JPS5910485B2 - ２チヤネル測光装置 - Google Patents
２チヤネル測光装置Info
- Publication number
- JPS5910485B2 JPS5910485B2 JP9322076A JP9322076A JPS5910485B2 JP S5910485 B2 JPS5910485 B2 JP S5910485B2 JP 9322076 A JP9322076 A JP 9322076A JP 9322076 A JP9322076 A JP 9322076A JP S5910485 B2 JPS5910485 B2 JP S5910485B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- light
- output
- electrical signal
- channel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は２種類の光の量の同時測定装置に関する。
従来、例えば分光光度計やその他の光学的測定装置にお
いて、２つの光量を処理することが行われているが、そ
の光量差は正確に測定できてもその２種の光量の夫々の
値やその２光量の比は、精度よく測定できなかつた。本
発明は２種の光量の夫々の値やその両者の比等を精度よ
く測定できる測定装置に関する。本発明を分光光度計に
応用した実施例を第１図により説明する。光源２からの
光はチョッパ４の１部に入射する。このチョッパ４は第
２図に示す如く、４つの領域４ａ、４ｂ、４ｃ及び４ｄ
に等分割されている。領域４ａと４ｃは入射光を遮断し
入射光の反射も透過も阻止し、領域４ｂは入射光を反射
し、そして領域４ｄは透過する。このチョッパ４は図示
なきモータにより回転されているので、光源２からの光
は、反射領域４ｂが光源２からの光の通路中に、即ち光
入射位置に達したとき、そこで反射され更にミラー６で
反射され試料８を透過しミラー１０、１２で反射され光
電変換器１４に入射し電気信号に変換される。また光透
過領域４ｄが光入射位置に達した時には光源からの光は
そこを透過し、ミラー７，６ａで反射され試料８ａを透
過しミラー１０ａ，１２ａで反射され光電変換器１４に
入射し電気信号に変換される。他方遮断領域４ａ，４ｃ
が光入射位置に達した時には、光源からの光はそこで遮
断され、光電変換器１４には達しない。従つて、光電変
換器１４は第３図ａに示す如く、試料８，８ａを通つて
来た光に夫々起因する出力Ａｌ，Ａ２と、光源２からの
光を遮断したときの迷光や暗電流に基づく出力Ｄを発生
する。尚これらの出力Ａ１とＡ２はチヨツパ４の回転数
によつて決まる周期Ｔを有する。出力Ｄの変動は周期Ｔ
においては極めて小さいのでこの出力は一定即ち直流と
考えることができる。そこで、この出力Ｄを除去した波
形は第３図ｂの如くなる。今この波形ｆ（ｔ）を図の如
くＡ１とＡ２の中点を原点としてフーリエ級数展開する
と次の如くなる。ここでＷＯ＝一である。
いて、２つの光量を処理することが行われているが、そ
の光量差は正確に測定できてもその２種の光量の夫々の
値やその２光量の比は、精度よく測定できなかつた。本
発明は２種の光量の夫々の値やその両者の比等を精度よ
く測定できる測定装置に関する。本発明を分光光度計に
応用した実施例を第１図により説明する。光源２からの
光はチョッパ４の１部に入射する。このチョッパ４は第
２図に示す如く、４つの領域４ａ、４ｂ、４ｃ及び４ｄ
に等分割されている。領域４ａと４ｃは入射光を遮断し
入射光の反射も透過も阻止し、領域４ｂは入射光を反射
し、そして領域４ｄは透過する。このチョッパ４は図示
なきモータにより回転されているので、光源２からの光
は、反射領域４ｂが光源２からの光の通路中に、即ち光
入射位置に達したとき、そこで反射され更にミラー６で
反射され試料８を透過しミラー１０、１２で反射され光
電変換器１４に入射し電気信号に変換される。また光透
過領域４ｄが光入射位置に達した時には光源からの光は
そこを透過し、ミラー７，６ａで反射され試料８ａを透
過しミラー１０ａ，１２ａで反射され光電変換器１４に
入射し電気信号に変換される。他方遮断領域４ａ，４ｃ
が光入射位置に達した時には、光源からの光はそこで遮
断され、光電変換器１４には達しない。従つて、光電変
