JPH11283395A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH11283395A
JPH11283395A JP10083644A JP8364498A JPH11283395A JP H11283395 A JPH11283395 A JP H11283395A JP 10083644 A JP10083644 A JP 10083644A JP 8364498 A JP8364498 A JP 8364498A JP H11283395 A JPH11283395 A JP H11283395A
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JP
Japan
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column
signal
bank
circuit
write
Prior art date
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Abandoned
Application number
JP10083644A
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English (en)
Inventor
Yasuhiro Suematsu
靖弘 末松
Shigeo Oshima
成夫 大島
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Toshiba Corp
Toshiba Electronic Device Solutions Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Microelectronics Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Toshiba Microelectronics Corp filed Critical Toshiba Corp
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Priority to TW088102743A priority patent/TW434880B/zh
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Priority to US09/271,468 priority patent/US6046955A/en
Publication of JPH11283395A publication Critical patent/JPH11283395A/ja
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C8/00Arrangements for selecting an address in a digital store
    • G11C8/12Group selection circuits, e.g. for memory block selection, chip selection, array selection
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スペアセルを含む複数のバンクを同時にテス
トすることが困難であるとともに、テストモード時の消
費電流を抑えることが困難であった。 【解決手段】 モードセットレジスタ20はテストモー
ド時にマルチバンクライト信号MBWを出力する。BS
ラッチ回路19はテストモード時にバンクBK0、BK
1のスペアカラムデコーダ37、38を選択する信号S
CBSを生成するとともに、カラムデコーダ30、31
を選択する信号CBS0、CBS1を生成する。書き込
み駆動回路33、34は、カラムデコーダ30、31に
より選択されるカラム線にデータを書き込み、スペアカ
ラムデコーダ37、38により選択されるスペアカラム
線にデータを書き込む。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばシンクロナ
スダイナミックランダムアクセスメモリ(以下、シンク
ロナスDRAMと称す)のように、複数のバンクを有す
る半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、半導体記憶装置は製造後、メモ
リセルの機能がテストされ、正常な製品のみが出荷され
る。近年、半導体記憶装置は記憶容量が大幅に増大さ
れ、これに伴い、メモリセルのテストに要する時間も増
大している。メモリセルのテストは、メモリセルアレイ
にオール“1”又はオール“0”のデータを書き込み、
この書き込んだデータを読み出して、各メモリセルにデ
ータが正常に書き込まれているか否かを検証する。この
ため、メモリの記憶容量が大きい場合、メモリセルに対
するデータの書き込み時間、読み出し時間が長くなり、
スループットが低下する。
【0003】例えばシンクロナスDRAMのように、複
数のバンクを有する半導体記憶装置において上記テスト
を行う場合、バンク毎にデータを書き込んでいる。すな
わち、例えば2バンクからなるシンクロナスDRAMの
場合、バンク選択信号により第1、第2のバンクを選択
し、この選択された第1、第2のバンクの第1のワード
線を順次活性化した状態において、第1のバンクのカラ
ム線を順次選択し、この第1のワード線とカラム線とに
より選択される複数のメモリセルにデータを書き込む。
次に、第2のバンクのカラム線を順次選択し、この第1
のワード線とカラム線とにより選択される複数のメモリ
セルにデータを書き込む。この後、第1、第2のバンク
の第2のワード線を順次選択して上記動作を繰り返す。
この動作第1、第2のバンクについて繰り返すことによ
り、第1、第2のバンクの全メモリセルにデータが書き
込まれる。このように、メモリのテストはデータをメモ
リセルに書き込むために長時間を有する。したがって、
