JP2002214205A - 超音波探傷装置 - Google Patents

超音波探傷装置

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JP2002214205A JP2001005359A JP2001005359A JP2002214205A JP 2002214205 A JP2002214205 A JP 2002214205A JP 2001005359 A JP2001005359 A JP 2001005359A JP 2001005359 A JP2001005359 A JP 2001005359A JP 2002214205 A JP2002214205 A JP 2002214205A
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    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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    • G01N2291/04Wave modes and trajectories
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 鋼の周壁の腐食などによって被検査物1の厚
みが不均一に変化した表面3付近における亀裂などの欠
陥4を、外方の表面2から超音波探傷する。 【解決手段】 複数の振動子13を一配列方向14に隣
接して探触子5を構成し、この探触子5を被検査物1で
ある被検査物1の表面3付近の被検査位置18の直上に
配置し、探触子5に駆動信号Pを与えて被検査位置18
における周壁の厚みD1を検出する。次に探触子5を振
動子の配列方向14にずらし、探触子5に駆動信号Pを
与えて超音波ビーム21を前記被検査位置18に集束さ
せる。これによって被検査位置18における欠陥4を正
確に検出することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属製被検査物の
一方表面から超音波を発信して他方表面側に存在する亀
裂などの欠陥を、超音波探傷するための超音波探傷装置
に関する。
【0002】
【従来の技術】たとえば鋼などの金属製被検査物では、
一方表面に比べ他方表面において供用中に板厚である厚
みが徐々に腐食などによって減肉が不均一に発生するこ
とがある。このような腐食を生じた他方表面付近に生じ
ている亀裂を、正確に検出するための先行技術は存在し
ない。特開平11−248690は、複数の振動子を、
位相制御方式で電子走査する超音波探傷装置を開示する
けれども、この先行技術では、腐食を生じた不均一な厚
みを有する前記他方表面の付近に存在する欠陥を正確に
検出するための工夫は、存在しない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、被検
査物の一方表面から、他方表面付近に存在する亀裂など
の欠陥を、その厚みが不均一であっても、正確に検出す
ることができるようにした超音波探傷装置を提供するこ
とである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、複数の振動子
を予め定める配列方向に隣接して配置して構成される探
触子と、探触子からの超音波ビームを、被検査物の一方
表面から、被検査物の他方表面付近で、探触子の直下の
被検査位置と、その被検査位置から前記配列方向にずれ
た前記一方表面の位置から前記被検査位置とに、集束さ
せるように、各振動子に、位相が異なる駆動信号を、与
える駆動手段と、各振動子に接続され、超音波を送信し
た後、被検査物の欠陥による反射波を受信する受信手段
とを含むことを特徴とする超音波探傷装置である。
【0005】また本発明は、探触子は、仮想平面内に配
置されることを特徴とする。本発明に従えば、図1〜図
7、ならびに図8および図9に関連して後述されるよう
に、フェイズドアレイ探触子では、複数の振動子が予め
