JP2002175691A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JP2002175691A JP2000372464A JP2000372464A JP2002175691A JP 2002175691 A JP2002175691 A JP 2002175691A JP 2000372464 A JP2000372464 A JP 2000372464A JP 2000372464 A JP2000372464 A JP 2000372464A JP 2002175691 A JP2002175691 A JP 2002175691A
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    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/401Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
    • G11C11/406Management or control of the refreshing or charge-regeneration cycles

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オートリフレッシュに伴うデータ転送レート
低下を抑制する。 【解決手段】 例えばデータ読み出し要求時には、/行
選択制御信号が行選択制御回路450のセットリセット
回路451に入力されて、Hレベルのヒドンリフレッシ
ュ制御信号が出力されて、内部行選択制御信号がHレベ
ルになる。その結果、所定のワード線が選択され、メモ
リセルのデータがセンスアンプで増幅され始めて、リフ
レッシュ動作が開始される。その後、センスアンプ起動
終了信号SENDが遅延回路2- 456、3- 457を
経てセンス動作の終了後に前記回路451に入力され
て、内部行選択制御信号がLレベルになると共に、前記
起動終了信号SENDが3個の遅延回路2- 456〜4
- 458を経てセットリセット回路453に入力され
て、RW行選択制御信号がHレベルになってデータの読
み出し動作が行われる。従って、オートリフレッシュを
行う必要が無くなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、データを記憶する
ためにリフレッシュが必要なメモリセルを備えた半導体
装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、DRAMはリフレッシュ動作を
行う必要がある。このDRAMでは、外部からの制御信
号を与えることにより、内部に設けたカウンタ等でリフ
レッシュアドレスを発生して、リフレッシュを行うリフ
レッシュ制御方法がある。このリフレッシュ制御方法は
オートリフレッシュと呼ばれる。このオートリフレッシ
ュサイクルを実行している間は、通常の読み出し又は書
き込みサイクルは実行できない。
【0003】また、クロックに同期して動作するDRA
Mとして、例えば特開2000−163966号公報に
記載されたものがある。このようなDRAMでは、クロ
ックの第1のエッジに基づいてロウ(行)系の回路が動
作し、そのクロックの第2のエッジに基づいてコラム
(列)系の回路が動作する。
【0004】図14は、オートリフレッシュ機能を有し
且つクロックに同期して動作するDRAMの一例を示
す。同図において、CLKはクロック、NRAUTはオ
ートリフレッシュ制御信号、NRASは行制御信号、N
CASは列制御信号である。このDRAMの動作の概略
を図15のタイミング図を参照して説明する。クロック
の左から2番目の立上りエッジに同期してオートリフレ
ッシュ制御信号NRAUTがアクティブ(Lレベル)に
なると、これに基づいてオートリフレッシュサイクルが
実行される。この例では、オートリフレッシュサイクル
の実行に2クロックを要するものとする。左から4番目
のクロック立上りエッジに至ると、オートリフレッシュ
サイクルが終了するので、次に、例えば読み出しサイク
ルを実行することができる。この例では、左から4番目
のクロック立上りエッジで制御信号NRASをアクティ
ブ(Lレベル)、5番目の立上りエッジで制御信号NC
ASをアクディブ(Lレベル)にすることにより、2ク
ロックで読み出しサイクルが完了する。同図では、クロ
ックの6番目の立上りエッジでは、次のオートリフレッ
シュサイクルを実行することが可能となる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】既述のように、従来の
DRAMでは、リフレッシュ動作と、通常の読み出し/
書き込み動作とが別個の動作サイクルとしで行われるた
め、所定リフレッシュ周期毎に読み出し/書き込み動作
を止めて、リフレッシュ動作のためのサイクルを挿入し
なければならない。そのためにDRAMのデータ転送レ
ートが低下するという問題がある。特に、所定リフレッ
シュ周期が短い場合には、頻繁にリフレッシュ動作のサ
イクルを挿入しなければならず、データ転送レートが大
きく低下する。
【0006】本発明の目的は、リフレッシュ動作が必要
なDRAMなどの半導体装置において、そのリフレッシ
ュ動作に起因するデータ転送レートの低下を抑制、防止
して、従来よりも高いデータ転送レートを持つ半導体装
置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めに、本発明では、データの読み出し又は書き込みが要
求された際には、その読み出し又は書き込みサイクル内
で1回のリフレッシュを自動的に行ったり、データの読
み出し又は書き込みが要求されない場合に1クロック内
で1回のオートリフレッシュ動作を完結し得る構成を採
用することとする。
【0008】即ち、請求項1記載の発明の半導体装置
は、データを記憶するためにリフレッシュが必要な多数
のメモリセル、及び前記メモリセルから読み出されたデ
ータを増幅する多数のセンスアンプを有する半導体装置
において、データの読み出し又は書き込みが要求された
場合に、そのデータの読み出し又は書き込み用制御信号
を受けてリフレッシュ制御信号を生成するリフレッシュ
制御信号生成回路を備えて、1回の読み出し又は書き込
みの動作サイクルの時間内に1回のリフレッシュ動作を
行うことを特徴とする。
【0009】請求項2記載の発明は、前記請求項1記載
の半導体装置において、前記リフレッシュ制御信号生成
回路は、前記リフレッシュ制御信号に基づいて、データ
の読み出し又は書き込みの前に、前記センスアンプの動
作を開始させてリフレッシュ動作を行わせることを特徴
とする。
【0010】請求項3記載の発明は、前記請求項2記載
の半導体装置において、前記リフレッシュ用制御信号生
成回路は、データの読み出し又は書き込み用制御信号と
して行選択制御信号を受けて、前記リフレッシュ用制御
信号としてリフレッシュ用の行選択制御信号を活性化す
ることを特徴とする。
【0011】請求項4記載の発明は、前記請求項2記載
の半導体装置において、前記センスアンプによるデータ
の増幅動作に応じたセンス状態信号を生成するセンス状
態信号生成回路と、前記リフレッシュ制御信号生成回路
によるリフレッシュ動作の開始後、前記センス状態信号
生成回路のセンス状態信号に基づいて、前記リフレッシ
ュ制御信号生成回路のリフレッシュ制御信号を非活性化
すると共に、前記センスアンプの動作の終了後にデータ
の読み出し又は書き込み用制御信号として通常動作用行
選択制御信号を生成して前記センスアンプの動作を再び
開始させる行選択制御回路とを備えたことを特徴とす
る。
【0012】請求項5記載の発明は、前記請求項4記載
の半導体装置において、前記センス状態信号生成回路
は、前記センス状態信号として、前記センスアンプの起
動の終了を示すセンス起動終了信号を生成することを特
徴とする。
【0013】請求項6記載の発明は、前記請求項4記載
の半導体装置において、前記行選択制御回路は、前記セ
ンス状態信号生成回路のセンス起動終了信号を前記セン
スアンプの起動から増幅動作の終了までに要する時間以
上遅らせたセンス終了信号を生成し、このセンス終了信
号に基づいて、前記リフレッシュ制御信号を非活性化す
ると共に前記通常動作用行選択制御信号を活性化するこ
とを特徴とする。
【0014】請求項7記載の発明は、前記請求項4記載
の半導体装置において、前記行選択制御回路は、リフレ
ッシュカウンタと、読み出し又は書き込みデータの行ア
