JP2002151100A

JP2002151100A - 電気化学装置

Info

Publication number: JP2002151100A
Application number: JP2000349044A
Authority: JP
Inventors: Shinji Kawasaki; 真司川崎; Kiyoshi Okumura; 清志奥村; Shigenori Ito; 重則伊藤; Takashi Ryu; 崇龍
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 2000-11-16
Filing date: 2000-11-16
Publication date: 2002-05-24

Abstract

(57)【要約】【課題】電気化学セルの集積密度および空間の利用効率
を高め、起動や停止時の昇降温に伴うセルの膨張・収縮
による応力を低減する。【解決手段】電気化学装置は、周壁部、周壁部の内側に
設けられている固体電解質層１５、固体電解質層１５の
一方の面側に設けられている複数個の第一の電極１６Ａ
−１６Ｊ、固体電解質層の他方の面側に設けられてお
り、各第一の電極と共にそれぞれ電気化学セルを構成し
ている複数個の第二の電極を備えている。周壁部の近傍
領域に第一のガスの供給孔３Ａ、第一のガスの排出孔３
Ｂ、第二のガスの供給孔４Ａおよび第二のガスの排出孔
４Ｂが設けられている。固体電解質層の一方の面１４ａ
側に供給孔３Ａおよび排出孔３Ｂに連通する第一のガス
通路１３Ａ、１３Ｂが形成されている。固体電解質層の
他方の面１４ｂ側に供給孔４Ａおよび排出孔４Ｂに連通
する第二のガス通路１８Ａ、１８Ｂが形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電気化学セルを複
数備えた一体型の電気化学装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】特開平１−１２８３５９号公報に記載の
固体電解質型燃料電池においては、ジルコニア製の薄板
の一方の面に燃料極を形成し、他方の面に酸素極を形成
し、このジルコニアの薄板と、中空のセラミックス絶縁
体板とを交互に積層する。これによって、密閉した酸素
室と燃料室とを交互に有する多層セル構造を形成してい
る。そして、この多層セル構造中に、燃料室に燃料を供
給するためのスルーホールと、酸素室に酸素を供給する
ためのスルーホールとを形成している。また、セラミッ
クス絶縁体層中にスルーホール導電体を形成し、これに
よって複数の単電池を並列接続している。また、特開平
１−１２８３６６号公報にも、これと類似の固体電解質
型燃料電池が記載されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】こうしたタイプの固体
電解質型燃料電池は、単位体積当たりの発電量が理論的
には高くなるはずである。また、酸素室、酸素供給用ス
ルーホール、燃料室、燃料供給用スルーホール、単電池
の並列接続用のスルーホール導電体を、一体焼結によっ
て生成させるものである。従って、酸素室、燃料室や酸
素、燃料の供給手段の気密性保持や、各単電池の各電極
の電気的接続について、面倒な問題が少ないはずである
と考えられる。

【０００４】しかし、こうした発電装置においては、燃
料及び空気はセルの内部を通過し、発電に利用された
後、投入口とは反対側にある場所に設置された排出口か
ら排出されていた。この場合には、燃料および空気の供
給孔、排出孔をシールし、燃料と空気のリークを押さえ
る必要がある。燃料と空気が混じると、その場で燃焼が
起き、発電に利用できる燃料をロスするうえ、燃焼によ
り発生した熱により局所的にセルが加熱され、熱応力に
よる割れが生じる可能性がある。従来の方法では、供給
孔と排出孔の２カ所をシールするため、装置全体がリジ
ッドに固定され、自由度が減少する。その結果、起動や
停止時の昇降温に伴うセルの膨張・収縮による応力が原
因となり、クラックが生ずるおそれがある。

【０００５】本発明の課題は、電気化学セルの集積密度
および空間の利用効率を高くし、起動や停止時の昇降温
に伴うセルの膨張・収縮による応力を低減することであ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明に係る電気化学装
置は、周壁部、周壁部の内側に設けられている固体電解
質層、固体電解質層の一方の面側に設けられている複数
個の第一の電極、固体電解質層の他方の面側に設けられ
ており、各第一の電極と共にそれぞれ電気化学セルを構
成している複数個の第二の電極を備えており、周壁部の
近傍領域に第一のガスの供給孔、第一のガスの排出孔、
第二のガスの供給孔および第二のガスの排出孔が設けら
れており、第一のガスの供給孔および第一のガスの排出
孔に連通する第一のガス通路が固体電解質層の一方の面
側に形成されており、第二のガスの供給孔および第二の
ガスの排出孔に連通する第二のガス通路が固体電解質層
の他方の面側に形成されていることを特徴とする。

