JP2002150523A - 磁気ヘッドスライダの製造方法及びロウバーの整列装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 微細なフェムトサイズのスライダを効率的に
量産可能な磁気ヘッドスライダの製造方法を提供するこ
とである。 【解決手段】 磁気ヘッドスライダの製造方法であっ
て、フレームにＵＶテープを貼り付け、ＵＶテープ上に
それぞれ複数の磁気ヘッド素子が一列に形成された複数
のロウバーを整列させて接着する。その後、ＵＶテープ
に接着された各ロウバーを長手方向に切断してダミー部
を除去し、更に個々の磁気ヘッドスライダに切断する。
ＵＶテープに紫外線を照射して該ＵＶテープの粘着性を
低減乃至は消滅させ、個々の磁気ヘッドスライダをピッ
クアップして、パレットに移し変える各ステップを含ん
でいる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は磁気ディスク装置用
の磁気ヘッドスライダの製造方法に関する。

【０００２】近年、磁気ディスク装置においては大容量
化が求められており、それに伴い記憶密度の緻密化が進
んでいる。そのため、磁気ヘッド素子を担持した磁気ヘ
ッドスライダはより微小化が求められており、現在のサ
イズは１．２５×１．０×０．３ｍｍのスライダ（以
下、本明細書ではピコスライダと称する）が主流であ
る。今後スライダの更なる微小化が進み、０．８５×
０．７０×０．２３ｍｍのスライダ（以下、本明細書で
はフェムトスライダと称する）サイズになると予想され
る。

【０００３】

【従来の技術】磁気ヘッドスライダの製造プロセスは、
ヘッド素子がパターニングされたウエハーより、複数の
ヘッド素子が一列に形成されたブロック（ロウバー）の
状態に切断し、その後、ラップ工程及び浮上面形成工程
等を経て個々の磁気ヘッドスライダに切断するのが一般
的である。

【０００４】ラップ工程ではロウバーをセラミック又は
ステンレス鋼等でできたロウツールにワックス等で接着
し、ロウバー単位でラッピングを行なって磁気ヘッド薄
膜の磁気抵抗層やギャップの高さが一定となるように加
工している。その後、ロウバーのラップ加工面に複数の
スライダの浮上面形状が加工される。

【０００５】次いで、別のツールにロウバーを再度接着
して、ロウバーが個々のスライダに切断される。切断後
はワックス等の接着剤を有機溶剤で洗浄し、その後、個
々のスライダがパッケージングされて出荷される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、スラ
イダが今後ますます微小化されるため、磁気ヘッドスラ
イダの製造プロセスの見直しが必要とされている。ウエ
ハーからロウバーを切り出す際や成膜工程の際による残
留応力等によってロウバー自体が変形したり反ったりす
る。

【０００７】よって、ロウバーのサイズを現在のサイズ
よりも小さくすると、ラップ工程や浮上面形成工程で所
望の加工精度が得られないため、ロウバーサイズを現在
のピコスライダのサイズで加工プロセスを進めることが
必要である。そのため、最後のスライダ個片化の際に、
ロウバーをフェムトサイズのスライダに切断する方法の
検討が必要である。

【０００８】現状の個片化方法をフェムトスライダに適
用すると、フェムトスライダはスライダサイズが微小な
ため、スライダを扱うセラミック治具等の部品の成形に
限界があることや、接着用ワックスを洗浄する洗浄治具
の製作の問題や、人によるスライダの取扱が困難である
という問題がある。

【０００９】よって、現状の製造プロセスでフェムトス
ライダを製造するのは非常に困難である。

【００１０】よって、本発明の目的は、微小サイズの磁
気ヘッドスライダを効率良く量産可能な磁気ヘッドスラ
イダの製造方法を提供することである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明によると、磁気ヘ
ッドスライダの製造方法であって、粘着シート上にそれ
ぞれ複数の磁気ヘッド素子が一列に形成された複数のロ
ウバーを整列させて接着し、前記粘着シートに接着され
た前記各ロウバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断
し、前記個々の磁気ヘッドスライダをピックアップす
る、ことを特徴とする磁気ヘッドスライダの製造方法が
提供される。

