JP2002243555A

JP2002243555A - 透明面温度センサ及び透明面温度制御装置

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Publication number: JP2002243555A
Application number: JP2001265386A
Authority: JP
Inventors: Hideji Tsuchiya; 秀治土屋
Original assignee: Tokai Hit Co Ltd
Current assignee: Tokai Hit Co Ltd
Priority date: 2000-12-13
Filing date: 2001-09-03
Publication date: 2002-08-28
Anticipated expiration: 2021-09-03
Also published as: JP3483544B2; AU2002222598A1; WO2002048664A1; US20040026410A1; US6951419B2

Abstract

(57)【要約】【課題】従来の顕微鏡用加温装置は、温度センサとして
の熱電対の測温接点が発熱用透明板の端部に配置されて
いたため、透明プレート部を所望の温度に保つのが困難
であった。【解決手段】透明面温度センサ３が、感温用透明絶縁性
基板７と、その一面に形成された感温用透明導電膜９
と、一対の感温用端子１１，１１と、それらに接続され
た一対の感温用導電線１３、１３とを備えている。導電
線１３、１３は銅とコンスタンタンで構成されている。
そして、透明面ヒータ５と絶縁シート２５及びシリコー
ン樹脂を介して電気的に絶縁状態で固着され、ハウジン
グ２７内に収容されている。測温部が感温用透明導電膜
上の１点ではなく、全面となる。従って、透明面温度セ
ンサ３により、感温用透明導電膜９全体の平均温度が検
出されることになる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は透明面温度センサ及
びそれを備えた透明面温度制御装置に係り、特に顕微鏡
のステージに装着し、検体を載せて検体を所望の温度に
調節するのに適した透明面温度センサ及びそれを備えた
透明面温度制御装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】動物の人工授精のように、精子や卵子
（検体）を所定温度に保ち、それを顕微鏡で観察しなく
てはならない場合がある。この要求を満たすための装置
として、顕微鏡用加温装置がある。この種の装置の出願
には、特願平６−１１３５４０（特許第２８３５４２２
号）、実願平７−２７１４（実用新案登録第３０１６８
９４号）等がある。この種の装置は、基本的には発熱用
透明板と、この発熱用透明板の表面に蒸着法等によって
形成された透明導電膜と、この透明導電膜に通電するた
めの電極と、発熱用透明板に所定距離離間して積層され
る保護用透明板と、この発熱用透明板と保護用透明板と
の間に充填されるシリコーン等の絶縁性透明材料と、発
熱用透明板と保護用透明板との間に測温接点が配置され
る温度センサとしての熱電対と、発熱用透明板と保護用
透明板の外縁部を保持するハウジングとからなる。

【０００３】そして、この顕微鏡用加温装置を顕微鏡の
ステージに装着し、スライドガラス等に載せた検体を保
護用透明板上に置き、透明導電膜に通電することによっ
て発熱させ、これにより検体を加温する。さらに、熱電
対によって温度を検知し、この検知温度に基づいて透明
導電膜への通電を調節して温度調節を行う。尚、この種
の装置は、顕微鏡の種類（倒立顕微鏡、正立顕微鏡、実
体顕微鏡）や顕微鏡のステージの構造（形状）によっ
て、色々なタイプのものがある。

【０００４】上記した顕微鏡用加温装置は、どのような
タイプのものにおいても検体を所定温度に常に保つこと
が要求され、それがこの種の装置の性能を決定すること
になる。この種の顕微鏡用加温装置は、観察の邪魔にな
らないように、温度センサとしての熱電対の測温接点は
発熱用透明板の端部に配置されている。しかしながら、
発熱用透明板の中央が高温になる傾向がある。このた
め、熱電対の検知温度が中央部分の温度より低くなる。
この検知情報に基づいて電極への通電が行われるので、
中央部分の温度が設定温度より高くなるオーバーシュー
トを生じてしまうという問題がある。

【０００５】上記のオーバーシュートは、顕微鏡観察用
加温装置に限らず、被測温部が透明面のように一定の面
積を有し且つ観察等の邪魔にならないように温度センサ
を配置しないければならないものに共通する問題であ
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した従来
の問題点に鑑みて為されたものであり、透明面の温度を
正確且つ邪魔にならないように測定できる透明面温度セ
ンサを提供することを目的とする。また、本発明は、透
明面の温度を所定の温度に保持できる透明面温度制御装
置を提供することを目的とする。更に、本発明は、加温
した検体を顕微鏡で観察するのに適した顕微鏡観察用透
明面温度制御装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、感温用透明絶縁性基板と、前記
感温用透明絶縁性基板の少なくともいずれか一方の面上
の少なくとも一部に形成された感温用透明導電膜と、互
いに所定距離離間され且つ前記感温用透明導電膜に電気
的に結合された一対の感温用端子と、前記一対の感温用
端子に各々の導電線の一端部が電気的に接続された一対
の感温用導電線を備え、前記感温用透明導電膜の温度変
化に伴う前記感温用導電線を流れる電流又は電圧の変化
に基づいて、温度を測定することを特徴とする透明面温
度センサである。

【０００８】請求項２の発明は、請求項１記載の透明面
温度センサにおいて、更に、感温用透明導電膜を覆う感
温部保護用透明絶縁性カバーを備えたことを特徴とする
透明面温度センサである。

【０００９】請求項３の発明は、請求項１又は２記載の
透明面温度センサにおいて、一対の感温用端子が感温用
透明導電膜上に互いに対向して配置されていることを特
徴とする透明面温度センサである。

【００１０】請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれ
か記載の透明面温度センサにおいて、一対の導電線は熱
電対を構成する２種類の導電体で構成されており、前記
各々の導電線の一端部側を一方の測温接合部として、前
記一対の感温用導電線間に生じる熱起電力を利用して温
度を測定することを特徴とする透明面温度センサであ
る。

【００１１】請求項５の発明は、請求項１〜３のいずれ
か記載の透明面温度センサにおいて、感温用透明導電膜
は温度変化に伴って抵抗値が変化する抵抗体からなり、
前記感温用透明導電膜の抵抗値の変化を利用して温度を
測定することを特徴とする透明面温度センサである。

【００１２】請求項６の発明は、請求項１〜３のいずれ
か記載の透明面温度センサが、透明面ヒータに取り付け
られており、前記透明面ヒータが発熱用透明絶縁性基板
と、前記発熱用透明絶縁性基板の少なくともいずれか一
方の面の少なくとも一部に形成された発熱用透明導電膜
と、前記発熱用透明導電膜に電気的に結合され且つ互い
に所定距離離間された一対の発熱用電極を有し、且つ前
記透明面温度センサからの温度情報に基づいて前記透明
面ヒータへの通電量が制御されることを特徴とする透明
面温度制御装置。

【００１３】請求項７の発明は、請求項６記載の透明面
温度制御装置において、感温用端子は感温用透明絶縁性
基板の外縁を超えて延びた延長部を有し、その延長部に
感温用導電線が接続されていることを特徴とする透明面
温度制御装置である。

【００１４】請求項８の発明は、請求項６又は７記載の
透明面温度制御装置において、発熱用透明絶縁性基板は
感温用透明絶縁性基板にも兼用されていることを特徴と
する透明面温度制御装置である。

【００１５】請求項９記載の請求項８記載の透明面温度
制御装置において、発熱用透明導電膜は感温用透明導電
膜にも兼用されていることを特徴とする透明面温度制御
装置である。

【００１６】請求項１０の発明は、請求項６〜９のいず
れか記載の記載の透明面温度制御装置において、透明面
温度センサの一対の導電線は熱電対を構成する２種類の
導電体で構成されており、前記透明面温度センサは前記
各々の導電線の一端部側を一方の測温接合部として前記
一対の感温用導電線間に生じる熱起電力を利用して温度
情報を得る構成であることを特徴とする透明面温度制御
装置。

【００１７】請求項１１の発明は、請求項６〜８のいず
れか記載の透明面温度制御装置において、透明面温度セ
ンサの感温用透明導電膜は温度変化に伴って抵抗値が変
化する抵抗体からなり、前記透明面温度センサは、前記
感温用透明導電膜の抵抗値の変化を利用して温度情報を
得る構成であることを特徴とする透明面温度制御装置で
ある。