【０００７】このように、周壁部に内蔵した固体電解質
層に、複数の電気化学セルを形成し、これら複数のセル
の一方の側に第一のガス通路を形成し、他方の側に第二
のガス通路を形成し、周壁部の一方の端部に各ガス通路
の供給孔と排出孔とを集めることを想到した。これによ
って、電気化学セルの空間的な密度を高めることができ
る。これと共に、電気化学装置の一方の端部付近を保持
し、一方の端部側で第一のガスと第二のガスとを気密に
シールすることができる。このように、装置の一方の端
部のみを保持することによって、装置の他方の端部側は
開放されていることから、装置全体、特にその周壁部が
膨張、収縮しても、その膨張、収縮によって周壁部に過
大な応力が加わることはない。

【０００８】以下、図面を適宜参照しつつ、本発明を更
に詳細に説明する。

【０００９】図１（ａ）は、本発明の好適実施形態に係
る装置１Ａの外観を示す斜視図であり、図１（ｂ）は装
置１Ｂの斜視図である。装置１Ａの一方の端部１ａ側の
端面５に、第一のガスの供給孔３Ａ、排出孔３Ｂ、第二
のガスの供給孔４Ａ、排出孔４Ｂが開口している。Ａ、
Ｂは第一のガスの流れであり、Ｃ、Ｄは第二のガスの流
れである。１ｂは他方の端部である。２Ａはスルーホー
ル導電体である。装置１Ｂにおいては、一方の端部１ａ
側の端面５に第二のガスの供給孔４Ａ、排出孔４Ｂが開
口しており、主面６に第一のガスの供給孔３Ａおよび排
出孔３Ｂが開口している。

【００１０】本発明においては、各ガスの供給孔および
排出孔は、近傍領域にある必要がある。これは、一つの
マニホールドによって保持およびガス分離が可能なほど
に接近して位置していることを意味しており、その接近
の度合いは当業者であれば理解できる。しかし、一般的
には、それぞれの間隔が２０ｍｍ以内であることが好ま
しい。

【００１１】また、好適な実施形態においては、装置の
周壁部が細長い形状を有しており、各ガスの供給孔およ
び排出孔が周壁部の一方の端部側にある。ここで、細長
いとは、縦横比率が３倍以上の形状を指しており、５倍
以上であることが更に好ましい。また、各ガスの供給孔
および排出孔が周壁部の一方の端部側にあるとは、図１
（ａ）のように端部の端面５内にある場合の他、図１
（ｂ）に示すように端部の端面以外の領域にある場合を
含む。後者の場合には、各供給孔および排出孔が、末端
面から２０ｍｍ以内にあることが好ましい。

【００１２】図２は、装置１Ａの各部品を示す平面図で
あり、図３は、固体電解質層１４を第一の電極側から見
た平面図であり、図４は、固体電解質層１４を第二の電
極側から見た平面図であり、図５は、図３においてＶ−
Ｖ線に沿って切ってみた縦断面図であり、図６は、図３
においてＶＩ−ＶＩ線に沿って切ってみた縦断面図であ
り、図７は、図３においてＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿って切
ってみた横断面図であり、図８は、図３においてＶＩＩ
Ｉ−ＶＩＩＩ線に沿って切ってみた横断面図である。

【００１３】この装置は、複数の電気化学セル２５を備
えた機能部２４と、機能部２４を包囲する周壁部２３と
からなる。装置の全体は、例えばグリーンシート積層法
によって作製されている。

【００１４】図２は、各層状部分の構成を示す。装置１
Ａは、平板形状の隔壁部１１、通路成形部１２、複数の
セルが形成されたセル層１４、通路成形部１７および隔
壁部１９を備えている。