ドレスをラッチする行アドレスラッチと、アドレス選択
回路と、前記センス状態信号生成回路のセンス起動終了
信号に基づいて、前記センスアンプの動作終了後に前記
アドレス選択回路で前記行アドレスラッチ側を選択させ
る選択制御回路とを備えたことを特徴とする。
【0015】請求項8記載の発明は、前記請求項7記載
の半導体装置において、前記選択制御回路により前記ア
ドレス選択回路が前記行アドレスラッチ側を選択した直
後に、リフレッシュカウント信号を生成して前記リフレ
ッシュカウンタを更新するリフレッシュアドレス更新器
を備えたことを特徴とする。
【0016】請求項9記載の発明は、前記請求項4記載
の半導体装置において、列選択制御信号を出力して、前
記行選択制御回路に基づいてセンスアンプで増幅された
データを読み出し又は書き込む列選択制御回路と、前記
列選択制御回路によるデータの読み出し又は書き込動作
の終了後に、前記行選択制御回路の通常動作用行選択制
御信号を非活性化して前記センスアンプの動作を終了さ
せるリセット回路とを備えたことを特徴とする。
【0017】請求項10記載の発明は、前記請求項4記
載の半導体装置において、データの読み出し又は書き込
みが要求されない場合に、オートリフレッシュ制御信号
を受けて内部オートリフレッシュ制御信号を生成する内
部オートリフレッシュ制御信号生成回路を備えて、リフ
レッシュ動作を、1回の読み出し又は書き込みの動作サ
イクルの時間内に行う1回のリフレッシュ動作と、前記
読み出し又は書き込み動作がない場合のオートリフレッ
シュ動作とにより行うことを特徴とする。
【0018】請求項11記載の発明は、前記請求項10
記載の半導体装置において、前記オートリフレッシュ制
御信号は前記リフレッシュ制御信号生成回路に入力さ
れ、このリフレッシュ制御信号生成回路により、前記内
部オートリフレッシュ制御信号生成回路を共用して前記
内部オートリフレッシュ制御信号が生成されることを特
徴とする。
【0019】請求項12記載の発明は、前記請求項10
記載の半導体装置において、前記内部オートリフレッシ
ュ制御信号の発生時に、前記行選択制御回路による通常
動作用行選択制御信号の生成を停止させるリセット回路
を備えたことを特徴としている。
【0020】請求項13記載の発明は、前記請求項11
記載の半導体装置において、リフレッシュカウンタと、
読み出し又は書き込みデータの行アドレスをラッチする
行アドレスラッチと、アドレス選択回路と、前記センス
状態信号生成回路のセンス起動終了信号に基づいて、前
記センスアンプの動作終了後に前記アドレス選択回路で
前記行アドレスラッチ側を選択させる選択制御回路と、
前記選択制御回路により前記アドレス選択回路が前記行
アドレスラッチ側を選択した直後に、リフレッシュカウ
ント信号を生成して前記リフレッシュカウンタを更新す
るリフレッシュアドレス更新器とを備え、前記リフレッ
シュカウンタ、アドレスラッチ、アドレス選択回路、選
択制御回路及びリフレッシュアドレス更新器は、1回の
読み出し又は書き込みの動作サイクルの時間内に行うリ
フレッシュ動作と、前記読み出し又は書き込み動作がな
い場合のオートリフレッシュ動作とで共用されることを
特徴とする。
【0021】請求項14記載の発明は、前記請求項9記
載の半導体装置において、欠陥メモリセルが接続された
ワード線を予備ワード線に置換して救済し、不良行アド
レスを記憶するヒューズ回路と、前記ヒューズ回路の不
良行アドレスを、前記列選択制御回路に基づくデータの
読み出し又は書き込み終了毎に設定し直すヒューズリセ
ット回路とを備えたことを特徴とする。
【0022】請求項15記載の発明は、前記請求項9記
載の半導体装置において、前記列選択制御回路からの列
選択制御信号が所定クロックのエッジで活性化されてい
ない時、前記行選択制御回路の前記通常動作用行選択制
御信号を前記所定クロックのエッジから所定時間経過後
にリセットするリセット回路を備えたことを特徴とす
る。
【0023】請求項16記載の発明は、前記請求項3記
載の半導体装置において、前記リフレッシュ用制御信号
生成回路は、データの読み出し又は書き込み用制御信号
としての行選択制御信号をクロックの立上り又は立下り
エッジ毎に続けて受けた場合には、前記リフレッシュ用
制御信号としてのリフレッシュ用の行選択制御信号を活
性化しないことを特徴とする。
【0024】請求項17記載の発明の半導体装置は、デ
ータを記憶するためにリフレッシュが必要な多数のメモ
リセル、及び前記メモリセルから読み出されたデータを
増幅する多数のセンスアンプを有する半導体装置におい
て、データの読み出し又は書き込みが要求されない場合
に、オートリフレッシュ制御信号を受けて内部オートリ
フレッシュ制御信号を生成する内部オートリフレッシュ
制御信号生成回路と、前記センスアンプによるデータの
増幅動作に応じたセンス状態信号を生成するセンス状態
信号生成回路と、前記内部オートリフレッシュ制御信号
生成回路によるオートリフレッシュ動作の開始後、前記
センス状態信号生成回路のセンス状態信号に基づいて、
前記内部オートリフレッシュ制御信号生成回路のリフレ
ッシュ制御信号を非活性化する行選択制御回路とを備え
て、1回のオートリフレッシュ動作を1クロック内で行
うことを特徴とする。
【0025】以上により、請求項1記載の発明では、デ
ータの読み出し又は書き込みが要求された場合には、リ
フレッシュ制御信号生成回路がリフレッシュ制御信号を
生成する。従って、データの読み出し又は書き込み動作
サイクル毎に、この動作サイクル内に前記リフレッシュ
制御信号に基づくリフレッシュ動作を1回行われる。よ
って、リフレッシュ周期毎にオートリフレッシュを行う
必要が無くなり、半導体装置のデータ転送レートが高く
なる。
【0026】請求項2ないし請求項9記載の発明では、
データの読み出し又は書き込みが要求された場合には、
先ずリフレッシュ動作が行われ、その終了後に続いてデ
ータの読み出し又は書き込みが行われる。その際、特に
請求項7記載の発明では、前者のリフレッシュ動作での
センス起動終了信号に基づいて、行アドレスラッチにラ
ッチした読み出し又は書き込むべきデータの行アドレス
(外部行アドレス)がアドレス選択回路で選択されるの
で、後者のデータの読み出し又は書き込みの開始時に
は、既に前記外部行アドレスのデコードは終了してい
て、その時間分、読み出し又は書き込みサイクルが短縮
される。また、請求項8記載の発明では、アドレス選択
回路が前記行アドレスラッチを選択した後は直ちにリフ
レッシュカウンタ側を選択するので、その次のデータ読
み出し又は書き込み要求時には、最初に行われるリフレ
ッシュ動作でのリフレッシュアドレスのデコードは終了
していて、その時間分、読み出し又は書き込みサイクル
が一層短縮される。更に、請求項9記載の発明では、読
み出し又は書き込み動作での列選択動作の終了後は、デ
ータの読み出し又は書き込み用制御信号が非活性化され
て、センスアンプの動作が終了し、ひいてはメモリセル
のデータが読み出されるビット線のプリチャージが行わ
れるので、1クロックで列制御とセンスアンプの動作停
止及びビット線のプリチャージを行うことができ、読み
出し又は書き込みのクロックサイクル数を少なくでき
る。
【0027】更に、請求項10ないし請求項13記載の
発明では、データの読み出し又は書き込みが要求されな
い場合には、オートリフレッシュ制御信号に基づいてオ
ートリフレッシュが行われる。特に、請求項11及び請
求項13記載の発明では、オートリフレッシュ制御信号
生成回路や、リフレッシュカウンタなどが共用されるの
で、回路削減が可能であると共に、これら回路の実評価
が簡略化される。
【0028】加えて、請求項14記載の発明では、フュ
ーズ回路に記憶したプログラム値(不良アドレス)がノ
イズなどの影響で変化しても、読み出し又は書き込むサ
イクル毎に前記プログラム値を設定し直すので、誤救済
が防止される。
【0029】また、請求項15記載の発明では、ダミー
サイクル時、又は所定クロックのエッジで列選択制御信
号が誤って非活性化状態にある場合にも、行選択制御回
路のデータ読み出し又は書き込み用制御信号の活性化状
態を比較的長い期間確保できて、その長い時間分、セン
スアンプ動作を長く維持でき、半導体装置の誤動作を防
止できる。
【0030】更に、請求項16記載の発明では、行選択
制御信号をクロック毎に連続して受けたページ動作モー
ド時には、リフレッシュ用の行選択制御信号は2回目の
クロック以降は活性化されないので、リフレッシュ動作
を行わずに直ちにデータの読み出し又は書き込みが行わ
