JP3446120B2 - 試料横置式ゴニオフォトメータ装置 - Google Patents
試料横置式ゴニオフォトメータ装置Info
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- JP3446120B2 JP3446120B2 JP2000068138A JP2000068138A JP3446120B2 JP 3446120 B2 JP3446120 B2 JP 3446120B2 JP 2000068138 A JP2000068138 A JP 2000068138A JP 2000068138 A JP2000068138 A JP 2000068138A JP 3446120 B2 JP3446120 B2 JP 3446120B2
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明の偏角絶対反射率測定
装置、すなわちゴニオフォトメータ装置に関し、詳しく
は測定サンプル試料横置式の新機構のゴニオフォトメー
タ装置に関する。
装置、すなわちゴニオフォトメータ装置に関し、詳しく
は測定サンプル試料横置式の新機構のゴニオフォトメー
タ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のゴニオフォトメータ装置の一般的
な構造を図４に示す。
な構造を図４に示す。
【０００３】（ａ）は基準光を測定するリファレンス測
定或は透過率測定時における、光源ランプ、分光器、試
料台（ステージ）、光の強度を計測する積分球を示す。
（ｂ）は測定サンプルを試料台に載せてその反射率測定
時における、光源ランプ、分光器、試料台、積分球の配
置を示す。
定或は透過率測定時における、光源ランプ、分光器、試
料台（ステージ）、光の強度を計測する積分球を示す。
（ｂ）は測定サンプルを試料台に載せてその反射率測定
時における、光源ランプ、分光器、試料台、積分球の配
置を示す。
【０００４】試料台は通常は測定サンプル縦掛け式とな
っていて押え金具で測定サンプルを固定し、その台の下
部は角度割出回転テーブルとなっており、試料面と入射
面の角度を変えて透過率を測定する場合や、反射率を測
定する場合は容易に測定することができる構造である。
っていて押え金具で測定サンプルを固定し、その台の下
部は角度割出回転テーブルとなっており、試料面と入射
面の角度を変えて透過率を測定する場合や、反射率を測
定する場合は容易に測定することができる構造である。
【０００５】しかしながら、最近多く製造されるように
なった大型の測定サンプルの場合には、押え金具を外し
て、別の構造の押え金具を作成し使用するなどの方法を
取る必要があった。
なった大型の測定サンプルの場合には、押え金具を外し
て、別の構造の押え金具を作成し使用するなどの方法を
取る必要があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前述した点に
鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、
最近の測定サンプルの大型化に対応して、水平面を有す
るステージ、試料台を備えたゴニオフォトメータ装置を
提供することである。すなわち、試料台が水平面である
ときは、測定サンプルをその台に載せるとき、特に押え
金具を必要としない。その大型測定サンプルの広い面を
容易に移動させて、その全面の必要な点を測定できる。
押え金具がなくても固定できるので測定点の移動が容易
であるからである。しかし、試料台を水平にすると、分
光器と、それを受光する積分球の位置決めが複雑にな
る。それらを容易にする試料横置式ゴニオフォトメータ
装置を提供することである。
鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、
最近の測定サンプルの大型化に対応して、水平面を有す
るステージ、試料台を備えたゴニオフォトメータ装置を
提供することである。すなわち、試料台が水平面である
ときは、測定サンプルをその台に載せるとき、特に押え
金具を必要としない。その大型測定サンプルの広い面を
容易に移動させて、その全面の必要な点を測定できる。
押え金具がなくても固定できるので測定点の移動が容易
であるからである。しかし、試料台を水平にすると、分
光器と、それを受光する積分球の位置決めが複雑にな
る。それらを容易にする試料横置式ゴニオフォトメータ
装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明の試料横置式ゴニオフォトメータ装置は、分
光器及びその光源ランプと、その分光器で狭波長帯に分
