JP2002162595A - ガルバノミラー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 多分割された受光素子を用いることにより、
検出範囲が広くまた高精度な角度検出が可能な傾きセン
サーを備えたガルバノミラーを提供する。 【解決手段】 ガルバノミラー５は、少なくともミラー
を有する可動部と、この可動部を傾ける支持駆動手段
と、ミラーの傾きを検出する傾きセンサー１２とを有し
て構成される。傾きセンサー１２は可動部に光を投射す
る光源１２ａと、可動部手段からの反射光を受光する光
検出器１２ｃとを有して構成され、この光検出器１２の
受光面は少なくとも１方向に複数分割して形成される。
例えば９つの受光面１３ａ〜１３ｈに分割し、これらの
９つのそれぞれの受光面１３ａ〜１３ｈにより得られた
受光量を演算することによりガルバノミラー５の傾き量
を検出する。また垂直方向についても同様に検出するこ
とができ、その結果検出範囲が広くまた高精度な検出が
可能で２次元の検出にも対応が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ピックアップに
用いられるトラッキング検出手段としてのガルバノミラ
ーや、光通信に用いられる光偏向用、または光スイッチ
ング用のガルバノミラーで、特に傾きセンサーを有する
ガルバノミラーに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、記録情報読取装置に搭載され
る光ピックアップにおいては、トラッキング検出手段と
してのガルバノミラーが用いられており、また、光通信
機器においても、光偏向用としてあるいは光スイッチン
グ用としてガルバノミラーが用いられている。得に傾き
センサーを有するガルバノミラーは、その検出対象とす
る部材に対する傾きの角度検出が可能な傾きセンサを搭
載しているので、検出対象とする部材に傾きが生じた場
合でも角度検出を実行できるため、ガルバノミラー自体
の検出精度を向上させるには有効である。

【０００３】この種の傾きセンサーとしては、従来技術
においては、例えば特公平７−６６５５４号公報の提案
による記録情報読取装置に記載されているものがある。

【０００４】この提案による記録情報読取装置は、記録
媒体の記録方式に無関係に、また記録面とピックアップ
との離間距離や記録媒体の記録トラック接線方向の傾き
に何等影響されずに正確にピックアップ光ビームと記録
面との相対角度を検出し得る機能を備えるためになされ
たものであり、角度検出手段としての傾きセンサーを備
えて構成されている。

【０００５】上記提案の記録情報読取装置の有する傾き
センサーは、光ピックアップの記録媒体への出射ビーム
の光軸と記録媒体の記録面とのなす相対角度を検出する
もので、拡散光を記録面へ照射する発光素子と、発光素
子の両側に配置し記録面からの反射光を検出する２つの
受光素子からなり、これら２つの受光素子へ検出する反
射光量の差分をとることにより、記録媒体に傾きが生じ
たときの傾き量を検出することを特徴とするものであ
る。これにより、上述の如く記録媒体の記録方式に無関
係に、また記録面とピックアップとの離間距離や記録媒
体の記録トラック接線方向の傾きに何等影響されずに正
確にピックアップ光ビームと記録面との相対角度を検出
し得ることができるようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の特公平７−６６５５４号公報の記録情報読取装
置に記載されている傾きセンサの構成では、検出器の大
きさに限界があるため広範囲な検出を行うことができ
ず、また拡散光であるため高精度な検出は不可能である
といった問題点があり、さらに１次元の傾き検出しか行
うことができないといった問題点もあった。

【０００７】そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなさ
れたもので、多分割に分割された受光素子を用いること
により、検出範囲が広くまた高精度な検出が可能で２次
元の検出にも対応できる傾きセンサーを備えたをガルバ
ノミラーを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明によるガルバノミ
ラーは、少なくともミラーを有する可動部と、前記可動
部を傾ける支持駆動手段と、前記ミラーの傾きを検出す
る傾きセンサーとを有するガルバノミラーにおいて、前
記傾きセンサーは、前記可動部に光を投射する光源と、
前記可動部手段からの反射光を受光する光検出器とを有
し、前記光検出器の受光面を少なくとも１方向に複数分
割して構成したことを特徴とするものである。

