KR101475693B1

KR101475693B1 - 고해상도 x-선 영상 획득을 위한 분광기

Info

Publication number: KR101475693B1
Application number: KR1020130123366A
Authority: KR
Inventors: 양성선
Original assignee: 주식회사 벡트론
Priority date: 2013-10-16
Filing date: 2013-10-16
Publication date: 2014-12-23

Abstract

본 발명은 분광기를 구성함에 있어, 본체프레임(4) 상에 좌우로 연장되고 상부면이 경사진 경사안내로(22)를 전후로 다 수개를 이격되게 배열하고, 상기 경사안내로(22)의 상부면과 대응되게 하부면이 경사진 경사결합구(32) 다 수개를 연결봉(34)으로 일체 구성한 중간 작동체(30)를 경사안내로(22) 상에 슬라이딩 가능케 설치하며, 상기 중간 작동체(30) 상에 제1,2 다층박막 거울면(multilayer mirror)이 내부에 설치된 초고진공의 챔버(6)를 슬라이딩 가능케 설치하며, 본체프레임(4)에는 지지판체(20)를 결합고정하고 지지판체(20)의 일측에는 작동로드부(50)와 상기 작동로드부(50)를 좌우로 선형이동되게 구동시키는 챔버 좌우구동부(40)가 장착되게하고, 작동로드부(50)는 챔버(6)와 결합되게 구성하여 챔버 좌우구동부(40)의 구동으로 챔버(6)를 좌우로 슬라이딩 이동을 제어하고, 지지판체(20)의 타측에는 중간 작동체(30)를 좌우로 슬라이딩 이동케 하는 챔버 승강구동부(60)를 결합하여 챔버 승강구동부(60)의 구동으로 챔버(6)의 승강을 제어하도록 구성한 것이다.

Description

고해상도 X-선 영상 획득을 위한 분광기{MONOCHROMATOR FOR OBTAINING HIGH RESOLUTION X-RAY IMAGE}

본 발명은 X-선 영상획득을 위한 분광기에 관한 것으로서, 특히 광원에서 발생된 백색광 X-선을 소요에 따라 필요한 파장의 단색광을 선별하여 실험시설에 제공하기 위한 분광기에 관한 것이다.

X-선은 투과력이 우수하여 공업 제품에 대한 비파괴 영상 검사 및 공항 검색, 의료용 진단과 치료 등에 널리 이용되고 있다. 최근에는 X-선 현미경 기법이 발전하면서 정밀 전자/기계 소자, 기능성 소재 등에 대한 고해상도 영상 연구와 실험 동물을 대상으로 하는 의학/생물학 연구에의 활용도 주목을 끌고 있다.

X-선 영상은 백색광을 사용하여서도 가능하며, 현재 X-선관을 사용한 대부분의 X-선 영상 장치들이 백색광을 사용하고 있다. 그러나 단색광을 사용한 단색광 X-선 영상은 시료에 대한 누적 방사선량을 줄일 수 있어서 안전성을 높이고, 흡수계수를 정확하게 계산할 수 있는 장점이 있다.

X-선은 X-선관 (X-ray tube)을 이용하거나 방사광가속기 (synchrotron)를 이용하여 생산한다. X-선관은 가속한 전자가 금속에 부딪힐 때 발생하는 제동 복사를 통해 X-선을 생산하는 장치이다. 한편, 방사광가속기는 빠른 속도로 움직이는 전자의 운동방향을 변화시켜서 법선 방향으로 방사광(synchrotron radiation)을 생산하며, 그 스펙트럼은 X-선부터 적외선에 이른다. X-선관의 크기가 수 십 cm 정도인 데 반해 방사광가속기는 직경 100 m 가량의 전자 저장링 (electron storage ring) 시설을 운용한다. 대신 방사광은 X-선관의 X-선 보다 휘도 (brilliance)가 1010배 이상 높아서 밝은 빔이 필요한 응용에 쓰이고 있다.