バンクの数が多い場合、テストに長時間を必要とするも
のであった。
【0004】そこで、テスト時間を短縮する技術が開発
されている。例えば特開平9−147551号公報に
は、テストモード時に複数のバンクを同時に選択し、こ
の選択された複数のバンクに同時にデータを書き込むこ
とにより、テスト時間を短縮可能とする技術が開示され
ている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、テストモー
ド時に複数のバンクを同時に選択し、この選択された複
数のバンクにデータを同時に書き込む際において、例え
ばバンクを活性化するためのコマンドが欠落し、あるバ
ンクが活性化されない場合が考えられる。しかし、従来
においては、このように活性化されてないバンクがある
場合においても、このバンクに対応する書き込み駆動回
路が動作しているため、消費電流が多くなることが懸念
される。
【0006】また、従来は通常のメモリセルアレイに対
してのみテストされ、冗長回路を構成するスペアセルに
対するテストについては考慮されていなかった。一般
に、半導体記憶装置はスペアロウ又はスペアカラムを有
しており、通常のメモリセルアレイのテスト結果に応じ
て、欠陥を有するロウ又はカラムがスペアロウ又はスペ
アカラムに置き換えられる。しかし、スペアロウ又はス
ペアカラムが欠陥を有する場合、欠陥を有するロウ又は
カラムを欠陥を有するスペアロウ又はスペアカラムに置
き換えたとしても、欠陥を救済することができず、歩留
まりを向上することはできない。このため、大容量の半
導体記憶装置においては、スペアセルを予めテストする
ことが重要となっている。しかし、従来はスペアセルの
テストは行われていなかった。
【0007】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、その目的とするところは、複数のバン
クを同時にテスト可能とすることによりテスト時間を短
縮可能であるとともに、消費電流が少なく、しかも、ス
ペアセルもテストすることができ、歩留まりを向上する
ことが可能な半導体記憶装置を提供しようとするもので
ある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、複数のワード線、複数のカラム線、少なく
とも1つのスペアカラム線を含むメモリセルアレイと、
ロウアドレスに応じて前記ワード線を選択するロウデコ
ーダと、カラムアドレスに応じて前記カラム線を選択す
るカラムデコーダと、前記スペアカラム線を選択するス
ペアカラムデコーダとを有する複数のバンクと、テスト
モードを設定する信号に応じて、複数のバンクを同時に
書き込み状態とする書き込み制御信号を生成する第1の
生成手段と、テストモード時にカラムアドレスに含まれ
るバンク選択信号をラッチし、全バンクの前記スペアカ
ラムデコーダを選択する第1の選択信号を生成するとと
もに、前記第1の生成手段から供給される書き込み制御
信号に応じて全バンクの前記カラムデコーダを全て選択
する第2の選択信号を生成する第2の生成手段と、前記
第2の生成手段から供給される第2の選択信号により選
択されたカラムデコーダにより前記カラムアドレスに応
じて選択されるカラム線にデータを書き込み、前記第2
の生成手段から供給される第1の選択信号により選択さ
れたスペアカラムデコーダを介してスペアカラム線にデ
ータを書き込む書き込み駆動回路とを具備している。
【0009】前記書き込み駆動回路は、テストモード時
に前記ロウアドレスに含まれるバンク選択信号が非選択
状態を示す時、前記書き込み駆動回路を非動作とする制
御回路を含んでいる。
【0010】前記制御回路は、入力端に前記バンク選択
信号が供給され、前記書き込み制御信号に応じて活性化
されるクロックドインバータ回路と、このクロックドイ
ンバータ回路の出力端に接続され、前記書き込み制御信
号が非活性の時、前記クロックドインバータ回路の出力
端を一方の論理レベルに設定するトランジスタと、前記
クロックドインバータ回路の出力端に接続され、クロッ
クドインバータ回路の出力端の論理レベルに応じて前記
データの取り込みを制御する論理回路とを具備してい
る。
【0011】前記書き込み駆動回路は、隣接する2つの
バンクにシェアされている。前記スペアカラムデコーダ
は、前記第1の生成回路から供給される書き込み制御信
号に応じて活性化され、前記第2の生成回路から供給さ
れる第1の選択信号によりスペアカラムを選択する選択
回路を有している。前記第1の生成手段はテストモード
を終了する信号に応じて、前記複数のバンクを同時に書
き込み状態とする書き込み制御信号を非活性とする。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。先ず、図2を参照して本発
明の原理について説明する。図2(a)は、例えば4バ
ンク構成のシンクロナスDRAMを示している。チップ
1には、バンクBK0、BK1、BK2、BK3が配置
されている。各バンクは後述するメモリセルアレイ、ロ
ウデコーダ、カラムデコーダ、及び図示せぬスペアカラ
ムデコーダ等を有している。また、バンクBK0とバン
クBK2の相互間、及びバンクBK1とバンクBK3の
相互間には書き込み駆動回路(WD)2、3がそれぞれ
配置されている。書き込み駆動回路2、3は隣接するバ
ンクにシェアされる構成としてもよいし、各バンク毎に
ぞれぞれ設けてもよい。
【0013】上記構成において、テストモード時には、
バンクを活性化するバンクアクティブコマンドに応じて
各バンクBK0、BK1、BK2、BK3のワード線W
L0、WL1、WL2、WL3が、図2(b)に示すよ
うに、順次活性化される。この後、各バンクBK0、B
K1、BK2、BK3の図示せぬ1つのカラム線が同時
に選択され、このカラム線と前記ワード線により選択さ
れるメモリセルにデータが書き込まれる。続いて、カラ
ム線が順次選択されデータが書き込まれる。全てのカラ
ム線を選択してデータを書き込んだ後、次のワード線が
選択され上記と同様の動作が繰り返される。さらに、本