【０００９】本発明によれば、上記構成のガルバノミラ
ーを仮にトラッキング検出用として光ピックアップに適
用したとすると、前記光検出器の受光面は少なくとも１
方向に少なくとも３つ以上の複数分割して構成され、そ
れぞれの受光面により得られた受光量を演算することに
より、前記ガルバノミラーの傾き量を検出することが可
能である。また傾き方向に対する垂直方向についても同
様に検出することができる。これにより、検出範囲が広
くまた高精度な検出が可能で２次元の検出にも対応でき
る傾きセンサーを備えたをガルバノミラーの実現が可能
となる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態について説明する。

【００１１】第１の実施の形態： （構成及び作用）図１乃至図４は本発明に係るガルバノ
ミラーの第１の実施の形態を示し、図１は本発明のガル
バノミラーを適用した光ピックアップの概略的な構成を
示す構成図であり、図２乃至図４はガルバノミラーの傾
きセンサーの詳細な構成を説明するためのもので、図２
は該傾きセンサーの全体構成を示す構成図、図３は該傾
きセンサーの光検出器の詳細な構成を示す構成図、図４
は該ガルバノミラーの駆動動作に対する検出信号の変化
を示す特性図をそれぞれ示している。

【００１２】本実施の形態では、本発明のガルバノミラ
ーをトラッキング検出手段として光ピックアップに適用
して構成したことが特徴である。

【００１３】つまり、上記光ピックアップ１００は、図
１に示すように、ＬＤ１と、コリメータレンズ２と、２
つのビームスプリッタ３，８と、３つの光検出器４，１
０，１１と、前記ガルバノミラー５と、２つの対物レン
ズ６ａ，６ｂと、２つの記録媒体７ａ，７ｂと、シリン
ドリカルレンズ９と、センサー部１２とを少なくとも備
えて構成されている。

【００１４】上記構成の光ピックアップ１００におい
て、ＬＤ１から出射したレーザ光Ａは、コリメータレン
ズ２で平行光に変換してビームスプリッタ３に入射され
る。そして、入射されたこのレーザ光Ａは、該ビームス
プリッタ３で２つのレーザ光Ｂ，Ｃに分離される。この
分離したレーザ光の内、一方のレーザー光Ｂは光量を検
出するための光検出器４に入射され、他方のレーザ光Ｃ
はガルバノミラー５に入射される。

【００１５】本実施の形態の特徴となるガルバノミラー
５は、入射されたレーザー光Ｃに対して、反射する光路
を少なくとも２つの光路に選択自在に駆動できるように
構成されている。具体的には、該ガルバノミラー５に
は、図示はしないがミラーを有する可動部と、この可動
部を支持するとともに傾きを駆動させるための支持駆動
部とが設けられている。該支持駆動部（図示せず）は、
これに接続される例えば光ピックアップ全体の駆動制御
を行う制御部（図示せず）によって駆動制御されるよう
になっている。

【００１６】例えば図１に示すように、制御部による支
持駆動部の駆動制御によって該ガルバノミラー５を図１
中に示す矢印Ａの＋方向に駆動すると、入射されたレー
ザー光Ｃは対物レンズ６ａを通って記録媒体７ａに集光
するレーザ光Ｄとなるように反射し、また図１中に示す
矢印の一方向に駆動すると、前記レーザー光Ｃは対物レ
ンズ６ｂを通って記録媒体７ｂに集光するレーザ光Ｅと
なるように反射して、これら２つのいずれかの光路に選
択することが可能である。

【００１７】また、光ピックアップ１００は、例えば２
つの異なる種類の記録媒体７ａ，７ｂの記録再生が可能
であり、これら２つの記録媒体７ａ，７ｂは該ピックア
ップ１００に対して図１のように所定の位置に装着され
るようになっている。記録媒体７ａと記録媒体７ｂとは
基板厚が異なり、本例の場合では、記録媒体７ａの基板
厚が例えばＤＶＤのように薄く、逆に記録媒体７ｂの基
板厚は例えばＣＤのように厚い形状のものが用いられて
いる。

【００１８】前記記録媒体７によって集光され反射され
たレーザ光Ｄまたはレーザ光Ｅは、往路とは逆の経路を
たどり、前記ガルバノミラー５と２つの記録媒体７ａ，
７ｂとの間に介在する対物レンズ６を通ってガルバノミ
ラー５に照射され且つ反射されてた後、再びビームスプ
リッタ３に入射することになる。