【００１８】請求項１２の発明は、請求項９記載の透明
面温度制御装置において、透明面温度センサの感温用透
明導電膜は温度変化に伴って抵抗値が変化する抵抗体か
らなり、前記透明面温度センサは、前記感温用透明導電
膜の抵抗値の変化を利用して温度情報を得る構成である
ことを特徴とする透明面温度制御装置である。

【００１９】請求項１３の発明は、請求項１２記載の透
明面温度制御装置において、透明面温度センサの感温用
導電線を介して電源に接続させることで感温用透明導電
膜に発熱用の通電電流を供給することを特徴とする透明
面温度制御装置である。

【００２０】請求項１４の発明は、請求項６〜１３のい
ずれか記載の透明面温度制御装置において、透明面ヒー
タと透明面温度センサで顕微鏡ステージ装着用の透明プ
レート部が構成されていることを特徴とする顕微鏡観察
用透明面温度制御装置である。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図５によって、第１
の実施の形態に係る顕微鏡観察用温度制御装置１につい
て説明する。顕微鏡観察用温度制御装置１は透明プレー
ト部２とコントローラ４とそれらを電気的に接続する電
気コード２３で構成されている。先ず、透明プレート部
２の透明面温度センサ３と透明面ヒータ５の構成につい
て説明する。

【００２２】透明面温度センサ３の構成について説明す
る。符号７は透明ガラスによって構成される感温用透明
絶縁性基板を示し、この感温用透明絶縁性基板７の一面
には、全面にわたって、酸化スズによって構成される感
温用透明導電膜９が形成されている。この感温用透明導
電膜９は真空蒸着法によって形成される。符号１１，１
１は銅箔によって構成される一対の帯状の感温用端子を
示し、この一対の感温用端子１１，１１は互いに離間し
ている。各々の感温用端子１１は感温用透明導電膜９の
縁から離間した内側に、感温用透明導電膜９に電気的に
結合するよう設けられている。従って、一対の感温用端
子１１，１１は互いに感温用透明導電膜９の中心点Ｃを
挟んで対向配置されている。各々の感温用端子１１の一
端部は、感温用透明絶縁性基板７の外縁を超えて延びて
いる。

【００２３】符号１３は一対の感温用導電線を示し、各
々の感温用導電線１３の一端部は感温用端子１１の延長
部１２の上面で電気的に接続されている。即ち、感温用
端子１１の延長部１２は導電線引出し用として使用され
ている。一対の感温用導電線１３，１３は、熱電対を構
成する２種類の金属である銅とコンスタンタンで夫々構
成されている。感温部保護用透明絶縁性カバーについて
は後述する。感温用導電線１３，１３は、感温用端子１
１，１１への接続側を測温接合部としている。

【００２４】透明面ヒータ５の構成について説明する。
符号１５は透明ガラスによって構成される発熱用透明絶
縁性基板を示し、この発熱用透明絶縁性基板１５の一面
には、全面にわたって、抵抗発熱材であるＳｉＯ2−イ
ンジウム合金によって構成される発熱用透明導電膜１７
が真空蒸着法によって形成されている。符号１９，１９
は銅箔によって構成される一対の帯状の発熱用電極を示
し、この一対の発熱用電極１９，１９は互いに離間して
いる。各々の発熱用電極１９は発熱用透明導電膜１７の
縁に沿って、発熱用透明導電膜１７に電気的に結合する
よう設けられている。各々の発熱用電極１９の一端部
は、発熱用透明絶縁性基板１５の外縁を超えて延びてい
る。

【００２５】符号２１は一対の発熱用導電線を示し、各
々の発熱用導電線２１の一端部は発熱用電極１９の延長
部２０の下面で電気的に接続されている。即ち、発熱用
電極１９の延長部２０は導電線引出し用として使用され
ている。一対の発熱用導電線２１，２１は、良好な導電
体である銅で構成されている。

【００２６】符号２５は絶縁シートを示し、この絶縁シ
ート２５は紙で構成され、四角形の枠状に形成されてい
る。符号２７はハウジングを示し、このハウジング２７
はプラスチック製で四角形の枠状に形成され、四角形の
穴２９を有している。このハウジング２７には穴２９の
中心に向かって突出する支持部３１が形成されている。
ハウジング２９の側面にはコード穴３３が形成されてい
る。

【００２７】透明プレート部２では、ハウジング２７の
穴２９に、透明面ヒータ５、絶縁シート２５及び透明面
温度センサ３が、この順に積層収容され、透明面ヒータ
５の発熱用透明絶縁性基板１５の発熱用透明導電膜１７
が形成されていない面が支持部３１上に設置される。積
層状態では、透明面温度センサ３の感温用透明導電膜９
と、透明面ヒータ５の発熱用透明導電膜１７が対向配置
される。一対の感温用端子１１，１１と一対の発熱用電
極１９，１９は上下で重ならないように配置される。

【００２８】透明面温度センサ３と透明面ヒータ５は、
その間に流動性及び接着性のあるシリコーン樹脂で構成
される透明絶縁性材料３５が充填されることで、互いに
離間すると共に、透明絶縁性材料３５によって固着され
一体となっている。また、一対の感温用端子１１，１１
と一対の発熱用電極１９，１９の間には、絶縁シート２
５が介在されており、確実に電気的に絶縁される。な
お、この実施の形態においては、透明絶縁性材料３５が
透明面温度センサ３の感温部保護用透明絶縁性カバーと
しての機能を果たしている。

【００２９】透明面温度センサ３及び透明面ヒータ５の
外縁部とハウジング２７との間は黒色のシリコーン樹脂
で構成され、接着性のある固定用絶縁性材料３６が充填
されており、透明面温度センサ３及び透明面ヒータ５の
外縁部が固定用絶縁性材料３６を介してハウジング２７
に固着される。即ち、ハウジング２７によって透明面温
度センサ３及び透明面ヒータ５の外縁部が保持される。
ハウジング２７内では、感温用導電線１３，１３と発熱
用導電線２１，２１は黒色絶縁性材料３６を介して互い
に電気的絶縁状態で収容されている。また、電気コード
２３は、コード穴３３から引き出されている。

【００３０】図１〜図４では、理解の便宜のために、感
温用透明絶縁性基板７に比べて感温用透明絶縁膜９が実
際より厚く描かれ、発熱用透明絶縁性基板１５に比べて
発熱用透明絶縁膜１７が実際より厚く描かれている。ま
た、感温用透明絶縁性基板７及び発熱用透明絶縁性基板
１５の外縁部とハウジング２７との隙間も実際より大き
く描かれている。これは以下の実施の形態においても同
様である。

【００３１】一対の感温用導電線１３，１３と一対の発
熱用導電線２１，２１は、束ねられて一本の電気コード
２３を構成している。即ち、一本の感温用導電線１３が
図示しない電気的絶縁性の被覆材によって被覆されてお
り、その被覆材の外周部には一本の発熱用導電線２１を
ばらした多数の細線が巻き付けられている。それらが２
本並列に配置された状態で電気的絶縁性の外皮によって
被覆されている。従って、電気コード２３は断面がひょ
うたん形になっている。

【００３２】次に、コントローラ４の電気的構成を、図
５の構成図を用いて説明する。電気コード２３の他端部
は、箱型のコントローラ４に接続されている。透明面ヒ
ータ５の一対の発熱用導電線２１，２１の他端部は電源
１３１に接続されており、電源１３１から発熱用透明導
電膜１７に発熱用の通電電流が供給される。

【００３３】透明面温度センサ３の一対の感温用導電線
１３，１３の基準接点は検出器１３３に設けられてお
り、測温接合部と基準接点との間の温度差に応じた熱起
電力が発生し検出器１３３で温度が検出される。温度調
節器１３５では、予め目標保持温度が設定されている。
検出温度と目標保持温度との間に差がある場合には、そ
の差をゼロに収束させる指令を電源１３１に対して送
る。電源１３１は、その指令に応じて図示しないスイッ
チ手段を介して発熱用透明導電膜１７へ通電状態をオン
又はオフすることで、供給する通電電流を調整する。結
果として、発熱用透明導電膜１７が所望の温度に保持さ
れる。