【００１５】セル層１４は、固体電解質層１５を備えて
いる。固体電解質層１５の一方の面１５ａ上面側には、
主として図３に示すように、第一の電極１６Ａ、１６
Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄ、１６Ｅ、１６Ｆ、１６Ｇ、１６
Ｈ、１６Ｉ、１６Ｊが形成されている。固体電解質層１
５の他方の面１５ｂ側には、図４に示すように、第二の
電極２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ、２０Ｅ、２０
Ｆ、２０Ｇ、２０Ｈ、２０Ｉ、２０Ｊが形成されてい
る。

【００１６】通路成形部１２と固体電解質層１４とによ
って、第一のガス通路１３Ａ、１３Ｂが形成されてい
る。通路成形部１２の中央には、装置の長手方向に延び
る隔壁１２ａが形成されており、これによって細長い２
つの通路１３Ａ、１３Ｂが成形されている。１３Ａが往
路であり、１３Ｂが復路である。電極１６Ａ−１６Ｅは
往路１３Ａに面しており、電極１６Ｆ−１６Ｊは復路１
３Ｂに面している。

【００１７】通路成形部１７と固体電解質層１４とによ
って、第二のガス通路１８Ａ、１８Ｂが形成されてい
る。通路成形部１７の中央には、装置の長手方向に延び
る隔壁１７ａが形成されており、これによって細長い２
つの通路１８Ａ、１８Ｂが成形されている。１８Ａが往
路であり、１８Ｂが復路である。電極２０Ａ−２０Ｅは
往路１８Ａに面しており、電極２０Ｆ−２０Ｊは復路１
８Ｂに面している。

【００１８】第一のガスは、供給孔３Ａから入り、往路
１３Ａ、復路１３Ｂを通り、排出孔３Ｂから排出され
る。第二のガスは、供給孔４Ａから入り、往路１８Ａ、
復路１８Ｂを通り、排出孔４Ｂから排出される。

【００１９】各第一の電極１６Ａ−１６Ｊは、固体電解
質層１５を挟んで各第二の電極２０Ａ−２０Ｊと対向し
ており、これによって各セル２５を構成している。そし
て、固体電解質層１５を貫通するスルーホール導電体２
２が、隣接するセル２５間に形成されている。そして、
あるセル２５の一方の電極が、隣接するセルの他方の電
極に対して、スルーホール導電体２２を介して接続され
ている。

【００２０】本装置を固体電解質型燃料電池に適用した
場合について、電気的接続および発電の態様を説明す
る。まず、特に図５に示すように、スルーホール導電体
２Ａ、２Ｂおよび２Ｃは接続されている。最も下にある
スルーホール導電体２Ｃは、第二の電極２０Ａに接続さ
れている。そして、往路においては、電極２０Ａ、２０
Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ、２０Ｅが、それぞれ電極１６Ａ、
１６Ｂ、１６Ｃ、１６Ｄ、１６Ｅと各単電池２５を構成
する。各セル２５の電極１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、１６
Ｄは、それぞれ隣接するセルの電極２０Ｂ、２０Ｃ、２
０Ｄ、２０Ｅに対して、スルーホール導電体２２を介し
て接続されている。往路の末端のセルの電極１６Ｅは、
復路のセルの電極２０Ｆに対して、図示しないスルーホ
ール導電体を介して接続されている。

【００２１】復路においては、図６に示すように、電極
２０Ｆ、２０Ｇ、２０Ｈ、２０Ｉ、２０Ｊが、それぞれ
電極１６Ｆ、１６Ｇ、１６Ｈ、１６Ｉ、１６Ｊと各単電
池２５を構成する。各セル２５の電極１６Ｆ、１６Ｇ、
１６Ｈ、１６Ｉは、それぞれ隣接するセルの電極２０
Ｇ、２０Ｈ、２０Ｉ、２０Ｊに対して、スルーホール導
電体２２を介して接続されている。復路の末端のセルの
電極１６Ｊは、図８に示すように、周壁部内のスルーホ
ール導電体２Ｄ、２Ｅ、２Ｆを介して、図示しない外部
端子に接続されている。

【００２２】こうした装置によれば、セルの集積効率を
高くし、例えば発電量を著しく向上させるのと共に、装
置の一端のみを保持することで、第一のガスと第二のガ
スとを気密に分離できる。

