JP4734147B2 - チップ部品移載方法及びチップ部品移載装置 - Google Patents

Description

本発明は、部品供給部から取出されたチップ部品を順次移載ノズルにより一定のピッチ送りされるウエハテーブル上のシートに貼付して移載するチップ部品移載方法及びチップ部品移載装置に関する。

チップ部品供給部からチップ部品を取出して、チップ部品収納部に移載する移載装置は、特開２００２−２４０８０２号公報（特許文献１）などで広く知られている。
特開２００２−２４０８０２号公報

一般に、チップ部品収納部としてのウエハテーブル上のシートにチップ部品を貼り付ける移載装置では、貼り付けていくとき、シート上でのチップ部品を貼り付ける範囲の寸法、チップ部品の寸法などに基づいて作業者が貼り付けの開始位置を決定していたため、作業が煩雑になり、また、最初に貼る付けられたチップ部品が貼り付ける範囲から外れる、或いは貼付範囲に効率よくチップ部品を貼付できないという問題が発生した。

そこで本発明は、ウエハテーブル上のシートにチップ部品を順次貼り付けていくとき、貼り付け開始位置を自動的に決定して貼り付けを開始することができ、またチップ部品を貼付範囲に効率よく貼付できる移載方法及び移載装置を提供することを目的とする。

このため第１の発明は、部品供給部から取出されたチップ部品を順次移載ノズルにより一定のピッチで送られるウエハテーブル上のシートの貼付範囲に貼付して移載するチップ部品移載方法において、前記シートの貼付範囲の寸法、前記チップ部品の寸法及び前記ピッチに基づいて前記チップ部品を前記シートに最初に貼り付ける貼付開始位置を決定し、この貼付開始位置から前記チップ部品をシートに順次貼付して移載することを特徴とする。

第の発明２は、部品供給部から取出されたチップ部品を順次移載ノズルにより一定のＸ方向ピッチ及びＹ方向ピッチで送られるウエハテーブル上のシートの貼付範囲に貼付して移載するチップ部品移載方法において、前記シートの貼付範囲の寸法、前記チップ部品のＹ方向寸法及び前記Ｘ方向ピッチに基づいて前記チップ部品を前記シートに最初に貼り付ける貼付開始位置を決定し、この貼付開始位置から前記チップ部品をシートに順次貼付して移載すること特徴とする。

第の発明３は、部品供給部から取出されたチップ部品を順次移載ノズルにより一定のＸ方向ピッチ及びＹ方向ピッチで送られるウエハテーブル上のシートの貼付範囲に貼付して移載するチップ部品移載方法において、前記シートの円形状の貼付範囲の半径と前記チップ部品のＹ方向寸法とから前記チップ部品を前記シートに最初に貼り付ける貼付開始位置のＹ座標を決定し、前記Ｘ方向ピッチに基づいて前記貼付開始位置のＸ座標を決定し、この貼付開始位置から前記チップ部品をシートに順次貼付して移載すること特徴とする。

第４の発明は、部品供給部から取出されたチップ部品を順次移載ノズルにより一定のＸ方向ピッチ及びＹ方向ピッチで送られるウエハテーブル上のシートの貼付範囲に貼付して移載するチップ部品移載方法において、前記シートの円形状の貼付範囲の半径（＝Ｒ）と前記チップ部品のＹ方向寸法（＝Ｙ１）とに基づき、前記チップ部品を前記シートに最初に貼り付ける貼付開 部品供給部から取出されたチップ部品を順次移載ノズルにより一定のＸ方向ピッチ及び始位置のＹ座標（＝Ｙ０）を前記貼付範囲の中心を原点とするＸＹ軸におけるＹ軸上の座標（Ｙ０＝Ｒ−Ｙ１／２）に決定し、前記貼付開始位置のＹ座標位置から前記チップ部品の中心位置を前記Ｘ方向ピッチ毎にＸ軸と平行に移動させた際に前記中心位置が前記貼付範囲以内であり且つ前記貼付範囲の縁に最も近い位置或いは前記印刷範囲の縁上にある位置を前記貼付開始位置のＸ座標とし、この貼付開始位置から前記チップ部品をシートに順次貼付して移載すること特徴とする。

