JP2002181738A - Ｘ線システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】超小型電気装置の内部構造を観察するシステム
の改良。 【解決手段】開口を有する内側ハウジング４１を、開口
を有する外側ハウジング４２内に隙間を置いて完全に挿
入可能であり、内側および外側ハウジング４１、４２
が、ハウジング４１、４２を所定の関係に固定して離隔
配置する取り付け手段を有するＸ線システム用のキャビ
ネット４０であって、鉛シールドが、内側および外側ハ
ウジング４１、４２間に延在する実質的に完全な中間層
を含み、開口に鉛で裏打ちされたクロージュアを設けた
キャビネット。

Description

【発明の詳細な説明】 【発明の属する技術分野】

【０００１】本発明は、Ｘ線システム、特に超小型電気
装置の内部構造を観察するシステムに関する。

【０００２】

【従来の技術】超小型電気装置は、電気リード線を装置
にはんだ付けするための外部電気ボンドを有することが
知られている。この種類のボンドは、肉眼で見るには小
さすぎるため、通常、拡大装置を使用して目視検査され
る。一般的に、そのようなボンドは直径が２〜３ミクロ
ンである。

【０００３】さらに最近では、そのような装置は、二つ
の電気部品の平らな界面に形成された電気ボンドを含
む。もちろん、そのようなボンドは、面間接触によって
肉眼では見えないように隠れており、Ｘ線検査装置を使
用してそのようなボンドを検査することが提案されてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、設
計、製造および使用の点で改良されているＸ線検査装置
を提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の第一態様は、Ｘ
線検査システム用のキャビネットに関する。一般的に、
キャビネットは、システム構成部品の機械的支持を提供
するフレームと、機械的、電気的および放射線の危険性
に対する保護を提供するエンクロージュアとを含む。

【０００６】周知のキャビネットは、充填パネル（infi
ll panels）を取り付けられる骨組みフレームを含み、
このフレームは、Ｘ線システムと関連の機械的および電
気的機器を支持するように設計されている。放射線を収
容するために鉛シートがフレームに付けられており、外
側クラッディングパネル（cladding panel）まで続いて
いる。

【０００７】この形式の構造の重大な問題は、フレーム
の構成要素と、そのフレームに取り付けられる充填およ
びクラッディングパネルとを製造して組み立てるのに非
常に時間および費用がかかることである。また、確実に
鉛シールドをフレームに密着させて、このように十分な
効果が得られる、とは保証し難い。さらなる問題とし
て、外部クラッディングパネル用の付属装置に備えて外
部に突出しているフレーム部分をシールドすることは、
非常に困難である。さらに、骨組みフレームは、離隔配
置されたフレーム部材を有し、これは、アダプタプレー
トやサブフレーム等を使用しなければ、構成部品の異な
った内部配置に適用することができないであろう。

【０００８】本発明の第一態様によれば、開口を有し、
開口を有する外側ハウジング内に隙間を置いて完全に挿
入可能である内側ハウジングを含み、上記内側および外
側ハウジングは、ハウジングを所定の関係に固定して離
隔配置する取り付け手段を有しているＸ線システム用の
キャビネットであって、鉛シールドは、上記内側および
外側ハウジング間に延在する実質的に完全な中間層を含
み、また、上記開口には鉛で裏打ちされたクロージュア
が設けられている。

【０００９】このような構造は、内側および外側ハウジ
ングの空間によって、比較的軽量であると共に本来的に
硬いキャビネットを提供する。好ましくは中間鉛シール
ドは、外側ハウジングを組み付ける前に、実質的に内側
ハウジングの外側全体に付着され、また従来技術のフレ
ームが存在しないため、付着が比較的容易である。内側
および外側ハウジングの取り付け領域では、特別なシー
ルド方法をとる必要があるが、骨組みフレームが外部に
突出している従来のキャビネット構造の場合よりも問題
が少なく、いずれにしても、これらの付属装置は、内側
ハウジングに鉛シールドを付着させた後に形成すること
ができる。本発明のこの態様に従ったキャビネットは、
従来のキャビネットよりも製造および組み立てが相当に
低コストになる。

