JP2002258315A - アレイ基板、及びこれを用いる液晶表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 画素領域８２の信号線３１または走査線か
ら外側の画像非表示領域８１に引き出された引き出し配
線６が、冗長配線構造を形成するための第１配線（下層
配線）１５と第２配線（上層配線）３５とを備えるアレ
イ基板、またはこれを用いる液晶表示装置において、製
造のためのパターニング工程を少なくできる構造とした
ままで、シール材領域８３より外にある、引き出し配線
６の外側端６１の個所での短絡の発生を防止する。 【解決手段】引き出し配線６の外側端６１の個所では、
第１配線１５の外側端幅広部１５ａと、第２配線３５の
外側端幅広部３５ａとが、ゲート絶縁膜１７を挟んで重
ね合わされる。リペアが必要な際には、該外側端６１に
レーザーを照射することにより、この個所で第１配線１
５と第２配線３５とを接合する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、平面表示装置用の
アレイ基板、及びこれを用いた液晶表示装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＣＲＴディスプレイに代わる平面
型の表示装置が盛んに開発されており、中でも液晶表示
装置は軽量、薄型、低消費電力、目の疲れの少なさ等の
利点から特に注目を集めている。

【０００３】例えば、各表示画素毎にスイッチ素子が配
置された光透過型のアクティブマトリクス型の液晶表示
装置を例にとり説明する。アクティブマトリクス型液晶
表示装置は、アレイ基板と対向基板との間に配向膜を介
して液晶層が保持されて成っている。液晶層は、四周か
らシール材により封止されている。

【０００４】アレイ基板は、ガラスや石英等の透明絶縁
基板上に複数本の信号線と走査線とが格子状に配置さ
れ、各交点部分にアモルファスシリコン（以下、ａ−Ｓ
ｉ：Ｈと略称する。）等の半導体薄膜を用いた薄膜トラ
ンジスタ（以下、ＴＦＴと略称する。）が接続されてい
る。そしてＴＦＴのゲート電極は走査線に、ドレイン電
極は信号線にそれぞれ電気的に接続され、さらにソース
電極は画素電極を構成する透明導電材料、例えばＩＴＯ
(Indium-Tin-Oxide)に電気的に接続されている。

【０００５】対向基板は、ガラス等の透明絶縁基板上
に、マトリクス状またはストライプ状の金属遮光層のパ
ターン（ブラックマトリクス）、及びＩＴＯから成る対
向電極が配置される。またカラー表示を実現するのであ
ればカラーフィルタ層が配置されて構成されている。

【０００６】ここで、通常、上記ゲート電極及び走査線
の上には、その上方の半導体層等とを絶縁するために、
酸化シリコンからなる第１ゲート絶縁膜が配されてお
り、さらに窒化シリコンからなる第２ゲート絶縁膜が配
されている。また、上記透明導電材料の層と信号線等の
金属配線層との間には、窒化シリコンからなる層間絶縁
膜が配されている。

【０００７】このようなアクティブマトリクス液晶表示
装置の製造コストを低減する上で、アレイ基板製造のた
めの工程数が多く、そのためアレイ基板のコスト比率が
高いという問題があった。

【０００８】そこで、特願平８−２６０５７２号におい
ては、画素電極を最上層に配置し、これに伴い信号線、
ソース、ドレイン電極と共に、半導体被膜等を同一のマ
スクパターンに基づいて一括してパターニングを行った
後、ソース電極と画素電極とを接続するソース電極用コ
ンタクトホールの作製と共に、信号線や走査線の接続端
を露出するための外周部コンタクトホールの作製を同時
に行うことが提案されている。

【０００９】ここで、アレイ基板の周縁部に形成される
接続パッド部から信号線及び走査線の端部へと延びる引
出し配線（斜め配線）が、冗長配線構造となっている。
詳しくは、走査線と同時に形成される第１導電層と、信
号線と同時に形成される第２導電層とが絶縁膜を介して
重なり合うように配置される。そして、引出し配線の両
端において外周部コンタクトホールによりこれら第１及
び第２導電層が互いに導通している。