換器１４は第３図ａに示す如く、試料８，８ａを通つて
来た光に夫々起因する出力Ａｌ，Ａ２と、光源２からの
光を遮断したときの迷光や暗電流に基づく出力Ｄを発生
する。尚これらの出力Ａ１とＡ２はチヨツパ４の回転数
によつて決まる周期Ｔを有する。出力Ｄの変動は周期Ｔ
においては極めて小さいのでこの出力は一定即ち直流と
考えることができる。そこで、この出力Ｄを除去した波
形は第３図ｂの如くなる。今この波形ｆ（ｔ）を図の如
くＡ１とＡ２の中点を原点としてフーリエ級数展開する
と次の如くなる。ここでＷＯ＝一である。
Ｔ
即ちこの波形ｆ（ｔ）は角周波数ＷＯ，２ｗＯ，３３ｗ
Ｏ・・・・・・・・・の周期関数の和であり、角周波数
がＷＯの偶数倍の周波数を持つ周期関数は（Ａ１＋Ａ，
）成分にのみ関係し他方ＷＯの奇数倍の周波数を持つ周
期関係は（Ａ１−Ａ，）成分にのみ関係していることが
分る。
Ｏ・・・・・・・・・の周期関数の和であり、角周波数
がＷＯの偶数倍の周波数を持つ周期関数は（Ａ１＋Ａ，
）成分にのみ関係し他方ＷＯの奇数倍の周波数を持つ周
期関係は（Ａ１−Ａ，）成分にのみ関係していることが
分る。
従つて、この光電変換器１４の出力中からＷＯ又はその
奇数倍の周波数を有する信号成分を抽出すればその信号
の振幅が（Ａ１−Ａ，）に比例しておりまたＷＯの偶数
倍の周波数を持つ信号成分を抽出すれば、その信号の振
幅が（Ａ１＋Ａ２）に比例している。そこで本実施例で
は（Ａ１−Ａ２）を振幅成分として含む種々の周期関数
のうちから最大振幅を有する角周波数ＷＯの周期信号を
同様に（Ａ１＋Ａ２）については角周波数２ｗ０の周期
信号を夫々変換器１４の出力から選択する。尚この２ｗ
０及びＷＯの周波数を有す周期関数を夫々第３図ｃと第
３図ｄに実線で示す。これらの信号の選択は次の如く行
う即ち、変換器１４の出力を交流増幅器１６で増幅し、
直流成分の影響を除去しこの増幅出力を夫々第３図ｅの
如き角周波数２ｗ０の参照信号の同期整流器１８と、第
３図ｆの如き角周波数ＷＯの参照信号の同期整流器２０
とに送る。尚、この各参照信号はチヨツパ４の回転に同
期した信号を入力とする参照信号発生器２２で作成され
る。従つて同期整流器１８，２０の出力は夫々第３図ｅ
と第３図ｆの点線で示す如くｈ１（Ａ１＋Ａ２）及びＨ
２（Ａ１一Ａ２）の振幅を有する信号となる。そして同
期整流器１８，２０の出力を夫々ゲイン１／ｈ１及び１
／Ｈ２の増幅器２３，２４を介することにより（Ａ１＋
Ａ，）に関する信号と（Ａ１−Ａ，）に関する信号を得
ることができる。この両（Ａ１−Ａ２）、（Ａ１＋Ａ，
）の信号を用いることによつて、所望の情報に応じて種
々の演算回路を用いてその情報を得ることができる。例
えば、増幅器２２の出力（Ａ１＋Ａ，）と増幅器２４の
出力（Ａ１−Ａ２）とを加算して一を乗する演算器２６
を用いてＡ１の情報を得ることができ、他方増幅器２４
の出力（Ａ１＋Ａ，）と増幅器２２の出力（Ａ１−Ａ２
）との差に一を乗する演算器２８を用いてＡ２の情報を
得ることができる。更に両演算器２６と２８の出力の比
をとる除算器３０によりＡ１／Ａ２又はＡ２／Ａ１を得
ることができる。次に、本発明を薄膜蒸着装置の膜厚測
定装置に応用した第２実施例を第４図により説明する。
奇数倍の周波数を有する信号成分を抽出すればその信号
の振幅が（Ａ１−Ａ，）に比例しておりまたＷＯの偶数
倍の周波数を持つ信号成分を抽出すれば、その信号の振
幅が（Ａ１＋Ａ２）に比例している。そこで本実施例で
は（Ａ１−Ａ２）を振幅成分として含む種々の周期関数
のうちから最大振幅を有する角周波数ＷＯの周期信号を
同様に（Ａ１＋Ａ２）については角周波数２ｗ０の周期
信号を夫々変換器１４の出力から選択する。尚この２ｗ
０及びＷＯの周波数を有す周期関数を夫々第３図ｃと第
３図ｄに実線で示す。これらの信号の選択は次の如く行
う即ち、変換器１４の出力を交流増幅器１６で増幅し、
直流成分の影響を除去しこの増幅出力を夫々第３図ｅの
如き角周波数２ｗ０の参照信号の同期整流器１８と、第
３図ｆの如き角周波数ＷＯの参照信号の同期整流器２０
とに送る。尚、この各参照信号はチヨツパ４の回転に同
期した信号を入力とする参照信号発生器２２で作成され
る。従つて同期整流器１８，２０の出力は夫々第３図ｅ
と第３図ｆの点線で示す如くｈ１（Ａ１＋Ａ２）及びＨ