【００１０】本発明のキャビネットは、従来技術の外側
クラッディングに代わる外側ハウジングが、鉛シールド
を完全に包囲する一方で、キャビネットの強度および剛
性を与えるという特別な利点を有する。さらに、外側ハ
ウジングは、鉛シールド用の一体形シェルを含み、たと
えば、内側ハウジングにシールドを取り付ける手段の故
障の際に、シールドを適所に維持することができる。シ
ールドは好ましくは、外側ハウジングの内向き突出ボス
によって支持されている。個別の充填およびクラッディ
ングパネルが必要ないため、キャビネット用の締結具の
数が従来構造より実質的に減少し、キャビネットの重量
も実質的に減少する。

【００１１】内側ハウジングは、構成部品をいずれの場
所でも支持することができる負荷担持エンクロージュア
を含み、したがって、このキャビネットは、構成部品の
多くの内部配置に適用可能であり、別の配置の場合に
も、アダプタプレートなどを用いずに再使用することが
できる。

【００１２】Ｘ線検査装置は、Ｘ線ビームを放射するＸ
線源と、ビームを受けとり、画像を形成できるようにす
る画像増倍管とを有する。線源と増倍管との間に置かれ
た物体が、Ｘ線を吸収して、影が画像として現れるよう
にする。物体および増倍管を線源に対して移動させるこ
とによって、画像を拡大することができる。ビデオカメ
ラが、画像のリアルタイム表示を検査装置の外部のモニ
タに行う。

【００１３】物体は、Ｘ、ＹおよびＺ軸方向に移動可能
なマニピュレータ上に載置することができ、増倍管は一
般的に、Ｘ線ビームと一直線に並んだＺ軸上に配置され
ている。そのような構成よって、物体をＺ軸に沿って線
源に接離する方向に移動させ、ＸＹ平面を横行させるこ
とができる。マニピュレータを所望の三軸方向に移動さ
せる装置は周知である。

【００１４】物体をＺ軸に沿った方向以外で検査できる
ことが有用であると思われ、本発明は、この要求に対し
てコンパクトで比較的簡単な解決策を提供している。

【００１５】本発明の第二態様によれば、Ｘ線検査装置
の可動支持体は、平面フレームと、上記フレームに搭載
されて、フレームの平面上を第一を第一方向で左右に移
動可能な第一キャリッジと、上記キャリッジをフレーム
に対して移動させる駆動手段とを含み、上記キャリッジ
は、上記平面上で上記第一方向に直交する軸中心に回動
可能である。

【００１６】このような構成によって、増倍管をキャリ
ッジに搭載して、キャリッジがフレーム内で公称位置か
ら横方向に移動する時、相対的に固定されたＸ線源の方
に傾斜させることができる。

【００１７】このため、公称位置では、Ｘ線源および画
像増倍管が、その間の物体とＺ軸上に一列に並べられ
る。上記増倍管を横方向に移動させ、それを線源の方に
傾斜させることによって、物体をある角度で見ることが
できるので、たとえば、４５°までの非垂直方向検査を
行うことができる。独自の特徴となる画像が視野の中心
に位置するように、物体を横方向に移動させることもで
き、また、倍率を変化させるために、物体を増倍管に接
離する方向に移動させることができる。

【００１８】好ましくは、キャリッジは±４５°で検査
を行うことができるように、公称位置の両側に回動可能
である。好適な実施形態では、第一キャリッジ自体は、
第一キャリッジの傾斜面に直角をなす平面上で傾斜する
ことができる第二キャリッジに搭載されている。この構
成によって、物体の全周観察を行うことができる。

【００１９】別の実施形態では、キャリッジは、直線的
に移動可能であって、０〜４５°で検査できるように傾
斜可能であり、物体を支持するために、回転式テーブル
がマニピュレータ上に設けられている。この構成も、物
体を画像増倍管の視野と一直線になるようにテーブルを
３６０°まで回転させることによって、物体の全周観察
を行うことができる。

【００２０】正確な整合が確実に行われるように、キャ
リッジおよびマニピュレータは好ましくはサーボ制御さ
れる。回転式テーブルが設けられている場合、基準位置
からの正確な角変位を確実にするために、好ましくは回
転式テーブルもサーボ制御される。