定める配列方向14に隣接して配置され、各振動子が、
駆動手段からの位相が異なる駆動信号、たとえばパルス
によって駆動される。各振動子に駆動信号を与え、探触
子からの超音波ビームを鋼などから成る金属製周壁など
の被検査物の外方の一方表面2から送信し、その探触子
の直下の他方表面3付近における被検査位置で集束さ
せ、垂直探傷を行う。この集束のために、振動子には、
位相の異なる駆動信号が前述のように与えられる。これ
によって被検査物の探触子が前記一方表面で配置された
位置の厚みを検出することができる。
【0006】次に前記一方表面上で探触子を、前記配列
方向にずらして移動し、そのずれた位置で、振動子に位
相が異なる駆動信号を与えて前記被検査位置に超音波ビ
ームが集束するように駆動して、斜角探傷する。これに
よって前記被検査位置付近に存在する亀裂などの欠陥
を、前記ずれた位置で、正確に検出することができる。
たとえば欠陥の前記他方表面から前記一方表面に向って
延びる欠陥の長さ、大きさ、位置などを正確に検出する
ことができる。
【0007】探触子を構成する複数の各振動子には、前
述のようにパルスなどの駆動信号が与えられて超音波が
送信され、またその送信された超音波が欠陥によって反
射され、この反射波が、各振動子によって受信される。
受信手段では、この各振動子毎の駆動信号の発生から反
射波の受信までの時間に対応したこれらの欠陥の位置を
検出することができる。
【0008】探触子の振動子は、図4、図5、図7に示
されるように、仮想一平面内に配置されるように構成さ
れてもよい。
【0009】また本発明は、探触子は、一対設けられ、
各探触子は、配列方向に垂直に細長く延び、配列方向に
垂直な面内で、相互に近接するにつれて被検査物の一方
表面から離間するように、山形に傾斜して配置され、駆
動手段は、各探触子からの超音波ビームを、前記被検査
位置に、集束させるように、駆動信号を与えることを特
徴とする。
【0010】本発明に従えば、図8および図9に示され
るように、一対の各探触子25,26は、山形に形成さ
れる。各探触子毎の各振動子27,28に駆動手段から
位相の異なる駆動信号を与えることによって、各接触子
からの超音波ビーム31,32を、前記配列方向(図9
の紙面に垂直な方向)に集束させることができる。
【0011】さらに各探触子は前述のように山形に傾斜
しているので、各探触子からの放射ビーム31,32は
前記配列方向14に垂直な方向(図9の左右方向)の相
互の近接方向に集束させることができる。こうして一対
の探触子を構成する全ての振動子からの超音波を、被検
査物の前記他方表面の付近の1点の被検査位置18に集
束させることができ、前述の垂直探傷および斜角探傷を
行うことができる。これによって被検査物の厚みの検出
と、被検査位置における欠陥の検出とをさらに正確に行
うことができるようになる。
【0012】本発明は、複数の第1振動子を予め定める
配列方向に隣接して配置して構成される第1探触子と、
第1探触子からの超音波ビームを、被検査物の一方表面
から、被検査物の他方表面付近で、第1探触子から前記
配列方向にずれた被検査位置に、集束させるように、各
第1振動子に、位相が異なる駆動信号を、与える駆動手
段と、複数の第2振動子を前記配列方向に隣接して配置
して構成され、前記一方表面上で前記配列方向に間隔を
あけて設けられる第2探触子と、各第2振動子に接続さ
れ、第1探触子から超音波を送信した後、被検査物の欠
陥による回折波を受信する受信手段とを含むことを特徴
とする超音波探傷装置である。
【0013】本発明に従えば、図10に示されるように
第1および第2探触子36,37を、被検査物の前記他
方表面付近の被検査位置42に関して配列方向14の左
右にそれぞれ配置し、第1探触子36の複数の各第1振
動子38を、駆動手段からのパルスなどの駆動信号によ
って駆動し、超音波ビーム41を被検査位置42付近に
集束して送信する。これによって第2探触子37の複数
の第2振動子39では、被検査位置42における亀裂な
どの欠陥43の上下端部による回折波を受信し、欠陥4
3の探傷を行うことができる。第1および第2探触子3
