JP2002213936A - 材料厚さの非接触測定方法及び装置 - Google Patents
材料厚さの非接触測定方法及び装置Info
- Publication number
- JP2002213936A JP2002213936A JP2001340664A JP2001340664A JP2002213936A JP 2002213936 A JP2002213936 A JP 2002213936A JP 2001340664 A JP2001340664 A JP 2001340664A JP 2001340664 A JP2001340664 A JP 2001340664A JP 2002213936 A JP2002213936 A JP 2002213936A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- wave
- measured
- laser
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被測定材料が高温の場合や、測定環境の振
動、材料移動等がある場合においても、材料の厚さを、
簡単な装置構成で、非接触且つ高精度で測定する。 【解決手段】 超音波発生用レーザー２０の照射位置と
光学的超音波検出装置３０による検出位置の距離ｄを、
表面波２６の伝搬時間に基づいて実測し、この値と縦波
あるいは横波の伝搬時間を用いて材料１０の厚さＤを算
出する。
動、材料移動等がある場合においても、材料の厚さを、
簡単な装置構成で、非接触且つ高精度で測定する。 【解決手段】 超音波発生用レーザー２０の照射位置と
光学的超音波検出装置３０による検出位置の距離ｄを、
表面波２６の伝搬時間に基づいて実測し、この値と縦波
あるいは横波の伝搬時間を用いて材料１０の厚さＤを算
出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、材料厚さの非接触
測定方法及び装置に係り、特に、ラインで高速移動中の
鋼板や鋼管の厚さを非接触で測定する際に用いるのに好
適な、材料厚さの非接触測定方法及び装置に関する。
測定方法及び装置に係り、特に、ラインで高速移動中の
鋼板や鋼管の厚さを非接触で測定する際に用いるのに好
適な、材料厚さの非接触測定方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】板状あるいはパイプ状などの材料の厚さ
測定方法として、被測定物の厚さ方向に超音波を伝搬さ
せ、その伝搬時間と被測定物中の超音波音速から被測定
物の厚さを測定する方法がよく知られており、この方法
を用いた厚さ測定装置も多数市販されている。
測定方法として、被測定物の厚さ方向に超音波を伝搬さ
せ、その伝搬時間と被測定物中の超音波音速から被測定
物の厚さを測定する方法がよく知られており、この方法
を用いた厚さ測定装置も多数市販されている。
【０００３】図１は、この従来法の測定装置の概要を示
したものである。圧電振動子等で構成される超音波探触
子１４を、被測定物１０の表面に機械油等を媒体として
接触させ、超音波送受信器１２により超音波探触子１４
を駆動して、被測定物１０の内部に超音波１６を発生す
る。本方法では通常、被測定物表面に垂直な方向に伝搬
する超音波の縦波を利用する。被測定物の底面で反射し
た超音波を、超音波発生に用いたのと同じ超音波探触子
１４を介して、超音波送受信器１２で受信する。
したものである。圧電振動子等で構成される超音波探触
子１４を、被測定物１０の表面に機械油等を媒体として
接触させ、超音波送受信器１２により超音波探触子１４
を駆動して、被測定物１０の内部に超音波１６を発生す
る。本方法では通常、被測定物表面に垂直な方向に伝搬
する超音波の縦波を利用する。被測定物の底面で反射し
た超音波を、超音波発生に用いたのと同じ超音波探触子
１４を介して、超音波送受信器１２で受信する。
【０００４】図２は、この時の超音波探触子１４の受信
波形を模式的に示したものであり、Ｔは送信パルスを、
Ｂ１、Ｂ２はそれぞれ第１底面エコー、第２底面エコー
を示す。パルスＴとＢ１の到達時間間隔ｔLを測定する
ことにより、予め求めておいた超音波音速ＶLを用い
て、被測定物の厚さＤは Ｄ＝ＶL・ｔL／２ …（１） として求められる。あるいは、パルスＢ１とＢ２の到達
時間間隔ｔL′を測定することにより、 Ｄ＝ＶL・ｔL′／２ …（２） として求めることもできる。
波形を模式的に示したものであり、Ｔは送信パルスを、
Ｂ１、Ｂ２はそれぞれ第１底面エコー、第２底面エコー
を示す。パルスＴとＢ１の到達時間間隔ｔLを測定する
ことにより、予め求めておいた超音波音速ＶLを用い
て、被測定物の厚さＤは Ｄ＝ＶL・ｔL／２ …（１） として求められる。あるいは、パルスＢ１とＢ２の到達
時間間隔ｔL′を測定することにより、 Ｄ＝ＶL・ｔL′／２ …（２） として求めることもできる。
【０００５】しかしながら、この方法では、超音波探触
子１４を水、油等を介して被測定物１０に接触させる必
要があるため、製造ライン等における高温材料、あるい
は高速で移動する材料への適用が困難であった。この問
題を解決する方法として、レーザー超音波法が知られて
いる。この方法は、図３に示すように、超音波発生用レ
ーザー２０から被測定物１０の表面にパルスレーザービ
ーム２２を照射し、被測定物表面の局所的な温度上昇が
弾性波として被測定物中に伝搬する熱弾性効果、あるい
は被測定物表面で発生するアブレーションの反力によ
り、被測定物内部に超音波（縦波及び横波）２４を非接
触で発生させる。この超音波は、被測定物内部を伝搬し
た後、再び表面に到達するが、これを超音波検出用レー
ザー３２と光干渉計３４からなる超音波検出装置３０を
用いて、やはり非接触で検出する。図において、２７は
ダイクロイックミラー、２８はハーフミラーである。
子１４を水、油等を介して被測定物１０に接触させる必
要があるため、製造ライン等における高温材料、あるい
は高速で移動する材料への適用が困難であった。この問
題を解決する方法として、レーザー超音波法が知られて
いる。この方法は、図３に示すように、超音波発生用レ
ーザー２０から被測定物１０の表面にパルスレーザービ
ーム２２を照射し、被測定物表面の局所的な温度上昇が
弾性波として被測定物中に伝搬する熱弾性効果、あるい
は被測定物表面で発生するアブレーションの反力によ
り、被測定物内部に超音波（縦波及び横波）２４を非接
触で発生させる。この超音波は、被測定物内部を伝搬し
た後、再び表面に到達するが、これを超音波検出用レー
ザー３２と光干渉計３４からなる超音波検出装置３０を
用いて、やはり非接触で検出する。図において、２７は
ダイクロイックミラー、２８はハーフミラーである。
【０００６】レーザー超音波法を用いた厚さ測定法とし
