JP2002144213A - グリーンシート積層体の切断方法 - Google Patents
グリーンシート積層体の切断方法Info
- Publication number
- JP2002144213A JP2002144213A JP2000343073A JP2000343073A JP2002144213A JP 2002144213 A JP2002144213 A JP 2002144213A JP 2000343073 A JP2000343073 A JP 2000343073A JP 2000343073 A JP2000343073 A JP 2000343073A JP 2002144213 A JP2002144213 A JP 2002144213A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- green sheet
- cutting
- sheet laminate
- wire
- laminated body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 グリーンシート積層体を個々の部品にするた
め切断する方法において、切断され個々の部品にする表
面積が小さくなっても飛散が生じることなく、グリーン
シート積層体が厚いものであっても切断に斜め切りが生
じることなく、また、切断具の選択や設定に長時間を費
やすことなく、切断における品質を安定させ生産性を高
めることを目的とする。 【解決手段】 ワイヤ自身に切断能力を持たせたワイヤ
５をグリーンシート積層体１の左から右に一方向に走行
させながら、ワイヤ５がグリーンシート積層体１を厚み
方向に切り込むまで、ワイヤ５とグリーンシート積層体
１の距離を近づけて、ワイヤ５は供給リール６からガイ
ドロール８，９に懸架され一方向に走行し、巻取リール
７に直ちに回収される切断方法とする。
め切断する方法において、切断され個々の部品にする表
面積が小さくなっても飛散が生じることなく、グリーン
シート積層体が厚いものであっても切断に斜め切りが生
じることなく、また、切断具の選択や設定に長時間を費
やすことなく、切断における品質を安定させ生産性を高
めることを目的とする。 【解決手段】 ワイヤ自身に切断能力を持たせたワイヤ
５をグリーンシート積層体１の左から右に一方向に走行
させながら、ワイヤ５がグリーンシート積層体１を厚み
方向に切り込むまで、ワイヤ５とグリーンシート積層体
１の距離を近づけて、ワイヤ５は供給リール６からガイ
ドロール８，９に懸架され一方向に走行し、巻取リール
７に直ちに回収される切断方法とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、積層型電子部品を
製造する方法に関し、グリーンシート積層体を切断して
積層型電子部品にするための技術に係り、例えば、セラ
ミック層と複数個の内部電極とを交互に複数積層させて
形成し、そのグリーンシート積層体を個々の部品に切断
する方法に関するものである。
製造する方法に関し、グリーンシート積層体を切断して
積層型電子部品にするための技術に係り、例えば、セラ
ミック層と複数個の内部電極とを交互に複数積層させて
形成し、そのグリーンシート積層体を個々の部品に切断
する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の切断方法として、積層セラミック
チップコンデンサ等の積層電子部品を製造する場合、図
３に示す如く、ＰＥＴフィルム２上にセラミック層と複
数個の内部電極とを複数交互に積層するグリーンシート
積層体１を形成し、そのＰＥＴフィルム２をＡＬ（アル
ミ）基板３上に貼着して固定し、そのＡＬ基板３を図示
しない移動テーブルに載せて矢印Ｘ方向に移動させる、
一方、回転刃９０を軸に固着し、その軸を回転自在に軸
支したスピンドル９１は移動テーブルの上方に位置し、
スピンドル９１の軸方向は移動テーブルの上面と平行で
あり、回転刃９０が回転する面の方向は矢印Ｘ方向に平
行とする、その平行な関係を保ちながら回転刃９０と移
動テーブルは相互の距離が接離し、かつスピンドル９１
及び回転刃９０と移動テーブルは、矢印Ｘ方向と直交す
る矢印Ｙ方向に相互の位置関係を変える構成である、ス
ピンドル９１の軸を電動機などで回転駆動し、回転刃９
０は矢印Ｒ方向に２．５万ｒｐｍ〜３万ｒｐｍで回転す
る、回転刃９０と移動テーブルの相互の距離を接近させ
ると、移動テーブルに載せたグリーンシート積層体１は
回転刃９０の周縁に当接し切断されることになり、移動
テーブルを矢印Ｘ方向に移動させると、グリーンシート
積層体１は矢印Ｘ方向に切断される、回転刃９０と移動
テーブルの相互の距離を接離することは、グリーンシー
ト積層体１を一回に切断する厚み方向の寸法に応じて設
定し、数回に分けて切断するグリーンシート積層体１も
ある、また、回転刃９０と移動テーブルの矢印Ｙ方向に
おける位置関係を変えることは、グリーンシート積層体
１の矢印Ｙ方向における切断幅に応じて設定し切断す