発明において、テストモード時には、スペアカラム線も
選択され、データが書き込まれる。このようにして、4
つのバンクのメモリセルアレイに同時にデータが書き込
まれる。
【0014】図1は、図2(a)に示すバンクBK0と
BK1に関する構成を示している。図1は、データの書
き込みに関する構成のみを示し、データの読み出しに関
する構成は省略している。アドレス信号ADが供給され
るパッド11、クロック信号12が供給されるパッド1
2、データDTが供給されるパッド13はそれぞれ入力
バッファ14、15、16に接続されている。パッド1
1及び入力バッファ14はアドレス信号のビット数に応
じてた数設けられ、パッド12及び入力バッファ15は
データのビット数に応じてた数設けられる。図1は、こ
れらのうちの1つのみを示している。前記入力バッファ
14の出力端は、ロウアドレスラッチ回路17、カラム
アドレスラッチ回路18、バンク選択信号ラッチ回路
(以下、BSラッチ回路と称す)19及びモードセット
レジスタ20に接続されている。前記ロウアドレスラッ
チ回路17はアドレス信号内のロウアドレスをラッチ
し、カラムアドレスラッチ回路18はアドレス信号内の
カラムアドレスをラッチする。このカラムアドレスラッ
チ回路18はカウンタ18aを有し、このカウンタ18
aはカラムアドレスラッチ回路18にラッチされたカラ
ムアドレスをインクリメントする。
【0015】前記BSラッチ回路19は、カラムアドレ
ス信号の例えば最上位2ビットに設定されたバンク選択
信号BSをラッチする。通常動作時において、このBS
ラッチ回路19はバンク選択信号BSに応じて、各バン
クのカラムを選択するためのカラムバンク選択信号CB
S0、CBS1を出力する。また、後述するテストモー
ド時において、BSラッチ回路19は前記モードセット
レジスタ20から供給されるマルチバンクライト信号M
BWに応じて、前記カラムバンク選択信号CBS0、C
BS1を共にハイレベルとする。さらに、BSラッチ回
路19は、テストモード時にスペアカラムを選択するた
めのスペアカラムバンク選択信号SCBSを出力する。
このスペアカラムバンク選択信号SCBSは、例えばハ
イレベルである。
【0016】前記入力バッファ15の出力端は、第1の
クロック(CLK)発生器21、第2のクロック発生器
22、CSLパルス発生器32及び前記モードセットレ
ジスタ20に接続されている。前記第1のクロック発生
器21は入力バッファ15から供給されるクロック信号
に応じて第1の内部クロック信号を発生し、前記ロウア
ドレスラッチ回路17、カラムアドレスラッチ回路1
8、BSラッチ回路19に供給する。ロウアドレスラッ
チ回路17、カラムアドレスラッチ回路18、BSラッ
チ回路19は、第1のクロック発生器21から供給され
る第1の内部クロック信号に同期して動作する。前記C
SLパルス発生器32は前記クロック信号CLK及び前
記BSラッチ回路19から供給されるカラムバンク選択
信号CBS0、CBS1に応じて、カラム選択信号CS
Lを活性化するタイミングを制御するタイミング信号C
SLACT0、CSLACT1を発生する。このタイミ
ング信号CSLACT0、CSLACT1はスペアカラ
ムデコーダ(SPC/D)37、38、カラムデコーダ
(C/D)30、31、書き込み駆動回路33、34に
それぞれ供給される。
【0017】前記第2のクロック発生器22は、前記入
力バッファ15から供給されるクロック信号に応じて第
2の内部クロック信号を発生し、データラッチ回路23
に供給する。このデータラッチ回路23は、第2の内部
クロック信号に応じて前記入力バッファ16から供給さ
れるデータをラッチする。
【0018】前記モードセットレジスタ20は、前記入
力バッファ15から供給されるクロック信号に応じて、
前記入力バッファ14から供給されるアドレス信号、ロ
ウアドレスストローブ信号/RAS(/は反転信号を表
わす)、カラムアドレスストローブ信号/CAS、ライ
トイネーブル信号/WE、及びチップセレクト信号/C
Sを取り込みデコードする。シンクロナスDRAMで
は、これらの信号のシーケンスにより、バンクアクティ
ブ、ライト、リード等の各種の動作モードを示すコマン
ドを設定することが可能とされており、モードセットレ
ジスタ20は、これらの信号をデコードし、各種動作モ
ードのエントリー信号を出力する。さらに、モードセッ
トレジスタ20は、テストモードを示す任意に設定され
たこれら信号のシーケンスをデコードすることにより、
複数のバンクを同時に書き込み可能とするためのマルチ
バンクライト信号MBWをハイレベルとし、テストモー
ドイクズィットを示す信号のシーケンスをデコードする
ことにより、マルチバンクライト信号MBWをローレベ
ルとする。
【0019】一方、前記ロウアドレスラッチ回路17の
出力端は各バンクのロウプリデコーダ24、25に接続
されている。これらロウプリデコーダ24、25はロウ
アドレスラッチ回路17から供給されたロウアドレスを
プリデコードし、各バンクのロウデコーダ(R/D)2
6、27にそれぞれ供給する。また、このロウプリデコ
ーダ24、25から出力される信号の最上位ビット(B
S)は書き込み駆動回路(WD)33、34に供給され
る。
【0020】カラムプリデコーダ28、29は、前記B
Sラッチ回路19から供給されるカラムバンク選択信号
CBS0、CBS1に応じて、前記カラムアドレスラッ
チ回路18から供給されるカラムアドレスをプリデコー
ドし、各バンクのカラムデコーダ30、31にそれぞれ
供給する。
【0021】スペアカラムセレクタ35、36は、通常
動作時に、前記BSラッチ回路19から供給されるカラ
ムバンク選択信号CBS0、CBS1、及びカラムアド
レスラッチ回路18から供給されるカラムアドレスに応
じて、カラムアドレスがスペアカラムアドレスに置換さ
れているか否かを判別し、アドレスが置換されている場
合、スペアカラムデコーダ(SPC/D)37、38を
それぞれ活性化するスペアカラムイネーブル信号SCE
を出力し、カラムデコーダ(C/D)30、31をそれ
ぞれ非活性化する信号/SCEを出力する。