れる。
【0031】加えて、請求項17記載の発明では、セン
スアンプによるデータの増幅動作に応じたセンス状態信
号をセンス状態信号生成回路で生成するので、クロック
の立上りに基づいて内部オートリフレッシュ制御信号生
成回路が内部オートリフレッシュ制御信号を発生して内
部オートリフレッシュ動作が開始された後は、前記セン
ス状態信号に基づいてデータ増幅動作が終了した時点で
前記内部オートリフレッシュ制御信号の発生が停止され
る。従って、1クロック内でオートリフレッシュ動作を
完結することが可能である。
【0032】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
【0033】図1、図2及び図3は、本発明の実施の形
態である半導体装置としてのDRAM900の構成を示
す。図1はメモリセルブロック部の構成を示し、B0-
0、B0-1は一対のメモリブロックであり、全体では
8個のメモリブロックが備えられ、同図では第2〜第8
番目のメモリブロックB1-0〜B7-0は省略し、8番
目のメモリブロックB7-1が記載されている。これ等
のメモリブロックB0-0〜B7-1は同一構成である。
メモリブロックB0-0は、2個のメモリセルアレイC
-0、C0-1と、この両メモリセルアレイに挟まれた
センスアンプブロックA0-0とを持つ。メモリブロッ
クB0-1も左側にメモリセルアレイC0-2を、中央に
センスアンプブロックA0-1を、右側にメモリセルア
レイC0-3を持つ。同様に、メモリブロックB7-1も
2個のメモリセルアレイC7-2、C7-3と、センスア
ンプブロックA7-1を持つ。
【0034】図1のメモリブロックB0-0の内部構成
を例示して説明すると、メモリセルアレイC0-0、C
-1は多数個のメモリセルMCを有し、これ等のセル
MCのうち同一列のセルは一対のビット線BL、/BL
で接続されると共に、行方向に延びる複数本のワード線
及び冗長救済用の1行の予備ワード線(Sワード線)に
より選択される。また、センスアンプブロックA0-
は、左右のメモリセルアレイC0-0、C0-1のメモリ
セルMCに記憶されたデータを差動増幅する1対のセン
スアンプ群S0-0、S0-1と、各一対のビット線B
L、/BLを電源電圧の1/2値にプリチャージするプ
リチャージ回路群C0とを有する。
【0035】更に、図1において、MB1〜MB4k+
1は前記各メモリブロックB0-0〜B7-1を横切って
延びるメインビット線であって、4列のメモリセルMC
毎に5本設けられる。これ等メインビット線MB1〜M
B4k+1を各メモリブロックB0-0〜B7-1のビッ
ト線(BL1、/BL1)〜(BL4k、/BL4k)
と接続するために、前記各メモリブロックB0-0〜B
-1のセンスアンプブロックA0-0〜A7-1にはス
イッチ回路群T0-0〜T0-1が配置される。また、前
記メインビット線MB1〜MB4k+1の端(同図では
メモリブロックB7-1の図中右方)には、これ等のメ
インビット線をプリチャージするメインプリチャージ回
路100が配置されると共に、各メインビット線MB1
〜MB4k+1のデータをメインアンプMA1〜MA4
kに選択的に送るpチャネルトランジスタ及びnチャネ
ルトランジスタの並列回路から成るスイッチ回路110
が配置される。前記各メインアンプMA1〜MAkの図
中右方には、各メインアンプMA1〜MAkで増幅され
たデータを保持するラッチ回路LA1〜LAkと、これ
等各ラッチ回路LA1〜LAkでラッチされたデータを
受けてラッチするDフリップフロップ回路FF1〜FF
kとが配置される。
【0036】図2は、前記図1に示したメモリセルブロ
ック部のワード線を選択する行デコーダD0-0〜D7-
3、及びセンスアンプ群、プリチャージ回路群を制御す
るセンスアンプ制御部SC0-0〜SC7-1を示す。各
センスアンプ制御部SC0-0〜SC7-1は同一構成で
あり、メモリブロックB0-0の内部構成のみを例示し
ている。センスアンプ制御部SC0-0は、基本的には
プリチャージ回路群C0と各ビット線対BL、/BLと
の接続及び切り離し、各ビット線対に出力されたデータ
をセンスアンプ群S0-0、S0-1の動作により増幅す
ること、及びデータの読み出し時及び書き込み時には、
複数本のビット線BL、/BLをスイッチ回路T0
-0、T0-1によりメインビット線MB1〜MB4kに
接続する。
【0037】図3は、半導体装置に備える回路群を示
す。同図において、800はロジック部、400は行プ
リデコーダ、450は行選択制御回路、500は行アド
レス救済用の行ヒューズブロックである。この行ヒュー
ズブロック500は、欠陥により不良になったメモリセ
ルに接続されたワード線を予備ワード線で置き換えて救
済するものである。550は制御回路、600は列選択
制御回路である。前記ロジック部800は、行選択制御
回路450に対して/行選択制御信号、/列選択制御信
号、/オートリフレッシュ制御信号、及び外部アドレス
(m:0)を出力すると共に、列選択制御回路600に
対して列アドレス(3:0)を出力し、更に行選択制御
回路450、制御回路550及び列選択制御回路600
に対してクロックを供給する。前記行プリデコーダ40
0は、センスアンプを駆動する際には、Lレベルのセン
スアンプ起動信号/SEN(7:0)を出力する。前記
図2の各センスアンプ制御部SC0-0〜SC7-1は、
このセンスアンプ起動信号/SENを受信して、センス
アンプ群S0-0、S0-1…を起動する。
【0038】前記センスアンプ起動信号/SEN(7:
0)は、図3に記載されるようにAND回路750に入
力される。このAND回路(センス状態信号生成回路)
750は、図1の右端に位置するメモリブロックB7-
1の更に右方に配置されていて、センスアンプの駆動時
にLレベルのセンスアンプ起動終了信号(センス起動終
了信号)SENDを出力する。この起動終了信号SEN
Dは、図1の左端に位置するメモリブロックB0-0の
左方に位置する行選択制御回路450及び行プリデコー
ダ400に入力される。前記センスアンプ起動終了信号
SENDは以後の説明に重要である。
【0039】次に、前記行選択制御回路450の内部構
成を図4に示す。同図の行選択制御回路450は、5個
のセットリセット回路451、452、453、45
4、455と、アドレス選択回路475と、リフレッシ
ュカウンタ476と、行アドレスラッチ477とを有す
ると共に、データの読み出し又は書き込み要求時にロジ
ック部800から出力される/行選択制御信号(Lアク
ティブ)(データの読み出し又は書き込み用制御信号)
が入力され、また前記センスアンプ起動終了信号SEN
Dとが入力される。
【0040】前記セットリセット回路(リフレッシュ制
御信号生成回路)451は、データの読み出し又は書き
込み動作時に、前記ロジック部800からの/行選択制
御信号をインバータ408及びOR回路410を介して
受けて、データの読み出し/書き込み動作の前にリフレ
ッシュ動作を行うように、クロックの立上り時に同期し
てHレベルのヒドンリフレッシュ制御信号を出力する。
このリフレッシュ制御信号はOR回路411を介して、
リフレッシュ時の内部行選択制御信号(リフレッシュ制
御信号)となり、この内部行選択制御信号が行プリデコ
ーダ400に出力される。更に、このセットリセット回
路451は、前記AND回路750からのLレベルのセ
ンスアンプ起動終了信号SENDを遅延回路2- 45
6、遅延回路3- 457を介して受けてリセットされ
る。前記2個の遅延回路の合計遅延時間は、センスアン
プ群の起動終了時からビット線のデータが十分増幅され
るまでに要する時間に設定される。従って、後段の遅延
回路3- 457の出力信号SENDDは、増幅完了信号
(センス終了信号)となってセットリセット回路451
をリセットし、ヒドンリフレッシュ制御信号はビット線
のデータの増幅完了時にLレベルに遷移する。
【0041】また、図4のセットリセット回路454
は、前記センスアンプ起動終了信号SENDがHレベル
に制御された時(即ち、リフレッシュ動作の終了後)
に、この起動終了信号SENDに基づいて短パルスを発
生するパルス発生器459からのパルスをAND回路4
65を介して受けてセットされて、HレベルのRWモー
ド信号(読み出し/書き込みモード信号)を出力する。
このRWモード信号は、インバータ412で反転され
て、リフレッシュモード信号となる。リフレッシュモー
ド信号は行プリデコーダ400に出力される。更に、前