る、こうして、グリーンシート積層体１の矢印Ｘ方向に
沿う切断を完了する。
チップコンデンサ等の積層電子部品を製造する場合、図
３に示す如く、ＰＥＴフィルム２上にセラミック層と複
数個の内部電極とを複数交互に積層するグリーンシート
積層体１を形成し、そのＰＥＴフィルム２をＡＬ（アル
ミ）基板３上に貼着して固定し、そのＡＬ基板３を図示
しない移動テーブルに載せて矢印Ｘ方向に移動させる、
一方、回転刃９０を軸に固着し、その軸を回転自在に軸
支したスピンドル９１は移動テーブルの上方に位置し、
スピンドル９１の軸方向は移動テーブルの上面と平行で
あり、回転刃９０が回転する面の方向は矢印Ｘ方向に平
行とする、その平行な関係を保ちながら回転刃９０と移
動テーブルは相互の距離が接離し、かつスピンドル９１
及び回転刃９０と移動テーブルは、矢印Ｘ方向と直交す
る矢印Ｙ方向に相互の位置関係を変える構成である、ス
ピンドル９１の軸を電動機などで回転駆動し、回転刃９
０は矢印Ｒ方向に２．５万ｒｐｍ〜３万ｒｐｍで回転す
る、回転刃９０と移動テーブルの相互の距離を接近させ
ると、移動テーブルに載せたグリーンシート積層体１は
回転刃９０の周縁に当接し切断されることになり、移動
テーブルを矢印Ｘ方向に移動させると、グリーンシート
積層体１は矢印Ｘ方向に切断される、回転刃９０と移動
テーブルの相互の距離を接離することは、グリーンシー
ト積層体１を一回に切断する厚み方向の寸法に応じて設
定し、数回に分けて切断するグリーンシート積層体１も
ある、また、回転刃９０と移動テーブルの矢印Ｙ方向に
おける位置関係を変えることは、グリーンシート積層体
１の矢印Ｙ方向における切断幅に応じて設定し切断す
る、こうして、グリーンシート積層体１の矢印Ｘ方向に
沿う切断を完了する。
【０００３】続いて、矢印Ｙ方向に沿う切断を行う、そ
の一は、同一の構成において、移動テーブルを水平方向
に回転させる機構を加え、グリーンシート積層体１を水
平方向に９０度まで回転させる、それまで矢印Ｘ方向で
あった向きを矢印Ｙ方向に向ける、そうして新たな矢印
Ｘ方向を同じ動作で切断する、その二は、別に同一の構
成を用意し、その移動テーブルにグリーンシート積層体
１とＰＥＴフィルム２とＡＬ基板３を載せるが、先の矢
印Ｘ方向に沿い切断した溝をここでは矢印Ｙ方向にす
る、そうして、先と同じに切断を実行する、その一ある
いはその二とも図３に示す如くなり、グリーンシート積
層体１は矢印Ｘ，Ｙ方向に個々の部品に切断されること
になる。
の一は、同一の構成において、移動テーブルを水平方向
に回転させる機構を加え、グリーンシート積層体１を水
平方向に９０度まで回転させる、それまで矢印Ｘ方向で
あった向きを矢印Ｙ方向に向ける、そうして新たな矢印
Ｘ方向を同じ動作で切断する、その二は、別に同一の構
成を用意し、その移動テーブルにグリーンシート積層体
１とＰＥＴフィルム２とＡＬ基板３を載せるが、先の矢
印Ｘ方向に沿い切断した溝をここでは矢印Ｙ方向にす
る、そうして、先と同じに切断を実行する、その一ある
いはその二とも図３に示す如くなり、グリーンシート積
層体１は矢印Ｘ，Ｙ方向に個々の部品に切断されること
になる。
【０００４】ところで、グリーンシート積層体１は、例
えば、セラミック粉体、バインダー、可塑剤等を有機溶
剤で分散したセラミックグリーンペーストによるセラミ
ック層と、複数個の内部電極とを交互に複数積層するこ
とにより形成されている、セラミック粉体は硬いもので
あり、バインダーは柔らかいものであるが、回転刃９０
は硬いものに対し容易に摩耗することなく切断を行う必
要があり、例えば、金属基板にダイヤモンドの粉体を介
在金属の電着により付着させた薄い円板（例えば０．１
〜０．２５ｍｍ）とする。
えば、セラミック粉体、バインダー、可塑剤等を有機溶
剤で分散したセラミックグリーンペーストによるセラミ
ック層と、複数個の内部電極とを交互に複数積層するこ
とにより形成されている、セラミック粉体は硬いもので
あり、バインダーは柔らかいものであるが、回転刃９０
は硬いものに対し容易に摩耗することなく切断を行う必
要があり、例えば、金属基板にダイヤモンドの粉体を介
在金属の電着により付着させた薄い円板（例えば０．１
〜０．２５ｍｍ）とする。
【０００５】図３において、回転刃９０は矢印Ｒ方向に
回転するのに対し、グリーンシート積層体１が右から左
に移動し切断される方法をＤＯＷＮ法と呼び、グリーン
シート積層体１が左から右に移動し切断される方法をＵ
Ｐ法と呼ぶことがある、回転刃９０がグリーンシート積
層体１に切り込む方向による呼び方であるが、ＤＯＷＮ
法は、切断粉の未排出が生じやすく、回転刃９０のダイ
ヤモンド粉体間に切断粉などが目詰まりしやすく、その
ため、回転刃９０の耐久性が短くなる難があり、グリー
ンシート積層体１が厚いと切断で傾斜する斜め切りが生
じやすい、また、ＵＰ法は、グリーンシート積層体１に
対して回転刃９０が表面に向いて切り込み、回転刃９０
はグリーンシート積層体１に対し上方向に力を発生し、
表面積が小さくなると飛散しやすくなる、そのため、グ
