JP2002168694A - 分光器 - Google Patents
分光器Info
- Publication number
- JP2002168694A JP2002168694A JP2000368814A JP2000368814A JP2002168694A JP 2002168694 A JP2002168694 A JP 2002168694A JP 2000368814 A JP2000368814 A JP 2000368814A JP 2000368814 A JP2000368814 A JP 2000368814A JP 2002168694 A JP2002168694 A JP 2002168694A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffraction grating
- detector
- light
- section
- spectroscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 分光素子により分散された光の分光分析を容
易かつ確実に行うことができる分光器を提供する。 【解決手段】 分光器１は、基台（図示せず）上に固定
された固定部２と、固定部２の一側端部にて連結部９を
介して回転移動自在に連結された可動部３とを備えてい
る。固定部２上には、入射スリット４と、入射スリット
４を介して入射された入射光１１を所定の平面内で分散
させる回折格子６とが配置されている。ここで、回折格
子６は、その反射面６ａが可動部３の回転中心Ｒ１を通
るように配置されている。なお、回折格子６の反射面６
ａは凹面状をなしている。また、可動部３上には、回折
格子６により分散された光の一部を検出する検出器８が
配置されている。ここで、検出器８は、移動台７を介し
て配置されている。移動台７は、可動部３上にてスライ
ド機構（図示せず）等により直線移動自在に配置されて
いる。また、移動台７は、その軸心Ｒ２を中心として回
転移動自在に配置されている。
易かつ確実に行うことができる分光器を提供する。 【解決手段】 分光器１は、基台（図示せず）上に固定
された固定部２と、固定部２の一側端部にて連結部９を
介して回転移動自在に連結された可動部３とを備えてい
る。固定部２上には、入射スリット４と、入射スリット
４を介して入射された入射光１１を所定の平面内で分散
させる回折格子６とが配置されている。ここで、回折格
子６は、その反射面６ａが可動部３の回転中心Ｒ１を通
るように配置されている。なお、回折格子６の反射面６
ａは凹面状をなしている。また、可動部３上には、回折
格子６により分散された光の一部を検出する検出器８が
配置されている。ここで、検出器８は、移動台７を介し
て配置されている。移動台７は、可動部３上にてスライ
ド機構（図示せず）等により直線移動自在に配置されて
いる。また、移動台７は、その軸心Ｒ２を中心として回
転移動自在に配置されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回折格子等の分光
素子を備えた分光器に係り、とりわけ、光の分光分析
（スペクトル分析や単色光の選択出力等）を容易かつ確
実に行うことができる分光器に関する。
素子を備えた分光器に係り、とりわけ、光の分光分析
（スペクトル分析や単色光の選択出力等）を容易かつ確
実に行うことができる分光器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、この種の分光器として、回折
格子等の分光素子と、分光素子により分散された光を検
出する検出器とを備え、分光素子に対して検出器を相対
的に移動させることにより、波長ごとに異なる出射方向
に出射された光の波長成分等を測定する分光器が知られ
ている。このような分光器においては、分光素子に対し
て検出器を相対的に移動させる方法として、検出器を直
線直交座標上でＸＹ駆動させる方法が一般的に用いられ
ている。
格子等の分光素子と、分光素子により分散された光を検
出する検出器とを備え、分光素子に対して検出器を相対
的に移動させることにより、波長ごとに異なる出射方向
に出射された光の波長成分等を測定する分光器が知られ
ている。このような分光器においては、分光素子に対し
て検出器を相対的に移動させる方法として、検出器を直
線直交座標上でＸＹ駆動させる方法が一般的に用いられ
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の分光器では、検出器を直線直交座標上でＸＹ駆
動させているので、測定対象となる光の波長成分等に基
づいて検出器の位置をあらかじめ数値的に解析した上で
検出器を移動させる必要があり、このため、分光器の立
ち上げや調整、実際の操作等が煩雑となり、また分光本