記RWモード信号は、アドレス選択回路475に入力さ
れる。このアドレス選択回路475は、前記セットリセ
ット回路(選択制御回路)454からのRWモード信号
を受けて行アドレスラッチ477を選択し、RWモード
信号を受けない時にはリフレッシュカウンタ476を選
択する。行アドレスラッチ477は、読み出し又は書き
込みされるデータの行アドレスとして外部行アドレス
(m:0)をラッチする。従って、リフレッシュ時には
リフレッシュカウンタ476が選択され、読み出し/書
き込み時には行アドレスラッチ477が選択されて、選
択されたアドレスが内部行アドレス(m:0)として行
プリデコーダ400に出力される。
【0042】更に、図4のセットリセット回路453
は、前記センスアンプ起動終了信号SENDがHレベル
に制御された時(即ち、センスアンプによるデータの増
幅動作の終了後)に、このセンスアンプ起動終了信号S
ENDを遅延する遅延回路2-456、遅延回路3- 4
57及び遅延回路4- 458、及び最後段の遅延回路4
- 458の出力に基づいて短パルスを発生するパルス発
生器461からのパルスをAND回路465aを介して
受けて、RW行選択制御信号(リフレッシュ後の読み出
し/書き込み動作(通常動作)用の行選択指令信号)を
Hレベルに活性化して出力する。前記3個の遅延回路の
合計遅延時間は、ビット線のプリチャージの開始から終
了間での時間に設定される。前記RW行選択制御信号
は、OR回路411を介して内部行選択信号となって行
プリデコーダ400に出力されると共に、OR回路41
3及びバッファ462を介してRASイネーブル信号R
ASENとなって制御回路550に出力される。
【0043】続いて、図4のセットリセット回路(リフ
レッシュアドレス更新器)455は、前記セットリセッ
ト回路451からのヒドンリフレッシュ制御信号を受け
てセットされて、Hレベルの/リフレッシュカウント信
号を出力し、従って、インバータ414を経たリフレッ
シュカウント信号(リフレッシュカウンタ476のクロ
ック信号)をLレベルに設定される。また、このセット
リセット回路455は、前記センスアンプ起動終了信号
SENDがHレベルに制御された時(即ち、リフレッシ
ュ動作の終了後)に、この起動終了信号SENDを所定
時間遅延する遅延回路2- 456、及びこの遅延回路の
出力に基づいてパルスを発生するパルス発生器460を
介して、その出力パルスを受けてリセットされて、Lレ
ベルの/リフレッシュカウント信号を出力する。従っ
て、リフレッシュ動作の終了後は、リフレッシュカウン
ト信号がHレベルとなって、リフレッシュカウンタ47
6のアドレスが直ちに"1"更新される。
【0044】前記セットリセット回路453のリセッ
ト、即ちRW行選択制御信号(通常動作用行選択制御信
号)のLレベルへのリセットは次のように行われる。即
ち、スイッチ回路T0-0〜T7-1がoffした時に立
下る信号NYENを、遅延回路8- 463及びOR回路
464を含むリセット回路900で処理した後、このO
R回路464の出力を/RW行選択リセット信号として
RW行選択制御信号がリセットされる。また、前記セッ
トリセット回路454のリセット、即ちRWモード信号
のLレベルへのリセットは次のように行われる。即ち、
前記RW行選択制御信号のリセット後(データの読み出
し後)にセンスアンプ起動終了信号SENDがHレベル
に復帰した時(センスアンプの動作が停止された時、換
言すればビット線のプリチャージ動作が開始された時)
に、前記センスアンプ起動終了信号SENDを受けるパ
ルス発生器459の出力パルスをAND回路466を経
て/RWモードリセット信号として、リセットされる。
【0045】また、図4のセットリセット回路452
は、前記Lレベルの/行選択制御信号を受けて、図10
Aに示すように時間t0からの1クロックの間Hレベル
の行選択フラグを出力する。このセットリセット回路4
52からの行選択フラグは、セットリセット回路451
のLH端子に入力される。このセットリセット回路45
1は、LH端子にクロックの立上りで前記Hレベルの行
選択フラグを受けた場合には、ヒドンリフレッシュ制御
信号のレベルは変化しない。
【0046】また、前記行選択制御回路450には、電
源立上り時のダミーサイクル等において前記セットリセ
ット回路453からのRW行選択制御信号(最終的に
は、内部行選択制御信号)のアクティブ期間(Hレベル
期間)を長く確保する対策が施される。以下、この構成
を説明する。ロジック部800は通常時には図10Aの
時間t1でLレベルの/列選択制御信号が入力される
が、図11A、図11Bに示すようにダミーサイクル時
には/列選択制御信号はHレベルに維持される。行選択
制御回路450には、セットリセット回路465が備え
られ、この回路465は、前記/列選択制御信号と、セ
ットリセット回路452のQ端子からの行選択フラグを
受け、Hレベルの/列選択制御信号とHレベルの行選択
フラグとを受けてRW行選択制御信号のリセット信号
(Hレベル)を出力する。このリセット信号はAND回
路486に入力され、このAND回路486には、前記
行選択フラグを遅延回路6- 487、遅延回路7- 48
8を経て所定時間遅延された遅延行選択フラグが入力さ
れ、このAND回路486の出力がリセット信号とし
て、前記RW行選択制御信号を出力するセットリセット
回路453のリセット端子NRに入力される。前記AN
D回路486及び2個の遅延回路6- 487、遅延回路
7- 488によりリセット回路489を構成する。従っ
て、/列選択制御信号はHレベルに維持されるダミーサ
イクル時や、通常動作時であっても/列選択制御信号が
Hレベルになった誤入力時にも、前記2個の遅延回路の
遅延時間分だけRW行選択制御信号のリセットを行選択
フラグの立下りよりも遅らせて、Hレベルの内部行選択
制御信号を長い期間確保して、センスアンプによるデー
タ増幅動作を十分確保するようにしている。
【0047】更に、前記行選択制御回路450には、ロ
ジック部800からLレベルの/オートリフレッシュ制
御信号を受ける。この信号は、データの読み出し及び書
き込み動作時以外の時、例えばスタンバイ状態の場合に
出力される。前記/オートリフレッシュ制御信号は、O
R回路410を経て前記セットリセット回路(内部オー
トリフレッシュ制御信号生成回路)451のD端子に入
力されて、ヒドンリフレッシュ制御信号をクロックの立
上りでHレベルにし、内部行選択制御信号(内部オート
リフレッシュ制御信号)をHレベルに活性化する。一
方、Dフリップフロップ回路485aの出力であるリセ
ットフラグがHレベルになり、RW行選択制御信号及び
RWモード信号がリセットされることにより、リフレッ
シュ動作後の読み出し及び書き込み動作を禁止してい
る。
【0048】次に、前記行プリデコーダ400の内部構
成を図6に基づいて説明する。この行プリデコーダ40
0は、既述の通り行選択制御回路450から内部行アド
レス(m:0)、リフレッシュモード信号、内部行選択
制御信号を受けると共に、図1に示したAND回路75
0からセンスアンプ起動終了信号SENDを受ける。同
図において、セットリセット回路401は、Hレベルの
内部行選択制御信号を受けてセットされてHレベルのブ
ロック選択イネーブル信号XBKENを出力し、一方、
センスアンプ起動終了信号SENDを受けてリセットさ
れてブロック選択イネーブル信号XBKENをLレベル
にする。
【0049】また、図6のメモリブロック選択回路49
0は、Hレベルの内部行選択制御信号及びHレベルのブ
ロック選択イネーブル信号XBKENによりイネーブル
になり、内部行アドレス(m:0)のうち上位3ビット
のアドレス(m:m−2)及びリフレッシュモード信号
に基づいて図1の8対のメモリブロック対(B0-0、
B0-1)〜(B7-0、B7-1)のうち1対又は2対
選択する。そのブロック選択信号XBK(0)〜XBK
(7)は、各々、そのままワード線イネーブル信号WD
EN(0)〜WDEN(7)となって図2の対応する行
デコーダD0-0〜D7-3及びセンスアンプ制御部SC
-0〜SC7-1に入力されて、これ等行デコーダをイ
ネーブルにすると共に、これらセンスアンプ制御部にお
いてセンスアンプ群及びプリチャージ回路群が制御され
る。更に、前記ブロック選択信号XBK(0)〜XBK
(7)は、各々、遅延回路410〜417により所定時
間遅延され且つ反転されてセンスイネーブル信号/SE
N(0)〜/SEN(7)となって、対応する図2のセ
ンスアンプ制御部SC0-0〜SC7-1に入力されて、