リーンシート積層体１を構成する材質あるいは切断する
寸法などにより回転刃９０を選択し、切断時に回転刃９
０の回転数あるいはグリーンシート積層体１が移動する
速度などの条件を設定するが、これらの選択及び設定に
長時間を要するのが最大の問題である。
回転するのに対し、グリーンシート積層体１が右から左
に移動し切断される方法をＤＯＷＮ法と呼び、グリーン
シート積層体１が左から右に移動し切断される方法をＵ
Ｐ法と呼ぶことがある、回転刃９０がグリーンシート積
層体１に切り込む方向による呼び方であるが、ＤＯＷＮ
法は、切断粉の未排出が生じやすく、回転刃９０のダイ
ヤモンド粉体間に切断粉などが目詰まりしやすく、その
ため、回転刃９０の耐久性が短くなる難があり、グリー
ンシート積層体１が厚いと切断で傾斜する斜め切りが生
じやすい、また、ＵＰ法は、グリーンシート積層体１に
対して回転刃９０が表面に向いて切り込み、回転刃９０
はグリーンシート積層体１に対し上方向に力を発生し、
表面積が小さくなると飛散しやすくなる、そのため、グ
リーンシート積層体１を構成する材質あるいは切断する
寸法などにより回転刃９０を選択し、切断時に回転刃９
０の回転数あるいはグリーンシート積層体１が移動する
速度などの条件を設定するが、これらの選択及び設定に
長時間を要するのが最大の問題である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な従来の技術における問題点を解決するためになされ、
本発明が解決しようとする課題は、グリーンシート積層
体を個々の部品にするため切断する方法において、切断
され個々の部品にする表面積が小さくなっても飛散が生
じることなく、グリーンシート積層体が厚いものであっ
ても切断に斜め切りが生じることなく、個々の部品にす
るため切断される形状あるいは寸法を安定させること、
グリーンシート積層体を構成する材質あるいは切断する
寸法などに応じて、切断具を頻繁に交換したりすること
なく、切断するための条件を頻繁に設定し直したりする
ことなく、また、切断具は目詰まりを生じ短い使用期間
による頻繁な交換を要することないものとして、切断具
の選択及び設定に長時間を費やすことがない方法とな
し、グリーンシート積層体を個々の部品にするため切断
する品質を向上し安定させ、生産性を高めることを目的
とする。
な従来の技術における問題点を解決するためになされ、
本発明が解決しようとする課題は、グリーンシート積層
体を個々の部品にするため切断する方法において、切断
され個々の部品にする表面積が小さくなっても飛散が生
じることなく、グリーンシート積層体が厚いものであっ
ても切断に斜め切りが生じることなく、個々の部品にす
るため切断される形状あるいは寸法を安定させること、
グリーンシート積層体を構成する材質あるいは切断する
寸法などに応じて、切断具を頻繁に交換したりすること
なく、切断するための条件を頻繁に設定し直したりする
ことなく、また、切断具は目詰まりを生じ短い使用期間
による頻繁な交換を要することないものとして、切断具
の選択及び設定に長時間を費やすことがない方法とな
し、グリーンシート積層体を個々の部品にするため切断
する品質を向上し安定させ、生産性を高めることを目的
とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の請求項１に記載の発明は、グリーンシート積
層体を積層型電子部品にするために個々の部品に切断す
る方法において、ワイヤ自身に切断能力を持たせたワイ
ヤをグリーンシート積層体の面に当接させ、前記ワイヤ
を前記グリーンシート積層体の一端から他端に一方向に
走行させながら、前記ワイヤが前記グリーンシート積層
体を厚み方向に切り込むまで、前記ワイヤと前記グリー
ンシート積層体の距離を近づけて、前記ワイヤは一方向
に走行すると直ちに回収されることを特徴とするグリー
ンシート積層体の切断方法としている。
に本発明の請求項１に記載の発明は、グリーンシート積
層体を積層型電子部品にするために個々の部品に切断す
る方法において、ワイヤ自身に切断能力を持たせたワイ
ヤをグリーンシート積層体の面に当接させ、前記ワイヤ
を前記グリーンシート積層体の一端から他端に一方向に
走行させながら、前記ワイヤが前記グリーンシート積層
体を厚み方向に切り込むまで、前記ワイヤと前記グリー
ンシート積層体の距離を近づけて、前記ワイヤは一方向
に走行すると直ちに回収されることを特徴とするグリー
ンシート積層体の切断方法としている。
【０００８】請求項２に記載の発明は、グリーンシート
積層体を積層型電子部品にするために個々の部品に切断
する方法において、ワイヤ自身に切断能力を持たせたワ
イヤをグリーンシート積層体の面に平行に複数本を相互
に平行して位置させ、複数本の前記ワイヤをグリーンシ
ート積層体の面に各々当接させ、複数本の前記ワイヤを
前記グリーンシート積層体の一端から他端に一方向に走
行させながら、複数本の前記ワイヤが各々前記グリーン
シート積層体を厚み方向に切り込むまで、複数本の前記