光され、その光が通過する光路を中心軸とした第１及び
第２の中空状回転機構部と、それぞれの回転機構部に取
付けられ、それぞれ独立して回転自在に回転する第１及
び第２の回転部材と、それら回転機構部の中心軸を通過
する光路の進行方向延長線上にあって、試料を載せる水
平面を設け、前記延長線がその水平面に接するように配
設され、中心部に光路穴を設けた試料台とを具備し、前
記第１の回転部材は、前記分光光路を前記光路穴を通過
して試料台の試料の一方の面側に導くため、その回転部
材の中に中空の光路トンネルを設け、分光光路をその光
路トンネルを通過させるための反射鏡を配設し、一方、
前記第２の回転部材は、前記第１の回転部材からの入射
光が前記試料を通過して反対側に透過する透過光、又は
前記試料から反射する反射光の強度を計測するため、前
記第２の回転機構部を回転させ、それらの光路の入射に
合せられる位置に積分球及びその受光器を配設し、試料
を水平面を設けた試料台に載せ、透過率測定時は、第１
の回転機構を回転させ、第１の回転部材の光路トンネル
からの光を前記試料の一方の側に入射し、その透過光を
第２の回転機構を回転させて、試料の反対側で第２の回
転部材の積分球に入射させて測定し、一方、反射率測定
時は、第２の回転機構を回転させて、前記試料の同一の
側で第２の回転部材の積分球に入射させて測定すること
を特徴とする。
め、本発明の試料横置式ゴニオフォトメータ装置は、分
光器及びその光源ランプと、その分光器で狭波長帯に分
光され、その光が通過する光路を中心軸とした第１及び
第２の中空状回転機構部と、それぞれの回転機構部に取
付けられ、それぞれ独立して回転自在に回転する第１及
び第２の回転部材と、それら回転機構部の中心軸を通過
する光路の進行方向延長線上にあって、試料を載せる水
平面を設け、前記延長線がその水平面に接するように配
設され、中心部に光路穴を設けた試料台とを具備し、前
記第１の回転部材は、前記分光光路を前記光路穴を通過
して試料台の試料の一方の面側に導くため、その回転部
材の中に中空の光路トンネルを設け、分光光路をその光
路トンネルを通過させるための反射鏡を配設し、一方、
前記第２の回転部材は、前記第１の回転部材からの入射
光が前記試料を通過して反対側に透過する透過光、又は
前記試料から反射する反射光の強度を計測するため、前
記第２の回転機構部を回転させ、それらの光路の入射に
合せられる位置に積分球及びその受光器を配設し、試料
を水平面を設けた試料台に載せ、透過率測定時は、第１
の回転機構を回転させ、第１の回転部材の光路トンネル
からの光を前記試料の一方の側に入射し、その透過光を
第２の回転機構を回転させて、試料の反対側で第２の回
転部材の積分球に入射させて測定し、一方、反射率測定
時は、第２の回転機構を回転させて、前記試料の同一の
側で第２の回転部材の積分球に入射させて測定すること
を特徴とする。
【０００８】また、前記回転機構部の中心軸を分光光路
を通過されるために、その回転機構部と前記分光器の中
間に配設した２個の反射鏡よりなる光路調整用反射鏡を
備えることを特徴とする。
を通過されるために、その回転機構部と前記分光器の中
間に配設した２個の反射鏡よりなる光路調整用反射鏡を
備えることを特徴とする。
【０００９】また、前記第１の回転部材の光路トンネル
は、前記第１及び第２の中空状回転機構部の中心軸に沿
って入射する光を第１の反射鏡で外側への径方向に反射
させ、その光を軸から離れた所定の位置で第２の反射鏡
により反射させ、軸に平行な方向に進行させ、前記試料
台の光路穴に相当する位置で第３の反射鏡により曲折さ
せ偏光子を介して内側への径方向の光を進行させること
を特徴とする。
は、前記第１及び第２の中空状回転機構部の中心軸に沿
って入射する光を第１の反射鏡で外側への径方向に反射
させ、その光を軸から離れた所定の位置で第２の反射鏡
により反射させ、軸に平行な方向に進行させ、前記試料
台の光路穴に相当する位置で第３の反射鏡により曲折さ
せ偏光子を介して内側への径方向の光を進行させること
を特徴とする。
【００１０】また、前記第１及び第２の中空状の回転機
構部はそれぞれ第１及び第２の角度割出用モータにより
角度調整されることを特徴とする。
構部はそれぞれ第１及び第２の角度割出用モータにより
角度調整されることを特徴とする。
【００１１】また、前記分光器の分光照射スリット出口
には高次カットフィルタをモータで切換えるフィルタ切
換モータが備えていることを特徴とする。
には高次カットフィルタをモータで切換えるフィルタ切
換モータが備えていることを特徴とする。
【００１２】また、前記分光器は回折格子の分光素子で
構成され、分光素子回転モータで光源に対し振動させて
いることを特徴とする。