来の性能に関する信頼性にも劣るという問題がある。
た従来の分光器では、検出器を直線直交座標上でＸＹ駆
動させているので、測定対象となる光の波長成分等に基
づいて検出器の位置をあらかじめ数値的に解析した上で
検出器を移動させる必要があり、このため、分光器の立
ち上げや調整、実際の操作等が煩雑となり、また分光本
来の性能に関する信頼性にも劣るという問題がある。
【０００４】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、分光素子により分散された光の分光分析を
容易かつ確実に行うことができる分光器を提供すること
を目的とする。
ものであり、分光素子により分散された光の分光分析を
容易かつ確実に行うことができる分光器を提供すること
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、入射光を所定
の平面内で分散させる分光素子と、前記分光素子により
分散された光の一部を取り出す出力器と、前記分光素子
を中心として前記所定の平面内で前記出力器を回転移動
させるための回転移動機構と、前記回転移動機構上に設
けられ、前記分光素子に対して前記出力器を直線移動さ
せるための直線移動機構とを備えたことを特徴とする分
光器を提供する。
の平面内で分散させる分光素子と、前記分光素子により
分散された光の一部を取り出す出力器と、前記分光素子
を中心として前記所定の平面内で前記出力器を回転移動
させるための回転移動機構と、前記回転移動機構上に設
けられ、前記分光素子に対して前記出力器を直線移動さ
せるための直線移動機構とを備えたことを特徴とする分
光器を提供する。
【０００６】なお、本発明においては、前記分光素子に
対する前記出力器の相対角度を調整する調整機構をさら
に備えることが好ましい。また、前記分光素子は回折格
子であることが好ましい。さらに、前記出力器は光を検
出する検出器であることが好ましい。
対する前記出力器の相対角度を調整する調整機構をさら
に備えることが好ましい。また、前記分光素子は回折格
子であることが好ましい。さらに、前記出力器は光を検
出する検出器であることが好ましい。
【０００７】本発明によれば、回転移動機構により、分
光素子に対する出力器の回転角度を調整して出力器によ
り取り出される分散光の出射方向を変更し、また直線移
動機構により、分光素子から出力器までの距離を調整し
て分光素子から出射された分散光の集光位置と出力器と
の関係を変更するので、分光器にとって本質的な波長ス
キャンおよび分解能調整という２つの操作をそれらの操
作に直接関係する個別の移動機構により直接的に実現す
ることができ、このため、分光素子により分散された光
の分光分析を容易かつ確実に行うことができる。
光素子に対する出力器の回転角度を調整して出力器によ
り取り出される分散光の出射方向を変更し、また直線移
動機構により、分光素子から出力器までの距離を調整し
て分光素子から出射された分散光の集光位置と出力器と
の関係を変更するので、分光器にとって本質的な波長ス
キャンおよび分解能調整という２つの操作をそれらの操
作に直接関係する個別の移動機構により直接的に実現す
ることができ、このため、分光素子により分散された光
の分光分析を容易かつ確実に行うことができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１は本発明による分光器
の一実施の形態を示す図である。
施の形態について説明する。図１は本発明による分光器
の一実施の形態を示す図である。
【０００９】図１に示すように、本実施の形態に係る分
光器１は、基台（図示せず）上に固定された固定部２
と、固定部２の一側端部にて連結部９を介して回転移動
自在に連結された可動部３とを備えている。
光器１は、基台（図示せず）上に固定された固定部２
と、固定部２の一側端部にて連結部９を介して回転移動
自在に連結された可動部３とを備えている。
【００１０】このうち、固定部２上には、入射スリット
４と、入射スリット４を介して入射された入射光１１を
所定の平面内で分散させる回折格子（分光素子）６とが
配置されている。ここで、回折格子６は、その反射面６
ａが可動部３の回転中心Ｒ１を通るように配置されてい
る。なお、回折格子６の反射面６ａは凹面状をなしてい
る。
４と、入射スリット４を介して入射された入射光１１を
所定の平面内で分散させる回折格子（分光素子）６とが
配置されている。ここで、回折格子６は、その反射面６
ａが可動部３の回転中心Ｒ１を通るように配置されてい
る。なお、回折格子６の反射面６ａは凹面状をなしてい
る。
【００１１】また、可動部３上には、回折格子６により
分散された光の一部を検出する検出器（出力器）８が配
置されている。ここで、検出器８は、移動台７上に配置
されている。移動台７は、可動部３上にてスライド機構