センスアンプ群の増幅動作を開始を指示する。このセン
スイネーブル信号/SEN(0)〜/SEN(7)が図
1のAND回路750に入力される。加えて、行アドレ
スデコーダ426は、内部行アドレス(m:0)のうち
上記上位3ビットを除くビット(m−3:0)を入力し
てデコードし、その結果を行プリデコード信号(n:
0)として図2の行デコーダD0-0〜D7-3に入力さ
れて、ワード線の選択に供される。
【0050】続いて、図1の制御回路550の内部構成
を図7に基づいて説明する。同図の制御回路550は、
リフレッシュ後のデータ読み出し又は書き込み時に、セ
ンスアンプ群により各ビット線のデータが増幅された後
に列選択制御回路600の動作を可能にするための回路
である。同図の制御回路550には、行選択制御回路4
50からのRASイネーブル信号RASEN及びロジッ
ク部800からの/列選択制御信号を受けるAND回路
551を有し、このAND回路551の出力は列アドレ
スの取り込みイネーブル信号/CAENとして列選択制
御回路600に入力される。また、信号生成回路555
は、前記RASイネーブル信号RASEN、ロジック部
800からの/列選択制御信号及び/ライト制御信号を
受けて、読み出し及び書き込みの開始を指示する信号R
EN、WENを出力し、この両信号は列選択制御回路6
00に入力される。前記信号生成回路555では、図1
のAND回路750からのセンスアンプ起動終了信号S
ENDが入力されていて、この信号SENDを遅延回路
10- 558で所定時間遅延した信号をAND回路55
6、557に入力して、この遅延した信号を受けて初め
て前記読み出し/書き込み開始信号REN、WENの出
力が可能になるように構成されている。
【0051】次に、図1の列選択制御回路600の内部
構成を図8に基づいて説明する。同図の列選択制御回路
600において、4個の列アドレスラッチ601〜60
4は、ロジック部800からの列アドレス(3:0)を
ラッチし、これ等のアドレスは列アドレスデコーダ60
7でデコードされて、列アドレス信号/MBT(7:
0)となって図2のセンスアンプ制御部SC0-0〜S
C7-1に入力され、多数のビット線BL、/BLの何
れかをメインビット線MB1〜MB4kに接続するスイ
ッチ回路T0-0〜T7-1の制御に供される。また、信
号生成回路610は、前記列アドレス(3:0)に基づ
いて、メインビット線MB1〜MB4kとメインアンプ
MA1〜MAkを接続するスイッチ回路110を制御す
る信号(YG0、/YG0)〜(YG3、/YG3)を
生成し、メインビット線MB1〜MBkとメインアンプ
MA1〜MAkとの接続の制御に供される。
【0052】更に、図1のタイミング発生回路605
は、ビット線とメインビット線とを接続をスイッチ回路
(センスアンプブロックA0-0内のスイッチ回路T0-
0、T0-1…)を制御する信号/MBTEN、メイン
アンプMA1〜MAkの動作を行わせるメインセンスア
ンプイネーブル信号/MSE、ラッチ回路LT1〜LT
kを制御する信号DLT、ラッチ回路LT1〜LT4k
に供給されるクロックRDCLK、前記行選択制御回路
450のセットリセット回路453のRW行選択制御信
号をリセットする信号NYEN、メインビット線のプリ
チャージ回路100を制御する信号/MPRS、信号生
成回路610を動作可能にする信号YPAENを図10
A、図10Bに示すような波形に生成して、センスアン
プ群で増幅されたデータを順次メインビット線MB1〜
MB4k、メインアンプMA1〜MAk、ラッチ回路L
T1〜LTk及びフリップフロップ回路LT1〜LTk
を経て読み出すようにしている。
【0053】次に、行フューズブロック500の内部構
成を図9に示す。同図のフューズブロック500は、8
個のヒューズ回路0- 551〜7- 558を有し、互い
に同一構成である。これ等のヒューズ回路0- 551〜
7- 558は、メモリブロックB0-0〜B7-0に対応
しており、予めフューズに不良行アドレスをプログラム
しておき、ワード線を選択する時に内部行アドレスとフ
ューズにプログラムされたアドレスとを比較して、不良
アドレスの場合には、予備ワード線を選択するものであ
る。1つのヒューズ回路0- 551を例示して説明する
と、このヒューズ回路0- 551において、フューズ回
路FA0〜FA(m−3)の出力FADR(m−3:
0)は、救済行アドレスを示す。フューズ回路FJ0の
救済識別信号は、メモリブロックB0-0に対し予備ワ
ード線により救済する否かを示し、Hレベルであれば、
救済行アドレスFADR(m−3:0)が示すワード線
の救済を行うことを示す。フューズ回路FA0〜FA
(m−3)、FJ0はフューズリセット信号がHレベル
になるとリセットされる。フューズが切断されると、各
フューズ回路内の/OUT信号の電圧レベルが不定にな
るため、本実施の形態では、図5に示したリセット信号
生成回路495のヒューズリセット信号により、フュー
ズが切断された場合前記/OUT信号の電圧レベルをデ
ータ読み出し時若しくは書き込み時毎又はオートリフレ
ッシュ時毎に初期化するようにしている。
【0054】また、前記行選択制御回路450は、図5
に示すようなリセット信号生成回路(ヒューズリセット
回路)495を備える。この信号生成回路495は、図
2に示した行ヒューズブロック550に出力されるヒュ
ーズリセット信号を生成する。前記信号生成回路495
には、図4に示したセットリセット回路452からの行
選択フラグと、図6に示した行プリデコーダ400から
のブロック選択イネーブル信号XBKENとが入力され
て、行選択フラグがLレベルの状態でブロック選択イネ
ーブル信号XBKENがLレベルに立下った時、即ち、
読み込み若しくは書き込み動作時又はロジック部800
からの/オートリフレッシュ制御信号に基づくオートリ
フレッシュ動作時において、ワード線をoffしてデー
タのビット線での増幅動作を終了した後に、Hレベルの
短パルスのヒューズリセット信号を生成する。
【0055】以下、本実施の形態の半導体装置の動作を
図10A、図10Bのタイミングチャートに基づいて説
明する。尚、以下では、データの読み出し動作を例示し
て説明し、書き込み動作の説明は省略する。この読み出
し動作は、大別すると、データ読み出し前のリフレッシ
ュ動作と、データ読み出し動作の2つに分けられ、後者
は更に行制御と列制御とに区別される。以下、これ等を
順に説明する。
【0056】<リフレッシュ動作>図10A及び図10
Bにおいて、時間t0でロジック部800はLレベルの
/行選択制御信号を行選択制御回路450に出力する。
行選択制御回路450では、セットリセット回路451
がQ端子からHレベルのヒドンリフレッシュ制御信号を
出力し、内部行選択制御信号はHレベルになる。更に、
セットリセット回路454のQ出力、即ちRWモードフ
ラグは初期状態のLレベルにあるので、リフレシュモー
ド信号はHレベルになると共に、アドレス選択回路47
5はリフレッシュカウンタ476側を選択し、内部行ア
ドレス(m:0)としてリフレッシュカウンタ476の
リフレッシュアドレス(m:0)(例えば"0"(16進
表示))が行プリデコーダ400に出力される。この
時、セットリセット回路455は、前記ヒドンリフレッ
シュ制御信号によりセットされて、Hレベルの/リフレ
ッシュカウント信号を出力し、リフレッシュカウンタ4
76へのリフレッシュカウント信号はLレベルに設定さ
れる。一方、行アドレスラッチ477は、ロジック部8
00からの外部行アドレス(m:0)(例えば1)をラ
ッチする。
【0057】行プリデコーダ400では、前記Hレベル
の内部行選択制御信号、内部行アドレス(リフレッシュ
アドレス)、及びHレベルのリフレシュモード信号を受
けて、メモリブロック選択回路490は信号XBK
(0)とXBK(4)のみをHレベルとして、2対のメ
モリブロック(B0-0、B0-1)及び(B4-0、B
-1)のメモリセルアレイC0-0〜C0-3、C4-
〜C4-3を選択する。以下、メモリセルアレイC0
-0、C0-1選択動作を例に挙げて説明する。行プリデ
コーダ400はHレベルのWDEN(0)を出力するの
で、信号/EQ0がHレベルになってセンスアンプ制御
部SC0-0はプリチャージ回路群COをOFF制御し
て、ビット線対1〜4kのプリチャージを解除する。ま
た、行デコーダD0-0、D0-1は、行アドレスデコー
ダ426からの行プリデコード信号(n:0)を受け
て、ワード線0のみをイネーブルにして、このワード線
0に接続されているメモリセルMCのデータをビット線