【００２３】以下、本発明の好適な実施形態について、
更に説明する。

【００２４】好ましくは、電気化学セルを構成する固体
電解質層と周壁部とを同種のセラミック固体電解質材料
によって形成し、一体化させる。これによって、同種の
固体電解質材料からなる一体の構造体を生成させる。例
えば熱応力が加わったときには、この構造体が、全体と
して一つの骨格として作用し、構造体の各部分がほぼ同
じように変形する。

【００２５】このような構造体に熱サイクルが加わわる
と、固体電解質層上の各電極は、固体電解質層の熱膨
張、収縮に追従して変形する。これと同時に、周壁部内
のスルーホール導電体は、周壁部の熱膨張、収縮に追従
して変形する。この際、周壁部と各固体電解質層とを前
記したように一体の同種材料からなる骨格として形成す
ることで、固体電解質層上の各電極とスルーホール導電
体の端面との位置ズレがほとんどなくなる。特に、図５
において、矢印Ａで示すような、電極の面内方向におけ
る位置ずれを消去できる。

【００２６】周壁部を構成するセラミック固体電解質材
料と固体電解質層を構成する材料とが同種であるとは、
その基本成分が同じであることを意味している。複数の
基本成分がある場合には、複数の基本成分が同じであれ
ば、各基本成分の構成比率が異なっていたとしても、や
はり同種のセラミックスであると言える。また、少量の
ドープ成分については異動があっても差し支えない。基
本組成が同じであれば、一体焼結後には、周壁部と固体
電解質層とのセラミックス組織が連続し、継ぎ目は消失
するからである。

【００２７】好ましくは、周壁部のセラミックス組織と
固体電解質層のセラミックス組織とが微視的に見て連続
しており、継ぎ目が見えない。

【００２８】本発明の好適な実施形態においては、固体
電解質層を貫通するスルーホール導電体２２を設け、固
体電解質層において各電気化学セルの第一の電極とこれ
と隣り合う電気化学セルの第二の電極とを、固体電解質
層を貫通するスルーホール導電体２２によって直接接続
する。

【００２９】このように、１枚の固体電解質層において
複数の電気化学セルを直列接続することで、例えば取り
出し電圧を増大させることができ、その分電流値を低減
させることができる。この結果、周壁部内のスルーホー
ル導電体２Ａ−２Ｆと各電極の端面との接合部分を流れ
る電流値を一層低減することができ、これによって接合
部分での界面抵抗によって発生する電圧の損失を一層低
減できる。

【００３０】本発明の電気化学セルは、固体電解質型燃
料電池の他、酸素ポンプや高温水蒸気電解セルとして使
用できる。このセルは、水素の製造装置に使用でき、ま
た水蒸気の除去装置に使用できる。更に、本発明のセル
を、ＮＯｘの分解セルとして使用できる。

【００３１】本発明においては、固体電解質層１５を備
えたセル層１４を複数層積層することができ、これによ
って一層セルの集積効率が上がる。この場合には、上下
方向に見て隣接する第一のガス通路と第二のガス通路と
を、セル層によって分離できる。

【００３２】第一のガスと第二のガスは、同じであって
も、異なっていてもよい。その種類は、酸化性ガス、還
元性ガス、不活性ガスなどがあり、用途によって好まし
い実施形態がある。

【００３３】燃料電池の場合には、第一のガスが酸化性
ガスであり、第二のガスが還元性ガスである。酸化性ガ
スとしては、空気や酸素などがある。また、還元性ガス
としては、水素やメタン、一酸化炭素などを含むガスを
例示できる。燃料電池では、第一の電極が電位が高く、
陽極であり、第二の電極は電位が低く、陰極である。こ
の場合の第一の電極はカソード、第二の電極はアノード
の働きをする。

【００３４】更に、酸素ポンプの場合には、第一、第二
のガスは酸化性であっても、還元性ガスであってもよ
い。たとえば、第一のガスは空気や酸素であり、第二の
ガスが酸素を注入される側のプロセスガスであり、不活
性ガスなどを例示できる。この場合、第一の電極は陰極
でカソードとして働き、また、第二の電極は陽極でアノ
ードとして働く。

