JP3182744B2 - 分光分析装置 - Google Patents
分光分析装置Info
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- JP3182744B2 JP3182744B2 JP27124491A JP27124491A JP3182744B2 JP 3182744 B2 JP3182744 B2 JP 3182744B2 JP 27124491 A JP27124491 A JP 27124491A JP 27124491 A JP27124491 A JP 27124491A JP 3182744 B2 JP3182744 B2 JP 3182744B2
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- Japan
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- holmium oxide
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、分光分析装置に関し、
更に詳しくは、内臓するホロミウムオキサイドを用いて
多点校正を行い波長校正を正確かつ自動的に行えるよう
にした分光分析装置に関する。
更に詳しくは、内臓するホロミウムオキサイドを用いて
多点校正を行い波長校正を正確かつ自動的に行えるよう
にした分光分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知の如く、分光分析装置は、被測定体
となる試料の分光学的特性を利用して化学分析を行う分
析装置である。このような分光分析装置の従来例におい
ては、重水素ランプの零次光で波長のＯｎｍ（零ナノメ
ートル）と例えば重水素ランプの輝線の６５６ｎｍをと
り、その２点により校正を行い、分光器としてのグレー
ティング（回折器）の移動角を求めていた。このため、
これら２点間のグレーティングの移動精度を非常に良く
しないと、波長の精度が大きく変化する欠点があった。
となる試料の分光学的特性を利用して化学分析を行う分
析装置である。このような分光分析装置の従来例におい
ては、重水素ランプの零次光で波長のＯｎｍ（零ナノメ
ートル）と例えば重水素ランプの輝線の６５６ｎｍをと
り、その２点により校正を行い、分光器としてのグレー
ティング（回折器）の移動角を求めていた。このため、
これら２点間のグレーティングの移動精度を非常に良く
しないと、波長の精度が大きく変化する欠点があった。
【０００３】一方、ホロミウムオキサイドフィルタを用
いる校正では、多波長の校正が可能となり、波長の精度
が良くなることが知られている。しかし、この場合に
は、光路上にホロミウムオキサイドフィルタを慎重にお
き、吸収測定モードで校正を行う必要があった。
いる校正では、多波長の校正が可能となり、波長の精度
が良くなることが知られている。しかし、この場合に
は、光路上にホロミウムオキサイドフィルタを慎重にお
き、吸収測定モードで校正を行う必要があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
例の欠点などに鑑みてなされたものであり、その目的
は、内臓するホロミウムオキサイドフィルタを用いて多
点校正を行い波長校正を正確かつ自動的に行なえる分光
分析装置を提供することにある。
例の欠点などに鑑みてなされたものであり、その目的
は、内臓するホロミウムオキサイドフィルタを用いて多
点校正を行い波長校正を正確かつ自動的に行なえる分光
分析装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、重水素ランプ
からの光を分光器により分光したのちフォトダイオード
で検出する分光分析装置において、前記光の高次光を不
透過とし前記分光器の零次光の検出に用いられるゼロ用
フィルタと、前記光の少なくとも一つの輝線を選択的に
透過するカットオフフィルタと、前記光の複数の波長に
対して吸収点を有するホロミウムオキサイドフィルタと
が切換え可能に設けられたフィルタユニットを光路上に
配置し、前記フィルタユニットを前記カットオフフィル
タに切り換えて前記輝線を検出し、前記フィルタユニッ
トを前記ゼロ用フィルタに切り換えて前記零次光を検出
し、前記フィルタユニットを前記ホロミウムオキサイド
フィルタに切り換えて複数の前記吸収点を検出し、前記
輝線の点、前記零次光の点及び複数の前記吸収点を用い
て多点校正を行うことを特徴とする分光分析装置であ
る。
からの光を分光器により分光したのちフォトダイオード
で検出する分光分析装置において、前記光の高次光を不
透過とし前記分光器の零次光の検出に用いられるゼロ用
フィルタと、前記光の少なくとも一つの輝線を選択的に
透過するカットオフフィルタと、前記光の複数の波長に
対して吸収点を有するホロミウムオキサイドフィルタと