２（Ａ１一Ａ２）の振幅を有する信号となる。そして同
期整流器１８，２０の出力を夫々ゲイン１／ｈ１及び１
／Ｈ２の増幅器２３，２４を介することにより（Ａ１＋
Ａ，）に関する信号と（Ａ１−Ａ，）に関する信号を得
ることができる。この両（Ａ１−Ａ２）、（Ａ１＋Ａ，
）の信号を用いることによつて、所望の情報に応じて種
々の演算回路を用いてその情報を得ることができる。例
えば、増幅器２２の出力（Ａ１＋Ａ，）と増幅器２４の
出力（Ａ１−Ａ２）とを加算して一を乗する演算器２６
を用いてＡ１の情報を得ることができ、他方増幅器２４
の出力（Ａ１＋Ａ，）と増幅器２２の出力（Ａ１−Ａ２
）との差に一を乗する演算器２８を用いてＡ２の情報を
得ることができる。更に両演算器２６と２８の出力の比
をとる除算器３０によりＡ１／Ａ２又はＡ２／Ａ１を得
ることができる。次に、本発明を薄膜蒸着装置の膜厚測
定装置に応用した第２実施例を第４図により説明する。
ベルヂヤ３２内の基板３４に例えば反射防止用の薄膜が
図示なき蒸発源からの蒸発物質によつて形成される。光
源３６からの光がチヨツパ３８の１部に入射する。この
チヨツパ３８は第５図に明示の如く、入射光を完全に遮
断する部分３８ａ，３８ｃ１或る波長λ１の光のみを通
過させる部分３８ｂそしてすべての波長の光を通過させ
る部分３８ｄとに４等分されている。チヨツパ３８の後
方には２つのビームスイツチ４０と４２が光の通路に対
して斜設されている。このビームスイツチ４０は第６図
の如く全体の一が全光透過部４０ａとなり残りの一が反
射部４０ｂとなる様に構成されている。尚ビームスイツ
チ４２もその構成は全く同一である。そして両ビームス
イツチ４０，４２はチヨツパ３８と次の如く同期して回
転される。即ちチヨツパ３８の全光透過部３８ｄが光源
３６の光の通路中に達した時ビームスイツチ４０，４２
の全光透過部４０ａ，４２ａも光路中に存在し３８ｄ以
外の部分が光通路中に来たときは、ビームスイツチ４０
，４２の反射部４０ｂ，４２ｂが光通路中に存在する様
に同期している。この様な構成であるので、チヨツパ３
８の全光透過部分３８ｄが光源３６からの光の通路中に
存在するとき、ビームスイツチ４０及び４２の全光透過
部分４０ａ及び４２ａもその光通路中に在るので、光源
３６からの光は直接光電変換器４４に入射する。遮断部
３８ａが光通路中に至ると光電変換器４４に光源３６か
らの光は到達しない。そしてλ１光透過部分３８ｂが光
通路中に至ると光源３６からの光のうちの波長λ１の光
のみがその部分３８ｂを透過し、ビームスイツチ４０の
全反射部４０ｂで反射し蒸着中の基板３４に入射しそこ
で反射され更にビームスイツチ４２の全反射部４２ｂで
反射し光電変換器４４に入射する。そして別の光遮断部
３８ｃが至ると前述と同様に変換器４４には光が入射し
ない。従つてチヨツパ３８とビームスイツチ４０及び４
２の同期回転によつて光電変換器４４の出力は第３図ａ
に示す如き波形となる。即ち全光透過部３８ｄ及びλ１
光透過部３８ｂが光路中にあるとき変換器４４の出力が
各々Ａ１及びＡ２となり光遮断部３８ａ及び３８ｃが光
路中にあるときその出力がともにＤとなる。ところが例
えば電源電圧の変動等の種々の原因で一般に光源３６か
らの光強度が変化するので、このＡ２の出力もこの光強
度の変動の影響を受け、従つてこの出力Ａ２は基板３４
の反射率に起因するものと、この光強度の変動に起因す
るものとの掛け合せた値になつている。また当然Ａ１の
出力も光強度の変動の影響を受けている。従つて変換器
４４の出力を第１図の第１実施例と同様の処理を行うこ
とによつてＡ２／Ａ１を得ることができこの比の値は、
上述の光強度の変動分が相殺されているので基板３４の
反射率のみの情報を有している。こうして光強度の変動
による影響を除去した、所望の測定すべき波長λ１に関
する反射率のみの情報が得られる。尚、前述の両実施例
とも光源からの光を遮断して迷光や暗電流に起因する出
力Ｄを作成したがしかしながら本発明のＤは出力Ａ１と
Ａ２の変動に無関係な大きさであればよいのであるから
チヨッバの光遮断部を光が多少透過できるようにしても
よい。また両実施例では変換器の出力の処理回路を簡単
化する為にチヨッパを４等分しているが本発明は必ずし
も等分にする必要はない。本発明によると交互に入射す