6,37は、同一構成を有し、これらの第1および第2
探触子は、前述の探触子と同様な構成を有している。
【0014】第1探触子36に前述と同様にして駆動信
号を与えて被検査物の厚みを検出し、またその被検査位
置における欠陥の探傷のために、被検査位置の両側(図
11の左右方向)に、たとえば等間隔をあけて第1およ
び第2探触子36,37を配置し、欠陥の探傷を行う。
このような被検査位置に関して左右に第1および第2探
触子を配置して探傷を行う方法は、TOFD(Time of
Flight Diffraction)方法と呼ぶことができる。
【0015】また本発明は、駆動手段による駆動信号の
レベル、または受信手段の受信感度のいずれかを調整可
能にすることを特徴とする。
【0016】本発明に従えば、垂直探傷による板厚計測
を行う際に、被検査物の他方表面からの反射波の強度を
検出することによって、被検査物の前記一方表面2およ
び他方表面3の表面粗さ、塗膜の厚みおよび塗膜の剥離
などによる受信強度の変化を検出し、感度の低下量を求
めることができる。こうして次の斜角探傷を実施する
際、感度補正すべき量を求めることができる。したがっ
て垂直探傷で板厚計測する際、前記他方表面からの反射
エコー高さ、すなわち反射波の強度を計測することによ
って、前記他方表面付近における超音波の伝達損失量を
上述のように求め、したがって斜角探傷で欠陥を探傷す
る際における感度補正量を求めることができる。こうし
て適切な探傷感度で探傷を行うことができる。伝達損失
量というのは、被検査物の表面における超音波の伝達損
失の原因となる前述の表面粗さ、塗膜の厚み、塗膜の剥
離などによって変化する。
【0017】本発明に従えば、受信手段の受信感度を調
整可能に構成してもよいが、あるいはまた駆動手段によ
って発生される駆動信号の強度すなわちレベルを調整可
能にしてもよい。
【0018】本発明は、請求項1〜5のうちの1つの超
音波探傷装置によって、被検査物の一方表面から厚みを
検出し、その検出結果に基づいて、被検査物の他方表面
付近の探傷を行うことを特徴とする超音波探傷方法であ
る。
【0019】本発明に従えば、被検査物の一方表面から
前述のように被検査位置の直上における厚みを垂直探傷
で検出し、振動子の配列方向にずれた前記一方表面上の
位置から、超音波ビームを被検査位置に送信し、被検査
物の他方表面付近の斜角探傷を、行うことができる。し
たがって被検査物の厚みが不均一であっても、被検査位
置に関して、探傷を正確に行うことができるようにな
る。
【0020】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施の一形態の
全体の電気的構成を示すブロック図である。被検査物1
は、たとえば鋼などの金属材料から成る周壁であっても
よく、その外方の外周面である一方表面2から、内周面
である他方表面3に形成された亀裂などの欠陥4を、探
傷ヘッドのフェイズドアレイ探触子5を用いて探傷を行
い非破壊検査を行う。
【0021】図2は、被検査物1の一方表面2から探傷
を行っている状態を示す斜視図である。探傷ヘッド6、
したがって探触子5は、スキャナ7によって、xz平面
内で変位して、被検査位置を走査することができる。図
2においてxyz直交座標系において、y軸は、被検査
物1の厚み方向である。このスキャナ7は、可撓線8を
介してスキャナ制御装置9に接続され、被検査物1の一
方表面2上で走査制御される。探触子5もまた可撓線8
を介して、探傷制御装置11に接続される。
【0022】図3は、本発明の実施の一形態における被
検査物1の前記他方表面3付近の欠陥4を超音波探傷す
る動作を説明するためのフローチャートである。被検査
物1の表面3付近の欠陥4を超音波探傷するにあたり、
ステップa1からステップa2に移り、探触子5を用い
て被検査物1の板厚を計測する。
【0023】図4は、探触子5を用いて被検査物1の板
厚を計測する動作を説明するための簡略化した斜視図で
ある。探触子5は、複数の振動子13がx方向である予
め定める配列方向14に隣接して配置して構成される。
各振動子13は、同一構成を有し、圧電素子が短冊状に
