JPS634127B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は単色計に関するものである。

単色計は多色光から単色光を取出す光学装置で
あり、ここに云う“光”とは紫外帯域、可視帯域
及び赤外帯域の電磁放射線を意味するものとす
る。

分光光度計に用いる単色計は1952年にフアステ
イにより再発見されているが最初は1889年にエバ
ートにより提案されたものである。“ザ ジヤー
ナル オブ ザ オプテイカル ソサイエテト
オブ アメリカ”第42巻、第９号第641頁にフア
ステイが発表したエバート単色計は通常用いられ
ている他の単色計よりも一層簡単、簡潔且つ機械
的に安定しているほかに分光解像度が良好で、し
かも収差が最小である。

フアステイが発表した単色計はコリメータ凹面
鏡及び平面回折格子を具え、その平面回折格子は
その面に設けられた溝に平行で、しかも凹面鏡の
中心光軸に垂直な軸線を中心として回動し得るよ
うに装着する。この回折格子は、凹面鏡の焦点面
に位置し且つその中心光軸を中心とする円の円周
上に位置する単色計の入射スリツト及び射出スリ
ツトに隣接する中心光軸に配置する。

上記両スリツトに隣接する凹面鏡の中心光軸上
の平面回折格子の位置決めは、関連する分光光度
計、特に機械的な波長駆動系の機械的な設計によ
り制限される。その理由は複雑な装置では波長駆
動装置を用いて入射及び射出スリツトの幅を変化
させ、電磁放射線のフイルタを位置決めし、通常
の赤外線装置において２個以上の回折格子を支持
する回転ターレツトを位置決めする必要があるか
らである。

本発明の目的は回折格子を凹面鏡の中心光軸か
らずらせて位置させ、これにより機械的な構成を
有利ならしせるように適切に構成配置したエバー
ト単色計を提供せんとするにある。

本発明は凹面鏡と、該凹面鏡の中心光軸に垂直
な共通平面に位置し第１及び第２スリツトを有す
る装置と、片側に設けられた溝に平行な軸線を中
心として回動し得る回折格子とを具え、第１スリ
ツトに入る光ビームを前記凹面鏡により集光し且
つ回折格子に向け、回折格子からの分散光ビーム
を前記凹面鏡から前記第２スリツトに反射するよ
うにしたエバート単色計において、前記回折格子
が回動する軸線を前記凹面鏡の中心光軸に対しず
らせて位置させ、ビーム配向装置を前記凹面鏡と
回折格子との間の光路内に設け、該ビーム配向装
置を前記凹面鏡及び回折格子に対し適宜位置決め
して回折格子に入射する平行ビームの光学中心ラ
イン及び回折格子により分散されるビームの光学
中心ラインの双方を含む平面が回折格子にその溝
に対し直角に交差するようにしたことを特徴とす
る。

斯様にして回折格子を例えば波長駆動系の素子
に対し入射及び射出スリツトから離間するように
光学的に配置してエバート単色計を構成し得るよ
うにする。

単色計には片側の溝に平行な軸線を中心として
回動する少なくとも１個の他の回折格子を設け、
前記ビーム配向装置はこれを適宜位置させて前記
回折格子及び上記他の回折格子の何れかが単色計
の光路内に含まれるようにし、これにより広い波
長範囲がカバーされるようにする。

単色計のビーム配向装置はこれを適宜位置決め
して回折格子が回動する軸線を凹面鏡の中心光軸
に対し平行に配置し、又２個の回折格子に用いる
ビーム配向装置はこれを適宜位置決めして回折格
子及び他の回折格子が回動する軸線を何れも凹面
鏡の中心光軸に平行に配置しこれにより波長駆動
系の構成を一層簡単化し得るようにする。

本発明による複回折格子形単色計では共通波長
駆動機構に同期して２個の回折格子を回動自在と
すると共にビーム配向装置を調整自在に配置す
る。斯る単色計では両回折格子及びビーム配向装
置を波長駆動機構の共通カムシヤフト形成部分に
より駆動すると共にこの共通カムシヤフトが凹面
鏡の中心光軸に平行となるようにして構成を簡単
化する。単色計には移動自在のフイルタ保持器を
設け、この保持器に装着された複数個のフイルタ
の選択されたフイルタを単色計に入る光ビーム内
に導入すると共に前記フイルタ保持器を前記共通
カムシヤフトにより駆動し、これによりこれらフ
イルタが波長に応じて導入されるようにする。

