JP2002240802A - テーピング装置 - Google Patents
テーピング装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ダイシングされシート上に貼り付けられたダ
イ（チップ部品）をトレイに移載することなく、テープ
本体に収納し、生産効率の向上を図ること。 【解決手段】 ウエハテーブル６上のシート１６上のバ
ンプ面が上面となっている状態のチップ部品１７を部品
取出装置３の吸着ノズル１８が下降して吸着して取出
す。この取出し後、部品取出装置３を水平移動させなが
ら、当該吸着ノズル１８を間欠回転モータ３５の駆動に
より１８０度回転させて上方を向かせ、移載装置４の直
下方に位置させる。一方、移載装置４の吸着ノズル５２
を下降させ、部品取出装置３の吸着ノズル１８に保持さ
れたチップ部品１７をバンプ面を下にした状態で移載装
置４の吸着ノズル５２が吸着して受け継ぐ。そして、移
載装置４が水平方向に移動して、チップ部品１７を搬送
装置５のテープ本体６０の収納溝６４内に移載する。
イ（チップ部品）をトレイに移載することなく、テープ
本体に収納し、生産効率の向上を図ること。 【解決手段】 ウエハテーブル６上のシート１６上のバ
ンプ面が上面となっている状態のチップ部品１７を部品
取出装置３の吸着ノズル１８が下降して吸着して取出
す。この取出し後、部品取出装置３を水平移動させなが
ら、当該吸着ノズル１８を間欠回転モータ３５の駆動に
より１８０度回転させて上方を向かせ、移載装置４の直
下方に位置させる。一方、移載装置４の吸着ノズル５２
を下降させ、部品取出装置３の吸着ノズル１８に保持さ
れたチップ部品１７をバンプ面を下にした状態で移載装
置４の吸着ノズル５２が吸着して受け継ぐ。そして、移
載装置４が水平方向に移動して、チップ部品１７を搬送
装置５のテープ本体６０の収納溝６４内に移載する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、テープリールに巻
装される収納テープ内の収納溝にチップ部品を挿入し、
カバーテープで当該収納溝上面の開口部を閉塞して成る
テーピング装置に関するものである。
装される収納テープ内の収納溝にチップ部品を挿入し、
カバーテープで当該収納溝上面の開口部を閉塞して成る
テーピング装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、ウエハレベルのＣＳＰ（チッ
プ・サイズ・パッケージ）、フリップチップなどはトレ
イにマトリックス状に収納された荷姿で、半導体メーカ
ーからユーザーへ出荷される。この場合、ダイシングさ
れシート上に貼り付けられたダイ（チップ部品）をトレ
イに移載し、トレイからテープ本体に収納し、テーピン
グするのが通例である。
プ・サイズ・パッケージ）、フリップチップなどはトレ
イにマトリックス状に収納された荷姿で、半導体メーカ
ーからユーザーへ出荷される。この場合、ダイシングさ
れシート上に貼り付けられたダイ（チップ部品）をトレ
イに移載し、トレイからテープ本体に収納し、テーピン
グするのが通例である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ダイシ
ングされシートの上にシート状に貼り付けられたダイ
（チップ部品）を一旦はトレイに移載してから、テープ
本体に収納するため、生産効率が悪いという問題があっ
た。
ングされシートの上にシート状に貼り付けられたダイ
（チップ部品）を一旦はトレイに移載してから、テープ
本体に収納するため、生産効率が悪いという問題があっ
た。
【０００４】そこで本発明は、ダイシングされシートの
上にシート状に貼り付けられたダイ（チップ部品）をト
レイに移載することなく、テープ本体に収納し、生産効
率の向上を図ることを目的とする。
上にシート状に貼り付けられたダイ（チップ部品）をト
レイに移載することなく、テープ本体に収納し、生産効
率の向上を図ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このために第１の発明
は、テープ供給リールに巻装されるテープ本体内の収納
溝にチップ部品を挿入し、カバーテープで当該収納溝上
面の開口部を閉塞して成るテーピング装置において、ダ
イシングされたウエハが貼付されたシートが固定された
ウエハテーブルを水平方向に移動可能なウエハ支持台