【0022】書き込み駆動回路(WD)33、34は、
前記データラッチ回路23から供給されるデータ、前記
ロウプリデコーダ24、25から供給されるバンク選択
信号BS、前記モードセットレジスタ20から供給され
るマルチバンクライト信号MBW、前記カラムプリデコ
ーダ28、29から出力されるカラムアドレスCAD、
前記CSLパルス発生器32から供給されるタイミング
信号CSLACT0、CSLACT1をそれぞれ受け
る。この書き込み駆動回路33、34は、データの書き
込み時に、選択されたバンクのデータ線対(DQ、/D
Q)に書き込みデータを転送する。
【0023】各バンクBK0、BK1において、メモリ
セルアレイ(MCA)39、40は、複数のメモリセ
ル、スペアカラムをそれぞれ含んでいる。前記メモリセ
ルアレイ39、40のメモリセルは、ロウデコーダ(R
/D)26、27、カラムデコーダ(C/D)30、3
1により選択される。また、前記スペアカラムは、スペ
アカラムデコーダ(SPC/D)37、38により選択
される。
【0024】図3は、図1に示すバンクBK1の前記メ
モリセルアレイ40と書き込み駆動回路34の関係を示
しており、この構成はその他のバンクにおいても同様で
ある。また、書き込み駆動回路は例えば各バンク毎に設
けられている。メモリセルアレイ40において、メモリ
セルMCはトランジスタTrとキャパシタCとにより構
成されている。トランジスタTrのゲートはワード線W
Lに接続され、電流通路の一端はキャパシタCを介して
接地され、他端はビット線BLに接続されている。ビッ
ト線/BLにも同様に図示せぬメモリセルが接続されて
いる。ビット線BL、/BLはセンスアンプ(S/A)
41cを介してトランジスタ41a、41bの電流通路
の一端に接続されている。これらトランジスタ41a、
41bのゲートには、前記カラムデコーダから出力され
るカラム選択信号CSLが供給されている。これらトラ
ンジスタ41a、41bの電流通路の他端はデータ線D
Q、/DQを介して前記書き込み駆動回路34に接続さ
れる。前記データ線DQ、/DQは、例えばメモリセル
アレイの図示せぬサブアレイの相互間に配置され、この
データ線DQ、/DQに複数のビット線がカラム選択信
号CSLに応じて接続される。前記書き込み駆動回路3
3はデータ線対DQ、/DQと同数個配置されている。
【0025】また、図3は通常のカラムの構成を示して
いるが、スペアカラムも同様の構成である。図4は、前
記BSラッチ回路19の構成を示している。前記入力バ
ッファ14からのバンク選択信号BSは、クロック信号
CL、/CLにより制御されるクロックドインバータ回
路19aを介してラッチ回路LT1の入力端に供給され
る。このラッチ回路LT1は、インバータ回路19b、
19cにより構成されている。このラッチ回路LT1の
出力端はクロック信号/CL、CLにより制御されるク
ロックドインバータ回路19dを介してラッチ回路LT
2の入力端に接続されている。このラッチ回路LT2は
インバータ回路19e、19fにより構成されている。
このラッチ回路LT2の出力端からは、前記スペアカラ
ムバンク選択信号SCBSが出力される。さらに、ラッ
チ回路LT2の出力端は、常時導通されたトランスファ
ーゲート19gを介してナンド回路19hの一方入力端
に接続されるとともに、インバータ回路19iを介して
ナンド回路19jの一方入力端に接続される。これらナ
ンド回路19h、19jの他方入力端には、インバータ
回路19kを介してマルチバンクライト信号MBWが供
給される。ナンド回路19hの出力端にはインバータ回
路19l、19mが直列接続され、ナンド回路19jの
出力端にはインバータ回路19n、19oが直列接続さ
れている。前記インバータ回路19mの出力端からはカ
ラムバンク選択信号CBS0が出力され、インバータ回
路19oの出力端からはカラムバンク選択信号CBS1
が出力される。
【0026】上記構成のBSラッチ回路19において、
バンク選択信号BSはクロック信号CL、/CLに応じ
てラッチ回路LT1、LT2に順次ラッチされる。通常
動作時、マルチバンクライト信号MBWはローレベルと
されている。このため、カラムバンク選択信号CBS
0、CBS1は、バンク選択信号BSのレベルに応じ
て、相補的にハイレベル、又はローレベルに設定され
る。
【0027】一方、テストモード時、マルチバンクライ
ト信号MBWは、ハイレベルとされる。このため、カラ
ムバンク選択信号CBS0、CBS1は、バンク選択信
号BSのレベルに拘わらずハイレベルとされ、全バンク
を選択可能とされる。
【0028】また、テストモード時、ライトコマンド入
力時におけるバンク選択信号BSのレベルは、後述する
ように、通常のカラム線に接続されたメモリセルにデー
タを書き込む場合、ローレベルに設定され、スペアカラ
ム線に接続されたメモリセルにデータを書き込む場合、
ハイレベルに設定される。したがって、スペアカラム線
に接続されたメモリセルにデータを書き込む場合、スペ
アカラムバンク選択信号SCBSはハイレベルとなる。
【0029】図5は、前記スペアカラムデコーダ37の
構成を示している。スペアカラムデコーダ38の構成も
図5と同様である。前記スペアカラムデコーダ37から
出力されるスペアカラムイネーブル信号SCEは、トラ
ンスファーゲート37aを介してナンド回路37fに供
給される。このトランスファーゲート37aはマルチバ
ンクライト信号MBW、及びインバータ回路37bによ
り反転されたマルチバンクライト信号MBWにより制御
される。このインバータ回路37bの出力信号はPチャ
ネルMOSトランジスタ37dのゲートに供給されてい
る。このトランジスタ37dの電流通路の一端は前記ト
ランスファーゲート37aの出力端に接続され、他端は
電源Vccに接続されている。
【0030】また、前記BSラッチ回路19から出力さ
れるスペアカラムバンク選択信号SCBSは、トランス
ファーゲート37cを介して前記ナンド回路37fに供
給される。このトランスファーゲート37cはマルチバ
ンクライト信号MBW、及び前記インバータ回路37b