て、例えば"Proceeding of 39thMechanical Work S
teel Process Conference"，ISS,Vol.XXXV,p.927 (1
998)には、高温の鋼管の肉厚測定例が記載されている。
レーザー超音波法を用いた場合でも、厚さの測定原理は
上記と同様である。
て、例えば"Proceeding of 39thMechanical Work S
teel Process Conference"，ISS,Vol.XXXV,p.927 (1
998)には、高温の鋼管の肉厚測定例が記載されている。
レーザー超音波法を用いた場合でも、厚さの測定原理は
上記と同様である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
レーザー超音波法による厚さ測定法では、次のような問
題があった。即ち、図３のように、超音波発生用レーザ
ー２０の照射位置と超音波検出用レーザー３２の照射位
置（超音波検出位置）を被測定物表面上の同一位置にす
ると、超音波発生用レーザー照射によって被測定物表面
に生ずる物理的変形や被測定物表面近傍に生ずるプラズ
マ等によって超音波検出波形が歪められ、十分なＳ／Ｎ
の底面エコーが得られない。超音波発生用レーザーの出
力を十分低くして、いわゆる熱弾性機構で超音波を発生
させれば、このような現象は回避できるが、熱弾性機構
では超音波振幅が小さくＳ／Ｎが低下するばかりでな
く、金属材料の場合、被測定物の垂線方向に放射される
超音波エネルギーが小さくなる問題がある。
レーザー超音波法による厚さ測定法では、次のような問
題があった。即ち、図３のように、超音波発生用レーザ
ー２０の照射位置と超音波検出用レーザー３２の照射位
置（超音波検出位置）を被測定物表面上の同一位置にす
ると、超音波発生用レーザー照射によって被測定物表面
に生ずる物理的変形や被測定物表面近傍に生ずるプラズ
マ等によって超音波検出波形が歪められ、十分なＳ／Ｎ
の底面エコーが得られない。超音波発生用レーザーの出
力を十分低くして、いわゆる熱弾性機構で超音波を発生
させれば、このような現象は回避できるが、熱弾性機構
では超音波振幅が小さくＳ／Ｎが低下するばかりでな
く、金属材料の場合、被測定物の垂線方向に放射される
超音波エネルギーが小さくなる問題がある。
【０００８】又、上記の現象を回避する方法としては、
被測定物表面上の超音波発生用レーザー照射位置と超音
波検出位置を距離ｄだけ離した位置にする方法も考えら
れる。しかしながら、本発明者が鋭意実験を重ねたとこ
ろ、製造ラインなど測定環境の悪いところでは、機械的
振動や、測定装置と被測定物との距離や傾き変動等によ
り、上記距離ｄの値が変動する場合があり、これが厚さ
測定における大きな誤差要因となることがわかった。上
記距離ｄの値が常に一定の値になるように高精度に維持
するためには、移動する被測定物に対して測定光学系を
高精度で倣わせるための複雑な機構や、大型、頑強な測
定ハウジング等が必要となり、測定装置全体の大型化及
び高価格化が避けられない。
被測定物表面上の超音波発生用レーザー照射位置と超音
波検出位置を距離ｄだけ離した位置にする方法も考えら
れる。しかしながら、本発明者が鋭意実験を重ねたとこ
ろ、製造ラインなど測定環境の悪いところでは、機械的
振動や、測定装置と被測定物との距離や傾き変動等によ
り、上記距離ｄの値が変動する場合があり、これが厚さ
測定における大きな誤差要因となることがわかった。上
記距離ｄの値が常に一定の値になるように高精度に維持
するためには、移動する被測定物に対して測定光学系を
高精度で倣わせるための複雑な機構や、大型、頑強な測
定ハウジング等が必要となり、測定装置全体の大型化及
び高価格化が避けられない。
【０００９】更には、被測定物の表面に超音波発生用レ
ーザーを照射し、その裏面で超音波を検出する方法も考
えられるが、この場合でも両者の位置ずれが厚さ測定精
度に大きく影響する問題があり、又、被測定物に関して
表裏両側に測定装置を設置する必要があるため、装置全
体が大型化し、価格面及び保守面で不利である。
ーザーを照射し、その裏面で超音波を検出する方法も考
えられるが、この場合でも両者の位置ずれが厚さ測定精
度に大きく影響する問題があり、又、被測定物に関して
表裏両側に測定装置を設置する必要があるため、装置全
体が大型化し、価格面及び保守面で不利である。
【００１０】本発明は、以上のような問題を解決するべ
くなされたもので、被測定材料が高温の場合や、測定環
境の振動や材料移動等がある場合においても、材料の厚
さを、簡単な装置構成で、非接触且つ高精度で測定可能
とすることを課題とする。
くなされたもので、被測定材料が高温の場合や、測定環
境の振動や材料移動等がある場合においても、材料の厚
さを、簡単な装置構成で、非接触且つ高精度で測定可能
とすることを課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、被測定物の表
面にレーザーを照射して、被測定物の内部に伝搬する超
音波縦波又は横波及び被測定物の表面に沿って伝搬する
超音波表面波を発生させると共に、上記表面上の上記照
射位置と異なる位置において上記超音波縦波又は横波及
び超音波表面波を検出し、超音波縦波又は横波の被測定
物内部の伝搬時間、及び、超音波表面波の被測定物表面
の伝搬時間を計測し、上記被測定物における超音波表面
波の音速と上記超音波表面波の伝搬時間から、上記レー
ザー照射位置と超音波検出位置の距離を求め、上記被測
定物における超音波縦波又は横波の音速と上記超音波縦
波又は横波の伝搬時間、及び、上記レーザー照射位置と
超音波検出位置の距離から、被測定物の厚さを求めるよ
うにして、前記課題を解決したものである。
面にレーザーを照射して、被測定物の内部に伝搬する超
音波縦波又は横波及び被測定物の表面に沿って伝搬する
超音波表面波を発生させると共に、上記表面上の上記照
射位置と異なる位置において上記超音波縦波又は横波及
び超音波表面波を検出し、超音波縦波又は横波の被測定
物内部の伝搬時間、及び、超音波表面波の被測定物表面
の伝搬時間を計測し、上記被測定物における超音波表面
波の音速と上記超音波表面波の伝搬時間から、上記レー
ザー照射位置と超音波検出位置の距離を求め、上記被測
定物における超音波縦波又は横波の音速と上記超音波縦
波又は横波の伝搬時間、及び、上記レーザー照射位置と
超音波検出位置の距離から、被測定物の厚さを求めるよ
うにして、前記課題を解決したものである。
【００１２】この際、上記レーザービームの被測定物表
面上における形状を、レーザー照射位置と超音波検出位
置を結ぶ方向と垂直な方向に伸びる線状とするのが望ま
しい。
面上における形状を、レーザー照射位置と超音波検出位
置を結ぶ方向と垂直な方向に伸びる線状とするのが望ま