ワイヤと前記グリーンシート積層体の距離を近づけて、
複数本の前記ワイヤは各々一方向に走行すると直ちに回
収されることを特徴とするグリーンシート積層体の切断
方法としている。
積層体を積層型電子部品にするために個々の部品に切断
する方法において、ワイヤ自身に切断能力を持たせたワ
イヤをグリーンシート積層体の面に平行に複数本を相互
に平行して位置させ、複数本の前記ワイヤをグリーンシ
ート積層体の面に各々当接させ、複数本の前記ワイヤを
前記グリーンシート積層体の一端から他端に一方向に走
行させながら、複数本の前記ワイヤが各々前記グリーン
シート積層体を厚み方向に切り込むまで、複数本の前記
ワイヤと前記グリーンシート積層体の距離を近づけて、
複数本の前記ワイヤは各々一方向に走行すると直ちに回
収されることを特徴とするグリーンシート積層体の切断
方法としている。
【０００９】請求項３に記載の発明は、回収された前記
ワイヤを洗浄して再使用する請求項１または２記載のグ
リーンシート積層体の切断方法としている。
ワイヤを洗浄して再使用する請求項１または２記載のグ
リーンシート積層体の切断方法としている。
【００１０】請求項４に記載の発明は、前記ワイヤはピ
アノ線に介在金属の電着によりダイヤモンド粒を付着さ
せてなる請求項１または２または３記載のグリーンシー
ト積層体の切断方法としている。
アノ線に介在金属の電着によりダイヤモンド粒を付着さ
せてなる請求項１または２または３記載のグリーンシー
ト積層体の切断方法としている。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して説明す
ると、図１で示す実施の形態は図３で示す従来例と同様
に、ＰＥＴフィルム２上にセラミック層と複数個の内部
電極とを複数交互に積層するグリーンシート積層体１を
形成し、そのＰＥＴフィルム２を図示しない平面の移動
テーブル上面に載置して固定してある、移動テーブルは
昇降手段４により上面に直交する矢印Ｚ方向に昇降させ
られるが、昇降手段４の仕組みは例えばサーボモータの
回転をボールねじ機構により昇降動作に変換する、この
昇降動作の分解能は１μｍが得られる仕組みである。ま
た、移動テーブルは矢印θ方向に回転する構成にしてあ
り、グリーンシート積層体１を直交する方向に位置を変
更し切断する。さらに、矢印Ｐ方向に所定の間隔でピッ
チ送り動作する構成にしてあり、切断されるグリーンシ
ート積層体１の位置を複数のワイヤ５に対応する幅まで
ピッチ送りし、グリーンシート積層体１の全面を順に切
断する。
ると、図１で示す実施の形態は図３で示す従来例と同様
に、ＰＥＴフィルム２上にセラミック層と複数個の内部
電極とを複数交互に積層するグリーンシート積層体１を
形成し、そのＰＥＴフィルム２を図示しない平面の移動
テーブル上面に載置して固定してある、移動テーブルは
昇降手段４により上面に直交する矢印Ｚ方向に昇降させ
られるが、昇降手段４の仕組みは例えばサーボモータの
回転をボールねじ機構により昇降動作に変換する、この
昇降動作の分解能は１μｍが得られる仕組みである。ま
た、移動テーブルは矢印θ方向に回転する構成にしてあ
り、グリーンシート積層体１を直交する方向に位置を変
更し切断する。さらに、矢印Ｐ方向に所定の間隔でピッ
チ送り動作する構成にしてあり、切断されるグリーンシ
ート積層体１の位置を複数のワイヤ５に対応する幅まで
ピッチ送りし、グリーンシート積層体１の全面を順に切
断する。
【００１２】グリーンシート積層体１は図１に示す如く
正方形あるいは長方形の方形である、グリーンシート積
層体１の上面に対して平行であり、かつ、方形の一対の
辺に対して平行となる姿勢にガイドローラ８を配置す
る、ガイドローラ８は円周に一周する溝を円柱の長さ方
向に等間隔に複数備える溝付きロールであり、図示しな
い支持手段で円柱の中心軸において回転自在であり、グ
リーンシート積層体１の一対の辺よりも各々外側に位置
する、図１において、左側から供給する複数本のワイヤ
５は、平行して左側ガイドローラ８の溝に懸架され、グ
リーンシート積層体１の上面に平行に張架されて矢印Ｆ
方向に走行し、そのまま平行して右側ガイドローラ８の
溝に懸架され、右側において巻き取られる。
正方形あるいは長方形の方形である、グリーンシート積
層体１の上面に対して平行であり、かつ、方形の一対の
辺に対して平行となる姿勢にガイドローラ８を配置す
る、ガイドローラ８は円周に一周する溝を円柱の長さ方
向に等間隔に複数備える溝付きロールであり、図示しな
い支持手段で円柱の中心軸において回転自在であり、グ
リーンシート積層体１の一対の辺よりも各々外側に位置
する、図１において、左側から供給する複数本のワイヤ
５は、平行して左側ガイドローラ８の溝に懸架され、グ
リーンシート積層体１の上面に平行に張架されて矢印Ｆ
方向に走行し、そのまま平行して右側ガイドローラ８の
溝に懸架され、右側において巻き取られる。
【００１３】図１の左側からワイヤ５を供給する仕組み
は、新規なワイヤ５を巻回した供給リール６の回転中心
を図示しない支持手段で回転自在に軸支し、また、円周