又本発明単色計ではスリツトを形成する装置
を、スリツトが孔で形成される共通薄板とし、こ
の薄板を凹面鏡の中心光軸に沿つて移動自在に装
置し、これによりスリツトを凹面鏡の焦点面に正
しい位置させることができる。この薄板をスリツ
トが孔で形成される円板とし、これを凹面鏡の中
心光軸を中心として回動自在に配置しこれにより
スリツトの幅を単色計の波長に応じて変化させ得
るようにする。回動自在の薄板は共通カムシヤフ
トによつて駆動し得るようにする。

又、単色計のビーム配向装置を特に平面鏡とし
これにより凹面鏡及び回折格子間の光路のエネル
ギー損失を最小に保持し得るようにする。

図面につき本発明を説明する。

第１図は本発明エバート単色計を示す斜視図で
ある。この単色計は、スリツト板１２に形成した
入射スリツト１１と、反射面１４を有する平凹面
コリメータ鏡１３と、反射面１６を有し平凹面積
１３の中心光軸１７に平凹面鏡１３に対し傾斜し
て装着された平面鏡１５と、有効面に設けられた
溝に平行且つ平凹面鏡１３の中心光軸に平行な軸
線１９を中心として回動するように装着された平
面回折格子１８と、スリツト板２２に形成された
射出スリツト２１とを以て構成する。これらスリ
ツト板１２及び２２は平凹面鏡１３の焦点面内に
位置させるか又は焦点面に平行な密接面に位置さ
せると共に入射及び射出スリツト１１及び２１を
平凹面鏡１３の中心光軸１７を中心とする円、い
わゆるエバート円の円周上に配置する。

適当な光源（図示せず）から入射スリツト１１
に収束された光ビームは平凹面鏡１３によつてコ
リメート（集光）し、平面鏡１５で反射し平面回
折格子１８の有効面２０に向ける。

平面回折格子１８からの分散ビームは再び平面
鏡１５に入り更に平凹面鏡１３で反射されて射出
スリツト２１の面に集束される。図中ライン２３
は入射スリツト１１から射出スリツト２１に到る
光ビームの光学的な中心ラインを示す。

平面回折格子１８を駆動装置（図示せず）によ
り軸線１９を中心として所定の機械的な限界角間
で回動させると光の分散ビームはスリツト板２２
の後側で走査され射出スリツト２１から出る光ビ
ームの波長は平面回折格子１８に入射する平行ビ
ームに対し回折格子１８の角度配置の関数とな
る。

第１図に示す単色計において平面回折格子１８
は、凹面鏡１３の中心光軸１７に平行且つ凹面鏡
１３に対し垂直な軸線１９を有するように配置す
る。又上記中心光軸１７に対し45゜傾斜して配設
した平面鏡１５によつて凹面鏡１３からの平行ビ
ーム及び回折格子１８からの分散ビームを90゜の
角度に反射させるようにする。

平面回折格子１８をその軸線１９が中心光軸１
７からずれた他の位置にあるように配置すること
ができる。この場合には平面鏡１５を回折格子１
８及び凹面鏡１３に対し適宜位置決めして凹面鏡
１３からの平行ビームの光学中心ライン２３Ａ及
び回折格子１８からの分散ビームの光学中心ライ
ン２３Ｂにより形成される平面が回折格子１８の
溝に直角に交差し得るようにする。

第２図は第１図に示すエバート単色計に機械的
な波長駆動素子を設けるもその構成が極めて簡単
となる状態を示す斜視図である。第２図において
第１図につき説明した所と同一部分には同一符号
を付して示す。

本例では凹面鏡１３の中心光軸１７に平行に配
置したカムシヤフト３０を例えばステツプモータ
（図示せず）により駆動し、このカムシヤフトに
よつてカム３１と片側にカムスロツト３３を有す
る円板３２とを支持する。回折格子のピボツト１
９′に固着したカムホロワ３４はカム３１のカム
面に追従すると共にシヤフト３７に回動自在に装
着されたフイルタ保持器３６の裏面に設けられた
ピン（図示せず）は円板３２のカムスロツト３３
に掛合し且つ追従する。フイルタ保持器３６によ
つて３個の電磁放射線フイルタ３８，３９及び４
０を支持し、これらフイルタを一連の波長応動ス
テツプで単色計への入射光ビーム内に位置させ回
折格子１８の不所望な高次の波長が射出スリツト
２１に現われるのを防止し得るようにする。

