JP2002200833A - 金属酸化物膜のパターン化方法 - Google Patents
金属酸化物膜のパターン化方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 長尺あるいは大面積フィルムであっても、緻
密で均質な金属酸化物膜のパターン化を簡便かつ連続的
に実現できる方法を提供する。 【解決手段】 合成樹脂フィルム上に水溶性樹脂をパタ
ーン印刷する工程と、合成樹脂フィルムのパターン印刷
面の全面に金属酸化物を蒸着する工程と、その合成樹脂
フィルムを水洗して水溶性のパターン印刷部とその表層
に蒸着された金属酸化物膜とを同時に除去する工程によ
り、金属酸化物膜をパターン化するか、あるいは、合成
樹脂フィルム上に易剥離性樹脂をパターン印刷する工程
と、合成樹脂フィルムのパターン印刷面の全面に金属酸
化物を蒸着する工程と、その合成樹脂フィルムの蒸着面
全面にドライラミネートフィルムまたは強粘着フィルム
を貼り合わせて剥がすことで前記ドライラミネートフィ
ルムまたは強粘着フィルムとともにパターン印刷部およ
びその表層に蒸着された金属酸化物膜とを同時に除去す
る工程により、金属酸化物膜をパターン化する。
密で均質な金属酸化物膜のパターン化を簡便かつ連続的
に実現できる方法を提供する。 【解決手段】 合成樹脂フィルム上に水溶性樹脂をパタ
ーン印刷する工程と、合成樹脂フィルムのパターン印刷
面の全面に金属酸化物を蒸着する工程と、その合成樹脂
フィルムを水洗して水溶性のパターン印刷部とその表層
に蒸着された金属酸化物膜とを同時に除去する工程によ
り、金属酸化物膜をパターン化するか、あるいは、合成
樹脂フィルム上に易剥離性樹脂をパターン印刷する工程
と、合成樹脂フィルムのパターン印刷面の全面に金属酸
化物を蒸着する工程と、その合成樹脂フィルムの蒸着面
全面にドライラミネートフィルムまたは強粘着フィルム
を貼り合わせて剥がすことで前記ドライラミネートフィ
ルムまたは強粘着フィルムとともにパターン印刷部およ
びその表層に蒸着された金属酸化物膜とを同時に除去す
る工程により、金属酸化物膜をパターン化する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この出願の発明は、金属酸化
物膜のパターン化方法に関するものである。さらに詳し
くは、この出願の発明は、長尺あるいは大面積フィルム
であっても、緻密で均質な金属酸化物膜のパターン化を
簡便かつ連続的に実現できる方法に関するものである。
物膜のパターン化方法に関するものである。さらに詳し
くは、この出願の発明は、長尺あるいは大面積フィルム
であっても、緻密で均質な金属酸化物膜のパターン化を
簡便かつ連続的に実現できる方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術とその課題】フィルム上に透明導電膜をパ
ターニン化する方法としては、従来より、エッチングや
パターン印刷による方法等が知られている。
ターニン化する方法としては、従来より、エッチングや
パターン印刷による方法等が知られている。
【０００３】エッチング法は、たとえば、金属酸化物で
あるＩＴＯ（インジウム錫酸化物），ＺｎＯ等をフィル
ム全面に蒸着し、その蒸着膜のフォトマスク等によって
保護した部分以外を塩酸等によってエッチングする方法
であり、最も一般的に利用されているパターン化方法で
ある。パターン印刷法は、たとえば、導電体金属の微粉
末をインク中に分散させて、シルク印刷，オフセット印
刷，グラビア印刷等によりフィルム上にパターン印刷す
る方法である。
あるＩＴＯ（インジウム錫酸化物），ＺｎＯ等をフィル
ム全面に蒸着し、その蒸着膜のフォトマスク等によって
保護した部分以外を塩酸等によってエッチングする方法
であり、最も一般的に利用されているパターン化方法で
ある。パターン印刷法は、たとえば、導電体金属の微粉
末をインク中に分散させて、シルク印刷，オフセット印
刷，グラビア印刷等によりフィルム上にパターン印刷す
る方法である。
【０００４】しかしながら、前者のエッチング法では、
エッチング工程においてフィルムの大きさに限界があり
一般的には枚葉化してエッチングするため、フィルム幅
いっぱいを利用した大面積パターンには適用できなかっ
た。そして後者のパターン印刷による方法では、導電体
金属微粉末として銀，銅，カーボン等の金属を用いる場
合にはフィルムの透明性を損ねてしまうという問題があ
り、一方でＩＴＯ，ＺｎＯ等の金属酸化物を用いる場合
には、十分な導電性膜を得ることはできないという問題
があった。
エッチング工程においてフィルムの大きさに限界があり
一般的には枚葉化してエッチングするため、フィルム幅
いっぱいを利用した大面積パターンには適用できなかっ
た。そして後者のパターン印刷による方法では、導電体
金属微粉末として銀，銅，カーボン等の金属を用いる場
合にはフィルムの透明性を損ねてしまうという問題があ
り、一方でＩＴＯ，ＺｎＯ等の金属酸化物を用いる場合
