JP2002226222A - ガラスプレス成形用金型およびガラスプレス成形体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】安価で、かつ、高精度なガラス基板をプレス成
形により製造する際に使用する金型、および、その製造
方法の提供。 【解決手段】ヒータと金型１Ａとの間に、ガラス成形時
の高温プレス圧力により変形可能な介在体６を設ける。
介在体６は、耐酸化性に優れ、熱伝導性が良好な金属材
料、例えばアルミ、銅、金などで構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は主として平面ガラス
基板をプレス成形により製造するために用いる金型、お
よびガラスプレス成形体の製造方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、コンピュータの普及に伴い外部記
憶装置の一つであるハードディスクの小型化、高容量化
などの高性能化への要求は、非常に高まってきている。
また同時に、コンピューターの低価格化に伴って、ハー
ドディスクの低価格化が非常に要求されてきている。

【０００３】従来、磁気ディスク用の基板材料として
は、アルミニウム合金が主として用いられてきた。しか
しながら、アルミニウム合金基板の場合には硬度が低い
ことから高精度な砥粒および研磨装置を使用して精密研
磨加工しても、研磨面が塑性変形するため、高精度の平
滑面を得ることは難しく、また基板表面に、より硬度の
高いニッケル−リンメッキ層を形成しても、高い精度の
要求に応えることが難しくなってきた。

【０００４】また、小型化の動きはディスク厚みの薄膜
化を要求し、強度の低いアルミニウム合金基板は、この
面からも要求に応えることが難しくなってきている。

【０００５】さらには最近における高感度な磁気抵抗効
果型ヘッド（ＭＲヘッド）の採用に伴い、磁気ディスク
にはノイズ低減の要求が、また、磁気ディスク用基板に
は磁性膜成膜後の熱処理によるノイズ低減に対応するこ
とが求められている。しかしながら、この面からもアル
ミニウム合金は要求に応えることが難しくなってきてい
る。

【０００６】上記問題を解決するため、磁気ディスク用
基板として、ガラス、セラミック、カーボンなど新しい
材料が提案されており、中でも、ガラス基板は広く検討
され一部では既に実用化されている。ガラス基板は強度
が大きく、耐熱性も良好で、表面硬度が高く、高精度な
精密研磨によって、高精度な平滑性の要求に十分応える
ことができるものである。

【０００７】従来から、磁気ディスク用ガラス基板は、
所定のサイズに切り抜かれた後、平滑な表面を得るため
に１枚、１枚ガラス基板を精密研磨する研磨法により製
造されていた。しかしながら、この製造方法には、研磨
工程に高い精度が要求され、かつ、工程数も多く、得ら
れたガラス基板が非常に高価であるという欠点があっ
た。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】これに対して、ガラス
プレス成形法は光学ガラス素子製造の分野では、数多く
の検討がなされ、高品質かつ高生産性の可能な製造方法
として既に実用化が図られている。近年、磁気ディスク
用ガラス基板の製造方法においても、このガラスプレス
成形法が注目されており、その製造方法が確立されつつ
ある。

【０００９】しかしながら、ハードディスクの低価格化
からみて、ガラスプレス成形法による磁気ディスク用ガ
ラス基板の製造方法においても、さらなる製造コストの
低減要求が高まりつつある。

【００１０】本発明は、このような課題に鑑みて、ガラ
スプレス成形法により、高精度なガラス基板を安価にか
つ大量に生産できるようにすることを目的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明は、ガラスを加熱プレス成形する際に使用す
る金型において、当該金型を加熱する加熱手段と当該金
型との間に、ガラス成形時の高温プレス圧力により変形
可能な介在体を設けている。

【００１２】

【発明の実施形態】本発明の請求項１に記載の発明は、
ガラスを加熱プレス成形する際に使用する金型であっ
て、当該金型を加熱する加熱手段と当該金型との間に、
ガラス成形時の高温プレス圧力により変形可能な介在体
を設けており、これにより、次のような作用を有する。
すなわち、介在体により加熱手段と金型とは互いに密着
することになる。これにより、加熱手段による熱が均等
に金型を介して被成形体（ガラス）に伝わることになる
うえに、金型を介して被成形体（ガラス）に伝わる物理
的な圧力も均等に被成形体（ガラス）に伝わることにな
る。

【００１３】なお、前記介在体は、請求項２に記載した
ように、金型の加熱手段当接面に設ける膜体から構成し
たり、請求項３に記載したように、金型に取り付ける金
型台から構成すれば、比較的簡単に介在体を金型に設け
ることができる。

【００１４】また、介在体の配置位置としては、請求項
４に記載したように、当該金型を、金型本体と金型本体
に取り付けられて前記金型加熱手段の間に介装される金
型台とから構成し、前記介在体を、前記金型台と前記金
型加熱手段との間に介在させてもよい。この場合には、
請求項５に記載したように、介在体を、金型台の加熱手
段当接面に設ける膜体から構成すれば、比較的簡単に介
在体を設けることができる。

【００１５】また、介在体の配置位置としては、請求項
６に記載したように、当該金型を、金型本体と、金型本
体の加熱手段当接面に設けられた金型台とから構成し、
介在体を、前記金型と前記金型台との間に介在させても
よい。

【００１６】また、ガラス成形時の高温プレス圧力によ
り変形可能な硬度とは、請求項７に記載したように、Ｈ
ｖ５００以下のビッカース硬度が適当である。

【００１７】また、請求項８に記載したように、介在体
を、熱伝導性が良好な材料から構成するのが好ましく、
そうすれば、加熱手段による熱が効率よく金型を介して
被成形体（ガラス）に伝わることになり、その分、加熱
効率が高まって、製造時間や製造コストに低減につなが
る。

【００１８】また、請求項９に記載したように、前記介
在体を、金型の径方向に沿って外側にいく程、熱伝導度
が低くなるように構成するのが好ましく、そうすれば、
次のような作用がある。すなわち、加熱手段により加熱
された金型は、被成形体（ガラス）にその熱を伝えるほ
か、金型外縁からも放熱する。そのため、金型の径方向
の外側と内側とを比較すると、外側の温度低下が大きく
なり、その結果として、加熱時の金型においてはその温
度分布が不均等になるのは否めない。これに対して、本
発明では、介在体を、金型の径方向に沿って外側にいく
程、熱伝導度が低くなるように構成することで、このよ
うな温度分布の不均等を矯正することが可能となる。

【００１９】このような介在体の具体例としては、請求
項１０に記載したように、前記介在体を、金型の径方向
に沿って外側にいく程、熱伝導度が低い複数の同軸環状
体から構成したり、請求項１１に記載したように、前記
介在体を、金型の径方向に沿って外側にいく程、熱伝導
度が低い傾斜材料から構成すればよい。

【００２０】また、請求項１２に記載したように、前記
介在体を、耐酸化性に優れた材料から構成するのが好ま
しく、そうすれば、金型を繰り返して使用しても、上述
した介在体の効果（均熱効果、均圧効果等）を維持する
ことが可能となる。

【００２１】なお、上述した各発明の作用効果は、請求
項１３に記載したように、金型のプレス面が平面であっ
て、このような金型によってガラス基板等の極薄い被形
成体を成形する場合には、プレス時の均熱性や均圧性が
特に要求される。そのため、このような金型において本
発明を実施すれば、その作用効果は絶大なものとなる。