と、該ウエハ支持台からチップ部品を取出すもので周囲
に所定間隔を存して複数の吸着ノズルが配設されたノズ
ルホルダを該吸着ノズルにより吸着したチップ部品が上
方となるように水平線回りに回動可能とする部品取出装
置と、前記ノズルホルダの吸着ノズルに吸着されて上方
となったチップ部品を上下動可能な吸着ノズルで受け継
いで前記テープ本体の収納溝内に移載するもので水平方
向に移動可能な移載装置と、該移載装置による移載後の
前記テープ本体を順次搬送しつつカバーテープで当該収
納溝上面の開口部を閉塞する搬送装置とから成ることを
特徴とする。
は、テープ供給リールに巻装されるテープ本体内の収納
溝にチップ部品を挿入し、カバーテープで当該収納溝上
面の開口部を閉塞して成るテーピング装置において、ダ
イシングされたウエハが貼付されたシートが固定された
ウエハテーブルを水平方向に移動可能なウエハ支持台
と、該ウエハ支持台からチップ部品を取出すもので周囲
に所定間隔を存して複数の吸着ノズルが配設されたノズ
ルホルダを該吸着ノズルにより吸着したチップ部品が上
方となるように水平線回りに回動可能とする部品取出装
置と、前記ノズルホルダの吸着ノズルに吸着されて上方
となったチップ部品を上下動可能な吸着ノズルで受け継
いで前記テープ本体の収納溝内に移載するもので水平方
向に移動可能な移載装置と、該移載装置による移載後の
前記テープ本体を順次搬送しつつカバーテープで当該収
納溝上面の開口部を閉塞する搬送装置とから成ることを
特徴とする。
【０００６】また第２の発明は、テープ供給リールに巻
装されるテープ本体内の収納溝にチップ部品を挿入し、
カバーテープで当該収納溝上面の開口部を閉塞して成る
テーピング装置において、複数のチップ部品がダイシン
グされた部品集合体が固定されたテーブルを水平方向に
移動可能な支持台と、該支持台の部品集合体からチップ
部品を取出すもので周囲に所定間隔を存して複数の吸着
ノズルが配設されたノズルホルダを該吸着ノズルにより
吸着したチップ部品が上方となり吸着面が下向きとなる
ように水平線回りに回動可能とする部品取出装置と、前
記ノズルホルダの吸着ノズルに吸着されて上方となり吸
着面と対向した面が上向きとなったチップ部品を上下動
可能な吸着ノズルで受け継いで前記テープ本体の収納溝
内に移載するもので水平方向に移動可能な移載装置と、
該移載装置による移載後の前記テープ本体を順次搬送し
つつカバーテープで当該収納溝上面の開口部を閉塞する
搬送装置とから成ることを特徴とする。
装されるテープ本体内の収納溝にチップ部品を挿入し、
カバーテープで当該収納溝上面の開口部を閉塞して成る
テーピング装置において、複数のチップ部品がダイシン
グされた部品集合体が固定されたテーブルを水平方向に
移動可能な支持台と、該支持台の部品集合体からチップ
部品を取出すもので周囲に所定間隔を存して複数の吸着
ノズルが配設されたノズルホルダを該吸着ノズルにより
吸着したチップ部品が上方となり吸着面が下向きとなる
ように水平線回りに回動可能とする部品取出装置と、前
記ノズルホルダの吸着ノズルに吸着されて上方となり吸
着面と対向した面が上向きとなったチップ部品を上下動
可能な吸着ノズルで受け継いで前記テープ本体の収納溝
内に移載するもので水平方向に移動可能な移載装置と、
該移載装置による移載後の前記テープ本体を順次搬送し
つつカバーテープで当該収納溝上面の開口部を閉塞する
搬送装置とから成ることを特徴とする。
【０００７】更に第３の発明は、前記部品取出装置は移
載装置に向け水平方向に移動可能であることを特徴とす
る。
載装置に向け水平方向に移動可能であることを特徴とす
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら説明する。１はテーピング装置
で、大きく分けてダイシングされたウエハのシート１６
が固定されたウエハテーブル６をＸＹ方向に移動可能な
ウエハ支持台２と、周囲に所定間隔を存して複数の吸着
ノズル１８が配設され前記ウエハ支持台２から後述する
チップ部品１７を取出す部品取出装置３と、該部品取出
装置が取出したチップ部品１７をテープ本体６０の収納
溝６４内に移載する移載装置４と、該移載装置４による
移載後の前記テープ本体６０を順次搬送しつつカバーテ
ープ６６で被覆する搬送装置５とを備えている。
て図面を参照しながら説明する。１はテーピング装置
で、大きく分けてダイシングされたウエハのシート１６