には、十分な導電性膜を得ることはできないという問題
があった。
【０００５】そこで、この出願の発明は、以上の通りの
事情に鑑みてなされたものであり、従来技術の問題点を
解消し、長尺あるいは大面積フィルムであっても、緻密
で均質な金属酸化物膜のパターン化を簡便かつ連続的に
実現できる方法を提供することを課題としている。
事情に鑑みてなされたものであり、従来技術の問題点を
解消し、長尺あるいは大面積フィルムであっても、緻密
で均質な金属酸化物膜のパターン化を簡便かつ連続的に
実現できる方法を提供することを課題としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そこで、この出願の発明
は、上記の課題を解決するものとして、以下の通りの発
明を提供する。
は、上記の課題を解決するものとして、以下の通りの発
明を提供する。
【０００７】すなわち、まず第１には、この出願の発明
は、合成樹脂フィルム上に水溶性樹脂をパターン印刷す
る工程と、合成樹脂フィルムのパターン印刷面の全面に
金属酸化物を蒸着する工程と、その合成樹脂フィルムを
水洗して水溶性のパターン印刷部とその表層に蒸着され
た金属酸化物膜とを同時に除去する工程とを含むことを
特徴とする金属酸化物膜のパターン化方法を提供し、第
２には、前記第１の発明において、水溶性樹脂が、メチ
ルセルロース，エチルセルロース，カルボキシメチルセ
ルロース，ヒドロキシプロピルセルロース，ポリビニル
アルコールのいずれか１種あるいは２種以上の混合物で
あることを特徴とする金属酸化物膜のパターン化方法を
提供する。
は、合成樹脂フィルム上に水溶性樹脂をパターン印刷す
る工程と、合成樹脂フィルムのパターン印刷面の全面に
金属酸化物を蒸着する工程と、その合成樹脂フィルムを
水洗して水溶性のパターン印刷部とその表層に蒸着され
た金属酸化物膜とを同時に除去する工程とを含むことを
特徴とする金属酸化物膜のパターン化方法を提供し、第
２には、前記第１の発明において、水溶性樹脂が、メチ
ルセルロース，エチルセルロース，カルボキシメチルセ
ルロース，ヒドロキシプロピルセルロース，ポリビニル
アルコールのいずれか１種あるいは２種以上の混合物で
あることを特徴とする金属酸化物膜のパターン化方法を
提供する。
【０００８】そして、第３に、この出願の発明は、合成
樹脂フィルム上に易剥離性樹脂をパターン印刷する工程
と、合成樹脂フィルムのパターン印刷面の全面に金属酸
化物を蒸着する工程と、その合成樹脂フィルムの蒸着面
全面にドライラミネートフィルムまたは強粘着フィルム
を貼り合わせて剥がすことで前記ドライラミネートフィ
ルムまたは強粘着フィルムとともにパターン印刷部およ
びその表層に蒸着された金属酸化物膜とを同時に除去す
る工程とを含むことを特徴とする金属酸化物膜のパター
ン化方法を、第４には、前記第３の発明において、易剥
離性樹脂が、ニトロセルロース，ヒドロキシエチルセル
ロース，ヒドロキシプロピルセルロース，セルロースア
セテート，塩化ゴム，塩素化ポリプロピレン，ポリメチ
ルメタアクリレート，ウレタンアクリレート，エポキシ
アクリレートのいずれか１種あるいは２種以上の混合物
であることを特徴とする金属酸化物膜のパターン化方法
を提供する。
樹脂フィルム上に易剥離性樹脂をパターン印刷する工程
と、合成樹脂フィルムのパターン印刷面の全面に金属酸
化物を蒸着する工程と、その合成樹脂フィルムの蒸着面
全面にドライラミネートフィルムまたは強粘着フィルム
を貼り合わせて剥がすことで前記ドライラミネートフィ
ルムまたは強粘着フィルムとともにパターン印刷部およ
びその表層に蒸着された金属酸化物膜とを同時に除去す
る工程とを含むことを特徴とする金属酸化物膜のパター
ン化方法を、第４には、前記第３の発明において、易剥
離性樹脂が、ニトロセルロース，ヒドロキシエチルセル
ロース，ヒドロキシプロピルセルロース，セルロースア
セテート，塩化ゴム，塩素化ポリプロピレン，ポリメチ
ルメタアクリレート，ウレタンアクリレート，エポキシ
アクリレートのいずれか１種あるいは２種以上の混合物
であることを特徴とする金属酸化物膜のパターン化方法
を提供する。
【０００９】
【発明の実施の形態】この出願の発明は、上記の通りの
特徴を持つものであるが、以下にその実施の形態につい
て説明する。
特徴を持つものであるが、以下にその実施の形態につい
て説明する。
【００１０】まず、この出願の発明が提供する金属酸化
物膜のパターン化方法は、印刷技術および蒸着技術の組
み合わせに加え、パターン印刷材を巧み選択すること
で、基材上の蒸着膜の不要部分をパターン印刷部ととも
に除去して目的のパターンを得るようにしたものであ
る。すなわち、図１の工程図に例示したように、この出
願の発明の方法は、（イ）合成樹脂フィルム上に、
（ロ）水溶性樹脂をパターン印刷する工程と、（ハ）合
成樹脂フィルムのパターン印刷面の全面に金属酸化物を
蒸着する工程と、（ニ）その合成樹脂フィルムを水洗し
て水溶性のパターン印刷部とその表層に蒸着された金属
酸化物膜とを同時に除去する工程、を含んでいる。この