【００３４】この顕微鏡観察用温度制御装置１を使用す
るときには、顕微鏡のステージに透明プレート部２を装
着し、コントローラ４の温度調節器１３５で観察対象の
検体の目標（加温）温度を設定し、加温しておく。そし
て、感温用透明絶縁性基板７の感温用透明導電膜９が形
成されていない面上に検体を載せたスライドガラス等を
置いて検体の観察を行う。観察中には、透明面センサ３
からの温度情報に基づいて透明面ヒータ５の電源１３１
へ指令を送られ、発熱用透明導電膜１７の発熱量が調整
されており、検体が所望の温度に保持される。

【００３５】透明面温度センサ３は、熱電対素線を構成
する一対の感温用導電線１３，１３の一端部が夫々感温
用透明導電膜９上の離間した位置に電気的に接続されて
おり、一端部同士は直接電気的に結合しておらず感温用
透明導電膜９を介して結合されているので、測温接合部
が感温用透明導電膜９上の１点ではなく、膜全面とな
る。即ち、透明面温度センサ３により、感温用透明導電
膜９全体の平均温度が検出されることになり、透明面温
度センサ３からの温度情報は精度高くなる。また、感温
用端子１１，１１が透明プレート部２の間に配置されて
いないので透明プレート部２の厚みを薄くことができ
る。

【００３６】図６に別のタイプの透明面温度センサ３７
を示す。この透明面温度センサ３７は上記の第１の実施
の形態の透明面温度センサ３の代替物である。符号３９
は一対の感温用端子を示し、この一対の感温用端子３９
は短片状になっており、各々の感温用端子３９は感温用
透明絶縁性基板７の端辺の中間地点に、感温用透明導電
膜９の中心点Ｃを挟んで対向するよう配置されている。
また、各々の感温用端子３９は感温用透明絶縁性基板７
の外縁を超えて外方に延びている。各々の感温用導電線
１３の一端部は感温用端子３９の延長部４０で電気的に
接続されている。

【００３７】図７に更に別のタイプの透明面温度センサ
４１を示す。この透明面温度センサ４１も上記の第１の
実施の形態の透明面温度センサ３の代替物である。符号
４３は一対の感温用端子を示し、この一対の感温用端子
４３は短片状になっており、各々の感温用端子４３は感
温用透明絶縁性基板７の端辺の端部地点に、感温用透明
導電膜９の中心点Ｃを挟んで対向するよう配置されてい
る。また、各々の感温用端子４３は感温用透明絶縁性基
板７の外縁を超えて外方に延びている。各々の感温用導
電線１３の一端部は感温用端子４３の延長部４４で電気
的に接続されている。

【００３８】図８〜図１０によって、第２の実施の形態
に係る顕微鏡観察用温度制御装置の透明プレート部４５
について説明する。先ず、透明面温度センサ４７の構成
について説明する。符号５０は透明プラスチックによっ
て構成される感温用透明絶縁性基板を示し、この感温用
透明絶縁性基板５０の一面には、全面にわたって、酸化
スズによって構成される感温用透明導電膜５１が真空蒸
着法によって形成されている。

【００３９】符号５３，５３は銅箔によって構成される
一対の帯状の感温用端子を示し、一対の帯状の感温用端
子５３，５３は互いに離間している。各々の感温用端子
５３は感温用透明導電膜５１の縁に沿って、感温用透明
導電膜５１に電気的に結合するよう設けられている。従
って、一対の感温用端子５３，５３は互いに感温用透明
導電膜５１の中心点Ｃを挟んで対向配置されている。各
々の感温用端子５３の一端部は、感温用透明絶縁性基板
５０の外縁を超えて延びている。

【００４０】符号５５は一対の感温用導電線を示し、各
々の感温用導電線５５の一端部は感温用端子５３の延長
部５４で電気的に接続されている。即ち、感温用端子５
３の延長部５４は導電線引出し用として使用されてい
る。一対の感温用導電線５５，５５は、感温用端子５
３，５３への接続側を測温接合部として熱電対を構成す
る２種類の金属である銅とコンスタンタンで夫々構成さ
れている。感温部保護用透明絶縁性カバーについては後
述する。

【００４１】透明面温度ヒータ４９の構成について説明
する。符号５７は透明ガラスによって構成される発熱用
透明絶縁性基板を示し、この発熱用透明絶縁性基板５７
の一面には、全面にわたって、ＳｉＯ₂−インジウム合
金によって構成される発熱用透明導電膜５９が真空蒸着
法によって形成されている。発熱用透明絶縁性基板５７
は感温用透明絶縁性基板５０より一回り大きい。

【００４２】符号６１，６１は銅箔によって構成される
一対の帯状の発熱用電極を示し、この一対の発熱用電極
６１，６１は互いに離間している。各々の発熱用電極６
１，６１は発熱用透明絶縁性基板５７の縁に沿って、発
熱用透明導電膜５９に電気的に結合するよう設けられて
いる。各々の発熱用電極６１の一端部は、発熱用透明絶
縁性基板５７の外縁を超えて延びている。符号６３は一
対の発熱用導電線を示し、各々の発熱用導電線６３の一
端部は発熱用電極６１の延長部６２で電気的に接続され
ている。即ち、発熱用電極６１の延長部６２は導電線引
出し用として使用されている。一対の発熱用導電線６
３，６３は、良好な導電体である銅で構成されている。

【００４３】発熱用透明導電膜５９及び一対の発熱用電
極６１，６１上には、発熱用透明絶縁性基板５７と同じ
材料及び同じ大きさで構成される透明絶縁性中間シート
６５が流動性及び接着性のあるシリコーン樹脂で構成さ
れる透明絶縁性材料６７を介して固着されている。一対
の感温用導電線５５，５５と一対の発熱用導電線６３，
６３は、束ねられて、第１の実施の形態の電気コード２
３と同様の構成の電気コード６９を構成している。電気
コード６９は、第１の実施の形態のコントローラ４に接
続されている。

【００４４】符号７３はハウジングを示し、このハウジ
ング７３はプラスチック製で四角形の枠状に形成され、
四角形の穴７５を有している。このハウジング７３には
穴７５の中心に向かって突出する階段状の支持部７７が
形成されている。ハウジング７３の側面にはコード穴７
９が形成されている。

【００４５】ハウジング７３の穴７５に、透明面温度セ
ンサ４７、絶縁シート７１及び透明面ヒータ４９が、各
々の中心点Ｃが一致するよう、この順に積層収容され、
透明面温度センサ４７の感温用透明絶縁性基板５０の発
熱用透明導電膜５１が形成されていない面と、透明絶縁
性中間シート６５の面がハウジング７３の支持部７７上
に合致するよう設置される。

【００４６】透明面温度センサ４７と透明絶縁性中間シ
ート６５の間に透明絶縁性材料６７が充填される。これ
により、透明面温度センサ４７と透明面ヒータ４９は互
いに電気的に絶縁するよう離間すると共に、透明絶縁性
材料６７によって固着される。この実施の形態において
は、透明絶縁性材料６７が感温部保護用透明絶縁性カバ
ーとしての機能を果たしている。

【００４７】ハウジング７３と透明面温度センサ４７及
び透明面ヒータ４９の外縁部の間には黒色のシリコーン
樹脂で構成され、接着性のある固定用絶縁性材料６８が
充填されており、透明面温度センサ４７及び透明面ヒー
タ４９の外縁部が固定用絶縁性材料６８を介してハウジ
ング７３に固着される。即ち、ハウジング７３によって
透明面温度センサ４７及び透明面ヒータ４９の外縁部が
保持される。また、電気コード６９は、コード穴７９か
ら引き出されている。