第５の発明は、部品供給部から取出されたチップ部品を順次移載ノズルにより一定のＸ方向ピッチ及びＹ方向ピッチで送られるウエハテーブル上のシートの貼付範囲に貼付して移載するチップ部品移載方法において、前記シートの円形状の貼付範囲の半径と前記チップ部品のＹ方向寸法とに基づき、前記チップ部品を前記シートに最初に貼り付ける貼付開始位置のＹ座標を、前記貼付範囲の中心を原点とするＸＹ軸において、前記チップ部品の中心が前記原点に位置した状態から前記チップ部品の中心位置を前記Ｙ方向ピッチ毎にＹ軸上を移動させた際に前記中心位置が前記貼付範囲以内であり且つ前記貼付範囲の縁に最も近い位置或いは前記印刷範囲の縁上にある位置を前記チップ部品を前記貼付開始位置のＹ座標とし、且つ、前記貼付開始位置のＹ座標位置から前記チップ部品の中心位置を前記Ｘ方向ピッチ毎にＸ軸と平行に移動させた際に前記中心位置が前記貼付範囲以内であり且つ前記貼付範囲の縁に最も近い位置或いは前記印刷範囲の縁上にある位置を前記貼付開始位置のＸ座標とし、この貼付開始位置から前記チップ部品をシートに順次貼付して移載すること特徴とする。

第の発明６は、部品供給部から取出されたチップ部品を順次移載ノズルにより一定のピッチで送られるウエハテーブル上のシートの貼付範囲に貼付して移載するチップ部品移載装置において、前記シートの貼付範囲の寸法、前記チップ部品の寸法及び前記ピッチに基づいて前記チップ部品を前記シートに最初に貼り付ける貼付開始位置を決定し、この貼付開始位置から前記チップ部品をシートに順次貼付して移載させるように前記ウェハテーブルの位置を制御する制御装置を備えたこと特徴とする。

第の発明７は、部品供給部から取出されたチップ部品を順次移載ノズルにより一定のＸ方向ピッチ及びＹ方向ピッチで送られるウエハテーブル上のシートの貼付範囲に貼付して移載するチップ部品移載装置において、前記シートの円形状の貼付範囲の半径（＝Ｒ）と前記チップ部品のＹ方向寸法（＝Ｙ１）とに基づき、前記チップ部品を前記シートに最初に貼り付ける貼付開始位置のＹ座標（＝Ｙ０）を（Ｙ０＝Ｒ−Ｙ１／２）に決定し、Ｘ軸上の前記貼付開始位置のＹ座標位置から前記Ｘ方向ピッチ毎に前記チップ部品の中心位置をＸ軸と平行に移動させた際に前記中心位置が前記貼付範囲以内であり且つ前記貼付範囲の縁の最も近くに位置する位置或いは前記印刷範囲の縁上にある位置を前記貼付開始位置のＸ座標に決定し、この貼付開始位置から前記チップ部品を前記シートに順次貼付して移載させるように前記ウエハテーブルの位置を制御する制御装置を備えたことを特徴とする。

本発明は、ウエハテーブル上のシートにチップ部品を順次貼り付けていくときの貼り付け開始位置を自動的に決定可能なチップ部品移載方法及び移載装置を提供することができる。

また、チップ部品を貼付範囲に効率よく貼付できるチップ部品移載方法及び移載装置を提供することができる。

以下、本発明の移載装置の実施形態について、図面を参照しながら説明する。先ず、図１の移載装置の平面図、図２の同じく正面図に基づき、移載装置について説明する。１は移載装置本体で、この移載装置本体１にはダイと呼ばれるチップ部品を縦横に載置収納するチップ部品供給部としてのトレー２を載置したトレー移動テーブル３がＹ軸駆動モータ３Ｙの駆動によりＹ方向に移動可能に設けられる。４は上面に前記チップ部品が貼付されるシート５が設けられたウエハテーブルで、Ｘ軸駆動モータ４Ｘ及びＹ軸駆動モータ４Ｙ（図３の制御ブロック図を参照）の駆動によりＸ方向及びＹ方向に移動可能である。