【００１０】この外周部コンタクトホールは、詳しく
は、第１導電層を露出させる第１コンタクトホールと、
第２導電層を露出させる第２コンタクトホールとからな
り、これらコンタクトホールに橋を架けるようにコンタ
クト用導電層が配置される。このコンタクト用導電層
は、画素電極と同時に形成される導電層である。

【００１１】しかし、上記のような構造の液晶表示装置
であると、図９に示すような問題点があった。

【００１２】液晶表示装置の外周部において、アレイ基
板１が対向基板９１から突き出して棚状の接続領域１ｂ
をなしており、この部分に外部駆動系統からアレイ基板
１への信号入力を行うためのパッド１２が配列される。
また、対向基板９１の端縁８４に近い部分とアレイ基板
１との間にシール材９２が配置される。

【００１３】一般に、引き出し配線６の内側端６２がシ
ール材９２の内側に配置され、引き出し配線６の外側端
６１は、シール材９２の外側に配置される。斜め配線を
なす引き出し配線６を配置するにはある程度の幅が必要
なため、引き出し配線６の外側端６１をこのようにシー
ル材９２の外側に配置しないならば、画像非表示領域
（額縁領域）の寸法が大きくなってしまう。

【００１４】一方、アレイ基板１及び対向基板９１の液
晶９５側の表面を覆う配向膜９４は、一般に、シール材
９２より内側の領域に配置される。シール材９２と基板
１，９１との接着・シール性等の問題があるからであ
る。

【００１５】そのため、引出し配線６の外側端６１にあ
るコンタクト用導電層５１、すなわち、この個所でコン
タクトホール４１，４２を覆うコンタクト用導電層５１
は、アレイ基板１の周縁部で外気に対して露出する。な
お、このコンタクト用導電層５１は、通常、対向基板９
１の端縁８４より内側に位置する。

【００１６】したがって、隣り合う引出し配線６の外側
端６１に掛け渡されるように導電性異物が付着した場合
には、コンタクト用導電層５１を介してこれら引き出し
配線６の間に短絡が生じ、これら引き出し配線６に係る
信号線３１または走査線に沿って線状の表示不良（線欠
不良）が生じる。

【００１７】また、対向基板９１に金属からなる遮光層
９１ａが設けられている場合、飛び散ったハンダの粒子
といった導電性の異物がシール材９２外側の間隙に挟ま
ってコンタクト用導電層５１と金属遮光層９１ａとを短
絡させることがある。このとき、アレイ基板１上の信号
線３１等と対向基板９１の対向電極層９１ｂとの間で短
絡が生じ、同様に、線状の表示不良が生じる。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
に鑑みなされたものであり、画素領域の信号線または走
査線から外側の画像非表示領域に引き出された引き出し
配線が、冗長配線構造を形成するための上層配線と下層
配線とを備えるアレイ基板において、引き出し配線の外
側端の個所での短絡の発生を防止することができるアレ
イ基板を提供するものである。また、このような液晶表
示装置を提供するものである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】請求項１のアレイ基板
は、絶縁基板上に、略平行に配列される走査線、これに
略直行して配列される信号線、及び、これら走査線及び
信号線の交点ごとにマトリクス状に配置される画素電極
を備える画素領域と、前記走査線から前記画素領域の外
側へと引き出された走査線引き出し配線、前記信号線か
ら前記画素領域の外側へと引き出された信号線引き出し
配線、及び外部駆動系統との接続パッドを備える画像非
表示領域とが形成され、前記走査線を含む第１導電層、
この第１導電層を覆う第１絶縁層、前記信号線を含む第
２導電層、この第２導電層を覆う第２絶縁層、前記画素
電極を含む第３導電層がこの順に配され、前記走査線引
き出し配線または前記信号線引き出し配線には、冗長配
線構造をなすための、前記第１導電層からなる第１配線
と、前記第２導電層からなる第２配線とが備えられるア
レイ基板において、前記走査線引き出し配線の外側端、
または前記信号線引き出し配線の外側端には、前記第１
配線と前記第２配線とが、これらを互いに絶縁する前記
第１絶縁層を介して重ね合わされて、レーザー照射によ
るこれら配線間の接合を可能にする接合用重ね合わせ部
が設けられることを特徴とする。