対1〜4kに出力する。その後、行プリデコーダ400
では、前記ビット線対へのデータの出力が終了する時間
(遅延回路1- 410の遅延時間)を待って、信号/S
EN(0)がLレベルになり、センスアンプ制御部SC
-0はセンスアンプブロックA0-0のセンスアンプ群
S0-0〜SO-1の8k個のセンスアンプをイネーブル
にして、各ビット線対に読み出されたデータを増幅し始
め、リフレッシュする。
【0058】その後、前記信号/SEN(0)がLレベ
ルになるのに伴い、AND回路750がLレベルのセン
スアンプ起動終了信号SENDを出力し、この信号SE
NDを受けた行選択制御回路450では、センスアンプ
動作によりビット線対のデータが十分に増幅された後
(即ち、遅延回路2- 456と遅延回路3- 457との
合計遅延時間の後)、セットリセット回路451が前記
センスアンプ起動終了信号SENDに基づいてリセット
されてヒドンリフレッシュ制御信号がLレベルになり、
内部行選択制御信号もLレベルになる。これに伴い、行
プリデコーダ426では、信号WDEN(0)=Lレベ
ル、信号/SEN(0)=Hレベルへ復帰して、行デコ
ーダD0-0、D0-1によるワード線0の選択、及びセ
ンスアンプ群S0-0、S0-1のセンスアンプ動作が停
止されると共に、プリチャージ回路C0によるビット線
のプリチャージ動作が開始される。また、前記信号/S
EN(0)=Hレベルへの復帰に伴い、AND回路75
0からのセンスアンプ起動終了信号SENDもHレベル
に復帰する。
【0059】<データ読み出し動作の行制御>この行制
御は、ビット線対にデータを読み出して増幅するまでの
制御である。前記センスアンプ起動終了信号SENDの
Hレベルへの復帰に伴い、行選択制御回路450では、
セットリセット回路453が前記センスアンプ起動終了
信号SENDに基づいてセットされて、HレベルのRW
モード信号が出力される。その結果、リフレッシュモー
ド信号はLレベルになると共に、アドレス選択回路47
5は前記HレベルのRWモード信号を受けて行アドレス
ラッチ477側を選択し、内部行アドレス(m:0)と
して、外部行アドレス(m:0)=1を行プリデコーダ
400に出力する。これと並行して、セットリセット回
路455では、前記Hレベルのセンスアンプ起動終了信
号SENDをパルス発生器460を介して受けてリセッ
トされて、/リフレッシュカウント信号がLレベルにな
り、リフレッシュカウント信号がHレベルになって、リ
フレッシュカウンタ476がカウントアップされて、例
えばリフレッシュアドレス0からリフレッシュアドレス
1になる。
【0060】更に、前記Hレベルのセンスアンプ起動終
了信号SENDは、3個の遅延回路2- 456、3- 4
57、4- 458で遅延されて(即ち、前記ビット線の
プリチャージ動作の完了を待って)セットリセット回路
453に入力されて、この回路453がリセットされ、
そのQ端子からHレベルのRW行選択制御信号を出力
し、内部行選択制御信号はHレベルになって、行プリデ
コーダ400に出力される。行プリデコーダ400で
は、リフレッシュモード信号=Lレベルであるので、メ
モリブロック選択回路490はブロック選択信号XBK
(0)のみをHレベルにする。外部行アドレス(m:
0)=1であるので、行デコーダD0-0、D0-1はメ
モリブロックB0-0、B0-1のメモリセルアレイC0
-0〜C0-3のワード線1を選択する。以後は、既述の
リフレッシュ動作と同様の動作により、4個のメモリセ
ルアレイC0-0〜C0-3において各ビット線対1〜4
kに読み出されたデータがセンスアンプ群S0-0〜S
-3で増幅される。前記セットリセット回路453か
らのHレベルのRW行選択制御信号の出力により、バッ
ファ462からはHレベルのRASイネーブル信号RA
SENが出力される。
【0061】<データ読み出し動作の列制御>この列制
御は、増幅されたデータをメインビット線対MB1〜M
B4kからフリップフロップ回路FF1〜FFkを経て
読み出す制御である。ロジック部800からはLレベル
の/列選択制御信号が図10Aの時間t1でのクロック
の立上り前に出力される。制御回路550では、このL
レベルの/列選択制御信号及び前記バッファ462から
のHレベルのRASイネーブル信号RASENが入力さ
れて、列アドレスの取り込みイネーブル信号/CAEN
がLレベルになり、その後、信号生成回路555からは
Hレベルの読み出し開始信号RENが出力される。その
結果、列選択制御回路600では、図10Aの時間t1
でのクロックの立上りタイミングで列アドレスラッチ6
01〜604にロジック部800からの列アドレス
(3:0)(=例えば0)がラッチされ、列アドレスデ
コーダ607からの列アドレス信号/MBT(7:0)
により、例えばメモリブロックB0-0内のセンスアン
プ群S0-0の4k個のセンスアンプを1個置きにメイ
ンビット線MB1〜MB4k+1に接続するように同ブ
ロック内のスイッチ回路T0-0のみが制御されると共
に、これらメインビット線MB1〜MB4k+1に出力
されたデータをメインアンプMA1〜MAkに伝達する
ように信号生成回路610から信号YG(0)のみがH
レベルになり、信号/YG(0)のみがLレベルにな
る。
【0062】更に、タイミング発生回路605から発生
する信号/MBTEN、/MSE、DLT、RDCL
K、/MPRSにより、メインビット線MB1〜MB4
k+1のプリチャージ動作の停止、メインアンプMA1
〜MAkでの増幅動作、ラッチ回路LT1〜LTkでの
データラッチ動作、及びフリップフロップ回路FF1〜
FFkでのデータラッチ動作が制御されて、メインビッ
ト線MB1〜MB4k+1に出力されたデータがフリッ
プフロップ回路FF1〜FFkから読み出される。この
ようなデータ読み出し後は、ビット線対(BL1、/B
L1)〜(BL4K、/BL4K)とメインビット線対
MB1〜MB4K+1との接続が断たれると共に、メイ
ンビット線MB1〜MB4k+1のプリチャージが行わ
れる。
【0063】その後は、列選択制御回路600のタイミ
ング発生回路605からLレベルの信号NYENが出力
される。これにより、行選択制御回路450では、セッ
トリセット回路453がリセットされて、RW行選択制
御信号がLレベルになって、内部行選択制御信号もLレ
ベルになる。その結果、行プリデコーダ400では、信
号WDEN(0)、/SEN(0)がLレベルになっ
て、メモリブロックB0 -0の4個のメモリセルアレイ
C0-0〜C0-3のワード線1の非選択、センスアンプ
群S0-0〜S0-3でのセンスアンプ動作の停止、ビッ
ト線対のプリチャージ開始が行われる。更に、センスア
ンプ起動終了信号SENDがHレベルに復帰すると、行
選択制御回路450では、セットリセット回路454が
リセットされて、RWモード信号がLレベルになる。こ
れにより、リフレッシュモード信号がHレベルに復帰す
ると共に、アドレス選択回路475がリフレッシュカウ
ンタ476側を選択して、内部行アドレス(m−1:
0)がリフレッシュカウンタ476のリフレッシュアド
レス(m−1:0)(=1)となり、内部行アドレスm
=Hとなる。
【0064】図11A及び図11Bは、電源立上げ時の
ダミーサイクル等の場合のタイミングチャートを示す。
図10A、図10Bに示した通常のリードサイクルで
は、時間t0で/行選択制御信号がLレベルとなり、時
間t1で/列行選択制御信号がLレベルになるが、この
ダミーサイクルでは、時間t1で/列選択制御信号はH
レベルに維持される。また、この時間t1でのクロック
の立上りでは、行選択制御回路450のセットリセット
回路452の出力である行選択フラグはHレベルであ
る。従って、行選択制御回路450のセットリセット回
路485は、図11Aに示したように、行選択フラグに
基づくHレベルのリセットイネーブル信号を直ちに出力
する。しかし、AND回路486は、前記行選択フラグ
を遅延回路6- 487、7- 488で所定時間遅延した
行選択フラグ遅延信号が前記所定期間経過するまで前記
リセットイネーブル信号の通過を禁止するので、前記所
定期間Dの時間分、セットリセット回路453からのR
W行選択制御信号のリセットが遅れて、HレベルのRW
行選択制御信号がその期間だけ長く維持されて、内部行
選択制御信号がHレベルを維持するパルス幅が十分確保
される。その結果、ダミーサイクルであっても、センス
アンプによるデータ増幅を十分に行うことができる。
【0065】図12A及び図12Bは、オートリフレッ
シュ動作時のタイムチャートを示す。データの読み出し