【００２２】なお、金型は、請求項１４に記載したよう
に、高温機械強度に優れたタングステンカーバイド（Ｗ
Ｃ）を主成分とする超硬合金、あるいは、チタンナイト
ライド（ＴｉＮ）、チタンカーバイド（ＴｉＣ）、クロ
ムカーバイド（Ｃｒ₃Ｃ₂）、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、シ
リコンカーバイド（ＳｉＣ）、窒化ホウ素（ＢＮ）のい
ずれか、または、それらを主成分とするサーメット、ま
たは、ステンレス、ニッケル（Ｎｉ）、ニッケル合金、
モリブデン（Ｍｏ）、モリブデン合金、コバルト（Ｃ
ｏ）、コバルト合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、チ
タン（Ｔｉ）、チタン合金、タングステン（Ｗ）、タン
グステン合金のいずれかよりなるのが好ましい。

【００２３】また、本発明の介在体は、請求項１５に記
載したように、アルミ（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、ニッケル
（Ｎｉ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、クロム（Ｃ
ｒ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、イリジ
ウム（Ｉｒ）、ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒ
ｈ）、パラジウム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）のいず
れかの金属、または、少なくとも１種類以上の前記金属
を含む合金から構成するのが適当である。

【００２４】また、請求項１６に記載したように、金型
のプレス面に、耐酸化性、高温機械強度に優れ、ガラス
に対して不活性な白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、
ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、レニウム（Ｒ
ｅ）、パラジウム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）、タン
グステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のいずれかの金属、
または、少なくとも１種類以上の前記金属を含む合金層
を設けるのが好ましく、そうすれば、被成形体の離型性
が向上する。

【００２５】以下本発明の実施形態について、図面を参
照しながら説明する。

【００２６】図１、図２は本発明におけるガラス成形品
のプレス成形方法、および、その際に使用する成形機の
概念図であって、図１は成形直前の状態を示し、図２は
成形途中の状態を示している。なお、以下の各実施形態
では、ガラス成形品として磁気ディスク用の平面ガラス
基板を作製する場合を例にして本発明を説明する。

【００２７】まず、本発明の各実施形態による平面ガラ
ス基板の製造方法の概略を説明する。図中、符号１は金
型である。この金型１に用いる材料は、特に限定するも
のではないが、繰り返し使用による変形を防止するた
め、できるだけ高温時の機械強度に優れており、さらに
は高温下での耐酸化性に優れた材料が好ましい。

【００２８】図中、符号２は被成形体であるガラス材料
で、本発明の各実施形態では、アルミノシリケートガラ
ス（軟化点６７３℃、ガラス転移点５０６℃）を使用
し、さらには、ガラス材料２としては、重量のばらつき
はあるものの、ガラス材料を加熱溶融してノズル等より
滴下された極めて安価な製造方法によるものを使用す
る。

【００２９】このように構成されたガラス材料２を、上
下一対の金型１の間に設置する。この状態で、加熱ヒー
タ（金型１の加熱手段）３を内蔵した上下一対のプレス
ヘッド４のプレスヘッド面４ａを各金型１の金型裏面１
ａに接触させる。

【００３０】そして、窒素雰囲気中にて、ガラス材料２
の軟化点近傍６８０℃まで、ガラス材料２および上下一
対の金型１を昇温した後、加重１．５×１０⁴ｋｇｆに
て加圧プレスし、所望のディスク厚み０．６３５ｍｍの
ガラス成形品５（平板ガラス基板）とする。

【００３１】以下、本発明の各実施形態の構成を、上述
した本発明の金型構成およびそれを用いたガラス成形品
の製造方法の概要を踏まえて説明する。

【００３２】（実施の形態１）本実施形態の金型１Ａを
図３に示す。図３（ａ）は、金型１Ａの断面図であり、
図３（ｂ）はその底面図である。

【００３３】金型１Ａの大きさは、外径φ５０ｍｍ、厚
み１５ｍｍである。金型１Ａは、タングステンカーバイ
ド（ＷＣ）を主成分とする超硬合金より構成されてい
る。金型裏面１ａには、請求項における介在体の一例を
構成する介在膜６が形成されている。

【００３４】介在膜６は、耐酸化性に優れ、熱伝導性が
良好（熱伝導率０．７５０cal/cm・sec・℃）で、成形時
の高温プレス圧力により変形可能な硬度（具体的にはビ
ッカース硬度Ｈｖ６０）を有する金属材料から構成され
ている。詳細にいえば、介在膜６は、膜厚３．０μｍの
金（Ａｕ）の膜からなる。

【００３５】金型１の製造方法としては、まず、金型裏
面１ａおよび金型プレス面１ｂを、ダイヤモンド砥石を
使用した研削加工により平面に加工し（平坦度２．２μ
ｍ）、その後、ダイヤモンド砥粒による研磨加工にて鏡
面（Ｒａ３．１ｎｍ）に仕上げる。その後、この金型裏
面１ａを溶剤（アセトン）により洗浄した後、金型裏面
１ａに対して、スパッタリング法にて金（Ａｕ）からな
る介在膜６を膜厚３μｍで形成する。

【００３６】本実施形態の金型１Ａを使用して、図１お
よび図２に示す成形方法によりガラス成形品５を作製し
たところ、次のような結果が得られた。

【００３７】従来の金型と同等である介在膜６のない状
態の金型１Ａ’を用いてガラス成形品５を作製する場合
には、プレスヘッド面４ａ（図１、図２参照）と金型裏
面１ａとは、互いにその形状が平面状であるものの両者
の間に僅かな形状のズレが存在するのは避けられない。
そのため、両者（プレスヘッド面４ａと金型裏面１ａ）
は均一に面接触しない。さらには、両者とも超硬合金か
らなり、そのビッカース硬度はＨｖ１５００以上と高い
ために、成形時にプレス圧力が加わっても表面形状に微
細変形が生じず、そのため上述した僅かな形状のズレは
解消しない。このような理由により、上記両者の密着性
は悪く、その結果、加熱ヒータ３からの熱伝導が悪くな
って、プレス成形に１９ｍｉｎの時間を要した。

【００３８】これに対して、金型裏面１ａに金（Ａｕ）
からなる介在膜６を有する金型１Ａを用いた本実施形態
のガラス成形品の製造方法では、成形時のプレス圧力に
よって介在膜６が変形してプレスヘッド面４ａと金型裏
面１ａとの間の接触面積が増大する。その結果、加熱ヒ
ータ３からの熱伝導が改善され、成形時間が１３ｍｉｎ
に短縮された。

【００３９】また、プレスヘッド面４ａと金型裏面１ａ
との間の接触部位の面積増大とその均等配置により、金
型１Ａの均熱性も改善される。一般に、金型の均熱性は
ガラス成形品５の表面における平坦度や破損具合に顕著
な影響を与え、金型の均熱性が高い程、ガラス成形品５
の平坦度は向上し、成形中の破損頻度は減少する。本実
施形態の金型１Ａを用いたガラス成形品（平面ガラス基
板）５の成形では、加熱冷却時における金型１Ａの均熱
性が向上するために、ガラス成形品５の平坦度が、従前
の１０μｍから７μｍに改善されるとともに、割れ等の
破損が生じる頻度も改善された。