る２種の光を測光してその両光量の差又は和を電気的に
測定できその両者から両光量の個々の値を求めることが
できる。
図示なき蒸発源からの蒸発物質によつて形成される。光
源３６からの光がチヨツパ３８の１部に入射する。この
チヨツパ３８は第５図に明示の如く、入射光を完全に遮
断する部分３８ａ，３８ｃ１或る波長λ１の光のみを通
過させる部分３８ｂそしてすべての波長の光を通過させ
る部分３８ｄとに４等分されている。チヨツパ３８の後
方には２つのビームスイツチ４０と４２が光の通路に対
して斜設されている。このビームスイツチ４０は第６図
の如く全体の一が全光透過部４０ａとなり残りの一が反
射部４０ｂとなる様に構成されている。尚ビームスイツ
チ４２もその構成は全く同一である。そして両ビームス
イツチ４０，４２はチヨツパ３８と次の如く同期して回
転される。即ちチヨツパ３８の全光透過部３８ｄが光源
３６の光の通路中に達した時ビームスイツチ４０，４２
の全光透過部４０ａ，４２ａも光路中に存在し３８ｄ以
外の部分が光通路中に来たときは、ビームスイツチ４０
，４２の反射部４０ｂ，４２ｂが光通路中に存在する様
に同期している。この様な構成であるので、チヨツパ３
８の全光透過部分３８ｄが光源３６からの光の通路中に
存在するとき、ビームスイツチ４０及び４２の全光透過
部分４０ａ及び４２ａもその光通路中に在るので、光源
３６からの光は直接光電変換器４４に入射する。遮断部
３８ａが光通路中に至ると光電変換器４４に光源３６か
らの光は到達しない。そしてλ１光透過部分３８ｂが光
通路中に至ると光源３６からの光のうちの波長λ１の光
のみがその部分３８ｂを透過し、ビームスイツチ４０の
全反射部４０ｂで反射し蒸着中の基板３４に入射しそこ
で反射され更にビームスイツチ４２の全反射部４２ｂで
反射し光電変換器４４に入射する。そして別の光遮断部
３８ｃが至ると前述と同様に変換器４４には光が入射し
ない。従つてチヨツパ３８とビームスイツチ４０及び４
２の同期回転によつて光電変換器４４の出力は第３図ａ
に示す如き波形となる。即ち全光透過部３８ｄ及びλ１
光透過部３８ｂが光路中にあるとき変換器４４の出力が
各々Ａ１及びＡ２となり光遮断部３８ａ及び３８ｃが光
路中にあるときその出力がともにＤとなる。ところが例
えば電源電圧の変動等の種々の原因で一般に光源３６か
らの光強度が変化するので、このＡ２の出力もこの光強
度の変動の影響を受け、従つてこの出力Ａ２は基板３４
の反射率に起因するものと、この光強度の変動に起因す
るものとの掛け合せた値になつている。また当然Ａ１の
出力も光強度の変動の影響を受けている。従つて変換器
４４の出力を第１図の第１実施例と同様の処理を行うこ
とによつてＡ２／Ａ１を得ることができこの比の値は、
上述の光強度の変動分が相殺されているので基板３４の
反射率のみの情報を有している。こうして光強度の変動
による影響を除去した、所望の測定すべき波長λ１に関
する反射率のみの情報が得られる。尚、前述の両実施例
とも光源からの光を遮断して迷光や暗電流に起因する出
力Ｄを作成したがしかしながら本発明のＤは出力Ａ１と
Ａ２の変動に無関係な大きさであればよいのであるから
チヨッバの光遮断部を光が多少透過できるようにしても
よい。また両実施例では変換器の出力の処理回路を簡単
化する為にチヨッパを４等分しているが本発明は必ずし
も等分にする必要はない。本発明によると交互に入射す
る２種の光を測光してその両光量の差又は和を電気的に
測定できその両者から両光量の個々の値を求めることが
できる。
第１図は本発明の第１実施例のプロツク図、第２図は第
１実施例のチヨツパの正面図、第３図は第１実施例の各
電気信号の波形、第４図は本発明の第２実施例の概略図
、第５図及び第６図は第２実施例のチヨツパ及びビーム
スイツチの正面図である。 〔主要部分の符号の説明〕、１４・・・・・・光電変換
器、１８，２０・・・・・・同期整流器、２６，２８・
・・・・・演算器、３０・・・・・・除算器。
１実施例のチヨツパの正面図、第３図は第１実施例の各
電気信号の波形、第４図は本発明の第２実施例の概略図
、第５図及び第６図は第２実施例のチヨツパ及びビーム
スイツチの正面図である。 〔主要部分の符号の説明〕、１４・・・・・・光電変換
器、１８，２０・・・・・・同期整流器、２６，２８・