【００２１】好適な実施形態では、上記または各キャリ
ッジは、フレームを横切って延在する上部および下部リ
ニアベアリングに取り付けられて、好ましくは歯形ベル
ト駆動部によって、一方のベアリングが他方より相対的
に高速になるようにして駆動される。この構造によっ
て、公称（垂直）位置に対する正確な回動を確保できる
と共に、画像増倍管軸を中心位置に確実に保つことがで
きる。

【００２２】単一のモータが、上下ベアリングの両方ま
での歯形ベルト駆動部を与えることができ、異なった直
径の駆動ピニオンによって速度差が得られる。そのよう
な構造は、精巧であると共に空間効率が高い。

【００２３】各キャリッジは、キャリッジの傾動中に連
結部が分離方向に移動するように、一つの固定式連結部
および一つの摺動式連結部でリニアベアリングに搭載さ
れている。

【００２４】本発明のよるＸ線検査装置は、従来型ジョ
イスティック技術、または個々のサーボモータ用の個別
制御部によって制御することができる。

【００２５】一般的なＸ線画像化装置に伴う一つの難点
は、Ｘ線源および画像増倍管から画像化すべき物体用の
支持体までの基準距離を設定または決定する能力に関す
る。製造公差または周囲温度影響などを補正するため
に、基準距離の設定が必要であり、好ましくは定期的に
再設定がｓ適用される。

【００２６】第三態様によれば、画像増倍管から画像化
すべき物体用の支持体までの基準距離を決定する方法
は、上記支持体上の複数の所定場所を支持体の平面に直
交するＸ線ビームによって画像化するステップと、画像
増倍管を支持体の平面に平行な平面上で移動させるステ
ップと、上記所定場所を支持体の平面に直交しないＸ線
ビームによって再画像化するステップと、上記場所に対
する上記ビームの角度を決定するステップと、上記基準
距離を三角法によって計算するステップとを含む。

【００２７】このような方法は、基準距離を設定する非
常に正確な手段を与える。所定場所は、好ましくは、ソ
フトウェア画像作成技術によって検出することができる
支持体の不連続部分である。好ましくは、そのような場
所は、支持体の一連の凹部、一般的に貫通穴によって定
められる。

【００２８】好適な実施形態では、上記貫通穴は、両側
で同程度に皿もみされて、それぞれの皿穴が中央で出会
うようにしたものである。そのような貫通穴は、斜めに
見た時にも対称パターンを残すので、画像作成ソフトウ
ェアによって比較的容易に認識することができる。セン
タ穴角は、視野の最大角以上でなければならない。好適
な実施形態では、皿穴が９０°の角度を有し、入射Ｘ線
の最大角度が４５°である。

【００２９】好適な実施形態では、支持体は、両側で４
５°に皿もみした約０．５ｍｍの貫通穴をその隅部付近
に有する矩形の１ｍｍプレートを含む。この穴の垂直方
向の画像化によって、画像増倍管の往復方向移動範囲を
これらの複数のｗ穴の間の距離に関連づけることがで
き、したがって支持体がＸ−Ｙ平面上を移動可能である
場合の変位誤差の補正することができる。変位は、親ね
じ、ベルトまたは他のいずれかの従来方法によって制御
することができる。もちろん、そのような可動支持体
は、関心領域を画像増倍管の視野内の中心に配置するた
めに有効である。たとえば、親ねじの回転数を不連続部
分間の距離に正確に関連づけることができ、これによっ
て支持体の非常に正確な中間位置決めが得られる。

【００３０】傾動増倍管に伴うさらなる難点は、画像増
倍管から物体の関心領域までの基準距離の設定に関する
ものである。一般的に、物体は深さを有し、関心領域
は、支持体の平面上に位置しない。Ｘ線ビームが支持体
平面に直交する軸方向画像化の場合、問題は生じず、関
心領域を意のままに拡大することができ、それは視野の
中心に保たれる。

【００３１】しかし、ある角度で画像化する場合、関心
領域の平面が重要になる。基準面が支持体の平面である
が、関心領域がその平面外にある場合、ある角度で拡大
することによって、関心領域が視野の中心から横方向に
移動する。このことは、高倍率で重大な問題であり、オ
ペレータの方向感覚を失わせることになるであろう。第
四態様によれば、本発明は、画像増倍管から関心物体平
面までの基準距離を設定できるようにするものである。