【００４０】さらには、介在膜６を構成する金（Ａｕ）
は耐酸化性に優れているため、繰り返して実施されるプ
レス工程を経ても、介在膜６は酸化して加熱ヒータ３か
らの熱伝導が変化することもなく安定した成形が可能と
なる。そのため本実施形態の金型１Ａを用いたガラス成
形品の製造方法においては、繰り返しの平坦度のばらつ
きが、±２μｍと安定したものとなる。

【００４１】また、金型が不均熱な場合、得られたガラ
ス成形品５の対称性が悪くなるが、本実施形態では、均
熱性の改善により形状の対称性に優れたガラス成形品５
が得られる。

【００４２】なお、本実施形態に使用した金型１Ａの金
型プレス面１ｂには、ガラス材料２の離型性を高めるた
めに、白金（Ｐｔ）を成膜した。

【００４３】（実施の形態２）本実施形態の金型１Ｂを
図４に示す。図４（ａ）は、断面図であり、図４（ｂ）
はその底面図である。

【００４４】金型１Ｂの大きさは、外径φ３５ｍｍ、厚
み１０ｍｍであり、この金型１Ｂはアルミナ（Ａｌ
₂Ｏ₃）を主成分とするサーメット（ビッカース硬度Ｈｖ
１１００）より構成されている。このような金型１Ｂの
金型裏面１ａに、請求項における介在体の一例を構成す
る介在膜７が形成されている。

【００４５】介在膜７は、金属膜７ａと合金膜７ｂとか
ら構成されている。金属膜７ａは金型裏面１ａの中心部
に、金型裏面１ａと同心に形成された円形形状（φ２０
ｍｍ）をしている。合金膜７ｂは金属膜７ａの外縁に沿
って金属膜７ａと同心に配置された環状形状（内径２０
ｍｍ：外径３５ｍｍ）をしている。

【００４６】金属膜７ａは、耐酸化性に優れ、熱伝導性
が良好（熱伝導率０．７５０cal/cm・sec・℃）で、成形
時の高温プレス圧力により変形可能な硬度（具体的には
ビーカース硬度Ｈｖ６０）を有する金属材料から構成さ
れている。詳細にいえば、金属膜７ａは、膜厚１．５μ
ｍの金（Ａｕ）から構成されている。

【００４７】合金膜７ｂは、耐酸化性に優れ、成形時の
高温プレス圧力により変形可能な硬度（具体的にビッカ
ース硬度Ｈｖ１５０）を有するものの、熱伝導性に若干
ながら金属膜７ａとは異なる特徴がある。すなわち、合
金膜７ｂは、良好であるものの金属膜７ａよりは若干劣
る（０．３４０cal/cm・sec・℃）熱伝導性を有してい
る。このような構成を有することで、金型１Ｂにおいて
は、径方向中心側に位置する領域（金属膜７ａ形成領
域）より、径方向外側に位置する領域（合金膜７ｂ形成
領域）の方が熱の放散性が悪くなっている。

【００４８】具体的には、合金膜７ｂは、金とクロムの
合金膜（Ａｕ−Ｃｒ、Ａｕ４２ｗｔ％ Ｃｒ５８ｗｔ
％）を膜厚１．５μｍに形成している。つまり、金と比
較して熱伝導性が若干劣るクロムを所定量含有する金の
合金体から合金膜７ｂを構成することで上述した特性を
発揮させている。

【００４９】このような金型１Ｂの製造方法としては、
例えば、次のような方法がある。すなわち、まず、金型
裏面１ａおよび金型プレス面１ｂをダイヤモンド砥石を
使用した研削加工により、平面に加工し（平坦度１．１
μｍ）、その後、ダイヤモンド砥粒による研磨加工にて
鏡面（Ｒａ２．１ｎｍ）に仕上げる。その後、この金型
裏面１ａを洗浄した後、中心部φ２０ｍｍより外側の部
分をマスクした状態で、スパッタリング法にて金（Ａ
ｕ）からなる金属膜７ａを膜厚１．５μｍに形成する。
次に、金型裏面１ａの金属膜７ａ形成領域をマスクした
状態で、同じく、スパッタリング法により、合金膜７ｂ
（Ａｕ−Ｃｒ）を膜圧１．５μｍに形成する。

【００５０】本実施形態の金型１Ｂを使用して、図１お
よび図２に示す成形方法によりガラス成形品５を作製し
たところ、次のような結果が得られた。

【００５１】従来の金型と同等である介在膜７のない状
態の金型１Ｂ’を用いてガラス成形品５を作製する場合
には、実施の形態１で説明したのと同様の理由により、
プレスヘッド面４ａと金型裏面１ａとは均一に面接触し
ない結果、加熱ヒータ３からの熱伝導が悪くなって、プ
レス成形に８ｍｉｎの時間を要した。

【００５２】これに対して、金型裏面１ａに、金属膜７
ａと合金膜７ｂとからなる介在膜７を有する金型１Ｂを
用いた本実施形態のガラス成形品の製造方法では、成形
時のプレス圧力により、金属膜７ａと合金膜７ｂとが僅
かに変形し、プレスヘッド面４ａと金型裏面１ｂとの間
の接触面積が増大する。その結果、加熱ヒータ３からの
熱伝導が改善され、成形時間が５ｍｉｎに短縮された。

【００５３】また、接触部位の面積増大とその均等配置
により、金型１Ｂの均熱性が改善されるため、ガラス成
形品５の平坦度が、従前の７μｍから４μｍに改善する
とともに、割れ等の破損が生じる頻度も改善された。

【００５４】また、介在膜７を金属膜７ａと合金膜７ｂ
とから構成することで、両者の熱伝導の違いにより、次
のような効果がある。すなわち、通常、この種の金型で
は、加熱プレス後の冷却課程において、外周部が中心部
より先に冷却される結果、金型が不均熱な状態となって
しまうのは避けられない。これに対して、本実施形態の
金型１Ｂでは、金型内周（金属膜７ａ）側より熱放散の
激しい金型外周に上述した合金膜７ｂを設けることで、
金型外周部の熱伝導を金型内周部より意図的に悪くし
て、この部分を冷却され難くしている。これにより、加
熱冷却時における金型１Ｂの均熱性が向上し、その分、
さらに、ガラス成形品５の平坦度や破損発生頻度が改善
されている。上述した本実施形態の製法によるガラス成
形品５の平坦度のデータ（４μｍ）は、このような特性
にも起因した値となっている。

【００５５】また、金属膜７ａ（Ａｕ）、合金膜７ｂ
（Ａｕ−Ｃｒ）は、耐酸化性に優れているため、繰り返
して実施されるプレス工程を経ても、金属膜７ａ、合金
膜７ｂが酸化して加熱ヒータ３からの熱伝導が変化する
こともなく安定した成形が可能となる。そのため、本実
施形態の金型１Ｂを用いたガラス成形品の製造方法にお
いては、繰り返しの平坦度のばらつきが、±０．８μｍ
と安定したものとなる。

【００５６】また、金型が不均熱な場合、得られたガラ
ス成形品の対称性が悪くなるが、本実施形態では、均熱
性の改善により形状の対称性に優れたガラス成形品５が
得られる。

【００５７】なお、本実施形態に使用した金型１Ｂの金
型プレス面１ｂには、ガラス材料２の離型性を高めるた
めに、白金タングステン（Ｐｔ−Ｗ）を成膜した。

【００５８】（実施の形態３）本実施形態の金型１Ｃを
図５に示す。図５（ａ）は、金型１Ｃの断面図であり、
図５（ｂ）はその底面図である。

【００５９】金型１Ｃの大きさは、外径φ５８ｍｍ、厚
み２０ｍｍである。金型１Ｃは、シリコンカーバイド
（ＳｉＣ）より構成されている。そして、金型１Ｃの金
型裏面１ａには、請求項における介在体の一例を構成す
る介在膜８が形成されている。