しい。
【００１３】又、本発明は、上記方法を実現するのに好
適な測定装置を、被測定物の表面にレーザーを照射し
て、被測定物の内部に伝搬する超音波縦波又は横波及び
被測定物の表面に沿って伝搬する超音波表面波を発生さ
せる超音波発生用レーザーと、上記表面上の上記照射位
置と隔たった位置において上記超音波縦波又は横波及び
超音波表面波を検出する超音波検出装置と、該超音波検
出装置によって検出された超音波信号から、被測定物内
部に伝搬する超音波縦波又は横波の伝搬時間、及び、被
測定物表面に伝搬する超音波表面波の伝搬時間を計測す
る時間計測手段と、計測された超音波縦波又は横波及び
超音波表面波の伝搬時間と被測定物における超音波縦波
又は横波の音速及び超音波表面波の音速から、被測定物
の厚さを算出する演算処理手段によって構成したもので
ある。
適な測定装置を、被測定物の表面にレーザーを照射し
て、被測定物の内部に伝搬する超音波縦波又は横波及び
被測定物の表面に沿って伝搬する超音波表面波を発生さ
せる超音波発生用レーザーと、上記表面上の上記照射位
置と隔たった位置において上記超音波縦波又は横波及び
超音波表面波を検出する超音波検出装置と、該超音波検
出装置によって検出された超音波信号から、被測定物内
部に伝搬する超音波縦波又は横波の伝搬時間、及び、被
測定物表面に伝搬する超音波表面波の伝搬時間を計測す
る時間計測手段と、計測された超音波縦波又は横波及び
超音波表面波の伝搬時間と被測定物における超音波縦波
又は横波の音速及び超音波表面波の音速から、被測定物
の厚さを算出する演算処理手段によって構成したもので
ある。
【００１４】この際、上記レーザービームの被測定物表
面上における形状を、レーザー照射位置と超音波検出位
置を結ぶ方向と垂直な方向に伸びる線状とするのが好ま
しい。
面上における形状を、レーザー照射位置と超音波検出位
置を結ぶ方向と垂直な方向に伸びる線状とするのが好ま
しい。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施形態を詳細に説明する。
実施形態を詳細に説明する。
【００１６】まず、レーザー超音波法による固体中への
超音波発生形態について説明する。被測定物の表面にパ
ルスレーザービームを照射すると、被測定物表面の被照
射部分を音源とする超音波の縦波、横波、及び表面波
が、同時に被測定物内部及び表面に発生する。これらの
超音波の発生形態は、照射するレーザービームのパワー
密度によって変わり、パワー密度が十分高い時にはアブ
レーション機構で、又、低い時には熱弾性機構で超音波
が発生する。
超音波発生形態について説明する。被測定物の表面にパ
ルスレーザービームを照射すると、被測定物表面の被照
射部分を音源とする超音波の縦波、横波、及び表面波
が、同時に被測定物内部及び表面に発生する。これらの
超音波の発生形態は、照射するレーザービームのパワー
密度によって変わり、パワー密度が十分高い時にはアブ
レーション機構で、又、低い時には熱弾性機構で超音波
が発生する。
【００１７】金属材料の場合、アブレーション機構で
は、発生する縦波の指向特性は被測定物表面の垂線方向
にピークを有するが、発生する横波の指向特性ピーク
は、この垂線方向に対して約３５°だけ傾いた角度にな
る。このアブレーション機構では、縦波の方が横波より
格段に効率的に発生される。一方、熱弾性機構では、被
測定物表面の垂線方向には縦波も横波もほとんど伝搬さ
れず、縦波と横波の指向特性のピークは、それぞれ約６
５°、約３０°になる。この場合、横波の指向特性は非
常に鋭くなるので、特定方向に横波を伝搬させる場合
は、熱弾性機構の方が有利である。材料の厚さを測定す
る場合、材料表面に垂直な方向に多くのエネルギーが放
射される形態、即ちアブレーション機構によって発生さ
せた縦波を利用するのが一般には好ましい。又、表面波
に関しては、レーザービーム照射点を中心（音源）とし
て、被測定物表面上あらゆる方向に表面波が発生する。
は、発生する縦波の指向特性は被測定物表面の垂線方向
にピークを有するが、発生する横波の指向特性ピーク
は、この垂線方向に対して約３５°だけ傾いた角度にな
る。このアブレーション機構では、縦波の方が横波より
格段に効率的に発生される。一方、熱弾性機構では、被
測定物表面の垂線方向には縦波も横波もほとんど伝搬さ
れず、縦波と横波の指向特性のピークは、それぞれ約６
５°、約３０°になる。この場合、横波の指向特性は非
常に鋭くなるので、特定方向に横波を伝搬させる場合
は、熱弾性機構の方が有利である。材料の厚さを測定す
る場合、材料表面に垂直な方向に多くのエネルギーが放
射される形態、即ちアブレーション機構によって発生さ
せた縦波を利用するのが一般には好ましい。又、表面波
に関しては、レーザービーム照射点を中心（音源）とし
て、被測定物表面上あらゆる方向に表面波が発生する。
【００１８】次に、本発明の第１実施形態について詳し
く説明する。図４は、本発明による材料の厚さ測定装置
の第１実施形態の概要を示す模式図であり、図５は、図
４において光干渉計で検出される超音波波形を示す模式
図である。又、図６は、本発明による材料の厚さ測定の
手順を示すフローチャートである。
く説明する。図４は、本発明による材料の厚さ測定装置
の第１実施形態の概要を示す模式図であり、図５は、図
４において光干渉計で検出される超音波波形を示す模式
図である。又、図６は、本発明による材料の厚さ測定の
手順を示すフローチャートである。
【００１９】まず、超音波発生用レーザー２０から、被
測定物１０の表面にレーザー２２を照射する（図６のス
テップ１００）。超音波を発生させるためのレーザー２
０としては、ＱスイッチＹＡＧレーザーや、Ａｒレーザ
ー等のパルス発振レーザーが好適である。金属材料の垂
線方向近辺に効率良く縦波を発生させるためには、レー
ザービームをレンズで集束してパワー密度を大きくして
（アブレーション機構にする）、被測定物１０に照射す
るとよい。以下、アブレーション機構で発生させた縦波
２４を利用して厚さを測定する場合について述べる。被
測定物１０のレーザー照射部分は局所的にアブレーショ
ンを発生し、その反力で被測定物内部に縦波２４が発生
する。又、被測定物表面には、全周方向に表面波２６が
伝搬する。
測定物１０の表面にレーザー２２を照射する（図６のス
テップ１００）。超音波を発生させるためのレーザー２
０としては、ＱスイッチＹＡＧレーザーや、Ａｒレーザ
ー等のパルス発振レーザーが好適である。金属材料の垂
線方向近辺に効率良く縦波を発生させるためには、レー
ザービームをレンズで集束してパワー密度を大きくして
（アブレーション機構にする）、被測定物１０に照射す
るとよい。以下、アブレーション機構で発生させた縦波
２４を利用して厚さを測定する場合について述べる。被