及び書き込み動作時以外の例えばスタンバイ時には、同
図から判るように、ロジック部800からLレベルの/
オートリフレッシュ制御信号が出力されて、セットリセ
ット回路451からヒドンリフレッシュ制御信号が出力
されて、内部行選択制御信号がHレベルになる。その結
果、既述のように所定行のビット線対のリフレッシュが
行われる。時間t0において、Dフリップフロップ回路
485aの出力であるリセットフラグがHレベルになる
ため、行選択制御回路450のセットリセット回路45
4、453からのRWモード信号及びRW行選択制御信
号がLレベルに固定されているので、リフレッシュに続
いてデータの読み出し又は書き込み動作が開始されるこ
とはない。
【0066】図13A及び図13Bはページ#モードで
の動作を示すタイムチャートである。このページモード
では、ロジック部800からの/行選択制御信号は、ク
ロックの複数回の立上り時(同図では時間t0と時間t
1)においてLレベルが維持される。時間t0から時間
t1までの期間では、既述の通り、リフレッシュ動作
と、読み出すべきデータのビット線対での増幅動作とが
行われるが、クロックが立上る時間t1では、行選択制
御回路450のセットリセット回路451は、そのLH
端子にセットリセット回路452からのHレベルの行選
択フラグを受けているので、Hレベルのヒドンリフレッ
シュ制御信号の再出力が禁止される。従って、このペー
ジモードでは、時間t1からのリフレッシュ動作は行わ
れず、前記ビット線対の増幅されたデータがメインビッ
ト線MB1〜MB4k+1を経てフリップフロップ回路
FF1〜FFkから直ちに読み出される。
【0067】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1記載の発
明の半導体装置によれば、データの読み出し又は書き込
みが要求された場合には、そのデータの読み出し又は書
き込み動作サイクル毎に、この動作サイクル内にリフレ
ッシュ動作を1回行うので、リフレッシュ周期毎にオー
トリフレッシュを行う必要が無く、半導体装置のデータ
転送レートを高くできる。
【0068】また、請求項2ないし請求項9記載の発明
の半導体装置によれば、データの読み出し又は書き込み
が要求された場合には、先ずリフレッシュ動作を行い、
その終了後に続いてデータの読み出し又は書き込みを行
う。その際、特に請求項7記載の発明によれば、データ
の読み出し又は書き込みの開始時に既に行アドレスのデ
コードを終了させて、その時間分、読み出し又は書き込
みサイクルを短縮できる。また、請求項8記載の発明に
よれば、データ読み出し又は書き込み要求時に既にリフ
レッシュ動作でのリフレッシュアドレスのデコードを終
了させることができ、データの読み出し又は書き込み要
求時でのクロックの立上りと同時にリフレッシュを開始
できて、その時間分、読み出し又は書き込みサイクルを
短縮できる。更に、請求項9記載の発明の半導体装置に
よれば、1クロックで列制御とセンスアンプの動作停止
及びビット線のプリチャージを行うことができるので、
読み出し又は書き込みのクロックサイクル数を少なくで
きる。
【0069】更に、請求項10ないし請求項13記載の
発明の半導体装置によれば、データの読み出し又は書き
込みが要求されない場合には、オートリフレッシュを行
うことができる。特に、請求項11及び請求項13記載
の発明によれば、オートリフレッシュ制御信号生成回路
や、リフレッシュカウンタなどを共用したので、回路削
減が可能であると共に、これら回路の実評価を簡略化で
きる。
【0070】加えて、請求項14記載の発明の半導体装
置によれば、フューズ回路に記憶したプログラム値(不
良アドレス)を、読み出し又は書き込むサイクル毎に設
定し直したので、不良アドレスがノイズの影響等で変化
しても、誤救済を防止できる。
【0071】また、請求項15記載の発明の半導体装置
によれば、ダミーサイクル時などでも、データ読み出し
又は書き込み用制御信号の活性化状態を比較的長い期間
確保したので、センスアンプ動作を長く維持して、半導
体装置の誤動作を防止できる。
【0072】更に、請求項16記載の発明の半導体装置
によれば、行選択制御信号をクロック毎に連続して受け
たページ動作モード時には、リフレッシュ用の行選択制
御信号を2回目のクロック以降では活性化しないように
したので、リフレッシュ動作を行わずに直ちにデータの
読み出し又は書き込みを行うことが可能である。
【0073】加えて、請求項17記載の発明の半導体装
置によれば、1クロック内でオートリフレッシュ動作を
完結することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にの実施の形態の半導体装置のメモリブ
ロック周りの構成を示す図である。
【図2】同半導体装置の行デコーダ周りのブロック構成
を示す図である。
【図3】同半導体装置に備える行選択制御回路等の回路
部のブロック構成を示す図である。
【図4】同半導体装置に備える行選択制御回路の内部構
成を示す図である。
【図5】同半導体装置に備えるヒューズリセット信号生
成回路の内部構成を示す図である。
【図6】同半導体装置に備える行プリデコーダの内部構
成を示す図である。
【図7】同半導体装置に備える制御回路の内部構成を示
す図である。
【図8】同半導体装置に備える列選択制御回路の内部構
成を示す図である。
【図9】同半導体装置に備える行ヒューズブロックの内
部構成を示す図である。
【図10A】本実施の形態の半導体装置の読み出し動作
時のタイミングチャートの上半部を示す図である。
【図10B】本実施の形態の半導体装置の読み出し動作
時のタイミングチャートの下半部を示す図である。
【図11A】本実施の形態の半導体装置のダミーサイク
ル時のタイミングチャートの上半部を示す図である。
【図11B】本実施の形態の半導体装置のダミーサイク
ル時のタイミングチャートの下半部を示す図である。
【図12A】本実施の形態の半導体装置のオートリフレ
ッシュ動作時のタイミングチャートの上半部を示す図で
ある。
【図12B】本実施の形態の半導体装置のオートリフレ
ッシュ動作時のタイミングチャートの下半部を示す図で
ある。
【図13A】本実施の形態の半導体装置のページモード
時のタイミングチャートの上半部を示す図である。
【図13B】本実施の形態の半導体装置のページモード
時のタイミングチャートの下半部を示す図である。
【図14】従来のDRAMの概略構成を示す図である。
【図15】従来のDRAMのオートリフレッシュ動作及
び読み出し動作を示すタイミングチャート図である。
【符号の説明】
A0-0〜A7-1 センスアンプブロック B0-0〜B7-1 メモリブロック C0-0〜C7-3 メモリセルアレイ S0-0〜S7-1 センスアンプ群 C0-0〜C7-1 プリチャージ群 BL1〜/BL4k ビット線 MB1〜MB4k+1 メインビット線 100 メインプリチャージ回路 110 スイッチ回路 MA1〜MA4k メインアンプ LT1〜LT4k ラッチ回路 FF1〜FF4k フリップフロップ回路 400 行プリデコーダ 450 行選択制御回路 500 行ヒューズブロック 550 制御回路 600 列選択制御回路 800 ロジック部 451 セットリセット回路(リフ
レッシュ制御信号生成回路、内部オートリフレ
ッシュ制御信号生成回路) 454 セットリセット回路(選択
制御回路) 455 セットリセット回路(リフ
レッシュアドレス更新器) SEND センス起動終了信号 475 アドレス選択回路 476 リフレッシュカウンタ 477 行アドレスラッチ 1- 52〜27- 558 ヒューズ回路 495 リセット信号生成回路(ヒ
ューズリセット回路) 750 AND回路(センス状態信
号生成回路) 900、903 リセット回路 S 予備ワード線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山崎 裕之 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 5B024 AA03 AA09 AA15 BA09 BA13 BA15 BA20 BA21 BA23 BA29 CA07 CA15 CA17 CA27 DA03 DA08 DA10 DA14 DA18 DA20

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 データを記憶するためにリフレッシュが
    必要な多数のメモリセル、及び前記メモリセルから読み