７は移載ノズル８を備えた移載ヘッドで、Ｘ軸駆動モータ７Ｘの駆動によりＸ方向に移動可能であり、前記移載ノズル８はＺ軸駆動モータ８Ｚの駆動により上下動可能であると共にθ軸駆動モータ８Ｃの出力軸に設けられたプーリ９とノズル取付体１０に設けられたプーリ１１との間にタイミングベルト１２が張架されてθ軸駆動モータ８Ｃの駆動によりθ回転可能である。

１５は前記トレー２上から移載ヘッド７の移載ノズル８が吸着して取り出したチップ部品を撮像する部品姿勢認識カメラで、前記移載ノズル８に吸着保持されたチップ部品に光源からの照射光が照射されて得られた透過光を反射ミラー１５Ａが反射して、この反射像を前記部品姿勢認識カメラ１５が撮像する。１６は前記ウエハテーブル４の上面のチップ部品を撮像する貼付部品認識カメラである。

ここで、図３に基づき、本移載装置の制御ブロック図について説明すると、２１は移載装置のチップ部品の移載に係る動作を統括制御する制御装置としてのＣＰＵ、２２はチップ部品のサイズデータ、シート５のチップ部品の貼付を行なえる範囲（貼付範囲）である円の直径や貼付ピッチ、シート５上に最後に貼付されたチップ部品の位置等を格納するＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）及び２３はＲＯＭ（リ−ド・オンリー・メモリ）である。そして、ＣＰＵ２１は前記ＲＡＭ２２に記憶されたデータに基づき、前記ＲＯＭ２３に格納されたプログラムに従い、移載装置のチップ部品の移載に係る動作を統括制御する。即ち、ＣＰＵ２１は、インターフェース２４及び駆動回路２５を介して前記各駆動モータの駆動を制御している。

また、２６はインターフェース２４を介して前記ＣＰＵ２１に接続される認識処理装置で、各認識カメラ１５、１６により撮像して取込まれた画像の認識処理が該認識処理装置２６にて行われ、ＣＰＵ２１に処理結果が送出される。即ち、ＣＰＵ２１は、各認識カメラ１５，１６に撮像された画像を認識処理するように指示を認識処理装置２６に出力すると共に、認識処理結果を認識処理装置２６から受取るものである。

３０は移載装置の自動運転を開始させるスタートスイッチで、３１は手動で運転を開始させる手動スイッチで、３２は移載装置の運転を停止させるための停止スイッチである。

以上の構成により、以下図４に基づき動作について説明する。先ず、作業者がスタートスイッチ３０を押圧操作すると、貼付部品認識カメラ１６の下方へ前記ウエハテーブル４上面に貼付された最後尾位置のチップ部品、即ちウエハテーブル４上にチップ部品を順次貼付する場合の最後に貼付されたチップ部品が位置するように、ＣＰＵ２１はＲＡＭ２２に格納された最後に貼付されたチップ部品の位置データに基づきウエハテーブル４のＸ軸駆動モータ４Ｘ及びＹ軸駆動モータ４Ｙを駆動させて、移動させるよう制御する。

そして、貼付部品認識カメラ１６がウエハテーブル４上に最後に貼付されたチップ部品を撮像し、認識処理装置２６が認識処理してチップ部品の有無検出をする。この有無検出によりＣＰＵ２１がチップ部品が有ると判断すると、ＣＰＵ２１は前記ウエハテーブル４をＲＡＭ２２に格納された後述する最新の補正量を加味してマイナスＸ方向（図においては左方向）に１ピッチだけ移動させた後、再度貼付部品認識カメラ１６がウエハテーブル４上面を撮像し、認識処理装置２６が認識処理してチップ部品の有無検出をする。

この場合、この有無検出によりＣＰＵ２１がチップ部品が有ると判断すると、ＣＰＵ２１は当該移載装置の運転を停止させるように制御する。この場合は、移載装置、言い換えると、ＲＡＭ２２に格納されている最後に貼付されたチップ部品の位置ではなくて、実際には最後に貼付されたものではないと判断できる場合であり、シート５がチップ部品の移載途中の別のシートに張り替えられた場合が考えられる。この停止後の再開前に、手動スイッチ３１を押圧操作して、ウエハテーブル４を適切な位置、即ち貼付部品認識カメラ１６の直下方位置へ最後に貼付されたチップ部品を位置させる。