【００３２】好適な実施形態では、基準距離を設定する
方法は、物体を物体の支持平面に直交するＸ線ビームに
よって画像化するステップと、関心領域を視野の中心に
配置するステップと、物体を第一角度で画像化するステ
ップと、関心領域を再び視野の中心に配置するステップ
と、物体を第二のより大きい角度で画像化するステップ
と、関心領域を再び視野の中心に配置するステップと、
漸増角度で画像化するステップを繰り返すステップと、
Ｘ線ビームのすべての角度において画像が視野の中心に
留まるまで、再度センタリングを行うステップとを含
む。簡単な三角法を使用することによって、この繰り返
し手順が新たな基準高さを自動的に決定し、それによっ
て、拡大中に、関連領域が視野の中心に確実に留まるよ
うにすることができる。漸増角度段階での再画像化によ
って、関連領域が視野から完全に離れる危険性を最小限
に抑えることができる。

【００３３】繰り返される特徴部分を有し、Ｘ−Ｙ平面
に移動可能な支持体に搭載された物体の検査の場合、関
心領域までの基準距離を設定することによって、物体を
各繰り返される特徴部分まで迅速に横行させることがで
き、画像を拡大して、新しい特徴部分を視野の中心に配
置し、そしてその繰り返される特徴部分上で新しい関心
領域を拡大する必要がなくなる。したがって、同一基準
距離を維持しながら、繰り返し精度および速度が向上す
る。

【００３４】本発明の第五態様によれば、そのような装
置を制御する方法は、装置内の物体の第一Ｘ線画像を観
察するステップと、関心領域が実際に最もよく見えるよ
うに、上記第一画像を操作するステップと、上記装置に
よって上記物体をＸ線源および／またはＸ線画像増倍管
に対してリアルタイムで移動させて、上記関心領域に対
応した第二画像を作成するステップとを含む。

【００３５】このため、ユーザは、物体全体の仮想画像
を見て、関心領域または視野を選択するためにソフトウ
ェアを使用してその画像を操作し、仮想画像のＸ、Ｙお
よびＺ座標を使用することによって、仮想画像に最もよ
く対応するように物体を移動させるために他のソフトウ
ェアを生起することができる。このため、物体の一部を
高倍率で見ることができるが、物体全体に対する視線方
向の概要をユーザに与えることができるように、仮想画
像はそのまま残る。

【００３６】仮想およびリアルタイム画像は、好ましく
は、同一モニタに同時に表示され、仮想画像は、たとえ
ば、モニタ画面の右上隅部に配置される。仮想画像は、
物体のリアルタイム画像化によって作成または再作成さ
れることができる。好適な実施形態では、仮想画像が、
操作のためだけに作成された凍結リアルタイム画像であ
り、所望領域が見えるまで物体をリアルタイムで操作す
るよりもむしろ、ユーザが関連領域を迅速に選択できる
ようにする。仮想基準画像を作成するための十分なデー
タを生成するために、物体をリアルタイムで自動的に操
作することができる。このことは、物体が画像増倍管よ
り大きいために、画像増倍管が物体を走査してそれの境
界線を決定した後、操作のために物体の仮想像を構築す
る場合、特に有用であろう。

【００３７】使用の際に、リアルタイム画像を、コンピ
ュータマウスによって画面全体でドラッグするか、他の
操作を行うことができ、見かけの操作によって物体をリ
アルタイムで移動させて、リアルタイム画像を所望の画
面位置へ移動させることができる。ユーザがマウス操作
とリアルタイム画像の移動に起因する物体のリアルタイ
ム移動との間に大きい遅れを感じることがないように、
この物体移動は、非常に高速であることが好ましい。

【００３８】一般的に、検査ルーチンの開始時に、ソフ
トウェア画像作成技術によって仮想画像を作成する。作
成後、初期画像をナビゲーション援助として残し、リア
ルタイムの物体の視野を、たとえば対応部分を囲むボッ
クスによって、仮想画像上に表示する。このボックスの
寸法は、好ましくは物体の倍率に伴って増減し、これに
よって現在の視野に実質的に対応することができる。仮
想画像は、物体の視線方向に対応して、傾斜または他の
姿勢変更を行うことができる。