【００２０】上記構成により、アレイ基板の製造のため
の工程及びコストを増大させることなく、引き出し配線
の外側端の個所に関係した短絡の発生を確実に防止する
ことができる。

【００２１】請求項２のアレイ基板は、前記接合用重ね
合わせ部を外側端に有する引き出し配線の内側端で、前
記第１配線と前記第２配線とは、前記第１及び第２絶縁
層を貫き前記第１導電層を露出させる第１コンタクトホ
ールと、前記第２絶縁層を貫き前記第２導電層を露出さ
せる第２コンタクトホールと、これら第１及び第２コン
タクトホールの領域を覆い、これら第１導電層及び第２
導電層を互いに電気的に導通させる、前記第３導電層に
含まれる導電層とにより電気的に接続されていることを
特徴とする。

【００２２】このような構成であると、引き出し配線の
断線が発見された場合に、引き出し配線の外側端の個所
のみにおいて、第１配線と第２配線とをレーザー照射に
より導通させれば良い。

【００２３】請求項３のアレイ基板は、前記接合用重ね
合わせ部を外側端に有する引き出し配線にあって、その
内側端の近傍及び外側端の近傍には、前記第１配線と前
記第２配線とが平面位置において互いに離間され、これ
ら第１配線及び第２配線のいずれかを選択的にレーザー
により切断可能な選択切断用離間部が備えられることを
特徴とする。

【００２４】このような構成であると、隣り合う引き出
し配線間での短絡が発見された場合に、容易にリペアを
行うことができる。

【００２５】

【発明の実施の形態】実施例のアレイ基板及びこれを用
いる液晶表示装置について、図１〜８を用いて説明す
る。

【００２６】図１は、アレイ基板の要部の構成を示す模
式的な平面図である。図２は、引き出し配線の外側端に
ついての積層断面図（図１のII-II断面）であり、図３
は、引き出し配線の内側端についての積層断面図（図１
のIII-III断面）である。

【００２７】アレイ基板１の画素領域８２には、略平行
に配列される複数の走査線１１と、ゲート絶縁膜１７を
介してこれに略直交して配列される複数の信号線３１
と、これらに沿ってマトリクス状に配列される画素電極
５２とが備えられる。また、下層の走査線１１と上層の
信号線３１との各交点の付近には、走査線１１に印加さ
れる走査パルスにしたがい信号線３１から画素電極５２
への信号入力をスイッチングするためのＴＦＴ７が配置
されている。

【００２８】走査線１１、及びＴＦＴ７のゲート電極１
１ａが、モリブデン−タングステン合金膜（ＭｏＷ膜）
またはアルミニウム合金膜等で形成される第１導電層か
らなり、これを覆うゲート絶縁膜１７（図２〜３中に示
す）が、窒化シリコン膜または酸化シリコン膜等の無機
酸化物材料からなる。また、信号線３１、及びＴＦＴ７
のドレイン及びソース電極３２，３３が、アルミニウム
の単体または合金等で形成される第２導電層から成り、
画素電極５２が、ＩＴＯ等で形成される第３導電層から
なる。

【００２９】画素領域８２を囲む画像非表示領域（額縁
領域）８１には、アレイ基板１の端縁１ａに沿って、外
部駆動系統から駆動信号及び駆動電力を供給するための
パッド部１２が配列されている。また、各信号線３１及
び各走査線１１から引き出されて各パッド部１２に至る
引き出し配線６が配置される。引き出し配線６は、通
常、ＴＣＰ（テープキャリアパッケージ）、またはＣＯ
Ｇ方式の駆動ＩＣごとに、これらの接続端子群に向かっ
てまとめられるので、中心部以外では信号線３１または
走査線１１に対して傾斜した「斜め配線」となる。