（図示せず）等により直線移動自在に設けられている。
また、移動台７は、軸心Ｒ２を中心として回転自在に設
けられている。
分散された光の一部を検出する検出器（出力器）８が配
置されている。ここで、検出器８は、移動台７上に配置
されている。移動台７は、可動部３上にてスライド機構
（図示せず）等により直線移動自在に設けられている。
また、移動台７は、軸心Ｒ２を中心として回転自在に設
けられている。
【００１２】ここで、可動部３は、回折格子６を中心と
して所定の平面内で検出器８を回転移動させるための回
転移動機構を構成しており、回折格子６に対する検出器
８の回転角度θを調整することができるようになってい
る。また、移動台７は、回折格子６に対して検出器８を
直線移動させるための直線移動機構を構成しており、回
折格子６から検出器８までの距離ｒを調整することがで
きるようになっている。さらに、移動台７は、回折格子
６に対する検出器８の検出面８ａの相対角度を調整する
調整機構を構成している。なお、可動部３および移動台
７の移動は、駆動モータ（図示せず）等を用いてコンピ
ュータ等の制御の下で自動的に行うことが可能である。
して所定の平面内で検出器８を回転移動させるための回
転移動機構を構成しており、回折格子６に対する検出器
８の回転角度θを調整することができるようになってい
る。また、移動台７は、回折格子６に対して検出器８を
直線移動させるための直線移動機構を構成しており、回
折格子６から検出器８までの距離ｒを調整することがで
きるようになっている。さらに、移動台７は、回折格子
６に対する検出器８の検出面８ａの相対角度を調整する
調整機構を構成している。なお、可動部３および移動台
７の移動は、駆動モータ（図示せず）等を用いてコンピ
ュータ等の制御の下で自動的に行うことが可能である。
【００１３】次に、このような構成からなる本実施の形
態の作用について説明する。図１に示すように、分光器
１において、固定部２上の入射スリット４を介して入射
された入射光１１は、回折格子６の反射面６ａのうち回
転中心Ｒ１に対応する位置に入射し、所定の平面内で回
折格子６により分散される。回折格子６により分散され
た分散光１２は、その波長ごとに異なる出射方向に出射
され、回折格子６の反射面６ａが持つ集光機能により、
回折格子６から所定の距離だけ離れた集光位置に集光す
る。
態の作用について説明する。図１に示すように、分光器
１において、固定部２上の入射スリット４を介して入射
された入射光１１は、回折格子６の反射面６ａのうち回
転中心Ｒ１に対応する位置に入射し、所定の平面内で回
折格子６により分散される。回折格子６により分散され
た分散光１２は、その波長ごとに異なる出射方向に出射
され、回折格子６の反射面６ａが持つ集光機能により、
回折格子６から所定の距離だけ離れた集光位置に集光す
る。
【００１４】図２は図１に示す分光器１で用いられる光
学マウント（光学素子の配置形態）の一例を示す図であ
る。図２は分光器１をローランドマウントにより配置し
た場合を示しており、ローランド円１３（回折格子６の
反射面６ａの曲率半径を直径とする円）上に入射スリッ
ト４を配置した場合を示している。この場合には、回折
格子６により異なる出射方向に出射された全ての分散光
１２がローランド円１３上に集光するので（図２のＦ
１，Ｆ２参照）、入射光１１の分光分析（スペクトル分
析）を行うためには、ローランド円１３に沿って検出器
８を移動させることとなる。
学マウント（光学素子の配置形態）の一例を示す図であ
る。図２は分光器１をローランドマウントにより配置し
た場合を示しており、ローランド円１３（回折格子６の
反射面６ａの曲率半径を直径とする円）上に入射スリッ
ト４を配置した場合を示している。この場合には、回折
格子６により異なる出射方向に出射された全ての分散光
１２がローランド円１３上に集光するので（図２のＦ
１，Ｆ２参照）、入射光１１の分光分析（スペクトル分
析）を行うためには、ローランド円１３に沿って検出器
８を移動させることとなる。
【００１５】本実施の形態においては、まず、波長スキ
ャンのため、可動部３により検出器８を任意の回転角度
（図２のθ１，θ２参照）だけ回転移動させ、次いで、
分解能調整のため、検出器８が配置された移動台７を任
意の距離（図２のｒ１，ｒ２参照）だけ直線移動させ
る。これにより、検出器８をローランド円１３上の任意
の箇所に容易かつ確実に移動させることが可能となる。
なおこのとき、検出器８は光学的に無視できない有限の
大きさを持っているので、検出器８の検出面８ａ上には
その大きさの範囲で所定の波長範囲の分散光１２が検出
される。このため、このような所定の波長範囲にある各
々の波長の光が検出器８の検出面８ａ上の任意の検出位
置に対して集光位置の条件（検出位置がローランド円１
３に一致する）に近づくように、検出器８の検出面８ａ