もし、前述したように、前記ウエハテーブル４を１ピッチだけ移動させて貼付部品認識カメラ１６で撮像した結果により、チップ部品の有無検出をしてＣＰＵ２１がチップ部品が無いと判断すると、ＣＰＵ２１はＸ軸駆動モータ７Ｘを駆動させて移載ヘッド７をＸ方向に移動させて、Ｚ軸駆動モータ８Ｚを駆動させて下降した移載ノズル８によりトレー移動テーブル３上のトレー２からチップ部品を取出すように制御する。そして、ＣＰＵ２１はＸ軸駆動モータ７Ｘを駆動させて、部品姿勢認識カメラ１５の下方位置へ前記移載ノズル８を位置させて、吸着保持されたチップ部品を撮像して、認識処理装置２６がチップ部品の姿勢を認識処理する。

そして、この認識結果に基づいて、ＣＰＵ２１はチップ部品の角度方向についてはθ軸駆動モータ８Ｃにより、Ｘ及びＹ方向についてはＸ軸駆動モータ４Ｘ及びＹ軸駆動モータ４Ｙにより補正移動させる。即ち、θ方向に対しては移載ノズル８をθ回転の補正をさせ、Ｘ及びＹに対してはウエハテーブル４をＸ及びＹ方向に補正移動させるように、ＣＰＵ２１が制御する。

この後、Ｚ軸駆動モータ８Ｚにより、移載ノズル８を下降させて、ウエハテーブル４上のシート５上に吸着保持されたチップ部品を貼付する。そして、この貼付されたチップ部品を貼付部品認識カメラ１６が撮像し、認識処理装置２６が認識処理してチップ部品の貼付位置の確認をする。この認識結果によりＣＰＵ２１は本来貼付されるべき位置（シート５の貼付される範囲である円の直径や貼付ピッチから算出される貼付されるべき位置）とのズレ量を算出し、ＲＡＭ２２に補正量として格納し、次回のウエハテーブル４の１ピッチ送りの際に貼付されるべき位置をＲＡＭ２２に格納された補正量に基づいて補正制御する。

これにより、ウエハテーブル４上のシート５に貼り付け位置精度の高いチップ部品の貼付を行なうことができる。

そして、全てのチップ部品のシート５への貼付作業が完了したら、当該シート５への作業が完了するので、移載装置の運転を停止し、シート５の張替え作業を行う。全てのチップ部品のシート５への貼付作業が完了しない場合には、ＣＰＵ２１は前記ＲＡＭ２２に格納された前記補正量を加味して（即ち、例えば貼付されるべき位置からズレ量分減算した位置を貼付位置として）、ウエハテーブル４を１ピッチ移動させる。即ち、１ピッチ分の距離に前記補正量を加味して、Ｘ軸駆動モータ４Ｘ及びＹ軸駆動モータ４Ｙを補正制御してウエハテーブル４を補正移動させる。

その後、貼付部品認識カメラ１６がウエハテーブル４上を撮像して、認識処理装置２６が認識処理して、ＣＰＵ２１がチップ部品の有無の確認をする。この場合に、有ると判断されると、ＣＰＵ２１は当該移載装置の運転を停止させるように制御するが、無いと判断した場合には、前述したように、ＣＰＵ２１は移載ヘッド７をＸ方向に移動させて、下降した移載ノズル８によりトレー移動テーブル３上のトレー２からチップ部品を取出すように制御すると共に部品姿勢認識カメラ１５の下方位置へ前記移載ノズル８を位置させて、吸着保持されたチップ部品を撮像して姿勢を認識し、移載ノズル８やウエハテーブル４を補正移動させ、シート５上にチップ部品を貼付する作業を行なわせる。以下、前述した動作を繰り返す。