カムシヤフト３０を回動することにより回折格
子１８を回動しこれにより射出スリツト２１を通
る分散光ビームを走査し得るようにする。射出ス
リツト２１から出る光の波長とカムシヤフト３０
の角度位置との関係はカム３１の形状に依存す
る。円板３２はカムシヤフト３０に適宜位置決め
しフイルタ３８，３９及び４０が射出スリツト２
１から出る光ビームの予定波長範囲に応じて順次
入射光ビーム内に導入され得るようにする。

カムシヤフト３０には更に他のカムを装着して
本発明単色計の他の波長応動素子を駆動させるこ
とができる。例えば入射及び射出スリツト１１及
び２１の幅を波長に応動し得るように変化させて
単色計を通るエネルギーを走査波長全体に亘りほ
ぼ一定にすることは通常の手段である。かかる手
段は第２図に示す単色計に第３図に示す板構体を
追加することにより容易に達成することができ
る。

第３図に示すスリツト板４１には拡開スリツト
４２及び４３を設け、これらスリツトを関連する
単色計のエバート円の円周上に配置する。スリツ
ト板４１は関連する単色計の中心光軸１７に軸的
に整列されたシヤフト４４を中心として回動し得
るように装着する。スリツト板４１に固着したカ
ムホロワ４５は第２図につき説明した単色計の共
通カムシヤフト３０に固着されたカム４６の周縁
に追従してスリツト板４１をシヤフト４４を中心
として回動させることにより任意の波長の入射及
び射出ビームにおけるスリツトの幅を正しい幅に
し得るようにする。

第２図の単色計の波長範囲を拡大するために１
個又は複数個の他の回折格子を設けその各々の回
折格子を平面回折格子１８の軸線に平行な軸線上
に回動自在に、従つてカムシヤフト３０により支
持されたカムによつて回動し得るように配置す
る。回折格子用のカムはカムシヤフト３０に配置
し、各回折格子によつて特定の波長帯域及びこれ
に続く波長帯域のビームを分散せしめるようにす
る。例えば回動する平面鏡のようなビーム配向装
置も同一のカムシヤフト３０から駆動し凹面鏡１
３からの平行電磁放射線を各回折格子に順次に向
けるようにする。

第４図は本発明による複回折格子単色計及びこ
れに関連する波長駆動系を示す平面図である。

本例では光源（図示せず）からの光ビームを回
動自在のスリツト板５１の入射スリツト５０で集
束し、平凹面鏡５２で集光し、平面鏡５５によつ
て回折格子５３の有効面に入射させる。この回折
格子はその溝に平行かつ紙面に垂直な軸線５４を
中心として回動し得るように配設する。平面鏡５
５は紙面に垂直かつ凹面鏡５２の中心光軸５７を
通る軸線５６を中心として回動し得るように配設
する。回折格子５３からの分散ビームは再び平面
鏡５５により平凹面鏡５２に向けられ、これから
更に射出スリツト５８の領域に集束される。

回折格子５３は、これに適当な駆動装置６０例
えばカムホロワを介して連結された波長駆動装置
５９、例えばステツプモータの制御により回動自
在としこれにより波長駆動装置５９の角度的回動
と射出スリツト５８から出る光の波長との間を所
要の関係となるようにする。

平面鏡５５は点線で示す第２の位置に回動し得
るようにする。この位置では凹面鏡５２からの平
行ビームは片側に設けられた溝に平行でかつ紙面
に対し垂直で、しかも駆動装置６４を経て波長駆
動装置５９により駆動される軸線６３を中心とし
て回動し得る平面回折格子６２に配向されるよう
にする。