【００１２】好ましくは、粘着シート上に複数のロウバ
ーを整列させるステップは、各ロウバーの第１基準マー
カーを認識し、フレームの第２基準マーカーを認識し、
第１及び第２基準マーカーの認識結果に基づいてロボッ
トがＸ軸方向に移動する距離を計算するステップを含ん
でいる。必要に応じて、認識結果に基づいてロウバーを
所定角度回転させる。

【００１３】好ましくは、磁気ヘッドスライダの切断ス
テップでは、各ロウバーを完全に切断し、粘着シートを
その厚さの概略半分の深さまで切り込む。

【００１４】本発明の他の側面によると、ロウバーをフ
レームに貼付された粘着シート上に整列させる装置であ
って、Ｙ軸方向に移動可能なＹテーブルと、Ｘ軸方向及
びＹ軸方向に移動可能なＸＹテーブルと、前記Ｙテーブ
ルと前記ＸＹテーブルの間に設けられた各ロウバーの概
略の位置決めを行なう中間位置決めユニットと、前記Ｙ
テーブル上に載置された各ロウバーを前記中間位置決め
ユニットに移載するＸ軸方向及びＺ軸方向に移動可能な
第１のハンドと、前記中間位置決めユニット上に載置さ
れた各ロウバーを前記ＸＹテーブル上に載置された、前
記フレームに貼付された粘着シート上に整列させる、Ｘ
軸方向及びＺ軸方向に移動可能な第２のハンドと、を具
備したことを特徴とする装置が提供される。

【００１５】好ましくは、整列装置は各ロウバーの第１
基準マーカーを認識する第１カメラと、フレームの第２
基準マーカーを認識する第２カメラと、第１及び第２基
準マーカーの認識結果に基づいて第２ハンドの移動距離
を計算する演算手段を更に含んでいる。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１を参照すると、本発明の磁気
ヘッドスライダの製造方法に使用するのに適したＵＶテ
ープ貼り付け機２の正面図が示されている。本明細書で
使用する“ＵＶテープ”という用語は、粘着力が紫外線
の照射により減少乃至は消滅する粘着テープという意味
で使用する。

【００１７】ＵＶテープ４はテープ供給ローラ６から供
給され、巻取りローラ８で巻き取られる。ＵＶテープ４
の保護フィルム１０は供給ローラ６からＵＶテープ４が
送り出された直後にはがされ、保護フィルムローラ１２
により巻き取られる。

【００１８】ステージ１４は上下方向に移動可能であ
り、金属フレーム１６が載置される。保護フィルム１０
が上流側ではがされているため、ステージ１４の上方で
はＵＶテープ４の粘着層が露出している。

【００１９】ステージ１４を上昇させ、上部に配置され
た密着ローラ１８を金属フレーム１６に沿って回転させ
ることにより、金属フレーム１６にＵＶテープ４を貼り
付ける。

【００２０】その後、テープカッター２０を下降させ、
図２（Ａ）に示すように金属フレーム１６に沿ってテー
プカッター２０を回転させてＵＶテープ４の余分な部分
をカットする。

【００２１】次いで、はがしローラ２２が図１で左方向
に移動し、余分な部分のテープを金属フレーム１６から
はがすことにより、図２（Ｂ）に示すように金属フレー
ム１６にＵＶテープ４が貼り付けられる。

【００２２】図２（Ａ）で符号５はＵＶフレーム４をカ
ットした後の穴を示している。ＵＶテープ４のテンショ
ンは、巻取りローラ８を前後に移動することにより調整
する。金属フレームに換わり樹脂フレーム等も採用可能
である。

【００２３】次に、フレーム１６に貼られたＵＶテープ
４上に複数の磁気ヘッド素子が一列に形成されたロウバ
ーを一定の間隔で整列させていく。このロウバーの整列
には、図３及び図４に示すようなロウバー整列機２４が
使用される。