なお、作業者がスタートスイッチ３０を押圧操作して、貼付部品認識カメラ１６の下方へ前記ウエハテーブル４上面に貼付された最後尾位置のチップ部品が位置するように、ＣＰＵ２１はウエハテーブル４を移動させて貼付部品認識カメラ１６がこの最後に貼付されたチップ部品を撮像し、認識処理装置２６が認識処理してチップ部品の有無検出をした際に、最後尾位置にあるはずのチップ部品が無い場合（シート５を張り替えた場合などが考えられる。）には、１ピッチ前の貼付されたであろう貼付位置が貼付部品認識カメラ１６の直下方位置となるようウエハテーブル４を移動させるように、ＣＰＵ２１はウエハテーブル４のＸ軸駆動モータ４Ｘ及びＹ軸駆動モータ４Ｙを制御する。

そして、貼付部品認識カメラ１６が１ピッチ前の貼付されたであろうチップ部品を撮像し、認識処理装置２６が有無認識処理をして、ＣＰＵ２１が有ると判断した場合には、前述したように、ＣＰＵ２１はＲＡＭ２２に格納された最新の補正量を加味して１ピッチだけウエハテーブル４を移動させた後、再度貼付部品認識カメラ１６がウエハテーブル４上面を撮像し、認識処理装置２６が認識処理してチップ部品の有無検出をする。

なお、１ピッチ前の貼付されたであろうチップ部品を撮像して有無認識処理をして、ＣＰＵ２１が無いと判断した場合には、第１ポイント、即ちシート５のチップ部品の貼付を行うことができる範囲である円の半径や貼付ピッチ等より定められた当該シート５への最初の貼付位置が貼付部品認識カメラ１６の直下方位置となるようウエハテーブル４を移動させるように、ＣＰＵ２１はウエハテーブル４のＸ軸駆動モータ４Ｘ及びＹ軸駆動モータ４Ｙを制御する。

以下、チップ部品が貼付られていないシート５に張り替えられた場合に、第１ポイント、即ち、最初にチップ部品をシート５に貼付するときの位置（以下、貼付開始位置という。）を、シート５のチップ部品の貼付を行うことができる範囲（以下、貼付範囲という。）である円の半径Ｒや貼付ピッチ及びチップ部品の寸法に基づいて決定する方法を図６に基づき、貼付範囲の中心をＸＹ軸の原点として詳細に説明する。なお、貼付範囲である円の半径Ｒや貼付ピッチ及びチップ部品の寸法は、予め設定されＲＡＭ２２に格納されている。

また、ＣＰＵ２１は、チップ部品の中心が、貼付範囲内、或いは貼付範囲の周縁５Ｂ上にある場合にはチップ部品は貼付可能であると判断する。

まず、ＣＰＵ２１はシート５でのチップ部品を最初に貼り付ける貼付開始位置を、貼付範囲５Ａの半径（＝Ｒ）とチップ部品のＹ方向の寸法（Ｙサイズ＝Ｙ１）とに基づき算出する。即ち、チップ部品５５をシート５に最初に貼り付ける貼付開始位置のＹ座標（＝Ｙ０）をＸＹ軸におけるＹ軸上においてチップ部品の上縁が貼付範囲と一致する位置とし、この位置でのチップ部品５５の中心のＹ座標（＝Ｙ０）を、計算式であるＹ０＝Ｒ−Ｙ１／２から算出する。

次に、算出した貼付開始位置のＹ座標（＝Ｙ０）の位置からチップ部品の中心位置をマイナスＸ方向（図６においては左方向）に１ピッチ毎（図６に矢印にて示す。）にＸ軸と平行に移動させた際にチップ部品の中心位置が貼付範囲から外れた場合には１ピッチ戻り貼付範囲内に戻り、中心位置が貼付範囲内であり且つ貼付範囲の周縁５Ｂに最も近い位置、或いは前記印刷範囲の周縁５Ｂ上にある位置を前記チップ部品をシート５に最初に貼り付ける貼付開始位置のＸ座標（＝Ｘ０）として決定する。即ち、貼付範囲の周縁５Ｂ上でのＹ座標をＹ０とするＸ座標をＸ１とし、Ｙ座標であるＹ０を一定としてＹ軸上（Ｘ座標＝０）の位置からＸ座標を１ピッチ（＝Ｌ１）毎に複数回（Ｎ回）変化させたときに、Ｘ座標（＝Ｘ１）の値の絶対値（＝Ｌ１×Ｎ（Ｎは整数））が上記Ｘ座標（＝Ｒ０）の絶対値以下である最大のＸ座標を貼付開始位置（第１ポイント）でのチップ部品の中心位置のＸ座標（＝Ｘ０）として決定する。