【００４８】透明プレート部４５の発熱用透明絶縁性基
板５７の発熱用透明導電膜５９が形成されていない面を
上にして顕微鏡のステージに装着され、第１の実施の形
態の顕微鏡観察用温度制御装置１と同様に使用される。
第１の実施の形態と同様に、透明面温度センサ４７は、
感温用透明導電膜５１の平均温度値を検出するので、得
られる温度情報の精度が高くなる。また、発熱用透明絶
縁性基板５０が広いので、複数のスライドガラス等を置
くことができる。従って、観察前に複数の検体を予め加
温状態に保持しておくことができる。

【００４９】以下、図１１によって、第３の実施の形態
に係る顕微鏡観察用温度制御装置の透明プレート部８３
について説明する。この実施の形態の透明プレート部８
３は、透明面温度センサ８５と透明面ヒータ９３が基板
を共通にする一枚型である。

【００５０】透明面温度センサ８５は、透明ガラスによ
って構成される感温用透明絶縁性基板８７を備えてい
る。感温用透明絶縁性基板８７の裏面に、全面にわたっ
て酸化スズによって構成される感温用透明導電膜８９が
真空蒸着法によって形成されている。符号９１，９１は
銅箔によって構成される一対の帯状の感温用端子を示
し、各々の感温用端子９１は、感温用透明絶縁性基板８
７の縁に沿って設けられていることを除いては、第１の
実施の形態の感温用端子１１，１１と同様に構成されて
いる。感温部保護用透明絶縁性カバー９２が感温用透明
導電膜８９及び一対の感温用端子９１，９１を覆ってい
る。

【００５１】透明面ヒータ９３は、発熱用透明絶縁性基
板として感温用透明絶縁性基板８７を使用している。感
温用透明絶縁性基板８７の表面に、全面にわたってＳｉ
Ｏ₂−インジウム合金によって構成される発熱用透明導
電膜９５が真空蒸着法によって形成されている。符号９
７，９７は銅箔によって構成される一対の帯状の発熱用
電極を示し、各々の発熱用電極９７は第１の実施の形態
の発熱用電極１９，１９と同様に構成されている。発熱
部保護用透明絶縁性カバー９８が発熱用透明導電膜９５
及び一対の発熱用電極９７，９７を覆っている。

【００５２】その他の構成は、第１の実施の形態の顕微
鏡観察用温度制御装置１の透明プレート部２と同様であ
り、第１の実施の形態のコントローラ４に接続されて使
用される。透明プレート部８３は一枚型で厚みが薄いの
で、これを使用すれば、光源から検体までの距離を短く
することができる。

【００５３】図１２は、第４の実施の形態に係る顕微鏡
観察用温度制御装置の透明プレート部９９を示す。この
透明プレート部９９は、感温用透明絶縁性基板１０１と
発熱用透明絶縁性基板１０３が円形である。従って、感
温用透明導電膜１０５と発熱用透明導電膜１０７も円形
である。一対の感温用端子１０９は感温用透明絶縁性基
板１０１の縁から内側に離間した位置で湾曲している。
一対の発熱用電極１１１は発熱用透明絶縁性基板１０３
の縁に沿って湾曲している。また、絶縁シート１１３及
びその穴１１５、ハウジング１１７及びその穴１１９も
円形である。しかしながら、上記の形状的な特徴を除い
ては、第１の実施の形態に係る顕微鏡観察用温度制御装
置１の透明プレート部２と同様に構成されており、同様
な部分については同じ符号を付してその説明を省略す
る。

【００５４】図１３は、図１２とは別のタイプの透明面
温度センサ１２１を示す。この透明面温度センサ１２１
の感温用端子１２３は直線状部分を有し、この点で上記
の透明面温度センサの一部を構成する感温用端子１０９
の形状と異なる。しかしながら、上記の形状的な特徴を
除いては、上記の透明プレート部９９と同様に構成され
ており、同様な部分については同じ符号を付してその説
明を省略する。

【００５５】以下、図１４（ａ），（ｂ）によって、第
５の実施の形態に係る顕微鏡観察用温度制御装置の透明
プレート部２０１について説明する。この実施の形態
は、透明導電膜を発熱用と感温用に兼用する基板一枚型
であり、図１４（ａ），（ｂ）では、感温用素子の配置
場所だけが異なっている。

【００５６】透明ガラスによって構成される四角形の透
明絶縁性基板の表面に、全面にわたってＳｉＯ₂−イン
ジウム合金によって構成される透明導電膜２０３が真空
蒸着法によって形成されている。符号２０５，２０５は
銅箔によって構成される一対の帯状の感温用端子を、符
号２０７，２０７は一対の感温用導電線をそれぞれ示
す。符号２０９，２０９は銅箔によって構成される一対
の帯状の発熱用電極を、符号２１１，２１１は一対の発
熱用導電線を示す。透明絶縁膜２０３、一対の感温用端
子２０５，２０５、及び一対の発熱用電極２１１，２１
１上には、シリコーン樹脂で構成された透明絶縁性材料
（保護用透明絶縁性カバー）を介して図示しない保護用
透明絶縁性板が設けられている。

【００５７】上記構成の透明プレート部２０１は、第１
の実施の形態のコントローラ４に接続されて、第１の実
施の形態と同様に使用される。この透明プレート部２０
１は、透明導電膜２０３を発熱用と感温用に兼用するこ
とから、透明プレート部２０１の厚みを、図１１の透明
プレート部８３より更に薄くすることができる。更に、
発熱体としての透明導電膜２０３から直接温度情報を得
られることから、第１の実施の形態のように透明面ヒー
タ５の透明絶縁膜９と透明面温度センサ３の透明絶縁膜
１７を電気的に絶縁する必要がない。従って、透明プレ
ート部２０１の構成が単純になり、製作が容易になる。

【００５８】以下、図１５（ａ），（ｂ）によって、第
５の実施の形態とは別のタイプの透明プレート部２１３
について説明する。この実施の形態は、透明絶縁性基板
の形状が円形である点を除いては、第５の実施の形態の
透明プレート部２０１と同じ構成である。符号２１５，
２１５は銅箔によって構成される一対の帯状の感温用端
子を、符号２１７，２１７は一対の感温用導電線をそれ
ぞれ示す。符号２１９，２１９は銅箔によって構成され
る一対の帯状の発熱用電極を、符号２２１，２２１は一
対の発熱用導電線を示す。

【００５９】図１６〜図１７によって、第６の実施の形
態に係る顕微鏡観察用温度制御装置２２３を説明する。
顕微鏡観察用温度制御装置２２３は透明プレート部２２
５とコントローラ２２７とそれらを電気的に接続する電
気コード２２９で構成されている。先ず、透明プレート
部２２５の構成について説明する。

【００６０】符号２３１は透明ガラスによって構成され
る透明絶縁性基板を示し、この透明絶縁性基板２３１の
一面には、全面にわたって、ＳｉＯ₂−インジウム合金
によって構成される透明導電膜２３５が形成されてい
る。この透明導電膜２３５は真空蒸着法によって形成さ
れる。符号２３７，２３７は銅箔によって構成される一
対の帯状の電極を示し、この電極２３７，２３７は互い
に離間している。各々の電極２３７は透明導電膜２３５
の縁から離間した内側に、透明導電膜２３５に電気的に
結合するよう設けられている。従って、一対の電極２３
７，２３７は互いに透明導電膜２３５の中心点Ｃを挟ん
で対向配置されている。各々の電極２３７の一端部は、
透明絶縁性基板２３１の外縁を超えて延びている。

【００６１】符号２３９は一対の銅製の導電線を示し、
各々の導電線２３９の一端部は電極２３７の延長部２３
８の裏面で電気的に接続されている。即ち、電極２３７
の延長部２３８は導電線引出し用として使用されてい
る。一対の導電線２３９，２３９は、銅で構成されてい
る。

【００６２】一対の導電線２３９，２３９は、束ねられ
て一本の電気コード２４１を構成している。符号２４３
は保護用透明絶縁性板を、符号２４５はハウジングをそ
れぞれ示す。このハウジング２４５は、第１の実施の形
態のハウジング２７と同様に、プラスチック製で四角形
の枠状に形成され、四角形の穴２４７と、穴の中心に向
かって突出する支持部２４９が形成されている。また、
ハウジング２４５の側面には電気コード２４１を通すた
めのコード穴２５１が形成されている。