분광기는 X-선관이나 방사광가속기에서 생산한 백색광 X-선으로부터 특정 파장의 단색광 X-선을 추출하는 장치이다. 그 원리는 브랙 법칙 (Bragg's law)이라는 물리적 현상을 이용한다. 즉, 원자가 일정한 두께로 적층되어 있는 단결정의 거울에 백색광 X-선을 조사하면 브랙 식 (Bragg's equation)을 만족시키는 파장의 빛만 거울 반사되고 나머지 파장대는 결정에 흡수되어 진다. 아래 식 (1)에 브랙 식을 나타내었다.

2dsinθ=nλ(n=1,2,3...) (1)

이때 d는 적층된 원자의 두께, θ는 결정면에 대한 백색광 X-선의 입사각, 그리고 λ는 X-선의 파장이다. 따라서 입사각 θ를 변경함으로써 원하는 단색광 (파장 λ)을 얻어 낼수 있다.

분광기에 사용되는 결정거울로는 가공성이 우수하고 열전도도 좋은 실리콘 결정이 주로 사용된다.

그리고 최근에는 다층박막거울도 점차 활용빈도가 늘고 있다. 다층박막거울이란 경면 기질 위에 밀도 차이가 많이 나는 두 종류의 원자를 일정한 두께로 교대로 적층한 것이다. 여기에 백색광 X-선을 조사하면 결정거울과 마찬가지로 분광을 일으킬 수 있는데, 다층박막의 주기가 식 (1)에서의 d에 해당한다. 다층박막거울(multilaryer mirror)의 장점은 임의의 d를 갖도록 제작할 수 있고, 또한 원자의 종류 및 두께 비율을 조절함으로써 반사율 스펙트럼을 제어할 수 있다는 것이다.

분광기의 일반적인 구성은 초진공의 챔버 내부에 두 개의 결정거울을 서로 마주보게 배치한다. 그리고, 초진공 조건에서 구동할 수 있는 정밀 모터들을 사용하여 결정거울들의 기울기와 위치를 제어한다. 이처럼 두 개의 결정거울을 사용하는 것은 파장에 상관없이 분광된 빛의 진행 방향을 일정하게 하기 위함이다. 하나의 결정거울만 있다면 얻고자 하는 단색광의 파장에 따라 빔의 진행 방향이 다르다. 그러나 두 개의 결정거울을 사용하면 첫 번째 결정거울에서 반사된 빛을 그 입사광과 동일한 방향으로 방향전환을 시킬 수 있다.

분광기를 효율적으로 사용하기 위해 하나의 분광기 내에 첫 번째 결정거울을 구성함에 있어 두 종류 이상의 분광 거울을 장착하여 둘 중 어느 하나의 거울면으로 진행도록 한다. 그래서 한 대의 분광기에서 가용한 X-선 파장대역을 넓히거나, 분광된 단색광의 스펙트럼의 폭을 다양하게 한다. 이를 위해서는 사용 중인 분광 거울의 종류를 선택할 수 있는 전환 장치가 필요하다.

그러나 초고진공 상태와 초정밀도를 요하는 챔버를 구성함에 있어 그 내부에 첫 번째 분광 거울을 좌우로 이동시킬 수 있도록 구현하기 위해서는 작동 메커니즘이 복잡하고 고가의 비용이 들며 차후 관리에도 어려움이 있었다.

그리고 필요에 따라서는 방사광 가속기에서 만들어진 백색광을 다른 분광기를 통과시켜야 하는 경우도 생기는데, 이때는 설치된 분광기를 다른 곳으로 이동시켜 광원의 진행을 방해하지 않도록 하여야 하는데 한번 정밀 세팅된 분광기를 이동시키는 것은 많은 번거로움이 있었다.