    出されたデータを増幅する多数のセンスアンプを有する
    半導体装置において、 データの読み出し又は書き込みが要求された場合に、そ
    のデータの読み出し又は書き込み用制御信号を受けてリ
    フレッシュ制御信号を生成するリフレッシュ制御信号生
    成回路を備えて、 1回の読み出し又は書き込みの動作サイクルの時間内に
    1回のリフレッシュ動作を行うことを特徴とする半導体
    装置。
  2. 【請求項2】 前記リフレッシュ制御信号生成回路は、
    前記リフレッシュ制御信号に基づいて、データの読み出
    し又は書き込みの前に、前記センスアンプの動作を開始
    させてリフレッシュ動作を行わせることを特徴とする請
    求項1記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】 前記リフレッシュ用制御信号生成回路
    は、データの読み出し又は書き込み用制御信号として行
    選択制御信号を受けて、前記リフレッシュ用制御信号と
    してリフレッシュ用の行選択制御信号を活性化すること
    を特徴とする請求項2記載の半導体装置。
  4. 【請求項4】 前記センスアンプによるデータの増幅動
    作に応じたセンス状態信号を生成するセンス状態信号生
    成回路と、 前記リフレッシュ制御信号生成回路によるリフレッシュ
    動作の開始後、前記センス状態信号生成回路のセンス状
    態信号に基づいて、前記リフレッシュ制御信号生成回路
    のリフレッシュ制御信号を非活性化すると共に、前記セ
    ンスアンプの動作の終了後にデータの読み出し又は書き
    込み用制御信号として通常動作用行選択制御信号を生成
    して前記センスアンプの動作を再び開始させる行選択制
    御回路とを備えたことを特徴とする請求項2記載の半導
    体装置。
  5. 【請求項5】 前記センス状態信号生成回路は、前記セ
    ンス状態信号として、前記センスアンプの起動の終了を
    示すセンス起動終了信号を生成することを特徴とする請
    求項4記載の半導体装置。
  6. 【請求項6】 前記行選択制御回路は、前記センス状態
    信号生成回路のセンス起動終了信号を前記センスアンプ
    の起動から増幅動作の終了までに要する時間以上遅らせ
    たセンス終了信号を生成し、このセンス終了信号に基づ
    いて、前記リフレッシュ制御信号を非活性化すると共に
    前記通常動作用行選択制御信号を活性化することを特徴
    とする請求項4記載の半導体装置。
  7. 【請求項7】 前記行選択制御回路は、リフレッシュカ
    ウンタと、読み出し又は書き込みデータの行アドレスを
    ラッチする行アドレスラッチと、アドレス選択回路と、 前記センス状態信号生成回路のセンス起動終了信号に基
    づいて、前記センスアンプの動作終了後に前記アドレス
    選択回路で前記行アドレスラッチ側を選択させる選択制
    御回路とを備えたことを特徴とする請求項4記載の半導
    体装置。
  8. 【請求項8】 前記選択制御回路により前記アドレス選
    択回路が前記行アドレスラッチ側を選択した直後に、リ
    フレッシュカウント信号を生成して前記リフレッシュカ
    ウンタを更新するリフレッシュアドレス更新器を備えた
    ことを特徴とする請求項7記載の半導体装置。
  9. 【請求項9】 列選択制御信号を出力して、前記行選択
    制御回路に基づいてセンスアンプで増幅されたデータを
    読み出し又は書き込む列選択制御回路と、 前記列選択制御回路によるデータの読み出し又は書き込
    み動作の終了後に、前記行選択制御回路の通常動作用行
    選択制御信号を非活性化して前記センスアンプの動作を
    終了させるリセット回路とを備えたことを特徴とする請
    求項4記載の半導体装置。
  10. 【請求項10】 データの読み出し又は書き込みが要求
    されない場合に、オートリフレッシュ制御信号を受けて
    内部オートリフレッシュ制御信号を生成する内部オート
    リフレッシュ制御信号生成回路を備えて、 リフレッシュ動作を、1回の読み出し又は書き込みの動
    作サイクルの時間内に行う1回のリフレッシュ動作と、
    前記読み出し又は書き込み動作がない場合のオートリフ
    レッシュ動作とにより行うことを特徴とする請求項4記
    載の半導体装置。
  11. 【請求項11】 前記オートリフレッシュ制御信号は前
    記リフレッシュ制御信号生成回路に入力され、このリフ
    レッシュ制御信号生成回路により、前記内部オートリフ
    レッシュ制御信号生成回路を共用して前記内部オートリ
    フレッシュ制御信号が生成されることを特徴とする請求
    項10記載の半導体装置。
  12. 【請求項12】 前記内部オートリフレッシュ制御信号
    の発生時に、前記行選択制御回路による通常動作用行選
    択制御信号の生成を停止させるリセット回路を備えたこ
    とを特徴とする請求項10記載の半導体装置。
  13. 【請求項13】 リフレッシュカウンタと、読み出し又
    は書き込みデータの行アドレスをラッチする行アドレス
    ラッチと、アドレス選択回路と、 前記センス状態信号生成回路のセンス起動終了信号に基
    づいて、前記センスアンプの動作終了後に前記アドレス
    選択回路で前記行アドレスラッチ側を選択させる選択制
    御回路と、 前記選択制御回路により前記アドレス選択回路が前記行
    アドレスラッチ側を選択した直後に、リフレッシュカウ
    ント信号を生成して前記リフレッシュカウンタを更新す
    るリフレッシュアドレス更新器とを備え、 前記リフレッシュカウンタ、アドレスラッチ、アドレス
    選択回路、選択制御回路及びリフレッシュアドレス更新
    器は、1回の読み出し又は書き込みの動作サイクルの時
    間内に行うリフレッシュ動作と、前記読み出し又は書き
    込み動作がない場合のオートリフレッシュ動作とで共用
    されることを特徴とする請求項11記載の半導体装置。
  14. 【請求項14】 欠陥メモリセルが接続されたワード線
    を予備ワード線に置換して救済し、不良行アドレスを記
    憶するヒューズ回路と、 前記ヒューズ回路の不良行アドレスを、前記列選択制御
    回路に基づくデータの読み出し又は書き込み終了毎に設
    定し直すヒューズリセット回路とを備えたことを特徴と
    する請求項9記載の半導体装置。
  15. 【請求項15】 前記列選択制御回路からの列選択制御
    信号が所定クロックのエッジで活性化されていない時、
    前記行選択制御回路の前記通常動作用行選択制御信号を
    前記所定クロックのエッジから所定時間経過後にリセッ
    トするリセット回路を備えたことを特徴とする請求項9
    記載の半導体装置。
  16. 【請求項16】 前記リフレッシュ用制御信号生成回路
    は、 データの読み出し又は書き込み用制御信号としての行選
    択制御信号をクロックの立上り又は立下りエッジ毎に続
    けて受けた場合には、 前記リフレッシュ用制御信号としてのリフレッシュ用の
    行選択制御信号を活性化しないことを特徴とする請求項
    3記載の半導体装置。
  17. 【請求項17】 データを記憶するためにリフレッシュ
    が必要な多数のメモリセル、及び前記メモリセルから読
    み出されたデータを増幅する多数のセンスアンプを有す
    る半導体装置において、 データの読み出し又は書き込みが要求されない場合に、
    オートリフレッシュ制御信号を受けて内部オートリフレ
    ッシュ制御信号を生成する内部オートリフレッシュ制御
    信号生成回路と、 前記センスアンプによるデータの増幅動作に応じたセン
    ス状態信号を生成するセンス状態信号生成回路と、 前記内部オートリフレッシュ制御信号生成回路によるオ
    ートリフレッシュ動作の開始後、前記センス状態信号生
    成回路のセンス状態信号に基づいて、前記内部オートリ
    フレッシュ制御信号生成回路のリフレッシュ制御信号を
    非活性化する行選択制御回路とを備えて、 1回のオートリフレッシュ動作を1クロック内で行うこ
    とを特徴とする半導体装置。
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