により反転されたマルチバンクライト信号MBWによ
り、前記トランスファーゲート37aと相補的に制御さ
れる。このトランスファーゲート37cの出力端はPチ
ャネルMOSトランジスタ37eの電流通路の一端に接
続されている。このトランジスタ37eの電流通路の他
端は電源Vccに接続され、ゲートにはマルチバンクライ
ト信号MBWが供給されている。
【0031】さらに、前記ナンド回路37fの入力端に
は、前記CSLパルス発生器32から出力されるタイミ
ング信号CSLACT0が供給される。このナンド回路
37fの出力端にはインバータ回路37g、37h、3
7iが直列接続され、インバータ回路37iの出力端か
らスペアカラム選択信号SCSLが出力される。
【0032】上記構成のスペアカラムデコーダ37にお
いて、通常動作時、マルチバンクライト信号MBWはロ
ーレベルである。このため、トランスファーゲート37
aはオン、トランスファーゲート37cはオフとなって
おり、トランジスタ37dはオフ、トランジスタ37e
はオンとなっている。スペアカラムイネーブル信号SC
Eは、不良カラムからスペアカラムへの置き換えがない
場合、ローレベルであり、不良カラムからスペアカラム
へ置き換える場合、ハイレベルとなる。タイミング信号
CSLACT0がハイレベルの時、スペアカラムイネー
ブル信号SCEがハイレベルとなると、スペアカラム選
択信号SCSLがハイレベルとなり、スペアカラムが選
択される。
【0033】また、テストモード時、マルチバンクライ
ト信号MBWがハイレベルとなると、トランスファーゲ
ート37aはオフ、トランスファーゲート37cはオン
となり、トランジスタ37dはオン、トランジスタ37
eはオフとなる。このため、テストモード時にスペアカ
ラムを選択するためのスペアカラム選択信号SCBSに
応じて、スペアカラム選択信号SCSLがハイレベルと
なり、スペアカラムが選択される。
【0034】図6は、前記書き込み駆動回路34の構成
を示している。この書き込み駆動回路34はテストモー
ド時に書き込み駆動回路の動作を制御する制御回路34
aを有している。この制御回路34aにおいて、ロウプ
リデコーダ24からのバンク選択信号BSはインバータ
回路34b、クロックドインバータ回路34cを介して
ナンド回路34fの入力端に供給されている。前記クロ
ックドインバータ回路34cはマルチバンクライト信号
MBW、及びインバータ回路34dによって反転された
マルチバンクライト信号MBWにより制御される。この
クロックドインバータ回路34cの出力端はPチャネル
MOSトランジスタ34eを介して電源Vccに接続さ
れ、このトランジスタ34eのゲートにはマルチバンク
ライト信号MBWが供給される。前記ナンド回路34f
の入力端には、前記書き込みデータDT、カラムアドレ
スCAD、タイミング信号CSLACT1が供給され
る。
【0035】前記ナンド回路34fの出力端はインバー
タ回路34gを介して駆動回路34hを構成するNチャ
ネルMOSトランジスタ34iのゲートに接続される。
このトランジスタ34iの電流通路の一端は接地され、
他端はデータ線/DQに接続されるとともに、Pチャネ
ルMOSトランジスタ34jの電流通路の一端に接続さ
れる。このトランジスタ34jの他端には電源Vccが供
給される。前記トランジスタ34iのゲートはインバー
タ回路34kを介してPチャネルMOSトランジスタ3
4lのゲートに接続される。このトランジスタの電流通
路の一端には電源Vccが供給され、他端はデータ線DQ
に接続されるとともに、NチャネルMOSトランジスタ
34mを介して接地される。このトランジスタ34mの
ゲートにはインバータ回路34nを介して前記制御回路
34aと同様の構成とされた制御回路34o(但し、入
力信号の内、データDTは反転されている)の出力信号
が供給され、この出力信号はさらにインバータ回路34
pを介して前記トランジスタ34jのゲートに供給され
ている。尚、図6に示す書き込み駆動回路はバンクBK
1に対応する回路であり、バンクBK0に接続される書
き込み駆動回路33の場合、インバータ回路34bは不
要である。
【0036】上記構成において、通常動作時、マルチバ
ンクライト信号MBWはローレベルであり、トランジス
タ34eがオン状態であるため、ノード34qはハイレ
ベルとなっている。このため、データDTはカラムアド
レスCAD、タイミング信号CSLACT1に応じてナ
ンド回路34fの出力端から出力される。このナンド回
路34fの出力信号はインバータ回路34gを介して駆
動回路34hに供給され、この駆動回路34hはデータ
DTに応じて、データ線対DQ、/DQを駆動する。
【0037】一方、テストモード時、マルチバンクライ
ト信号MBWはハイレベルとなり、トランジスタ34e
はオフとなる。また、マルチバンクライト信号MBWに
応じてクロックドインバータ回路34cが活性化され
る。このため、テストモード時は、バンク選択信号BS
に応じて、ノード34qのレベルが変化する。すなわ
ち、バンクが選択されている場合、バンク選択信号BS
はハイレベルであるため、ノード34qはハイレベルで
あり、データDTに応じて駆動回路34が動作される。
これに対して、バンクが非選択の場合、バンク選択信号
BSはローレベルであるため、ノード34qはローレベ
ルである。したがって、駆動回路34は動作されない。
【0038】このように、テストモード時に、例えばバ
ンクを活性化するためのバンクアクティブコマンドが欠
落した場合、バンク選択信号BSがローレベルとなり、
この非活性とされたバンクに対応する書き込み駆動回路
が動作されない。このため、消費電流を低減できる。
【0039】上記構成において、図7を参照して図1の
テストモード時の動作について説明する。この例はレー
テンシ=3、バースト長=4の場合を示している。シン
クロナスDRAMは、システムに設定されたコマンド以
外に、チップイネーブル信号CE、ロウアドレスストロ
ーブ信号/RAS、カラムアドレスストローブ信号/C
AS、ライトイネーブル信号/WEを任意のシーケンス
とすることにより、所要のコマンドを設定することが許