【００３９】物体用の支持体が回転可能である場合、仮
想画像に対する物体のリアルタイム画像の姿勢が変化す
るであろう。好ましくは、回転式支持体は、検査ルーチ
ンの開始時に基準位置を有し、矢印が、たとえば視野を
定めるボックスを指し示すことによって、仮想画像上に
現在の視線方向を表示する。あるいは、仮想画像を回転
式テーブルと同期して回転してもよい。

【００４０】本発明の他の特徴は、添付の図面に単に例
示として示されている好適な実施形態の以下の説明から
明らかになるであろう。

【００４１】

【発明の実施の形態】図１は、マニピュレータプレート
１２を通過して画像増倍管１３に進むようにＸ線を送り
出すＸ線管１１を概略的に示している。Ｘ線管１１は固
定されているが、画像増倍管１３は、Ｘ線源と位置合わ
せされた状態を保つために、所定の移動限界１３Ａ〜１
３Ｄ間を移動可能である。この限界位置で光増幅器は、
図示のように、線源からプレート１２の隅部に非常に近
い位置を通過するＸ線と一列に並べられる。画像増倍管
を移動させる機構については後述するが、この機構によ
って画像増倍管をＸ線源の焦点１４に位置合わせされ
た、図示されている四つの限界間のいずれの位置に置く
こともできる。

【００４２】マニピュレータプレートも、物体を画像増
倍管の視野の中心に配置すると共に、プレート１２を上
記増倍管１３に接離する方向に移動させることによって
視野を変化させるために、Ｘ、ＹおよびＺ軸上を移動す
ることができる。プレートを移動させる手段は、いずれ
の適当な従来の三軸モータ駆動装置でもよい。

【００４３】回動可能な支持体をプレート１２上に設け
て、これを単一面上で傾動可能な画像増倍管と組み合わ
せることによって、物体の全周観察を行うことも可能で
あることが理解される得る。この変更例では、視野を中
心に配置するために、プレート１２のＸ−Ｙ移動がやは
り望まれる。

【００４４】画像増倍管を移動させる装置が、図２に示
されている。実質的に矩形のフレーム２１は、両側部に
上下対のリニアベアリング２２、２３を含む。それらの
間に、フレームの全幅に延在してフレームの一端部から
他端部まで摺動することができるキャリッジ２７が支持
されている。

【００４５】キャリッジと下部ベアリング２３との間の
連結部は単純なピボットであるが、上部ベアリングとの
連結は、キャリッジのスロット２６内を動くピボットピ
ン２５によって行われている。この構造によって、キャ
リッジは側部間で、スロット２６の長さによって決定さ
れるが、一般的に±４５°の弧をなして左右に揺動する
ことができる。

【００４６】キャリッジ２７は、後述する手段によって
キャリッジの姿勢をも制御する電気モータによって、フ
レームの一端部から他端部まで駆動される。画像増倍管
２４が、キャリッジに搭載されている。

【００４７】図２では、キャリッジ２７が中央位置と、
両方の傾斜端部位置２７Ａ、２７Ｂとに示されており、
それに従って画像増倍管２４Ａ、２４Ｂが傾斜してい
る。

【００４８】キャリッジ２７への光増幅器２４の搭載
は、二つのさらなる上部および下部リニアベアリング３
４、３５によって行われている。その構造は、上記ベア
リング２２、２３と同様であって、下部ベアリングが単
純なピボットであり、上部ベアリングがピンおよびスロ
ットによる。この構造によって、画像増倍管がキャリッ
ジ２７の揺動面に直角をなす平面上で揺動することがで
き、図２は、一方側に中央位置２４Ｃを示している。

【００４９】両平面で組み合わされたの揺動によって、
上記増倍管は、フレームの隅部で、２４Ｄ、２４Ｅによ
って示された複合傾斜を取ることができる。

【００５０】キャリッジの一端部に搭載され、またキャ
リッジに搭載された上下駆動ホィール２９、３０までの
ベルト駆動部を有する電気モータ２８によって、キャリ
ッジ２７に対する上記増倍管２４の姿勢が決定される。
対応している上下アイドラホィールが、キャリッジの他
端部に設けられている。

【００５１】連続駆動ベルト３１、３２が、上下対の駆
動およびアイドラホィール間に掛けられており、隣接の
リニアベアリング３４、３５に搭載されて、各カップリ
ングで増倍管２４に連結された対応しているトラニオン
に取り付けられている。上トラニオン３３だけが見るこ
とができる。移動をモータ２８からトラニオンに正確に
伝達できるように、駆動ベルトおよびホィールは歯付き
である。

