JP2002205973A - 新規なカルボニル置換ノルボルネン類 - Google Patents

新規なカルボニル置換ノルボルネン類

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JP2002205973A
JP2002205973A JP2001004211A JP2001004211A JP2002205973A JP 2002205973 A JP2002205973 A JP 2002205973A JP 2001004211 A JP2001004211 A JP 2001004211A JP 2001004211 A JP2001004211 A JP 2001004211A JP 2002205973 A JP2002205973 A JP 2002205973A
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norbornene
vinyl ether
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alkyl
carboxylic acid
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Sachiko Miyagi
佐知子 宮城
Atsushi Myonaka
敦 妙中
Taiichi Shiomi
泰一 塩見
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Honshu Chemical Industry Co Ltd
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  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】炭素原子数3以上の嵩高い飽和アルコキシル基
を有する新規な2−アルコキシエチルオキシカルボニル
−5−ノルボルネン類とその製造方法を提供する。 【解手手段】本発明によれば、一般式(I) 【化1】 (式中、Rは炭素原子数3〜10のアルキル基又は炭素
原子数5〜12のシクロアルキル基(アルキル置換基を
有していてもよい。)を示す。)で表される2−アルコ
キシエチルオキシカルボニル−5−ノルボルネン類が提
供される。このような新規なノルボルネン類は、5−ノ
ルボルネン−2−カルボン酸を酸触媒の存在下に一般式
(III) 【化2】 (式中、Rは炭素原子数3〜10の飽和アルキル基又は
炭素原子数5〜12のシクロアルキル基(アルキル置換
基を有していてもよい。)を示す。)で表されるアルキ
ルビニルエーテルと反応させることによって得ることが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、新規なカルボニル
置換ノルボルネン類に関し、詳しくは、電子集積回路や
電子表示装置の製造のためのフォトレジスト原料、電子
材料用接着剤における樹脂成分のほか、感光剤や溶解抑
止剤等の成分として有用である新規な2−アルコキシエ
チルオキシカルボニル−5−ノルボルネン類とその製造
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、光リソグラフィ分野では、集積回
路の高密度化に対応するため、ArFエキシマレーザー
等の真空紫外領域の露光光の使用も検討され始めてお
り、そのためのフォトレジスト組成物の共重合樹脂成分
として、多核芳香環化合物と共に、種々のノルボルネン
化合物が知られている。それらのうち、2−アルコキシ
エチルオキシカルボニル−5−ノルボルネン類は、フォ
トレジスト用原料として、特に、KrFやArF等の超
短波長光源用の樹脂の共重合原料として、近年、注目さ
れてきている。
【0003】そのような2−アルコキシエチルオキシカ
ルボニル−5−ノルボルネン類については、例えば、特
開平11−255840公報及び特開平11−2692
28公報において、2−エトキシエチルオキシカルボニ
ル−5−ノルボルネンが開示されている。しかしなが
ら、これらは、フォトレジスト用の共重合樹脂等の原料
として、その性能は未だ、開発途上にあり、すべての性
能を満たすものは見い出されていない。
【0004】そこで、本発明者らは、2−アルコキシエ