・・・・・演算器、３０・・・・・・除算器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 一定の周期で断続的に交互に入射する２種の光の量
に夫々関連した大きさの第１及び第２電気信号と、前記
第１及び第２電気信号の間にこの両電気信号に無関係な
大きさの第３電気信号とから成る光電出力を発生する光
電変換器と；前記光電変換器の出力中から、前記第１電
気信号の周波数又はその奇数倍の周波数の電気信号を選
択する第１選択回路と；前記光電変換器の出力中から前
記第１電気信号の周波数の偶数倍の周波数の電気信号を
選択する第２選択回路及び、前記第１選択回路の出力と
前記第２選択回路の出力を演算し、前記第１電気信号と
第２電気信号とを前記光電出力から分離する演算回路と
を含むことを特徴とする２チャネル測光回路。 ２ 特許請求の範囲第１項において前記演算回路が加算
回路と減算回路の少なくとも１方を含む２チャネル測光
回路。 ３ 特許請求の範囲第１項において、前記演算回路が前
記第１選択回路と第２選択回路の夫々の出力の加算及び
減算を夫々行う加算回路と減算回路と、そしてその加算
及び減算回路の出力の比をとる除算回路とを含むことを
特徴とする２チャネル測光装置。 ４ 特許請求の範囲第１項ないし第３項までのいずれか
において、前記第１及び第２選択回路は夫夫同期整流回
路であることを特徴とする２チャネル測光装置。 ５ 特許請求の範囲第１項ないし第４項までのいずれか
において、前記第３電気信号が迷光又は暗電流に起因し
て生ずるものであることを特徴とする２チャネル測光装
置。 ６ 特許請求の範囲第１項ないし第５項までのいずれか
において、前記第１選択回路及び第２選択回路は夫々前
記第１電気信号と同一の周波数及びその２倍の周波数を
持つ信号を選択することを特徴とする２チャネル測光装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9322076A JPS5910485B2 (ja) | 1976-08-06 | 1976-08-06 | ２チヤネル測光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9322076A JPS5910485B2 (ja) | 1976-08-06 | 1976-08-06 | ２チヤネル測光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5319880A JPS5319880A (en) | 1978-02-23 |
| JPS5910485B2 true JPS5910485B2 (ja) | 1984-03-09 |
Family
ID=14076465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9322076A Expired JPS5910485B2 (ja) | 1976-08-06 | 1976-08-06 | ２チヤネル測光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5910485B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3696589A1 (en) | 2019-02-13 | 2020-08-19 | Vecnos Inc. | Imaging device |
| EP4124907A1 (en) | 2021-07-28 | 2023-02-01 | Ricoh Company, Ltd. | Image-capturing device and image-capturing system |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2043288B (en) * | 1979-03-02 | 1983-01-26 | Pye Electronic Prod Ltd | Ebert monochromator |
| JPS55116228A (en) * | 1979-03-02 | 1980-09-06 | Hitachi Ltd | Spectrophotometer |