このように、ＣＰＵ２１により自動的にチップ部品の貼付開始位置を貼付範囲の寸法、チップ部品の寸法及び貼り付けるときのピッチに基づいて容易に決定することができ、作業者の作業などを大幅に簡略化することができる。また、上述したように、チップ部品の貼付開始位置の座標について、まず、Ｙ座標を貼付範囲の半径Ｒ及びチップ部品の寸法から求めると共に、Ｘ座標については、チップ部品を１ピッチずつずらしたときの中心位置が貼付範囲に収まるように決定することにより、チップ部品を貼付範囲内に効率よく移載し貼付することができる。

そして、第１ポイントに貼付されたであろうチップ部品を撮像して有無認識処理をして、ＣＰＵ２１が無いと判断した場合には、この貼付開始位置からチップ部品をシート５に順次貼付して移載する。即ち、前述したように、ＣＰＵ２１は移載ヘッド７をＸ方向に移動させて、下降した移載ノズル８によりトレー移動テーブル３上のトレー２からチップ部品を取出すように制御すると共に部品姿勢認識カメラ１５の下方位置へ前記移載ノズル８を位置させて、吸着保持されたチップ部品を撮像して姿勢を認識し、移載ノズル８やウエハテーブル４を補正移動させ、シート５上にチップ部品を貼付する作業を行なわせる。以下、前述したような動作を繰り返す。

また、貼付部品認識カメラ１６が第１ポイントに貼付されたであろうチップ部品を撮像し、認識処理装置２６が有無認識処理をして、ＣＰＵ２１が有ると判断した場合には、前述したように、ＣＰＵ２１はＲＡＭ２２に格納された最新の補正量を加味して１ピッチだけ移動させた後、再度貼付部品認識カメラ１６がウエハテーブル４上面を撮像し、認識処理装置２６が認識処理してチップ部品の有無検出をする。

以下、貼付開始位置を、貼付範囲である円の半径や貼付ピッチ及びチップ部品の寸法に基づいて決定する方法の第２の実施形態を、第１の実施形態と同様に貼付範囲の中心をＸＹ軸の原点として詳細に説明する。

まず、図６に破線にて示したように、ＣＰＵ２１はシート５でのチップ部品５５の中心を貼付範囲の中心の座標に重ね、この中心の座標からチップ部品の中心位置をプラスＹ方向（図６においては上方向）に１ピッチ毎にＹ軸上を移動させた際に、チップ部品の中心位置が貼付範囲から外れた場合には１ピッチ戻り貼付範囲内に戻り、中心位置が貼付範囲内であり且つ貼付範囲の周縁に最も近い位置、或いは前記印刷範囲の周縁上にある位置を前記チップ部品をシート５に最初に貼り付ける貼付開始位置のＹ座標（＝Ｙ０）として決定する。即ち、Ｙ軸上での中心位置のＹ座標をＹ３とし、貼付範囲の周縁上でのＸ座標を０とするＹ座標をＲ３（Ｒ）とし、Ｘ座標をＸ３（＝０）として一定とし、Ｙ座標（＝Ｙ３）を１ピッチ（＝Ｌ２）毎に複数回（Ｎ回）変化させたときに、チップ部品の中心位置のＹ座標（＝Ｙ３）の値（Ｌ２×Ｎ（Ｎは整数））がＲ３の値以下となる最大のＹ座標を貼付開始位置（第１ポイント）でのチップ部品の中心位置のＹ座標として決定する。