が固定されたウエハテーブル６をＸＹ方向に移動可能な
ウエハ支持台２と、周囲に所定間隔を存して複数の吸着
ノズル１８が配設され前記ウエハ支持台２から後述する
チップ部品１７を取出す部品取出装置３と、該部品取出
装置が取出したチップ部品１７をテープ本体６０の収納
溝６４内に移載する移載装置４と、該移載装置４による
移載後の前記テープ本体６０を順次搬送しつつカバーテ
ープ６６で被覆する搬送装置５とを備えている。
【０００９】次に、前記ウエハ支持台２について詳述す
る。この支持台２はテーピング装置１の本体１Ａに設け
られるＸテーブル７と、該Ｘテーブル７上でＹ方向に移
動するＹテーブル８と、このＹテーブル８に固定された
ウエハテーブル６とから構成される。
る。この支持台２はテーピング装置１の本体１Ａに設け
られるＸテーブル７と、該Ｘテーブル７上でＹ方向に移
動するＹテーブル８と、このＹテーブル８に固定された
ウエハテーブル６とから構成される。
【００１０】更に詳述すると、前記Ｘテーブル７はＸ軸
モータ９によりネジ軸（図示せず）を回動させてガイド
１０に沿ってスライダ１１をＸ方向に移動させるもの
で、前記Ｙテーブル８はＹ軸モータ１２によりネジ軸１
３を回動させてガイド１４に沿ってスライダ１５をＹ方
向に移動させるもので、前記ウエハテーブル６はシート
１６に貼付されたウエハがダイシングされて個々のチッ
プ部品１７（フリップチップなどのバンプ付きのチップ
部品）に分割された状態で載置固定するもので前記スラ
イダ１５に固定され、バンプ面が上面となっている状態
のチップ部品１７は裏面より突き上げピン（図示せず）
により突き上げられながら、前記吸着ノズル１８で吸着
され取出される。
モータ９によりネジ軸（図示せず）を回動させてガイド
１０に沿ってスライダ１１をＸ方向に移動させるもの
で、前記Ｙテーブル８はＹ軸モータ１２によりネジ軸１
３を回動させてガイド１４に沿ってスライダ１５をＹ方
向に移動させるもので、前記ウエハテーブル６はシート
１６に貼付されたウエハがダイシングされて個々のチッ
プ部品１７（フリップチップなどのバンプ付きのチップ
部品）に分割された状態で載置固定するもので前記スラ
イダ１５に固定され、バンプ面が上面となっている状態
のチップ部品１７は裏面より突き上げピン（図示せず）
により突き上げられながら、前記吸着ノズル１８で吸着
され取出される。
【００１１】次に、部品取出装置３について詳述する。
上下サーボモータ２０が駆動すると、カップリング２１
を介してボールネジ２２が回動し、ナット体２６に固定
されたヘッド体２３をガイド２７を介して上下させ、ホ
ルダ支持体２５と共に周囲に所定間隔を存して６本の吸
着ノズル１８が配設された円盤状のノズルホルダ２４が
上下する。２８はウエハ支持台２の上方から移載装置４
に向かうように水平方向に設けられたガイド、２９はヘ
ッド体２３に固定されたスライダ、２９Ａはネジ軸であ
り、図示しないモータにより、ネジ軸２９Ａを回動させ
てガイド２８に沿ってスライダ２９を水平方向に移動さ
せ、部品取出装置３を水平方向に移動させる。
上下サーボモータ２０が駆動すると、カップリング２１
を介してボールネジ２２が回動し、ナット体２６に固定
されたヘッド体２３をガイド２７を介して上下させ、ホ
ルダ支持体２５と共に周囲に所定間隔を存して６本の吸
着ノズル１８が配設された円盤状のノズルホルダ２４が
上下する。２８はウエハ支持台２の上方から移載装置４
に向かうように水平方向に設けられたガイド、２９はヘ
ッド体２３に固定されたスライダ、２９Ａはネジ軸であ
り、図示しないモータにより、ネジ軸２９Ａを回動させ
てガイド２８に沿ってスライダ２９を水平方向に移動さ
せ、部品取出装置３を水平方向に移動させる。
【００１２】また、θ軸回転モータ３０が駆動すると、
前記ヘッド体２３の水平部に支持された両プーリ３１、
３２間に張架されたタイミングベルト３３により、前記
水平部の凹部に配設された前記プーリ３２の一部に前記
ホルダ支持体２５が固定されているので、前記ノズルホ
ルダ２４を支持しているホルダ支持体２５が垂直線回り
に回転し、結果としてノズルホルダ２４及び吸着ノズル
１８が回転する。更に、間欠回転モータ３５が駆動する
と、プーリ３６、ノズルホルダ２４の周囲に形成された
プーリ３７及びタイミングベルト３８により、前記ノズ
ルホルダ２４が水平な支持軸４０を中心として水平線回
りに間欠的に、即ち６０度間隔で支持軸４０を支点とし