が切換え可能に設けられたフィルタユニットを光路上に
配置し、前記フィルタユニットを前記カットオフフィル
タに切り換えて前記輝線を検出し、前記フィルタユニッ
トを前記ゼロ用フィルタに切り換えて前記零次光を検出
し、前記フィルタユニットを前記ホロミウムオキサイド
フィルタに切り換えて複数の前記吸収点を検出し、前記
輝線の点、前記零次光の点及び複数の前記吸収点を用い
て多点校正を行うことを特徴とする分光分析装置であ
る。
【０００６】
【作用】本発明は次のように作用する。即ち、多点校正
の命令をかけると、ホロミウムオキサイドフィルタが自
動的に光路上にセットされる。また、重水素ランプから
の光が、カットオフフィルタ，ゼロ用フィルタ，若しく
はホロミウムオキサイドフィルタを通り、または、フィ
ルタを全く通らずに、グレーティングされて後、フォト
ダイオードで検出される。
の命令をかけると、ホロミウムオキサイドフィルタが自
動的に光路上にセットされる。また、重水素ランプから
の光が、カットオフフィルタ，ゼロ用フィルタ，若しく
はホロミウムオキサイドフィルタを通り、または、フィ
ルタを全く通らずに、グレーティングされて後、フォト
ダイオードで検出される。
【０００７】
【実施例】以下、本発明について図を用いて詳細に説明
する。図１は本発明実施例の要部構成説明図であり、図
中、１は重水素ランプ、２ａ〜２ｃは第１〜第３の球面
鏡、３は平面鏡、４ａはカットオフフィルタ、４ｂはゼ
ロ用フィルタ、４ｃはホロミウムオキサイドフィルタ、
４はフィルタユニット、５ａは入射スリット、５ｂはセ
ルスリット、５ｃはレファレンススリット、６はグレー
ティング、７はビームスプリット、８はフローセル、９
ａはサンプルフォトダイオード、９ｂはレファランスフ
ォトダイオードである。
する。図１は本発明実施例の要部構成説明図であり、図
中、１は重水素ランプ、２ａ〜２ｃは第１〜第３の球面
鏡、３は平面鏡、４ａはカットオフフィルタ、４ｂはゼ
ロ用フィルタ、４ｃはホロミウムオキサイドフィルタ、
４はフィルタユニット、５ａは入射スリット、５ｂはセ
ルスリット、５ｃはレファレンススリット、６はグレー
ティング、７はビームスプリット、８はフローセル、９
ａはサンプルフォトダイオード、９ｂはレファランスフ
ォトダイオードである。
【０００８】また、重水素ランプ１からの光は、第１球
面鏡２ａと平面鏡３で反射されて後、カットオフフィル
タ４ａなどを透過し、第２球面鏡２ｂで反射され、その
後、グレーティング６により回折され、第３球面鏡２ｃ
で反射されてのち、ビームスプリッタ７で分割される。
このようにして分割された一方の光は、レファランスス
リット５ｃを介してレファランスダイオード９ｂで検出
される。また、他方の光は、セルスリット５ｂを通って
後、フローセル８内の試料を透過して減衰され、その
後、サンプルフォトダイオード９ａで検出される。尚、
フィルタユニット４は図示しないＣＰＵでその回転が制
御されるようになっている。
面鏡２ａと平面鏡３で反射されて後、カットオフフィル
タ４ａなどを透過し、第２球面鏡２ｂで反射され、その
後、グレーティング６により回折され、第３球面鏡２ｃ
で反射されてのち、ビームスプリッタ７で分割される。
このようにして分割された一方の光は、レファランスス
リット５ｃを介してレファランスダイオード９ｂで検出
される。また、他方の光は、セルスリット５ｂを通って
後、フローセル８内の試料を透過して減衰され、その
後、サンプルフォトダイオード９ａで検出される。尚、
フィルタユニット４は図示しないＣＰＵでその回転が制
御されるようになっている。
【０００９】以下、上述のような構成からなる本発明実
施例の動作について更に詳しく説明する。最初、図示し
ないキーボードにより校正を指示する。フィルタユニッ
ト４が回転し、ゼロ用フィルタ４ｂが光路上に入り高次
光をカットする。グレーティング６用のモータを駆動
し、ゼロ波長の位置を捜す。フィルタユニット４が回転
し、カットオフフィルタ４ａが光路上に入る。この場
合、カットオフフィルタ４ａは重水素ランプ１の輝線で
ある６５６ｎｍよりも大きい波長を不透過とする。グレ
ーティング６のギア移動角を６５６ｎｍまで移動させ、
重水素ランプ１の輝線を探し、２点校正を行う。 （６）フィルタユニット４が回転し、光路上に、カット
オフフィルタ４ａ，ゼロ用フィルタ４ｂ，及びホロミウ
ムオキサイドフィルタ４ｃのいずれもない状態となる。
施例の動作について更に詳しく説明する。最初、図示し
ないキーボードにより校正を指示する。フィルタユニッ
ト４が回転し、ゼロ用フィルタ４ｂが光路上に入り高次
光をカットする。グレーティング６用のモータを駆動
し、ゼロ波長の位置を捜す。フィルタユニット４が回転
し、カットオフフィルタ４ａが光路上に入る。この場
合、カットオフフィルタ４ａは重水素ランプ１の輝線で
ある６５６ｎｍよりも大きい波長を不透過とする。グレ