測定物１０のレーザー照射部分は局所的にアブレーショ
ンを発生し、その反力で被測定物内部に縦波２４が発生
する。又、被測定物表面には、全周方向に表面波２６が
伝搬する。
【００２０】被測定物表面上、超音波発生用レーザー照
射位置から距離ｄ離れた位置において、超音波検出装置
３０により超音波を受信する（ステップ１０２）。距離
ｄだけ離すのは、前述のように、超音波発生用レーザー
照射によって被測定物表面に生ずる物理的変形や、被測
定物表面近傍に生ずるプラズマ等によって、超音波検出
波形が歪められるのを回避するためである。本発明者
は、距離ｄを種々の値に変えた条件で実験を行った結
果、被測定物の材質や超音波発生用レーザーのパワー密
度にも依存するが、いずれの場合も、ｄ＜１ｍｍでは波
形歪みによって厚さ測定が困難であることを見出した。
従って、距離ｄは１ｍｍ以上にすることが望ましい。一
方、ｄの値を大きくし過ぎると、受信される縦波のエネ
ルギーが小さくなるので、例えば厚さ１０ｍｍの材料を
測定する場合は、ｄ≦５ｍｍとするのが好ましい。
射位置から距離ｄ離れた位置において、超音波検出装置
３０により超音波を受信する（ステップ１０２）。距離
ｄだけ離すのは、前述のように、超音波発生用レーザー
照射によって被測定物表面に生ずる物理的変形や、被測
定物表面近傍に生ずるプラズマ等によって、超音波検出
波形が歪められるのを回避するためである。本発明者
は、距離ｄを種々の値に変えた条件で実験を行った結
果、被測定物の材質や超音波発生用レーザーのパワー密
度にも依存するが、いずれの場合も、ｄ＜１ｍｍでは波
形歪みによって厚さ測定が困難であることを見出した。
従って、距離ｄは１ｍｍ以上にすることが望ましい。一
方、ｄの値を大きくし過ぎると、受信される縦波のエネ
ルギーが小さくなるので、例えば厚さ１０ｍｍの材料を
測定する場合は、ｄ≦５ｍｍとするのが好ましい。
【００２１】超音波検出装置３０は、縦波及び表面波を
検出できるものであればよく、一般にはレーザー超音波
法で用いられる構成、即ち図３に示した超音波検出用レ
ーザー３２と光干渉計３４によって構成することができ
る。この場合、超音波検出用レーザー３２としては連続
発振レーザー又はパルス発振レーザーを、又、光干渉計
３４としては周知のマイケルソン干渉計やファブリペロ
ー干渉計等を用いることができる。
検出できるものであればよく、一般にはレーザー超音波
法で用いられる構成、即ち図３に示した超音波検出用レ
ーザー３２と光干渉計３４によって構成することができ
る。この場合、超音波検出用レーザー３２としては連続
発振レーザー又はパルス発振レーザーを、又、光干渉計
３４としては周知のマイケルソン干渉計やファブリペロ
ー干渉計等を用いることができる。
【００２２】該超音波検出装置３０の出力波形には、図
５に示すように、被測定物の底面で反射した縦波エコー
Ｂ1、被測定物を厚さ方向に２往復した縦波エコーＢ2及
び被測定物表面を伝搬する表面波エコーＲが現われる。
実際には縦波の多重反射エコーＢ3、Ｂ4・・・あるいは
横波エコーも現われるが、これらは振幅が比較的小さ
く、図５では図示していない。なお、図５における２つ
のエコーＲ及びＢ1が互いに重ならないようにするため
には、被測定物の厚さの予測値をＤ′とした時、超音波
発生用レーザー照射位置と超音波検出位置との距離ｄを
２Ｄ′（ＶR／ＶL）より十分小さくなるようにするべき
である。ここで、ＶR、ＶLは、それぞれ被測定物におけ
る表面波及び縦波の音速である。
５に示すように、被測定物の底面で反射した縦波エコー
Ｂ1、被測定物を厚さ方向に２往復した縦波エコーＢ2及
び被測定物表面を伝搬する表面波エコーＲが現われる。
実際には縦波の多重反射エコーＢ3、Ｂ4・・・あるいは
横波エコーも現われるが、これらは振幅が比較的小さ
く、図５では図示していない。なお、図５における２つ
のエコーＲ及びＢ1が互いに重ならないようにするため
には、被測定物の厚さの予測値をＤ′とした時、超音波
発生用レーザー照射位置と超音波検出位置との距離ｄを
２Ｄ′（ＶR／ＶL）より十分小さくなるようにするべき
である。ここで、ＶR、ＶLは、それぞれ被測定物におけ
る表面波及び縦波の音速である。
【００２３】時間計測手段４０は、超音波検出装置３０
の出力から、縦波及び表面波の伝搬時間を検出する。具
体的には、図５に示す時間ｔR及びｔL（又はｔL′）を
検出する（ステップ１０４、１０６）。時間計測手段４
０としては、従来の超音波厚さ計で用いられている周知
の方法を用いてよい。又、多重反射エコーＢ3、Ｂ4、・
・・を用いて縦波の伝搬時間を求めても差し支えない。
の出力から、縦波及び表面波の伝搬時間を検出する。具
体的には、図５に示す時間ｔR及びｔL（又はｔL′）を
検出する（ステップ１０４、１０６）。時間計測手段４
０としては、従来の超音波厚さ計で用いられている周知
の方法を用いてよい。又、多重反射エコーＢ3、Ｂ4、・
・・を用いて縦波の伝搬時間を求めても差し支えない。
【００２４】次に演算処理手段５０によって、超音波発
生用レーザー２０の照射位置と超音波検出装置３０の検
出位置との距離ｄの正確な値を次式により求める（ステ
ップ１０８）。
生用レーザー２０の照射位置と超音波検出装置３０の検
出位置との距離ｄの正確な値を次式により求める（ステ
ップ１０８）。
【００２５】ｄ＝ＶR・ｔR …（３） ここで、ＶRは表面波音速であり、被測定物の材質等に
よって異なるので、予め別途求めておく。
よって異なるので、予め別途求めておく。
【００２６】このようにして正確なｄの値が求まった
ら、演算処理手段５０によって、被測定物の厚さＤが、
幾何学的な位置関係を利用して、次式により求められる
（ステップ１１０）。
ら、演算処理手段５０によって、被測定物の厚さＤが、
幾何学的な位置関係を利用して、次式により求められる
（ステップ１１０）。
【００２７】 Ｄ＝√（ＶL2・ｔL2−ｄ2）／２ …（４）
【００２８】なお、演算処理手段５０として、パソコン
やワークステーションあるいはＤＳＰ（デジタル信号プ
ロセッサ）等を用いればよい。
やワークステーションあるいはＤＳＰ（デジタル信号プ
ロセッサ）等を用いればよい。
【００２９】次に上記において、縦波の伝搬時間だけで
はなく、表面波の伝搬時間を用いる理由について説明す
る。上述の説明から明らかなように、超音波発生用レー
ザー照射位置と超音波検出装置による超音波検出位置の
距離ｄが一定であれば、表面波の伝搬時間は厚さ測定に
は必要ない。しかしながら本発明者が鋭意実験を重ねた
ところ、特に金属材料の製造ライン等で厚さ測定を行う
場合、距離ｄを一定とみなすと測定誤差が大きくなるこ
とがわかった。即ち、製造ライン等では一方向に移動中
の被測定物の厚さを測定することが要求されることが多
く、又、被測定物表面が高温であることも多い。この場
合、被測定物の上下動や傾きによって、あるいは熱膨張