出願の発明の方法において、合成樹脂フィルムは、図１
には示されていないが広巾でしかも長尺のロールフィル
ムであってよく、その材質等は特に制限されない。長尺
のロールフィルムを用いる場合には、この発明の方法の
各工程は、フィルムの巻出しから巻取りまでの搬送途中
に施すことができる。また一般に、合成樹脂フィルムは
製品となる段階で、易接着コート，ハードコート等の各
種のコーティング処理が施されているが、このようなコ
ーティング処理を施された合成樹脂フィルムを用いても
もちろん構わない。この合成樹脂フィルムの表面に、水
溶性樹脂を、所望の金属酸化物蒸着パターンを反転させ
た形状にパターン印刷し、乾燥させる。
物膜のパターン化方法は、印刷技術および蒸着技術の組
み合わせに加え、パターン印刷材を巧み選択すること
で、基材上の蒸着膜の不要部分をパターン印刷部ととも
に除去して目的のパターンを得るようにしたものであ
る。すなわち、図１の工程図に例示したように、この出
願の発明の方法は、（イ）合成樹脂フィルム上に、
（ロ）水溶性樹脂をパターン印刷する工程と、（ハ）合
成樹脂フィルムのパターン印刷面の全面に金属酸化物を
蒸着する工程と、（ニ）その合成樹脂フィルムを水洗し
て水溶性のパターン印刷部とその表層に蒸着された金属
酸化物膜とを同時に除去する工程、を含んでいる。この
出願の発明の方法において、合成樹脂フィルムは、図１
には示されていないが広巾でしかも長尺のロールフィル
ムであってよく、その材質等は特に制限されない。長尺
のロールフィルムを用いる場合には、この発明の方法の
各工程は、フィルムの巻出しから巻取りまでの搬送途中
に施すことができる。また一般に、合成樹脂フィルムは
製品となる段階で、易接着コート，ハードコート等の各
種のコーティング処理が施されているが、このようなコ
ーティング処理を施された合成樹脂フィルムを用いても
もちろん構わない。この合成樹脂フィルムの表面に、水
溶性樹脂を、所望の金属酸化物蒸着パターンを反転させ
た形状にパターン印刷し、乾燥させる。
【００１１】水溶性樹脂としては、メチルセルロース，
エチルセルロース，カルボキシメチルセルロース，ヒド
ロキシプロピルセルロース，ポリビニルアルコールのい
ずれか１種あるいは２種以上の混合物を用いることがで
きる。水溶性樹脂は、たとえば、水やアルコール等で希
釈し、パターン印刷に用いる。印刷方法は、シルク印
刷，オフセット印刷，グラビア印刷等の従来法を利用す
ることができる。水溶性樹脂のパターン印刷部の厚さ
は、使用する樹脂の種類等によっても異なるが、０．５
〜５μｍ程度とすることが好ましい。パターン印刷部の
厚さが、０．５μｍより薄いと十分な強度が得られない
場合があり、５μｍより厚いと乾燥に長時間を要してし
まう。
エチルセルロース，カルボキシメチルセルロース，ヒド
ロキシプロピルセルロース，ポリビニルアルコールのい
ずれか１種あるいは２種以上の混合物を用いることがで
きる。水溶性樹脂は、たとえば、水やアルコール等で希
釈し、パターン印刷に用いる。印刷方法は、シルク印
刷，オフセット印刷，グラビア印刷等の従来法を利用す
ることができる。水溶性樹脂のパターン印刷部の厚さ
は、使用する樹脂の種類等によっても異なるが、０．５
〜５μｍ程度とすることが好ましい。パターン印刷部の
厚さが、０．５μｍより薄いと十分な強度が得られない
場合があり、５μｍより厚いと乾燥に長時間を要してし
まう。
【００１２】次いで、パターン印刷部の上から合成樹脂
フィルムの全面に金属酸化物を蒸着する。金属酸化物と
しては、透明導電性膜として多用されるＩＴＯ，ＺｎＯ
等が主な対象として例示されるが、この出願の発明にお
いては、透明導電性膜の製造を目的としたこれらの酸化
物に限定されることなく、用途に応じて種々の金属酸化
物を用いることができる。蒸着方法は、各種の従来法を
利用することができ、たとえば圧力勾配型イオンプレー
ティング法等が簡便な方法として例示される。
フィルムの全面に金属酸化物を蒸着する。金属酸化物と
しては、透明導電性膜として多用されるＩＴＯ，ＺｎＯ
等が主な対象として例示されるが、この出願の発明にお
いては、透明導電性膜の製造を目的としたこれらの酸化
物に限定されることなく、用途に応じて種々の金属酸化
物を用いることができる。蒸着方法は、各種の従来法を
利用することができ、たとえば圧力勾配型イオンプレー
ティング法等が簡便な方法として例示される。
【００１３】金属酸化物の蒸着後、合成樹脂フィルムを
水洗する。先に印刷された水溶性樹脂のパターン印刷部
は、水溶性であるために合成樹脂フィルムから洗い流さ
れ、それとともにパターン印刷部の表面に蒸着された金
属酸化物膜も合成樹脂フィルムから剥離除去される。こ
れにより、合成樹脂フィルム上に所望の金属酸化物蒸着
パターンを得ることができる。
水洗する。先に印刷された水溶性樹脂のパターン印刷部
は、水溶性であるために合成樹脂フィルムから洗い流さ
れ、それとともにパターン印刷部の表面に蒸着された金
属酸化物膜も合成樹脂フィルムから剥離除去される。こ