【００３０】各引き出し配線６は、第１導電層からなる
第１配線（下層配線）１５と第２導電層からなる第２配
線（上層配線）３５との冗長配線構造をなすように配置
されている。但し、各引き出し配線６は、内側端６２の
みにおいて第１配線１５と第２配線３５との導通が行わ
れている。引き出し配線６の構成について、以下に詳述
する。

【００３１】図３及び図１中に示すように、引き出し配
線６の内側端６２では、第１配線１５を露出させる第１
コンタクトホール４１と、第２配線３５を露出させる第
２コンタクトホール４２と、これらの間に掛け渡された
コンタクト用導電層（ＩＴＯ）５１とにより、第１配線
１５の内側端幅広部１５ｂと、第２配線３５の内側端幅
広部３５ｂとが電気的に接続されている。なお、これら
幅広部１５ｂ，３５ｂは、図示の例で、アレイ基板１の
端縁１ａに沿った方向に並んでいる。

【００３２】図２及び図１中に示すように、各引き出し
配線６の外側端６１では、第１配線１５の外側端幅広部
１５ａと、第２配線３５の外側端幅広部３５ａとが、ゲ
ート絶縁膜１７を介して重ね合わされているのみで、第
１配線１５と第２配線３５との間の導通は行われていな
い。しかし、アレイ基板１のリペアの際に、線欠不良が
発見された引き出し配線６の外側端６１において、第１
配線１５の外側端幅広部１５ａと、第２配線３５の外側
端幅広部３５ａとのレーザーによる接合が行われる。す
なわち、リペアの必要が発見された場合にのみ、レーザ
ー照射により、第１配線１５の外側端幅広部１５ａと、
第２配線３５の外側端幅広部３５ａとを互いに導通させ
る。

【００３３】図示のようにパッド部１２が第１導線層か
ら形成される場合、リペアを行わない通常の状態では、
第１配線１５のみが、信号等をパッド部から画素領域へ
と伝達する引き出し配線６としての役割を担っている。

【００３４】図４には、リペアのための、引き出し配線
６の外側端６１におけるレーザーによる接合の様子につ
いて模式的に示す。

【００３５】アレイ基板１の検査工程において、引き出
し配線６の断線が発見されたときに、断線にかかる引き
出し配線６の外側端６１にて、該外側端６１の略中心部
に向けてレーザー照射を行う。この強度の大きいレーザ
ー照射が行われる略中心部では、層間絶縁膜４、第２配
線３５の層、及びゲート絶縁膜１７の材料が揮散して、
コンタクトホールが形成される。また、同時に、このま
わりにある第２配線３５の金属が溶融してこのコンタク
トホールを覆う。これにより、図示のようなレーザーに
よる接合部６５が形成される。

【００３６】このようなレーザーによる接合部６５によ
り、第２配線３５の外側端が、第１配線３５の外側端幅
広部３５ａを介してパッド部配線１３に電気的に接続さ
れ、これにより、第２配線３５を通じた信号線３１とパ
ッド部１２との導通が行われる。

【００３７】この第２配線３５及び信号線３１を含む第
２導電層は、画像信号の劣化を防止すべく、低抵抗率で
あるアルミニウムの合金または単体金属が多く用いられ
ており、このアルミニウム系金属のような低融点金属で
あれば、レーザー照射による接合を容易に行うことがで
きる。

【００３８】図５には、隣り合う引き出し配線６間の短
絡が発見された場合のリペア後の様子をしめす。必要な
個所での、上記のレーザーによる接合と、レーザーによ
る切配線の切断を行っている。

【００３９】まず、引き出し配線６中に設けられた「シ
ョートリペア部」６１，６２、すなわち配線切断用の個
所について説明する。

【００４０】図５及び図１中に示すように、引き出し配
線６の冗長配線である第２配線３５は、外側端６１及び
内側端６２に近接した個所にて、第２配線３５が直線状
の第１配線１５から横に逸れている。すなわち、第１配
線１５と第２配線３５とが基板上の平面位置において互
いに離間されて配置された外側ショートリペア部６３及
び内側ショートリペア部６４がそれぞれ設けられ、これ
により、第１配線１５及び第２配線３５のいずれかをレ
ーザーにより選択的に切断することができるようにされ
ている。