に一周する溝を備えるガイドローラ９の回転中心を図示
しない支持手段で回転自在に軸支して、供給リール６に
巻回されたワイヤ５を引き出しガイドローラ９の溝に懸
架する、ガイドローラ９の溝に懸架されたワイヤ５はガ
イドローラ８に懸架され矢印Ｆ方向に走行する、供給リ
ール６とガイドローラ９はワイヤ５の１本毎に設けられ
るが、図１は１組だけを示している、左右のガイドロー
ラ８の間に５本のワイヤ５が張架されており、供給リー
ル６とガイドローラ９はワイヤ５の１本毎に５組を備え
る、そうして、ワイヤ５が右側において巻き取られる仕
組みは、左側と同様にガイドローラ９を回転自在に軸支
し、使用済みワイヤ５を巻回する巻取リール７の回転中
心を図示しない支持手段で軸支して、巻取リール７をこ
れも図示しない電動機などの駆動手段で回転中心に回転
駆動し、ワイヤ５に所定の張力を与えながら矢印Ｆ方向
に巻き取る、ワイヤ５は右側ガイドローラ８の溝に懸架
され、続いてガイドローラ９の溝に懸架されてから、巻
取リール７に巻き取られる、ガイドローラ９と巻取リー
ル７はワイヤ５の１本毎に設けられるが、図１は１組だ
けを示している。
は、新規なワイヤ５を巻回した供給リール６の回転中心
を図示しない支持手段で回転自在に軸支し、また、円周
に一周する溝を備えるガイドローラ９の回転中心を図示
しない支持手段で回転自在に軸支して、供給リール６に
巻回されたワイヤ５を引き出しガイドローラ９の溝に懸
架する、ガイドローラ９の溝に懸架されたワイヤ５はガ
イドローラ８に懸架され矢印Ｆ方向に走行する、供給リ
ール６とガイドローラ９はワイヤ５の１本毎に設けられ
るが、図１は１組だけを示している、左右のガイドロー
ラ８の間に５本のワイヤ５が張架されており、供給リー
ル６とガイドローラ９はワイヤ５の１本毎に５組を備え
る、そうして、ワイヤ５が右側において巻き取られる仕
組みは、左側と同様にガイドローラ９を回転自在に軸支
し、使用済みワイヤ５を巻回する巻取リール７の回転中
心を図示しない支持手段で軸支して、巻取リール７をこ
れも図示しない電動機などの駆動手段で回転中心に回転
駆動し、ワイヤ５に所定の張力を与えながら矢印Ｆ方向
に巻き取る、ワイヤ５は右側ガイドローラ８の溝に懸架
され、続いてガイドローラ９の溝に懸架されてから、巻
取リール７に巻き取られる、ガイドローラ９と巻取リー
ル７はワイヤ５の１本毎に設けられるが、図１は１組だ
けを示している。
【００１４】図２は、ワイヤ５が左右のガイドローラ８
の間に張架されて矢印Ｆ方向に走向し、ＰＥＴフィルム
２とその上に形成されたグリーンシート積層体１が矢印
Ｚ方向に昇降させられ、ワイヤ５にグリーンシート積層
体１が上面から当接して切断される構成を側面から示
す、ワイヤ５は例えば０．１５ｍｍの直径を備え、ワイ
ヤ５自身にグリーンシート積層体１を切断する能力を持
たせたものであり、ピアノ線等の素線の表面に例えばポ
リアミド等のバインダを介して砥粒を付着させるものが
あるが、耐久性が得られることから介在金属の電着によ
りダイヤモンド粒を付着させるものが望ましい、従来か
らＳｉインゴットあるいは焼結金属類あるいはセラミッ
ク類を切断する構成が知られ、遊離砥粒ワイヤソーがワ
イヤ速度を上げられることからよく用いられる、また、
１本のワイヤを複数のローラ間に巻回して繰り返し対象
物を切断させてから巻き取る構成が用いられる、しか
し、グリーンシート積層体１はＳｉインゴットあるいは
焼結金属類あるいはセラミック類と全く異なる構成を備
える、すなわち、グリーンシート積層体１を構成するセ
ラミック粉体はセラミック類と同じような硬さを備え、
そのセラミック粉体が分散しているバインダーは金属の
刃物で簡単に切り分けられる程度の対象物である。
の間に張架されて矢印Ｆ方向に走向し、ＰＥＴフィルム
２とその上に形成されたグリーンシート積層体１が矢印
Ｚ方向に昇降させられ、ワイヤ５にグリーンシート積層
体１が上面から当接して切断される構成を側面から示
す、ワイヤ５は例えば０．１５ｍｍの直径を備え、ワイ
ヤ５自身にグリーンシート積層体１を切断する能力を持
たせたものであり、ピアノ線等の素線の表面に例えばポ
リアミド等のバインダを介して砥粒を付着させるものが
あるが、耐久性が得られることから介在金属の電着によ
りダイヤモンド粒を付着させるものが望ましい、従来か
らＳｉインゴットあるいは焼結金属類あるいはセラミッ
ク類を切断する構成が知られ、遊離砥粒ワイヤソーがワ
イヤ速度を上げられることからよく用いられる、また、
１本のワイヤを複数のローラ間に巻回して繰り返し対象
物を切断させてから巻き取る構成が用いられる、しか
し、グリーンシート積層体１はＳｉインゴットあるいは
焼結金属類あるいはセラミック類と全く異なる構成を備
える、すなわち、グリーンシート積層体１を構成するセ
ラミック粉体はセラミック類と同じような硬さを備え、
そのセラミック粉体が分散しているバインダーは金属の
刃物で簡単に切り分けられる程度の対象物である。
【００１５】グリーンシート積層体１を遊離砥粒ワイヤ
ソーで切断しようとすると、切断後に個々の部品にする