국내 등록특허 제10-0328118호“많은 브래그 각을 정밀정렬하여 쓸 수 있는 진공 X-선 구면결정 분광기”

따라서 본 발명은 분광용 다층박막거울을 두 종류 이상 장착하고 그 중 사용되는 다층박막거울을 쉽게 전환할 수 있는 분광기를 제공하는 데 있다.

또한 설치된 분광기를 다른 곳으로 이동시키지 않고도 방사광 가속기에서 생성된 백색광을 다른 분광기의 챔버 내부로 원활하게 진입할 수 있도록 하는 분광기를 제공하는데 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 고해상도 X-선 영상 획득을 위한 분광기를 구현함에 있어, 본체프레임(4) 상에 좌우로 연장되고 상부면이 경사진 경사안내로(22)를 전후로 다 수개를 이격되게 배열하고, 상기 경사안내로(22)의 상부면과 대응되게 하부면이 경사진 경사결합구(32) 다 수개를 연결봉(34)으로 일체 구성한 중간 작동체(30)를 경사안내로(22) 상에 슬라이딩 가능케 설치하며, 상기 중간 작동체(30) 상에 제1,2 다층박막 거울면(multilayer mirror)이 내부에 설치된 초고진공의 챔버(6)를 슬라이딩 가능케 설치하며, 본체프레임(4)에는 지지판체(20)를 결합고정하고 지지판체(20)의 일측에는 작동로드부(50)와 상기 작동로드부(50)를 좌우로 선형이동되게 구동시키는 챔버 좌우구동부(40)가 장착되게하고, 작동로드부(50)는 챔버(6)와 결합되게 구성하여 챔버 좌우구동부(40)의 구동으로 챔버(6)를 좌우로 슬라이딩 이동을 제어하고, 지지판체(20)의 타측에는 중간 작동체(30)를 좌우로 슬라이딩 이동케 하는 챔버 승강구동부(60)를 결합하여 챔버 승강구동부(60)의 구동으로 챔버(6)의 승강을 제어하도록 구성함을 특징으로 한다.

본 발명은 분광기를 구성하는 챔버 자체를 좌우로 정밀하게 이동시킬 수 있도록 하여 그 내부에 설치된 제1 다층박막 거울면(multilayer mirror)을 좌우로 이동될 수 있도록 하여 용도에 맞는 X-선의 세기를 조절함에 따라 고해상도의 X-선 영상의 획득이 가능하다.

아울러 분광기의 챔버 내부에 설치된 제1,2 다층박막 거울면을 상하로 벌어지도록 하여 백색광의 빛의 진행 경로에서 이탈시킴으로써, 설치된 분광기를 다른 곳으로 이동시키지 않고도 방사광 가속기에서 생성된 백색광을 그대로 통과시켜 다른 분광기의 챔버 내부로 원활하게 진입할 수 있도록 할 수 있어 차후 유지 관리가 용이하다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 분광기 사시도,
도 2는 도 1의 정면구성도,
도 3은 분광기의 챔버를 이송시키기 위한 챔버이송 제어부(8)의 구성을 보여주기 위한 분해구성도,
도 4는 도 3의 결합 구성도,
도 5는 챔버 좌우구동부의 구성을 보여주는 도면,
도 6은 챔버 좌우구동부에서 로드뭉치가 하우징홀더에 결합되는 구성을 보여주는 도면,
도 7은 챔버 좌우구동부의 작동상태를 설명하기 위한 도면,
도 8은 챔버승강구동부의 구성을 보여주는 도면,
도 9 및 도 10은 챔버승강구동부의 작동상태를 설명하기 위한 도면.

이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

본 발명의 분광기(2)는 도 1에 도시된 바와 같이 본체프레임(4) 상에 챔버(6)를 구비하되, 본체프레임(4)과 챔버(6) 사이에는 챔버이송제어부(8)를 결합설치하여 챔버(6)가 상하좌우로 슬라이딩 이동가능토록 하여 고해상도 X-선 영상 획득이 가능하도록 구현한 것이다.