【００４１】図示の例において、外側ショートリペア部
６３では、第２配線３５が第１配線１５のなす直線から
膨出するコの字状の迂回部３５ｃをなしている。一方、
内側ショートリペア部６４では、第２配線３５が、直線
状の第１配線１５からＬ字状に枝分かれしている。内側
ショートリペア部６４で内側に向かって枝分かれした第
１配線１５と第２配線３５とは、それぞれがその内側端
で、幅広部１５ｂ及び３５ｂをなしており、これらが、
図３を用いて既に説明したように、コンタクトホール４
１，４２及び接続用導電層５１を介して電気的に接続さ
れている。

【００４２】次に、図５に示す、短絡のリペアの操作に
ついて説明する。

【００４３】アレイ基板１の検査工程にて隣り合う引き
出し配線６-1，-2間のショートが発見されたときには、
一の引き出し配線６-1の第２配線３５-1を、外側及び内
側ショートリペア部６３-1，６４-1にてレーザーにより
切断するとともに、その隣の引き出し配線６-2の第１配
線１５-2を、外側及び内側ショートリペア部６３-2，６
４-2にてレーザーにより切断する。

【００４４】ここで、図５中に示すように、隣り合う引
き出し配線６-1，-2についての外側及び内側ショートリ
ペア部６３-1，-2同士、及び内側ショートリペア部６４
-1，-2同士が、互いに近接して配置される。特には、各
ショートリペア部６３-2，６４-2において、一の引き出
し配線６-1の第２配線３５-1と、隣の引き出し配線６-2
の第１配線１５-2とが近接するように配置され、これら
の間には他の配線が配置されない。したがって、図示の
ように、これら近接して配置される配線１５-2，３５-1
を、レーザー光線を走査する一回の切断操作により、容
易に切断することができる。

【００４５】レーザーを用いるこのような切断操作によ
り、隣り合う引き出し配線６-1，-2が、第１配線１５-
1，-2間で短絡している場合、及び、第２配線３５-1，-
2間で短絡している場合のいずれの場合にも短絡が解消
する。

【００４６】引き出し配線６-1，-2間の短絡のリペアの
ためには、このようなレーザーによる配線１５-2，３５
-1の切断の後、前記隣の引き出し配線６-2、すなわち第
１配線１５を切断した方の引き出し配線６-2について、
外側端６１-2でのレーザーによる接合を行う。この接合
は、図４を用いて既に説明したのと同様である。

【００４７】このようなレーザーによる配線１５-2，３
５-1の切断、及び内側端６１-2でのレーザーによる接合
の操作により、隣り合う引き出し配線６-1，-2間の短絡
経路が除かれるとともに、必要な電気的接続が行われ
る。

【００４８】なお、上記において、外側端６１の側での
第２配線３５-1の切断を省いても問題はない。しかし、
隣の引き出し配線６-2の外側端６１-2でレーザーによる
接合を行う際に、上記一の引き出し配線６-1の外側端６
１-1でもレーザーによる接合が部分的に行われる可能性
もあるので、上記のように切断しておく方が望ましい。

【００４９】以上の説明においては、信号線３１に連続
する引き出し配線６のみについて説明したが、走査線１
１に連続する引き出し配線６についても全く同様であ
る。

【００５０】次に、具体的な実施例にかかるアレイ基板
１の製造方法について、図６〜８を用いて説明する。以
下においてフォトマスクを用いる各パターニング工程を
「ＰＥＰ」(Photo Engraving Process)と呼ぶ。