されている。この実施の形態において、テストモード時
には、チップイネーブル信号CE、ロウアドレスストロ
ーブ信号/RAS、カラムアドレスストローブ信号/C
AS、ライトイネーブル信号/WEを組合わせたマルチ
バンクライト(MBW)コマンドが使用される。これら
コマンド、ロウアドレス、カラムアドレス及びバンク選
択信号BSは前記クロック信号CLKに応じて各パッド
から供給される。
【0040】すなわち、パッド12に供給されるクロッ
ク信号CLKのうち、マルチバンクライト(MBW)モ
ードエントリーに定義されたクロック信号CLKととも
に、モードセットレジスタ20にチップイネーブル信号
CE、ロウアドレスストローブ信号/RAS、カラムア
ドレスストローブ信号/CAS、ライトイネーブル信号
/WEを組合わせたマルチバンクライト(MBW)コマ
ンド(COM)が供給され、さらに、パッド11にコマ
ンドアドレス(COMAD)が供給される。モードセッ
トレジスタ20は供給されたコマンドに応じてマルチバ
ンクライト信号MBWをハイレベルに設定する。
【0041】この後、バンクBK0を活性化するバンク
アクティブに定義されたクロック信号に応じてコマン
ド、ロウアドレス(ROW)がモードセットレジスタ2
0、パッド12に供給される。このロウアドレスは入力
バッファ14、ロウアドレスラッチ回路17を介してロ
ウプリデコーダ24に供給される。このロウアドレスの
最上位にはバンク選択信号BSが含まれている。このロ
ウプリデコーダ24のデコード出力信号は、バンクBK
0のロウデコーダ26に供給され、このロウデコーダ2
6によりメモリセルアレイ39内のワード線WLが活性
化される。
【0042】次に同様にして、バンクBK1を活性化す
るバンクアクティブに定義されたクロック信号に応じて
コマンド、ロウアドレス(ROW)がモードセットレジ
スタ20、パッド12に供給される。このロウアドレス
は入力バッファ14、ロウアドレスラッチ回路17を介
してロウプリデコーダ25に供給される。このロウプリ
デコーダ25のデコード出力信号は、バンクBK1のロ
ウデコーダ27に供給され、このロウデコーダ27によ
りメモリセルアレイ40内のワード線WLが活性化され
る。この例では、バンクBK2、BK3については記載
していないが、バンクBK2、BK3のワード線も順次
活性化される。このようにして、全てのバンクのワード
線が活性化された後、カラムアドレスが供給される。
【0043】すなわち、ライトコマンドに定義されたク
ロック信号に応じてライトコマンド、カラムアドレス
(COL)がモードセットレジスタ20、パッド12に
供給されるとともに、データDTがパッド13に供給さ
れる。前記カラムアドレスは入力バッファ14を介して
BSラッチ回路19、カラムアドレスラッチ回路18に
供給される。カラムアドレスラッチ回路18は内部で生
成されるカラムアドレスラッチ信号COL−ADLatch
に応じて、カラムアドレスをラッチする。このカラムア
ドレスラッチ回路18のカウンタ19はラッチされたカ
ラムアドレスを第1のクロック発生器21から供給され
るクロック信号に応じてインクリメントし、カラムプリ
デコーダ28、29、スペアカラムセレクタ35、36
に供給する。BSラッチ回路19は前述したようにマル
チバンクライト信号MBWがハイレベルの場合、ハイレ
ベルのカラムバンク選択信号CBS0、CBS1を出力
するとともに、ハイレベルのスペアカラムバンク選択信
号SCBSを出力する。カラムバンク選択信号CBS0
はカラムプリデコーダ28、スペアカラムセレクタ35
に供給され、カラムバンク選択信号CBS1はカラムプ
リデコーダ29、スペアカラムセレクタ36に供給され
る。
【0044】これらカラムプリデコーダ28、29はカ
ラムバンク選択信号CBS0、CBS1に応じて活性化
され、カラムアドレスラッチ回路18から供給されるカ
ラムアドレスをプリデコードし、各バンクのカラムデコ
ーダ30、31にそれぞれ供給する。また、スペアカラ
ムセレクタ35、36もカラムバンク選択信号CBS
0、CBS1に応じて活性化され、カラムアドレスラッ
チ回路18から供給されるカラムアドレスに応じてスペ
アカラムイネーブル信号SCEを発生し、各バンクのス
ペアカラムデコーダ37、38にそれぞれ供給する。ま
た、CSLパルス発生器32は入力バッファ15から供
給されるクロック信号に応じてカラム選択信号を出力す
るタイミングを制御するタイミング信号CSLACT0
及びCSLACT1を順次出力し、各バンクBK0、B
K1のカラムデコーダ30、31、スペアカラムデコー
ダ37、38に供給する。各カラムデコーダ30、31
はこのタイミング信号CSLACT0又はCSLACT
1に応じてカラム選択信号CSLを順次出力する。各ス
ペアカラムデコーダ37、38もこのタイミング信号C
SLACT0又はCSLACT1に応じてスペアカラム
を選択するスペアカラム選択信号SCSLを出力する。
【0045】このようにして各バンクのカラムを順次選
択するとともに、前記データラッチ回路23にラッチさ
れたデータDTが順次書き込み駆動回路33、34に供
給される。この書き込み駆動回路33、34はデータD
Tに応じてデータ線対DQ、/DQを駆動し、選択され
たカラムのメモリセルにデータが書き込まれる。さら
に、この動作を繰り返すことにより、全バンクのメモリ
セルに同時にデータが書き込まれる。この後、チップイ
ネーブル信号CE、ロウアドレスストローブ信号/RA
S、カラムアドレスストローブ信号/CAS、ライトイ
ネーブル信号/WE、アドレス信号を組合わせたマルチ
バンクライトイクズィットコマンドが供給されることに
より、テストモードが終了する。
【0046】上記実施の形態によれば、テストモード時
に各バンクのワード線を活性化した状態において、各バ
ンクのカラム線を同時に選択することにより、全バンク
に同時にデータを書き込んでいる。したがって、書き込
み時間を短縮でき、テストに要する時間を短縮できる。
【0047】しかも、上記実施の形態の場合、テストモ
ード時にカラムアドレスのバンク選択信号BSによりバ
