JP2002249326A - ガラス微粒子堆積体の製造方法 - Google Patents

ガラス微粒子堆積体の製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガラス微粒子堆積体を高収率かつ高速度で形
成させることのできるＶＡＤ法によるガラス微粒子堆積
体の製造方法を提供すること。 【解決手段】 気相軸付法（ＶＡＤ）により、コアとク
ラッドからなるガラスロッドをターゲットとしてその外
周にガラス微粒子を堆積しながら該ロッドを引き上げて
いくガラス微粒子体の製造方法において、１次バーナに
よってガラスロッドの外側に堆積される多孔質ガラス体
の外側に、更に２次バーナによりガラス微粒子体を堆積
する形態を有し、 １次バーナで形成されるガラス微粒子体径が、ガラ
スロッド径の２倍以上５倍以下であり、 ２次バーナで形成されるガラス微粒子体厚が、１次
バーナで形成されるガラス微粒子体厚の１．５倍以上７
倍以下であることを特徴とする、ガラス微粒子体の製造
方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＶＡＤ法により出
発棒にガラス微粒子堆積体を高収率かつ高速度で形成さ
せる光ファイバ母材の改良された製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】高純度石英ガラス、特に光ファイバ用プ
リフォームに用いられるガラス物品は、金属不純物など
の混入を防ぐため、液体状ガラス原料例えばＳｉＣ
ｌ4 ，ＳｉＨＣｌ3 などを気化しガス状とした後、高純
度の水素または炭化水素を燃料、高純度の酸素を助燃性
ガスとして形成した火炎中に導入し、加水分解反応ある
いは酸化反応によりガラス微粒子を生成し、これをター
ゲットである出発棒（ロッド）に堆積させ、ガラス微粒
子堆積体を合成し、これを高温炉で透明ガラス化する、
いわゆる気相合成法で製造されている。ＶＡＤ法（Vapo
ur-phase axial deposition method）あるいはＯＶＤ法
（Outside Vapour-phase deposition method）などが一
般的である。
【０００３】一般に、火炎を合成するバーナとしては、
同心円状多重管バーナが用いられ、特にガラス微粒子堆
積体の合成速度（単位時間当たりに合成されるガラスの
重量）を上げるためには、ガラス原料ガスと燃料ガスお
よび助燃性ガラスからなる１組のガラス微粒子合成用火
炎と、その外周に位置する少なくとも１組以上の母材加
熱用火炎から構成される、いわゆる多重火炎バーナが用
いられる。一般的にこのバーナの先端には、火炎の広が
りを調整し、外乱による火炎のゆらぎを防止するため、
保護管が設置される。例えば、この場合、ガラス微粒子
体堆積開始端でのかさ密度差を縮小してクラック発生を
低減するために合成用バーナの先端にその開口径を規定
した保護管を設置して火炎の広がりを制限することを提
案している（特開平５−３４５６２１号公報）。
【０００４】また、ＶＡＤ法でコア部を有するガラスロ
ッドの周囲にガラス微粒子堆積体を厚く堆積し、脱水透
明化を行うとガラスロッド界面に微小気泡が多く発生す
るが、これを解消するために、１次バーナにより高純度
ガラス棒の外周に堆積されるガラス微粒子堆積体層の直
径を高純度ガラス棒の直径の２倍以下として、且つ界面
温度を９００〜１０００℃とし、その外周に２次バーナ
によりガラス微粒子堆積体を堆積させる方法が提案され
た（特開昭６３−２４８７３４号公報）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ＶＡＤ法によりコア若
しくはコアとクラッドからなるガラスロッドをターゲッ
トとしてその外周にガラス微粒子を堆積しながら該ロッ
ドを引上げていくガラス微粒子堆積体の製造方法におい
ては、一般に、ガラスロッドとして用いるロッドのコア
径ａとクラッド径ｂの比率ｂ／ａはほぼ一定であるか
ら、最終的なガラス最外径に対するコア径を一定とする
ためには、ガラス微粒子堆積体の嵩密度一定の下で、ガ
ラスロッド径ｂ（コアとクラッドより構成）に対するガ
ラス微粒子堆積体径ｃの比率を一定にしなければならな
