JP2002181733A - プリント基板検査装置 - Google Patents
プリント基板検査装置Info
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- JP2002181733A JP2002181733A JP2000382072A JP2000382072A JP2002181733A JP 2002181733 A JP2002181733 A JP 2002181733A JP 2000382072 A JP2000382072 A JP 2000382072A JP 2000382072 A JP2000382072 A JP 2000382072A JP 2002181733 A JP2002181733 A JP 2002181733A
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- printed circuit
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- moving
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- Image Processing (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 検査精度をさらに向上させることができるプ
リント基板検査装置を提供すること。 【解決手段】 プリント基板１を載置して移動するテー
ブル２に対する制御量とレーザ測長器などを使用して測
定した実際の位置との差を、補正値Ｈとして予め求め
て、記憶装置５に記憶させておく。また、撮像装置３１
を撮像素子を直線状に配置したラインカメラとする。テ
ーブル２にリニアスケール６のスケール６ａを、ベース
３にセンサ６ｂを固定し、センサ６ｂによりテーブル２
が一定距離移動する毎にプリント基板１を撮像する。そ
して、撮像したデータの座標を、リニアスケール６で測
定した撮像時におけるテーブル２の座標に補正値Ｈを加
算した座標とする。
リント基板検査装置を提供すること。 【解決手段】 プリント基板１を載置して移動するテー
ブル２に対する制御量とレーザ測長器などを使用して測
定した実際の位置との差を、補正値Ｈとして予め求め
て、記憶装置５に記憶させておく。また、撮像装置３１
を撮像素子を直線状に配置したラインカメラとする。テ
ーブル２にリニアスケール６のスケール６ａを、ベース
３にセンサ６ｂを固定し、センサ６ｂによりテーブル２
が一定距離移動する毎にプリント基板１を撮像する。そ
して、撮像したデータの座標を、リニアスケール６で測
定した撮像時におけるテーブル２の座標に補正値Ｈを加
算した座標とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、撮像装置によりプ
リント基板を撮像し、得られた撮像データと予め入力さ
れた加工データとを比較してプリント基板に形成された
加工部、例えば穴の位置や直径を検査するようにしたプ
リント基板検査装置に関する。
リント基板を撮像し、得られた撮像データと予め入力さ
れた加工データとを比較してプリント基板に形成された
加工部、例えば穴の位置や直径を検査するようにしたプ
リント基板検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、プリント基板を使用する機器の小
型化、プリント基板に実装する電子部品の小型化が急速
に進み、プリント基板に加工する穴の密度が増加してい
る。また、ビルドアップ基板の増加により、多層基板に
おいて上下の層に形成された回路を接続するための穴の
数が増加している。この結果、１枚のプリント基板に加
工される穴数は数万穴〜数十万穴に達している。しか
も、穴の位置を高精度に加工することが要求されてい
る。
型化、プリント基板に実装する電子部品の小型化が急速
に進み、プリント基板に加工する穴の密度が増加してい
る。また、ビルドアップ基板の増加により、多層基板に
おいて上下の層に形成された回路を接続するための穴の
数が増加している。この結果、１枚のプリント基板に加
工される穴数は数万穴〜数十万穴に達している。しか
も、穴の位置を高精度に加工することが要求されてい
る。
【０００３】プリント基板に穴を加工する工程は、プリ
ント基板の製造工程における製造開始側に近い工程であ
る。したがって、この段階で加工した穴の不良を発見で
きれば、後工程に及ぼす損害を最小にすることができ