【００６３】透明プレート部２２５では、ハウジング２
４５の穴２４７に、図１６に示すように積層収容され、
透明絶縁性基板２３１と保護用透明絶縁性板２４３の間
には流動性及び接着性のあるシリコーン樹脂で構成され
る図示しない透明絶縁性材料（保護用透明絶縁性カバ
ー）が充填され一体となっている。

【００６４】透明プレート部２２５の外縁部とハウジン
グ２４５との間は黒色のシリコーン樹脂で構成され、接
着性のある固定用絶縁性材料が充填されており、透明プ
レート部２２５が固定用絶縁性材料を介してハウジング
２４５に固着される。電気コード２４１は、コード穴２
５１から引き出されている。

【００６５】次に、コントローラ２２７の電気的構成
を、図１７のブロック図を用いて説明する。電気コード
２４１は、コントローラ２２７に接続されている。一対
の導電線２３９，２３９の他端部は電源２４８に接続さ
れており、電源２４８から透明導電膜２３５に通電電流
が供給される。

【００６６】符号２４９は、電圧・電流検出器を示し、
この電圧・電流検出器２４９は、導電線２３９に印加さ
れている電圧と通電している電流が検出される。抵抗・
温度演算器２５１において、検出された電圧値と電流値
から抵抗が演算され、抵抗値に基づいて温度が算出され
る。温度調節器２５３では、予め目標保持温度が設定さ
れており、算出された温度と目標保持温度との間に差が
ある場合にはその差をゼロに収束させる指令を電源１３
１に対して送る。電源２４８は、その指令に応じて図示
しないスイッチ手段を介して透明導電膜２３５へ通電状
態をオン又はオフすることで、供給する通電電流を調整
する。

【００６７】即ち、この実施の形態では、透明面ヒータ
自体に透明面温度センサとしての機能を持たせており、
透明面温度センサは、発熱用透明絶縁性基板と、発熱用
透明導電膜と、一対の発熱用導電線を、それぞれ、感温
用透明絶縁性基板と、感温用透明導電膜と、一対の感温
用導電線として利用していると言える。この実施の形態
の透明面温度センサは、抵抗の変化を利用したタイプで
あり、発熱による抵抗の変化に対応して通電電流が変化
するが、印加電圧と通電電流の値から抵抗値が演算さ
れ、感温用透明導電膜の抵抗・温度特性に基づいて温度
が算出される。この実施の形態によれば、感温用素子を
必要としないため、透明プレート部２２５の構成が上記
の第５の実施の形態の透明プレート部２０１より単純化
する。

【００６８】図１８〜図２０によって、第７の実施の形
態に係る顕微鏡観察用温度制御装置の電気コード３０１
及び透明プレート部３０３を説明する。図１８（ａ）に
示すように電気コード３０１は一対の信号コード３０
５，３０５を有している。この信号コード３０５は感温
用導電線３０７が電気的絶縁性の被覆材３０９によって
被覆されて構成されている。信号コード３０５の被覆材
３０９の外周部には細い多数の導電線、例えば銅線によ
って構成される発熱用導電線３１１が巻き付けられてい
る。発熱用導電線３１１が巻き付けられた信号コード３
０５が２つ並列に配置され、その状態で電気的絶縁性の
外皮３１３によって被覆されている。この外皮３１３は
断面がアラビア数字の「８」を横にしたような形状にな
っている。

【００６９】使用するときには、図１８（ｂ）に示すよ
うに、外皮３１３を除去することにより発熱用導電線３
１１の先端部を露出させる。この状態では、発熱用導電
線３１１は被覆材３０９の外周部に巻き付けられてい
る。従って、発熱用導電線３１１を外周部から取り外し
て、一つに束ねる。また、信号コード３０５の被覆材３
０９を除去することにより感温用導電線３０７を露出さ
せる。

【００７０】図１９、図２０は、この電気コード３０１
を透明プレート部３０３に接続した状態を示す。透明プ
レート部３０３の構成は、第２の実施の形態に係る透明
プレート部４５と基本的に同じであり、コード穴３１５
の位置のみが異なっている。第２の実施の形態と同様な
部材については第２の実施の形態と同じ符号を付して説
明を省略する。電気コード３０１は、信号コード３０
５，３０５が水平方向へ並ぶ姿勢でハウジング７３の側
面に形成されたコード穴３１５から挿入されており、ハ
ウジング７３内で外皮３１３が二つに裂かれて左右方向
に分岐している。そして、この分岐した外皮３１３の先
端部から発熱用導電線３１１がそれぞれ露出し、図１８
（ｂ）に示したように束ねられている。さらに外皮３１
３の先端部から信号コード３０５がそれぞれ露出してい
る。

【００７１】上記左右の発熱用導電線３１１の先端部
は、左右の発熱用電極６１の延長部６２に図示しない導
電性接着剤によりそれぞれ固定され電気的に接続され
る。また、上記左右の信号コード３０５は、その先端に
おいて被覆材３０９が除去され感温用導線３０７の先端
部が露出している。そして、左右の感温用導線３０７の
先端部は、左右の感温用端子５３の延長部５４に図示し
ない導電性接着剤によりそれぞれ固定され電気的に接続
される。電気コード３０１の右方向に分岐した側では、
束ねられた発熱用導電線３１に外皮３１３が嵌められて
いる。これは、発熱用導電線３１１を保護するためであ
る。なお、ハウジング７３と透明面温度センサ４７及び
透明面ヒータ４９の外縁部の間には、第２の実施の形態
と同様に固定用絶縁性材料６８が充填されており、ハウ
ジング７３内の電気コード３０１も固定用絶縁性材料６
８を介してハウジング７３に固定されている。

【００７２】この実施の形態によれば、透明プレート部
３０３の顕微鏡観察部分には信号コード３０５のみが配
置されることになり、かなり薄型にできる。また、従来
の電気コードはかなり剛性を有していたため、それを備
えた顕微鏡観察用温度制御装置を顕微鏡に装着したとき
には、顕微鏡のレンズに干渉したり、また、透明プレー
ト部は非常に軽いために、電気コードを不用意に動かす
ことにより透明プレート部も動かしてしまうようなこと
があった。しかしながら、この電気コード３０１は、断
面積の小さい「８」の字型をしていることから、かなり
柔軟であり、上記のような不都合はない。

【００７３】図２１によって、第８の実施の形態に係る
顕微鏡観察用温度制御装置の透明プレート部の透明面温
度センサ４０１を説明する。この透明面温度センサ４０
１では、円形の感温用透明絶縁性基板上４０３に、感温
用透明導電膜４０５が蒸着されている。この感温用透明
導電膜４０５は感温用透明絶縁性基板４０３より小さい
同心円部４０７と、当該同心円部４０７と連続して左右
方向に対称的に延びる一対の突出部４０９，４０９とか
ら構成されている。なお、このようなパターンは、マス
キング用にレジストを一部の感温用透明絶縁性基板４０
３上に形成し、蒸着後にレジストを除去したり、或いは
蒸着後にエッチングにより一部の蒸着膜を除去すること
により形成できる。

【００７４】４１１，４１１は一対の感温用端子を示
し、各々の感温用端子４１１は各突出部４０９の両端部
上に、各突出部４０９と電気的に結合するよう設けられ
ている。各々の感温用端子４１１の一端部は感温用透明
絶縁性基板４０３の外縁を超えて外方に延びている。一
対の感温用端子４１１，４１１は互いに感温用透明導電
膜４０５上に対向して配置されている。

【００７５】４１３，４１３は一対の感温用導電線を示
し、各々の感温用導電線４１３の一端部は各々の感温用
端子の延長部４１５に対し電気的に接続されている。上
記の形状的な特徴を除いては、第４の実施の形態に係る
顕微鏡観察用温度制御装置の透明プレート部９９と同様
に構成されており、説明を省略する。この透明面温度セ
ンサ４０１では、感温用透明導電膜４０５が感温用透明
絶縁性基板４０３の全面ではなく、顕微鏡観察時に検体
を載せる部分、即ち同心円部４０７と、その部分と感温
用端子４１１の接続部とを連絡する部分、即ち一対の突
出部４０９，４０９に形成されているので、顕微鏡観察
中の検体の温度をより精度高く測定できる。