作動に当り、回折格子５３は駆動装置６０を経
て波長駆動装置５９により回動して集束した分散
光ビームを射出スリツト５８に通過せしめるよう
にする。回折格子５４の波長範囲が限界近くにく
ると平面鏡５５を、駆動装置５９により作動する
マイクロスイツチによつて制御される駆動装置６
５、例えば電動機により第２位置に駆動し、この
第２位置で回折格子６２に凹面鏡５２からの平行
光ビームが入射し得るようにする。回折格子５４
により走査される波長範囲に連続して次の波長範
囲を走査するように回折格子６２を配設すること
により単色計は射出スリツト５８に拡大された波
長範囲を生ぜしめ得ることができる。回折格子５
４、平面鏡５５及び回折格子６２は各別の駆動装
置６０，６５及び６４を介して波長駆動装置５９
に同期し得るように連結して単色計の全波長範囲
を連続的にカバーし得るようにする。

またフイルタ保持器６６に支持された高調波抑
圧フイルタも、駆動装置６７、例えばカムホロワ
を経て波長駆動装置５９により駆動し入射光ビー
ム内に同期状態で導入されるようにする。

スリツト板５１は駆動装置６８例えばカムホロ
ワを経て波長駆動装置５９により駆動して入射及
び射出ビームのスリツト５０及び５８の部分の幅
を波長に対して予定の如く変化させるようにす
る。

第４図に示す単色計では駆動装置６０，６４，
６５，６７及び６８は、波長駆動装置により駆動
されかつ平凹面鏡５２の中心光軸５７に平行に配
置され、第２図の符号３０で示す単一の共通カム
シヤフトにより支持された素子をその全部が有す
るように構成する。上述した記載から明らかなよ
うにかかる構成の単色計は、通常のエバート単色
計の場合よりも機械的に簡単で一層容易に構成す
ることができる。即ち通常のエバート単色計では
正確な機械的駆動装置をスリツト板５１の領域の
回折格子に設ける必要があり、しかも２個の回折
格子を用いる場合他の駆動装置を設けこれにより
凹面鏡５２からの平行ビーム内に１個以上の回折
格子を位置決めする格子テーブルを正しく制御し
得るようにする必要がある。

平面鏡５５は通常のエバート単色計の回折格子
よりも凹面鏡５２に一層近づけて位置させると共
に各回折格子に対し一つ宛有する２つの位置のう
ちの一方の位置でのみ回動させる必要があり、か
かる点は波長駆動装置５９に対する精密な機械的
連結を必要とすることなく達成することができ
る。凹面鏡５２及び各回折格子に対する平面鏡５
５の精密な位置調整は調整ねじ７０及び７１を調
整することにより行い、これにより平面鏡５５の
回動度を制限し得るようにする。

本発明単色計の他の利点は、製造時の光学的調
整が著しく簡単になる点である。従来のエバート
単色計では回折格子の軸線とコリメータ鏡との相
対的な配向（傾斜）はコリメータ鏡の位置を微調
整することにより行つている。又コリメータ鏡の
焦点面とスリツト板とを所望の如く一致させるた
めにはコリメータ鏡の位置調整を所望の如く行う
必要がある。単色計に２個以上の回折格子を組込
む場合にはコリメータ鏡５２を互に光学的に整合
配置する必要がある。

第４図に示す単色計では凹面（コリメータ）鏡
５２を組立中所定の位置に緊締し、この凹面鏡５
２と各回折格子の軸線との間の精密な位置調整は
例えば調整ねじ７０，７１によるビーム配向鏡の
調整によつて行う。

また本発明単一回折格子単色計にはコリメータ
鏡を調整する必要なく他の回折格子を容易に導入
することができる。この場合には単に他の回折格
子をビーム配向鏡の位置に組込むための調整を必
要とするだけである。

焦点の調整は、凹面鏡５２の焦点面とスリツト
板５１の面とが一致するまでスリツト板５１を回
動し凹面鏡５２に向つて、又はこれから離間する
方向に軸線方向に調整し得るようにして相互作用
の無いように行う。スリツト板５１を回動する場
合にはこのスリツト板を装着シヤフトに軸線方向
に調整自在にするのが有利である。固定スリツト
を用いる場合には共通スリツト板を装着しこれを
凹面鏡５２の中心光軸に沿つて移動し得るように
する。

本発明による複回折格子赤外線単色計では波長
範囲を200〜4000波長数とし、平凹面コリメータ
鏡はその表面にアルミニウムを被覆し、曲率半径
を360mmとし、焦点の長さを180mmとした。凹面鏡
１３の全体の寸法は120mm×60mmとした。