る。このため、プリント基板に加工された穴の数を検査
する穴数検査装置等や、穴径誤差および穴位置誤差を測
定するための検査装置等が実用化されている。
ント基板の製造工程における製造開始側に近い工程であ
る。したがって、この段階で加工した穴の不良を発見で
きれば、後工程に及ぼす損害を最小にすることができ
る。このため、プリント基板に加工された穴の数を検査
する穴数検査装置等や、穴径誤差および穴位置誤差を測
定するための検査装置等が実用化されている。
【０００４】例えば、穴数検査機には、撮像装置を撮像
素子を直線状に配置したラインカメラとし、ラインカメ
ラとプリント基板とを撮像素子の配置方向と直角の方向
に相対的に移動（スキャン）させ、得られた撮像データ
を画像処理して穴数を検査するものがある。このような
装置では、複数の穴を同時に撮像することができるの
で、穴を１個ずつ測定する場合に比べて作業能率を大幅
に向上させることができる。
素子を直線状に配置したラインカメラとし、ラインカメ
ラとプリント基板とを撮像素子の配置方向と直角の方向
に相対的に移動（スキャン）させ、得られた撮像データ
を画像処理して穴数を検査するものがある。このような
装置では、複数の穴を同時に撮像することができるの
で、穴を１個ずつ測定する場合に比べて作業能率を大幅
に向上させることができる。
【０００５】また、穴位置検査装置には、移動装置に指
令する制御量と移動装置の実際の移動量をレーザ測長器
などを使用して測定しておき、両者の差を予め補正値と
して求めておくことにより、検出系の誤差や、駆動要素
系の誤差を補正するようにしたものがある。すなわち、
例えば、移動装置を座標０から１０ｍｍ移動させる場
合、指令原単位を０．００１ｍｍ／パルスとして、１０
ｍｍ移動させるために１０，００５パルス必要であった
とすると、移動装置の制御装置に、両者の差である５パ
ルスを補正データ（内部パラメータ）として記憶させて
おく。そして、移動装置を座標０から１０ｍｍ移動させ
る場合は、１０，００５パルスを出力して、移動装置を
１０ｍｍ移動させる。このようにすることにより、測定
位置精度を向上させることができる。
令する制御量と移動装置の実際の移動量をレーザ測長器
などを使用して測定しておき、両者の差を予め補正値と
して求めておくことにより、検出系の誤差や、駆動要素
系の誤差を補正するようにしたものがある。すなわち、
例えば、移動装置を座標０から１０ｍｍ移動させる場
合、指令原単位を０．００１ｍｍ／パルスとして、１０
ｍｍ移動させるために１０，００５パルス必要であった
とすると、移動装置の制御装置に、両者の差である５パ
ルスを補正データ（内部パラメータ）として記憶させて
おく。そして、移動装置を座標０から１０ｍｍ移動させ
る場合は、１０，００５パルスを出力して、移動装置を
１０ｍｍ移動させる。このようにすることにより、測定
位置精度を向上させることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】移動装置に移動装置の
位置を測定するための測定装置を配置して、リアルタイ
ムに移動装置の座標を検出するようにすると、測定精度
をさらに向上させることができる。しかし、このように
すると、移動装置の位置決め精度向上のために補正した
距離だけ、撮像位置の座標が実際の座標に対してずれ
る。一般に、移動装置の移動ストロークが６００ｍｍの
場合、補正値の積算値（累積値）が数十μｍに達するこ
とが多いから、このような誤差は測定精度を大幅に低下
させる要因になる。
位置を測定するための測定装置を配置して、リアルタイ
ムに移動装置の座標を検出するようにすると、測定精度
をさらに向上させることができる。しかし、このように
すると、移動装置の位置決め精度向上のために補正した
距離だけ、撮像位置の座標が実際の座標に対してずれ
る。一般に、移動装置の移動ストロークが６００ｍｍの
場合、補正値の積算値（累積値）が数十μｍに達するこ
とが多いから、このような誤差は測定精度を大幅に低下
させる要因になる。
【０００７】また、ＣＣＤ素子は、ある期間に受光した
光量を電気信号に変換する素子であるため、照明装置の
光の強度が一定であっても、受光期間がばらつくと、出
力信号の値は変化する。一般的な画像処理では、出力信
号の値を二値化処理等により画像データに変換し、変換
した画像データを用いて穴径や穴位置等の演算処理を行
う。したがって、受光期間にばらつきがあると、値が閾
値に近いデータは０と１（白と黒）が反転して、画像デ
ータが不確実なものとなるため、検査精度が低下する。