て回転する。
前記ヘッド体２３の水平部に支持された両プーリ３１、
３２間に張架されたタイミングベルト３３により、前記
水平部の凹部に配設された前記プーリ３２の一部に前記
ホルダ支持体２５が固定されているので、前記ノズルホ
ルダ２４を支持しているホルダ支持体２５が垂直線回り
に回転し、結果としてノズルホルダ２４及び吸着ノズル
１８が回転する。更に、間欠回転モータ３５が駆動する
と、プーリ３６、ノズルホルダ２４の周囲に形成された
プーリ３７及びタイミングベルト３８により、前記ノズ
ルホルダ２４が水平な支持軸４０を中心として水平線回
りに間欠的に、即ち６０度間隔で支持軸４０を支点とし
て回転する。
【００１３】４１は前記ウエハテーブル６上のチップ部
品１７を認識する認識カメラであり、その位置認識に基
づいて前記Ｘ軸モータ９及びＹ軸モータ１２を補正移動
させ、前述したように個々のチップ部品１７を前記部品
取出装置３の吸着ノズルが下降して吸着して取出す構成
である。
品１７を認識する認識カメラであり、その位置認識に基
づいて前記Ｘ軸モータ９及びＹ軸モータ１２を補正移動
させ、前述したように個々のチップ部品１７を前記部品
取出装置３の吸着ノズルが下降して吸着して取出す構成
である。
【００１４】次に、前記部品取出装置３が取出したチッ
プ部品１７を収納テープ内に移載する移載装置４につい
て詳述する。駆動モータ４５が駆動すると、両プーリ４
６、４７間に張架されたタイミングベルト４８により、
ネジ軸４９が回動し、レール５０に沿ってスライダ５１
が上下させて垂直線回りに吸着ノズル５２を回転させる
中空軸駆動モータ５３及び吸着ノズル５２を上下させる
構成である。
プ部品１７を収納テープ内に移載する移載装置４につい
て詳述する。駆動モータ４５が駆動すると、両プーリ４
６、４７間に張架されたタイミングベルト４８により、
ネジ軸４９が回動し、レール５０に沿ってスライダ５１
が上下させて垂直線回りに吸着ノズル５２を回転させる
中空軸駆動モータ５３及び吸着ノズル５２を上下させる
構成である。
【００１５】従って、前記部品取出装置３の吸着ノズル
１８がウエハテーブル６上のチップ部品１７を取り出し
て、前記部品取出装置３を図示しないモータを駆動させ
ることによりガイド２８に沿って水平移動させながら、
当該吸着ノズル１８を１８０度回転させて上方を向かせ
て移載装置４の直下方に位置させる。このため、前記部
品取出装置３の吸着ノズル１８に保持されバンプ面が下
となったチップ部品１７を移載装置４の吸着ノズル５２
が受け継ぐことができる。
１８がウエハテーブル６上のチップ部品１７を取り出し
て、前記部品取出装置３を図示しないモータを駆動させ
ることによりガイド２８に沿って水平移動させながら、
当該吸着ノズル１８を１８０度回転させて上方を向かせ
て移載装置４の直下方に位置させる。このため、前記部
品取出装置３の吸着ノズル１８に保持されバンプ面が下
となったチップ部品１７を移載装置４の吸着ノズル５２
が受け継ぐことができる。
【００１６】尚、この移載装置４は図示しないＸ軸モー
タ及びＹ軸モータにより水平方向に移動できる構成であ
り、前記受け継いだ後搬送装置５上方位置に移動するも
のである。
タ及びＹ軸モータにより水平方向に移動できる構成であ
り、前記受け継いだ後搬送装置５上方位置に移動するも
のである。
【００１７】５５は吸着ノズル５２に吸着されているチ
ップ部品１７のノズル５２に対する位置を認識する認識
カメラであり、移載装置４が水平方向に移動している途
中でその移動しながら撮像した画像の位置認識処理に基
づいて前記Ｘ軸モータ、Ｙ軸モータ及び中空軸駆動モー
タ５３を補正移動させ、前述したように個々のチップ部
品１７を搬送装置５の収納テープ内に移載する構成であ
る。
ップ部品１７のノズル５２に対する位置を認識する認識
カメラであり、移載装置４が水平方向に移動している途
中でその移動しながら撮像した画像の位置認識処理に基
づいて前記Ｘ軸モータ、Ｙ軸モータ及び中空軸駆動モー
タ５３を補正移動させ、前述したように個々のチップ部
品１７を搬送装置５の収納テープ内に移載する構成であ
る。
【００１８】次に、搬送装置５について詳述する。テー
プ供給リール（図示せず）に回転可能に巻装されたテー
プ本体６０（キャリアテープとも称される。）の先端
が、当該テープ本体６０に適度なテンションを与えるた
めのプーリ６１、６２及び搬送シュート６３を介して巻