【００６０】介在膜８は、耐酸化性に優れ、熱伝導性が
良好（熱伝導率０．５１０cal/cm・sec・℃）で、成形時
の高温プレス圧力により変形可能な硬度（具体的には、
ビッカース硬度Ｈｖ１３０）を有する合金膜から構成さ
れている。詳細にいえば、介在膜８は、膜厚５．０μｍ
の銀−ニッケル（Ａｇ−Ｎｉ）から構成されている。

【００６１】また、この介在膜８は、金型中心部からそ
の径方向外側にいくにつれて、組成がＡｇ８０ｗｔ％：
Ｎｉ２０ｗｔ％からＡｇ４０ｗｔ％：Ｎｉ６０ｗｔ％ま
で連続的の組成が変化するという傾斜材料から構成され
ている。

【００６２】金型１Ｃの製造方法としては、例えば、次
のような方法がある。すなわち、まず、金型裏面１ａお
よび金型プレス面１ｂを、ダイヤモンド砥石を使用した
研削加工により平面に加工し（平坦度３．８）、その
後、ダイヤモンド砥粒による研磨加工にて鏡面（Ｒａ
０．５ｎｍ）に仕上げる。その後、この金型裏面１ａを
溶剤等で洗浄した後、スパッタリング法にて、半径方向
に組成の異なる銀−ニッケル（Ａｇ−Ｎｉ）の合金ター
ゲットを使用して、（銀−ニッケル（Ａｇ−Ｎｉ））の
合金からなる介在膜８を膜厚５．０μｍで形成する。

【００６３】本実施形態の金型１Ｃを使用して、図１お
よび図２に示すガラス成形品５の成形を実施したとこ
ろ、次のような結果が得られた。

【００６４】従来の金型と同等である介在膜８のない状
態の金型１Ｃ’を用いてガラス成形品５を作製する場合
には、実施の形態１で説明したのと同様の理由により、
プレスヘッド面４ａと金型裏面１ａとは均一に面接触し
ない結果、加熱ヒータ３からの熱伝導が悪くなって、プ
レス成形に２２ｍｉｎの時間を要した。

【００６５】これに対して、金型裏面１ａに銀−ニッケ
ル（Ａｇ−Ｎｉ）の傾斜材料からなる介在膜８を有する
金型１Ｃを用いた本実施形態のガラス成形品の製造方法
では、成形時のプレス圧力により介在膜８が僅かに変形
し、プレスヘッド面４ａと金型裏面１ｂとの間の接触面
積が増大する。その結果、加熱ヒータ３からの熱伝導が
改善され、成形時間が１５ｍｉｎに短縮された。

【００６６】また、プレスヘッド面４ａと金型裏面１ａ
との間の接触部位の面積増大とその均等配置により、金
型１Ｃの均熱性が改善されるために、ガラス成形品５の
平坦度が従前の１０μｍから３μｍに改善された。

【００６７】また、金型が不均熱な場合、得られたガラ
ス成形品５の対称性が悪くなるが、本実施形態では、均
熱性の改善により形状の対称性に優れたガラス成形品５
が得られる。

【００６８】また、介在膜７を上述したような傾斜材料
から構成することで、次のような効果がある。すなわ
ち、通常、この種の金型では、加熱プレス後の冷却課程
において、外周部が中心部より先に冷却される結果、金
型が不均熱な状態となってしまうのは避けられない。こ
れに対して、本実施形態の金型１Ｃでは、金型内周（金
属膜７ａ）側より外周側の方が徐所に熱伝導を悪くした
傾斜材料により介在膜８を構成することで、金型外周部
の熱伝導を金型内周部より意図的に悪くしてこの部分を
冷却され難くしている。これにより、加熱冷却時におけ
る金型１Ｃの均熱性が向上し、その分、さらに、ガラス
成形品５の平坦度や破損発生頻度が改善された。上述し
た本実施形態の製法によるガラス成形品の平坦度のデー
タ（３μｍ）は、このような特性にも起因した値となっ
ている。

【００６９】また、銀−ニッケル（Ａｇ−Ｎｉ）は、耐
酸化性に優れているため、繰り返して実施されるプレス
工程を経ても、介在膜８が酸化して加熱ヒータ４からの
熱伝導が変化することもなく非常に安定した成形が可能
となる。そのため、本実施形態の金型１Ｃを用いたガラ
ス成形品５の製造方法においては、繰り返しの平坦度の
ばらつきは、±２μｍと安定したものとなる。

【００７０】なお、本実施形態に使用したガラス成形用
金型１Ｃの金型プレス面１ｂには、ガラス材料２の離型
性を高めるために、白金タンタル（Ｐｔ−Ｔａ）を成膜
した。

【００７１】（実施の形態４）本発明の金型１Ｄを図６
に示す。図６（ａ）は、金型１Ｄの断面図であり、図６
（ｂ）はその底面図である。

【００７２】金型１Ｄは、金型本体９と、請求項におけ
る介在体の一例である金型台１０とから構成されてい
る。金型台１０は、金型本体９の金型本体裏面９ａを受
けた状態で、金型本体９とプレスヘッド４との間に設置
されている。金型本体９の大きさは、外径φ５０ｍｍ、
厚み１５ｍｍであり、金型台１０の大きさは、外径φ６
０ｍｍ、厚み１０ｍｍである。

【００７３】金型本体９は、クロムカーバイド（Ｃｒ₃
Ｃ₂）よりなり、金型台１０は、耐酸化性に優れ、熱伝
導性が良好（０．９２３cal/cm・sec・℃）で、成形時の
高温プレス圧力により変形可能な硬度（具体的にはビッ
カース硬度Ｈｖ８０）を有する金属材料から構成されて
いる。詳細にいえば、金型台１０は銀−銅（Ａｇ−Ｃ
ｕ）から構成されている。

【００７４】本発明の金型１Ｄを使用して、図１および
図２に示す成形を実施したところ、次のような結果が得
られた。

【００７５】従来の金型と同等である金型台１０のない
状態の金型１Ｄ’を用いてガラス成形品５を作製する場
合には、実施の形態１で説明したのと同等の理由によ
り、プレスヘッド面４ａと金型本体裏面９ａとは均一に
面接触しない結果、加熱ヒータ３からの熱伝導が悪くな
って、プレス成形に２２ｍｉｎの時間を要した。

【００７６】これに対して、金型本体裏面９ａに、硬度
の低い（変形しやすい）金型台１０を設けた金型１Ｄを
用いた本実施形態のガラス成形品５の製造方法では、成
形時のプレス圧力により、金型台１０の両面（金型本体
当接面とプレスヘッド当接面）が僅かに変形し、プレス
ヘッド面４ａと金型本体裏面９ｂとの間の接触面積が増
大する。その結果、加熱ヒータ３からの熱伝導が改善さ
れ、成形時間が１５ｍｉｎに短縮された。

【００７７】また、接触部位の面積増大とその均等配置
により、金型１Ｄの均熱性が改善されるため、ガラス成
形品５の平坦度が、従前の６μｍから２μｍに改善する
とともに、割れ等の破損が生じる頻度も改善された。