【００５１】(1) 第１ＰＥＰ：モリブデン−タングス
テン合金（Ｍｏ−Ｗ）等の金属薄膜（第１導電層）をス
パッタリングにより堆積する。この後、パターニングに
より、画素領域８２において走査線１１と、ＴＦＴ７の
ゲート電極１１ａとを作成するとともに、画像非表示領
域８１において、引き出し配線６の第１配線（下層配
線）１５、パッド部１２、及び、パッド部配線１３を作
成する。走査線１１から引き出される引き出し配線６の
個所では、走査線１１の一端に第１配線１５が連続す
る。

【００５２】第１導電層は、アルミニウム金属または合
金（例えばネオジム添加アルミニウム(Al-Nd)）でも良
く、また、アルミニウム系金属とモリブデン−タングス
テン合金（Ｍｏ−Ｗ）等との積層膜であっても良い。

【００５３】(2) 第２ＰＥＰ：まず、走査線等を被覆
するゲート絶縁膜１７と、ＴＦＴ活性層をなすためのア
モルファスシリコン（a-Si）等の半導体層３４と、ＴＦ
Ｔのチャネル保護膜をなす絶縁層とが、この順に連続し
て堆積される。そして、パターニングにより島状のチャ
ネル保護膜を形成する。

【００５４】(3) 第３ＰＥＰ：アルミニウム金属また
は合金（例えばネオジム添加アルミニウム）等からなる
金属層（第２導電層）がスパッタリングにより堆積され
る。そして、この金属層と半導体層３４とを、一つのマ
スクパターンにより一括してパターニングすることで、
画素領域８２にて信号線３１、及び、ＴＦＴ７のソース
・ドレイン電極３２，３３を作成するとともに、画像非
表示領域８１にて、引き出し配線６の第２配線６２を作
成する。信号線３１から引き出される引き出し配線６の
個所では、信号線３１の一端に第２配線３５が連続す
る。

【００５５】(4) 第４ＰＥＰ：窒化シリコン膜からな
る層間絶縁膜４が堆積されて、第２導電層のパターンを
覆う。この後、パターニングにより、画素領域８２に
て、ＴＦＴ７のソース電極３３の上面を露出させるコン
タクトホールを作成する。また、画像非表示領域８１に
て、第１配線１５の内側端幅広部１５ｂ、及び第２配線
３５の内側端幅広部３５ｂを、それぞれ露出させ第１及
び第２コンタクトホール４１，４２を作成する。

【００５６】(5) 第５ＰＥＰ：ＩＴＯ膜等の透明導電
層が堆積した後、パターニングにより、画素領域８２に
て画素電極５２を作成する。これと同時に、各引き出し
配線６の内側端６２の個所を覆う島状のコンタクト用導
電層５１を作成する。

【００５７】この後、配向膜が形成されてアレイ基板１
が完成する。

【００５８】液晶表示装置を作成するためには、アレイ
基板１または対向基板の所定領域にシール材を塗布して
から両基板を貼り合わせ、シール材の硬化後に液晶材料
をこれらの間に注入する。そして、ＴＣＰ等の出力側端
子をパッド部１２に電気的かつ機械的に接続させた後、
外部駆動回路系統と、各ＴＣＰ等の入力側端子との接続
を行う。

【００５９】以上に説明した実施例によると、引き出し
配線の外側端の個所で導電層が露出することがないた
め、このような導電層に起因する引き出し配線間等の短
絡が生じることがない。また、アレイ基板の検査工程前
における製造工程を全く増加させるものでく、検査後の
リペア工程でレーザーによる接合の操作を付加するだけ
である。そのため、アレイ基板の製造のためのコストや
作業量をほとんど増大させることがない。

【００６０】上記実施例によると、また、ＴＣＰが異方
性導電膜（ＡＣＦ）を介してアレイ基板１の外周部に接
続する場合に、リペアのためにＴＣＰを引き剥がして
も、引き出し配線の外側端にあるコンタクト用導電層が
ＡＣＦに引きずられて剥がれるというトラブルが生じな
い。液晶表示装置の点灯検査によりＴＣＰの駆動ＩＣに
不良が発見された場合、またはＴＣＰの貼り付け位置が
ずれてしまった場合などにＴＣＰを引き剥がす必要があ
るが、本実施例の液晶表示装置では、コンタクト用導電
層の剥がれに起因して引き出し配線の冗長配線構造が失
われるということが生じない。