【００２４】ロウバー整列機２４のガイドレール２６に
はＸ軸方向に移動可能に第１ハンド２８及び第２ハンド
３０が取り付けられている。図４に示すように、第１及
び第２ハンド２８，３０はそれぞれ上下動作用のアクチ
ュエータ３２を有しており、アクチュエータ３２により
吸着部３４が上下方向（Ｚ軸方向）に移動される。

【００２５】第１及び第２ハンド２８，３０は、ロウバ
ーを真空吸着する際や解放する際に、ロウバーを折った
り傷付けたりしないように、スプリングを利用したダン
パー３６をそれぞれ有している。第２ハンド３０は更
に、図５に示すようにロウバーをＸ軸に平行に保つため
の角度θを補正するθ補正用モータ３８を有している。

【００２６】４０はＹ軸方向に移動可能なＹテーブルで
あり、Ｙテーブル４０上には複数のロウバー４５が所定
間隔で置かれた前工程用の治具４２が搭載されている。
第１ハンド２８によりＹテーブル４０上に搭載された治
具４２からロウバー４５を一本ずつ取りだし、中間位置
決めユニット４４に移載する。中間位置決めユニット４
４ではロウバー４５の概略的位置決めを行なう。

【００２７】図６はロウバー４５を位置決めをした状態
の中間位置決めユニット４４の平面図である。この状態
では、ロウバー４５はＬ形状ブロック４６とスライダ４
８と回動ブロック５０のアーム５０ａで挟まれて位置決
めされる。

【００２８】ロウバー４５をＹテーブル４０から受取る
スタンバイ状態では、シリンダ５１を作動させてピスト
ンロッド５２によりレバー５４を軸５６を中心として反
時計回り方向に回動させる。これにより、ロッド５８が
図６で下方に押されるため、スライダ４８はコイルバネ
６０の付勢力に抗して下方に移動する。

【００２９】更に、回動ブロック５０はコイルバネ６２
の付勢力に抗して時計回り方向に回動し、アーム５０ａ
がＬ形状ブロック４６から離れる。その結果、Ｌ形状ブ
ロック４６、スライダ４８及び回動ブロック５０の間に
ロウバー４５を受け入れるための充分なスペースが形成
される。

【００３０】このようにスペースを形成した状態で、第
１ハンド２８により治具４２からロウバー４５を取出
し、中間位置決めユニット４４に移載する。

【００３１】ピストンロッド５２を図６に示す状態に縮
めると、コイルバネ６０の付勢力によりスライダ４８が
上方に移動し、コイルバネ６２の付勢力により回動ブロ
ック５０が反時計回り方向に回動して、アーム５０ａが
Ｌ形状ブロック４６に当接する。これにより、ロウバー
４５はＬ形状ブロック４６、スライダ４８及びアーム５
０ａに挟まれて、ロウバー４５の概略の位置決めが行な
われる。

【００３２】中間位置決めユニット４４で概略の位置決
めが行なわれたロウバー４５は、第２ハンド３０でピッ
クアップされる。ピックアップの際に、図７（Ｂ）に示
すロウバー４５の一対のアライメントマーカー６８をＣ
ＣＤカメラ６４で認識し、第２ハンド３０の中心に対す
るアライメントマーカー６８の相対位置をコントローラ
７０に設けられたＭＰＵが計算する。

【００３３】７６はＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能な
ＸＹテーブルであり、ＵＶフィルム４の貼り付けられた
フレーム１６が搭載されている。フレーム１６には図７
（Ａ）に示すような一対のアライメントマーカー７４が
形成されており、ＣＣＤカメラ７２でフレーム１６のア
ライメントマーカー７４を認識し、この認識結果に基づ
いて各ロウバー４５をＸ軸に平行に保つための補正角度
θを求める。

【００３４】アライメントを必要とするのは、ロウバー
４５内の磁気ヘッドスライダの位置を把握するための
Ｘ，Ｙ座標と、各ロウバー４５をＸ軸に平行に保つため
の補正角度θである。