光量を電気信号に変換する素子であるため、照明装置の
光の強度が一定であっても、受光期間がばらつくと、出
力信号の値は変化する。一般的な画像処理では、出力信
号の値を二値化処理等により画像データに変換し、変換
した画像データを用いて穴径や穴位置等の演算処理を行
う。したがって、受光期間にばらつきがあると、値が閾
値に近いデータは０と１（白と黒）が反転して、画像デ
ータが不確実なものとなるため、検査精度が低下する。
【０００８】撮像装置としてＣＣＤカメラを使用し、測
定装置の信号を使用して一定の距離毎に画像スキャンを
する場合、移動装置の速度変動は直ちに受光時間の変動
となる。この場合、移動装置の移動速度を一定に保つよ
うにすればよいが、移動速度を一定に保つことにも限界
がある。
定装置の信号を使用して一定の距離毎に画像スキャンを
する場合、移動装置の速度変動は直ちに受光時間の変動
となる。この場合、移動装置の移動速度を一定に保つよ
うにすればよいが、移動速度を一定に保つことにも限界
がある。
【０００９】本発明の目的は、上記した課題を解決し、
検査精度をさらに向上させることができるプリント基板
検査装置を提供するにある。
検査精度をさらに向上させることができるプリント基板
検査装置を提供するにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、撮像装置によりプリント基板を撮像し、
得られた撮像データと当該プリント基板を加工した加工
データとを比較することにより、前記プリント基板に加
工された加工部を検査するようにしたプリント基板検査
機において、前記撮像装置または／および前記プリント
基板を移動させる移動装置の座標を測定する測定装置を
設け、前記撮像装置を撮像素子を直線状に配置したライ
ンカメラとして、前記撮像装置と前記プリント基板とを
前記撮像素子の配置方向と直角の方向に移動させなが
ら、前記測定手段で測定した座標に基づいて前記プリン
ト基板を撮像し、撮像時における前記座標に予め求めて
おいた前記移動装置に対する制御量と実際の位置との差
を加算して撮像座標とする、ことを特徴とする。
め、本発明は、撮像装置によりプリント基板を撮像し、
得られた撮像データと当該プリント基板を加工した加工
データとを比較することにより、前記プリント基板に加
工された加工部を検査するようにしたプリント基板検査
機において、前記撮像装置または／および前記プリント
基板を移動させる移動装置の座標を測定する測定装置を
設け、前記撮像装置を撮像素子を直線状に配置したライ
ンカメラとして、前記撮像装置と前記プリント基板とを
前記撮像素子の配置方向と直角の方向に移動させなが
ら、前記測定手段で測定した座標に基づいて前記プリン
ト基板を撮像し、撮像時における前記座標に予め求めて
おいた前記移動装置に対する制御量と実際の位置との差
を加算して撮像座標とする、ことを特徴とする。
【００１１】また、前記移動装置の速度を検出する手段
を設け、検出した速度に応じて前記撮像データの出力値
または前記撮像データを２値化するための閾値を補正す
ることができる。
を設け、検出した速度に応じて前記撮像データの出力値
または前記撮像データを２値化するための閾値を補正す
ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施の形態
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１３】図１は、本発明に係る信号のブロック図で
ある。プリント基板１は、テーブル２に固定されてい
る。テーブル２は、図示を省略する案内装置に支持さ
れ、ベース３上を図の左右方向に移動自在であり、ＣＮ
Ｃ装置４から指令パルスＰが１個出力される毎に０．０
０１ｍｍ移動する。テーブル２の移動ストロークは６０
０ｍｍであり、移動原点は図の左方である。テーブル２
には、スケール６ａとセンサ６ｂとから構成される光学
式リニアスケール６のスケール６ａが固定されている。
センサ６ｂは、スケール６ａと対向するようにしてベー
ス３に固定されている。センサ６ｂは、テーブル２が
０．０００１ｍｍ移動する毎に、検出信号Ｓを出力す
る。テーブル２を駆動するＣＮＣ装置４の記憶装置５に
は、テーブル２の移動原点からの１０ｍｍ毎の実際の座
標（レーザ測長器で測定した座標）と、それぞれの間の
補正値Ｈとが記憶されている。判定部７は、予め入力さ
れる加工データと画像処理部２１から出力される測定デ
ータとを比較して、その結果を外部に出力する。
ある。プリント基板１は、テーブル２に固定されてい