ーティング６のギア移動角を６５６ｎｍまで移動させ、
重水素ランプ１の輝線を探し、２点校正を行う。 （６）フィルタユニット４が回転し、光路上に、カット
オフフィルタ４ａ，ゼロ用フィルタ４ｂ，及びホロミウ
ムオキサイドフィルタ４ｃのいずれもない状態となる。
【００１０】（７）グレーティング６のギア移動角を、
上記２点校正で３６０．８ｎｍまで移動させ、グレーテ
ィングモーターのステップ毎のデータＤ1〜Ｄnをとる。 （８）フィルタユニット４が回転し、ホロミウムオキサ
イドフィルタ４ｃが光路上に入る。 （９）グレーティング６のギア移動角を、上記２点校正
で３６０．８ｎｍまで移動させ、グレーティングモータ
ーのステップ毎のデータＥ1〜Ｅnをとる。このデータＤ
1〜Ｄnと上記データＥ1〜Ｅnの差をとり、吸光度の最大
値を探す。
上記２点校正で３６０．８ｎｍまで移動させ、グレーテ
ィングモーターのステップ毎のデータＤ1〜Ｄnをとる。 （８）フィルタユニット４が回転し、ホロミウムオキサ
イドフィルタ４ｃが光路上に入る。 （９）グレーティング６のギア移動角を、上記２点校正
で３６０．８ｎｍまで移動させ、グレーティングモータ
ーのステップ毎のデータＥ1〜Ｅnをとる。このデータＤ
1〜Ｄnと上記データＥ1〜Ｅnの差をとり、吸光度の最大
値を探す。
【００１１】その後、上記（６）〜（９）の操作を波長
４１８．５ｎｍについて行う。次に、上記（６）〜
（９）の操作を波長５３６．４ｎｍについて行う。その
後、フィルタユニット４が回転し、カットオフフィルタ
４ａが光路上に入る。次に、グレーティング６のギア移
動角を４８６ｎｍまで移動させ、その重水素ランプ１の
輝線を探す。その後、０ｎｍ，３６０．８ｎｍ（ホロミ
ウムオキサイドフィルタの第一の吸収点），４１８．５
ｎｍ（ホロミウムオキサイドフィルタの第二の吸収
点），４８６ｎｍ（第一の輝線），５３６．４ｎｍ（ホ
ロミウムオキサイドフィルタの第三の吸収点），及び６
５６ｎｍ（第二の輝線）の６点により折れ線グラフを作
成し、このグラフの折れ線に沿って目的の波長からグレ
ーティングモーターのステップを計算して移動させる。
４１８．５ｎｍについて行う。次に、上記（６）〜
（９）の操作を波長５３６．４ｎｍについて行う。その
後、フィルタユニット４が回転し、カットオフフィルタ
４ａが光路上に入る。次に、グレーティング６のギア移
動角を４８６ｎｍまで移動させ、その重水素ランプ１の
輝線を探す。その後、０ｎｍ，３６０．８ｎｍ（ホロミ
ウムオキサイドフィルタの第一の吸収点），４１８．５
ｎｍ（ホロミウムオキサイドフィルタの第二の吸収
点），４８６ｎｍ（第一の輝線），５３６．４ｎｍ（ホ
ロミウムオキサイドフィルタの第三の吸収点），及び６
５６ｎｍ（第二の輝線）の６点により折れ線グラフを作
成し、このグラフの折れ線に沿って目的の波長からグレ
ーティングモーターのステップを計算して移動させる。
【００１２】一方、図２，図３はギア移動角と波長誤差
の関係を示す特性曲線図であり、図中、破線は真の誤差
特性を示し、実線は２点校正や多点校正の校正曲線を示
している。即ち、図２は前記従来例における２点校正の
校正曲線を示しており、Ａは測定誤差を表している。ま
た、図３は本発明実施例による多点校正の校正曲線を示
しており、Ｂが測定誤差を示している。図２，図３を比
較すれば明らかなように、上述のような本発明実施例を
用いてた多点校正を行えば、２点校正を行う前記従来例
の場合に比して測定誤差が激減し、測定精度が著しく改
善されることが分かる。尚、本発明は上述の実施例に限
定されることなく種々の変形が可能である。
の関係を示す特性曲線図であり、図中、破線は真の誤差
特性を示し、実線は２点校正や多点校正の校正曲線を示
している。即ち、図２は前記従来例における２点校正の
校正曲線を示しており、Ａは測定誤差を表している。ま
た、図３は本発明実施例による多点校正の校正曲線を示
しており、Ｂが測定誤差を示している。図２，図３を比
較すれば明らかなように、上述のような本発明実施例を
用いてた多点校正を行えば、２点校正を行う前記従来例
の場合に比して測定誤差が激減し、測定精度が著しく改
善されることが分かる。尚、本発明は上述の実施例に限
定されることなく種々の変形が可能である。
【００１３】
【発明の効果】以上詳しく説明したような本発明によれ
ば、多点校正を自動的に行え、グレーティングモーター
の精度誤差を吸収できる利点がある。また、ホロミウム
オキサイドのフィルタ（即ち、ホロミウムオキサイドフ
ィルタ４ｃ）を自動的にオンオフし、自動的に波長校正
ができる利点もある。従って、本発明によれば、内臓す
るホロミウムオキサイドフィルタを用いて多点校正を行
い波長校正を正確かつ自動的に行なえる分光分析装置が
実現する。
ば、多点校正を自動的に行え、グレーティングモーター
の精度誤差を吸収できる利点がある。また、ホロミウム
オキサイドのフィルタ（即ち、ホロミウムオキサイドフ