れにより、合成樹脂フィルム上に所望の金属酸化物蒸着
パターンを得ることができる。
【００１４】またこの出願の発明は、上記の方法におい
て、蒸着膜の不要部分の除去手段である工程（ロ）およ
び工程（二）を別の手段で実現する方法をも提供する。
すなわち、この出願の発明は、図２の工程図に例示した
ように、（イ）合成樹脂フィルム上に、（ロ’）易剥離
性樹脂をパターン印刷する工程と、（ハ）合成樹脂フィ
ルムのパターン印刷面の全面に金属酸化物を蒸着する工
程と、（ニ’）その合成樹脂フィルムの蒸着面全面にド
ライラミネートフィルムまたは強粘着フィルムを貼り合
わせて剥がすことで、前記ドライラミネートフィルムま
たは強粘着フィルムとともにパターン印刷部およびその
表層に蒸着された金属酸化物膜とを同時に除去する工
程、とを含む金属酸化物膜のパターン化方法をも提供す
る。
て、蒸着膜の不要部分の除去手段である工程（ロ）およ
び工程（二）を別の手段で実現する方法をも提供する。
すなわち、この出願の発明は、図２の工程図に例示した
ように、（イ）合成樹脂フィルム上に、（ロ’）易剥離
性樹脂をパターン印刷する工程と、（ハ）合成樹脂フィ
ルムのパターン印刷面の全面に金属酸化物を蒸着する工
程と、（ニ’）その合成樹脂フィルムの蒸着面全面にド
ライラミネートフィルムまたは強粘着フィルムを貼り合
わせて剥がすことで、前記ドライラミネートフィルムま
たは強粘着フィルムとともにパターン印刷部およびその
表層に蒸着された金属酸化物膜とを同時に除去する工
程、とを含む金属酸化物膜のパターン化方法をも提供す
る。
【００１５】この発明の方法においては、前記発明にお
ける水溶性樹脂の代わりに、蒸着膜の不要部分の除去手
段として易剥離性樹脂をパターン印刷する。易剥離性樹
脂は、合成樹脂フィルムおよびそのコーティング材の成
分を考慮して、対象とする合成樹脂フィルムあるいはコ
ーティング材からの剥離強度が１００ｇ／２４ｍｍ巾以
下程度、好ましくは３０ｇ／２４ｍｍ巾以下程度である
樹脂を考慮することができる。そのような樹脂として、
具体的には、たとえば、ニトロセルロース，ヒドロキシ
エチルセルロース，ヒドロキシプロピルセルロース，セ
ルロースアセテート，塩化ゴム，塩素化ポリプロピレ
ン，ポリメチルメタアクリレート，ウレタンアクリレー
ト，エポキシアクリレートのいずれか１種あるいは２種
以上の混合物を用いることが好適な例として示される。
また、より剥離性を高めるために、易剥離性樹脂に対し
て、ステアリン酸、ステアリン酸亜鉛，ステアリン酸カ
ルシウム，ステアリン酸鉛，ステアリン酸バリウム等の
ステアリン酸金属塩、ステアリン酸エステル、ステアリ
ン酸アミド、パラフィンワックス、低分子量ポリエチレ
ン、マイクロクリスタリンワックス等の滑剤を０．０５
〜２％程度添加してもよい。その場合も、合成樹脂フィ
ルムおよびそのコーティング材に対して剥離性の良いも
のを選択する必要がある。
ける水溶性樹脂の代わりに、蒸着膜の不要部分の除去手
段として易剥離性樹脂をパターン印刷する。易剥離性樹
脂は、合成樹脂フィルムおよびそのコーティング材の成
分を考慮して、対象とする合成樹脂フィルムあるいはコ
ーティング材からの剥離強度が１００ｇ／２４ｍｍ巾以
下程度、好ましくは３０ｇ／２４ｍｍ巾以下程度である
樹脂を考慮することができる。そのような樹脂として、
具体的には、たとえば、ニトロセルロース，ヒドロキシ
エチルセルロース，ヒドロキシプロピルセルロース，セ
ルロースアセテート，塩化ゴム，塩素化ポリプロピレ
ン，ポリメチルメタアクリレート，ウレタンアクリレー
ト，エポキシアクリレートのいずれか１種あるいは２種
以上の混合物を用いることが好適な例として示される。
また、より剥離性を高めるために、易剥離性樹脂に対し
て、ステアリン酸、ステアリン酸亜鉛，ステアリン酸カ
ルシウム，ステアリン酸鉛，ステアリン酸バリウム等の
ステアリン酸金属塩、ステアリン酸エステル、ステアリ
ン酸アミド、パラフィンワックス、低分子量ポリエチレ
ン、マイクロクリスタリンワックス等の滑剤を０．０５
〜２％程度添加してもよい。その場合も、合成樹脂フィ
ルムおよびそのコーティング材に対して剥離性の良いも
のを選択する必要がある。
【００１６】上記の易剥離性樹脂は溶剤で適宜希釈して
印刷に用いるが、溶剤については、合成樹脂フィルムや
その表面のコーティング材を侵したり溶解したりするも
のは避ける必要がある。一般には、グラビアインキ用の
溶剤であれば用いることができ、そのものとしては、た
とえば、トルエン，酢酸エチル，酢酸イソプロピル，酢
酸ブチル，酢酸イソブチル，メチルエチルケトン，イソ
プロピルアルコール，ダイアセトンアルコール，メチル
セロソルブ，エチルセロソルブ等やそれらを適量混合し
た溶剤等を用いることが例示される。
印刷に用いるが、溶剤については、合成樹脂フィルムや
その表面のコーティング材を侵したり溶解したりするも
のは避ける必要がある。一般には、グラビアインキ用の
溶剤であれば用いることができ、そのものとしては、た