る。テーブル２は、図示を省略する案内装置に支持さ
れ、ベース３上を図の左右方向に移動自在であり、ＣＮ
Ｃ装置４から指令パルスＰが１個出力される毎に０．０
０１ｍｍ移動する。テーブル２の移動ストロークは６０
０ｍｍであり、移動原点は図の左方である。テーブル２
には、スケール６ａとセンサ６ｂとから構成される光学
式リニアスケール６のスケール６ａが固定されている。
センサ６ｂは、スケール６ａと対向するようにしてベー
ス３に固定されている。センサ６ｂは、テーブル２が
０．０００１ｍｍ移動する毎に、検出信号Ｓを出力す
る。テーブル２を駆動するＣＮＣ装置４の記憶装置５に
は、テーブル２の移動原点からの１０ｍｍ毎の実際の座
標（レーザ測長器で測定した座標）と、それぞれの間の
補正値Ｈとが記憶されている。判定部７は、予め入力さ
れる加工データと画像処理部２１から出力される測定デ
ータとを比較して、その結果を外部に出力する。
【００１４】センサ６ｂは、ＣＮＣ装置４と、トリガ信
号処理部２２に接続されている。画像処理装置２０は、
画像処理部２１と、トリガ信号処理部２２と、測定部２
３とから構成されている。画像処理部２１は、記憶装置
５、判定部７、トリガ信号処理部２２および撮像装置３
１に接続されている。トリガ信号処理部２２は、センサ
６ｂから出力される検出信号Ｓを積算し、０．００１ｍ
ｍ毎にトリガ信号Ｔを出力する。測定部２３は、トリガ
信号Ｔの時間間隔を測定し、測定した結果を画像処理部
２１に出力する。
号処理部２２に接続されている。画像処理装置２０は、
画像処理部２１と、トリガ信号処理部２２と、測定部２
３とから構成されている。画像処理部２１は、記憶装置
５、判定部７、トリガ信号処理部２２および撮像装置３
１に接続されている。トリガ信号処理部２２は、センサ
６ｂから出力される検出信号Ｓを積算し、０．００１ｍ
ｍ毎にトリガ信号Ｔを出力する。測定部２３は、トリガ
信号Ｔの時間間隔を測定し、測定した結果を画像処理部
２１に出力する。
【００１５】撮像装置３１はテーブル２の上方に固定さ
れている。撮像装置３１は、画像処理部２１とトリガ信
号処理部２２に接続されている。
れている。撮像装置３１は、画像処理部２１とトリガ信
号処理部２２に接続されている。
【００１６】次に、この実施の形態の動作を説明する。
【００１７】テーブル２を移動原点に位置決めし、図示
を省略する起動釦がオンする。すると、ＣＮＣ装置４
は、１ｍｓ毎に指令パルスＰを出力してテーブル２を図
の右方に移動させる。また、トリガ信号処理部２２はト
リガ信号Ｔを出力する。トリガ信号Ｔにより、測定部２
３は時間ｔの計測を開始し、撮像装置３１は撮像を開始
する。
を省略する起動釦がオンする。すると、ＣＮＣ装置４
は、１ｍｓ毎に指令パルスＰを出力してテーブル２を図
の右方に移動させる。また、トリガ信号処理部２２はト
リガ信号Ｔを出力する。トリガ信号Ｔにより、測定部２
３は時間ｔの計測を開始し、撮像装置３１は撮像を開始
する。
【００１８】トリガ信号処理部２２は、センサ６ｂから
出力される検出信号Ｓを積算し、テーブル２が０．００
１ｍｍ移動する毎にトリガ信号Ｔを出力する。トリガ信
号Ｔを受信した測定部２３は計測した時間ｔを画像処理
部２１に出力した後、時間ｔをリセットして再び時間ｔ
の計測を開始する。また、撮像装置３１は、それまでに
受光した光量を電気信号Ｍとして画像処理部２１に出力
した後、再び撮像を開始する。
出力される検出信号Ｓを積算し、テーブル２が０．００
１ｍｍ移動する毎にトリガ信号Ｔを出力する。トリガ信
号Ｔを受信した測定部２３は計測した時間ｔを画像処理
部２１に出力した後、時間ｔをリセットして再び時間ｔ
の計測を開始する。また、撮像装置３１は、それまでに
受光した光量を電気信号Ｍとして画像処理部２１に出力
した後、再び撮像を開始する。
【００１９】図２は、トリガ信号Ｔが出力されたタイミ
ングを示す図であり、図３は、トリガ信号Ｔ間の時間ｔ
と閾値の加算値（または電気信号Ｍの加算値）との関係
を示す図である。画像処理部２１は、測定部２３が測定
した時間ｔ、すなわち、一定移動距離Ｌ（１ラインスキ
ャン分）の移動時間に応じて、２値データに変換するた
めの閾値を、図３の内容に従って変更する。この実施の
形態では、テーブル２が０．００１ｍｍ（１μｍ）移動
する毎にトリガ信号Ｔが出力されるから、測定した時間
の長さ（ｔ１、ｔ２、ｔ３）はテーブル２の移動速度、
すなわち撮像装置３１から出力される電気信号Ｍの値に
反比例する。そこで、移動に要した時間が、例えば０．
９９ｍｓであった場合、指令上の移動時間よりも速いの