構成され、分光素子回転モータで光源に対し振動させて
いることを特徴とする。
【００１３】また、第１及び第２の角度割出用モータ、
高次カットフィルタ切換モータ、分光素子回転モータの
調整と、第２の回転部材にある積分球・受光器の出力を
増幅する増幅器とを制御する制御部を備えることを特徴
とする。
高次カットフィルタ切換モータ、分光素子回転モータの
調整と、第２の回転部材にある積分球・受光器の出力を
増幅する増幅器とを制御する制御部を備えることを特徴
とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図
１、図２、図３に基づき説明する。図１は、本発明の試
料横置式ゴニオフォトメータ装置１００の（ａ）透過率
測定と（ｂ）反射率測定に際しての機構動作原理を説明
するための図である。
１、図２、図３に基づき説明する。図１は、本発明の試
料横置式ゴニオフォトメータ装置１００の（ａ）透過率
測定と（ｂ）反射率測定に際しての機構動作原理を説明
するための図である。
【００１５】図２は本発明の試料横置式ゴニオフォトメ
ータ装置としての一実施例のブロック構成図を示す。
ータ装置としての一実施例のブロック構成図を示す。
【００１６】図３はその実施例の具体的な装置の構造図
を示す。
を示す。
【００１７】ここで、１は光源ランプ、１ａは集光レン
ズ、２は分光器、２ａはその分光出力側スリット、２ｂ
は回折格子などの分光素子、２ｃは分光素子回転モータ
である。
ズ、２は分光器、２ａはその分光出力側スリット、２ｂ
は回折格子などの分光素子、２ｃは分光素子回転モータ
である。
【００１８】３は試料を載せる試料台（ステージ）であ
る。その上面は水平面３ａであり、台の中心部に光路穴
３ｂがあり、透過率測定のときはこの光路穴３ｂから試
料４に分光を入射させる。試料台３の上面は水平面３ａ
なので、試料４はその上で自由に移動できる。３ｃは図
３に示すような試料台３のステージ支持機構である。
る。その上面は水平面３ａであり、台の中心部に光路穴
３ｂがあり、透過率測定のときはこの光路穴３ｂから試
料４に分光を入射させる。試料台３の上面は水平面３ａ
なので、試料４はその上で自由に移動できる。３ｃは図
３に示すような試料台３のステージ支持機構である。
【００１９】５は入射した光の強度を計測する積分球及
び受光器部であり、５ａはその増幅器を示す。
び受光器部であり、５ａはその増幅器を示す。
【００２０】６，７はそれぞれ第１及び第２の中空状回
転機構部であり、６ａ，７ａはそれらの回転させる第１
及び第２の角度割出モータである。いずれも回転機構部
６，７の中心は中空で、その中心軸は図２、図３に示す
ように分光光路になっている。
転機構部であり、６ａ，７ａはそれらの回転させる第１
及び第２の角度割出モータである。いずれも回転機構部
６，７の中心は中空で、その中心軸は図２、図３に示す
ように分光光路になっている。
【００２１】８は第１の回転部材であり、８ａは３回曲
折した光路トンネルとなっている。まず第１の反射鏡８
ｂにより回転機構部６，７の中心軸に沿って入射する分
光光路は外側への径方向に反射させ、その光を軸から離
れた所定の位置で第２の反射鏡８ｃにより反射させ光を
軸に平行な方向に進行させ、次に試料台３の光路穴３ｂ
に相当する位置で第３の反射鏡８ｄにより曲折させ、偏
光子８ｅを介して内側への径方向へ光を進行させ、光路
穴３ｂを通過して試料４に入射させる光路トンネル８ａ
を形成している。
折した光路トンネルとなっている。まず第１の反射鏡８
ｂにより回転機構部６，７の中心軸に沿って入射する分
光光路は外側への径方向に反射させ、その光を軸から離
れた所定の位置で第２の反射鏡８ｃにより反射させ光を
軸に平行な方向に進行させ、次に試料台３の光路穴３ｂ
に相当する位置で第３の反射鏡８ｄにより曲折させ、偏
光子８ｅを介して内側への径方向へ光を進行させ、光路
穴３ｂを通過して試料４に入射させる光路トンネル８ａ
を形成している。
【００２２】９は第２の回転部材であり、第１の回転部
材８からの入射光が試料４を通過して反対側に透過する
透過光又は試料４から反射する反射光の強度を計測する
ため、第２の回転機構部７を回転させ、それらの光路の
入射に合せられる位置に積分球及び受光器を配設する。
材８からの入射光が試料４を通過して反対側に透過する
透過光又は試料４から反射する反射光の強度を計測する
ため、第２の回転機構部７を回転させ、それらの光路の
入射に合せられる位置に積分球及び受光器を配設する。
【００２３】１０，１１は、分光器２から出力する分光
光路と中空状回転機構部６，７の中心軸を分光光路にす
るための軸合せの光路調整用反射鏡である。
光路と中空状回転機構部６，７の中心軸を分光光路にす
るための軸合せの光路調整用反射鏡である。