ンクを選択していない。つまり、全バンクに対して書き
込みを行うため、全バンクを選択した状態としているた
め、バンク選択信号BSを使用する必要がない。そこ
で、このバンク選択信号BSを用いてスペアカラムを選
択することにより、選択されたスペアカラムにデータを
書き込むことができる。したがって、従来のようにフュ
ーズをカットして欠陥を有するカラムからスペアカラム
に置換する前にスペアカラムをテストすることができる
ため、歩留まりを向上できる。
【0048】さらに、使用しないバンク選択信号を用い
てスペアカラムを選択している。このため、スペアカラ
ムを選択するための拡張アドレスを供給するためのピン
等が必要ないため、チップサイズの大型化を防止でき
る。
【0049】また、書き込み駆動回路33、34は、テ
ストモード時にロウアドレスの最上位に設定されたバン
ク選択信号BSがローレベルの場合、非動作状態とされ
る。したがって、テストモード時に例えばバンクを活性
化するためのバンクアクティブコマンドが欠落した場
合、バンク選択信号BSがローレベルとなり、この非活
性とされたバンクに対応する書き込み駆動回路が動作さ
れないため、消費電流を低減できる。
【0050】さらに、チップイネーブル信号CE、ロウ
アドレスストローブ信号/RAS、カラムアドレススト
ローブ信号/CAS、ライトイネーブル信号/WE、ア
ドレス信号を組合わせたマルチバンクライトイクズィッ
トコマンドを供給することにより、テストモードが終了
する。したがって、テストモードを終了するために電源
をオフする必要がないため、トータルのテスト時間を短
縮できる。
【0051】尚、上記実施の形態では、テストモード時
にスペアカラムを選択する場合について説明したが、ス
ペアロウを選択することも可能である。この場合、先
ず、モードセットレジスタ20に前記各信号の組合わせ
により、スペアロウを選択するためのコマンドを供給
し、スペアロウのテストモードを設定する。この状態に
おいて、スペアロウをアクセスしデータを書き込む。例
えば図8に示すように、メモリセルアレイMCAの端部
にスペアロウ(スペアワード線)SWLが配置され、ロ
ーデコーダR/Dに隣接してスペアローデコーダSPR
/Dが配置されている場合において、スペアロウSWL
を選択する手段としては、例えばバンク選択信号BSの
一つ下位のアドレスをスペアロウSWLに割り付け、こ
のスペアロウSWLに割り付けられたアドレスをロウレ
ベル(非選択状態)とすればよい。
【0052】図9は、図3の他の例を示すものであり、
図3と同一部分には同一符号を付す。図3に示した例
は、書き込み駆動回路を各バンク毎に設けた場合である
のに対して、この例は書き込み駆動回路を隣接する2つ
のバンクでシェアする場合を示している。
【0053】書き込み駆動回路34とバンクBK1のデ
ータ線/DQ、DQの相互間には、書き込み駆動回路3
4とデータ線/DQ、DQとを接続するための第1の制
御回路91が接続され、書き込み駆動回路34とバンク
BK3のデータ線/DQ、DQの相互間には、書き込み
駆動回路34とデータ線/DQ、DQとを接続するため
の第2の制御回路92が接続されている。第1、第2の
制御回路91、92はともに同一構成であるため、第2
の制御回路92において第1の制御回路91と同一部分
には同一符号を付し、第1の制御回路91について構成
を説明する。
【0054】書き込み駆動回路34とデータ線/DQ、
DQとの相互間には、トランスファーゲート91a、9
1bがそれぞれ接続されている。これらトランスファー
ゲート91a、91bは前記モードセットレジスタ20
から供給されるマルチバンクライト信号MBW、前記B
Sラッチ回路19から供給されるカラムバンク選択信号
CBS1、ロウプリデコーダ25から供給されるバンク
選択信号BSにより制御される。すなわち、カラムバン
ク選択信号CBS1はクロックドインバータ回路91c
の入力端に供給される。このクロックドインバータ回路
91cはマルチバンクライト信号MBW及びインバータ
回路91dにより反転されたマルチバンクライト信号M
BWにより制御される。前記バンク選択信号BSはクロ
ックドインバータ回路91eの入力端に供給される。こ
のクロックドインバータ回路91eはインバータ回路9
1dにより反転されたマルチバンクライト信号MBW及
びマルチバンクライト信号MBWにより制御される。こ
れらクロックドインバータ回路91c、91eの出力端
は前記トランスファーゲート91a、91bを構成する
PチャネルMOSトランジスタのゲートにそれぞれ接続
されるとともに、インバータ回路91fを介して前記ト
ランスファーゲート91a、91bを構成するNチャネ
ルMOSトランジスタのゲートにそれぞれ接続される。
【0055】第2の制御回路92は、入力信号のみが第
1の制御回路91と相違する。すなわち、第2の制御回
路92にはバンクBK3を選択するためのカラムバンク
選択信号CBS1’、バンク選択信号BS’が供給され
る。
【0056】上記第1、第2の制御回路91、92にお
いて、通常動作時にはMBWがローレベルであるため、
クロックドインバータ回路91cが活性化され、クロッ
クドインバータ回路91eは非活性とされる。このた
め、第1、第2の制御回路91、92はそれぞれカラム
バンク選択信号CBS1、CBS1’に応じて動作され
る。
【0057】一方、テストモード時、MBWがハイレベ
ルとなるため、クロックドインバータ回路91eが活性
化され、クロックドインバータ回路91cは非活性とさ
れる。このため、第1、第2の制御回路91、92はそ
れぞれバンク選択信号BS、BS’に応じて動作され
る。すなわち、バンク選択信号BS、BS’に応じて、
バンクBK1、BK3のトランスファーゲート91a、
91bが同時にオンし、書き込み駆動回路34によりバ
ンクBK1、BK3のメモリセルに同時にデータが書き
込まれる。
【0058】尚、図9に示す回路構成とした場合、テス
トモード時にバンクを活性化するためのバンクアクティ
ブコマンドが欠落した場合、バンク選択信号BS(B
S’)がローレベルとなり、非活性とされたバンクから