取りリール（図示せず）に固定されている。そして、回
転駆動系（図示せず）による前記巻取りリールの回転に
合わせて順次テープ本体６０が所定量搬送されて（巻取
りリールに巻取られて）いく間で、テープ本体６０の収
納溝６４内に前記移載装置４の吸着ノズル５２から納入
位置Ｓ１でチップ部品１７がバンプ面を下にした状態で
挿入され、検査位置Ｓ２において図示しない検査装置で
収納溝６４内のチップ部品１７にそのプローブ針を接触
させて検査し、更に所定位置まで搬送されて収納溝６４
上面の開口部をカバーテープ供給リール６５から供給さ
れるカバーテープ６６で被覆して圧着した後、前記巻取
りリールに巻取られていく。尚、上述したようにテープ
本体６０と、これに設けられた収納溝６４と、その上面
に圧着されるカバーテープ６６とで、収納テープが形成
される。
プ供給リール（図示せず）に回転可能に巻装されたテー
プ本体６０（キャリアテープとも称される。）の先端
が、当該テープ本体６０に適度なテンションを与えるた
めのプーリ６１、６２及び搬送シュート６３を介して巻
取りリール（図示せず）に固定されている。そして、回
転駆動系（図示せず）による前記巻取りリールの回転に
合わせて順次テープ本体６０が所定量搬送されて（巻取
りリールに巻取られて）いく間で、テープ本体６０の収
納溝６４内に前記移載装置４の吸着ノズル５２から納入
位置Ｓ１でチップ部品１７がバンプ面を下にした状態で
挿入され、検査位置Ｓ２において図示しない検査装置で
収納溝６４内のチップ部品１７にそのプローブ針を接触
させて検査し、更に所定位置まで搬送されて収納溝６４
上面の開口部をカバーテープ供給リール６５から供給さ
れるカバーテープ６６で被覆して圧着した後、前記巻取
りリールに巻取られていく。尚、上述したようにテープ
本体６０と、これに設けられた収納溝６４と、その上面
に圧着されるカバーテープ６６とで、収納テープが形成
される。
【００１９】以上の構成により以下動作について説明す
る。先ず、認識カメラ４１が前記ウエハテーブル６上の
チップ部品１７を認識し、その位置認識に基づいてウエ
ハ支持台２の前記Ｘ軸モータ９及びＹ軸モータ１２を補
正移動させる。次に、シート１６上のバンプ面が上面と
なっている状態のチップ部品１７を前記部品取出装置３
の吸着ノズルが下降して吸着して取出す。
る。先ず、認識カメラ４１が前記ウエハテーブル６上の
チップ部品１７を認識し、その位置認識に基づいてウエ
ハ支持台２の前記Ｘ軸モータ９及びＹ軸モータ１２を補
正移動させる。次に、シート１６上のバンプ面が上面と
なっている状態のチップ部品１７を前記部品取出装置３
の吸着ノズルが下降して吸着して取出す。
【００２０】このとき、上下サーボモータ２０が駆動し
てボールネジ２２が回動し、ナット体２６に固定された
ヘッド体２３をガイド２７を介して下降させ、ホルダ支
持体２５と共にノズルホルダ２４が下降するが、チップ
部品１７の吸着前に、θ軸回転モータ３０が駆動してプ
ーリ３１、３２及びタイミングベルト３３により、前記
ノズルホルダ２４を支持しているホルダ支持体２５を垂
直線回りに回転させ、ノズルホルダ２４及び吸着ノズル
１８を認識カメラ４１による前記位置認識を考慮して回
転させる。更には、前記ノズルホルダ２４が下降を終了
する前に、間欠回転モータ３５が駆動し、プーリ３６、
３７及びタイミングベルト３８により、前記ノズルホル
ダ２４が支持軸４０を中心として水平線回りに間欠的に
回転するので、該当する吸着ノズル１８先端が下方に向
くこととなる。
てボールネジ２２が回動し、ナット体２６に固定された
ヘッド体２３をガイド２７を介して下降させ、ホルダ支
持体２５と共にノズルホルダ２４が下降するが、チップ
部品１７の吸着前に、θ軸回転モータ３０が駆動してプ
ーリ３１、３２及びタイミングベルト３３により、前記
ノズルホルダ２４を支持しているホルダ支持体２５を垂
直線回りに回転させ、ノズルホルダ２４及び吸着ノズル
１８を認識カメラ４１による前記位置認識を考慮して回
転させる。更には、前記ノズルホルダ２４が下降を終了
する前に、間欠回転モータ３５が駆動し、プーリ３６、
３７及びタイミングベルト３８により、前記ノズルホル
ダ２４が支持軸４０を中心として水平線回りに間欠的に
回転するので、該当する吸着ノズル１８先端が下方に向
くこととなる。
【００２１】このため、前述したように、該当する吸着
ノズル１８下降して、本来あるべき角度の向きとなって