とえば、トルエン，酢酸エチル，酢酸イソプロピル，酢
酸ブチル，酢酸イソブチル，メチルエチルケトン，イソ
プロピルアルコール，ダイアセトンアルコール，メチル
セロソルブ，エチルセロソルブ等やそれらを適量混合し
た溶剤等を用いることが例示される。
【００１７】パターン印刷の方法は、前記のとおり、シ
ルク印刷，オフセット印刷，グラビア印刷等の従来法を
利用することができ、易剥離性樹脂を用いた場合のパタ
ーン印刷部の厚さは、水溶性樹脂をパターン印刷する場
合と同じ理由から、０．５〜５μｍ程度とすることが好
ましい。
ルク印刷，オフセット印刷，グラビア印刷等の従来法を
利用することができ、易剥離性樹脂を用いた場合のパタ
ーン印刷部の厚さは、水溶性樹脂をパターン印刷する場
合と同じ理由から、０．５〜５μｍ程度とすることが好
ましい。
【００１８】次いで、パターン印刷部の上から合成樹脂
フィルムの全面に金属酸化物を蒸着するが、金属酸化物
およびその蒸着方法等も前記に記載の方法と同様であ
る。金属酸化物の蒸着後、その合成樹脂フィルムの蒸着
面全面にドライラミネートフィルムまたは強粘着フィル
ムを貼り合わせる。
フィルムの全面に金属酸化物を蒸着するが、金属酸化物
およびその蒸着方法等も前記に記載の方法と同様であ
る。金属酸化物の蒸着後、その合成樹脂フィルムの蒸着
面全面にドライラミネートフィルムまたは強粘着フィル
ムを貼り合わせる。
【００１９】まず、ドライラミネートフィルムを用いる
場合について説明すると、ドライラミネートフィルムと
しては、基材である合成樹脂フィルムからの剥離に十分
な強度等の特性を有する各種の樹脂フィルムを用いるこ
とができ、具体的には、ポリエチレンテレフタレート，
ポリプロピレン，ポリエチレン，ポリスチレン，ポリア
ミド，セロファン等からなるフィルムを用いることが例
示される。ドライラミネートフィルムの厚さは、作業性
および経済性を考慮して、２０〜１００μｍ程度とする
ことが好ましい。このドライラミネートフィルムを、接
着剤により合成樹脂フィルムの蒸着面全面にドライラミ
ネートする。
場合について説明すると、ドライラミネートフィルムと
しては、基材である合成樹脂フィルムからの剥離に十分
な強度等の特性を有する各種の樹脂フィルムを用いるこ
とができ、具体的には、ポリエチレンテレフタレート，
ポリプロピレン，ポリエチレン，ポリスチレン，ポリア
ミド，セロファン等からなるフィルムを用いることが例
示される。ドライラミネートフィルムの厚さは、作業性
および経済性を考慮して、２０〜１００μｍ程度とする
ことが好ましい。このドライラミネートフィルムを、接
着剤により合成樹脂フィルムの蒸着面全面にドライラミ
ネートする。
【００２０】ドライラミネートに用いる接着剤は、易剥
離性樹脂のパターン印刷部の剥離強度よりも接着強度が
高いものを使用することができ、具体的には、例えば、
ポリエステルウレタン樹脂，脂肪族系共重合ポリエステ
ル樹脂，共重合ポリアミド系樹脂，エポキシ系樹脂等、
接着剤として一般的に使用されているものを適宜溶剤で
希釈して用いることができる。溶剤は、トルエン，メチ
ルエチルケトン（ＭＥＫ），メチルイソブチルケトン
（ＭＩＢＫ），酢酸エチル，酢酸イソプロピル，酢酸ブ
チル，酢酸イソブチル，イソプロピルアルコール等から
なる混合溶剤を使用でき、たとえばグラビアコート等に
用いる組成とすることが好ましい。
離性樹脂のパターン印刷部の剥離強度よりも接着強度が
高いものを使用することができ、具体的には、例えば、
ポリエステルウレタン樹脂，脂肪族系共重合ポリエステ
ル樹脂，共重合ポリアミド系樹脂，エポキシ系樹脂等、
接着剤として一般的に使用されているものを適宜溶剤で
希釈して用いることができる。溶剤は、トルエン，メチ
ルエチルケトン（ＭＥＫ），メチルイソブチルケトン
（ＭＩＢＫ），酢酸エチル，酢酸イソプロピル，酢酸ブ
チル，酢酸イソブチル，イソプロピルアルコール等から
なる混合溶剤を使用でき、たとえばグラビアコート等に
用いる組成とすることが好ましい。
【００２１】ラミネートは各種の従来法で行うことがで
き、具体的には、たとえば、一般的なラミネーターを用
いて合成樹脂に接着剤を塗布しながら５０〜１００℃程
度の乾燥機で乾燥させ、タック性を少し持たせた状態
で、４０〜６０℃程度の加熱ロールおよびゴムロールの
間で押圧しながら貼り合わせる。
き、具体的には、たとえば、一般的なラミネーターを用
いて合成樹脂に接着剤を塗布しながら５０〜１００℃程
度の乾燥機で乾燥させ、タック性を少し持たせた状態
で、４０〜６０℃程度の加熱ロールおよびゴムロールの
間で押圧しながら貼り合わせる。
【００２２】また、強粘着フィルムを用いる場合は、強
粘着フィルムとしては、フィルム部が上記のドライラミ
ネートフィルムと同様の素材からなる粘着フィルムであ
って、合成樹脂から易剥離性樹脂のパターン印刷部を剥
離するに十分な粘着強度を有するものを用いることがで
きる。たとえば、易剥離性樹脂のパターン印刷部の剥離
強度が１００ｇ／２４ｍｍ巾程度である場合には、１０