【００１９】ビームスプリッタ３は、入射されたレーザ
光Ｄ、またはレーザ光Ｅを、往路とは９０度異なる方向
へと出射し、他のビームスプリッタ８に入射する。

【００２０】このビームスプリッタ８は、入射したレー
ザ光をさらに２つのレーザ光、つまり透過光Ｆと反射光
Ｇとに分離し、透過光Ｆはシリンドリカルレンズ９を通
って光検出器１０に入射される。この光検出器１０は、
入射された透過光Ｆから非点収差法によりフォーカスエ
ラー信号を検出する。一方、反射光Ｇは光検出器１１に
入射され、該光検出器１１はこの反射光Ｇからガルバノ
ミラー５を傾けることによって得られるトラックエラー
信号を検出する。

【００２１】また、記録媒体７からの情報信号は前記光
検出器１１で反射光Ｇの光量を検出することにより検出
されるようになっている。

【００２２】本実施の形態では、前記ガルバノミラー５
の裏面の所定位置には、センサー部１２が配置されてい
る。このセンサー部１２は、光検出器１２ｃとで所定位
置に配置構成することによりその動作，作用が得られる
もので、例えばガルバノミラー５の裏面の反射光を検出
して、ガルバノミラー５の傾き方向と傾き方向とは垂直
の方向との２方向の角度を検出するようになっている。

【００２３】次に、本実施の形態の特徴となるガルバノ
ミラー５の傾きセンサの構成を図２乃至図４を参照しな
がらさらに詳細に説明する。

【００２４】本実施の形態のガルバノミラー５近傍にお
いては、図２に示すように、ガルバノミラー５の裏面側
の所定位置には、上述したセンサー部１２と光検出器１
２ｃとが配置され、さらに、該センサー部１２とガルバ
ノミラー５との間には、レンズ１２ｂが介在している。

【００２５】このような構成において、センサー部１２
に有しているセンサー光源１２ａによって発生した光
は、図２に示すように、レンズ１２ｂを通ることにより
平行光または収束光となり、ガルバノミラー５の裏面に
当たり反射することになる。そして、反射した光は光検
出器１２ｃに入射される。このとき、センサー光源１２
ａと光検出器１２ｃがメカ干渉しないように、ガルバノ
ミラー５ヘの入射角は２０度程度となるようにガルバノ
ミラーを傾けるように、図示しない制御部によってその
傾きが制御される。

【００２６】なお、本実施の形態のセンサー部１２にお
いては、ガルバノミラー５から光検出器１２ｃまでの距
離寸法は６ｍｍ程度であり、異なる記録媒体７ａ，７ｂ
への入射条件はガルバノミラー５をそれぞれ中立位置に
対して＋５度、−５度程度の角度に駆動することにより
実現するように構成している。またそれぞれの記録媒体
７へのトラッキングをするための傾き範囲は＋１／−１
度程度となっている。

【００２７】次に、前記光検出器１２ｃの構成を図３及
び図４を参照しながらさらに詳細に説明する。

【００２８】本実施の形態では、前記センサー部１２に
設けられた光検出器１２ｃの受光素子面を複数面に多分
割して構成したことが特徴である。

【００２９】例えば、図３に示すように光検出器１２ｃ
の受光面１３は８分割に分けられて構成されており、す
なわち、８つの分割された受光面１３ａ〜１３ｈが形成
されている。また、このように形成される受光面１３に
は、上記の如くセンサー光源１２ａから発した光がガル
バノミラー５の裏面で反射して入射されることになる
が、このときの受光面１３に入射する光のスポット径
（図３に示す黒く塗りつぶした円表示）はφ１ｍｍ程度
となっている。つまり、該光検出器１２ｃは、ガルバノ
ミラー５が傾くとき、それぞれの受光面１３ａ〜１３ｈ
により得られた受光量を演算することにより傾き量を検
出する。

【００３０】具体的に説明すると、例えばガルバノミラ
ー５が中立位置にあるとき、入射光のスポットは、図３
に示すように、実線で黒く塗りつぶした円表示で示され
ているが、受光面１３ｂ，１３ｃ，１３ｆ，１３ｇ上に
配置されることになる。