前記ウエハテーブル６上のチップ部品１７を吸着して取
出すことができる。
ノズル１８下降して、本来あるべき角度の向きとなって
前記ウエハテーブル６上のチップ部品１７を吸着して取
出すことができる。
【００２２】次に、この取出し後、前記部品取出装置３
を図示しないモータを駆動させることによりガイド２８
に沿って水平移動させながら、当該吸着ノズル１８を間
欠回転モータ３５の駆動により１８０度回転させて上方
を向かせ、搬送装置５の上方から水平方向に移動して戻
って来た移載装置４の直下方に位置させる。このように
部品取出装置３と移載装置４との双方を水平方向に移動
可能とすることによって部品取出装置３によるチップ部
品１７の吸着から移載装置４のチップ部品１７の吸着、
即ちチップ部品の受け継ぎまでの時間を短縮することが
できる。
を図示しないモータを駆動させることによりガイド２８
に沿って水平移動させながら、当該吸着ノズル１８を間
欠回転モータ３５の駆動により１８０度回転させて上方
を向かせ、搬送装置５の上方から水平方向に移動して戻
って来た移載装置４の直下方に位置させる。このように
部品取出装置３と移載装置４との双方を水平方向に移動
可能とすることによって部品取出装置３によるチップ部
品１７の吸着から移載装置４のチップ部品１７の吸着、
即ちチップ部品の受け継ぎまでの時間を短縮することが
できる。
【００２３】一方、移載装置４の駆動モータ４５が駆動
し、プーリ４６、４７間に張架されたタイミングベルト
４８により、ネジ軸４９が回動し、レール５０に沿って
スライダ５１が下降させて吸着ノズル５２を下降させ、
前記部品取出装置３の吸着ノズル１８に保持されたチッ
プ部品１７をバンプ面を下にした状態で移載装置４の吸
着ノズル５２が吸着して受け継ぐことができる。
し、プーリ４６、４７間に張架されたタイミングベルト
４８により、ネジ軸４９が回動し、レール５０に沿って
スライダ５１が下降させて吸着ノズル５２を下降させ、
前記部品取出装置３の吸着ノズル１８に保持されたチッ
プ部品１７をバンプ面を下にした状態で移載装置４の吸
着ノズル５２が吸着して受け継ぐことができる。
【００２４】そして、前記移載装置４が水平方向に移動
している途中でその移動しながら認識カメラ５５で撮像
し、その画像の位置認識処理に基づいて前記Ｘ軸モー
タ、Ｙ軸モータ及び中空軸駆動モータ５３を補正移動さ
せ、チップ部品１７を搬送装置５のテープ本体６０の収
納溝６４内に移載する。
している途中でその移動しながら認識カメラ５５で撮像
し、その画像の位置認識処理に基づいて前記Ｘ軸モー
タ、Ｙ軸モータ及び中空軸駆動モータ５３を補正移動さ
せ、チップ部品１７を搬送装置５のテープ本体６０の収
納溝６４内に移載する。
【００２５】即ち、回転駆動系による巻取りリールの回
転に合わせて順次テープ供給リールに巻装されたテープ
本体６０が所定量搬送されて（巻取りリールに巻取られ
て）いく間で、テープ本体６０の収納溝６４内に前記移
載装置４の吸着ノズル５２から納入位置Ｓ１でチップ部
品１７がバンプ面を下にした状態で挿入され、検査位置
Ｓ２において図示しない検査装置で収納溝６４内のチッ
プ部品１７にそのプローブ針を接触させて検査し、更に
所定位置まで搬送されて収納溝６４上面の開口部をカバ
ーテープ供給リール６５から供給されるカバーテープ６
６で被覆して圧着して閉塞した後、巻取りリールに巻取
られ、収納テープが形成される。
転に合わせて順次テープ供給リールに巻装されたテープ
本体６０が所定量搬送されて（巻取りリールに巻取られ
て）いく間で、テープ本体６０の収納溝６４内に前記移
載装置４の吸着ノズル５２から納入位置Ｓ１でチップ部
品１７がバンプ面を下にした状態で挿入され、検査位置
Ｓ２において図示しない検査装置で収納溝６４内のチッ
プ部品１７にそのプローブ針を接触させて検査し、更に
所定位置まで搬送されて収納溝６４上面の開口部をカバ
ーテープ供給リール６５から供給されるカバーテープ６
６で被覆して圧着して閉塞した後、巻取りリールに巻取
られ、収納テープが形成される。
【００２６】また、バンプを有した複数のチップ部品が
バンプ面を上向きにダイシングされた部品集合体として
のトレイをウエハが貼付されたシートの代わりにウエハ
支持台２に支持させ、部品取出装置３によりトレイから
チップ部品を取出し、バンプ面を下向きにして移載装置
４に移すことにより、バンプ面を容易に下に向け搬送装
置５にてテーピングすることができる。