ため切断されたものから遊離砥粒を完全に除去できない
不具合が生じ、また、ワイヤ自身に切断能力を持たせた
１本のワイヤを複数のローラ間に巻回して繰り返し対象
物を切断しようとすると、グリーンシート積層体１を切
断したワイヤから簡単には切断粉を除去できないため、
繰り返し切断しようとすると目詰まりを生じ、切断が不
能になるか品質が極端に悪くなる不具合が生じる、しか
し、本発明の切断方法によるとそのような不具合は生じ
ない、すなわち、ワイヤ自身に切断能力を備え砥粒ある
いはダイヤモンド粒を付着させたワイヤ５と、このワイ
ヤ５をグリーンシート積層体１の上面から切断する位置
に当接させて、一端から供給して一方向に向け走行させ
ながらグリーンシート積層体１の厚み方向に切り込ませ
て、他端から切断粉が付着した使用済みワイヤ５を巻き
取り回収する切断方法であり、巻き取り回収する前にエ
アー吹き付け等の簡易な切断粉除去手段１０を設ける
が、回収したワイヤ５は別に用意する専用の洗浄工程で
切断粉を除去して再使用する、また、同時に複数本のワ
イヤ５を平行に走行させながらグリーンシート積層体１
の厚み方向に切り込ませて、他端から切断粉が付着した
使用済みワイヤ５を巻き取り回収する切断方法であり、
ワイヤ５を一端から他端まで一回だけ通す切断方法にお
いて切断作業の効率を上げる切断方法である。
ソーで切断しようとすると、切断後に個々の部品にする
ため切断されたものから遊離砥粒を完全に除去できない
不具合が生じ、また、ワイヤ自身に切断能力を持たせた
１本のワイヤを複数のローラ間に巻回して繰り返し対象
物を切断しようとすると、グリーンシート積層体１を切
断したワイヤから簡単には切断粉を除去できないため、
繰り返し切断しようとすると目詰まりを生じ、切断が不
能になるか品質が極端に悪くなる不具合が生じる、しか
し、本発明の切断方法によるとそのような不具合は生じ
ない、すなわち、ワイヤ自身に切断能力を備え砥粒ある
いはダイヤモンド粒を付着させたワイヤ５と、このワイ
ヤ５をグリーンシート積層体１の上面から切断する位置
に当接させて、一端から供給して一方向に向け走行させ
ながらグリーンシート積層体１の厚み方向に切り込ませ
て、他端から切断粉が付着した使用済みワイヤ５を巻き
取り回収する切断方法であり、巻き取り回収する前にエ
アー吹き付け等の簡易な切断粉除去手段１０を設ける
が、回収したワイヤ５は別に用意する専用の洗浄工程で
切断粉を除去して再使用する、また、同時に複数本のワ
イヤ５を平行に走行させながらグリーンシート積層体１
の厚み方向に切り込ませて、他端から切断粉が付着した
使用済みワイヤ５を巻き取り回収する切断方法であり、
ワイヤ５を一端から他端まで一回だけ通す切断方法にお
いて切断作業の効率を上げる切断方法である。
【００１６】
【発明の効果】本発明の効果は、ワイヤ自身に切断能力
を持たせたワイヤをグリーンシート積層体に当接し、そ
の一端から他端に一方向に走行させて切断し、そのまま
使用済みワイヤは回収して付着した切断粉を除去してか
らでないと再使用しないので、切断され個々の部品にす
る表面積が小さくなっても飛散が生じることなく、グリ
ーンシート積層体が厚いものであっても切断に斜め切り
が生じることなく、ワイヤは直径が細いものであり、巻
取リールに巻き取るとスペースを取るものでなく、長い
ものを用意することができるため、切断具であるワイヤ
を頻繁に交換したりすることなく、また、切断するため
のワイヤの走行速度など条件を固定することができるこ
とから、ワイヤの掛け替えや条件の設定に時間を費やす
ことが少ない切断方法であり、グリーンシート積層体を
個々の部品にするため切断する品質を向上し安定させ、
かつ、生産性を高める大きな効果が得られる。
を持たせたワイヤをグリーンシート積層体に当接し、そ
の一端から他端に一方向に走行させて切断し、そのまま
使用済みワイヤは回収して付着した切断粉を除去してか
らでないと再使用しないので、切断され個々の部品にす
る表面積が小さくなっても飛散が生じることなく、グリ
ーンシート積層体が厚いものであっても切断に斜め切り
が生じることなく、ワイヤは直径が細いものであり、巻
取リールに巻き取るとスペースを取るものでなく、長い
ものを用意することができるため、切断具であるワイヤ
を頻繁に交換したりすることなく、また、切断するため
のワイヤの走行速度など条件を固定することができるこ
とから、ワイヤの掛け替えや条件の設定に時間を費やす
ことが少ない切断方法であり、グリーンシート積層体を
個々の部品にするため切断する品質を向上し安定させ、
かつ、生産性を高める大きな効果が得られる。
【図１】 本発明の主要な構成を示す説明図。
【図２】 グリーンシート積層体が切断される構成を側
面から示す説明図。
面から示す説明図。
【図３】 従来の主要な構成を示す説明図。
１ グリーンシート積層体 ２ ＰＥＴフィルム ３ ＡＬ基板 ４ 昇降手段 ５ ワイヤ ６ 供給リール ７ 巻取リール ８ ガイドローラ ９ ガイドローラ １０ 切断粉除去手段 ９０ 回転刃 ９１ スピンドル Ｆ，Ｐ，Ｒ，Ｘ，Ｙ，Ｚ，θ 矢印