チルオキシカルボニル−5−ノルボルネン類において、
より分解しやすいエステル基を有するものは、フォトレ
ジスト用樹脂の成分とし用いた場合、レジストの感度が
向上し、更に、アルカリ分解後の分解生成物の分子量が
大きいときは、揮発成分の生成が抑制されることが期待
され、特に、このような性能の向上は、嵩高いアルコキ
シル基置換基を有する2−アルコキシエチルオキシカル
ボニル−5−ノルボルネン類において著しいとみられ
る。
【0005】本発明者らは、このような観点から、嵩高
いアルコキシル基置換基を有する2−アルコキシエチル
オキシカルボニル−5−ノルボルネン類について鋭意研
究した結果、エトキシル基以上の嵩高いアルコキシル基
を有する新規なカルボニル置換ノルボルネンを5−ノル
ボルネン−2−カルボン酸とアルキルビニルエーテルと
から容易に得ることができることを見出して、本発明に
至ったものである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明は、炭
素原子数3以上の嵩高いアルコキシル基を有する新規な
2−アルコキシエチルオキシカルボニル−5−ノルボル
ネン類とその製造方法を提供することを目的とする。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明によれば、一般
式(I)
【0008】
【化4】
【0009】(式中、Rは炭素原子数3〜10のアルキ
ル基又は炭素原子数5〜12のシクロアルキル基(アル
キル置換基を有していてもよい。)を示す。)で表され
る2−アルコキシエチルオキシカルボニル−5−ノルボ
ルネン類が提供される。
【0010】更に、本発明によれは、式(II)
【0011】
【化5】
【0012】で表される5−ノルボルネン−2−カルボ
ン酸を酸触媒の存在下に一般式(III)
【0013】
【化6】
【0014】(式中、Rは炭素原子数3〜10のアルキ
ル基又は炭素原子数5〜12のシクロアルキル基(アル
キル置換基を有していてもよい。)を示す。)で表され
るアルキルビニルエーテルと反応させることを特徴とす
る請求項1に記載の2−アルコキシエチルオキシカルボ
ニル−5−ノルボルネン類の製造方法が提供される。
【0015】
【発明の実施の形態】本発明による新規な2−アルコキ
シエチルオキシカルボニル−5−ノルボルネン類は、一
般式(I)
【0016】
【化7】
【0017】(式中、Rは炭素原子数3〜10のアルキ
ル基又は炭素原子数5〜12のシクロアルキル基(アル
キル置換基を有していてもよい。)を示す。)で表され
る。
【0018】上記一般式(I)において、Rは、炭素原
子数3〜10のアルキル基又は炭素原子数5〜12のシ
クロアルキル基(アルキル置換基を有していてもよ
い。)を示す。
【0019】上記アルキル基の具体例としては、例え
ば、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、
ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等を挙げ
ることができる。これらは直鎖状でも、分岐状でもよ
い。また、上記シクロアルキル基は、1又は複数のアル
キル置換基を有していてもよく、そのようなアルキル置
換基を有する場合、そのアルキル置換基は、炭素原子数
1〜4のアルキル基であることが好ましい。従って、上
記シクロアルキル基の具体例としては、例えば、シクロ
ペンチル基、シクロヘキシル基、2−メチルシクロヘキ
シル基、3−メチルシクロヘキシル基、4−メチルシク
ロヘキシル基、2,4−ジメチルシクロヘキシル基、
3,3,5−トリメチルシクロヘキシル基、シクロヘプ
チル基等を挙げることができる。
【0020】これらのなかでは、炭素原子数3〜8の直
鎖状又は分岐状のアルキル基や、炭素原子数6〜8のシ
クロアルキル基が好ましく、特に、炭素原子数4〜6の
直鎖状又は分岐状アルキル基やシクロヘキシル基が好ま
しい。
【0021】従って、 上記一般式(I)で表される2
−アルコキシエチルオキシカルボニル−5−ノルボルネ
ン類の具体例として、例えば、2−イソプロポキシエチ
ルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、2−n−プロ
ポキシエチルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、2