【００３５】よって、カメラ６４，７２でロウバー４５
のアライメントマーカー６８とフレーム１６のアライメ
ントマーカー７４をそれぞれ認識し、コントローラ７０
内のＭＰＵで第２ハンド３０が移動する距離と補正角度
θの計算を行ない、ロウバー４５を中間位置決めユニッ
ト４４からフレーム１６に貼られたＵＶテープ４の所定
位置へ移載する。本実施形態ではロウバー４５は１４ｍ
ｍ間隔で置かれていく。この間隔は次の切断工程の砥石
と切断幅に最適な値である。

【００３６】ロウバー４５のアライメント方法について
更に詳細に説明する。θ補正については、ロウバー４５
をフレーム１６に移載する前に、カメラ７２でフレーム
１６の一対のアライメントマーカー７４相互のずれを計
算して、補正角度θを求めておく。即ち、図８（Ａ）に
示すように絶対座標からｘ，ｙの値を計算し、θを求め
る。

【００３７】第２ハンド３０がロウバー４５をピックア
ップした後、求めた補正角度θだけ、図８（Ｂ）に示す
ようにモータ３８によりロウバー４５を回転させる。

【００３８】位置補正に関しては、基本的にＸ軸方向
（ロウバーの長手方向）のアライメントのみ必要であ
る。Ｙ軸方向は上記で求めた回転補正量θさえ合ってい
れば、ＸＹテーブル７６のパルス送り量で制御できる。

【００３９】まず、フレーム１６のアライメントマーカ
ー７４をカメラ７２で認識して、ロウバー４５のアライ
メントマーカー６８がどこに置かれるべきかを計算して
おく。即ち、θ補正時に同時に位置を確認し、計算す
る。ロウバー４５には図７（Ｂ）に示すような一対のア
ライメントマーカー６８が形成してあり、基準ライン６
９から一個目のスライダの位置が決まっている。

【００４０】第２ハンド３０でピックアップしたロウバ
ー４５を横方向からカメラ６４で認識し、アライメント
マーカー６８と第２ハンド３０中心の相対位置を計算
し、アライメント補正値を算出する。

【００４１】第２ハンド３０中心の移動距離を計算し、
その計算値にアライメント補正値を付加して、フレーム
１６に貼り付けられたＵＶテープ４上に置き、ロウバー
４５をＵＶテープ４に接着する。ロウバー４５を接着す
る目的のためには、ＵＶテープ４に換えて他の粘着シー
トも本発明に採用可能である。

【００４２】ロウバー整列工程の後にはロウバー圧着工
程を実行する。即ち、図９に示すように、ロウバー整列
機２４でロウバー４５がＵＶテープ４に整列接着された
フレーム１６の裏面よりゴムローラ７８を矢印７９方向
に転動させ、ロウバー４５とＵＶテープ４を圧着させ
る。

【００４３】実際には、ロウバー整列終了後直ぐに圧着
を行なう必要があるため、ロウバー整列機２４が圧着機
構を具備しているのが好ましい。

【００４４】圧着工程の後にはロウバーのダミー部切断
除去工程を実施する。即ち、図１０（Ａ）に示すよう
に、ロウバー４５がＵＶテープ４に整列接着されたフレ
ーム１６をスライサ８０のテーブルにセットし、ピコサ
イズのロウバー４５を長手方向に切断し、図１０（Ｂ）
の拡大図に示すようにダミー部４５ｂを除去してフェム
トサイズのロウバー４５ａを得る。

【００４５】実際には、フレーム１６はスライサ８０の
テーブル上にセットされた図示しないポーラスセラミッ
クチャックに吸着させる。そして、スライサ８０に設け
られている図示しない顕微鏡でロウバー４５のエッジと
スライサ動作軸の平行及び直角を合わせる。

【００４６】スライサ８０に装着されている砥石８２と
して、本実施形態では刃幅０．１５ｍｍ、直径９１ｍｍ
の砥石８２を使用した。スライサ８０のテーブルを矢印
８３方向に６０ｍｍ／分で移動しながらロウバー４５を
切断した。フェムトスライダの必要寸法が０．８５ｍｍ
であるため、磁気ヘッド素子面より０．９２５ｍｍの箇
所を切断した。