回折格子はその全体の寸法を50mm×50mmとし、
その有効面の寸法を45mm×45mmとした。又、一方
の回折格子によつて200−600波長数の波長範囲を
カバーすると共にそのボアルーリングを25ライ
ン／mmとした。又他方の回折格子によつて600−
4000波長数の波長範囲をカバーすると共にそのボ
アルーリングを100ライン／mmとした。

平面ビーム配向鏡はその表面にアルミニウムを
被膜しかつその寸法を70mm×60mmとした。単色計
の入射及び射出スリツトは回動スリツト板に形成
し、半径が37.5mmの円の円周上に位置決めし、そ
の幅をその長さ方向に指数的に増大させてその長
さの任意の個所におけるスリツト板の所定角度の
回動に対するビームエネルギーを一定に変化させ
るようにする。

第５図は本発明単色計を組込んだ複ビーム分光
光度計を示す線図である。

第５図に示す分光光度計は電磁放射線源１００
と、この放射線源から２ビームを形成する装置
と、この２ビームを合成する装置と、第１，２又
は４図に示す本発明による単色計１０１と、検出
器１０２と、信号処理装置１０３とを以て構成す
る。

スペクトルの赤外、可視又は紫外領域とし得る
電磁放射線源１００からの放射線は測定室１０７
内の標本セル１０６を通過する光路１０５に沿つ
て鏡１０４により反射する。この光路１０５を通
る放射線は２個の他の鏡１０８及び１０９により
反射され回転扇形鏡１１０上に入射する。この回
転扇形鏡は光路１０５を通る放射線を交互に鏡１
１１上に入射させるか又は反射して鏡１１１上に
入射しないように構成する。又電磁放射線源１０
０からの放射線を、測定室１０７内の基準セル１
１４を通過する光路１１３に沿つて鏡１１２によ
り反射する。光路１１３を通る放射線は２個の他
の鏡１１５及び１１６により反射され回転扇形鏡
１１０上に入射する。この回転扇形鏡によつて光
路１１３を通る放射線を交互に鏡１１１上に入射
させるか又は反射して鏡１１１上に入射しないよ
うにする。これがため光路１０５を通る放射線の
パルスと光路１１３を通る放射線のパルスとが互
に間挿された合成ビーム１１７を形成することが
できる。回転鏡１１０には連続する扇形部分を設
け、これら扇形部分を順次に放射線に対し透過、
吸収、反射及び吸収する様に構成し、かくして放
射線源１００からの放射線が継続される周期によ
り夫々分離された光路１０５及び１１３を通る放
射線の間挿パルスが合成された合成パルス１１７
を形成し得るようにする。かかる広帯域の放射線
の合成ビーム１１７は鏡１１１で反射して単色計
１０１の入射スリツトに入射させ、この単色計に
より入射スリツトの広帯域放射線から狭帯域の波
長の放射線を選択する。単色計１０１の射出スリ
ツトから出る狭帯域放射線を鏡１１８により検出
器１０２に反射する。検出器１０２の出力を信号
処理装置１０３を経て表示器１１９に供給する。
この表示器１１９は、代表的には単色計１０１か
ら出る狭帯域放射線の波長に同期してチヤートが
進むチヤートレコーダとする。しかしかかる表示
器として例えばビデオ表示装置のような他の表示
器を用いるか又は信号処理装置の出力を計算機に
供給しこれにより情報の記憶又はプリンタの駆動
を行つて波長に対する透過を印字することもでき
る。