い。
【０００６】ところで、ガラス微粒子堆積効率をあげて
合成速度を向上させる手法としてガラス微粒子堆積体の
太径化が挙げられるが、ガラス微粒子堆積体の外径を大
きくすると、火炎の広がりには限度があるので、バーナ
ー形態がそのままではロッド界面（ガラスロッドとガラ
ス微粒子堆積体の界面）へのガラス微粒子の付着及びそ
の部分の加熱が十分ではなくなり、焼結時に気泡を発生
するに至り、良好なガラス透明体が得られない。
【０００７】また、合成速度を上げる他の方法として、
原料投入量の増大が挙げられるが、原料投入量を増やす
と生成するガラス微粒子体が増加してガラス微粒子堆積
体は太くなるが、堆積面加熱の火炎は変わらない為に火
炎の広がり不足が生じて開始端でクラックが発生した
り、ガラス微粒子堆積体の外層部の嵩密度の低下（ガラ
ス微粒子堆積体の易損性）が引き起こされる。また、界
面嵩密度が低下することにより、焼結後の母材で界面気
泡が多数発生するようになる。このようなガラス焼結後
の気泡発生を防ぐためには、ガラス微粒子堆積体の作製
段階においてバーナ径若しくは保護管開口端径を広げて
火炎量を増やすことが有効な手段であるが、この場合、
ＶＡＤ堆積面形態比は変わらないためバーナの大型化、
開口径の大型化により収率は一定でも廃却絶対量は増
え、また同様に酸水素投入量に対する加熱非関与量も増
えるので全体として非効率となってしまう。
【０００８】一方、ロッド界面におけるガラス微粒子堆
積を担当する小型バーナの導入は、ガラス微粒子堆積体
の大型化に伴う焼結後のロッド界面での気泡発生の抑制
には有効であるが、微粒子体合成速度の向上への寄与は
小さく、また界面近傍のみのガラス微粒子堆積ではかえ
って効率が悪くなる。例えば、ロッド径の２倍程度の界
面微粒子体形成用バーナでは、全ガラス微粒子堆積体堆
積量に対する小型バーナの寄与は微小であり、合成速度
は２次バーナ１本のみの場合とほとんど変わらないか、
もしくは若干増加する程度に留まる。むしろ１本バーナ
が増えたことでそのバーナに投入する原料、火炎形成ガ
スが増えるために、原料収率及び堆積効率の面からする
と効率は悪くなる。
【０００９】本発明は、上記した課題を解決するため、
２本バーナを特定条件下において用いることによりガラ
ス微粒子堆積体を高収率かつ高速度で形成させることの
できるガラス微粒子堆積体の製造方法を提供することを
目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の本発明の目的は、
以下の各発明によって達成することができる： （１）気相軸付法（ＶＡＤ）により、コアとクラッドか
らなるガラスロッドをターゲットとしてその外周にガラ
ス微粒子を堆積しながら該ロッドを引き上げていくガラ
ス微粒子堆積体の製造方法において、１次バーナによっ
てガラスロッドの外側に堆積されるガラス微粒子堆積体
の外側に、更に２次バーナによりガラス微粒子堆積体を
堆積する形態を有し、 １次バーナで形成されるガラス微粒子堆積体径が、
ガラスロッド径の２倍以上５倍以下であり、 ２次バーナで形成されるガラス微粒子堆積体厚が、
１次バーナで形成されるガラス微粒子堆積体厚の１．５
倍以上７倍以下であることを特徴とする、ガラス微粒子
堆積体の製造方法。
【００１１】（２）上記のについて、特に、２次バー
ナで形成されるガラス微粒子の厚さが１次バーナで形成
されるガラス微粒子体の厚さの２倍以上５倍以下、とな
ることを特徴とする上記（１）に記載のガラス微粒子堆
積体の製造方法。
【００１２】（３）２本バーナ法において、そのバーナ
開口径が、１次バーナよりも２次バーナの方が大きいこ
とを特徴とする、上記（１）又は（２）に記載のガラス
微粒子堆積体の製造方法。
【００１３】（４）２次バーナの開口径が１次バーナの
開口径の２倍以上５倍以下であることを特徴とする、上
記（３）に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。 （５）上記各バーナとガラスロッドのなす角度が４５〜
７５°の間にあることを特徴とする、上記（１）〜
（４）のいずれかに記載のガラス微粒子堆積体の製造方
法。