次に、決定した貼付開始位置のＹ座標位置からチップ部品の中心位置を第１の実施形態と同様にマイナスＸ方向（図６においては左方向）に１ピッチ毎にＸ軸と平行に移動させた際にチップ部品の中心位置が貼付範囲から外れた場合には貼付範囲内に戻り、中心位置が貼付範囲内であり且つ貼付範囲の周縁に最も近い位置、或いは前記印刷範囲の周縁上にある位置を前記チップ部品をシート５に最初に貼り付ける貼付開始位置のＸ座標（＝Ｘ３）として決定する。即ち、Ｙ座標をＹ３とする中心位置のＸ座標をＸ３とし、貼付範囲の周縁上でのＹ座標をＹ３とするＸ座標をＲ３とし、Ｙ座標をＹ３一定としてＸ座標（＝Ｘ３）を１ピッチ（＝Ｌ１）毎に複数回（Ｎ回）変化させたときに、Ｘ座標（＝Ｘ３）の値の絶対値（Ｌ１×Ｎ（Ｎは整数））がＲ３の値の絶対値以下である最大のＸ座標を貼付開始位置（第１ポイント）でのチップ部品の中心位置のＸ座標として決定する。

このように、ＣＰＵ２１により自動的にチップ部品の貼付開始位置を貼付範囲の寸法、チップ部品の寸法及び貼り付けるときのピッチに基づいて容易に決定することができ、作業者の作業などを大幅に簡略化することができる。また、貼付範囲の中心を基準としてチップ部品の中心位置が貼付範囲に収まるように、チップ部品を貼付範囲内に極力均一に移載し貼付することができる。

なお、第１の実施形態及び第２の実施形態がチップ部品供給部としてトレー２を利用したが、これに限らず、図５に示すように、チップ部品が貼付されたシート５０が設けられたウエハテーブル４０でもよい。この場合、このウエハテーブル４０はトレー２と同様に、Ｘ及びＹ方向に移動できるように構成する。

このように、ウエハテーブル４０上のシート５０からウエハテーブル４上のシート５へ移載するのは、例えば良品のチップ部品のみを移載する場合や、シート５０の径と異なるシート５へ移載する場合などが考えられる。

以上本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。

移載装置を示す平面図である。 移載装置の正面図である。 移載装置の制御ブロック図である。 フローチャートを示す図である。 第２の実施形態の移載装置を示す平面図である。 貼付開始位置（第１ポイント）の決定方法を説明するためのシートの平面図である。

符号の説明

１ 移載装置本体
２ トレー
３ トレー移動テーブル
４ ウエハテーブル
５ シート
７ 移載ヘッド
８ 移載ノズル
１５ 部品姿勢認識カメラ
１６ 貼付部品認識カメラ
２１ ＣＰＵ
２２ ＲＡＭ
２６ 認識処理装置
５５ チップ部品

Claims (7)