をローランド円１３に接するように配置することが望ま
しい。そのため、回転角度θおよび距離ｒに応じて、移
動台７をその位置で回転させることにより、移動台７上
に配置されている検出器８の検出面８ａがローランド円
１３に接するように検出面８ａの角度を調整するように
するとよい。これにより検出器８により検出される分散
光１２の分解能を向上させることができる。
ャンのため、可動部３により検出器８を任意の回転角度
（図２のθ１，θ２参照）だけ回転移動させ、次いで、
分解能調整のため、検出器８が配置された移動台７を任
意の距離（図２のｒ１，ｒ２参照）だけ直線移動させ
る。これにより、検出器８をローランド円１３上の任意
の箇所に容易かつ確実に移動させることが可能となる。
なおこのとき、検出器８は光学的に無視できない有限の
大きさを持っているので、検出器８の検出面８ａ上には
その大きさの範囲で所定の波長範囲の分散光１２が検出
される。このため、このような所定の波長範囲にある各
々の波長の光が検出器８の検出面８ａ上の任意の検出位
置に対して集光位置の条件（検出位置がローランド円１
３に一致する）に近づくように、検出器８の検出面８ａ
をローランド円１３に接するように配置することが望ま
しい。そのため、回転角度θおよび距離ｒに応じて、移
動台７をその位置で回転させることにより、移動台７上
に配置されている検出器８の検出面８ａがローランド円
１３に接するように検出面８ａの角度を調整するように
するとよい。これにより検出器８により検出される分散
光１２の分解能を向上させることができる。
【００１６】このように本実施の形態によれば、可動部
３により、回折格子６に対する検出器８の回転角度θを
調整して検出器８により検出される分散光１２の出射方
向を変更し、また移動台７により、回折格子６から検出
器８までの距離ｒを調整して回折格子６から出射された
分散光１２の集光位置と検出器８との関係を変更するの
で、分光器１にとって本質的な波長スキャンおよび分解
能調整という２つの操作をそれらの操作に直接関係する
個別の移動機構により直接的に実現することができ、こ
のため、回折格子６により分散された光の分光分析を容
易かつ確実に行うことができる。
３により、回折格子６に対する検出器８の回転角度θを
調整して検出器８により検出される分散光１２の出射方
向を変更し、また移動台７により、回折格子６から検出
器８までの距離ｒを調整して回折格子６から出射された
分散光１２の集光位置と検出器８との関係を変更するの
で、分光器１にとって本質的な波長スキャンおよび分解
能調整という２つの操作をそれらの操作に直接関係する
個別の移動機構により直接的に実現することができ、こ
のため、回折格子６により分散された光の分光分析を容
易かつ確実に行うことができる。
【００１７】なお、上述した実施の形態においては、分
光素子として回折格子６を用いているが、それに限ら
ず、プリズムや結晶等の任意の分光素子を用いることが
可能である。また、出力器として検出器８を用いている
が、それに限らず、反射ミラー等の他の光学素子を用い
ることも可能であり、光のスペクトル分析のために用い
られる分光計（spectrometer）に限らず、単色光を外部
に取り出すための単色計（monochrometer）等の各種の
分光器にも適用することが可能である。
光素子として回折格子６を用いているが、それに限ら
ず、プリズムや結晶等の任意の分光素子を用いることが
可能である。また、出力器として検出器８を用いている
が、それに限らず、反射ミラー等の他の光学素子を用い
ることも可能であり、光のスペクトル分析のために用い
られる分光計（spectrometer）に限らず、単色光を外部
に取り出すための単色計（monochrometer）等の各種の
分光器にも適用することが可能である。
【００１８】また、上述した実施の形態においては、回
折格子６の反射面６ａを凹面状として、回折格子６自体
が集光機能を有するようにしているが、それに限らず、
回折格子６の反射面６ａを平坦状として、集光機能を有
する他の光学素子を回折格子６と検出器８との間に配置
するようにしてもよい。
折格子６の反射面６ａを凹面状として、回折格子６自体
が集光機能を有するようにしているが、それに限らず、
回折格子６の反射面６ａを平坦状として、集光機能を有
する他の光学素子を回折格子６と検出器８との間に配置
するようにしてもよい。
【００１９】さらに、上述した実施の形態においては、
分光器１の光学マウントとしてローランドマウントを例
に挙げて説明したが、それに限らず、任意の光学マウン
トに対しても適用することができる。
分光器１の光学マウントとしてローランドマウントを例
に挙げて説明したが、それに限らず、任意の光学マウン
トに対しても適用することができる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、分