【００１４】（６）２本のバーナの原料流の堆積中心点
間の距離が、ガラス微粒子堆積体外径の１／３以上、好
ましくは３倍以下であることを特徴とする、上記（１）
〜（５）のいずれかに記載のガラス微粒子堆積体の製造
方法。 （７）ガラス微粒子堆積端において、、２次バーナより
も先に１次バーナの原料を停止することを特徴とする、
上記（１）〜（６）のいずれかに記載のガラス微粒子体
の製造方法。
【００１５】
【発明の実施の形態】ＶＡＤ法によるガラスロッドへの
ガラス微粒子の堆積の際に用いられるガラスロッドは、
予め前工程でコア部を有するガラスロッドとして作製す
るが、クラッド部は必ずしも有していなくてもよい。次
に本工程に入ってＶＡＤ法によりガラスロッドへのガラ
ス微粒子の堆積を行い、その後の焼結工程を経ることで
ガラス外径に対するコア径を決定する。ガラスロッド径
に対する本工程でのガラス径の比率は２〜７とするのが
一般的である。すなわち、このガラス微粒子堆積体の作
製工程で全体の７５〜９５％のガラスが合成される。従
って、ガラスロッド生産性に対して大きなウエートを占
めるのは、上記ガラス微粒子の堆積工程であり、その合
成速度を高めるには、該ガラス微粒子体の生成量及び堆
積面への堆積効率如何が決め手となる。
【００１６】なお、ガラスの密度は２．２ｇ／ｃｍ3 で
あるのに対し、ガラス微粒子体のかさ密度は０．２ｇ／
ｃｍ3 〜０．７ｇ／ｃｍ3 、望ましくは０．２ｇ／ｃｍ
3 〜０．４ｇ／ｃｍ3 程度に設定される。これは低かさ
密度ではガラス微粒子体がきわめて壊れやすく、また高
かさ密度では効率的な脱水ができないためである。この
かさ密度を考慮すると、ガラス微粒子体の外径は一般に
出発ロッド径に対して、３．２〜２３倍、望ましくは
４．１〜２３倍の比率で堆積される。
【００１７】従来のＶＡＤ技術では、１本バーナを用い
てガラス微粒子の堆積を行っている。その場合、ガラス
微粒子の合成速度を上げるためには、ガラス微粒子体
の生成量及び堆積面への堆積効率の両者を増加させれ
ばよい。図２（Ａ）は、従来法により１本バーナを用い
てガラス微粒子を堆積させる状態を示す概略断面図であ
り、図２（Ｂ）は、バーナが指向される堆積部を模式的
に拡大して示した部分拡大図である。図２（Ｂ）はバー
ナから見たガラス微粒子堆積面とバーナーから噴出され
た原料が反応して生成したガラス微粒子体の堆積面での
広がりに対応する円を模式的に示すものである。
【００１８】図３は、下記の条件調整に対するガラス微
粒子の量（全円部）及び堆積面（３角形状）の変化を時
系列的〔初期→（Ａ）→（Ｂ）→（Ｃ）〕に示すもので
ある。上記を増やすため、初期の状態から（Ａ）に示
されるように原料投入量を増やすと、ガラス微粒子堆積
体の径が太くなり〔（Ｂ）〕、（Ｃ）に示されるように
コア径に対するガラス微粒子堆積体径を一定比率にする
必要があるのでガラス微粒子堆積体径を一定にするよう
にバーナの相対的位置を調整する。この結果、確かにガ
ラス微粒子堆積体の合成速度は増加するが、投入ガラス
原料量と対応するガラス微粒子生成量の拡がり（全円
部）に対する堆積量寄与分（堆積分とオーバーラップす
る分）は小さくなるので非効率となり好ましくない。
【００１９】一方、を増やすためには堆積面を広くし
てやればよい。図４は図３と同様の状態を示し、バーナ
を寝かして堆積面を広くした状態〔（Ａ）〕から、
（Ｂ）に示すように、堆積面を広くして原料投入量を増
加することができる。この結果、ガラス微粒子体の堆積
速度を速めることができる。しかし、この場合は、初期
に比べロッド界面を加熱する火炎が届きにくくなって、
界面の堆積温度が低下し、かさ密度が低下する為に、該
ガラス微粒子体を脱水透明化すると、ロッド界面に気泡
が発生することが確認された。微気泡発生の観点からこ
の方法は好ましくないと言える。
【００２０】そこで、特開昭６３−２４８７３４号公報
では、このロッド界面の気泡発生を抑制するため「１次
バーナにより高純度ガラス棒外径の２倍以下の直径を有
する多孔質ガラス層を付与する」としている〔図４
（Ｃ）、〔０００４〕参照〕。しかしながら、この方法
により確かに界面に発生する微気泡群は解消されるが、
この１次バーナが付与するガラス量は、焼結後ガラス全