細長い直方体状に形成され、図4の上下に電極が設けら
れる。各振動子13の延びる長手方向は、配列方向14
に垂直な平面に平行であり、z方向である。探触子13
は、xz平面に平行な一仮想平面内に配置される。
【0024】各振動子13には、矢符15で示されるよ
うに位相が異なるたとえばパルス状の位相が異なる駆動
信号を与えることによって、各振動子13から送信され
る超音波の合成されたビーム16は、z軸方向に延びる
直線状の集束部17を有する三角柱状に形成される。各
駆動信号15の位相を調整することによって、超音波ビ
ーム16の集束部17を、探触子5の直下で、被検査物
1の表面3付近に位置させることができ、垂直探傷を行
う。これによって超音波ビーム16の送信による表面
2,3および欠陥4による反射波は、各振動子13によ
って受信される。各振動子13の駆動信号の発生および
反射波の受信の各時間差によって、被検査物1の厚みD
1を計測することができる。
【0025】図5は、探触子5を用いた被検査物1の斜
角探傷の動作を説明するための簡略化した斜視図であ
る。図3のステップa2において被検査物1の厚みD1
を計測した後、ステップa3では、スキャナ制御装置9
の働きによってスキャナ7は、探触子5を、配列方向1
4であるx軸方向またはz軸方向に距離L1だけ移動し
てずらす。
【0026】ステップa4では、探触子5の振動子13
に、矢符19で示される位相が異なる、たとえばパルス
である駆動信号を与えて、超音波ビーム21を、振動子
13の長手方向に平行な集束部22に集束させ、斜角探
傷を行う。この集束部22は、前述の図4における集束
部17と同一の被検査物1における被検査位置18であ
る。
【0027】こうして探触子5の図4に示される直下の
被検査位置18に、図3のステップa2で超音波ビーム
を集束させ、この垂直探傷によって厚みD1を計測し、
配列方向14に距離L1だけずらした後に、ステップa
4では同一の被検査位置18に、超音波ビーム21を集
束させて斜角探傷を行う。これによって被検査位置18
付近における超音波探傷を実施する。
【0028】図6は、被検査物1の表面2から探触子5
を配置し、被検査位置18における探傷を行う動作を説
明するための簡略化した断面図である。被検査物1は、
鋼からなる周壁であってもよく、内表面3の金属の腐食
によって外表面2との間の厚みが不均一である。図6に
おいて探触子5によって、先ず、その直下の被検査位置
18における厚みD1を検出する。次に、予め定める距
離L1だけ配列方向14に移動し、参照符5aで示され
るように探触子5を移動し、駆動信号19の位相を調整
することによって、被検査位置18に、超音波ビーム2
1を照射させることができる。このようにして表面3か
ら図6の上方に延びる亀裂などの欠陥4を、参照符5a
で示される位置にもたらされた探触子5を用いて正確に
検出して探傷を実施することができる。
【0029】図7は、探触子5を構成する振動子13に
与えられる駆動信号の位相を説明するための図である。
各振動子13を、参照符n,kなどを用いて表すことが
あり、さらにこのn,kを用いて個数などの値を表すこ
ともある。
【0030】探触子5は、振動子13が、n−kからn
+kまでの合計2k+1個で、構成されている。配列方
向14の中心の振動子13をnとする。屈折角をθ、音
速をvとする。狙い位置を被検査位置18とする。その
とき中心の振動子nに対する屈折角は、θnとなる。こ
のとき、n−kからn+kの各振動子13に対する屈折
角をθn−kからθn+kとする。
【0031】各振動子から位置18までの距離をW(n
−k)〜W(n+k)とすると、
【数1】 となる。
【0032】次に、各振動子からPまでの所要時間t
(n−k)〜t(n+k)を求めると、
【数2】 となる。
【0033】これより、同一時刻に各振動子13から送
信された超音波が位置18に到着するためには、中央の
振動子nから送信された超音波の位置18までの所要時
間tnと各振動子13から送信された超音波の位置18
までの所要時間の差を考慮して各振動子13の送信を開
始すればよい。すなわち、振動子(n−1)は、ΔW