光器にとって本質的な波長スキャンおよび分解能調整と
いう２つの操作をそれらの操作に直接関係する個別の移
動機構により直接的に実現するので、分光素子により分
散された光の分光分析を容易かつ確実に行うことができ
る。
光器にとって本質的な波長スキャンおよび分解能調整と
いう２つの操作をそれらの操作に直接関係する個別の移
動機構により直接的に実現するので、分光素子により分
散された光の分光分析を容易かつ確実に行うことができ
る。
【図１】本発明による分光器の一実施の形態を示す図。
【図２】図１に示す分光器で用いられる光学マウントの
一例を示す図。
一例を示す図。
１ 分光器 ２ 固定部 ３ 可動部 ４ 入射スリット ６ 回折格子（分光素子） ６ａ 反射面 ７ 移動台 ８ 検出器（出力器） ８ａ 検出面 ９ 連結部 １１ 入射光 １２ 分散光 １３ ローランド円
Claims (4)
- 【請求項１】入射光を所定の平面内で分散させる分光素
子と、 前記分光素子により分散された光の一部を取り出す出力
器と、 前記分光素子を中心として前記所定の平面内で前記出力
器を回転移動させるための回転移動機構と、 前記回転移動機構上に設けられ、前記分光素子に対して
前記出力器を直線移動させるための直線移動機構とを備
えたことを特徴とする分光器。 - 【請求項２】前記分光素子に対する前記出力器の相対角
度を調整する調整機構をさらに備えたことを特徴とする
請求項１記載の分光器。 - 【請求項３】前記分光素子は回折格子であることを特徴
とする請求項１または２記載の分光器。 - 【請求項４】前記出力器は光を検出する検出器であるこ
とを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載の分光
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000368814A JP2002168694A (ja) | 2000-12-04 | 2000-12-04 | 分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000368814A JP2002168694A (ja) | 2000-12-04 | 2000-12-04 | 分光器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002168694A true JP2002168694A (ja) | 2002-06-14 |
Family
ID=18838962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000368814A Withdrawn JP2002168694A (ja) | 2000-12-04 | 2000-12-04 | 分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002168694A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004184975A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-07-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 少ない計算量で高周波数成分を復元するオーディオデコーディング方法及び装置 |
| JP2008046132A (ja) * | 2006-08-16 | 2008-02-28 | Wafermasters Inc | 分光システム |
| JP2014134449A (ja) * | 2013-01-10 | 2014-07-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 凹面光学素子の測定装置及び凹面回折格子の測定装置並びに平面回折格子の測定装置 |
| KR101475693B1 (ko) * | 2013-10-16 | 2014-12-23 | 주식회사 벡트론 | 고해상도 x-선 영상 획득을 위한 분광기 |
| WO2019176300A1 (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | アズビル株式会社 | 距離測定装置および方法 |
-
2000
- 2000-12-04 JP JP2000368814A patent/JP2002168694A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004184975A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-07-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 少ない計算量で高周波数成分を復元するオーディオデコーディング方法及び装置 |