ィルタ４ｃ）を自動的にオンオフし、自動的に波長校正
ができる利点もある。従って、本発明によれば、内臓す
るホロミウムオキサイドフィルタを用いて多点校正を行
い波長校正を正確かつ自動的に行なえる分光分析装置が
実現する。
【図１】本発明実施例の要部構成説明図である。
【図２】ギア移動角と波長誤差の関係を示す特性曲線図
である。
である。
【図３】ギア移動角と波長誤差の関係を示す特性曲線図
である。
である。
１ 重水素ランプ ２ａ〜２ｃ 球面鏡 ３ 平面鏡 ４ａ カットオフフィルタ ４ｂ ゼロ用フィルタ ４ｃ ホロミウムオキサイドフィルタ ５ａ〜５ｃ スリット ６ グレーティング ７ ビームスプリット ８ フローセル ９ａ，９ｂ フォトダイオード
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−56922（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−6127（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−49127（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−141729（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01J 3/00 - 3/52 G01N 21/00 - 21/01 G01N 21/17 - 21/61 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (1)
- 【請求項１】 重水素ランプからの光を分光器により分
光したのちフォトダイオードで検出する分光分析装置に
おいて、 前記光の高次光を不透過とし前記分光器の零次光の検出
に用いられるゼロ用フィルタと、前記光の少なくとも一
つの輝線を選択的に透過するカットオフフィルタと、前
記光の複数の波長に対して吸収点を有するホロミウムオ
キサイドフィルタとが切換え可能に設けられたフィルタ
ユニットを光路上に配置し、 前記フィルタユニットを前記カットオフフィルタに切り
換えて前記輝線を検出し、 前記フィルタユニットを前記ゼロ用フィルタに切り換え
て前記零次光を検出し、 前記フィルタユニットを前記ホロミウムオキサイドフィ
ルタに切り換えて複数の前記吸収点を検出し、 前記輝線の点、前記零次光の点及び複数の前記吸収点を
用いて多点校正を行うことを特徴とする分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27124491A JP3182744B2 (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27124491A JP3182744B2 (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 分光分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05107113A JPH05107113A (ja) | 1993-04-27 |
| JP3182744B2 true JP3182744B2 (ja) | 2001-07-03 |
Family
ID=17497372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27124491A Expired - Fee Related JP3182744B2 (ja) | 1991-10-18 | 1991-10-18 | 分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3182744B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6256216B2 (ja) * | 2014-06-16 | 2018-01-10 | 株式会社島津製作所 | 分光測定装置、液体クロマトグラフ及び分光器の波長校正方法 |
| CN104536359B (zh) * | 2014-12-22 | 2017-04-05 | 福建星海通信科技有限公司 | 一种用于可调滤波器传动和控制系统及其零点调节方法 |
-
1991
- 1991-10-18 JP JP27124491A patent/JP3182744B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05107113A (ja) | 1993-04-27 |
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Legal Events
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