【００４７】砥石８２の切り込み深さはロウバー４５を
フルカットし、ＵＶテープ４をハーフカットする深さと
した。即ち、本実施形態では、ロウバー４５の厚み寸法
０．２３ｍｍ、ＵＶテープ４のカット量０．０７ｍｍと
し、合計で０．３ｍｍの切り込み深さとした。

【００４８】ダミー部切断を終了したロウバー４５を、
図１１（Ａ）に示すように、９０℃方向を変えてスライ
サ８０のテーブル上にセットし、個々のスライダに切断
する。フレーム１６のセットは、ロウバー４５のダミー
部４５ｂの切断と同様に、ロウバー４５のエッジとスラ
イサ動作軸の平行及び直角は合わせて、図示しないポー
ラスセラミックチャックに吸着させることにより行な
う。

【００４９】砥石８２´のサイズはダミー部切断除去工
程と同一サイズであるが、個片化の効率を考慮してマル
チブレード砥石８２´を使用した。フェムトスライダの
幅寸法は０．７ｍｍであるため、刃幅０．１５ｍｍの砥
石８２´を使用すると、図１１（Ｂ）の拡大図に示すよ
うにロウバー一本から４４個のスライダ８６を形成でき
る。

【００５０】切断箇所は４５箇所となり、５枚のマルチ
ブレード砥石８２´で９回切断した。スライサ８０のテ
ーブルを矢印８５方向に２０ｍｍ／分で送りながら、切
り込み深さはダミー部切断除去工程と同様に０．３ｍｍ
とした。

【００５１】ロウバー４５のダミー部分４５ｂの切断及
びスライダ８６の個片化切断とも、切り込み深さは切断
されたスライダ表面の形状とＵＶテープの厚みに関係し
ており、切り込み深さが大きいほどスライダ表面及び裏
面の形状が良好である。砥石の側面形状に左右される
が、砥石のドレッシングを適切な間隔で入れると、一様
なスライダ形状が得られる。

【００５２】ＵＶテープの厚みは厚い方が良く、本実施
形態では１２０μｍのＵＶテープを使用した。予備実験
の段階では厚み９０μｍのＵＶテープも使用したが、こ
のＵＶテープを使用するとテープハーフカット量は５０
μｍ程度が限界であり、砥石の減りによってスライダ裏
面側が曲面（Ｒ）形状になる場合があった。そのため、
本実施形態では厚み１２０μｍのＵＶテープを使用し、
テープハーフカット量を７０μｍとした。

【００５３】砥石の送り速度はスライダ切断面のチッピ
ングに影響し、本実施形態ではロウバー４５のダミー部
分４５ｂの切断には６０ｍｍ／分、スライダの個片化切
断では２０ｍｍ／分の送り速度を採用した。送り速度を
大きくすると、切断面のチッピングが多くなる傾向があ
る。

【００５４】ＵＶテープの粘着力は切断の際のスライダ
８６の飛散に関係する。本実施形態では粘着力８Ｎ／２
０ｍｍのＵＶテープを使用した。少なくとも、ＵＶテー
プの粘着力は５Ｎ／２０ｍｍ以上のものが好ましい。ま
た、紫外線照射後の残留粘着力は、後の工程であるスラ
イダのピックアップの際に影響するため、０．１Ｎ／２
０ｍｍ以下になることが好ましい。

【００５５】砥石のドレッシング条件は使用する砥石に
よっても変わるが、本実施形態ではロウバーのダミー部
分の切断及びスライダの個片化切断とも７回連続して切
断した後、１回のドレッシングを行なった。

【００５６】また、図１２に示すように、ドレッシング
層８７を入れた特殊なＵＶテープ４´を使用することで
別ルーチンで砥石のドレッシングを行なうことなく、連
続して切断を行なうことも可能である。図１２で８４は
テープベース、８５は粘着層である。

【００５７】スライダの個変化切断が終了すると、紫外
線照射工程を実行する。即ち、図１３に示すようにスラ
イダの個片化切断が終了したフレーム１６に光源８８か
ら紫外線９０を照射し、各スライダ８６をＵＶテープ４
からはがせる状態にする工程である。