書き込み駆動回路が切り離されるため、消費電流を低減
できる。したがって、図6に破線34hで囲まれた範囲
内の回路は不要となる。その他、この発明は上記実施例
に限定されるものではなく、発明の要旨を変えない範囲
で種々変形実施可能なことは勿論である。
【0059】
【発明の効果】以上、詳述したようにこの発明によれ
ば、複数のバンクを同時にテスト可能とすることにより
テスト時間を短縮可能であるとともに、消費電流が少な
く、しかも、スペアセルもテストすることができ、歩留
まりを向上することが可能な半導体記憶装置を提供でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示すものであり、要部の
構成図。
【図2】図2(a)はテストモード時の動作を概略的に
示す平面図、図2(b)はテストモード時の動作を示す
タイミング図。
【図3】メモリセルと書き込み駆動回路の関係を示す回
路図。
【図4】図1に示すBSラッチ回路の構成を示す回路
図。
【図5】図1に示すスペアカラムデコーダの構成を示す
回路図。
【図6】図1に示す書き込み駆動回路の構成を示す回路
図。
【図7】図1のテストモード時の動作を示すタイミング
図。
【図8】スペアロウを選択する場合を説明するための平
面図。
【図9】メモリセルと書き込み駆動回路の他の例を示す
回路図。
【符号の説明】
BK0、BK1、BK2、BK3…バンク、 17…ロウアドレスラッチ回路、 18…カラムアドレスラッチ回路、 18a…カウンタ、 19…BSラッチ回路、 20…モードセットレジスタ、 23…データラッチ回路、 24、25…ロウプリデコーダ、 26、27…ロウデコーダ、 28、29…カラムプリデコーダ、 30、31…カラムデコーダ、 32…CSLパルス発生器、 33、34…書き込み駆動回路、 37、38…スペアカラムデコーダ、 39、40…メモリセルアレイ 91、92…第1、第2の制御回路 MBW…マルチバンクライト信号、 CBS0、CBS1…カラムバンク選択信号、 BS…バンク選択信号 SCBS…スペアカラムバンク選択信号 CSLACT0、CSLACT1…タイミング信号。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G11C 11/34 371A

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のワード線、複数のカラム線、少な
    くとも1つのスペアカラム線を含むメモリセルアレイ
    と、ロウアドレスに応じて前記ワード線を選択するロウ
    デコーダと、カラムアドレスに応じて前記カラム線を選
    択するカラムデコーダと、前記スペアカラム線を選択す
    るスペアカラムデコーダとを有する複数のバンクと、 テストモードを設定する信号に応じて、複数のバンクを
    同時に書き込み状態とする書き込み制御信号を生成する
    第1の生成手段と、 テストモード時にカラムアドレスに含まれるバンク選択
    信号をラッチし、全バンクの前記スペアカラムデコーダ
    を選択する第1の選択信号を生成するとともに、前記第
    1の生成手段から供給される書き込み制御信号に応じて
    全バンクの前記カラムデコーダを全て選択する第2の選
    択信号を生成する第2の生成手段と、 前記第2の生成手段から供給される第2の選択信号によ
    り選択されたカラムデコーダにより前記カラムアドレス
    に応じて選択されるカラム線にデータを書き込み、前記
    第2の生成手段から供給される第1の選択信号により選
    択されたスペアカラムデコーダを介してスペアカラム線
    にデータを書き込む書き込み駆動回路とを具備すること
    を特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記書き込み駆動回路は、テストモード
    時に前記ロウアドレスに含まれるバンク選択信号が非選
    択状態を示す時、前記書き込み駆動回路を非動作とする
    制御回路を含むことを特徴とする請求項1記載の半導体
    記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記制御回路は、入力端に前記バンク選
    択信号が供給され、前記書き込み制御信号に応じて活性
    化されるクロックドインバータ回路と、このクロックド
    インバータ回路の出力端に接続され、前記書き込み制御
    信号が非活性の時、前記クロックドインバータ回路の出
    力端を一方の論理レベルに設定するトランジスタと、前
    記クロックドインバータ回路の出力端に接続され、クロ
    ックドインバータ回路の出力端の論理レベルに応じて前
    記データの取り込みを制御する論理回路とを具備するこ
    とを特徴とする請求項2記載の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 前記書き込み駆動回路は、隣接する2つ
    のバンクにシェアされることを特徴とする請求項2記載
    の半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 前記スペアカラムデコーダは、前記第1
    の生成回路から供給される書き込み制御信号に応じて活
    性化され、前記第2の生成回路から供給される第1の選
    択信号によりスペアカラムを選択する選択回路を有する
    ことを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】 前記第1の生成手段はテストモードを終
    了する信号に応じて、前記複数のバンクを同時に書き込
    み状態とする書き込み制御信号を非活性とすることを特
    徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
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