도 2를 참조하면 챔버(6)의 내부에는 제1,2 다층박막 거울면(multilayer mirror)(10)(12)이 전후로 설치되고, 챔버의 전방에는 백색광이 들어오는 입사광부(14)가 후방에는 제1,2 다층박막 거울면(10)(12)을 통해 추출된 X-선을 검출장치로 보내기 위한 출사광부(16)가 설치된다.

특히 제1 다층박막 거울면(10)은 도 2에 도시된 바와 같이 좌우로 2가지의 다층박막(10a)(10b)으로 구성되어져 X-선 세기를 변화시키고자 할 때 그 2가지 중 어느 하나를 사용하게 되며, 이를 위해 본 발명에서는 챔버(6) 전체를 좌우로 이동시키도록 구현한다.

그리고 입사광부(14)를 통해 챔버(6) 내부로 들어온 백색광을 그대로 분광기(2)의 챔버(6) 내부를 통과시키고자 할 경우에는 챔버(6) 전체 높이를 낮추어 제1 다층박막 거울면(10)이 내려오게 하고 아울러 제2 다층박막 거울면(12)은 챔버(6) 내부에 설치된 리프트장치로 들어올리는 메커니즘을 구현하여, 상하로 벌어진 제1,2 다층박막 거울면(10)(12) 사이로 백색광이 그대로 통과되도록 한다.

여기서 챔버(10)의 내부 구성에 대한 자세한 설명은 생략하며, 본 발명의 특징부라 할 수 있는 본체프레임(4) 상에 설치되어 챔버(6)를 떠받치면서 챔버(6)를 상하좌우로 이동시키도록 하기 위한 챔버 이송제어부(8)에 대해 설명한다.

먼저 도 3과 도 4를 참조하면 본체프레임(4) 상에 좌우로 연장되고 상부면이 경사진 경사안내로(22)를 전후로 다 수개를 서로 이격되게 배열결합한다.

그리고 경사안내로(22) 상부에는 경사안내로(22)와 대응되는 경사결합구(32) 다 수개를 연결봉(34)으로 일체 되게 구성한 중간 작동체(30)를 경사안내로(22) 상에 좌우로 슬라이딩 가능케 설치한다.

상기 중간 작동체(30)의 경사결합구(32) 저면은 경사안내로(22)의 상면에 대응하는 경사면을 가지며, 경사안내로(22) 상에 설치된 LM가이드(26)의 레일 위에 장착하여 안정적으로 슬라이딩 선형운동이 되도록 하는 것이 바람직하다.

중간 작동체(30)의 각 경사결합구(32) 상부에는 챔버(6)의 하단이 받침결합구(18)를 매개로 좌우로 슬라이딩 가능케 설치한다. 챔버(6)도 중간 작동체(30) 상에 설치된 LM가이드(26)의 레일 위에 장착하는 것이 바람직하다.

다음으로 도 5 및 도 8을 참고하면 본체프레임(4) 상에는 지지판체(20)을 결합고정하고, 지지판체(20)의 일측에는 작동로드부(50)와 상기 작동로드부(50)를 좌우로 선형이동되게 구동시키는 챔버 좌우구동부(40)가 장착되게한다.

챔버 좌우구동부(40)와 작동로드부(50)는 챔버(6)를 좌우로 슬라이딩 이동시키는 기능을 한다.

먼저 챔버 좌우구동부(40)는 스텝모터(step motor)(42), 커플링(46), 스크류 잭(48)을 포함한다.

스텝모터(42)는 지지판체(20)에 결합된 모터브라켓(44)를 통해 고정되고, 스크류 잭(48)은 지지판체(20) 상에 결합된 스크류잭 브라켓(49)을 통해 고정된다.

스텝모터(42)의 구동력은 스크류 잭(48)의 볼스크류(48a)에 전달되는바, 이는 웜과 웜 기어 방식으로 구현할 수 있다. 이때 스텝모터(42)와 볼스크류(48a)의 회전 감속비는 300∼500:1 정도로 하는 것이 바람직하며 이는 챔버(6)의 움직임을 정밀하게 제어할 수 있다.