【００２４】１２は分光器２から出力する分光の高次成
分をカットするフィルタであり、１２ａはそのフィルタ
のカット周波数を調節するためのフィルタ切換モータで
ある。
分をカットするフィルタであり、１２ａはそのフィルタ
のカット周波数を調節するためのフィルタ切換モータで
ある。
【００２５】１４はゴニオフォトメータ装置１００の制
御用パーソナルコンピュータであり、第１、第２の角度
割出モータ６ａ，７ａ、分光素子回転モータ２ｃ、フィ
ルタ切換モータ１２ａなどを駆動し、その時の透過光或
は反射光の強度を積分球及び受光器５とその増幅器５ａ
を介した出力信号データの変化により前記各モータを制
御する。なお、１５はモニターである。
御用パーソナルコンピュータであり、第１、第２の角度
割出モータ６ａ，７ａ、分光素子回転モータ２ｃ、フィ
ルタ切換モータ１２ａなどを駆動し、その時の透過光或
は反射光の強度を積分球及び受光器５とその増幅器５ａ
を介した出力信号データの変化により前記各モータを制
御する。なお、１５はモニターである。
【００２６】次に、本発明の試料横置式ゴニオフォトメ
ータ装置１００を使用した透過率の測定方法及び反射率
の測定方法を以下に説明する。
ータ装置１００を使用した透過率の測定方法及び反射率
の測定方法を以下に説明する。
【００２７】透過率の測定では、まず試料４（測定サン
プル）を試料台３（ステージ）の上に載せる。試料台上
部は水平面３ａとなっているので、大面積試料４でも、
任意の位置を測定できる。測定したい試料の位置を光路
穴３ｂの上に合せるように移動させればよい。サンプル
押えバネは不要である。
プル）を試料台３（ステージ）の上に載せる。試料台上
部は水平面３ａとなっているので、大面積試料４でも、
任意の位置を測定できる。測定したい試料の位置を光路
穴３ｂの上に合せるように移動させればよい。サンプル
押えバネは不要である。
【００２８】次に、第１の角度割出モータ６ａをパーソ
ナルコンピュータ１４からコントローラ１３を介して駆
動し、第１の中空状回転機構部６を回転させ、第１の回
転部材８の光路トンネル８ａ先端の光出力部から分光が
偏光子８ｅを通過し試料台３の中心部の光路穴３ｂをさ
らに通過し、試料４の下側面に入射するように回転位置
を調節する。
ナルコンピュータ１４からコントローラ１３を介して駆
動し、第１の中空状回転機構部６を回転させ、第１の回
転部材８の光路トンネル８ａ先端の光出力部から分光が
偏光子８ｅを通過し試料台３の中心部の光路穴３ｂをさ
らに通過し、試料４の下側面に入射するように回転位置
を調節する。
【００２９】ここで、入射角θはパラメータとして所定
の角度に設定する。
の角度に設定する。
【００３０】次に、第２の角度割出モータ７ａをパーソ
ナルコンピュータ１４からコントローラ１３を介して駆
動し第２の中空状回転機構部７を回転させ、第２の回転
部材９の先端にある積分球及び受光器５に、試料４の反
対面から透過した分光が入る回転位置に調整する。
ナルコンピュータ１４からコントローラ１３を介して駆
動し第２の中空状回転機構部７を回転させ、第２の回転
部材９の先端にある積分球及び受光器５に、試料４の反
対面から透過した分光が入る回転位置に調整する。
【００３１】このように調整されたときの第１の回転部
材（第１の角度割出アーム）８と第２の回転部材（第２
の角度割出アーム）９との関係位置を透過率測定に調整
された状態を図１（ａ）に示す。ここで、試料４に対す
る入射角はθとなっている。試料台３に試料４がないと
きは、リファレンス測定をすることができる。
材（第１の角度割出アーム）８と第２の回転部材（第２
の角度割出アーム）９との関係位置を透過率測定に調整
された状態を図１（ａ）に示す。ここで、試料４に対す
る入射角はθとなっている。試料台３に試料４がないと
きは、リファレンス測定をすることができる。
【００３２】いずれの場合も、積分球及び受光器５に入
射した分光は増幅器５ａを介してコントローラ１３を経
由し、パーソナルコンピュータ１４にその出力データが
取込まれ、透過率も計算され、それらのデータはモニタ
ー１５に表示されると共にメモリに記録される。
射した分光は増幅器５ａを介してコントローラ１３を経
由し、パーソナルコンピュータ１４にその出力データが
取込まれ、透過率も計算され、それらのデータはモニタ
ー１５に表示されると共にメモリに記録される。
【００３３】一方、反射率測定の場合は、第１の回転部
材（第１の角度割出アーム）８の操作は透過率測定の場
合と同様であるが、第２の回転部材（第２の角度割出ア
ーム）９は、試料４に分光を入射した面側に回転させ
て、その反射波を積分球及び受光器５に入射するよう回
転位置を調整する。
材（第１の角度割出アーム）８の操作は透過率測定の場