バンプ面を上向きにダイシングされた部品集合体として
のトレイをウエハが貼付されたシートの代わりにウエハ
支持台２に支持させ、部品取出装置３によりトレイから
チップ部品を取出し、バンプ面を下向きにして移載装置
４に移すことにより、バンプ面を容易に下に向け搬送装
置５にてテーピングすることができる。
【００２７】
【発明の効果】以上本発明によれば、ダイシングされシ
ート上に貼り付けられたダイ（チップ部品）をトレイに
移載することなく、テープ本体に収納するから、生産効
率の向上を図ることができる。しかも、フリップチップ
などのバンプ付きのチップ部品にあっては、バンプ面が
下に向いている状態でプリント基板上に装着しなければ
ならないが、この点でも有効なテーピング装置を提供で
きる。
ート上に貼り付けられたダイ（チップ部品）をトレイに
移載することなく、テープ本体に収納するから、生産効
率の向上を図ることができる。しかも、フリップチップ
などのバンプ付きのチップ部品にあっては、バンプ面が
下に向いている状態でプリント基板上に装着しなければ
ならないが、この点でも有効なテーピング装置を提供で
きる。
【図１】テーピング装置の正面図である。
【図２】ウエハ支持台の平面図である。
【図３】部品取出装置の正面図である。
【図４】部品取出装置の右側面図である。
【図５】移載装置の正面図である。
【図６】移載装置の平面図である。
【図７】搬送装置の概略左側面図である。
【図８】搬送装置の概略平面図である。
１ テーピング装置 ２ ウエハ支持台 ３ 部品取出装置 ４ 移載装置 ５ 搬送装置 ６ ウエハテーブル １７ チップ部品 １８ 吸着ノズル ２３ ヘッド体 ２４ ノズルホルダ ２５ ホルダ支持体 ５２ 吸着ノズル ６０ テープ本体 ６３ 搬送シュート ６４ 収納溝 ６６ カバーテープ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小松 龍一 大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号 三 洋電機株式会社内 Ｆターム(参考） 3E096 AA05 BA16 BB03 CA15 CB10 DA05 DB07 DC01 EA02X EA02Y FA30 GA01 5F031 CA13 DA15 GA23 GA51 MA34 MA37
Claims (3)
- 【請求項１】 テープ供給リールに巻装されるテープ本
体内の収納溝にチップ部品を挿入し、カバーテープで当
該収納溝上面の開口部を閉塞して成るテーピング装置に
おいて、ダイシングされたウエハが貼付されたシートが
固定されたウエハテーブルを水平方向に移動可能なウエ
ハ支持台と、該ウエハ支持台からチップ部品を取出すも
ので周囲に所定間隔を存して複数の吸着ノズルが配設さ
れたノズルホルダを該吸着ノズルにより吸着したチップ
部品が上方となるように水平線回りに回動可能とする部
品取出装置と、前記ノズルホルダの吸着ノズルに吸着さ
れて上方となったチップ部品を上下動可能な吸着ノズル
で受け継いで前記テープ本体の収納溝内に移載するもの
で水平方向に移動可能な移載装置と、該移載装置による
移載後の前記テープ本体を順次搬送しつつカバーテープ
で当該収納溝上面の開口部を閉塞する搬送装置とから成
ることを特徴とするテーピング装置。 - 【請求項２】 テープ供給リールに巻装されるテープ本
体内の収納溝にチップ部品を挿入し、カバーテープで当
該収納溝上面の開口部を閉塞して成るテーピング装置に
おいて、複数のチップ部品がダイシングされた部品集合
体が固定されたテーブルを水平方向に移動可能な支持台
と、該支持台の部品集合体からチップ部品を取出すもの
で周囲に所定間隔を存して複数の吸着ノズルが配設され
たノズルホルダを該吸着ノズルにより吸着したチップ部
品が上方となり吸着面が下向きとなるように水平線回り
に回動可能とする部品取出装置と、前記ノズルホルダの
吸着ノズルに吸着されて上方となり吸着面と対向した面
が上向きとなったチップ部品を上下動可能な吸着ノズル
で受け継いで前記テープ本体の収納溝内に移載するもの
で水平方向に移動可能な移載装置と、該移載装置による
移載後の前記テープ本体を順次搬送しつつカバーテープ
で当該収納溝上面の開口部を閉塞する搬送装置とから成
ることを特徴とするテーピング装置。 - 【請求項３】 前記部品取出装置は移載装置に向け水平
方向に移動可能であることを特徴とする請求項１又は２