【００３５】また、ＮＯｘ分解装置や水蒸気除去装置の
場合、第一のガスは、不活性ガスや空気である。第二の
ガスは、ＮＯｘや水蒸気を含むプロセスガスであり、各
種内燃機関の排ガスの他、不活性ガスや水素、メタンで
ある。この場合、第一の電極は陰極でカソードとして働
き、また、第二の電極は陽極でアノードとして働く。

【００３６】周壁部を構成するセラミックスと、固体電
解質層を構成するセラミックスとの間で、ドープ成分が
異なっている場合には、異なっているドープ成分の重量
比率は全体の１０重量％以下であることが好ましい。

【００３７】固体電解質材料としては、イットリア安定
化ジルコニア、イットリア部分安定化ジルコニア、酸化
セリウム系セラミックスの他、スカンジア安定化ジルコ
ニア、イッテルビア安定化ジルコニア、ランタンガレー
トを例示できる。

【００３８】陽極の主原料は、ランタンを含有するペロ
ブスカイト型複合酸化物であることが好ましく、ランタ
ンマンガナイト又はランタンコバルタイトであることが
更に好ましく、ランタンマンガナイトが一層好ましい。
ランタンマンガナイトは、ストロンチウム、カルシウ
ム、クロム、コバルト、鉄、ニッケル、アルミニウム等
をドープしたものであってよい。

【００３９】陰極の主原料は、ニッケル、酸化ニッケ
ル、ニッケル─ジルコニア混合粉末、酸化ニッケル─ジ
ルコニア混合粉末、パラジウム、白金、パラジウム−ジ
ルコニア混合粉末、白金─ジルコニア混合粉末、ニッケ
ル−セリア、酸化ニッケル−セリア、パラジウム−セリ
ア、白金−セリアの各混合粉末等が好ましい。

【００４０】スルーホール導電体の材質は、鉄、コバル
ト、ニッケル、銅、アルミニウム、珪素、金、銀、白
金、パラジウム、ルテニウム、モリブデン、タングステ
ンなどの金属、ランタンクロマイト、ランタンコバルタ
イト、ランタンマンガナイトなどの導電性セラミック
ス、前記した金属とセラミックスとの複合材料、前記し
た導電性セラミックスとセラミックスとの複合材料が好
ましい。

【００４１】本発明の電気化学装置の製造方法は限定さ
れないが、生産性の観点からは、グリーンシート積層法
によって製造することが特に好ましい。この際には、図
２に示すような各層を、ドクターブレード法、プレス
法、押し出し法等によって成形して各グリーンシートを
作製し、これを積層し、焼結させる。

【００４２】成形の際に使用できる有機バインダーとし
ては、ポリメチルアクリレート、ニトロセルロース、ポ
リビニルアルコール、メチルセルロース、エチルセルロ
ース、スターチ、ワックス、アクリル酸ポリマー、メタ
クリル酸ポリマーを例示できる。造孔材としては、セル
ロース、カーボン、アクリルパウダー等を例示できる。

【００４３】図１−図８を参照しつつ説明した装置１Ａ
を製造し、発電試験を行った。ただし、固体電解質層は
８ｍｏｌ％イットリア安定化ジルコニアによって形成
し、第二の電極はニッケル−ジルコニアサーメットによ
って形成し、第一の電極はランタンストロンチウムマン
ガマイトによって形成した。第二のガスとして４％ H₂
（残部窒素）を流し、第一のガスとして空気を流した。
周壁部の寸法は、２００ｍｍ×２０ｍｍ×１ｍｍであ
る。３００℃／時間の速度で１０００℃まで昇温した。
１０００℃に達した後、第二のガスを加湿水素に切り替
え、４時間発電を行った。発電終了後、３００℃／時間
の速度で室温まで降温した。以上のサイクルを４回行っ
た。第一のガス、第二のガスの排出孔を気密にシール
し、それぞれ０．５ａｔｍの圧力でアルゴンガスを供給
孔から導入し、リークの有無う調べた。４サイクル後も
リークは認められず、装置の気密性に劣化は見られな
い。