１個の標本の透過を一度に決めるか又は一連の
波長の透過を決めるためにこの標本を測定室１０
７内に入れサンプルビーム１０５を通して信号処
理装置１０３により標本セル１０６から出る放射
線の量と基準物質を入れた基準セル１１４から出
る放射線の量の割合を決めるようにする。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明エバート単色計の原理的構成を
示す斜視図、第２図は第１図の構成に波長駆動素
子を設けた状態を示す斜視図、第３図は第２図の
単色計に使用する回転スリツト板の構成を示す平
面図、第４図は本発明複回折格子単色計の構成を
線図的に示す平面図、第５図は本発明単色計を組
込んだ複ビーム分光光度計の構成を線図的に示す
平面図である。 １１，５０……入射スリツト、１２，２２，４
１，５１……スリツト板、１３，５２……平凹面
コリメータ鏡、１４……反射面（13）、１５，５
５……平面鏡、１６……反射面（15）、１７，５
７……中心光軸、１８，５３，６２……平面回折
格子、１９，５４，５６，６３……軸線、１９′
……格子ピボツト、２０……有効面（18）、２１，
５８……射出スリツト、２３……光学中心ライ
ン、３０……カムシヤフト、３１，４６……カ
ム、３２……円板、３３……カムスロツト、３
４，４５……カムホロワ、３６……フイルタ保持
器、３７，４４……シヤフト、３８，３９，４０
……電磁放射線フイルタ、４２，４３……拡開ス
リツト、５９……波長駆動装置、６０，６４，６
７……駆動装置（カムホロワ）、６６……フイル
タ保持器、７０……調整ねじ、７１……調整ね
じ、１００……電磁放射線源、１０１……単色
計、１０２……検出器、１０３……信号処理装
置、１０４，１０８，１０９，１１１，１１２，
１１５，１１６，１１８……鏡、１０５，１１３
……光路、１０６……標本セル、１０７……測定
室、１１０……回転扇形鏡、１１４……基準セ
ル、１１７……合成ビーム、１１９……表示器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 凹面鏡と、該凹面鏡の中心光軸に垂直な共通
   平面に位置し第１及び第２スリツトを有する装置
   と、片側に設けられた溝に平行な軸線を中心とし
   て回動し得る回折格子とを具え、第１スリツトに
   入る光ビームを前記凹面鏡により集光し且つ回折
   格子に向け、回折格子からの分散光ビームを前記
   凹面鏡から前記第２スリツトに反射するようにし
   たエバート単色計において、前記回折格子が回動
   する軸線を前記凹面鏡の中心光軸に対しずらして
   位置させ、ビーム配向装置を前記凹面鏡と回折格
   子との間の光路内に設け、該ビーム配向装置を前
   記凹面鏡及び回折格子に対し適宜位置決めして回
   折格子に入射する平行ビームの光学中心ライン及
   び回折格子により分散されるビームの光学中心ラ
   インの双方を含む平面が回折格子にその溝に対し
   直角に交差するようにしたことを特徴とする単色
   計。 ２ 片側の溝に平行な軸線を中心として回動する
   少なくとも１個の他の回折格子を設け、前記ビー
   ム配向装置を適宜位置決めして前記回折格子及び
   上記他の回折格子の何れかが単色計の光路内に含
   まれるようにしたことを特徴とする特許請求の範
   囲１記載の単色計。 ３ 回折格子が回動する軸線を凹面鏡の中心光軸
   に対し平行に配置したことを特徴とする特許請求
   の範囲１記載の単色計。 ４ 回折格子及び他の回折格子が回動する軸線を
   何れも凹面鏡の中心光軸に平行に配置したことを
   特徴とする特許請求の範囲２記載の単色計。 ５ 共通波長駆動機構に同期して、回折格子及び
   他の回折格子を回動自在とすると共にビーム配向
   装置を調整自在に配置したことを特徴とする特許
   請求の範囲２又は４記載の単色計。 ６ 両回折格子及びビーム配向装置を波長駆動機
   構の共通カムシヤフト形成部分により駆動すると
   共に該共通カムシヤフトが凹面鏡の中心光軸に平
   行となるようにしたことを特徴とする特許請求の
   範囲５記載の単色計。 ７ 移動自在のフイルタ保持器を設け、該保持器
   に装着された複数個のフイルタの選択したフイル
   タを単色計に入る光ビーム内に導入すると共に前
   記フイルタ保持器を前記共通カムシヤフトにより
   駆動するようにしたことを特徴とす特許請求の範
   囲６記載の単色計。 ８ スリツトを形成する装置を、スリツトが孔で
   形成される共通薄板とし、該薄板を、凹面鏡の中
   心光軸に沿つて移動自在に装着したことを特徴と
   する特許請求の範囲１〜７の任意のものに記載の
   単色計。 ９ 薄板を凹面鏡の中心光軸を中心として回動自
   在に配置したことを特徴とする特許請求の範囲８
   記載の単色計。 １０ 回動自在の薄板を共通カムシヤフトにより
   駆動することを特徴とする特許請求の範囲９記載
   の単色計。 １１ ビーム配向装置を平面鏡としたことを特徴
   とする特許請求の範囲１〜１０の任意のものに記
   載の単色計。