【００３１】この場合、それぞれの受光面１３ａ〜１３
ｈの受光量をａ〜ｈと、検出信号をα１とすると、ガル
バノミラー５の傾きに対して、α１＝｛（ｂ＋ｆ）−
（ｃ＋ｇ）｝／（ｂ＋ｃ＋ｆ＋ｇ）｝が図４に示すよう
に一定範囲内でほぼ線形に変化する特性を有している。

【００３２】例えば、ガルバノミラーが１度傾くとき、
センサー部１２の反射光は２度動き、受光面１３上では
６ｍｍ×ｔａｎ（２度）＝０．２１ｍｍ動くことにな
る。φ１ｍｍのガウシアン分布をもつスポットでは、±
０．４ｍｍ程度まで線形に変化することから、±１．８
度程度の範囲でほぼ線形に変化することになるので、こ
の特性を利用することにより、ガルバノミラー５の傾き
量の検出が可能となる。

【００３３】また、同様にβ１＝｛（ｂ＋ｃ）−（ｆ＋
ｇ）｝／（ｂ＋ｃ＋ｆ＋ｇ）を検出することにより、傾
き方向に対する垂直方向のずれを検出することができ
る。すなわち、ガルバノミラー５が２軸駆動の場合に
は、２軸方向の制御が可能となる。

【００３４】次に、中立位置からガルバノミラー５を−
５度傾けて、記録媒体７ａを記録再生するためのトラッ
キング制御を行う場合の原理について詳細に説明する。

【００３５】通常の４分割の光検出器では、ガルバノミ
ラーが５度傾けた状態であると、スポットが分割線を越
えて検出不可能になるか、検出できてもスポットが大き
くなりすぎて、傾き量に対する検出精度が悪くなってし
まうといった不都合がある。

【００３６】しかしながら、本実施の形態例によれば、
ガルバノミラー５が５度傾いたとき、受光面１３の中立
位置から１ｍｍ程度（反射光：１０度，６ｍｍ×ｔａｎ
（１０度）＝１．０５ｍｍ）の位置に４分割の受光面を
配置することにより、＋５度、−５度傾いたときに中立
位置と同様に傾き量を検出することができる。つまり、
＋５度傾いたとき、スポットは、図３中左側の波線で黒
く塗りつぶした円表示で示されているように受光面１３
ａ，１３ｂ，１３ｅ，１３ｆ上に配置されており、した
がって、α２＝｛（ａ＋ｅ）−（ｂ＋ｆ）｝／（ａ＋ｂ
＋ｅ＋ｆ）｝を演算することにより、ガルバノミラーの
傾き量を検出することができる。こうして、高精度に求
められた検出結果は、図示しない制御部に供給され、こ
れを受け制御部はこの検出結果に基づきガルバノミラー
５がトラッキングを行うのに必要な傾きとなるように支
持駆動部を制御する。

【００３７】また、ガルバノミラー５が−５度傾いて、
記録媒体７ｂを記録再生するためのトラッキング制御を
行うものとする。この場合も同様に、図３中右側の波線
で黒く塗りつぶした円表示で示されているように受光面
１３ｃ，１３ｄ，１３ｇ，１３ｈ上にあるスポットに対
して、α３＝｛（ｃ＋ｇ）−（ｄ＋ｈ）｝／（ｃ＋ｄ＋
ｇ＋ｈ）｝を演算することにより、ガルバノミラー傾き
量が検出される。そして、同様に制御部は検出結果に基
づきガルバノミラー５がトラッキングを行うのに必要な
傾きとなるように支持駆動部を制御する。

【００３８】また、それぞれβ２＝｛（ａ＋ｂ）−（ｅ
＋ｆ）｝／（ａ＋ｂ＋ｅ＋ｆ）｝、β３＝｛（ｃ＋ｄ）
−（ｇ＋ｈ）｝／（ｃ＋ｄ＋ｇ＋ｈ）｝を検出すること
により、上述したように傾き方向に対する垂直方向の傾
き量をそれぞれ検出することができ、２軸駆動のガルバ
ノミラーの検出、制御が可能となる。これにより、広範
囲で高精度なガルバノミラー５の制御を行うことができ
る。