Claims (4)
- 【請求項１】 グリーンシート積層体を積層型電子部品
にするために個々の部品に切断する方法において、ワイ
ヤ自身に切断能力を持たせたワイヤをグリーンシート積
層体の面に当接させ、前記ワイヤを前記グリーンシート
積層体の一端から他端に一方向に走行させながら、前記
ワイヤが前記グリーンシート積層体を厚み方向に切り込
むまで、前記ワイヤと前記グリーンシート積層体の距離
を近づけて、前記ワイヤは一方向に走行すると直ちに回
収されることを特徴とするグリーンシート積層体の切断
方法。 - 【請求項２】 グリーンシート積層体を積層型電子部品
にするために個々の部品に切断する方法において、ワイ
ヤ自身に切断能力を持たせたワイヤをグリーンシート積
層体の面に平行に複数本を相互に平行して位置させ、複
数本の前記ワイヤをグリーンシート積層体の面に各々当
接させ、複数本の前記ワイヤを前記グリーンシート積層
体の一端から他端に一方向に走行させながら、複数本の
前記ワイヤが各々前記グリーンシート積層体を厚み方向
に切り込むまで、複数本の前記ワイヤと前記グリーンシ
ート積層体の距離を近づけて、複数本の前記ワイヤは各
々一方向に走行すると直ちに回収されることを特徴とす
るグリーンシート積層体の切断方法。 - 【請求項３】 回収された前記ワイヤを洗浄して再使用
する請求項１または２記載のグリーンシート積層体の切
断方法。 - 【請求項４】 前記ワイヤはピアノ線に介在金属の電着
によりダイヤモンド粒を付着させてなる請求項１または
２または３記載のグリーンシート積層体の切断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000343073A JP2002144213A (ja) | 2000-11-10 | 2000-11-10 | グリーンシート積層体の切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000343073A JP2002144213A (ja) | 2000-11-10 | 2000-11-10 | グリーンシート積層体の切断方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002144213A true JP2002144213A (ja) | 2002-05-21 |
Family
ID=18817502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000343073A Withdrawn JP2002144213A (ja) | 2000-11-10 | 2000-11-10 | グリーンシート積層体の切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002144213A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008036765A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Towa Corp | 切断装置及び切断方法 |
| JP2008036766A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Towa Corp | 切断装置及び切断方法 |
| JP2010523349A (ja) * | 2007-04-04 | 2010-07-15 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | ワイヤソー |
| JP2010523348A (ja) * | 2007-04-04 | 2010-07-15 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | １つの構成素子ブロックから多数のセラミック製の構成素子を分離するための方法およびシステム |
| JP2015036244A (ja) * | 2013-08-14 | 2015-02-23 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． | 裁断焼結セラミックシート及びその製造方法 |
| KR20200008254A (ko) * | 2018-07-16 | 2020-01-28 | 주식회사 엘지화학 | 전극 절단 장치 |
| CN112045430A (zh) * | 2020-09-21 | 2020-12-08 | 俞烽 | 一种覆铜板制造工艺 |
-
2000
- 2000-11-10 JP JP2000343073A patent/JP2002144213A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008036765A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Towa Corp | 切断装置及び切断方法 |