【００６１】上記実施例では、信号線側の引き出し配
線、及び走査線側の引き出し配線のいずれもが、第１及
び第２配線による冗長構造を有し、これら全ての外側端
にレーザーにより接合可能な接合用重ね合わせ部が設け
られるとして説明したが、信号線側のみ、または走査線
側のみに接合用重ね合わせ部が設けられるのであっても
良い。

【００６２】また、引き出し配線６の外側端６１を対向
基板の縁８４の真下、又は、外側に設けても良い。ま
た、図５に示す配線形状に代えて、第１配線１５をコの
字状とし、第２配線３５を直線状にしても良い。

【００６３】

【発明の効果】画素領域の信号線または走査線から外側
の画像非表示領域に引き出された引き出し配線が、冗長
配線構造を形成するための上層配線と下層配線とを備え
るアレイ基板、またはこれを用いる液晶表示装置におい
て、引き出し配線の外側端の個所での短絡の発生を防止
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例に係るアレイ基板の要部の構成を示す模
式的な平面図である。

【図２】実施例に係る引き出し配線の外側端についての
積層断面図（図１のII-II断面）である。

【図３】実施例に係る引き出し配線の内側端についての
積層断面図（図１のIII-III断面）である。

【図４】リペアのための、引き出し配線の外側端でのレ
ーザーによる接合について示す、図２に対応する積層断
面図である。

【図５】引き出し配線間の短絡のリペアについて説明す
るための、引き出し配線の平面図である。

【図６】実施例のアレイ基板を製造するための第１のパ
ターニング工程後の様子を示す、図１に対応する平面図
である。

【図７】実施例のアレイ基板を製造するための第３のパ
ターニング工程後の様子を示す、図１に対応する平面図
である。

【図８】実施例のアレイ基板を製造するための第５のパ
ターニング工程後の様子を示す、図１に対応する平面図
である。

【図９】従来例のアレイ基板及び液晶表示装置の要部を
示す模式的な断面斜視図である。

【符号の説明】 １ アレイ基板 11 走査線 12 パッド部 13 パッド部配線 15 引き出し配線６の第１配線（下層配線） 15a 第１配線15の外側端幅広部 15b 第１配線15の内側端幅広部 15c コの字状迂回部 31 信号線 35 引き出し配線６の第２配線（上層配線） 35a 第２配線35の外側端幅広部 35b 第２配線35の内側端幅広部 41 第１配線15の内側端幅広部15bを露出させるコンタ
クトホール 42 第２配線35の内側端幅広部35bを露出させるコンタ
クトホール ６ 引き出し配線（斜め線） 61 引き出し配線６の外側端 62 引き出し配線６の内側端 63 外側ショートリペア部 64 内側ショートリペア部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/3205 Ｈ０１Ｌ 21/88 Ｚ Ｆターム(参考） 2H092 JA26 JB74 MA30 MA52 NA12 NA16 PA06 5C094 AA42 AA43 AA44 BA03 BA43 CA19 DA15 EA04 EA07 GB10 5F033 GG04 HH08 HH10 HH19 HH20 HH38 JJ38 KK08 KK10 KK19 KK20 MM05 PP15 QQ37 QQ53 QQ54 RR04 RR06 VV00 VV06 VV07 XX36