体からみるとその量は僅かであり、従って１次バーナ導
入による合成速度向上への直接的寄与はほとんどない。
また、１次バーナ導入による原料投入量増量分を考慮す
ると、全原料投入分に対するガラス微粒子体形成量の比
（収率）はほとんど上がらず、従って、原料収率との観
点からは、非効率と言える。
【００２１】なお、ここで、 ロッドの周囲に付与されるガラス微粒子体のかさ密度：
０．３ｇ／ｃｍ3 ガラスロッドの周囲に付与されるガラス微粒子堆積体の
焼結後の、ガラスロッドに対する倍率：４倍 ガラスロッドに対する１次バーナのガラス微粒子体径の
倍率：２倍 とすると、全断面積に対する１次バーナの生成するガラ
ス量（断面積比）は２．６％及び全合成ガラス微粒子体
量に対する１次バーナ生成分は２．７％となって、１次
バーナ導入による合成速度向上への直接的寄与は殆どな
いことが分かる。
【００２２】これに対して、本発明は、ガラスロッドの
周囲にガラス微粒子体を作製する方法において、上記問
題点を回避して、効率よく（原料収率が良く）、且つ、
高速合成を実現する手段として、前記（１）の方法が有
効であることを見いだしたことに基づいている。これを
図１に示されるディメンションに対応させると次のよう
に表現できる。 バーナは２本でＶＡＤガラス微粒子堆積体堆積 ２×Ｒ１＜Ｒ２≦５×Ｒ１ １．５≦（Ｒ３−Ｒ２）／（Ｒ２−Ｒ１）≦７ 好ましくは、２．５倍以上５倍以下（ただし、Ｒ１，Ｒ
２，Ｒ３は図１の通り）
【００２３】以下に、前記本件各発明（１）〜（７）に
ついて限定根拠と先行技術と対比した有利な効果を要約
して示す。 （１）前記発明（１）は、ガラス微粒子堆積体作製にお
ける２本バーナ法の基本構成を示すもので、ＶＡＤ法に
おいて、１次ガラス微粒子堆積体径を出発ロッドの２倍
以上５倍以下とし、また２次ガラス微粒子堆積体の厚さ
を１次ガラス微粒子堆積体の厚さの１．５倍以上７倍以
下とすることにより、２本バーナにより堆積速度を向上
させたガラス微粒子堆積体の堆積を実現することができ
る。上記のバランスにおいて、ガラス微粒子堆積体形成
を図ることにより、１次バーナガラス微粒子体付けの全
体ガラス微粒子堆積体付けに対するパフォーマンス（堆
積速度と原料収率）を最大化できる。１次バーナのガラ
ス微粒子堆積体径及びその比率が上記より小さいと、全
体ガラス微粒子堆積体作製に対する１次バーナの貢献度
が僅かとなり、堆積速度増加がはかれない。また、１次
バーナのガラス微粒子堆積体径及びその比率が上記より
大きくなると、１次バーナと２次バーナの火炎干渉が激
しくなり、原料投入量に対する堆積効率（収率）が大き
く低下する。
【００２４】（２）前記発明（２）は、２本バーナにお
いて、堆積速度的に特に好ましいガラス微粒子堆積体径
比を特定したもので、特に２次ガラス微粒子堆積体の厚
さを１次ガラス微粒子堆積体の厚さの２．５倍以上５倍
以下とするときに、２本バーナ法の堆積速度効率が特に
良くなる。
【００２５】（３）前記発明（３）は、２本バーナ法に
用いられるバーナの構造を特定するもので、１次バーナ
により形成されるガラス微粒子堆積体径よりも、２次バ
ーナにより形成されるガラス微粒子堆積体径の方が大き
くなることから、各々の火炎バーナで堆積面を加熱する
面積は、２次バーナの方が大きくなる。従って、火炎広
がりを決めるバーナ開口径は、２次バーナの方が大きい
ことが望ましい。その開口径比（２次バーナ／１次バー
ナ）は２以上であることが望ましい。なお、ここでバー
ナ開口径とは、バーナ単独の場合は、バーナ先端の径
を、また、バーナに風防、保護管がついている場合は、
先端の風防若しくは保護管の径を意味する。
【００２６】（４）前記発明（４）は、２本バーナ法に
用いられる構造のうち、特に好ましいバーナ開口比を特
定するもので、上記（３）で、２次バーナの開口端の径
が、１次バーナのそれよりも２倍〜５倍の範囲にあると
きに、もっとも効率よく堆積面を加熱することができ
る。
【００２７】（５）前記発明（５）は、２本バーナ法の
バーナの設置方法を特定するもので、１次及び２次バー
ナの角度が４５〜７５°の範囲に配置したときに、ＶＡ
Ｄとしての堆積面がもっとも安定し、且つ、高効率なガ