【００５２】上下駆動ホィール２９、３０が異なる直径
を有することによって、モータ２８のある回転角に対す
る上ベルト３１の移動量が下ベルト３２より大きくな
る。これによって、モータ２８によってキャリッジの端
部間で駆動される時、増倍管２４は側部方向に傾動す
る。

【００５３】ホィール直径を適当に選択することによっ
て、光増幅器２４がＸ線源の焦点上に中心が位置する経
路を進むようにすることができる。

【００５４】キャリッジ２７をフレーム２１に対して駆
動すると共に傾斜させる構造は同一であり、モータ３６
が図示されているが、駆動ベルトおよびホィールは視界
から隠れている。

【００５５】モータ２８、３６を同時に作動させること
によって、増倍管はフレーム２１の限界内で弧経路を進
み、概略的に図１に示されているように、常にＸ線源の
焦点に中心が位置する。

【００５６】図３は、Ｘ線源、マニピュレータテーブル
および画像増倍管アセンブリが配置されるキャビネット
４０の構造を全体的に示している。キャビネットは、図
１および図２に示されている構成部材を収納するための
開口付きボックスを有する、例えば鋼製の内側エンクロ
ージャ４１と、第二ボックスを有する、見栄えがする外
観の外側エンクロージャ４２とを含む。内側および外側
ボックス４１、４２は、従来手段によって、互いに隙間
を置いて連結され、共に内部部品を固定した確定的配置
に維持することができる硬く限られた構造を形成する。

【００５７】組み立て前に、内側ボックスを鉛シートで
シールドし、これは、好都合なことに、内側および外側
ボックス間の空間に入り、この空間はキャビネットの剛
性に役立つ。

【００５８】シールドは、内側エンクロージャ４１の全
表面にわたって比較的容易に付着させることができ、接
着剤で取り付けてもよいが、内側エンクロージャの壁に
プレス加工されたボスによって支持してもよい。糊付け
固定が不良の場合でも、シールドの一体性を維持するた
めに、外側エンクロージャも鉛シールドに密接する内側
ボスを有することができる。

【００５９】鉛シールドの囲壁体は、取り外し式クラッ
ディングパネルの場合のように、不法に手を加えられた
り、分配されることがないという利点を有する。さら
に、シールドは、使用時に外側エンクロージャ４２によ
って完全に包囲されているので、見栄えを無視して付着
させることができ、このことは、放射線の危険を遮蔽す
る機能が美的考慮によって弱められることがないことを
意味する。

【００６０】使用中のＸ線装置を完全に包囲するため
に、二層鉛シールドドアが適宜の方法によりキャビネッ
トに取り付けられている。

【００６１】第三態様では、本発明は、コンピュータお
よびビデオディスプレイによってＸ線装置を制御する方
法を含む。

【００６２】前述したように、増倍管２４上の像は、ビ
デオカメラによってキャビネットの外部のモニタに中継
される。テーブル上の物体の倍率／視野を変化させると
共に、物体を通る画角を変化させるために、画像増倍管
およびマニピュレータテーブルを移動させることができ
る制御装置が設けられている。

【００６３】高倍率では、オペレータは方向感覚を失っ
て、次の関心がある特徴部分を観察するために、物体を
どの方向にリアルタイムで移動させるかを決定すること
ができなくなる。

【００６４】本発明は、オペレータを支援するために、
仮想作成像を提供する。

【００６５】図４は、リアルタイム画像５１と、右上隅
部の仮想画像５２とを有するビデオモニタ５０を示して
いる。

【００６６】仮想画像５２は、マニピュレータ上の物体
を走査することによってそれの境界線を決定し、既知の
画像作成ソフトウェア技術を使用して二次元表示を電子
的に構成することによって得られる。仮想画像は、物体
の詳細のすべてを示す必要はないが、以下の説明から明
らかになる理由により、境界線が適度に確定されなけれ
ばならない。

