ
とを特徴とする太陽電池セル特性の連続自動測定装置。 - 【請求項３】 請求項２記載の測定装置において、前記
セル特性測定用電極対と前記セル特性測定手段との接続
を自己保持するための遅延タイマーを備えることを特徴
とする太陽電池セル特性の連続自動測定装置。 - 【請求項４】 請求項３記載の測定装置において、前記
セル特性測定手段における所定の測定時間を確保するた
めに、前記遅延タイマーによって駆動される第２の遅延
タイマーを備えることを特徴とする太陽電池セル特性の
連続自動測定装置。 - 【請求項５】 請求項２記載の測定装置において、前記
セルパターン検出用の２組の電極対（Ｐ１およびＰ２）
は、それぞれ互いに直交配置し、かつ前記セル特性測定
用電極対（Ｍ１およびＭ２）は、それぞれ互いに直交配
置してなり、さらに、前記各電極対の対間距離は、前記
ユニットセルのパターニング幅と同一としてなることを
特徴とする太陽電池セル特性の連続自動測定装置。 - 【請求項６】 請求項５記載の測定装置において、前記
セル特性測定用電極対（Ｍ１およびＭ２）は、それぞ
れ、電流測定用電極（Ｉ１およびＩ２）と電圧測定用電
極（Ｖ１およびＶ２）とを備えることを特徴とする太陽
電池セル特性の連続自動測定装置。
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|---|---|---|---|
| JP2001069841A JP4461625B2 (ja) | 2001-03-13 | 2001-03-13 | 太陽電池セル特性の連続自動測定方法および装置 |
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| JP2001069841A JP4461625B2 (ja) | 2001-03-13 | 2001-03-13 | 太陽電池セル特性の連続自動測定方法および装置 |
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| JP2002270873A true JP2002270873A (ja) | 2002-09-20 |
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- 2001-03-13 JP JP2001069841A patent/JP4461625B2/ja not_active Expired - Fee Related
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