で、閾値の値を標準値−６とする。なお、電気信号Ｍ
は、８ｂｉｔデータであり、２５６段階のデータであ
る。
ングを示す図であり、図３は、トリガ信号Ｔ間の時間ｔ
と閾値の加算値（または電気信号Ｍの加算値）との関係
を示す図である。画像処理部２１は、測定部２３が測定
した時間ｔ、すなわち、一定移動距離Ｌ（１ラインスキ
ャン分）の移動時間に応じて、２値データに変換するた
めの閾値を、図３の内容に従って変更する。この実施の
形態では、テーブル２が０．００１ｍｍ（１μｍ）移動
する毎にトリガ信号Ｔが出力されるから、測定した時間
の長さ（ｔ１、ｔ２、ｔ３）はテーブル２の移動速度、
すなわち撮像装置３１から出力される電気信号Ｍの値に
反比例する。そこで、移動に要した時間が、例えば０．
９９ｍｓであった場合、指令上の移動時間よりも速いの
で、閾値の値を標準値−６とする。なお、電気信号Ｍ
は、８ｂｉｔデータであり、２５６段階のデータであ
る。
【００２０】図４は、レーザ測長器で測定したテーブル
２の位置と、指令パルスＰおよび補正値Ｈの関係を示す
図であり、記憶装置５に記憶されている。また、同図に
は、センサ６ｂで測定した測定座標を併記してある。
２の位置と、指令パルスＰおよび補正値Ｈの関係を示す
図であり、記憶装置５に記憶されている。また、同図に
は、センサ６ｂで測定した測定座標を併記してある。
【００２１】画像処理部２１は、得られた２値データ
（画像データ）の座標を、トリガ信号処理部２２で計測
した座標値に、記憶装置５に記憶されている補正値Ｈを
加算して、判定部７に出力する。すなわち、トリガ信号
処理部２２で計測した測定座標値が例えば１０．００２
ｍｍであったとすると、座標値１０．００２ｍｍから補
正値Ｈである２μｍを減算して、１０．０００ｍｍとす
る。なお、補正値は１０ｍｍ毎に記憶されているので、
中間位置ではこの補正値Ｈを比例配分して加算（あるい
は減算）する。すなわち、トリガ信号処理部２２で計測
した座標値が、例えば５．００１であったとすると、
５．００１に補正値Ｈ（２μｍ）の１／２である１μｍ
を減算して５．０００とする。
（画像データ）の座標を、トリガ信号処理部２２で計測
した座標値に、記憶装置５に記憶されている補正値Ｈを
加算して、判定部７に出力する。すなわち、トリガ信号
処理部２２で計測した測定座標値が例えば１０．００２
ｍｍであったとすると、座標値１０．００２ｍｍから補
正値Ｈである２μｍを減算して、１０．０００ｍｍとす
る。なお、補正値は１０ｍｍ毎に記憶されているので、
中間位置ではこの補正値Ｈを比例配分して加算（あるい
は減算）する。すなわち、トリガ信号処理部２２で計測
した座標値が、例えば５．００１であったとすると、
５．００１に補正値Ｈ（２μｍ）の１／２である１μｍ
を減算して５．０００とする。
【００２２】判定部７は、予め入力されている手順に従
い、加工部の諸元、例えば穴径や穴位置あるいは穴数を
求める処理を行う。
い、加工部の諸元、例えば穴径や穴位置あるいは穴数を
求める処理を行う。
【００２３】以上説明したように、この実施の形態で
は、画像撮り込み時に、リニアスケールで測定したテー
ブルの座標を基準にして、画像を撮り込むので、検査精
度が向上する。
は、画像撮り込み時に、リニアスケールで測定したテー
ブルの座標を基準にして、画像を撮り込むので、検査精
度が向上する。
【００２４】また、補正値Ｈは、予めＣＮＣ装置に記憶
されている値を用いることができるので、準備作業が増
加することもない。
されている値を用いることができるので、準備作業が増
加することもない。
【００２５】また、時間ｔに応じて２値データに変換す
るための閾値を変えるようにしたから、閾値近傍のデー
タを適切に２値化できるため、測定精度を向上させるこ
とができる。
るための閾値を変えるようにしたから、閾値近傍のデー
タを適切に２値化できるため、測定精度を向上させるこ
とができる。
【００２６】さらに、撮像信号を１ライン毎に画像を撮
り込むので、作業能率が向上する。
り込むので、作業能率が向上する。
【００２７】なお、上記では、時間ｔの長さに応じて２
値データに変換するための閾値を変えるようにしたが、
閾値を固定し、図３に示したように、電気信号Ｍに予め
定める値を加算するようにしてもよい。
値データに変換するための閾値を変えるようにしたが、
閾値を固定し、図３に示したように、電気信号Ｍに予め
定める値を加算するようにしてもよい。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