(n−1)=t(n−1)−tn分だけ遅く振動を開始
すればよく、振動子(n+k)はΔW(n+k)=t
(n+k)−tn分だけ早く振動を開始する。
【0034】図8は本発明の実施の他の形態の探傷ヘッ
ド24の斜視図であり、図9は図8に示される探傷ヘッ
ド24の正面図である。この実施の形態は、前述の実施
の形態に類似し、対応する部分には同一の参照符を付
す。一対の探触子25,26は、複数の振動子27,2
8がx軸に一致した配列方向14に隣接して配置して構
成される。各探触子25,26は、配列方向14の垂直
な面(図9の紙面)内で、相互に近接するにつれて被検
査物1の一方表面2から離間するように、すなわち図8
および図9の上方に、山形に傾斜して配置される。これ
らの探触子25,26間には、ゴムなどの材料から成る
超音波遮蔽部材29が配置される。各探触子25,26
の振動子27,28には、全ての探触子25,26から
の超音波ビームを、被検査位置18に、集束させるよう
に、駆動信号が与えられる。こうして探触子25,26
の超音波ビーム31,32は、三角柱状であって、配列
方向14に垂直な平面内で二等辺三角形状の断面を有す
る。図8および図9に示される探傷ヘッド24によっ
て、前述の実施の形態と同様に垂直探傷および斜角探傷
が、点状の被検査位置18に関して行われる。
【0035】被検査物1の板厚判別のために、板厚判別
回路61は、制御信号62を出力して送信遅延回路63
は、パルス発生器64を動作させ、前述のパルス状駆動
信号Pを前述のように位相をずらして順次的に発生し、
探触子5の個別的な振動子13にそれぞれ与える。探触
子2の振動子13による受信信号Q,R,Sは、受信回
路65に与えられ、これによって板厚判別回路61、も
う1つの制御信号66との時間差が演算される。受信回
路65の出力は、信号増幅器67が与えられて、一定の
予め定める増幅率で増幅される。こうして得られた信号
は、感度補正回路68に与えられてレベルが調整され
る。感度補正回路68は、たとえば減衰回路などによっ
て実現されてもよい。これによって被検査物1の表面
2,3における表面粗さ、これら各表面2,3に付着さ
れた塗膜の厚さ、塗膜剥離などによる超音波の伝達損失
量が異なっていても、斜角探傷で欠陥を探傷する際の感
度補正量を求めることができ、適切な探傷感度での探傷
が可能となる。このような感度補正量は、垂直探傷で、
板厚を計測する際に、表面3からの反射エコー高さを計
測することによって求めることができる。信号増幅器6
7の増幅率を調整する代りに、パルス発生器64によっ
て発生される駆動信号Pのレベル、すなわち信号強度
を、前述の感度補正量に対応して調整するようにしても
よい。このような感度補正量の調整によって、被検査物
1の厚みD1方向に対応する欠陥の検出を正確に行うこ
とが容易に可能になる。こうして表示装置69では、探
傷の検査結果が2次元表示画面に表示される。表示装置
69は、たとえば液晶パネルまたは陰極線管などによっ
て実現される。
【0036】図10は、本発明の実施の他の形態の簡略
化した断面図である。対を成す第1探傷ヘッド34およ
び第2探傷ヘッド35の第1探触子36および第2探触
子37は、同一構成を有し、複数の第1振動子38と第
2振動子39とを有する。各探触子36,37の構成
は、前述の探触子5と同様である。第1探触子36は、
複数の第1振動子38が配列方向14に隣接して載置し
て構成される。また同様に第2探触子37は、複数の第
2振動子39が配列方向14に隣接して配置して構成さ
れ、被検査物1の表面2上で配列方向14に間隔をあけ
て設けられる。第1探触子36の各第1振動子38に、
駆動信号を前述と同様にして与えることによって、超音
波ビーム41を送信し、集束して斜角探傷を行う。超音
波ビーム41は、鈍角三角柱状であり、表面3の被検査
位置42に集束されて放射される。この被検査位置42
付近における欠陥43による回折波は、超音波ビーム4
4で示されるようにして、第2探触子37の各振動子3
9によって受信される。こうしてTOFD法によって欠
陥43の回折波を観察し、欠陥43の超音波探傷を実施