작동로드부(50)는 하우징홀더(52)를 지지판체(20)에 고정된 안내레일(56)의 안내봉(56a)에 슬라이딩 가능케 구성하고, 하우징홀더(52)의 삽입홈(52a)에 로드뭉치(58)가 삽입된 구성을 가진다.

하우징홀더(52)의 측벽에는 스크류 연결구(54)를 형성하여 상기 챔버 좌우구동부(40)를 구성하는 스크류 잭(48)의 볼스크류(48a)의 단부가 축결합 연결되게 한다.

하우징홀더(52)의 삽입홈(52a)에 삽입되는 로드뭉치(58)는 삽입홈(52a) 내에서 상하로 슬라이딩 이동가능하고, 상부의 결합판(58a)을 통하여 챔버(6)의 하단부와 결합한다.

상기 구성의 챔버 좌우구동부(40)와 작동로드부(50)가 챔버(6)를 좌우로 슬라이딩 이동시키는 고정을 설명하면 다음과 같다.

도 7을 참고하면 스텝모터(42)를 정·역회전 작동시키면 그 구동력은 스크류 잭(48)의 볼스크류(48a)에 전달되어 볼스크류(48a)는 회전과 동시에 좌우로 이동된다. 그리고 볼스크류(48a)의 단부와 축결합된 작동로드부(50)의 스크류 연결구(54)를 밀게 되고 작동로드부(50) 전체가 안내레일(56)의 안내를 받으며 좌우로 움직이게 된다. 그러면 작동로드부(50)의 로드뭉치(58)에 결합된 챔버(6)는 그 힘에 의해 좌우로 이동이 되는 것이다.

따라서 챔버(6)가 좌우로 이동됨에 따라 챔버(6) 내에 설치된 제1 다층박막 거울면(10) 상에 형성된 2가지의 다층박막(10a)(10b) 중 어느 하나에 백색광이 회절되어져 나가도록 함으로써 적당한 X-선 세기를 추출할 수 있게 되고 고해상도의 X-선 영상이 획득 가능하게 되는 것이다.

한편 지지판체(20)의 타측에는 챔버 승강구동부(60)를 설치한다.

챔버 승강구동부(60)는 챔버(6)를 상하로 이동시키기 위한 것으로 스텝모터(62), 커플링(66), 스크류 잭(68)을 포함한다. 그리고 스텝모터(62)의 구동력이 스크류 잭(68)의 볼스크류(68a)에 전달되는 방식은 웜과 웜 기어 방식으로 상기 챔버 좌우구동부(40)와 비슷하다.

이때도 스텝모터(62)와 볼스크류(68a)의 회전 감속비는 300∼500:1 정도로 하는 것이 바람직하며 이는 챔버(6)의 움직임을 정밀하게 제어할 수 있다.

스텝모터(62)는 지지판체(20)에 결합된 모터브라켓(64)를 통해 고정되고, 스크류 잭(68)은 지지판체(20) 상에 결합된 스크류잭 브라켓(69)을 통해 고정된다.

상기 스크류 잭(68)의 볼스크류(68a) 단부는 중간 작동체(30)와 연결되게 구성한다. 이를 위해 중간 작동체(30)의 일측 연결봉(34)에는 로드어댑터(72)를 결합하고 로드어댑터(72)에는 스크류 연결구(70)를 결합하며, 상기 스크류 연결구(70)에 스크류 잭(68)의 볼스크류(68a) 단부를 축결합 연결되게 하므로 구현할 수 있다.