【００７６】図２２は第８の実施の形態とは別のタイプ
の顕微鏡観察用温度制御装置の透明プレート部の透明面
温度センサ４１７を示す。この透明面温度センサ４１７
では、感温用透明導電膜４１９の同心円部４２１に２つ
の細長い角形の空白部（即ち、感温用透明導電膜が形成
されていない部分）４２３が形成されている。上記の形
状的な特徴を除いては、第８の実施の形態の透明面温度
センサ４０１と同様に構成されており、同様な部分につ
いては同様な符号を付してその説明を省略する。

【００７７】この実施の形態のように、切欠き部４２３
を設けることにより、即ち、感温用透明導電膜４１９の
形状をパターン化することにより、感温用透明導電膜４
１９の抵抗を調整することができる。従って、コントロ
ーラの測温範囲や感度に合わせて感温用透明導電膜４１
９の抵抗を適宜調整することにより、透明面温度センサ
４１７のセンシング特性を最適なものとすることができ
る。

【００７８】図２３〜図２４によって、第９の実施の形
態に係る顕微鏡観察用温度制御装置の透明プレート部を
説明する。図２３は、長方形の透明面温度センサ４２５
を示す。この透明面温度センサ４２５では、感温用透明
絶縁性基板４２７上に２つのセンシング部が備えられて
いる。第１センシング部４２９の感温用透明導電膜４３
１は中央に円部４３３と、当該円部４３３と連続して形
成された突出部４３５，４３５とから構成されている。
突出部４３５，４３５は対称的に左右方向から延び途中
で直角に屈曲して図面上方に至っている。４３７，４３
７は一対の感温用端子を示し、各々の感温用端子４３７
は各突出部４３５の両端部に電気的に結合するよう設け
られている。各々の感温用端子４３７の一端部は感温用
透明絶縁性基板４２７の外縁を超えて外方に延びてい
る。４３９，４３９は一対の感温用導電線を示し、各々
の感温用導電線４３９の一端部は各々の感温用端子４３
７の延長部４４１に対し電気的に接続されている。

【００７９】第２センシング部４４３の感温用透明導電
膜４４５は、第１センシング部４２９の感温用透明導電
膜４３１を囲むように、左右対称のＵ字形に形成されて
いる。４４７，４４７は一対の感温用端子を示し、各々
の感温用端子４４７はＵ字形の左右の両端部上に電気的
に結合するよう設けられている。各々の感温用端子４４
７の一端部は感温用透明絶縁性基板４２７の外縁を超え
て外方に延びている。４４９，４４９は一対の感温用導
電線を示し、各々の感温用導電線４４９の一端部は各々
の感温用端子４４７の延長部４５１に対し電気的に接続
されている。即ち、この実施の形態では、センシング用
の２つの回路が互いに独立して構成されている。

【００８０】図２４は、透明面温度センサ４２５用の透
明面ヒータ４５３を示す。この透明面ヒータ４５３で
は、感温用透明絶縁性基板４２７と同じ形状の発熱用透
明絶縁性基板４５５上に発熱用透明導電膜４５７が蒸着
されている。この発熱用透明導電膜４５７は、通電経路
の幅が、発熱用透明絶縁性基板４５５の中央部で狭くな
るように、パターン状に形成されている。即ち、導電膜
のない空白部４５８が形成されている。４５９，４５９
は一対の発熱用電極を示し、各々の発熱用電極４５９は
通電経路の両端部上に電気的に結合するよう設けられて
いる。各々の発熱用電極４５９の一端部は発熱用透明絶
縁性基板４５５の外縁を超えて外方に延びている。４６
１，４６１は一対の発熱用導電線を示し、各々の発熱用
導電線４６１の一端部は各々の発熱用電極の延長部４６
３に対し電気的に接続されている。この透明面ヒータ４
５３では、中央部の方が外側に比べて通電経路の幅が狭
くなることから抵抗が高くなり、発熱温度が高くなる。

【００８１】透明面温度センサ４２５と透明面ヒータ４
５３は、その形状的特徴を除いては第１の実施の形態と
同様であり、同様に一体化されて透明プレート部を構成
している。この透明プレート部は、第１の実施の形態の
顕微鏡観察用温度制御装置１のコントローラ４に接続さ
れる。但し、透明面温度センサ４２５に関しては、第１
センシング部４２９の各々の感温用導電線４３９の他端
部と、第２センシング部４４３の各々の感温用導電線４
４９の他端部が接続されている。コントローラ４の検出
器１３３で２つのセンシング部４２９，４４３の温度を
択一的に検出し、温度調節器１３５で検出温度とセンシ
ング部毎に予め設定された目標保持温度と差がある場合
には透明面ヒータ４５３へ供給する通電電流を調整す
る。

【００８２】この実施の形態では、一つの透明プレート
部上で、複数の検体を同時に異なる温度に加温すること
ができる。そして、顕微鏡観察中の検体が、透明プレー
ト部の第１センシング部４２９上に載せられている場合
には第１センシング部４２９の温度が検出器１３３で検
出され、第２センシング部４４３部上に載せられている
場合には第２センシング部４２９の温度が検出器１３３
で検出されるようにコントローラ４の設定を切り替える
ことにより、顕微鏡観察中の検体の温度を精度高く調節
することができる。従って、同種の検体を複数個、異な
る温度に加温してそれらを比較観察するときに好都合で
ある。

【００８３】以上、本発明の実施の形態について詳述し
てきたが、具体的な構成はこの実施の形態に限られるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設
計の変更などがあっても本発明に含まれる。上記の実施
の形態は第６の実施の形態を除いては、熱起電力を利用
したタイプの透明面温度センサに関するものであるが、
感温用導電線の材料を代えることで、抵抗の変化を利用
したタイプの透明面温度センサに代えることができるこ
とは言うまでもない。なお、抵抗の変化を利用したタイ
プの透明面温度センサを用いる場合には、第１〜５、７
の実施の形態では検出器１３３で抵抗の変化に基づいた
温度が検出される。

【００８４】透明面温度センサが熱起電力を利用した検
出タイプの場合には、感温用導電線は熱起電力を発生す
ることができる組合せのもので構成すれば足り、銅とコ
ンスタンタンに限らず、通常の接点タイプの熱電対素線
の材料の組合せ、例えば、クロメルとアルメル、クロメ
ルとコンスタンタン、鉄とコンスタンタン、３０％ロジ
ウム含有白金合金−６％ロジウム含有白金合金、１３％
ロジウム含有白金合金−白金、１２．８％ロジウム含有
白金合金−白金、１０％ロジウム含有白金合金−白金が
使用できる。経済性や感度を考慮すれば、銅とコンスタ
ンタン、クロメルとアルメル、クロメルとコンスタンタ
ン、鉄とコンスタンタンの組合せが好ましい。

【００８５】基準接点側は、通常の接点タイプの熱電対
と同様の構成を採用できる。例えば、延長導線として補
償導線を用いてもよい。感温用透明導電膜は、良好な熱
応答性を示す１種類の材料で構成すれば足りる。例え
ば、酸化スズ、ＳｉＯ₂−インジウム合金、酸化インジ
ウム、スズ又はアンチモンをドープした酸化インジウム
（例えばＩＴＯ）、アンチモンをドープした酸化スズ等
の抵抗発熱性の良い酸化物で構成することが好ましい。
感温用端子は、感温用導電線と感温用透明導電膜の電気
的接続を良好に構成し、安定したセンシング特性を得る
ために設けられたものであり、材料は銅に限らず銀やニ
ッケルや白金でもよい。

【００８６】透明面温度センサが抵抗の変化を利用した
検出タイプの場合には、感温用導電線は、銅に限らず、
良好な１種類の導電体（金属）で構成すればよい。感温
用透明導電膜は、抵抗温度計の測温部（抵抗体）を構成
することから、特に抵抗温度係数が高い、白金、白金基
合金、銅、ニッケル等の金属、更には、酸化スズ、Ｓｉ
Ｏ₂−インジウム合金、酸化インジウム、スズ又はアン
チモンをドープした酸化インジウム（例えばＩＴＯ）、
アンチモンをドープした酸化スズ等の抵抗温度係数の大
きい酸化物で構成することが好ましい。