合と同様であるが、第２の回転部材（第２の角度割出ア
ーム）９は、試料４に分光を入射した面側に回転させ
て、その反射波を積分球及び受光器５に入射するよう回
転位置を調整する。
【００３４】このように調整されたときの第１の回転部
材（第１の角度割出アーム）８と第２の回転部材（第２
の角度割出アーム）９との関係位置を反射率測定に調整
された状態を図１（ｂ）に示す。ここで、試料４に対す
る入射角はθとなっている。
材（第１の角度割出アーム）８と第２の回転部材（第２
の角度割出アーム）９との関係位置を反射率測定に調整
された状態を図１（ｂ）に示す。ここで、試料４に対す
る入射角はθとなっている。
【００３５】この場合も、積分球及び受光器５に入射し
た分光は増幅器５ａを介してコントローラ１３を経由
し、パーソナルコンピュータ１４にその出力データが取
込まれ、内部のプログラムで反射率も計算され、それら
のデータはモニター１５に表示されると共にメモリに記
録され、必要ならばプリント出力される。
た分光は増幅器５ａを介してコントローラ１３を経由
し、パーソナルコンピュータ１４にその出力データが取
込まれ、内部のプログラムで反射率も計算され、それら
のデータはモニター１５に表示されると共にメモリに記
録され、必要ならばプリント出力される。
【００３６】
【発明の効果】本発明の試料横置式ゴニオフォトメータ
装置は以下に示すような効果を奏する。
装置は以下に示すような効果を奏する。
【００３７】試料測定サンプルを試料台の水平面に搭載
できる横置式であるので、その試料測定サンプルの表面
の任意の全面にわたる測定に際して、その水平面上を移
動させることが容易であり、その都度サンプル押えバネ
で押え直す必要がない。
できる横置式であるので、その試料測定サンプルの表面
の任意の全面にわたる測定に際して、その水平面上を移
動させることが容易であり、その都度サンプル押えバネ
で押え直す必要がない。
【００３８】また、試料測定サンプルの表面積が大型化
しているが、押えバネを必要としないので、大形の押え
バネのある試料台に変更、交換する必要がない。大型試
料測定サンプルでも、それを試料台の平行面に載せて容
易にそれを移動させ、固定しなくても測定できる装置と
なる。
しているが、押えバネを必要としないので、大形の押え
バネのある試料台に変更、交換する必要がない。大型試
料測定サンプルでも、それを試料台の平行面に載せて容
易にそれを移動させ、固定しなくても測定できる装置と
なる。
【図１】本発明の試料横置式ゴニオフォトメータ装置の
機構動作原理図である。
機構動作原理図である。
【図２】本発明の装置のブロック構成図である。
【図３】本発明の装置の具体的な構成図である。
【図４】本発明の装置の機構動作の説明図である。
１ 光源ランプ
１ａ 集光レンズ
２ 分光器
２ａ スリット
２ｂ 分光素子
２ｃ 分光素子回転モータ
３ 試料台、ステージ
３ａ 水平面
３ｂ 光路穴
３ｃ ステージ支持機構
４ 試料、測定サンプル
５ 積分球及び受光器
５ａ 増幅器
６ 第１の中空状回転機構部
６ａ 第１の角度割出モータ
７ 第２の中空状回転機構部
７ａ 第２の角度割出モータ
８ 第１の回転部材（第１の角度割出アーム）
８ａ 光路トンネル
８ｂ，８ｃ，８ｄ 第１、第２、第３の反射鏡
８ｅ 偏光子
９ 第２の回転部材（第２の角度割出アーム）
１０，１１ 光路調整用反射鏡
１２ 高次カットフィルタ
１２ａ フィルタ切換モータ
１３ コントローラ
１４ ゴニオフォトメータ装置制御用パーソナルコン
ピュータ １５ モニター、表示装置 １００ 試料横置式ゴニオフォトメータ装置
ピュータ １５ モニター、表示装置 １００ 試料横置式ゴニオフォトメータ装置
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｇ０１Ｎ 21/55 Ｇ０１Ｎ 21/55
21/59 21/59 Ｚ
(56)参考文献 特開 平10−253527（ＪＰ，Ａ)
特開 平11−237333（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−120385（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−79948（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−215923（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−215924（ＪＰ，Ａ)