撮像装置または／およびプリント基板を移動させる移動
装置の座標を測定する測定装置を設け、撮像装置を撮像
素子を直線状に配置したラインカメラとして、撮像装置
とプリント基板とを撮像素子の配置方向と直角の方向に
移動させながら、測定手段で測定した座標に基づいてプ
リント基板を撮像し、撮像時における座標に予め求めて
おいた移動装置に対する制御量と実際の位置との差を加
算して撮像座標とするので、プリント基板に加工されて
いる穴の直径や穴位置を、高速かつ高精度に測定するこ
とができる。
撮像装置または／およびプリント基板を移動させる移動
装置の座標を測定する測定装置を設け、撮像装置を撮像
素子を直線状に配置したラインカメラとして、撮像装置
とプリント基板とを撮像素子の配置方向と直角の方向に
移動させながら、測定手段で測定した座標に基づいてプ
リント基板を撮像し、撮像時における座標に予め求めて
おいた移動装置に対する制御量と実際の位置との差を加
算して撮像座標とするので、プリント基板に加工されて
いる穴の直径や穴位置を、高速かつ高精度に測定するこ
とができる。
【図１】本発明に係る信号のブロック図である。
【図２】トリガ信号が出力されたタイミングを示す図で
ある。
ある。
【図３】トリガ信号Ｔ間の時間ｔと閾値の加算値（また
は電気信号Ｍの加算値）との関係を示す図である。
は電気信号Ｍの加算値）との関係を示す図である。
【図４】レーザ測定器で測定したテーブル２の位置と、
指令パルスＰおよび補正値Ｈの関係を示す図である。
指令パルスＰおよび補正値Ｈの関係を示す図である。
１ プリント基板 ２ テーブル ３ ベース ５ 記憶装置 ６ リニアスケール ６ａ スケール ６ｂセンサ ３１ 撮像装置 Ｈ 補正値
【手続補正書】
【提出日】平成１４年１月２４日（２００２．１．２
４）
４）
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA02 CC01 DD06 FF16 FF64 JJ02 JJ25 PP12 QQ04 QQ25 QQ27 QQ31 2G051 AA65 CA03 CA04 DA06 EA11 EA23 EB01 5B047 AA12 AB02 BA01 BB02 BC16 CA12 CB09 CB23 DB06 5B057 AA03 BA02 BA21 BA30 CA08 CA12 CA16 CB06 CB12 CB16 CE12 DA03 DA07 DB02 DC33
Claims (2)
- 【請求項１】 撮像装置によりプリント基板を撮像し、
得られた撮像データと当該プリント基板を加工した加工
データとを比較することにより、前記プリント基板に加
工された加工部を検査するようにしたプリント基板検査
機において、前記撮像装置または／および前記プリント
基板を移動させる移動装置の座標を測定する測定装置を
設け、前記撮像装置を撮像素子を直線状に配置したライ
ンカメラとして、前記撮像装置と前記プリント基板とを
前記撮像素子の配置方向と直角の方向に移動させなが
ら、前記測定手段で測定した座標に基づいて前記プリン
ト基板を撮像し、撮像時における前記座標に予め求めて
おいた前記移動装置に対する制御量と実際の位置との差
を加算して撮像座標とする、ことを特徴とするプリント
基板検査装置。 - 【請求項２】 前記移動装置の速度を検出する手段を設
け、検出した速度に応じて前記撮像データの出力値また
は前記撮像データを２値化するための閾値を補正するこ
とを特徴とする請求項１に記載のプリント基板検査装
置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000382072A JP2002181733A (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | プリント基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000382072A JP2002181733A (ja) | 2000-12-15 | 2000-12-15 | プリント基板検査装置 |
Publications (1)
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
2000
- 2000-12-15 JP JP2000382072A patent/JP2002181733A/ja active Pending
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