【００５８】実際には市販の半導体製造用の紫外線照射
装置を用いて、フレーム１６の裏面から紫外線を照射し
て、ＵＶテープ４の粘着力を下げる。紫外線の照射量は
使用するテープにもよるが、本実施形態では総照射量が
５００〜１０００ｍＪ／ｃｍ ²の紫外線を照射した。本
実施形態で使用したＵＶテープ４では、紫外線照射前の
粘着力は８Ｎ／２０ｍｍ、紫外線照射後の粘着力は０．
０８Ｎ／２０ｍｍとなった。

【００５９】紫外線照射工程が終了すると、スライダの
ピックアップ工程を実施する。スライダのピックアップ
工程は、紫外線照射工程が終了した後、個片化されたフ
ェムトスライダをパレットに移載する工程である。

【００６０】図１４（Ａ）を参照すると、矢印９７方向
（Ｙ軸方向）に移動可能なテーブル９６上に紫外線照射
工程の終了したフレーム１６が載置されている。また、
矢印９９方向（Ｙ軸方向）に移動可能なテーブル９８上
にパレット１００が載置されている。

【００６１】真空吸着パッド９４を有する移載ハンド９
３が矢印９５方向（Ｘ軸方向）に移動可能に設けられて
いる。真空吸着パッド９４でスライダ８６を吸着し、ハ
ンド９３がＸ軸方向に移動してパレット１００にスライ
ダ８６を移載する。

【００６２】図１４（Ｂ）に示すように、スライダの吸
着時にはＵＶテープ４の裏面から押し上げピン９２でス
ライダ８６を押し上げ、ＵＶテープ４からはがしやすく
なったところを吸着パッド９４で吸着する。押し上げ量
は、テープ裏面から１．５ｍｍ程度であり、吸着パッド
９４のオリフィス径は０．５ｍｍである。

【００６３】位置決めにはＣＣＤカメラ等でロウバー４
５を一本ずつ認識した後、移載ハンド９３の吸着パッド
９４でスライダ８６をピックアップする。実際には、半
導体製造用の移載機の移載ハンド部、押し上げピン、テ
ーブル等を磁気ヘッドスライダ用に改造したものを使用
する。

【００６４】スライダ８６をパレット１００に移載した
後は、従来のプロセスで行なっていた洗浄工程は必要な
い。スライダ裏面にＵＶテープ４の残留物である炭素成
分が若干増加するが、汚染などの問題になるレベルでは
ない。

【００６５】以上のプロセスでロウバーから複数のフェ
ムトスライダを分離することが可能である。実際にはス
ライダの個片化終了後、外観検査などの検査工程を経
て、スライダを出荷する。

【００６６】本発明は以下の付記を含むものである。

【００６７】（付記１） 磁気ヘッドスライダの製造方
法であって、粘着シート上にそれぞれ複数の磁気ヘッド
素子が一列に形成された複数のロウバーを整列させて接
着し、前記粘着シートに接着された前記各ロウバーを個
々の磁気ヘッドスライダに切断し、前記個々の磁気ヘッ
ドスライダをピックアップする、ことを特徴とする磁気
ヘッドスライダの製造方法。

【００６８】（付記２） 前記磁気ヘッドスライダ切断
ステップの前に、前記粘着シートに接着された前記各ロ
ウバーを長手方向に切断してダミー部を除去するステッ
プを更に具備したことを特徴とする付記１記載の磁気ヘ
ッドスライダの製造方法。

【００６９】（付記３） 前記粘着シートはＵＶテープ
から構成され、前記ピックアップステップの前に該ＵＶ
テープに紫外線を照射して該ＵＶテープの粘着性を減少
させるステップを更に具備したことを特徴とする付記１
記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。

【００７０】（付記４） 粘着シートの貼付されたフレ
ームをＸ軸方向及びＹ軸方向に移動可能なＸＹテーブル
上に載置するステップを更に具備し、前記粘着シート上
に複数のロウバーを整列させるステップは、Ｘ軸方向及
びＺ軸方向に移動可能なロボットにより実行することを
特徴とする付記１記載の磁気ヘッドスライダの製造方
法。