상기 구성의 챔버 승강구동부(60)는 중간작동체(30)를 좌우로 이동시키고 그에 따라 챔버(6)가 상하로 이동되도록 하는바, 원활한 작동을 위해서 상기 스텝모터(62)와 스크류 잭(68)은 도 9에 도시된 바와 같이 경사안내로(22)의 상부 경사면이 기울어진 각(θ)에 준하여 같은 기울기를 갖도록 구성하는 것이 바람직하다.

도 9 및 도 10을 참고하면 스텝모터(62)를 정·역회전 작동시키면 그 구동력은 스크류 잭(68)의 볼스크류(68a)에 전달되어 볼스크류(68a)는 회전과 동시에 좌우로 이동된다. 그러면 볼스크류(68a)는 작동로드부(50)에 결합된 스크류 연결구(54) 밀게 되고 그에 따라 중간 작동체(30) 전체가 좌우로 이동된다.

그리고 중간 작동체(30)는 하부의 경사 안내로(22)의 LM가이드(26) 안내를 받기 때문에 좌우로 움직이게 되면 동시에 경사면을 따라 상하로도 이동된다. 그에 따라 중간 작동체(30) 상에 결합된 챔버(6)가 상하로 이동하게 되는 것이다.

이때 도 10을 참조하면 챔버 승강구동부(60) 작동시 중간 작동체(30)만 좌우로 움직이도록 하여 챔버(6)가 좌우로는 움직이지 못하면서 상하로는 원활하게 움직이도록 구현한다.

즉 본 발명에서는 앞서 설명드린 작동로드부(50)의 구성을 도 5 내지 도 7을 참조하여 다시 살펴보면 작동로드부(50)는 하우징 홀더(52)의 삽입홈(52a)에 챔버(6)의 하단부와 결합되는 로드뭉치(58)을 삽입설치하되, 상하로 슬라이딩 가능토록 한 것이다.

이러한 구성에 의하여 중간 작동체(30)가 좌우로 움직일 때 챔버(6)는 좌우로는 움직이지 않지만 상하로는 안정적으로 이동 가능한 것이다.

본 발명의 로드뭉치(58)의 측부에는 홀더(52)의 삽입홈(52a)에 삽입되어 상하로 슬라이딩이 용이하도록 베어링(59)을 구성하였으나, 베어링(59) 대신 로드뭉치(58)의 벽면과 홀더(52)의 삽입홈(52a)의 내면을 면접시켜 슬립이 이루어지도록 하는 방식도 가능하다.

그리고 챔버(6)의 높이가 낮아짐에 따라 제1 다층박막 거울면(10) 및 제2 다층박막 거울면(12)이 같이 내려오는바, 제2 다층박막 거울면(12)은 챔버(6) 내부에 설치된 리프트장치로 들어올리도록 하여 제1,2 다층박막 거울면(10)(12)를 상하로 서로 벌어지도록 하며 그 벌어진 사이로 백색광이 그대로 통과되도록 한다. 그러면 챔버(6) 내부를 그대로 통과한 광원은 다른 분광기의 챔버 내부를 원활하게 지나갈 수 있게 되므로 분광기를 이동시킬 필요가 없게 된다.

상기 구성의 본 발명 X-선 영상 획득을 위한 분광기(2)는 분광기를 구성하는 챔버 자체를 좌우로 정밀하게 이동시킬 수 있도록 하여 그 내부에 설치된 제1 다층박막 거울면이 이동될 수 있도록 하여 용도에 맞는 X-선의 세기를 적절하게 조절함에 따라 고해상도의 X-선 영상의 획득이 가능하다.

아울러 기 설치된 분광기를 다른 곳으로 이동시키지 않고도 방사광 가속기에서 만들어진 백색광을 그대로 분광기의 챔버 내부를 통과할 수 있도록 하여 원하는 다른 분광기에 백색광을 통과시킬 수 있다.

미설명 부호 (28)은 ML블록이다.

상술한 본 발명의 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 여러 가지 변형이 본 발명의 범위에서 벗어나지 않고 실시할 수 있다. 따라서 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위 및 그 특허청구범위와 균등한 것에 의해 정해 져야 한다.