０ｇ／２４ｍｍ巾を超える強粘着力を示す強粘着フィル
ムを使用することができる。強粘着フィルムは、たとえ
ば、金属ロールとゴムロールで押圧しながら貼り合わせ
る。
粘着フィルムとしては、フィルム部が上記のドライラミ
ネートフィルムと同様の素材からなる粘着フィルムであ
って、合成樹脂から易剥離性樹脂のパターン印刷部を剥
離するに十分な粘着強度を有するものを用いることがで
きる。たとえば、易剥離性樹脂のパターン印刷部の剥離
強度が１００ｇ／２４ｍｍ巾程度である場合には、１０
０ｇ／２４ｍｍ巾を超える強粘着力を示す強粘着フィル
ムを使用することができる。強粘着フィルムは、たとえ
ば、金属ロールとゴムロールで押圧しながら貼り合わせ
る。
【００２３】このように貼り合わせたドライラミネート
フィルムまたは強粘着フィルムを剥離することで、基材
である合成樹脂フィルムから易剥離性樹脂のパターン印
刷部およびその表層に蒸着された金属酸化物膜とを同時
に剥離除去することができる。
フィルムまたは強粘着フィルムを剥離することで、基材
である合成樹脂フィルムから易剥離性樹脂のパターン印
刷部およびその表層に蒸着された金属酸化物膜とを同時
に剥離除去することができる。
【００２４】この出願の発明の方法によると、水溶性樹
脂あるいは易剥離性樹脂が合成樹脂フィルム上に残存す
ることなく、また合成樹脂フィルムが破損することもな
く、合成樹脂フィルム上に均質で緻密な所望の金属酸化
物蒸着パターンを得ることができる。合成樹脂フィルム
上に、細かく複雑な金属酸化物蒸着パターンを得ること
や、たとえば１ｍ程度のフィルム巾を最大限に利用した
大面積の金属酸化物蒸着パターン等を簡便につくること
も可能となる。また、合成樹脂フィルムがロール状の長
尺フィルムであっても、その巻出しから巻取りまでの間
に連続的にパターニングすることができ、導電性に優
れ、均質かつ緻密な透明導電膜を容易に得ることができ
る。
脂あるいは易剥離性樹脂が合成樹脂フィルム上に残存す
ることなく、また合成樹脂フィルムが破損することもな
く、合成樹脂フィルム上に均質で緻密な所望の金属酸化
物蒸着パターンを得ることができる。合成樹脂フィルム
上に、細かく複雑な金属酸化物蒸着パターンを得ること
や、たとえば１ｍ程度のフィルム巾を最大限に利用した
大面積の金属酸化物蒸着パターン等を簡便につくること
も可能となる。また、合成樹脂フィルムがロール状の長
尺フィルムであっても、その巻出しから巻取りまでの間
に連続的にパターニングすることができ、導電性に優
れ、均質かつ緻密な透明導電膜を容易に得ることができ
る。
【００２５】以下、この発明の実施の形態についてさら
に詳しく説明する。
に詳しく説明する。
【００２６】
【実施例】（実施例１）厚さ５０μｍのポリエチレンテ
レフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）の表面に、ヒ
ドロキシプロピルセルロース３重量部をイソプロピルア
ルコール９７重量部に溶かした水溶性樹脂溶液を、グラ
ビアコーターを用いて、５ｍｍ巾，２０ｍｍ間隔の縞状
にパターン印刷した。
レフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）の表面に、ヒ
ドロキシプロピルセルロース３重量部をイソプロピルア
ルコール９７重量部に溶かした水溶性樹脂溶液を、グラ
ビアコーターを用いて、５ｍｍ巾，２０ｍｍ間隔の縞状
にパターン印刷した。
【００２７】次いで、ＰＥＴフィルムのパターン印刷面
上に、圧力勾配型イオンプレーティング装置を用いてＩ
ＴＯを１５ｍ／ｍｉｎの速度で全面に蒸着させた。この
ＰＥＴフィルムを水洗機を用いて水洗したところ、ヒド
ロキシプロピルセルロースと共にその上面に蒸着された
ＩＴＯ膜が５ｍｍ巾で剥離した。ＰＥＴフィルム上に
は、ヒドロキシプロピルセルロースが印刷されなかった
部分に対応して、２０ｍｍ巾，５ｍｍ間隔の縞状にＩＴ
Ｏ蒸着が残され、ＩＴＯパターン膜が得られた。 （実施例２）巾８００ｍｍ，厚さ５０μｍの長尺ポリエ
チレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）をロ
ールから巻出し、その表面に、ニトロセルロース１０重
量部（ＲＳ１／２，ダイセル化学製）をメチルセロソル
ブ９０重量部に溶解させた易剥離性樹脂溶液を、直径５
ｍｍの円が縦横１０ｍｍ間隔の碁盤目状に、グラビアコ
ーターを用いて２０ｍ／ｍｉｎの速度でパターン印刷
し、１００℃の乾燥器を通して巻取りトールに巻き取っ
た。この場合の易剥離性樹脂層の厚さは約３μｍであっ
た。
上に、圧力勾配型イオンプレーティング装置を用いてＩ
ＴＯを１５ｍ／ｍｉｎの速度で全面に蒸着させた。この
ＰＥＴフィルムを水洗機を用いて水洗したところ、ヒド
ロキシプロピルセルロースと共にその上面に蒸着された
ＩＴＯ膜が５ｍｍ巾で剥離した。ＰＥＴフィルム上に
は、ヒドロキシプロピルセルロースが印刷されなかった
部分に対応して、２０ｍｍ巾，５ｍｍ間隔の縞状にＩＴ