特開 平11−183320（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−319646（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 21/00 - 21/01
G01N 21/17 - 21/61
実用ファイル（ＰＡＴＯＬＩＳ)
特許ファイル（ＰＡＴＯＬＩＳ)
Claims (7)
- 【請求項１】 分光器及びその光源ランプと、 その分光器で狭波長帯に分光され、その光が通過する光
路を中心軸とした第１及び第２の中空状回転機構部と、 それぞれの回転機構部に取付けられ、それぞれ独立して
回転自在に回転する第１及び第２の回転部材と、 それら回転機構部の中心軸を通過する光路の進行方向延
長線上にあって、試料を載せる水平面を設け、前記延長
線がその水平面に接するように配設され、中心部に光路
穴を設けた試料台とを具備し、 前記第１の回転部材は、前記分光光路を前記光路穴を通
過して試料台の試料の一方の面側に導くため、その回転
部材の中に中空の光路トンネルを設け、分光光路をその
光路トンネルを通過させるための反射鏡を配設し、 一方、前記第２の回転部材は、前記第１の回転部材から
の入射光が前記試料を通過して反対側に透過する透過
光、又は前記試料から反射する反射光の強度を計測する
ため、前記第２の回転機構部を回転させ、それらの光路
の入射に合せられる位置に積分球及びその受光器を配設
し、 試料を水平面を設けた試料台に載せ、透過率測定時は、
第１の回転機構を回転させ、第１の回転部材の光路トン
ネルからの光を前記試料の一方の側に入射し、その透過
光を第２の回転機構を回転させて、試料の反対側で第２
の回転部材の積分球に入射させて測定し、 一方、反射率測定時は、第２の回転機構を回転させて、
前記試料の同一の側で第２の回転部材の積分球に入射さ
せて測定することを特徴とする試料横置式ゴニオフォト
メータ装置。 - 【請求項２】 前記回転機構部の中心軸を分光光路を通
過されるために、その回転機構部と前記分光器の中間に
配設した２個の反射鏡よりなる光路調整用反射鏡を備え
ることを特徴とする請求項１記載の試料横置式ゴニオフ
ォトメータ装置。 - 【請求項３】 前記第１の回転部材の光路トンネルは、
前記第１及び第２の中空状回転機構部の中心軸に沿って
入射する光を第１の反射鏡で外側への径方向に反射さ
せ、その光を軸から離れた所定の位置で第２の反射鏡に
より反射させ、軸に平行な方向に進行させ、前記試料台
の光路穴に相当する位置で第３の反射鏡により曲折させ
偏光子を介して内側への径方向の光を進行させることを
特徴とする請求項１又は２記載の試料横置式ゴニオフォ
トメータ装置。 - 【請求項４】 前記第１及び第２の中空状の回転機構部
はそれぞれ第１及び第２の角度割出用モータにより角度
調整されることを特徴とする請求項１，２又は３記載の
試料横置式ゴニオフォトメータ装置。 - 【請求項５】 前記分光器の分光照射スリット出口には
高次カットフィルタをモータで切換えるフィルタ切換モ
ータが備えていることを特徴とする請求項４記載の試料
横置式ゴニオフォトメータ装置。 - 【請求項６】 前記分光器は回折格子の分光素子で構成
され、分光素子回転モータで光源に対し振動させている
ことを特徴とする請求項５記載の試料横置式ゴニオフォ
トメータ装置。 - 【請求項７】 第１及び第２の角度割出用モータ、高次
カットフィルタ切換モータ、分光素子回転モータの調整
と、第２の回転部材にある積分球・受光器の出力を増幅
する増幅器とを制御する制御部を備えることを特徴とす
る請求項６記載の試料横置式ゴニオフォトメータ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000068138A JP3446120B2 (ja) | 2000-03-13 | 2000-03-13 | 試料横置式ゴニオフォトメータ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000068138A JP3446120B2 (ja) | 2000-03-13 | 2000-03-13 | 試料横置式ゴニオフォトメータ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001255270A JP2001255270A (ja) | 2001-09-21 |
| JP3446120B2 true JP3446120B2 (ja) | 2003-09-16 |
Family