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】絶縁基板上に、略平行に配列される走査
   線、これに略直行して配列される信号線、及び、これら
   走査線及び信号線の交点ごとにマトリクス状に配置され
   る画素電極を備える画素領域と、 前記走査線から前記画素領域の外側へと引き出された走
   査線引き出し配線、前記信号線から前記画素領域の外側
   へと引き出された信号線引き出し配線、及び外部駆動系
   統との接続パッドを備える画像非表示領域とが形成さ
   れ、 前記走査線を含む第１導電層、この第１導電層を覆う第
   １絶縁層、前記信号線を含む第２導電層、この第２導電
   層を覆う第２絶縁層、前記画素電極を含む第３導電層が
   この順に配され、 前記走査線引き出し配線または前記信号線引き出し配線
   には、冗長配線構造をなすための、前記第１導電層から
   なる第１配線と、前記第２導電層からなる第２配線とが
   備えられるアレイ基板において、 前記走査線引き出し配線の外側端、または前記信号線引
   き出し配線の外側端には、前記第１配線と前記第２配線
   とが、これらを互いに絶縁する前記第１絶縁層を介して
   重ね合わされて、レーザー照射によるこれら配線間の接
   合を可能にする接合用重ね合わせ部が設けられることを
   特徴とするアレイ基板。
2. 【請求項２】前記接合用重ね合わせ部を外側端に有する
   引き出し配線の内側端で、前記第１配線と前記第２配線
   とは、前記第１及び第２絶縁層を貫き前記第１導電層を
   露出させる第１コンタクトホールと、前記第２絶縁層を
   貫き前記第２導電層を露出させる第２コンタクトホール
   と、これら第１及び第２コンタクトホールの領域を覆
   い、これら第１導電層及び第２導電層を互いに電気的に
   導通させる、前記第３導電層に含まれる導電層とにより
   電気的に接続されていることを特徴とする請求項１記載
   のアレイ基板。
3. 【請求項３】前記接合用重ね合わせ部を外側端に有する
   引き出し配線にあって、その内側端の近傍及び外側端の
   近傍には、前記第１配線と前記第２配線とが平面位置に
   おいて互いに離間され、これら第１配線及び第２配線の
   いずれかを選択的にレーザーにより切断可能な選択切断
   用離間部が備えられることを特徴とする請求項１または
   ２記載のアレイ基板。
4. 【請求項４】互いに隣り合う引き出し配線の内側端近傍
   及び外側端近傍にある互いに隣り合う前記選択切断用離
   間部においては、一の引き出し配線に係る前記第１配線
   とその隣の引き出し配線に係る前記第２配線とが近接し
   て配置され、これにより、前記一の引き出し配線に係る
   第１配線と、前記その隣の引き出し配線に係る第２配線
   とを一度のレーザーの走査により切断可能であることを
   特徴とする請求項３記載のアレイ基板。
5. 【請求項５】絶縁基板上に、略平行に配列される走査
   線、これに略直行して配列される信号線、及び、これら
   走査線及び信号線の交点ごとにマトリクス状に配置され
   る画素電極を備える画素領域と、前記走査線から前記画
   素領域の外側へと引き出された走査線引き出し配線、前
   記信号線から前記画素領域の外側へと引き出された信号
   線引き出し配線、及び外部駆動系統との接続パッドを備
   える画像非表示領域とが形成され、 前記走査線を含む第１導電層、この第１導電層を覆う第
   １絶縁層、前記信号線を含む第２導電層、この第２導電
   層を覆う第２絶縁層、前記画素電極を含む第３導電層が
   この順に配され、前記走査線引き出し配線または前記信
   号線引き出し配線には、冗長配線構造をなすための、前
   記第１導電層からなる第１配線と、前記第２導電層から
   なる第２配線とが備えられるアレイ基板と、 前記アレイ基板との間で液晶層を保持する対向基板と、
   前記液晶層を四周から封止するシール材とからなり、 前記走査線引き出し配線及び前記信号線引き出し配線の
   外側端が、前記シール材の外側にあって、前記対向基板
   の外側端近傍に位置する液晶表示装置において、 前記走査線引き出し配線の外側端、または前記信号線引
   き出し配線の外側端には、前記第１配線と前記第２配線
   とが、前記第１絶縁層を介して互いに非導通に重ね合わ
   され、レーザー照射によるこれら配線間の接合を可能に
   する接合用重ね合わせ部が設けられることを特徴とする
   液晶表示装置。