【００３９】（効果）したがって、本実施の形態によれ
ば、傾きセンサを構成する光検出器として、受光素子面
が複数面に多分割して構成された光検出器１２ｃを用い
ることにより、ガルバノミラー５の角度検出範囲が広く
また高精度な検出が可能で２次元の検出にも対応できる
傾きセンサーを備えたをガルバノミラーの実現が可能と
なる。

【００４０】第２の実施の形態： （構成及び作用）図５乃至図７は本発明のガルバノミラ
ーの第２の実施の形態を示し、図５及び図６は本発明の
ガルバノミラーを適用した光スイッチの概略的な構成図
を示す構成図であり、図７は本実施の形態における傾き
センサーの光検出器の詳細な構成を示す構成図である。

【００４１】本実施の形態では、本発明のガルバノミラ
ーを光スイッチ用として光スイッチに適用し、該ガルバ
ノミラー傾きにより光ファイバーのスイッチングを行う
ように構成したことが特徴である。

【００４２】図５に示すように、入力光ファイバーユニ
ット２１は、光ファイバー２１Ａとレンズ２１Ｂからな
り、光ファイバー２１Ａを通る光線はレンズ２１Ｂで平
行光、または収束光となる。なお、この光ファイバーユ
ニット２１より出射される光線Ｈには情報を備えてい
る。

【００４３】その後、光ファイバーユニット２１より出
射した情報を持つ光線Ｈは、ガルバノミラー２２で反射
される。すると、反射光の光線Ｉは他の出力光ファイバ
ーユニット２３に入射されることになる。

【００４４】出力光ファイバーユニット２３は、前記入
力光ファイバーユニット２１と同様に、光ファイバー２
３Ａとレンズ２３Ｂからなり、レンズ２３Ｂに入射した
光線は収束して光ファイバー２３Ａに入射されるように
なっている。

【００４５】本実施の形態では、出力光ファイバーユニ
ット２３は、縦横３×３列の９個のファイバーユニット
２３ａ〜２３ｉ（図６参照：上列が２３ａ〜２３ｃ，中
列が２３ｄ〜２４ｆ，下列が２３ｇ〜２３ｉ）を含んで
構成されている。

【００４６】ガルバノミラー２２を２軸方向に傾くこと
により、光線Ｉａ〜Ｉｉはそれぞれの出力光ファイバー
ユニット２３ａ〜２３ｉに入射することになる。つま
り、ガルバノミラー２２の傾き動作を利用することによ
り、光ファイバのスイッチングを行うようにしている。
また、この場合の、ガルバノミラー２２の傾き量は傾き
センサー２４により検出され、この検出結果に基づき図
示しない制御部によって該ガルバノミラー２２内に設け
られた支持駆動部が制御されることにより、ガルバノミ
ラー２２によるスイッチングが実行される。

【００４７】本実施の形態の傾きセンサー２４の構成
は、前記第１実施の形態とほぼ同じであり、光検出器２
５のみの構成が異なっている。この光検出器の詳細な構
成が図７に示されている。

【００４８】図７に示すように、光検出器２５の受光面
２６は、１６分割に分けられて構成されており、すなわ
ち、１６の分割された受光面２６ａ〜２６ｐが形成され
ているいる。また、受光面２６に入射する光スポット２
７は、ガルバノミラー２２が２軸方向に傾いて光線Ｈが
反射して光線Ｉａ〜Ｉｉになるとき、それぞれ図７に示
す光スポット２７ａ〜２７ｉの対応する位置に入射され
ることになる。

【００４９】よって、本実施の形態においても、前記第
１実施の形態と同様に、それぞれの光スポット２７ａ〜
２７ｉが入射する４つの受光面２６に対して、Ｘ方向の
差分αとＹ方向の差分βを検出することにより、ガルバ
ノミラー２２の２軸方向の傾き量を検出することが可能
となる。これにより、ガルバノミラー２２の傾き制御を
２次元で、広範囲かつ高精度に行うことができる。

【００５０】（効果）したがって、本実施の形態によれ
ば、本発明のガルバノミラーを光スイッチング用として
光スイッチに適用して構成した場合でも、前記第１の実
施の形態とほぼ同様に効果を得ることが可能となる。こ
れにより、本発明は光ピックアップだけでその効果を得
られるものではなく、光通信に用いられる光偏向、また
は上記実施の形態の如く光スイッチング用として光スイ
ッチに適用した場合でも効果を得ることが可能となり、
機器性能の向上化はもとより、使用範囲の拡大化を図る
ことができ、さらには簡単な構成で実施可能であるので
低コスト化にも大きく寄与する。