ラス微粒子体堆積を実現することができる。
【００２８】（６）前記発明（６）は、２本バーナ法に
おけるガラス微粒子堆積体の堆積形態を特定するもの
で、２本のバーナ間の距離が近づきすぎると、各々のバ
ーナが形成する火炎が干渉するため、堆積効率がかえっ
て低下してしまうので、バーナ間の距離を前記のとおり
とすることにより、バーナ間の干渉を抑えつつ効率的な
ＶＡＤ法ガラス微粒子堆積を実現することができる。
【００２９】（７）前記発明（７）は、２本バーナ法に
おける堆積終了処置方法について特定するもので、２本
バーナによるガラス微粒子体堆積終了端において、全体
のガラス微粒子体堆積終了を前に１次バーナのガラス微
粒子堆積を停止し、その停止ラインまで２次バーナのガ
ラス微粒子堆積を行ってから全体のガラス微粒子堆積を
終了することにより、１次バーナの余分ガラス微粒子堆
積部分を減じ、コスト削減・ガラス微粒子体堆積効率化
をはかることができる。
【００３０】
【実施例】以下、本発明を実施例について詳細に説明す
るが本発明の限定を意図するものではない。 （実施例１）原料ガス（ＳｉＣｌ4 ）、Ｈ2 、Ｏ2 ガス
を用い下記のガラス微粒子堆積条件によりガラス微粒子
の堆積を行った： バーナ形態：同心円多重管バーナ２本（開口径比：３．
３） ロッド径：３０ｍｍφ １次ガラス微粒子堆積体径：１００ｍｍφ ガラス微粒子堆積体外径：２６０ｍｍφ ２本のバーナの堆積中心点間の距離：２００ｍｍ 得られた結果は、次のとおりであった： ガラス微粒子堆積体堆積速度：３１ｇ／分 ガラス微粒子堆積体成長速度：９５ｍｍ／分 原料収率：５５％
【００３１】（比較例１）下記のガラス微粒子堆積体堆
積条件を採用した外は、実施例１と同条件でガラス微粒
子の堆積を行った。 バーナ形態：同心円多重管バーナ１本（バーナ角度６０
°） ロッド径：３０ｍｍφ ガラス微粒子堆積体外径：２６０ｍｍφ 得られた結果は次のとおりであった。 ガラス微粒子堆積体堆積速度：２２．０ｇ／分 ガラス微粒子堆積体成長速度：８５ｍｍ／分 原料収率：５０％ ガラス微粒子堆積体堆積の終了端の非有効部の長さは実
施例１では比較例１の１．３倍であった。
【００３２】（比較例２）下記のガラス微粒子体堆積条
件を採用した外は、実施例１と同条件でガラス微粒子の
堆積を行った。 バーナ形態：同心円多重管バーナ２本（開口径比：５．
０） ロッド径：３０ｍｍφ １次ガラス微粒子堆積体径：５０ｍｍφ ガラス微粒子堆積体外径：２６０ｍｍφ ２本のバーナの堆積中心点間の距離：２００ｍｍ 得られた結果は次のとおりであった。 ガラス微粒子堆積体堆積速度：２２．３ｇ／分 ガラス微粒子堆積体成長速度：８５ｍｍ／分 原料収率：４２％
【００３３】（比較例３）下記のガラス微粒子堆積体堆
積条件を採用した外は、実施例１と同条件でガラス微粒
子の堆積を行った。 バーナ形態：同心円多重管バーナ２本（開口径比：２．
０） ロッド径：３０ｍｍφ １次ガラス微粒子堆積体径：１５０ｍｍφ ガラス微粒子堆積体外径：２６０ｍｍφ ２本のバーナの堆積中心点間の距離：２００ｍｍ 得られた結果は次のとおりであった。 ガラス微粒子体堆積速度：３０ｇ／分 ガラス微粒子体成長速度：９０ｍｍ／分 原料収率：４４％
【００３４】（実施例２）下記のガラス微粒子堆積体堆
積条件を採用した外は、実施例１と同条件でガラス微粒
子の堆積を行った。 バーナ形態：同心円多重管バーナ２本（開口径比：３．
３） ロッド径：３０ｍｍφ １次ガラス微粒子堆積体径：１００ｍｍφ ガラス微粒子堆積体外径：２６０ｍｍφ ２本のバーナの堆積中心点間の距離：８０ｍｍ 得られた結果は次のとおりであった。 ガラス微粒子堆積体堆積速度：２２ｇ／分 ガラス微粒子堆積体成長速度：７０ｍｍ／分 原料収率：３９％
【００３５】（実施例３）ガラス微粒子堆積体堆積終了
予測時刻より３０分前に１次バーナへの原料投入を停止
したほかは実施例１と同一条件でガラス微粒子堆積体の
作製を行った。その結果、有効部の堆積速度は変わらな
いまま、ガラス微粒子堆積体堆積終了端の非有効部の長
さは比較例１と同じ長さにまで低減することができた。
【００３６】
【発明の効果】本発明は、２本バーナ法でガラス微粒子
堆積体を製造するに際し、１次バーナで形成されるガラ