【００７１】（付記５） 前記粘着シート上に複数のロ
ウバーを整列させるステップは、前記各ロウバーの第１
基準マーカーを認識し、前記フレームの第２基準マーカ
ーを認識し、前記第１及び第２基準マーカーの認識結果
に基づいて前記ロボットが移動する距離を計算するステ
ップを含むことを特徴とする付記４記載の磁気ヘッドス
ライダの製造方法。

【００７２】（付記６） 前記粘着シート上に複数のロ
ウバーを整列させるステップは、前記第１及び第２基準
マーカーの認識結果に基づいて、前記各ロウバーを所定
角度回転させるステップを含むことを特徴とする付記５
記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。

【００７３】（付記７） 前記磁気ヘッドスライダの切
断ステップは、前記各ロウバーを完全に切断し、前記粘
着シートをその厚さの概略半分の深さまで切り込むこと
を特徴とする付記１記載の磁気ヘッドスライダの製造方
法。

【００７４】（付記８） 前記ダミー部の切断除去ステ
ップの前に、前記粘着シートと前記各ロウバーを密着さ
せるステップを更に含むことを特徴とする付記２記載の
磁気ヘッドスライダの製造方法。

【００７５】（付記９） 前記密着ステップは、平らな
表面上に前記粘着シートに接着された前記複数のロウバ
ーを置き、前記粘着シートの裏面にローラを転動させる
ステップを含むことを特徴とする付記８記載の磁気ヘッ
ドスライダの製造方法。

【００７６】（付記１０） 前記粘着シートは、切断用
の砥石をドレッシングするためのドレッシング層を含ん
でいることを特徴とする付記１記載の磁気ヘッドスライ
ダの製造方法。

【００７７】（付記１１） ロウバーをフレームに貼付
された粘着シート上に整列させる装置であって、Ｙ軸方
向に移動可能なＹテーブルと、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に
移動可能なＸＹテーブルと、前記Ｙテーブルと前記ＸＹ
テーブルの間に設けられた各ロウバーの概略の位置決め
を行なう中間位置決めユニットと、前記Ｙテーブル上に
載置された各ロウバーを前記中間位置決めユニットに移
載するＸ軸方向及びＺ軸方向に移動可能な第１のハンド
と、前記中間位置決めユニット上に載置された各ロウバ
ーを前記ＸＹテーブル上に載置された、前記フレームに
貼付された粘着シート上に整列させる、Ｘ軸方向及びＺ
軸方向に移動可能な第２のハンドと、を具備したことを
特徴とする装置。

【００７８】（付記１２） 前記各ロウバーは第１の基
準マーカーを有しており、前記フレームは第２の基準マ
ーカーを有しており、前記第１基準マーカーを認識する
第１カメラと、前記第２基準マーカーを認識する第２カ
メラと、第１及び第２基準マーカーの認識結果に基づい
て前記第２ハンドの移動距離を計算する演算手段とを更
に具備した付記１１記載の装置。

【００７９】（付記１３） 前記第２ハンドは角度補正
用のモータを有していることを特徴とする付記１２記載
の装置。

【００８０】

【発明の効果】本発明によれば、ロウバーの変形や反り
を発生させずに微小サイズのフェムトスライダを効率良
く量産することができる。ロウバーのラップ工程や浮上
面形成工程等を現状のプロセスから変更することなく、
微小サイズのフェムトスライダの個片化工程を効率良く
行なうことができ、自動化ラインの構築が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＵＶテープ貼り付け機の概略正面図である。