본 발명은 X-선을 추출하기 위한 분광기에 이용될 수 있다.

(2)--분광기 (4)--본체프레임
(6)--챔버 (8)--챔버이송제어부
(10)(12)--제1,2 다층박막 거울면 (14)--입사광부
(16)--출사광부 (18)--받침결합구
(20)--지지판체 (26)--LM가이드
(28)--LM블럭 (30)--중간 작동체
(32)--연결봉 (40)--챔버 좌우구동부
(42)(62)--스텝모터 (44)(64)--모터브라켓
(46)(66)--커플링 (48)(68)--스크류잭
(48a)(68a)--스텝모터 (49)(69)--스크류잭 브라켓
(50)--작동로드부 (52)--하우징홀더
(54)(70)--스크류 연결구 (72)--로드어댑터

Claims

본체프레임(4) 상에 좌우로 연장되고 상부면이 경사진 경사안내로(22)를 전후로 다 수개를 이격되게 배열하고, 상기 경사안내로(22)의 상부면과 대응되게 하부면이 경사진 경사결합구(32) 다 수개를 연결봉(34)으로 일체 구성한 중간 작동체(30)를 경사안내로(22) 상에 슬라이딩 가능케 설치하며, 상기 중간 작동체(30) 상에 제1,2 다층박막 거울면(multilayer mirror)이 내부에 설치된 초고진공의 챔버(6)를 슬라이딩 가능케 설치하며, 본체프레임(4)에는 지지판체(20)를 결합고정하고 지지판체(20)의 일측에는 작동로드부(50)와 상기 작동로드부(50)를 좌우로 선형이동되게 구동시키는 챔버 좌우구동부(40)가 장착되게하고, 작동로드부(50)는 챔버(6)와 결합되게 구성하여 챔버 좌우구동부(40)의 구동으로 챔버(6)를 좌우로 슬라이딩 이동을 제어하고, 지지판체(20)의 타측에는 중간 작동체(30)를 좌우로 슬라이딩 이동케 하는 챔버 승강구동부(60)를 결합하여 챔버 승강구동부(60)의 구동으로 챔버(6)의 승강을 제어하도록 구성함을 특징으로 하는 고해상도 X-선 영상 획득을 위한 분광기.
제1항에 있어서,
상기 챔버 좌우구동부(40)는 스텝모터(42)에 웜과 웜기어 방식으로 연결된 스크류 잭(48)의 볼스크류(48a)로 구현되도록 함을 특징으로 하는 해상도 X-선 영상 획득을 위한 분광기.
제1항에 있어서,
작동로드부(50)는 하우징홀더(52)를 지지판체(20)에 고정된 안내레일(56)의 안내봉(56a)에 슬라이딩 가능케 구성하고, 하우징홀더(52)의 삽입홈(52a)에 로드뭉치(58)가 삽입되며, 하우징홀더(52)의 측벽에는 스크류 연결구(54)를 형성하여 상기 챔버 좌우구동부(40)를 구성하는 스크류 잭(48)의 볼스크류(48a)의 단부가 축결합 연결되게 구성함을 특징으로 하는 해상도 X-선 영상 획득을 위한 분광기.
제1항에 있어서,
상기 챔버 승강구동부(60)는 스텝모터(62)에 웜과 웜기어 방식으로 연결된 스크류 잭(68)의 볼스크류(68a)로 구현되도록 하고, 스텝모터(62)와 스크류 잭(68)은 경사안내로(22)의 상부 경사면이 기울어진 각(θ)에 준하여 같은 기울기를 갖도록 구성함을 특징으로 하는 해상도 X-선 영상 획득을 위한 분광기.
제2항 또는 제4항에 있어서,
스텝모터(42)(62)와 볼스크류(48a)(68a)의 회전 감속비는 300∼500:1로 함을 특징으로 하는 해상도 X-선 영상 획득을 위한 분광기.