【００５１】［付記項］ （付記項１） 少なくともミラーを有する可動部と、前
記可動部を傾ける支持駆動手段と、前記ミラーの傾きを
検出する傾きセンサーとを有するガルバノミラーにおい
て、前記傾きセンサーは、前記可動部に光を投射する光
源と、前記可動部手段からの反射光を受光する光検出器
とを有し、前記光検出器の受光面を少なくとも１方向に
複数分割して構成したことを特徴とするガルバノミラ
ー。

【００５２】（付記項２） 前記光検出器は、前記複数
分割してなる複数の受光面の内、少なくとも３つの受光
領域に対応した受光面のそれぞれの受光量を用いること
により、前記ミラーの傾きを検出することを特徴とする
付記項１に記載のガルバノミラー。

【００５３】（付記項３） 前記光検出器は、該受光面
を９個に分割して構成したことを特徴とする付記項１に
記載のガルバノミラー。

【００５４】（付記項４） 前記光検出器は、前記方向
と直行する方向に少なくとも２分割されていることを特
徴とする付記項１に記載のガルバノミラー。

【００５５】（付記項５） 前記光検出器は、該受光面
を１６個に分割して構成したことを特徴とする付記項１
に記載のガルバノミラー。

【００５６】（付記項６） 前記付記項１乃至５のいず
れかのガルバノミラーを搭載した機器において、該機器
の動作制御を行う制御手段は、前記傾きセンサからの角
度検出結果に基づき前記支持駆動手段を制御することに
より、必要な動作を行うためのガルバノミラーの駆動を
制御することを特徴とする付記項１乃至付記項５のいず
れかひとつに記載のガルバノミラー。

【００５７】

【発明の効果】以上、述べたように本発明によれば、多
分割に分割された受光素子を用いることにより、検出範
囲が広くまた高精度な角度検出が可能で２次元の検出に
も対応できる傾きセンサーを備えたガルバノミラーの実
現が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のガルバノミラーの第１の実施の形態を
示し、本発明が適用される光ピックアップの概略的な構
成を示す構成図。

【図２】図１に示す傾きセンサーの全体構成を示す構成
図。

【図３】図２に示す光検出器の詳細な構成を示す構成
図。

【図４】ガルバノミラーの駆動動作に対する検出信号の
変化を示す特性図。

【図５】本発明のガルバノミラーの第２の実施の形態を
示し、本発明が適用された光スイッチの概略的な構成を
示す構成図。

【図６】図７の光スイッチのガルバノミラー部分の主要
構成を示す構成図。

【図７】図７の傾きセンサーの光検出器の詳細な構成を
示す構成図。

【符号の説明】

１００…光ピックアップ、 １…ＬＤ、 ２…コリメータレンズ、 ３，８…ズームスプリッタ、 ４，１０，１１…光検出器、 ５…ガルバノミラー、 ６ａ，６ｂ…対物レンズ、 ７ａ，７ｂ…記録媒体、 ９…シリンドリカルレンズ、 １２…センサー部（傾きセンサ）、 １２ａ…センサー光源、 １２ｂ…レンズ、 １２ｃ…光検出器、 １３…受光面。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくともミラーを有する可動部と、前
   記可動部を傾ける支持駆動手段と、前記ミラーの傾きを
   検出する傾きセンサーとを有するガルバノミラーにおい
   て、 前記傾きセンサーは、前記可動部に光を投射する光源
   と、前記可動部手段からの反射光を受光する光検出器と
   を有し、前記光検出器の受光面を少なくとも１方向に複
   数分割して構成したことを特徴とするガルバノミラー。
2. 【請求項２】 前記光検出器は、前記複数分割してなる
   複数の受光面の内、少なくとも３つの受光領域に対応し
   た受光面のそれぞれの受光量を用いることにより、前記
   ミラーの傾きを検出することを特徴とする請求項１に記
   載のガルバノミラー。
3. 【請求項３】 前記光検出器は、前記方向と直行する方
   向に少なくとも２分割されていることを特徴とする請求
   項１に記載のガルバノミラー。