1. 部品供給部から取出されたチップ部品を順次移載ノズルにより一定のピッチで送られるウエハテーブル上のシートの貼付範囲に貼付して移載するチップ部品移載方法において、前記シートの貼付範囲の寸法、前記チップ部品の寸法及び前記ピッチに基づいて前記チップ部品を前記シートに最初に貼り付ける貼付開始位置を決定し、この貼付開始位置から前記チップ部品をシートに順次貼付して移載すること特徴とするチップ部品移載方法。
2. 部品供給部から取出されたチップ部品を順次移載ノズルにより一定のＸ方向ピッチ及びＹ方向ピッチで送られるウエハテーブル上のシートの貼付範囲に貼付して移載するチップ部品移載方法において、前記シートの貼付範囲の寸法、前記チップ部品のＹ方向寸法及び前記Ｘ方向ピッチに基づいて前記チップ部品を前記シートに最初に貼り付ける貼付開始位置を決定し、この貼付開始位置から前記チップ部品をシートに順次貼付して移載すること特徴とするチップ部品移載方法。
3. 部品供給部から取出されたチップ部品を順次移載ノズルにより一定のＸ方向ピッチ及びＹ方向ピッチで送られるウエハテーブル上のシートの貼付範囲に貼付して移載するチップ部品移載方法において、前記シートの円形状の貼付範囲の半径と前記チップ部品のＹ方向寸法とから前記チップ部品を前記シートに最初に貼り付ける貼付開始位置のＹ座標を決定し、前記Ｘ方向ピッチに基づいて前記貼付開始位置のＸ座標を決定し、この貼付開始位置から前記チップ部品をシートに順次貼付して移載すること特徴とするチップ部品移載方法。
4. 部品供給部から取出されたチップ部品を順次移載ノズルにより一定のＸ方向ピッチ及びＹ方向ピッチで送られるウエハテーブル上のシートの貼付範囲に貼付して移載するチップ部品移載方法において、前記シートの円形状の貼付範囲の半径（＝Ｒ）と前記チップ部品のＹ方向寸法（＝Ｙ１）とに基づき、前記チップ部品を前記シートに最初に貼り付ける貼付開 部品供給部から取出されたチップ部品を順次移載ノズルにより一定のＸ方向ピッチ及び始位置のＹ座標（＝Ｙ０）を前記貼付範囲の中心を原点とするＸＹ軸におけるＹ軸上の座標（Ｙ０＝Ｒ−Ｙ１／２）に決定し、前記貼付開始位置のＹ座標位置から前記チップ部品の中心位置を前記Ｘ方向ピッチ毎にＸ軸と平行に移動させた際に前記中心位置が前記貼付範囲以内であり且つ前記貼付範囲の縁に最も近い位置或いは前記印刷範囲の縁上にある位置を前記貼付開始位置のＸ座標とし、この貼付開始位置から前記チップ部品をシートに順次貼付して移載すること特徴とするチップ部品移載方法。
5. 部品供給部から取出されたチップ部品を順次移載ノズルにより一定のＸ方向ピッチ及びＹ方向ピッチで送られるウエハテーブル上のシートの貼付範囲に貼付して移載するチップ部品移載方法において、前記シートの円形状の貼付範囲の半径と前記チップ部品のＹ方向寸法とに基づき、前記チップ部品を前記シートに最初に貼り付ける貼付開始位置のＹ座標を、前記貼付範囲の中心を原点とするＸＹ軸において、前記チップ部品の中心が前記原点に位置した状態から前記チップ部品の中心位置を前記Ｙ方向ピッチ毎にＹ軸上を移動させた際に前記中心位置が前記貼付範囲以内であり且つ前記貼付範囲の縁に最も近い位置或いは前記印刷範囲の縁上にある位置を前記チップ部品を前記貼付開始位置のＹ座標とし、且つ、前記貼付開始位置のＹ座標位置から前記チップ部品の中心位置を前記Ｘ方向ピッチ毎にＸ軸と平行に移動させた際に前記中心位置が前記貼付範囲以内であり且つ前記貼付範囲の縁に最も近い位置或いは前記印刷範囲の縁上にある位置を前記貼付開始位置のＸ座標とし、この貼付開始位置から前記チップ部品をシートに順次貼付して移載すること特徴とするチップ部品移載方法。
6. 部品供給部から取出されたチップ部品を順次移載ノズルにより一定のピッチで送られるウエハテーブル上のシートの貼付範囲に貼付して移載するチップ部品移載装置において、前記シートの貼付範囲の寸法、前記チップ部品の寸法及び前記ピッチに基づいて前記チップ部品を前記シートに最初に貼り付ける貼付開始位置を決定し、この貼付開始位置から前記チップ部品をシートに順次貼付して移載させるように前記ウェハテーブルの位置を制御する制御装置を備えたこと特徴とするチップ部品移載装置。
7. 部品供給部から取出されたチップ部品を順次移載ノズルにより一定のＸ方向ピッチ及びＹ方向ピッチで送られるウエハテーブル上のシートの貼付範囲に貼付して移載するチップ部品移載装置において、前記シートの円形状の貼付範囲の半径（＝Ｒ）と前記チップ部品のＹ方向寸法（＝Ｙ１）とに基づき、前記チップ部品を前記シートに最初に貼り付ける貼付開始位置のＹ座標（＝Ｙ０）を（Ｙ０＝Ｒ−Ｙ１／２）に決定し、Ｘ軸上の前記貼付開始位置のＹ座標位置から前記Ｘ方向ピッチ毎に前記チップ部品の中心位置をＸ軸と平行に移動させた際に前記中心位置が前記貼付範囲以内であり且つ前記貼付範囲の縁の最も近くに位置する位置或いは前記印刷範囲の縁上にある位置を前記貼付開始位置のＸ座標に決定し、この貼付開始位置から前記チップ部品を前記シートに順次貼付して移載させるように前記ウエハテーブルの位置を制御する制御装置を備えたこと特徴とするチップ部品移載装置。
   
   

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