ス微粒子堆積体径及び２次バーナで形成されるガラス微
粒子堆積体厚を特定することにより高原料収率及び高合
成速度を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（Ａ）は、本発明により２本バーナを用い
てガラス微粒子を堆積する状態を示す概略縦断面図であ
り、図１（Ｂ）は、バーナが指向される堆積部を模式的
に拡大して示す部分拡大図である。
【図２】図２（Ａ）は、従来法により１本バーナを用い
てガラス微粒子を堆積する状態を示す概略縦断面図であ
り、図２（Ｂ）は、バーナが指向される堆積部を模式的
に拡大して示す部分拡大図である。
【図３】図３は、従来法におけるガラス原料の量（全円
部）及び堆積面（３角形状）の調整を示す模式図であ
る。
【図４】図４は、従来法の２本バーナを用いてガラス微
粒子体を堆積する場合のガラス原料の量（全円部）及び
堆積面（３角形状）の変化を時系列的に示す模式図であ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 赤池 暢哉 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内 (72)発明者 相川 晴彦 神奈川県横浜市栄区田谷町１番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内 Ｆターム(参考） 4G014 AH14 AH16

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 気相軸付法（ＶＡＤ）により、コア若し
    くはコアとクラッドからなるガラスロッドをターゲット
    としてその外周にガラス微粒子を堆積しながら該ロッド
    を引き上げていくガラス微粒子堆積体の製造方法におい
    て、１次バーナによってガラスロッドの外側に堆積され
    るガラス微粒子堆積体の外側に、更に２次バーナにより
    ガラス微粒子堆積体を堆積する形態を有し、 １次バーナで形成されるガラス微粒子堆積体径が、
    ガラスロッド径の２倍以上５倍以下であり、 ２次バーナで形成されるガラス微粒子堆積体厚が、
    １次バーナで形成されるガラス微粒子堆積体厚の１．５
    倍以上７倍以下であることを特徴とする、ガラス微粒子
    堆積体の製造方法。
  2. 【請求項２】 上記のについて、 特に、２次バーナで形成されるガラス微粒子堆積体の厚
    さが１次バーナで形成されるガラス微粒子堆積体の厚さ
    の２倍以上５倍以下、となることを特徴とする請求項１
    に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
  3. 【請求項３】 ２本バーナ法において、そのバーナ開口
    径が、１次バーナよりも２次バーナの方が大きいことを
    特徴とする、請求項１又は２に記載のガラス微粒子堆積
    体の製造方法。
  4. 【請求項４】 ２次バーナの開口径が１次バーナの開口
    径の２倍以上５倍以下であることを特徴とする、請求項
    ３に記載のガラス微粒子堆積体の製造方法。
  5. 【請求項５】 上記各バーナとガラスロッドのなす角度
    が４５〜７５°の間にあることを特徴とする、請求項１
    〜４のいずれかに記載のガラス微粒子堆積体の製造方
    法。
  6. 【請求項６】 ２本のバーナの原料流の堆積中心点間の
    距離が、ガラス微粒子堆積体外径の１／３以上であるこ
    とを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載のガラ
    ス微粒子堆積体の製造方法。
  7. 【請求項７】 ガラス微粒子堆積体堆積終了端におい
    て、２次バーナよりも先に１次バーナの原料を停止する
    ことを特徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載のガ
    ラス微粒子堆積体の製造方法。
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