【００８７】但し、感温用端子や感温用導電線をいずれ
も感温用透明導電膜と同質の材料で構成すれば、素子構
造を複雑にせずに全体を抵抗回路としてパターン化でき
ることになる。例えば、感温用透明導電膜が白金の場合
には、感温用端子も白金とし、感温用導電線はニッケル
／白金クラッド線とする。なお、感温用端子は透明導電
膜の両端部で代用してもよい。なお、顕微鏡の温度制御
装置用としては、透明面温度センサが熱起電力を利用し
た検出タイプでも、抵抗の変化を利用した検出タイプで
も、感温用透明導電膜をＩＴＯで構成し、感温用端子を
銅箔で構成し、一対の感温用導電線を前者のタイプの場
合には銅とコンスタンタンで構成し、後者のタイプの場
合には銅で構成すれば十分な精度の温度情報が得られ
る。

【００８８】透明面温度センサがいずれのタイプでも、
感温用端子の形状は帯状や短片状に限らない。上記の実
施の形態では、感温用端子には延長部が設けられ、その
延長部で感温用導電線が接続されているが、厚みが気に
ならない程度であれば延長部を必ずしも設ける必要はな
い。感温用端子は、箔に限らず、透明蒸着膜の上に蒸着
膜として形成したものでもよい。感温用端子の形成場所
は、感温用透明導電膜上の縁側には限らない。例えば、
中心点Ｃに近いところでもよい。感温用端子の形成場所
は、感温用透明導電膜上の縁側には限らない。例えば、
中心点Ｃに近いところでもよい。更に、感温用導電線と
感温用透明導電膜の電気的接続を良好に構成できるので
あれば、感温用端子として別個の部材を設けず、感温用
透明導電膜の一部を感温用端子として代用してもよい。

【００８９】透明面ヒータの発熱用導電線は銅に限らず
良好な導電体で構成すればよい。発熱用透明導電膜は、
通電されると抵抗発熱するもので構成すれば足りるの
で、酸化スズやＳｉＯ₂−インジウム合金に限らず、例
えば、酸化インジウム、スズ又はアンチモンをドープし
た酸化インジウム（例えばＩＴＯ）、アンチモンをドー
プした酸化スズ等を使用してもよい。なお、発熱性がよ
いことからＳｉＯ₂−インジウム合金が好ましい。発熱
用電極に関しては、銅に限らず、電極性能のよい材料で
構成すればよい。

【００９０】感温用透明絶縁性基板、発熱用透明絶縁性
基板及び中間透明絶縁性シートは、透明性及び絶縁性を
有するもので構成すれば足り、ガラスに限らず、例え
ば、アクリル、ポリカーボネート、スチレン等のプラス
チックで構成してもよい。感温用透明絶縁性基板、発熱
用透明絶縁性基板及び中間透明絶縁性シートは、四角形
や円形に限らず、その他の多角形や楕円形でもよい。中
間透明絶縁性シートの代わりに、紙等で構成され、四角
形の枠上に形成された絶縁シートを用いてもよい。

【００９１】感温用端子や発熱用電極は、箔に限らず、
透明蒸着膜の上に蒸着膜として形成したものでもよい。
絶縁シートは紙に限らず、片面又は両面の粘着テープで
もよい。また、透明でなくてもよい。

【００９２】透明絶縁性材料としては、シリコーン樹脂
に限らず、ポリウレタン樹脂等も使用できるが、シリコ
ーン樹脂が接着性を有することから好ましい。また、ハ
ウジング固定用に使用される固定用絶縁性材料として
は、シリコーン樹脂に限らず、ポリウレタン樹脂等も使
用できる。また、ハウジング内に隠れるので、有色、例
えば、黒色や白色でよい。

【００９３】なお、第７の実施の形態に係る電気コード
は、第１〜６の実施の形態に係る顕微鏡観察用温度制御
装置においても利用できることは勿論である。

【００９４】第８の実施の形態やその別のタイプ、第９
の実施の形態では、感温用導電線の材料を代えること
で、抵抗の変化を利用したタイプの透明面温度センサに
代えることができることは言うまでもないが、第６の実
施の形態と同様に、図２１、図２２、図２３にそれぞれ
示す透明面温度センサを透明面ヒータにも兼用するよう
構成することも可能である。また、第８の実施の形態や
その別のタイプ、第９の実施の形態では、感温用透明絶
縁性基板上には感温用透明導電膜のない領域を形成する
ことにより、感温用透明導電膜をパターン化している
が、感温用透明導電膜の厚みを場所により変えることに
よりパターン化することも可能である。また、導電膜の
ない領域と厚みの異なる導電膜の領域が複数含まれるよ
うなパターンを形成することも可能である。

【００９５】

【発明の効果】本発明は以上のような構成を有すること
によって成るものであり、透明面の温度を簡単な機構で
正確に検知することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態に係る顕微鏡観察用温度制御
装置の透明プレート部の分解斜視図である。

【図２】第１の実施の形態の透明プレート部の平面図で
ある。

【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。

【図４】図２のＢ−Ｂ断面図である。

【図５】第１の実施の形態に係る顕微鏡観察用温度制御
装置の構成図である。

【図６】図６（ａ）は第１の実施の形態のコントローラ
に接続される他のタイプの透明プレート部の透明面温度
センサの平面図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）の断面
図である。

【図７】図７（ａ）は第１の実施の形態のコントローラ
に接続される更に他のタイプの透明プレート部の透明面
温度センサの平面図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）の
断面図である。