−t−ブトキシエチルオキシカルボニル−5−ノルボル
ネン、2−s−ブトキシエチルオキシカルボニル−5−
ノルボルネン、2−イソブトキシエチルオキシカルボニ
ル−5−ノルボルネン、2−n−ペンチロキシエチルオ
キシカルボニル−5−ノルボルネン、2−イソペンチロ
キシエチルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、2−
ネオペンチロキシエチルオキシカルボニル−5−ノルボ
ルネン、2−イソペンチロキシエチルオキシカルボニル
−5−ノルボルネン、2−ヘキシロキシエチルオキシカ
ルボニル−5−ノルボルネン、2−ヘプチロキシエチル
オキシカルボニル−5−ノルボルネン、2−オクチロキ
シエチルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、2−ノ
ニロキシエチルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、
2−シクロペンチロキシエチルオキシカルボニル−5−
ノルボルネン、2−シクロヘキシロキシエチルオキシカ
ルボニル−5−ノルボルネン、2−シクロヘプチロキシ
エチルオキシカルボニル−5−ノルボルネン、2−シク
ロオクチロキシエチルオキシカルボニル−5−ノルボル
ネン等を挙げることができる。
【0022】このような本発明による2−アルコキシエ
チルオキシカルボニル−5−ノルボルネン類は、例え
ば、式(II)
【0023】
【化8】
【0024】で表される5−ノルボルネン−2−カルボ
ン酸を酸触媒の存在下に一般式(III)
【0025】
【化9】
【0026】(式中、Rは炭素原子数3〜10のアルキ
ル基又は炭素原子数5〜12のシクロアルキル基(アル
キル置換基を有していてもよい。)を示す。)で表され
るアルキルビニルエーテルと反応(付加反応)させるこ
とによって得ることができる。
【0027】上記一般式(III)で表されるアルキルビニ
ルエーテルにおいて、Rは、前記一般式(I)における
ものと同じである。従って、上記一般式(III)で表され
るアルキルビニルエーテルとしては、具体的には、例え
ば、イソプロピルビニルエーテル、n−プロピルビニル
エーテル、t−ブチルビニルエーテル、s−ブチルビニ
ルエーテル、イソブチルビニルエーテル、n−ペンチル
ビニルエーテル、イソペンチルビニルエーテル、ネオペ
ンチルビニルエーテル、ヘキシルビニルエーテル、ヘプ
チルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、ノニル
ビニルエーテル、シクロペンチルビニルエーテル、シク
ロヘキシルビニルエーテル、2−メチルシクロヘキシル
ビニルエーテル、3−メチルシクロヘキシルビニルエー
テル、4−メチルシクロヘキシルビニルエーテル、2,
4−ジメチルシクロヘキシルビニルエーテル、3,3,
5−トリメチルシクロヘキシルビニルエーテル、シクロ
ヘプチルビニルエーテル、シクロオクチルビニルエーテ
ル等を挙げることができる。
【0028】本発明によれば、5−ノルボルネン−2−
カルボン酸とアルキルビニルエーテルとの付加反応にお
いて、アルキルビニルエーテルは、5−ノルボルネン−
2−カルボン酸に対して、通常、1〜20倍モルの範
囲、好ましくは 2〜10倍モルの範囲で用いられる。
【0029】本発明によれば、上記反応においては、反
応速度を速くするために、酸触媒が用いられる。酸触媒
としては、硫酸、塩酸、p−トルエンスルホン酸、p−
トルエンスルホン酸ピリジウム、三フッ化ホウ素等を挙
げることができる。これらのなかでは、特に、塩酸、p
−トルエンスルホン酸、p−トルエンスルホン酸ピリジ
ウム等が好ましく用いられる。このような酸触媒は、5
−ノルボルネン−2−カルボン酸に対して、通常、0.
1〜5モル%の範囲、好ましくは、0.6〜3モル%の
範囲で用いられる。
【0030】また、この反応において、反応溶媒は、用
いてもよく、用いなくてもよいが、用いる場合は、上記
反応に不活性であり、反応温度において上記反応原料を
溶解するものであればよく、例えば、芳香族炭化水素
類、ケトン類、エーテル類、エステル類、又はこれらの
混合物を用いることができる。具体的には、例えば、ト
ルエン、アセトン、テトラヒドロフラン、ジエチルエー