【００４４】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、電
気化学セルの集積密度および空間の利用効率が高い上、
起動や停止時の昇降温に伴うセルの膨張・収縮による応
力を低減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、電気化学装置１
Ａ、１Ｂの外観を示す斜視図である。

【図２】装置１Ａの各部品を示す平面図である。

【図３】固体電解質層１５を第一の電極側から見た平面
図である。

【図４】固体電解質層１５を第二の電極側から見た平面
図である。

【図５】図３においてＶ−Ｖ線に沿って切ってみた縦断
面図である。

【図６】図３においてＶＩ−ＶＩ線に沿って切ってみた
縦断面図である。

【図７】図３においてＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿って切って
みた横断面図である。

【図８】図３においてＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿って切
ってみた横断面図である。

【符号の説明】

１Ａ、１Ｂ電気化学装置２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、
２Ｄ、２Ｅ、２Ｆ周壁部２３内のスルーホール導電体
３Ａ第一のガスの供給孔３Ｂ第一
のガスの排出孔４Ａ第二のガスの供給孔４
Ｂ第二のガスの排出孔５周壁部の端面
６装置の主面１１、１９隔壁部１２、１７通路成形部
１２ａ、１７ａ往路と復路とを区分する隔壁
１３Ａ第一のガス通路の往路１３Ｂ第一
のガス通路の復路１４セル層１５
固体電解質層１６Ａ−１６Ｊ第一の電極１８Ａ第二のガ
ス通路の往路１８Ｂ第二のガス通路の復路２０Ａ−２０Ｊ
第二の電極２３周壁部２４機能部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者伊藤重則愛知県名古屋市瑞穂区須田町２番56号日本碍子株式会社内 (72)発明者龍崇愛知県名古屋市瑞穂区須田町２番56号日本碍子株式会社内Ｆターム(参考） 5H026 AA06 CV02 CV05

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】周壁部、この周壁部の内側に設けられてい
る固体電解質層、前記固体電解質層の一方の面側に設け
られている複数個の第一の電極、前記固体電解質層の他
方の面側に設けられており、前記の各第一の電極と共に
それぞれ電気化学セルを構成している複数個の第二の電
極を備えている電気化学装置であって、前記周壁部の近傍領域に第一のガスの供給孔、第一のガ
スの排出孔、第二のガスの供給孔および第二のガスの排
出孔が設けられており、前記第一のガスの供給孔および
前記第一のガスの排出孔に連通する第一のガス通路が前
記固体電解質層の前記一方の面側に形成されており、前
記第二のガスの供給孔および前記第二のガスの排出孔に
連通する第二のガス通路が前記固体電解質層の前記他方
の面側に形成されていることを特徴とする、電気化学装
置。
【請求項２】前記第一のガス通路に沿って前記電気化学
セルが配列されていることを特徴とする、請求項１記載
の装置。
【請求項３】隣接する前記電気化学セルが、前記固体電
解質層を貫通するスルーホール導電体によって接続され
ていることを特徴とする、請求項１または２記載の装
置。
【請求項４】前記周壁部が前記固体電解質層と同種のセ
ラミック固体電解質からなることを特徴とする、請求項
１−３のいずれか一つの請求項に記載の装置。
【請求項５】前記周壁部のセラミックス組織と前記固体
電解質層のセラミックス組織とが連続していることを特
徴とする、請求項４記載の装置。
【請求項６】前記周壁部にスルーホール導電体が設けら
れており、このスルーホール導電体に少なくとも１つの
前記電気化学セルが接続されていることを特徴とする、
請求項１−５のいずれか一つの請求項に記載の装置。
【請求項７】前記周壁部内に前記固体電解質層を複数枚
備えており、各固体電解質層にそれぞれ複数個の前記電
気化学セルが設けられていることを特徴とする、請求項
１−６のいずれか一つの請求項に記載の装置。
【請求項８】前記周壁部が一方の端部と他方の端部とを
有する細長い形状をしており、前記一方の端部に前記第
一のガスの供給孔、前記第一のガスの排出孔、前記第二
のガスの供給孔および前記第二のガスの排出孔が設けら
れていることを特徴とする、請求項１−７のいずれか一
つの請求項に記載の装置。