| JP2008036766A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Towa Corp | 切断装置及び切断方法 |
| JP2010523349A (ja) * | 2007-04-04 | 2010-07-15 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | ワイヤソー |
| JP2010523348A (ja) * | 2007-04-04 | 2010-07-15 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | １つの構成素子ブロックから多数のセラミック製の構成素子を分離するための方法およびシステム |
| US8616191B2 (en) | 2007-04-04 | 2013-12-31 | Siemens Aktiengesellschaft | Wire saw and method for producing a wire saw |
| JP2015036244A (ja) * | 2013-08-14 | 2015-02-23 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド． | 裁断焼結セラミックシート及びその製造方法 |
| KR20200008254A (ko) * | 2018-07-16 | 2020-01-28 | 주식회사 엘지화학 | 전극 절단 장치 |
| KR102503008B1 (ko) * | 2018-07-16 | 2023-02-24 | 주식회사 엘지에너지솔루션 | 전극 절단 장치 |
| CN112045430A (zh) * | 2020-09-21 | 2020-12-08 | 俞烽 | 一种覆铜板制造工艺 |
| CN112045430B (zh) * | 2020-09-21 | 2021-06-15 | 深圳可瑞高新材料股份有限公司 | 一种覆铜板制造工艺 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5764031B2 (ja) | 切削装置 | |
| JP2002144213A (ja) | グリーンシート積層体の切断方法 | |
| JP4140987B2 (ja) | 糸鋸引き装置 | |
| JP2012240196A (ja) | スリッター | |
| JP2007105872A (ja) | 電着技術を用いてダイヤモンドが固定されたｇｍｒラッピングプレートを製造するための方法及び装置 | |
| JP2005103652A (ja) | ガラス製リングの製造方法及びその装置 | |
| JP3273163B2 (ja) | マルチワイヤソー | |
| JP2017080849A (ja) | 固定砥粒ワイヤーソー及び固定砥粒ワイヤーのドレッシング方法 | |
| JP2000141279A (ja) | スリッタ刃 | |
| JPH11226851A (ja) | 銅張積層板のバリ取り方法及びその装置 | |
| JP2006021310A (ja) | 薄帯状材料のバリ取り方法及びバリ取り装置 | |
| JP2007229886A (ja) | 木目形成用サンディングベルトの製造方法および木目形成用サンディングベルト | |
| JP2005111617A (ja) | 切削具、切削加工装置及び電子部品の製造方法 | |
| WO2021193738A1 (ja) | 切断刃、切断装置、セラミックグリーンシート及びセラミック焼結体の製造方法、並びに切断方法 | |
| JP2003205469A (ja) | 研削装置 | |
| JP2000015625A (ja) | 硬脆材料の切断方法及び内周刃切断装置 | |
| JP2000141364A (ja) | インゴット切断方法およびワイヤソー装置 | |
| JPH02180554A (ja) | 半導体ウェーハのノッチ研削方法及び装置 | |
| US7959495B2 (en) | Method and apparatus for finishing the surface of rubber covered rollers | |
| JP2007320069A (ja) | スクライブ方法及びその装置 | |
| JP2022110722A (ja) | マルチブレードの製造方法及びマルチブレード製造装置並びにマルチブレード | |
| JPH01269506A (ja) | セラミックスの切断方法 | |
| JP2002326217A (ja) | ワイヤソーを用いたドラム型加工装置 | |
| JPH1058439A (ja) | ワイヤソー | |
| JPS63317304A (ja) | グリ−ンシ−トの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080205 |