【００６７】リアルタイム画像５１は、キャビネット内
の画像増倍管からビデオカメラによって中継される。

【００６８】図５は、オペレータが物体のズームを行っ
てそれの倍率を高める必要がある場合に現れるビデオモ
ニタの画面を概略的に示している。これらの状況では、
オペレータが方向感覚を失うであろうが、仮想画像がボ
ックス５３によって対応の観察領域を示す。この手段に
よって、オペレータは、物体の所望領域を検査している
ことを確信することができる。ボックス５３の大きさを
リアルタイム画像の視野に従って変化させることによっ
て、ボックスの周囲を常にリアルタイム画像の境界線と
正確に一致させることができる。

【００６９】リアルタイム画像を物体に対して斜めにと
る場合、オペレータが適当に見ることができるように、
仮想画像が回転する。

【００７０】変更例として、関心領域を仮想画像上に矢
印で表してもよい。

【００７１】回転式物体支持体の場合、観察方向を仮想
画像上に矢印などで表してもよい。

【００７２】隣接領域を観察したり、特徴部分をモニタ
の中心に配置するために、リアルタイム画像のドラッグ
を可能にする制御ソフトウェアを含むこともできる。コ
ンピュータマウスを使用して画像のドラッグを行うこと
によって、マニピュレータテーブルのサーボモータが物
体を所望方向に移動させるため、リアルタイム画像が迅
速に先のリアルタイム画像の後に続き、それと置き換わ
る。画像置換は、段階的に迅速に行われ、それに伴って
仮想画像５２上のボックス５３が対応変化する。物体の
ズームは、コンピュータマウスのフィンガーホィールに
よって行うことができる。

【００７３】仮想画像上の観察領域を識別する手段は、
適当な種類の、たとえば、カラーハイライトか、円にす
ることができ、仮想画像をモニタのいずれの適当な領域
にも表示することができる。

【００７４】画像増倍管と物体用支持体との間の一定の
基準寸法を定めるために、装置は、支持体上に設けられ
た特徴部分を認識することができる画像化ソフトウェア
を含むことができる。特徴部分は、凹部または穴でよ
く、他の寸法および角度の測定から三角法を使用して一
定寸法を決定することができる。

【００７５】既知の画像化技法は、上方から見た時に丸
い穴を認識することができる。三角法が有用であるため
には、そのような穴を斜めからも認識できなければなら
ないが、傾斜させてＸ線で画像化した時、プレートの丸
い穴は対称像を生じない。

【００７６】図６は、一連の単純な貫通穴の一連のＸ線
画像を示している。画像は、止まり穴の場合もほぼ同一
である。（矢印で示されている）Ｘ線ビームの角度が増
加するのに伴って、画像の全体形状が円から重なった楕
円に、さらに離れた楕円まで大きく変化する。そのよう
な一連の画像は、一部が明るく、一部が暗く、一部が幾
分灰色であるので、従来の単色画像認識ソフトウェアで
認識することがかなり困難である。たとえば、図６の最
も斜めの画像は、二つの明るい楕円と、灰色の連結領域
と、周囲の暗い領域とを有する。灰色領域が一貫して明
部または暗部のいずれかとして処理されないので、結果
的に明暗の閾値を設定するのに危険があり、画像の中心
の位置を決定することが困難であろう。

【００７７】図７は、両側から同程度に皿もみされた一
連の貫通穴を示している。簡単に言うと、この構造は、
すべての角度で中心円または楕円を有する画像を与え、
したがって、画像認識ソフトウェアによる認識がはるか
に容易である。最も重要な点といて、画像が１つの明る
い中心を有し、単一の明暗閾値を有する画像認識ソフト
ウェアによって検出することができる。この場合、灰色
領域が単一の明るい中心領域の周囲に対称的に配置され
るため、灰色および明るい領域が単色画像認識ソフトウ
ェアによって等しく認識されるほど低く閾値を設定する
のにほとんど危険がない。そのため、初期化手順を実行
するために画像化ソフトウェア技法を使用する上記形式
のＸ線検査装置に使用するには、そのような開口が好ま
しい。