Ｏ蒸着が残され、ＩＴＯパターン膜が得られた。 （実施例２）巾８００ｍｍ，厚さ５０μｍの長尺ポリエ
チレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）をロ
ールから巻出し、その表面に、ニトロセルロース１０重
量部（ＲＳ１／２，ダイセル化学製）をメチルセロソル
ブ９０重量部に溶解させた易剥離性樹脂溶液を、直径５
ｍｍの円が縦横１０ｍｍ間隔の碁盤目状に、グラビアコ
ーターを用いて２０ｍ／ｍｉｎの速度でパターン印刷
し、１００℃の乾燥器を通して巻取りトールに巻き取っ
た。この場合の易剥離性樹脂層の厚さは約３μｍであっ
た。
【００２８】次いで、ＰＥＴフィルムのパターン印刷面
上に、圧力勾配型イオンプレーティング装置を用いてＩ
ＴＯを１５ｍ／ｍｉｎの速度で全面に蒸着させた。さら
に、このＰＥＴフィルムのＩＴＯ蒸着面に、厚さ５０μ
ｍのＰＥＴフィルムをドライラミネートした。ドライラ
ミネートは、ＰＥＴフィルムのＩＴＯ蒸着面に、ポリエ
ステルウレタン樹脂１０重量部とトルエン：メチルエチ
ルケトン＝１：１の溶液１００重量部からなる粘着剤を
２０ｍ／ｍｉｎで塗布し、７０℃の乾燥器でタック性を
少し持たせた状態に乾燥させ、４０℃の金属ロールとゴ
ムロールで押圧しながらラミネート用ＰＥＴフィルムを
貼り合わせた。
上に、圧力勾配型イオンプレーティング装置を用いてＩ
ＴＯを１５ｍ／ｍｉｎの速度で全面に蒸着させた。さら
に、このＰＥＴフィルムのＩＴＯ蒸着面に、厚さ５０μ
ｍのＰＥＴフィルムをドライラミネートした。ドライラ
ミネートは、ＰＥＴフィルムのＩＴＯ蒸着面に、ポリエ
ステルウレタン樹脂１０重量部とトルエン：メチルエチ
ルケトン＝１：１の溶液１００重量部からなる粘着剤を
２０ｍ／ｍｉｎで塗布し、７０℃の乾燥器でタック性を
少し持たせた状態に乾燥させ、４０℃の金属ロールとゴ
ムロールで押圧しながらラミネート用ＰＥＴフィルムを
貼り合わせた。
【００２９】このラミネート用ＰＥＴフィルムを剥がし
たところ、易剥離性樹脂であるニトロセルロースと共に
その上面に蒸着されたＩＴＯ膜が直径５ｍｍの円型で剥
離した。ＰＥＴフィルム上には、ニトロセルロースが印
刷されなかった部分に対応して、直径５ｍｍの円が縦横
１０ｍｍ間隔の碁盤目状に抜けた状態でＩＴＯ蒸着が残
された。易剥離性樹脂を塗布したＩＴＯ蒸着膜が残存す
ることなく、所望のＩＴＯパターン膜が得られた。
たところ、易剥離性樹脂であるニトロセルロースと共に
その上面に蒸着されたＩＴＯ膜が直径５ｍｍの円型で剥
離した。ＰＥＴフィルム上には、ニトロセルロースが印
刷されなかった部分に対応して、直径５ｍｍの円が縦横
１０ｍｍ間隔の碁盤目状に抜けた状態でＩＴＯ蒸着が残
された。易剥離性樹脂を塗布したＩＴＯ蒸着膜が残存す
ることなく、所望のＩＴＯパターン膜が得られた。
【００３０】もちろん、この発明は以上の例に限定され
るものではなく、細部については様々な態様が可能であ
ることは言うまでもない。
るものではなく、細部については様々な態様が可能であ
ることは言うまでもない。
【００３１】
【発明の効果】以上詳しく説明した通り、この発明によ
って、長尺あるいは大面積フィルムであっても、緻密で
均質な金属酸化物膜のパターン化を簡便かつ連続的に実
現できる方法が提供される。
って、長尺あるいは大面積フィルムであっても、緻密で
均質な金属酸化物膜のパターン化を簡便かつ連続的に実
現できる方法が提供される。
【図１】水溶性樹脂を用いる場合のこの出願の発明の方
法を例示した工程図である。
法を例示した工程図である。
【図２】ドライラミネートフィルムまたは強粘着フィル
ムを用いる場合のこの出願の発明の方法を例示した工程
図である。
ムを用いる場合のこの出願の発明の方法を例示した工程
図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ４１Ｍ 1/12 Ｂ４１Ｍ 1/12 Ｃ２３Ｃ 14/58 Ｃ２３Ｃ 14/58 Ｚ // Ｈ０５Ｋ 3/02 Ｈ０５Ｋ 3/02 Ａ Ｆターム(参考） 2H113 BA03 BA05 BA09 BB08 BB22 CA17 DA43 DA46 DA52 DA53 4F100 AA17B AA33B AK01A AK42A BA02 EC042 EH662 EJ911 GB90 HB31 JG01 4K029 AA11 AA25 BA50 BB03 BC09 FA07 GA05 5E339 AA02 AB02 BB01 BC05 BD03 BD05 BD13 GG10
Claims (4)
- 【請求項１】 合成樹脂フィルム上に水溶性樹脂をパタ
ーン印刷する工程と、合成樹脂フィルムのパターン印刷
面の全面に金属酸化物を蒸着する工程と、その合成樹脂
フィルムを水洗して水溶性のパターン印刷部とその表層
に蒸着された金属酸化物膜とを同時に除去する工程とを
含むことを特徴とする金属酸化物膜のパターン化方法。 - 【請求項２】 水溶性樹脂が、メチルセルロース，エチ
ルセルロース，カルボキシメチルセルロース，ヒドロキ
シプロピルセルロース，ポリビニルアルコールのいずれ