【００７８】また、金型が不均熱な場合、得られたガラ
ス成形品５の対称性が悪くなるが、本実施形態では、均
熱性の改善により形状の対称性に優れたガラス成形品５
が得られる。

【００７９】なお、本実施形態に使用した金型１Ｃの金
型プレス面９ｂには、ガラス材料２の離型性を高めるた
めに、白金（Ｐｔ−Ｉｒ）を成膜した。

【００８０】（実施の形態５）本実施形態の金型１Ｅを
図７に示す。図７（ａ）は、金型１Ｅの断面図であり、
図７（ｂ）はその底面図である。

【００８１】金型１Ｅは、金型本体１１と金型台１２と
を有している。金型台１２は、金型本体１１の金型本体
裏面１１ａを受けた状態で、金型本体１１とプレスヘッ
ド４との間に設置されている。金型本体１１の大きさ
は、外径φ４１ｍｍ、厚み２０ｍｍであり、金型台１２
の大きさは、外径φ５１ｍｍ（φ内径４１ｍｍ）、厚み
１０ｍｍである。

【００８２】金型本体１１は、窒化ホウ素（ＢＮ）より
なり、金型台１２は、熱伝導性が良好（０．１７cal/cm
・sec・℃）で、成形時の高温プレス圧力により変形不可
能な硬度（具体的にはビッカース硬度Ｈｖ１５００以
上）を有する金属材料から構成されている。詳細にいえ
ば、金型台１２はタングステンカーバイド（ＷＣ）から
構成されている。

【００８３】このように構成された金型１Ｅにおいて、
本実施形態は、金型台１２の上面１２ａに、介在膜１３
を設けている。介在膜１３は、金属膜１３ａと合金膜１
３ｂとから構成されている。金属膜１３ａは金型台上面
１２ａの中心部に、金型台１２と同心に形成された円形
形状（φ２２ｍｍ、厚み１ｍｍ）に形成されている。合
金膜１２ｂは金属膜１２ａの外縁に沿って金属膜１２ａ
と同心に配置された環状形状（内径２２ｍｍ：外径４１
ｍｍ、厚み１ｍｍ）に形成されている。

【００８４】金属膜１３ａは、耐酸化性に優れ、熱伝導
性が良好（熱伝導率０．７５０cal/cm・sec・℃）で、成
形時の高温プレス圧力により変形可能な硬度（具体的に
はビーカース硬度Ｈｖ６０）を有する金属材料から構成
されている。詳細にいえば、金属膜1３ａは、膜厚１．
５μｍの金（Ａｕ）から構成されている。

【００８５】合金膜１３ｂは、耐酸化性に優れ、成形時
の高温プレス圧力により変形可能な硬度（具体的にはビ
ッカース硬度Ｈｖ９０）を有するものの、熱伝導性に若
干ながら金属膜１３ａとは異なる点に特徴がある。すな
わち、合金膜１３ｂは、良好であるものの金属膜１３ａ
よりは若干劣る熱伝導性（０．１６cal/cm・sec・℃）を
有している。

【００８６】このような特性を有することで、金型１Ｅ
においては、径方向中心側に位置する領域（金属膜１３
ａ形成領域）より、径方向外側に位置する領域（合金膜
１３ｂ形成領域）の方が熱の放散性が悪くなっている。

【００８７】なお、介在膜１３は、実施の形態２で説明
した介在膜７と同様の方法により作製できる。

【００８８】本実施形態の金型１Ｅを使用して、図１お
よび図２に示す成形方法によりガラス成形品５を作製し
たところ、次のような結果が得られた。

【００８９】従来の金型と同等である介在膜１３のない
状態の金型１Ｅ’を用いてガラス成形品５を作製する場
合には、実施の形態１で説明したのと同様の理由によ
り、プレスヘッド面４ａと金型裏面１ａとは均一に面接
触しない結果、加熱ヒータ３からの熱伝導が悪くなっ
て、プレス成形に１５ｍｉｎの時間を要した。

【００９０】これに対して、金型台上面１２ａに、金属
膜１３ａと合金膜１３ｂとからなる介在膜１３を有する
金型１Ｅを用いた本実施形態のガラス成形品の製造方法
では、成形時のプレス圧力により、金属膜１３ａと合金
膜１３ｂとが僅かに変形し、プレスヘッド面４ａと金型
本体裏面１１ａとの間の接触面積が増大する。その結
果、加熱ヒータ３からの熱伝導が改善され、成形時間が
１１ｍｉｎに短縮された。

【００９１】また、接触部位の面積増大とその均等配置
により、金型１Ｅの均熱性が改善されるため、ガラス成
形品５の平坦度が、従前の７μｍから３μｍに改善する
とともに、割れ等の破損が生じる頻度も改善された。

【００９２】また、介在膜１３を金属膜１３ａと合金膜
１３ｂとから構成することで、両者の熱伝導の違いによ
り、次のような効果がある。すなわち、通常、この種の
金型では、加熱プレス後の冷却課程において、外周部が
中心部より先に冷却される結果、金型が不均熱な状態と
なってしまうのは避けられない。これに対して、本実施
形態の金型１Ｅでは、金型内周（金属膜１３ａ）側より
熱伝導の悪い金型外周に合金膜１３ｂを設けることで、
金型外周部の熱伝導を金型内周部より意図的に悪くし
て、この部分を冷却され難くしている。これにより、加
熱冷却時における金型１Ｅの均熱性が向上し、その分、
さらに、ガラス成形品５の平坦度や破損発生頻度を改善
している。上述した本実施形態の製法によるガラス成形
品の平坦度のデータ（３μｍ）は、このような特性にも
起因した値となっている。

【００９３】また、金属膜１３ａ（Ａｕ）、合金膜１３
ｂ（Ａｕ−Ｃｕ）は、耐酸化性に優れているため、繰り
返して実施されるプレス工程を経ても、金属膜１３ａ、
合金膜１３ｂが酸化して加熱ヒータ３からの熱伝導が変
化することもなく、安定した成形が可能となる。そのた
め、本実施形態の金型１Ｅを用いたガラス成形品の製造
方法においては、繰り返しの平坦度のばらつきも少なく
安定したものとなる。

【００９４】また、金型が不均熱な場合、得られたガラ
ス成形品５の対称性が悪くなるが、本実施形態では、均
熱性の改善により形状の対称性に優れたガラス成形品５
が得られる。

【００９５】なお、本実施形態に使用した金型１Ｅの金
型プレス面１ｂには、ガラス材料２の離型性を高めるた
めに、白金イリジウム（Ｐｔ−Ｉｒ）を成膜した。

【００９６】（実施の形態６）本実施形態の金型１Ｆを
図８に示す。図８（ａ）は、金型１Ｆの断面図であり、
図８（ｂ）はその底面図である。

【００９７】金型１Ｆは、金型本体１４と金型台１５と
を有している。金型台１５は、金型本体１４の金型本体
裏面１４ａを受けた状態で、金型本体１４とプレスヘッ
ド４との間に設置されている。金型本体１４の大きさ
は、外径φ３２ｍｍ、厚み１５ｍｍであり、金型台１５
の大きさは、外径φ４２ｍｍ（内径φ３２ｍｍ）、厚み
１０ｍｍである。