【図面の簡単な説明】

【図１】Ｘ線管、物体支持表面、および弧状に移動可能
な画像増倍管の概略図である。

【図２】画像増倍管を互いに直交する方向に弧状に移動
させる装置の斜視図である。

【図３】本発明に従ったキャビネットの構造を示してい
る。

【図４】本発明に従ったビデオ画像を示している。

【図５】図４に従った拡大画像を示している。

【図６】単純な貫通穴のソフトウェア画像化を示してい
る

【図７】皿もみ貫通穴のソフトウェア画像化を示してい
る。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA11 CA01 DA02 DA06 DA07 DA09 GA06 GA08 HA09 HA13 JA06 LA11 MA05 NA30 PA14 SA14 5F044 JJ00

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】装置に物体の第一Ｘ線画像を表示するステ
   ップと、 関心領域を最も良く示すために、上記第一画像を仮想的
   に操作するステップと、 上記関心領域へ対応する第二画像を生成するために、上
   記装置に、リアルタイムで、Ｘ線源および／またはＸ線
   画像増倍管に対して上記物体を動かさせるステップとを
   含むＸ線検査装置の制御方法。
2. 【請求項２】上記仮想およびリアルタイム画像は、同時
   に同一モニタに表示される、請求項１記載の方法。
3. 【請求項３】上記仮想画像は、物体をリアルタイムで画
   像化することによって作成または再作成される、請求項
   １または２に記載の方法。
4. 【請求項４】開口を有し、開口有する外側ハウジング
   （４２）内に隙間を置いて完全に挿入可能である内側ハ
   ウジング（４１）を含み、 上記内側および外側ハウジング（４１、４２）が、上記
   ハウジング（４１、４２）を所定の関係に固定して離隔
   配置する取り付け手段を有するＸ線システム用のキャビ
   ネット（４０）であって、 鉛シールドが、上記内側および外側ハウジング（４１、
   ４２）間に延在する実質的に完全な中間層を含み、上記
   開口に鉛で裏打ちされたクロージュアを設けられている
   キャビネット（４０）。
5. 【請求項５】平面フレーム（２１）と、 上記フレーム（２１）に搭載され、上記フレームの平面
   で第一方向に左右に可動可能な第一キャリッジ（２７）
   とを含むX平板線検査装置の可動支持体であって、 上記キャリッジ（２７）は、上記第一方向と垂直な軸中
   心に、上記平面で回動可能であるX線検査装置の可動支
   持体。
6. 【請求項６】上記第一キャリッジ（２７）は、上記第一
   キャリッジ（２７）の傾斜平面と直角に、平面で傾斜す
   ることができる第二キャリッジに搭載されている、請求
   項５に記載の可動支持体。
7. 【請求項７】上記または各キャリッジ（２７）は、上記
   フレーム（２１）を横切って延伸する上部および下部リ
   ニアベアリング（２２、２３）に搭載されている、請求
   項６に記載の可動支持体。
8. 【請求項８】上記または各キャリッジ（２７）は、歯形
   ベルト駆動部によって駆動され、単一のモータ（２８）
   が上記上部および下部リニアベアリング（２２、２３）
   の両方へ、上記歯型ベルト駆動部の動力が提供され、異
   なる直径の駆動ピニオンによって異なる速度が得られ
   る、請求項７に記載の可動支持体。
9. 【請求項９】画像増倍管から画像化すべき物体用の支持
   体までの基準距離を決定する方法であって、 上記支持体上の複数の所定場所を、上記支持体の平面に
   直交するＸ線ビームによって画像化するステップと、 上記画像増倍管を上記支持体の上記平面に平行な平面上
   で移動させるステップと、 上記所定場所を、上記支持体の上記平面に直交しないＸ
   線ビームによって再画像化するステップと、 上記場所に対する上記ビームの上記角度を決定するステ
   ップと、 上記記基準距離を三角法によって計算するステップとを
   含む方法。
10. 【請求項１０】画像増倍管から関心のある物体平面まで
    の基準距離を決定する方法であって、 上記物体を、上記物体の上記支持体の平面に直交するX
    線ビームによって画像化するステップと、 関心領域を上記視野でセンタリングするステップと、 第一角度で上記物体を画像化するステップと、 上記視野で上記関心領域を再度センタリングするステッ
    プと、 より大きな第二角度で上記物体を画像化するステップ
    と、 上記視野で上記関心領域を再度センタリングし、かつ、
    連続してより大きい角度で画像化を繰り返すステップ
    と、 上記X線ビームの全ての角度において、画像が視野の中
    心に留まるまで再度センタリングするステップとを含む
    方法。