【図２】図２（Ａ）はＵＶテープ貼り付け工程を示して
おり、図２（Ｂ）はＵＶテープが貼り付けられたフレー
ムを示している。

【図３】ロウバー整列機の概略平面図である。

【図４】ロウバー整列機の正面図である。

【図５】第２ハンドの正面図である。

【図６】中間位置決めユニット平面図である。

【図７】図７（Ａ）はフレームのアライメントマーカー
を示す図であり、図７（Ｂ）はロウバーのアライメント
マーカーを示す図である。

【図８】図８（Ａ）及び図８（Ｂ）はロウバーのアライ
メント方法説明図である。

【図９】ＵＶテープ圧着工程を示す図である。

【図１０】図１０（Ａ）はロウバーのダミー部切断除去
工程を示す図であり、図１０（Ｂ）はダミー部の切断さ
れたロウバーを示す図である。

【図１１】図１１（Ａ）はスライダの個片化切断工程を
示す図であり、図１１（Ｂ）は個片化された複数のスラ
イダを示す図である。

【図１２】ドレッシング層を有するＵＶテープ断面図で
ある。

【図１３】ＵＶ照射工程を説明する図である。

【図１４】図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）はスライダの
ピックアップ工程を説明する図であり、図１４（Ａ）は
移載機の概略平面図、図１４（Ｂ）は押し上げピンでス
ライダをＵＶテープ裏面から押し上げる状態を説明する
図である。

【符号の説明】

４ ＵＶテープ ６ テープ供給ローラ ８ テープ巻取りローラ １０ 保護フィルム １２ 保護フィルムローラ １４ ステージ １６ 金属フレーム １８ 密着ローラ ２０ テープカッター ２２ はがしローラ ２８ 第１ハンド ３０ 第２ハンド ４０ Ｙテーブル ４４ 中間位置決めユニット ４５ ロウバー ６４，７２ ＣＣＤカメラ ６８，７４ アライメントマーカー ７６ ＸＹテーブル ７８ ゴムローラ ８０ スライサ ８２ 砥石 ８６ スライダ ９２ 押し上げピン ９３ 移載ハンド ９４ 吸着パッド １００ パレット

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気ヘッドスライダの製造方法であっ
   て、 粘着シート上にそれぞれ複数の磁気ヘッド素子が一列に
   形成された複数のロウバーを整列させて接着し、 前記粘着シートに接着された前記各ロウバーを個々の磁
   気ヘッドスライダに切断し、 前記個々の磁気ヘッドスライダをピックアップする、 ことを特徴とする磁気ヘッドスライダの製造方法。
2. 【請求項２】 粘着シートの貼付されたフレームをＸ方
   向及びＹ方向に移動可能なＸＹテーブル上に載置するス
   テップを更に具備し、 前記粘着シート上に複数のロウバーを整列させるステッ
   プは、Ｘ方向及びＺ方向に移動可能なロボットにより実
   行することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスラ
   イダの製造方法。
3. 【請求項３】 前記粘着シート上に複数のロウバーを整
   列させるステップは、前記各ロウバーの第１基準マーカ
   ーを認識し、前記フレームの第２基準マーカーを認識
   し、前記第１及び第２基準マーカーの認識結果に基づい
   て前記ロボットが移動する距離を計算するステップを含
   むことを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッドスライダ
   の製造方法。
4. 【請求項４】 前記磁気ヘッドスライダの切断ステップ
   は、前記各ロウバーを完全に切断し、前記粘着シートを
   その厚さの概略半分の深さまで切り込むことを特徴とす
   る請求項１記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
5. 【請求項５】 ロウバーをフレームに貼付された粘着シ
   ート上に整列させる装置であって、 Ｙ軸方向に移動可能なＹテーブルと、 Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動可能なＸＹテーブルと、 前記Ｙテーブルと前記ＸＹテーブルの間に設けられた各
   ロウバーの概略の位置決めを行なう中間位置決めユニッ
   トと、 前記Ｙテーブル上に載置された各ロウバーを前記中間位
   置決めユニットに移載するＸ軸方向及びＺ軸方向に移動
   可能な第１のハンドと、 前記中間位置決めユニット上に載置された各ロウバーを
   前記ＸＹテーブル上に載置された、前記フレームに貼付
   された粘着シート上に整列させる、Ｘ軸方向及びＺ軸方
   向に移動可能な第２のハンドと、 を具備したことを特徴とする装置。