することができる。被検査位置42は、被検査物1の表
面3付近に存在する。被検査物1の厚みD1を検出する
には、探触子36を用いて前述と同様に垂直探傷を、被
検査位置42の直上で行えばよく、この垂直探傷後、前
述のTOFD法によって斜角探傷による回折波の観察を
行う。
【0037】図11は、図10に示される超音波探傷装
置の動作を説明するための波形図である。第1探触子3
6の一つの振動子38には、図11(1)に示されるパ
ルス状駆動信号が与えられる。残余の振動子38には、
これらの駆動信号の位相が変化されて与えられ、前述の
斜角探傷が行われる。第2探触子37における図11
(1)の駆動信号P1が与えられる振動子38に対応す
る1つの振動子39には、図11(2)に示される回折
波が得られる。受信信号Q1,R1は、被検査物1の各
表面2,3にそれぞれ対応する。被検査位置42におけ
る欠陥43による回折波は、受信信号S1として第2探
触子37で得られる。こうして受信信号Q1,R1と回
折による受信信号S1との時間差に対応する欠陥43の
位置を超音波探傷によって得ることができる。
【0038】図12は、本発明の実施の他の形態の一部
の斜視図である。被検査物1の厚みD1を計測するにあ
たり、前述の実施の形態では、たとえば図4に示される
ように三角柱状の集束された超音波ビーム16が用いら
れたけれども、本発明の図12に示される実施の形態で
は、探触子5の複数の各振動子13には、同一位相のパ
ルス状駆動信号48が与えられ、これによって超音波ビ
ーム49が被検査物1の表面2に垂直に、すなわちxz
平面に垂直に、送信される。被検査物1の表面3による
反射波を、振動子13で受信して検出することによっ
て、探触子5が配置された直下付近の被検査物1の厚み
D1を計測することができる。
【0039】図13は、本発明の実施のさらに他の形態
の超音波探傷装置の全体の構成を示す斜視図である。こ
の実施の形態は前述の実施の形態に類似するけれども、
特にこの実施の形態では、探触子5は、左右一対の無端
状履帯51を備える自走可能な駆動源を備えた移動体5
2に取付けられる。この移動体52は、たとえば無線な
どで遠隔操作されて、被検査物1の表面2上で希望する
位置に移動することができる。そのほかの構成は、前述
の実施の形態と同様である。
【0040】
【発明の効果】本発明によれば、被検査物の厚みが不均
一であっても、その一方表面から探触子によって厚みを
垂直探傷によって検出し、次に斜角探傷によって、被検
査位置における欠陥の探傷を正確に行うことができるよ
うになる。こうして欠陥の発生位置である被検査位置
に、斜角探傷の超音波ビームが到達するようにした探傷
を行うことができるようになる。これによって被検査物
の他方表面付近に存在する欠陥、特に微小欠陥の検出性
能を向上することができるとともに、欠陥寸法の計測精
度の向上を図ることができる。
【0041】また本発明によれば、垂直探傷によって板
厚を計測する際、超音波の伝達損失量を求め、斜角探傷
で欠陥を探傷する際の感度補正量を求めることが可能と
なる。これによって反射波または回折波の増幅率または
減衰率などの補正を適切に行うことができ、あるいはま
た駆動信号のレベルを適切に補正することができる。こ
うして適切な探傷感度での探傷が可能であるので、超音
波の伝達損失による感度低下に起因した欠陥の見逃しが
なくなり、あるいはその逆に、欠陥を過大評価すること
もなく、適切な欠陥の検出評価が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の一形態の全体の電気的構成を示
すブロック図である。
【図2】被検査物1の一方表面2から探傷を行っている
状態を示す斜視図である。
【図3】本発明の実施の一形態における被検査物1の前
記他方表面3付近の欠陥4を超音波探傷する動作を説明
するためのフローチャートである。
【図4】探触子5を用いて被検査物1の板厚を計測する
垂直探傷の動作を説明するための簡略化した斜視図であ
る。
【図5】探触子5を用いた被検査物1の斜角探傷の動作
を説明するための簡略化した斜視図である。