か１種あるいは２種以上の混合物であることを特徴とす
る請求項１記載の金属酸化物膜のパターン化方法。 - 【請求項３】 合成樹脂フィルム上に易剥離性樹脂をパ
ターン印刷する工程と、合成樹脂フィルムのパターン印
刷面の全面に金属酸化物を蒸着する工程と、その合成樹
脂フィルムの蒸着面全面にドライラミネートフィルムま
たは強粘着フィルムを貼り合わせて剥がすことで前記ド
ライラミネートフィルムまたは強粘着フィルムとともに
パターン印刷部およびその表層に蒸着された金属酸化物
膜とを同時に除去する工程とを含む金属酸化物膜のパタ
ーン化方法。 - 【請求項４】 易剥離性樹脂が、ニトロセルロース，ヒ
ドロキシエチルセルロース，ヒドロキシプロピルセルロ
ース，セルロースアセテート，塩化ゴム，塩素化ポリプ
ロピレン，ポリメチルメタアクリレート，ウレタンアク
リレート，エポキシアクリレートのいずれか１種あるい
は２種以上の混合物であることを特徴とする請求項３記
載の金属酸化物膜のパターン化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000400937A JP2002200833A (ja) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | 金属酸化物膜のパターン化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000400937A JP2002200833A (ja) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | 金属酸化物膜のパターン化方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002200833A true JP2002200833A (ja) | 2002-07-16 |
Family
ID=18865440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000400937A Withdrawn JP2002200833A (ja) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | 金属酸化物膜のパターン化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002200833A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002264461A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-09-18 | Dainippon Ink & Chem Inc | 積層パターン形成方法 |
| JP2006511700A (ja) * | 2002-11-20 | 2006-04-06 | レオナード クルツ ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー | 部分的に金属被膜が付されたフィルムエレメントの製造方法 |
| JP2013065838A (ja) * | 2011-09-19 | 2013-04-11 | Xerox Corp | 基板上に導電体を形成するためのシステムおよび方法 |
| WO2014050421A1 (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-03 | 東レ株式会社 | 配線パターンの形成方法および配線パターン形成物 |
-
2000
- 2000-12-28 JP JP2000400937A patent/JP2002200833A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002264461A (ja) * | 2001-03-09 | 2002-09-18 | Dainippon Ink & Chem Inc | 積層パターン形成方法 |
| JP2006511700A (ja) * | 2002-11-20 | 2006-04-06 | レオナード クルツ ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー | 部分的に金属被膜が付されたフィルムエレメントの製造方法 |
| JP2013065838A (ja) * | 2011-09-19 | 2013-04-11 | Xerox Corp | 基板上に導電体を形成するためのシステムおよび方法 |
| WO2014050421A1 (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-03 | 東レ株式会社 | 配線パターンの形成方法および配線パターン形成物 |
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