| US7444289B2 (en) | 2002-11-29 | 2008-10-28 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Audio decoding method and apparatus for reconstructing high frequency components with less computation |
| JP2008046132A (ja) * | 2006-08-16 | 2008-02-28 | Wafermasters Inc | 分光システム |
| JP2014134449A (ja) * | 2013-01-10 | 2014-07-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 凹面光学素子の測定装置及び凹面回折格子の測定装置並びに平面回折格子の測定装置 |
| KR101475693B1 (ko) * | 2013-10-16 | 2014-12-23 | 주식회사 벡트론 | 고해상도 x-선 영상 획득을 위한 분광기 |
| WO2019176300A1 (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | アズビル株式会社 | 距離測定装置および方法 |
| JP2019158488A (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | アズビル株式会社 | 距離測定装置および方法 |
| CN111886471A (zh) * | 2018-03-12 | 2020-11-03 | 阿自倍尔株式会社 | 测距装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6778273B2 (en) | Polarimetric scatterometer for critical dimension measurements of periodic structures | |
| US7157711B1 (en) | Microspectrometer gas analyzer | |
| US7397561B2 (en) | Spectroscopy system | |
| JP2007132934A (ja) | 分光システム | |
| KR950009926B1 (ko) | 분광광도계 | |
| US6541287B2 (en) | Temperature measuring method and apparatus, measuring method for the thickness of the formed film, measuring apparatus for the thickness of the formed film thermometer for wafers | |
| JP2002168694A (ja) | 分光器 | |
| JPH07333062A (ja) | 分光器の波長走査機構及びその波長走査方法 | |
| JP2001183233A (ja) | 分光器および分光方法 | |
| JP3446120B2 (ja) | 試料横置式ゴニオフォトメータ装置 | |
| US7224460B2 (en) | Mapping-measurement apparatus | |
| JP7392856B2 (ja) | 顕微ラマン分光測定装置、及び顕微ラマン分光測定装置の調整方法 | |
| JP2000088648A (ja) | 分光分析装置 | |
| JP3405250B2 (ja) | 分光測光器 | |
| JP3473524B2 (ja) | 分光分析装置 | |
| JPH07140004A (ja) | 分光分析装置 | |
| JP3085179B2 (ja) | 発光分光分析装置 | |
| JP2000035363A (ja) | 光学特性検出装置 | |
| JP2697154B2 (ja) | 原子吸光分光光度計 | |
| JP3578937B2 (ja) | 分光分析装置 | |
| JP3182744B2 (ja) | 分光分析装置 | |
| JP3702846B2 (ja) | 分光光度計 | |
| JP2000258249A (ja) | 分光分析装置 | |
| JP3119622U (ja) | 分光光度計 | |
| JP2664632B2 (ja) | 全反射蛍光ｘ線分析装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080205 |