【００９８】金型本体１４と金型台１５とは、タングス
テンカーバイド（ＷＣ）を主成分とする超硬合金から構
成されている。タングステンカーバイドは、熱伝導性が
良好（０．１７cal/cm・sec・℃）で、成形時の高温プレ
ス圧力により変形不可能な硬度（具体的にはビッカース
硬度Ｈｖ１５００以上）を有している。

【００９９】このように構成された金型１Ｆにおいて、
本実施形態は、金型台１５の下面１５ａに、請求項にお
ける介在体の一例を構成する介在膜１６を設けている。
介在膜１６は、金属膜１６ａと合金膜１６ｂとから構成
されている。金属膜１６ａは金型台下面１５ａの中心部
に、金型台１５と同心に形成された円形形状（φ２０ｍ
ｍ、厚み３ｍｍ）に形成されている。合金膜１６ｂは金
属膜１２ａの外縁に沿って金属膜１２ａと同心に配置さ
れた環状形状（内径２２．５ｍｍ：外径４２ｍｍ、厚み
３ｍｍ）に形成されている。

【０１００】金属膜１６ａは、耐酸化性に優れ、熱伝導
性が良好（熱伝導率０．１６８cal/cm・sec・℃）で、成
形時の高温プレス圧力により変形可能な硬度（具体的に
はビーカース硬度Ｈｖ１１０）を有する金属材料から構
成されている。詳細にいえば、金属膜１６ａは、白金
（Ｐｔ）から構成されている。

【０１０１】合金膜１６ｂは、耐酸化性に優れ、成形時
の高温プレス圧力により変形可能な硬度（具体的にはビ
ッカース硬度Ｈｖ２５０）を有するものの、熱伝導性に
若干ながら金属膜１６ａとは異なる特性がある。すなわ
ち、合金膜１６ｂは、良好であるものの金属膜１６ａよ
りは若干劣る熱伝導性（０．９２３cal/cm・sec・℃）を
有している。このような構成を有することで、金型１Ｆ
においては、径方向中心側に位置する領域（金属膜１６
ａ形成領域）より、径方向外側に位置する領域（合金膜
１６ｂ形成領域）の方が熱の放散性が悪くなっている。

【０１０２】このような介在膜１６は、実施の形態２で
説明した介在膜７と同様の方法により作製できる。ただ
し、介在膜１６は、蒸着法により作製できる。

【０１０３】本実施形態の金型１Ｆを使用して、図１お
よび図２に示す成形方法によりガラス成形品５を作製し
たところ、次のような結果が得られた。

【０１０４】従来の金型と同等である介在膜１６のない
状態の金型１Ｆ’を用いてガラス成形品５を作製する場
合には、実施の形態１で説明したのと同様の理由によ
り、プレスヘッド面４ａと金型裏面１ａとは均一に面接
触しない結果、加熱ヒータ３からの熱伝導が悪くなっ
て、プレス成形に９ｍｉｎの時間を要していた。

【０１０５】これに対して、金型台下面１５ａに、金属
膜１６ａと合金膜１６ｂとからなる介在膜１６を有する
金型１Ｆを用いた本実施形態のガラス成形品の製造方法
では、成形時のプレス圧力により、金属膜１６ａと合金
膜１６ｂとが僅かに変形し、プレスヘッド面４ａと金型
本体裏面１４ａとの間の接触面積が増大する。その結
果、加熱ヒータ３からの熱伝導が改善され、成形時間が
６ｍｉｎに短縮された。

【０１０６】また、接触部位の面積増大とその均等配置
により、金型１Ｆの均熱性が改善されるため、ガラス成
形品５の平坦度が、従前の６μｍから５μｍに改善する
とともに、割れ等の破損が生じる頻度も改善された。

【０１０７】また、介在膜１６を金属膜１６ａと合金膜
１６ｂとから構成することで、両者の熱伝導の違いによ
り、金型外周部の熱伝導を金型内周部より意図的に悪く
して、この部分を冷却され難くしている。これにより、
加熱冷却時における金型１Ｆの均熱性が向上し、その
分、さらに、ガラス成形品５の平坦度や破損発生頻度を
改善している。上述した本実施形態の製法によるガラス
成形品の平坦度のデータ（３μｍ）は、このような特性
にも起因した値となっている。

【０１０８】また、金属膜１６ａ（Ｐｔ）、合金膜１６
ｂ（Ｃｕ−Ｎｉ）は、耐酸化性に優れているため、繰り
返して実施されるプレス工程を経ても、金属膜１６ａ、
合金膜１６ｂが酸化して加熱ヒータ３からの熱伝導が変
化することもなく安定した成形が可能となる。そのた
め、本実施形態の金型１Ｆを用いたガラス成形品の製造
方法においては、繰り返しの平坦度のばらつきは少なく
安定したものとなる。

【０１０９】また、金型が不均熱な場合、得られたガラ
ス成形品５の対称性が悪いが、本実施形態では、均熱性
の改善により形状の対称性に優れたガラス成形品５が得
られる。

【０１１０】なお、本実施形態に使用した金型１Ｆの金
型プレス面１４ｂには、ガラス材料２の離型性を高める
ために、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）を成膜した。

【０１１１】（実施の形態７）本実施形態の金型１Ｇを
図９に示す。図９（ａ）は、金型１Ｇの断面図であり、
図９（ｂ）はその底面図である。

【０１１２】金型１Ｇは、金型本体１７と金型台１８と
を有している。金型台１８は、金型本体１７の金型本体
裏面１７ａを受けた状態で、金型本体１７とプレスヘッ
ド４との間に設置されている。金型本体１７の大きさ
は、外径φ５０ｍｍ、厚み１５ｍｍであり、金型台１８
の大きさは、外径φ６０ｍｍ（内径５１ｍｍ）、厚み１
０ｍｍである。

【０１１３】金型本体１７と金型台１８とは、タングス
テンカーバイド（ＷＣ）を主成分とする超硬合金からな
る。タングステンカーバイドは、熱伝導性が良好（０．
１７cal/cm・sec・℃）で、成形時の高温プレス圧力によ
り変形不可能な硬度（具体的にはビッカース硬度Ｈｖ１
５００以上）を有している。

【０１１４】このように構成された金型１Ｇにおいて、
本実施形態は、金型台１８の下面１８ａに、請求項にお
ける介在体の一例を構成する介在膜１９を設けている。
介在膜１９は、耐酸化性に優れ、熱伝導性が良好（熱伝
導率０．５２cal/cm・sec・℃）で、成形時の高温プレス
圧力により変形可能な硬度（具体的には、ビッカース硬
度Ｈｖ９０）を有する合金膜から構成されている。詳細
にいえば、介在膜１９は、膜厚２．５μｍの金−白金
（Ａｕ−Ｐｔ）から構成されている。

【０１１５】また、この介在膜１９は、金型台１８の中
心部からその径方向外側にいくにつれて、組成がＡｕ８
０ｗｔ％：Ｐｔ２０ｗｔ％からＡｕ４０ｗｔ％：Ｐｔ６
０ｗｔ％まで連続的の組成が変化するという傾斜材料か
ら構成されている。