ID=18587237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000068138A Expired - Lifetime JP3446120B2 (ja) | 2000-03-13 | 2000-03-13 | 試料横置式ゴニオフォトメータ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3446120B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014202565A (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-27 | セイコーＮｐｃ株式会社 | 赤外線吸収率の測定における被測定物に対する赤外線光の入射方法 |
| US10520362B2 (en) | 2016-11-14 | 2019-12-31 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spectroscopic measurement device and spectrometry system |
| US10928249B2 (en) | 2016-11-14 | 2021-02-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spectroscopic measurement device and spectrometry system |
| US11060911B2 (en) | 2016-11-14 | 2021-07-13 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spectroscopic measurement device and spectrometry system |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102004037355A1 (de) * | 2004-07-30 | 2006-03-23 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH | Goniophotometer |
| JP2009085796A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Nichias Corp | 高温における電磁波の反射率または透過率測定装置 |
| JP2009085795A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Nichias Corp | 高温における電磁波の反射率または透過率測定方法 |
| CN107101941B (zh) * | 2017-03-31 | 2019-08-02 | 湖北久之洋红外系统股份有限公司 | 一种太赫兹近场显微成像检测仪 |
-
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- 2000-03-13 JP JP2000068138A patent/JP3446120B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014202565A (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-27 | セイコーＮｐｃ株式会社 | 赤外線吸収率の測定における被測定物に対する赤外線光の入射方法 |
| US10520362B2 (en) | 2016-11-14 | 2019-12-31 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spectroscopic measurement device and spectrometry system |
| US10928249B2 (en) | 2016-11-14 | 2021-02-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spectroscopic measurement device and spectrometry system |
| US11060911B2 (en) | 2016-11-14 | 2021-07-13 | Hamamatsu Photonics K.K. | Spectroscopic measurement device and spectrometry system |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001255270A (ja) | 2001-09-21 |
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