による測定装置架台の変形等によって、距離ｄはかなり
変動する。図７は、厚さ１０ｍｍ前後の鋼板の縦波エコ
ーの伝搬時間を計算してプロットしたものである（縦波
音速を５９００ｍ／ｓとした）。この図より、真の厚さ
１０．０ｍｍの鋼板を測定する場合、例えば前記距離ｄ
が２ｍｍから３ｍｍにずれたにもかかわらず、ｄ＝２ｍ
ｍとして厚さを算出すると１０．０６ｍｍとなり、６０
μｍもの測定誤差を生じてしまう。
はなく、表面波の伝搬時間を用いる理由について説明す
る。上述の説明から明らかなように、超音波発生用レー
ザー照射位置と超音波検出装置による超音波検出位置の
距離ｄが一定であれば、表面波の伝搬時間は厚さ測定に
は必要ない。しかしながら本発明者が鋭意実験を重ねた
ところ、特に金属材料の製造ライン等で厚さ測定を行う
場合、距離ｄを一定とみなすと測定誤差が大きくなるこ
とがわかった。即ち、製造ライン等では一方向に移動中
の被測定物の厚さを測定することが要求されることが多
く、又、被測定物表面が高温であることも多い。この場
合、被測定物の上下動や傾きによって、あるいは熱膨張
による測定装置架台の変形等によって、距離ｄはかなり
変動する。図７は、厚さ１０ｍｍ前後の鋼板の縦波エコ
ーの伝搬時間を計算してプロットしたものである（縦波
音速を５９００ｍ／ｓとした）。この図より、真の厚さ
１０．０ｍｍの鋼板を測定する場合、例えば前記距離ｄ
が２ｍｍから３ｍｍにずれたにもかかわらず、ｄ＝２ｍ
ｍとして厚さを算出すると１０．０６ｍｍとなり、６０
μｍもの測定誤差を生じてしまう。
【００３０】なお、上記（４）式は、図５における時間
ｔLを用いる場合の計算式であるが、図８に示す第２実
施形態のように、図５における時間ｔL′を用いて厚さ
を計算してもよい。この場合は、縦波２４′の第２底面
エコーの伝搬経路は、図８に破線で示すような経路にな
るため、厚さＤは（４）式のような形では算出できない
が、簡単な幾何学的計算により次式を満たす。
ｔLを用いる場合の計算式であるが、図８に示す第２実
施形態のように、図５における時間ｔL′を用いて厚さ
を計算してもよい。この場合は、縦波２４′の第２底面
エコーの伝搬経路は、図８に破線で示すような経路にな
るため、厚さＤは（４）式のような形では算出できない
が、簡単な幾何学的計算により次式を満たす。
【００３１】 √（１６Ｄ2＋ｄ2）−√（４Ｄ2＋ｄ2）＝ＶL・ｔL′ …（５）
【００３２】従って、ｔL′及びｄを測定することによ
って厚さＤが求められる。
って厚さＤが求められる。
【００３３】以上、板状の材料の厚さを測定する場合に
ついて述べたが、本発明の適用対象は板状の材料に限っ
たものではなく、例えばパイプ状の材料の肉厚測定にも
適用することができる。
ついて述べたが、本発明の適用対象は板状の材料に限っ
たものではなく、例えばパイプ状の材料の肉厚測定にも
適用することができる。
【００３４】以上の説明では、簡単のため、アブレーシ
ョン機構で縦波を発生させ、この伝搬時間と表面波の伝
搬時間に基づいて、材料の厚さを高精度で測定する方法
と装置について述べたが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、アブレーション機構で発生させた横波、あ
るいは熱弾性機構で発生させた縦波や横波を用いてもよ
く、表面波の伝搬時間測定によって超音波発生位置と検
出位置の正確な距離を検出し、これに基づいて材料の厚
さを高精度で求めるという本発明の主旨に即したもので
あれば差し支えない。
ョン機構で縦波を発生させ、この伝搬時間と表面波の伝
搬時間に基づいて、材料の厚さを高精度で測定する方法
と装置について述べたが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、アブレーション機構で発生させた横波、あ
るいは熱弾性機構で発生させた縦波や横波を用いてもよ
く、表面波の伝搬時間測定によって超音波発生位置と検
出位置の正確な距離を検出し、これに基づいて材料の厚
さを高精度で求めるという本発明の主旨に即したもので
あれば差し支えない。
【００３５】次に、超音波発生用レーザーによって被測
定物表面に照射するレーザービームの形状について説明
する。レーザー超音波法では、材料の表面に垂直方向に
縦波を発生させる場合、通常、円形あるいは矩形のビー
ムを照射する。しかし、前述のように、表面波はレーザ
ー照射位置の周りの３６０°全方向に放射されるので、
特定の方向にある超音波検出装置の検出位置に伝搬して
くる表面波のエネルギーは小さく、被測定物の材質によ
っては、図５に示すような十分大きな振幅を有した表面
波エコーが得られない可能性がある。
定物表面に照射するレーザービームの形状について説明
する。レーザー超音波法では、材料の表面に垂直方向に
縦波を発生させる場合、通常、円形あるいは矩形のビー
ムを照射する。しかし、前述のように、表面波はレーザ
ー照射位置の周りの３６０°全方向に放射されるので、
特定の方向にある超音波検出装置の検出位置に伝搬して
くる表面波のエネルギーは小さく、被測定物の材質によ
っては、図５に示すような十分大きな振幅を有した表面
波エコーが得られない可能性がある。
【００３６】このような場合、図９（平面図）及び図１
０（側面図）に示す第３実施形態のように、円形のレー
ザービーム２２を、シリンドリカルレンズ６０などによ
って線状ビーム２３に変換してから照射する方法が有効
である。即ち、線状ビーム２３を照射すると、そのビー
ムに対して垂直な方向に伝搬する表面波のエネルギーが
大きくなり、超音波検出装置３０で検出される表面波エ
コーの振幅が向上する。又、本発明者が実験したとこ
ろ、本発明で用いるような、斜め方向に伝搬される縦波
や横波についても、照射レーザービームの形状を線状に
するとＳ／Ｎが向上することが確認された。従って、斜
め方向に伝搬する縦波あるいは横波と表面波の双方を用
いる本発明による方法では、線状ビームの照射は非常に
有効である。
０（側面図）に示す第３実施形態のように、円形のレー
ザービーム２２を、シリンドリカルレンズ６０などによ
って線状ビーム２３に変換してから照射する方法が有効
である。即ち、線状ビーム２３を照射すると、そのビー
ムに対して垂直な方向に伝搬する表面波のエネルギーが
大きくなり、超音波検出装置３０で検出される表面波エ
コーの振幅が向上する。又、本発明者が実験したとこ
ろ、本発明で用いるような、斜め方向に伝搬される縦波
や横波についても、照射レーザービームの形状を線状に
するとＳ／Ｎが向上することが確認された。従って、斜
め方向に伝搬する縦波あるいは横波と表面波の双方を用
いる本発明による方法では、線状ビームの照射は非常に
有効である。
【００３７】
【実施例】本発明による厚さ測定の実施例について述べ
る。本例では、厚さ１０．０ｍｍの鋼板の板厚を、図４