に記載のテーピング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001040651A JP2002240802A (ja) | 2001-02-16 | 2001-02-16 | テーピング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001040651A JP2002240802A (ja) | 2001-02-16 | 2001-02-16 | テーピング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002240802A true JP2002240802A (ja) | 2002-08-28 |
Family
ID=18903220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001040651A Pending JP2002240802A (ja) | 2001-02-16 | 2001-02-16 | テーピング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002240802A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006332468A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 電子部品ピックアップ装置及びテーピング装置 |
| JP2007243083A (ja) * | 2006-03-13 | 2007-09-20 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | チップ部品移載方法及びチップ部品移載装置 |
| JP2015056594A (ja) * | 2013-09-13 | 2015-03-23 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | フリップチップボンダ及びフリップチップボンディング方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11102936A (ja) * | 1997-07-28 | 1999-04-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 部品供給装置及び方法 |
-
2001
- 2001-02-16 JP JP2001040651A patent/JP2002240802A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11102936A (ja) * | 1997-07-28 | 1999-04-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 部品供給装置及び方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP4734147B2 (ja) * | 2006-03-13 | 2011-07-27 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | チップ部品移載方法及びチップ部品移載装置 |
| JP2015056594A (ja) * | 2013-09-13 | 2015-03-23 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | フリップチップボンダ及びフリップチップボンディング方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071228 |
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100319 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100330 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100528 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100929 |