| JPS6319788Y2 (ja) * | 1980-07-30 | 1988-06-02 | ||
| JPS5956124A (ja) * | 1982-09-24 | 1984-03-31 | Japan Spectroscopic Co | 複光束分光光度計 |
-
1976
- 1976-08-06 JP JP9322076A patent/JPS5910485B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3696589A1 (en) | 2019-02-13 | 2020-08-19 | Vecnos Inc. | Imaging device |
| EP4124907A1 (en) | 2021-07-28 | 2023-02-01 | Ricoh Company, Ltd. | Image-capturing device and image-capturing system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5319880A (en) | 1978-02-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2063218B1 (en) | Interferometer | |
| JPS5937767B2 (ja) | 測光装置 | |
| US5457530A (en) | Spectrometer provided with an optical shutter | |
| JPH08105708A (ja) | 干渉計 | |
| US4281897A (en) | Photometric system including a time-division optical attenuator | |
| US3071037A (en) | Ratio measuring spectrophotometer | |
| JPS5910485B2 (ja) | ２チヤネル測光装置 | |
| US5039222A (en) | Apparatus and method for producing fourier transform spectra for a test object in fourier transform spectrographs | |
| US4611915A (en) | Absolute distance sensor | |
| Genzel et al. | Double-beam Fourier spectroscopy with two inputs and two outputs | |
| US3542480A (en) | Spectrophotometers | |
| JPS6283625A (ja) | 光パワ−メ−タ | |
| US4807993A (en) | Method and apparatus for measuring light by frequency modulation using a time-variable synchronous rectification signal | |
| JPS63122906A (ja) | 膜厚測定装置 | |
| JPS6271804A (ja) | 膜厚測定装置 | |
| JP3118825B2 (ja) | 可搬型光チョッパー装置の駆動装置 | |
| JPS59200926A (ja) | 光源変調型偏光二光束分光光度計 | |
| JPH02102425A (ja) | 光スペクトラムアナライザ用光干渉計 | |
| JPH0718962Y2 (ja) | 光学式膜厚計 | |
| US4272197A (en) | Apparatus and method for measuring the ratio of two signals | |
| JPS60239649A (ja) | デンシトメ−タにおける測光信号処理方法 | |
| JPH0648244B2 (ja) | 坪量の影響を低減した赤外線水分計 | |
| JPS58103071A (ja) | 色識別装置 | |
| JPH05249032A (ja) | 半導体分光検出装置 | |
| JPH08136452A (ja) | 水分計 |