に示した装置構成で測定した。超音波発生用レーザー２
０としては、ＱスイッチＹＡＧレーザーを用い、アブレ
ーション機構で超音波を発生させた。超音波検出装置３
０としては、連続発振のＨｅ−Ｎｅレーザーと共焦点フ
ァブリペロー干渉計を用いた。距離ｄの値を、マイクロ
メータにより０．５〜３．５ｍｍまで０．５ｍｍ刻みで
変化させて測定した。測定結果を図１１に示す。図１１
に白丸で示したのが本発明の方法による測定値、黒丸で
示したのが、表面波の伝搬時間を用いずにｄ＝２ｍｍと
想定して算出した測定値である。ｄ＝０．５ｍｍの時
は、超音波発生用レーザーの干渉により超音波波形が受
信できなかった。図１１より、距離ｄが大きく変化する
ような場合でも、本発明による方法及び装置では高精度
で厚さを測定することが確認された。
る。本例では、厚さ１０．０ｍｍの鋼板の板厚を、図４
に示した装置構成で測定した。超音波発生用レーザー２
０としては、ＱスイッチＹＡＧレーザーを用い、アブレ
ーション機構で超音波を発生させた。超音波検出装置３
０としては、連続発振のＨｅ−Ｎｅレーザーと共焦点フ
ァブリペロー干渉計を用いた。距離ｄの値を、マイクロ
メータにより０．５〜３．５ｍｍまで０．５ｍｍ刻みで
変化させて測定した。測定結果を図１１に示す。図１１
に白丸で示したのが本発明の方法による測定値、黒丸で
示したのが、表面波の伝搬時間を用いずにｄ＝２ｍｍと
想定して算出した測定値である。ｄ＝０．５ｍｍの時
は、超音波発生用レーザーの干渉により超音波波形が受
信できなかった。図１１より、距離ｄが大きく変化する
ような場合でも、本発明による方法及び装置では高精度
で厚さを測定することが確認された。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被測定材料が高温の場合や、測定環境の振動、材料移動
等がある場合においても、材料の厚さを、簡単な装置構
成で、非接触且つ高精度で測定することが可能になる。
又、超音波発生用レーザーの照射位置と超音波検出装置
の検出位置を高精度に保持する必要がなくなるため、装
置全体の小型化、低価格化が図れるという効果も有す
る。
被測定材料が高温の場合や、測定環境の振動、材料移動
等がある場合においても、材料の厚さを、簡単な装置構
成で、非接触且つ高精度で測定することが可能になる。
又、超音波発生用レーザーの照射位置と超音波検出装置
の検出位置を高精度に保持する必要がなくなるため、装
置全体の小型化、低価格化が図れるという効果も有す
る。
【図１】従来の超音波厚さ測定装置の概要を示す模式図
【図２】従来の超音波厚さ測定装置における超音波受信
波形の例を示す模式図
波形の例を示す模式図
【図３】従来のレーザー超音波による厚さ測定装置の概
要を示す模式図
要を示す模式図
【図４】本発明による厚さ測定装置の第１実施形態を示
す模式図
す模式図
【図５】第１実施形態における超音波受信波形の例を示
す模式図
す模式図
【図６】同じく厚さ測定手順を示すフローチャート
【図７】本発明による厚さ測定装置の有効性を示す特性
図
図
【図８】本発明による厚さ測定装置の第２実施形態を示
す模式図
す模式図
【図９】本発明による厚さ測定装置の第３実施形態を示
す平面図
す平面図
【図１０】同じく側面図
【図１１】本発明による厚さ測定装置の実施例結果を示
す特性図
す特性図
１０…被測定物 １４…超音波探触子 １６、２４、２４′…縦波 ２０…超音波発生用レーザー ２２…レーザービーム ２３…線状レーザービーム ２６…表面波 ２７…ダイクロイックミラー ２８…ハーフミラー ３０…超音波検出装置 ３２…超音波検出用レーザー ３４…干渉計 ４０…時間計測手段 ５０…演算処理手段 ６０…シリンドリカルレンズ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F068 AA28 BB01 BB09 CC15 CC16 FF12 FF14 FF25 GG07 JJ05 JJ12 JJ22 KK12 QQ44 2G047 AA07 AB01 AB02 BA03 BC18 CA04 CB01 CB02 CB03 DA01 EA10 EA14 GD01 GG30 GG31
Claims (4)
- 【請求項１】被測定物の表面にレーザーを照射して、被
測定物の内部に伝搬する超音波縦波又は横波及び被測定
物の表面に沿って伝搬する超音波表面波を発生させると
共に、上記表面上の上記照射位置と異なる位置において
上記超音波縦波又は横波及び超音波表面波を検出し、 超音波縦波又は横波の被測定物内部の伝搬時間及び超音
波表面波の被測定物表面の伝搬時間を計測し、 上記被測定物における超音波表面波の音速と上記超音波
表面波の伝搬時間から、上記レーザー照射位置と超音波
検出位置の距離を求め、 上記被測定物における超音波縦波又は横波の音速と上記
超音波縦波又は横波の伝搬時間、及び、上記レーザー照
射位置と超音波検出位置の距離から、被測定物の厚さを
求めることを特徴とする材料厚さの非接触測定方法。 - 【請求項２】上記レーザービームの被測定物表面上にお
ける形状を、レーザー照射位置と超音波検出位置を結ぶ
方向と垂直な方向に伸びる線状とすることを特徴とする
請求項１に記載の材料厚さの非接触測定方法。 - 【請求項３】被測定物の表面にレーザーを照射して、被
測定物の内部に伝搬する超音波縦波又は横波及び被測定
物の表面に沿って伝搬する超音波表面波を発生させる超
音波発生用レーザーと、 上記表面上の上記照射位置と隔たった位置において上記
超音波縦波又は横波及び超音波表面波を検出する超音波
検出装置と、 該超音波検出装置によって検出された超音波信号から、
被測定物内部に伝搬する超音波縦波又は横波の伝搬時
間、及び、被測定物表面に伝搬する超音波表面波の伝搬
時間を計測する時間計測手段と、 計測された超音波縦波又は横波及び超音波表面波の伝搬
時間と被測定物における超音波縦波又は横波の音速及び
超音波表面波の音速から、被測定物の厚さを算出する演
算処理手段と、 を備えたことを特徴とする材料厚さの非接触測定装置。 - 【請求項４】上記レーザービームの被測定物表面上にお
ける形状を、レーザー照射位置と超音波検出位置を結ぶ
方向と垂直な方向に伸びる線状とすることを特徴とする
請求項３に記載の材料厚さの非接触測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001340664A JP2002213936A (ja) | 2000-11-16 | 2001-11-06 | 材料厚さの非接触測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000350149 | 2000-11-16 | ||
| JP2000-350149 | 2000-11-16 | ||