【図6】被検査物1の表面2から探触子5を配置し、被
検査位置18における探傷を行う動作を説明するための
簡略化した断面図である。
【図7】探触子5を構成する振動子13に与えられる駆
動信号の位相を説明するための図である。
【図8】本発明の実施の他の形態の探傷ヘッド24の斜
視図である。
【図9】図8に示される探傷ヘッド24の正面図であ
る。
【図10】本発明の実施の他の形態の簡略化した断面図
である。
【図11】図10に示される超音波探傷装置の動作を説
明するための波形図である。
【図12】本発明の実施の他の形態の一部の斜視図であ
る。
【図13】本発明の実施のさらに他の形態の超音波探傷
装置の全体の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 被検査物 2 一方表面 3 他方表面 4 欠陥 5,25,26 フェイズドアレイ探触子 7 スキャナ 13,27,28 振動子 14 配列方向 16,21,31,32,41,44,49 超音波ビ
ーム 18 被検査位置 36 第1フェイズドアレイ探触子 37 第2フェイズドアレイ探触子 38 第1振動子 39 第2振動子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G047 AA07 AB04 BA02 BB02 BB04 BC08 DB02 EA10 GB02 GB16 GB29 GF06 GJ12

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の振動子を予め定める配列方向に隣
    接して配置して構成される探触子と、 探触子からの超音波ビームを、被検査物の一方表面か
    ら、被検査物の他方表面付近で、探触子の直下の被検査
    位置と、その被検査位置から前記配列方向にずれた前記
    一方表面の位置から前記被検査位置とに、集束させるよ
    うに、各振動子に、位相が異なる駆動信号を、与える駆
    動手段と、 各振動子に接続され、超音波を送信した後、被検査物の
    欠陥による反射波を受信する受信手段とを含むことを特
    徴とする超音波探傷装置。
  2. 【請求項2】 探触子は、仮想平面内に配置されること
    を特徴とする請求項1記載の超音波探傷装置。
  3. 【請求項3】 探触子は、一対設けられ、 各探触子は、配列方向に垂直に細長く延び、配列方向に
    垂直な面内で、相互に近接するにつれて被検査物の一方
    表面から離間するように、山形に傾斜して配置され、 駆動手段は、各探触子からの超音波ビームを、前記被検
    査位置に、集束させるように、駆動信号を与えることを
    特徴とする請求項1記載の超音波探傷装置。
  4. 【請求項4】 複数の第1振動子を予め定める配列方向
    に隣接して配置して構成される第1探触子と、 第1探触子からの超音波ビームを、被検査物の一方表面
    から、被検査物の他方表面付近で、第1探触子から前記
    配列方向にずれた被検査位置に、集束させるように、各
    第1振動子に、位相が異なる駆動信号を、与える駆動手
    段と、 複数の第2振動子を前記配列方向に隣接して配置して構
    成され、前記一方表面上で前記配列方向に間隔をあけて
    設けられる第2探触子と、 各第2振動子に接続され、第1探触子から超音波を送信
    した後、被検査物の欠陥による回折波を受信する受信手
    段とを含むことを特徴とする超音波探傷装置。
  5. 【請求項5】 駆動手段による駆動信号のレベル、また
    は受信手段の受信感度のいずれかを調整可能にすること
    を特徴とする請求項1〜4のうちの1つに記載の超音波
    探傷装置。
  6. 【請求項6】 請求項1〜5のうちの1つの超音波探傷
    装置によって、被検査物の一方表面から厚みを検出し、 その検出結果に基づいて、被検査物の他方表面付近の探
    傷を行うことを特徴とする超音波探傷方法。
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