【０１１６】このような介在膜１９は、実施の形態３で
説明した介在膜８と同様の方法により作製できる。

【０１１７】本実施形態の金型１Ｇを使用して、図１お
よび図２に示すガラス成形品５の成形を実施したとこ
ろ、次のような結果が得られた。

【０１１８】従来の金型と同等である介在膜１９のない
状態の金型１Ｇ’を用いてガラス成形品５を作製する場
合には、実施の形態１で説明したのと同様の理由によ
り、プレスヘッド面４ａと金型裏面１ａとは均一に面接
触しない結果、加熱ヒータ３からの熱伝導が悪くなっ
て、プレス成形に２０ｍｉｎの時間を要していた。

【０１１９】これに対して、金型台裏面１８ａに金−白
金（Ａｕ−Ｐｔ）の傾斜材料からなる介在膜１９を有す
る金型１Ｇを用いた本実施形態のガラス成形品の製造方
法では、成形時のプレス圧力により、介在膜１９が僅か
に変形し、プレスヘッド面４ａと金型裏面１ｂとの間の
接触面積が増大する。その結果、加熱ヒータ３からの熱
伝導が改善され、成形時間が１２ｍｉｎに短縮された。

【０１２０】また、プレスヘッド面４ａと金型裏面１ａ
との間の接触部位の面積増大とその均等配置により、金
型１Ｇの均熱性が改善されるために、ガラス成形品５の
平坦度が従前の１０μｍから３μｍに改善された。

【０１２１】また、介在膜１９を上述したような傾斜材
料から構成することで、次のような効果がある。すなわ
ち、通常、この種の金型では、加熱プレス後の冷却課程
において、外周部が中心部より先に冷却される結果、金
型が不均熱な状態となってしまうのは避けられない。こ
れに対して、本実施形態の金型１Ｇでは、金型内周側よ
り外周側の方が熱伝導の悪い傾斜材料により介在膜１９
を構成することで、金型外周部の熱伝導を金型内周部よ
り意図的に悪くしてこの部分を冷却され難くしている。
これにより、加熱冷却時における金型１Ｇの均熱性が向
上し、その分、さらに、ガラス成形品５の平坦度や破損
発生頻度を改善している。上述した本実施形態の製法に
よるガラス成形品の平坦度のデータ（３μｍ）は、この
ような特性にも起因した値となっている。

【０１２２】また、銀−ニッケル（Ａｇ−Ｎｉ）は、耐
酸化性に優れているため、繰り返して実施されるプレス
工程を経ても、介在膜１９が酸化して加熱ヒータ３から
の熱伝導が変化することもなく非常に安定した成形が可
能となる。そのため、本実施形態の金型１Ｇを用いたガ
ラス成形品５の製造方法においては、繰り返しの平坦度
のばらつきは、±２μｍと安定したものとなる。

【０１２３】なお、本実施形態に使用したガラス成形用
金型１Ｇの金型プレス面１ｂには、ガラス材料２の離型
性を高めるために、窒化ホウ素（ＢＮ）を成膜した。

【０１２４】上述した実施の形態５〜７においては、金
型台１２、１５、１８の片面に介在膜１３、１６、１９
を設けていたが、金型台１２、１５、１８の両面に介在
膜を設けてもよいのはいうまでもない。

【０１２５】上述した各実施形態では、金型１Ａ〜１
Ｃ、および金型本体９、１１、１４、１７として、タン
グステンカーバイド（ＷＣ）を主成分とする超硬合金、
アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、シリコンカーバイド（Ｓｉ
Ｃ）、クロムカーバイド（Ｃｒ₃Ｃ₂）、窒化硼素（Ｂ
Ｎ）、銅（Ｃｕ）、タングステンカーバイド（ＷＣ）を
主成分とする超硬合金等を使用したが、その他の高温機
械強度に優れたタングステンカーバイド（ＷＣ）を主成
分とする超硬合金、あるいは、チタンナイトライド（Ｔ
ｉＮ）、チタンカーバイド（ＴｉＣ）、クロムカーバイ
ド（Ｃｒ₃Ｃ₂）、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）、シリコンカー
バイド（ＳｉＣ）、窒化硼素（ＢＮ）のいずれか、また
は、それらを主成分とするサーメット、または、ステン
レス、ニッケル（Ｎｉ）、ニッケル合金、モリブデン
（Ｍｏ）、モリブデン合金、コバルト（Ｃｏ）、コバル
ト合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合金、チタン（Ｔ
ｉ）、チタン合金、タングステン（Ｗ）、タングステン
合金のいずれかよりなるものを使用しても同様の効果が
得られる。

【０１２６】また、上述した各実施形態では、介在膜
６、７、８、１３、１６、１９として、金（Ａｕ）、白
金（Ｐｔ）や、金−クロム（Ａｕ−Ｃｒ）、銀−ニッケ
ル（Ａｇ−Ｎｉ）、金−銅（Ａｕ−Ｃｕ）、銅−ニッケ
ル（Ｃｕ−Ｎｉ）、金−白金（Ａｕ−Ｐｔ）を使用した
が、その他のアルミ（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、ニッケル
（Ｎｉ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、クロム（Ｃ
ｒ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、イリジ
ウム（Ｉｒ）、ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒ
ｈ）、パラジウム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）のいず
れかの金属、または、少なくとも１種類以上の金属より
成るものを使用しても同様の効果が得られる。また、さ
らに、それらは、ビッカース硬度がＨｖ５００以下であ
ることが望ましい。

【０１２７】また、金型台１０、１２、１５、１８とし
て、銀−銅（Ａｇ−Ｃｕ）、タングステンカーバイドを
主成分とする超硬合金等を使用したがこれに限ったもの
ではない。

【０１２８】また、介在膜６、７、８、１３、１６、１
９の形成方法として、スパッタ法、蒸着法を使用した
が、その他のＰＶＤ法、ＣＶＤ法、溶斜法等を使用して
も同様の効果が得られる。

【０１２９】また、金型プレス面１ｂには、白金（Ｐ
ｔ）、白金−タングステン（Ｐｔ−Ｗ）、白金−タンタ
ル（Ｐｔ−Ｔａ）、白金−イリジウム（Ｐｔ−Ｉｒ）、
シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、窒化硼素（ＢＮ）を形
成したが、その他の耐酸化性、高温機械強度に優れ、ガ
ラスに対して不活性な白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉ
ｒ）、ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、レニウ
ム（Ｒｅ）、パラジウム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏ
ｓ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のいずれ
かの金属、または、少なくとも１種類以上の金属を含む
合金であっても同様の効果が得られる。

【０１３０】尚、上述した各実施形態では、ガラス材料
２として、アルミのシリケートガラスを使用したが、そ
の他のガラス材であっても同様の効果が得られる。ま
た、金型１Ａ〜１Ｇ（金型本体９、１１、１４、１７、
金型台１０、１２、１５、１８を含む）の加工方法も各
実施形態の記載した方法に限ったものでない。

【０１３１】また、本発明の金型は、磁気ディスク装置
に用いる平面ガラス基板等のガラス成形品の成形に限っ
たことでなく、一般のガラス成形、特に、板厚に対して
直径が比較的大きい、例えば、マイクロレンズアレイ等
の構造体に対するガラスプレス成形に対して効果があ
る。

【０１３２】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、金型の熱
伝導性の向上と、ガラス基板の平坦度の制御とが可能
で、安価なガラス材を使用することにより、高品質、高
精度なガラス基板を安価にかつ大量に提供することがで
きるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】ガラス基板のプレス成形機および成形方法を示
す概略図（成形前）