| JP2001340664A JP2002213936A (ja) | 2000-11-16 | 2001-11-06 | 材料厚さの非接触測定方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002213936A true JP2002213936A (ja) | 2002-07-31 |
Family
ID=26604112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001340664A Pending JP2002213936A (ja) | 2000-11-16 | 2001-11-06 | 材料厚さの非接触測定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002213936A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005024341A1 (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-17 | Futec Inc. | 厚さ計測装置および厚さ計測方法 |
| JP2006133186A (ja) * | 2004-11-09 | 2006-05-25 | Toshiba Corp | レーザ超音波検査方法 |
| JP2007017298A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Toshiba Corp | 表面検査方法およびその表面検査装置 |
| JP2007121131A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Jfe Steel Kk | 鋼管の熱間肉厚測定方法 |
| KR100832839B1 (ko) | 2006-08-25 | 2008-05-28 | 한양대학교 산학협력단 | 초음파 종파와 횡파를 이용한 두께 측정 장치 및 방법 |
| WO2008084538A1 (ja) * | 2007-01-11 | 2008-07-17 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | 金属材料の組織材質計測装置 |
| JP2009257945A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-05 | Jfe Steel Corp | 薄肉鋼管の肉厚測定方法 |
| JP2010230558A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Nippon Steel Corp | レーザパルスビームの熱弾性効果を用いたレーザ超音波検査方法 |
| JP2011089793A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Daido Steel Co Ltd | 材料厚測定方法 |
| JP2011189407A (ja) * | 2010-02-16 | 2011-09-29 | Panasonic Corp | レーザ溶接装置およびレーザ溶接方法 |
| KR101253909B1 (ko) | 2011-08-01 | 2013-04-16 | 주식회사 포스코 | 레이저 초음파를 이용한 소성 변형률 측정 방법 및 장치 |
| CN106017371A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-10-12 | 浙江大学 | 基于激光超声的表面缺陷开口宽度的测量装置及其方法 |
| WO2017160082A1 (ko) * | 2016-03-15 | 2017-09-21 | 한양대학교 산학협력단 | 레이저를 이용한 비접촉식 두께 측정 시스템 및 방법 |
| WO2019181243A1 (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 超音波検査方法、超音波検査装置及び超音波検査方法を用いた高圧燃料供給ポンプの製造方法 |
-
2001
- 2001-11-06 JP JP2001340664A patent/JP2002213936A/ja active Pending
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005024341A1 (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-17 | Futec Inc. | 厚さ計測装置および厚さ計測方法 |
| JP2006133186A (ja) * | 2004-11-09 | 2006-05-25 | Toshiba Corp | レーザ超音波検査方法 |
| JP2007017298A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Toshiba Corp | 表面検査方法およびその表面検査装置 |
| JP4673686B2 (ja) * | 2005-07-07 | 2011-04-20 | 株式会社東芝 | 表面検査方法およびその表面検査装置 |
| JP2007121131A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Jfe Steel Kk | 鋼管の熱間肉厚測定方法 |
| KR100832839B1 (ko) | 2006-08-25 | 2008-05-28 | 한양대학교 산학협력단 | 초음파 종파와 횡파를 이용한 두께 측정 장치 및 방법 |
| US7821645B2 (en) | 2007-01-11 | 2010-10-26 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | Microstructural feature and material property monitoring device for metallic material |
| WO2008084538A1 (ja) * | 2007-01-11 | 2008-07-17 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | 金属材料の組織材質計測装置 |
| JP4888484B2 (ja) * | 2007-01-11 | 2012-02-29 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | 金属材料の組織材質計測装置 |