テル、酢酸エチル等が用いられ、これらのうち、特に、
テトラヒドロフランや酢酸エチルが好ましく用いられ
る。また、有機溶媒を用いる場合、その量は、特に、制
限されるものではないが、通常、5−ノルボルネン−2
−カルボン酸100重量部に対して、50〜200重量
部の範囲が好ましい。
【0031】従って、本発明の好ましい態様によれば、
5−ノルボルネン−2−カルボン酸とアルキルビニルエ
ーテルとの反応は、通常、5−ノルボルネン−2−カル
ボン酸を酸触媒と共にテトラヒドロフランや酢酸エチル
等の有機溶媒に溶解し、これにアルキルビニルエーテル
を滴下し、撹拌することによって行われる。
【0032】本発明の方法においては、反応温度は、通
常、−10〜50℃、好ましくは、0〜30℃の範囲で
あり、反応圧力は、通常、常圧又はその近辺でよい。こ
のような温度及び圧力条件の下では、反応は、通常、
0.5〜20時間程度で終了する。
【0033】5−ノルボルネン−2−カルボン酸とアル
キルビニルエーテルとの反応は、例えば、ガスクロマト
グラフィー分析によって、反応混合物中の未反応の5−
ノルボルネン−2−カルボン酸を追跡して、それが消失
したときをもって、反応の終点とすることができる。こ
のような反応において、5−ノルボルネン−2−カルボ
ン酸に対する目的物の反応収率は、反応条件にもよる
が、通常、20〜90モル%の範囲である。
【0034】反応終了後、得られた反応混合物中の酸触
媒をアルカリにて中和し、生成した塩を分離除去して、
目的物である2−アルコキシエチルオキシカルボニル−
5−ノルボルネン類を得ることができる。より詳しく
は、例えば、得られた反応混合物に炭酸水素ナトリウム
等のアルカリの水溶液を加えて、酸触媒を中和した後、
水層を分液等により分離除去し、得られた油層を水洗等
にて洗浄し、その後、その油層を加熱下に減圧蒸留する
ことによって、通常、目的物粗製品を液状体として得る
ことができる。このようにして得られた粗製品は、必要
に応じて、更に蒸留等にて精製品とすることができる。
【0035】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、
本発明はこれら実施例により何ら限定されるものではな
い。
【0036】実施例1 温度計、滴下漏斗、逆流コンデンサー及び撹拌装置を備
えた500mL容量の四つ口フラスコに5−ノルボルネ
ン−2−カルボン酸41.4g(0.3モル)、35%
塩酸0.4g(0.0038モル)及びテトラヒドロフ
ラン63gを仕込み、フラスコ内を窒素ガス置換した
後、室温にて撹拌下にt−ブチルビニルエーテル150
g(1.5モル)を2時間かけて滴下した。滴下終了
後、更に、室温で撹拌しながら、20時間反応させた。
【0037】ガスクロマトグラフィー分析にて反応を追
跡して、反応混合物中の5−ノルボルネン−2−カルボ
ン酸の消失によって、反応の終了を確認した。反応終了
後、得られた反応混合物に10重量%の炭酸水素ナトリ
ウム水溶液100gを加えて中和し、水層を分液して除
去した。得られた油層に水100gを加えて洗浄し、水
層を分液除去して、得られた油層を加熱下に減圧蒸留
し、目的物である2−t−ブチロキシエチルオキシカル
ボニル−5−ノルボルネン58.4gを純度97.9%
(ガスクロマトグラフィー分析による。)の無色透明液
状体として得た。5−ノルボルネン−2−カルボン酸に
対する収率:81.8モル%であった。
【0038】分子量(質量分析法):ESI+ (エレク
トロスプレーインパクト法)261.8(Mw+Na)+ 目的物の 1H−NMR(CDCl3 溶媒、400MH
z)スペクトル:図1に示す。 目的物の13C−NMR(CDCl3 溶媒、400MH
z)スペクトル:図2に示す。
【0039】実施例2 実施例1において、テトラヒドロフランを40gとし、
t−ブチルビニルエーテルに代えて、シクロヘキシルビ
ニルエーテル151g(1.2モル)を1.5時間かけ
て滴下した以外は、実施例1と同様にして、目的物であ
る2−シクロヘキシロキシエチルオキシカルボニル−5
−ノルボルネン16.6gを純度80.6%(ガスクロ
マトグラフィー分析による。)の無色透明液状体として
得た。5−ノルボルネン−2−カルボン酸に対する収率
は32.6モル%であった。
【0040】分子量(質量分析法):ESI+ 287.