【図２】ガラス基板のプレス成形機および成形方法を示
す概略図（成形後）

【図３】本発明の実施の形態１における金型の概略図。

【図４】本発明の実施の形態２における金型の概略図。

【図５】本発明の実施の形態３でおける金型の概略図。

【図６】本発明の実施の形態４における金型の概略図。

【図７】本発明の実施の形態５における金型の概略図。

【図８】本発明の実施の形態６における金型の概略図。

【図９】本発明の実施の形態７における金型の概略図。

【符号の説明】

１ 金型 １a 金型裏面 １b
プレス面 ２ ガラス材料 ３ 加熱ヒータ ４
プレスヘッド ４ａ プレスヘッド面 １Ａ 金型 ５
ガラス成形品 ６ 介在膜 １Ｂ 金型 ７
介在膜 ７ａ 金属膜 ７ｂ 合金膜 １Ｃ
金型 ８ 介在膜 １Ｄ 金型 ９
金型本体 ９ｂ プレス面 ９ａ 金型本体裏面 １０
金型台 １Ｅ 金型 １１ 金型本体 １２
金型台 １２ａ 金型台上面 １３ 介在膜 １３ａ
金属膜 １３ｂ 合金膜 １Ｆ 金型 １４
金型本体 １４ａ 金型本体裏面 １５ 金型台 １５ａ
下面 １６ 介在膜 １Ｇ 金型 １７
金型本体 １８ 金型台 １８ａ 金型台下面 １９
介在膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 健太 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 鬼塚 剛 神奈川県川崎市川崎区田辺新田１番１号 富士電機株式会社内 (72)発明者 酒井 泰志 神奈川県川崎市川崎区田辺新田１番１号 富士電機株式会社内 Ｆターム(参考） 4G015 HA01 5D112 AA02 AA24 BA03 BA10

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガラスを加熱プレス成形する際に使用す
   る金型であって、 当該金型を加熱する加熱手段と当該金型との間に、ガラ
   ス成形時の高温プレス圧力により変形可能な介在体を設
   けた、 ことを特徴とするガラスプレス成形用金型。
2. 【請求項２】 請求項１記載のガラスプレス成形用金型
   において、 前記介在体を、前記金型の加熱手段当接面に設ける膜体
   から構成する、ことを特徴とするガラスプレス成形用金
   型。
3. 【請求項３】 請求項１に記載のガラスプレス成形用金
   型において、 前記介在体を、当該金型に取り付ける金型台から構成す
   る、 ことを特徴とするガラスプレス成形用金型。
4. 【請求項４】 請求項１に記載のガラスプレス成形用金
   型において、 当該金型を、金型本体と金型本体に取り付けられて前記
   金型加熱手段の間に介装される金型台とから構成し、 前記介在体を、前記金型台と前記金型加熱手段との間に
   介在させる、 ことを特徴とするガラスプレス成形用金型。
5. 【請求項５】 請求項４記載のガラスプレス成形用金型
   において、 前記介在体を、前記金型台の加熱手段当接面に設ける膜
   体から構成する、ことを特徴とするガラスプレス成形用
   金型。
6. 【請求項６】 請求項１に記載のガラスプレス成形用金
   型において、 当該金型を、金型本体と、金型本体の加熱手段当接面に
   設けられた金型台とから構成し、 前記介在体を、前記金型と前記金型台との間に介在させ
   る、 ことを特徴とするガラスプレス成形用金型。
7. 【請求項７】 請求項１ないし６のいずれかに記載のガ
   ラスプレス成形用金型において、 前記介在体のビッカース硬度はＨｖ５００以下である、 ことを特徴とするガラス成形用金型。
8. 【請求項８】 請求項１ないし７のいずれかに記載のガ
   ラスプレス成形用の金型において、 前記介在体を、熱伝導性が良好な材料から構成する、こ
   とを特徴とするガラスプレス成形用金型。
9. 【請求項９】 請求項１ないし８のいずれかに記載のガ
   ラスプレス成形用金型において、 前記介在体を、金型の径方向に沿って外側にいく程、熱
   伝導度が低くなるように構成する、 ことを特徴とするガラスプレス成形用金型。
10. 【請求項１０】 請求項９に記載のガラスプレス成形用
    金型において、 前記介在体を、金型の径方向に沿って外側にいく程、熱
    伝導度が低い複数の同軸環状体から構成する、 ことを特徴とするガラスプレス成形用金型。
11. 【請求項１１】 請求項９に記載のガラスプレス成形用
    金型において、 前記介在体を、金型の径方向に沿って外側にいく程、熱
    伝導度が低い傾斜材料から構成する、 ことを特徴とするガラスプレス成形用金型。
12. 【請求項１２】 請求項１ないし１１のいずれかに記載
    のガラスプレス成形用金型において、 前記介在体を、耐酸化性に優れた材料から構成する、 ことを特徴とするガラスプレス成形用金型。
13. 【請求項１３】 請求項１ないし１２のいずれかに記載
    のガラスプレス成形用金型において、 当該金型のプレス面が平面である、ことを特徴とするガ
    ラスプレス成形用金型。
14. 【請求項１４】 請求項１ないし１３のいずれかに記載
    のガラスプレス成形用金型において、 当該金型が、高温機械強度に優れたタングステンカーバ
    イド（ＷＣ）を主成分とする超硬合金、あるいは、チタ
    ンナイトライド（ＴｉＮ）、チタンカーバイド（Ｔｉ
    Ｃ）、クロムカーバイド（Ｃｒ₃Ｃ₂）、アルミナ（Ａｌ
    ₂Ｏ₃）、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、窒化硼素（Ｂ
    Ｎ）のいずれか、または、それらを主成分とするサーメ
    ット、または、ステンレス、ニッケル（Ｎｉ）、ニッケ
    ル合金、モリブデン（Ｍｏ）、モリブデン合金、コバル
    ト（Ｃｏ）、コバルト合金、クロム（Ｃｒ）、クロム合
    金、チタン（Ｔｉ）、チタン合金、タングステン
    （Ｗ）、タングステン合金のいずれかよりなる、 ことを特徴とするガラスプレス成形用金型。
15. 【請求項１５】 請求項１ないし１４のいずれかに記載
    のガラスプレス成形用金型において、 前記介在体が、アルミ（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、ニッケル
    （Ｎｉ）、鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、クロム（Ｃ
    ｒ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、イリジ
    ウム（Ｉｒ）、ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒ
    ｈ）、パラジウム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏｓ）のいず
    れかの金属、または、少なくとも１種類以上の前記金属
    を含む合金をである、 ことを特徴とするガラスプレス成形用金型。
16. 【請求項１６】 請求項１ないし１５のいずれかに記載
    のガラスプレス成形用金型において、 当該金型のプレス面に、耐酸化性、高温機械強度に優
    れ、ガラスに対して不活性な白金（Ｐｔ）、イリジウム
    （Ｉｒ）、ルテニウム（Ｒｕ）、ロジウム（Ｒｈ）、レ
    ニウム（Ｒｅ）、パラジウム（Ｐｄ）、オスミウム（Ｏ
    ｓ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のいずれ
    かの金属、または、少なくとも１種類以上の前記金属を
    含む合金層を設ける、 ことを特徴とするガラスプレス成形用金型。
17. 【請求項１７】 プレス成形用の金型として、請求項１
    ないし１６のいずれかに記載のガラスプレス成形用金型
    を用いる、 ことを特徴とするガラスプレス成形体の製造方法。