【図８】第２の実施の形態に係る顕微鏡観察用温度制御
装置の透明プレート部の平面図である。

【図９】図８のＡ−Ａ断面図である。

【図１０】図８のＢ−Ｂ断面図である。

【図１１】第３の実施の形態に係る顕微鏡観察用温度制
御装置の透明プレート部の断面図である。

【図１２】第４の実施の形態に係る顕微鏡観察用温度制
御装置の透明プレート部の分解斜視図である。

【図１３】第４の実施の形態の透明プレートとは別のタ
イプの透明プレート部の平面図である。

【図１４】図１４（ａ）、（ｂ）は、第５の実施の形態
に係る透明プレート部の平面図である。

【図１５】図１５（ａ）、（ｂ）は図１５とは別のタイ
プの透明プレート部の平面図である。

【図１６】第６の実施の形態に係る顕微鏡観察用温度制
御装置の透明プレート部の分解斜視図である。

【図１７】第６の実施の形態に係る顕微鏡観察用温度制
御装置の構成図である。

【図１８】第７の実施の形態に係る顕微鏡観察用温度制
御装置の透明プレート部に備える電気コードの斜視図で
ある。

【図１９】図１８の電気コードを備えた状態の透明プレ
ート部の一部平面図である。

【図２０】図１９の電気コードを備えた状態の透明プレ
ート部の部分斜視図である。

【図２１】第８の実施の形態に係る顕微鏡観察用温度制
御装置の透明プレート部の透明面温度センサの平面図で
ある。

【図２２】第８の実施の形態とは別のタイプの透明面温
度センサの平面図である。

【図２３】第９の実施の形態に係る顕微鏡観察用温度制
御装置の透明プレート部の透明面温度センサの平面図で
ある。

【図２４】第９の実施の形態に係る顕微鏡観察用温度制
御装置の透明プレート部の透明面ヒータの平面図であ
る。

【符号の説明】

１…顕微鏡観察用温度制御装置、２…透明プレート部、
４…コントローラ、３…透明面温度センサ、５…透明面
ヒータ、７…感温用透明絶縁性基板、９…感温用透明絶
縁膜、１１…感温用端子、１２…延長部、１３…感温用
導電線、１５…発熱用透明絶縁性基板、１７…発熱用透
明絶縁膜、１９…発熱用電極、２０…延長部、２１…発
熱用導電線、２３…電気コード、２５…絶縁シート、２
７…ハウジング、２９…穴、３１…支持部、３３…コー
ド穴、３５…透明絶縁性材料、３６…固定用絶縁性材
料、３７…透明プレート部の透明面温度センサ部分、３
９…感温用端子、４０…延長部、４１…透明面温度セン
サ、４３…感温用端子、４４…延長部、４５…顕微鏡観
察用温度制御装置、４７…透明面温度センサ、４９…透
明面ヒータ、５０…感温用透明絶縁性基板、５１…感温
用透明絶縁膜、５３…感温用端子、５４…延長部、５５
…感温用導電線、５７…発熱用透明絶縁性基板、５９…
発熱用透明絶縁膜、６１…発熱用電極、６２…延長部、
６３…発熱用導電線、６５…透明絶縁性中間シート、６
７…透明絶縁性材料、６８…固定用絶縁性材料、６９…
電気コード、７３…ハウジング、７５…穴、７７…支持
部、７９…コード穴、８３…顕微鏡観察用温度制御装
置、８５…透明面温度センサ、８７…感温用透明絶縁性
基板、８９…感温用透明絶縁膜、９１…感温用端子、９
２…感温部保護用透明絶縁性カバー、９３…透明面ヒー
タ、９５…発熱用透明絶縁膜、９７…発熱用電極、９８
…発熱部保護用透明絶縁性カバー、９９…顕微鏡観察用
温度制御装置、１０１…感温用透明絶縁性基板、１０３
…発熱用透明絶縁性基板、１０５…感温用透明導電膜、
１０７…発熱用透明導電膜、１０９…一対の感温用端
子、１１１…一対の発熱用電極、１１３…絶縁シート、
１１５…穴、１１７…ハウジング、１１９…穴、１２１
…透明面温度センサ、１２３…感温用端子、２０１…透
明プレート、２０３…透明絶縁膜、２０５…一対の感温
用端子、２０７…一対の感温用導電線、２０９…一対の
発熱用電極、２１１…一対の発熱用導電線、２２３…顕
微鏡観察用温度制御装置、２２５…透明プレート部、２
２７…コントローラ、２３１…透明導電膜、２３５…透
明導電膜、２３７…一対の電極、２３８…延長部、２３
９…一対の導電線、２４１…電気コード、２４５…ハウ
ジング、２４８…電源、２４９…電圧・電流検出器、２
５１…抵抗・温度演算器、３０１…電気コード、３０３
…透明プレート部、３０５…信号コード、３０７…感温
用導電線、３０９…被覆材、３１１…発熱用導電線、３
１３…外皮、３１５…コード穴、４０１…透明面温度セ
ンサ、４０３…感温用透明絶縁性基板、４０５…感温用
透明導電膜、４０７…同心円部、４０９…一対の突出
部、４１１…一対の感温用端子、４１３…一対の感温用
導電線、４１５…延長部、４１７…透明面温度センサ、
４１９…感温用透明導電膜、４２１…同心円部、４２３
…空白部、４２５…透明面温度センサ、４２７…感温用
透明絶縁性基板、４２９…第１センシング部、４３１…
感温用透明導電膜、４３３…円部、４３５…一対の突出
部、４３７…一対の感温用端子、４３９…一対の感温用
導電線、４４１…延長部、４４３…第２センシング部、
４４５…感温用透明導電膜、４４７…一対の感温用端
子、４４９…一対の感温用導電線、４５１…延長部、４
５３…透明面ヒータ、４５５…発熱用透明絶縁性基板、
４５７…発熱用透明導電膜、４５８…空白部、４５９…
一対の発熱用電極、４６１…一対の発熱用導電線、４６
３…延長部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】感温用透明絶縁性基板と、前記感温用透明
絶縁性基板の少なくともいずれか一方の面上の少なくと
も一部に形成された感温用透明導電膜と、互いに所定距
離離間され且つ前記感温用透明導電膜に電気的に結合さ
れた一対の感温用端子と、前記一対の感温用端子に各々
の導電線の一端部が電気的に接続された一対の感温用導
電線を備え、前記感温用透明導電膜の温度変化に伴う前
記感温用導電線を流れる電流又は電圧の変化に基づい
て、温度を測定することを特徴とする透明面温度セン
サ。
【請求項２】請求項１記載の透明面温度センサにおい
て、更に、感温用透明導電膜を覆う感温部保護用透明絶
縁性カバーを備えたことを特徴とする透明面温度セン
サ。
【請求項３】請求項１又は２記載の透明面温度センサに
おいて、一対の感温用端子が感温用透明導電膜上に互い
に対向して配置されていることを特徴とする透明面温度
センサ。
【請求項４】請求項１〜３のいずれか記載の透明面温度
センサにおいて、一対の導電線は熱電対を構成する２種
類の導電体で構成されており、前記各々の導電線の一端
部側を一方の測温接合部として、前記一対の感温用導電
線間に生じる熱起電力を利用して温度を測定することを
特徴とする透明面温度センサ。
【請求項５】請求項１〜３のいずれか記載の透明面温度
センサにおいて、感温用透明導電膜は温度変化に伴って
抵抗値が変化する抵抗体からなり、前記感温用透明導電
膜の抵抗値の変化を利用して温度を測定することを特徴
とする透明面温度センサ。
【請求項６】請求項１〜３のいずれか記載の透明面温度
センサが、透明面ヒータに取り付けられており、前記透
明面ヒータが発熱用透明絶縁性基板と、前記発熱用透明
絶縁性基板の少なくともいずれか一方の面の少なくとも
一部に形成された発熱用透明導電膜と、前記発熱用透明
導電膜に電気的に結合され且つ互いに所定距離離間され
た一対の発熱用電極を有し、且つ前記透明面温度センサ
からの温度情報に基づいて前記透明面ヒータへの通電量
が制御されることを特徴とする透明面温度制御装置。
【請求項７】請求項６記載の透明面温度制御装置におい
て、感温用端子は感温用透明絶縁性基板の外縁を超えて
延びた延長部を有し、その延長部に感温用導電線が接続
されていることを特徴とする透明面温度制御装置。
【請求項８】請求項６又は７記載の透明面温度制御装置
において、発熱用透明絶縁性基板は感温用透明絶縁性基
板にも兼用されていることを特徴とする透明面温度制御
装置。
【請求項９】請求項８記載の透明面温度制御装置におい
て、発熱用透明導電膜は感温用透明導電膜にも兼用され
ていることを特徴とする透明面温度制御装置。
【請求項１０】請求項６〜９のいずれか記載の記載の透
明面温度制御装置において、透明面温度センサの一対の
導電線は熱電対を構成する２種類の導電体で構成されて
おり、前記透明面温度センサは前記各々の導電線の一端
部側を一方の測温接合部として前記一対の感温用導電線
間に生じる熱起電力を利用して温度情報を得る構成であ
ることを特徴とする透明面温度制御装置。
【請求項１１】請求項６〜８のいずれか記載の透明面温
度制御装置において、透明面温度センサの感温用透明導
電膜は温度変化に伴って抵抗値が変化する抵抗体からな
り、前記透明面温度センサは、前記感温用透明導電膜の
抵抗値の変化を利用して温度情報を得る構成であること
を特徴とする透明面温度制御装置。
【請求項１２】請求項９記載の透明面温度制御装置にお
いて、透明面温度センサの感温用透明導電膜は温度変化
に伴って抵抗値が変化する抵抗体からなり、前記透明面
温度センサは、前記感温用透明導電膜の抵抗値の変化を
利用して温度情報を得る構成であることを特徴とする透
明面温度制御装置。
【請求項１３】請求項１２記載の透明面温度制御装置に
おいて、透明面温度センサの感温用導電線を介して電源
に接続させることで感温用透明導電膜に発熱用の通電電
流を供給することを特徴とする透明面温度制御装置。
【請求項１４】請求項６〜１３のいずれか記載の透明面
温度制御装置において、透明面ヒータと透明面温度セン
サで顕微鏡ステージ装着用の透明プレート部が構成され
ていることを特徴とする顕微鏡観察用透明面温度制御装
置。