9(Mw+Na)+ 目的物の 1H−NMR(CDCl3 溶媒、400MH
z)スペクトル:図3に示す。 目的物の13C−NMR(CDCl3 溶媒、400MH
z)スペクトル:図4に示す。
【0041】実施例3 温度計、滴下漏斗、逆流コンデンサー及び撹拌装置を備
えた500mL容量の四つ口フラスコに5−ノルボルネ
ン−2−カルボン酸55.2g(0.4モル)、35%
塩酸0.55g(0.004モル)及び酢酸エチル5
6.3gを仕込み、フラスコ内を窒素ガス置換した後、
温度10℃に冷却して、撹拌しながら、イソプロピルビ
ニルエーテル41.4g(0.48モル)を1時間かけ
て滴下した。滴下終了後、室温まで昇温し、撹拌しなが
ら、4時間反応させた。
【0042】ガスクロマトグラフィー分析にて反応を追
跡して、反応混合物中の5−ノルボルネン−2−カルボ
ン酸の消失によって、反応の終了を確認した。反応終了
後、得られた反応混合物に10重量%の炭酸水素ナトリ
ウム水溶液56gを加えて、中和し、水層を分液にて除
去した後、得られた油層に水を加えて洗浄した。水層を
分液除去して、得られた油層を加熱下に減圧蒸留して、
目的物である2−イソプロピロキシエチルオキシカルボ
ニル−5−ノルボルネン67.2gを純度96.4%
(ガスクロマトグラフィー分析による。)の無色透明液
状体として得た。5−ノルボルネン−2−カルボン酸に
対する収率:72.2モル%であった。
【0043】分子量(質量分析法):ESI+ 247.
9(Mw+Na)+ 目的物の 1H−NMR(CDCl3 溶媒、400MH
z)スペクトル:図5に示す。 目的物の13C−NMR(CDCl3 溶媒、400MH
z)スペクトル:図6に示す。
【図面の簡単な説明】
【図1】は、本発明による2−t−ブチロキシエチルオ
キシカルボニル−5−ノルボルネンの 1H−NMRスペ
クトルである。
【図2】は、本発明による2−t−ブチロキシエチルオ
キシカルボニル−5−ノルボルネンの目的物の13C−N
MR(CDCl3 溶媒、400MHz)スペクトルであ
る。
【図3】は、本発明による2−シクロヘキシロキシエチ
ルオキシカルボニル−5−ノルボルネンの 1H−NMR
(CDCl3 溶媒、400MHz)スペクトルである。
【図4】は、本発明による2−シクロヘキシロキシエチ
ルオキシカルボニル−5−ノルボルネンの13C−NMR
(CDCl3 溶媒、400MHz)スペクトルである。
【図5】は、本発明による2−イソプロピロキシエチル
オキシカルボニル−5−ノルボルネンの 1H−NMR
(CDCl3 溶媒、400MHz)スペクトルである。
【図6】は、本発明による2−イソプロピロキシエチル
オキシカルボニル−5−ノルボルネンの13C−NMR
(CDCl3 溶媒、400MHz)スペクトルである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 塩見 泰一 和歌山市小雑賀二丁目5番115号 本州化 学工業株式会社総合研究所内 Fターム(参考) 4H006 AA01 AA02 AB91 AC48 BA28 BA37 BA66 BJ30 BP10 4H039 CA66 CF10

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一般式(I) 【化1】 (式中、Rは炭素原子数3〜10のアルキル基又は炭素
    原子数5〜12のシクロアルキル基(アルキル置換基を
    有していてもよい。)を示す。)で表される2−アルコ
    キシエチルオキシカルボニル−5−ノルボルネン類。
  2. 【請求項2】式(II) 【化2】 で表される5−ノルボルネン−2−カルボン酸を酸触媒
    の存在下に一般式(III) 【化3】 (式中、Rは炭素原子数3〜10のアルキル基又は炭素
    原子数5〜12のシクロアルキル基(アルキル置換基を
    有していてもよい。)を示す。)で表されるアルキルビ
    ニルエーテルと反応させることを特徴とする請求項1に
    記載の2−アルコキシエチルオキシカルボニル−5−ノ
    ルボルネン類の製造方法。
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JP2007314570A (ja) * 2007-08-06 2007-12-06 Mitsubishi Rayon Co Ltd アダマンタン誘導体の製造方法
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