| JP2009257945A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-05 | Jfe Steel Corp | 薄肉鋼管の肉厚測定方法 |
| JP2010230558A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Nippon Steel Corp | レーザパルスビームの熱弾性効果を用いたレーザ超音波検査方法 |
| JP2011089793A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Daido Steel Co Ltd | 材料厚測定方法 |
| JP2011189407A (ja) * | 2010-02-16 | 2011-09-29 | Panasonic Corp | レーザ溶接装置およびレーザ溶接方法 |
| KR101253909B1 (ko) | 2011-08-01 | 2013-04-16 | 주식회사 포스코 | 레이저 초음파를 이용한 소성 변형률 측정 방법 및 장치 |
| WO2017160082A1 (ko) * | 2016-03-15 | 2017-09-21 | 한양대학교 산학협력단 | 레이저를 이용한 비접촉식 두께 측정 시스템 및 방법 |
| KR101794716B1 (ko) * | 2016-03-15 | 2017-11-07 | 한양대학교 산학협력단 | 레이저를 이용한 비접촉식 두께 측정 시스템 및 방법 |
| CN106017371A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-10-12 | 浙江大学 | 基于激光超声的表面缺陷开口宽度的测量装置及其方法 |
| WO2019181243A1 (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 超音波検査方法、超音波検査装置及び超音波検査方法を用いた高圧燃料供給ポンプの製造方法 |
| JP2019164037A (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 超音波検査方法、超音波検査装置及び超音波検査方法を用いた高圧燃料供給ポンプの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Schindel et al. | Applications of micromachined capacitance transducers in air-coupled ultrasonics and nondestructive evaluation | |
| US20040085550A1 (en) | Material thickness measurement method and apparatus | |
| JP2002213936A (ja) | 材料厚さの非接触測定方法及び装置 | |
| US5025665A (en) | Non-contacting on-line paper strength measuring system | |
| CN110779990B (zh) | 一种材料内部多缺陷的激光超声三维定位定量检测方法 | |
| Hayashi | Imaging defects in a plate with complex geometries | |
| Osumi et al. | Imaging slit in metal plate using aerial ultrasound source scanning and nonlinear harmonic method | |
| JPH11101632A (ja) | 超音波計測装置 | |
| JP2001194137A (ja) | 材料厚さの非接触測定方法及び装置 | |
| Ihara | Ultrasonic sensing: fundamentals and its applications to nondestructive evaluation | |
| JP2010054497A (ja) | 超音波探傷の感度設定方法および超音波探傷装置 | |
| JP5672725B2 (ja) | Ｓｈ波の発生方法および超音波計測方法 | |
| JP2008151705A (ja) | 超音波厚さ測定方法および装置 | |
| JPWO2019111381A1 (ja) | 超音波探傷装置 | |
| Deutsch et al. | Focusing of Rayleigh waves: simulation and experiments | |
| Mihara et al. | Time-of-flight diffraction measurement using laser ultrasound | |
| JP2943567B2 (ja) | 管内形状検査装置 | |
| JP3821035B2 (ja) | 材料の厚さ測定方法 | |
| JP2004191133A (ja) | 超音波探傷装置 | |
| JP2007263956A (ja) | 超音波探傷方法および装置 | |
| Abbasi et al. | Wave-mode configurable ultrasonic non-destructive evaluation system using optoacoustic prism | |
| JP7222365B2 (ja) | 被検体の肉厚測定装置及び肉厚測定方法 | |
| IMANO | Experimental study on the mode conversion of Lamb waves in a metal plate of stepped thickness using optical detection | |
| JP2008008844A (ja) | 超音波探傷方法及び装置 | |
| SU1345063A1 (ru) | Способ определени толщины и скорости распространени ультразвуковых объемных волн в издели х |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040924 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060517 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060530 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061003 |