JP2002141653A

JP2002141653A - 塗布装置

Info

Publication number: JP2002141653A
Application number: JP2000338733A
Authority: JP
Inventors: Takafumi Fukuda; 貴文福田
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2000-11-07
Filing date: 2000-11-07
Publication date: 2002-05-17

Abstract

(57)【要約】【課題】より効率良く塗布液を基板上に塗布する。【解決手段】移動可能なディスペンサヘッドによりプ
リント基板の所定位置に塗布液を塗布するように塗布装
置を構成した。ディスペンサヘッドは、移動可能なヘッ
ド本体と、このヘッド本体に対して脱着可能なディスペ
ンサユニットとから構成した。このユニットには、シリ
ンジやノズル部材３６等からなる塗布機構を搭載した。
ノズル部材３６には、実装部品に応じてプリント基板上
に関連付けて形成された一群の塗布位置（ランド）に対
して同時に塗布液を塗布する複数のノズル３８を設け
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板等の
基板にクリーム半田等の塗布液を塗布する塗布装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、コンベアに沿ってプリント基
板を搬送し、クリーム半田等の塗布液をプリント基板に
塗布しながらＩＣ等の電子部品を順次プリント基板に装
着するようにした電子部品の実装システムが知られてい
る。この種のシステムでは、例えば、コンベアによるプ
リント基板の搬送経路上に、Ｘ−Ｙ方向に移動可能なデ
ィスペンサヘッドを有した塗布装置を配設し、ディスペ
ンサヘッドの移動に伴いプリント基板上の任意の位置に
塗布液を塗布することが行われている。

【０００３】ディスペンサヘッドは、塗布液を貯留する
シリンジと、塗布液を導出するためのノズルを備えたノ
ズル部材と、シリンジ内の塗布液をノズル先端に押し出
すためのポンプ等からなる塗布機構を有しており、前記
ポンプの駆動によりノズル先端に塗布液を押し出しなが
ら、例えば、ディスペンサヘッドの昇降動作に伴いプリ
ント基板上に塗布液を塗布するように構成されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の塗布装置に
おいては、通常、ディスペンサヘッドのノズル部材には
ノズルが一つだけ設けられ、塗布液の塗布動作は、基板
上の塗布位置（すなわちランド）に一箇所ずつディスペ
ンサヘッドを移動させながら行われており、複数の塗布
位置に対して同時に塗布液を塗布することは行われてい
なかった。

【０００５】しかし、基板上には、実装部品に対応して
一定のパターンで複数の塗布位置が一群となって形成さ
れている箇所が多数あるため、このような関連付けられ
た一群の塗布位置に対してまでもディスペンサヘッドを
一箇所ずつ塗布位置に移動させながら作業を行うのは非
効率的である。従って、この点を改善し、より効率よく
塗布液をプリント基板に塗布できるようにする必要があ
る。

【０００６】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたものであり、プリント基板等の基板にクリーム半田
等の塗布液を塗布する塗布装置において、より効率良く
塗布液を基板上に塗布することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、塗布液を塗布するためのノズル部材を備
えたディスペンサヘッドを有し、このディスペンサヘッ
ドの移動に伴い基板上の所定位置に塗布液を塗布する塗
布装置において、前記ノズル部材に、実装部品に応じて
基板上に関連付けて形成された一群の塗布位置に対して
同時に塗布液を塗布する複数のノズルを備えているもの
である（請求項１）。

【０００８】この装置によれば、トランジスタの実装箇
所等、一定のパターンで複数の塗布位置が一群となって
形成されている箇所については、該複数の塗布位置に対
してディスペンサヘッドの一度の塗布動作で同時に塗布
液を塗布することができ、これにより作業効率が向上す
る。

【０００９】特に、ノズル部材として、一のノズルのみ
を備えたノズル部材と、複数のノズルを有したノズル部
材とを選択的に使用可能に設けるとともに、この複数の
ノズルを有するノズル部材として、さらにノズルの数又
は配置が異なる複数種類のノズル部材を選択的に使用可
能に設けるのが好ましい（請求項２）。

【００１０】このようにすれば、ノズル部材の組み合わ
せにより、基板に対してより効率よく塗布液を塗布する
ことができる。

【００１１】なお、ノズル部材に、塗布液を塗布する際
に基板に当接してノズル先端と基板との間に距離を保つ
ストッパー部材が設けられる場合には、このストッパー
部材を、当該塗布位置に装着される部品の外形寸法以内
のエリアにおいて基板に当接するように設けるのが好ま
しい（請求項３）。

【００１２】このようにしておけば、既に塗布液が塗布
された場所（塗布位置）にストッパー部材が当接すると
いったトラブルを未然に防止することができ、実装密度
が高い基板についても塗布液を良好に塗布できるように
なる。

【００１３】また、複数のノズルを有する前記ノズル部
材においては、その内部に塗布液の液溜め部を設け、こ
の液溜め部に対して各ノズルをそれぞれ連通接続するの
が好ましい（請求項４）。

【００１４】この構成によれば、塗布液をノズルに送り
込む際に各ノズルに対して均等に圧力を作用させること
ができる。従って、各ノズル孔から導出される塗布液の
量が等しくなり、各塗布位置に対して塗布液を均等に塗
布することができるようになる。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を用いて説明する。

【００１６】図１は、本発明に係る塗布装置を概略的に
示している。この図において、塗布装置の基台１上に
は、搬送ラインを構成するコンベア２が配置され、プリ
ント基板３が上記コンベア２上を搬送されて所定の塗布
作業位置で停止されるようになっている。

【００１７】また、上記基台１の上方には、塗布液をプ
リント基板３に塗布するためのディスペンサヘッド５
（以下、ヘッド５と略す）が移動可能に装備され、さら
に、このヘッド５の可動領域内であって、基台１の端部
近傍には、後記ディスペンサユニット１１の交換ステー
ジ９が配設されている。

【００１８】上記ヘッド５は、Ｘ軸方向（コンベア２の
方向）およびＹ軸方向（水平面上でＸ軸と直交する方
向）に移動することができるようになっている。

【００１９】すなわち、上記基台１上には、Ｙ軸方向に
延びる一対の固定レール６が設けられ、このレール６上
に上記ヘッド５の支持部材７が移動可能に装着され、さ
らにこの支持部材７にＸ軸方向に延びるガイド部材８が
設けられ、このガイド部材８にヘッド５が移動可能に装
着されている。そして、図示を省略しているが、サーボ
モータを駆動源とする移動機構の作動により上記支持部
材７がレール６に沿って、ヘッド５がガイド部材８に沿
ってそれぞれ移動することにより、ヘッド５がＸ軸及び
Ｙ軸方向に移動可能となっている。

【００２０】上記ヘッド５は、図２に示すように、上記
ガイド部材８に装着される移動可能なヘッド本体１０
と、接着剤やクリーム半田等、導電性接着剤からなり、
低粘性のものからペースト状の高粘性までのものうち、
所望の粘性を有する塗布液を塗布するための塗布機構を
備えたディスペンサユニット１１（以下、ユニット１１
と略す）とから構成されており、ヘッド本体１０に対し
てユニット１１が着脱可能となっている。

【００２１】図３に示すように、上記ヘッド本体１０の
フレーム１５の前面側には、略正方形の鉛直面からなる
上記ユニット１１用の被装着部１５ａが設けられてい
る。被装着部１５ａの四隅部には位置決め孔１６が形成
され、また、左側縁部であって上下の各位置決め孔１６
の間には、フレーム１５に一体形成されたエア供給通路
に通じるエア供給孔１７が開口している。上記エア供給
通路は、上記ユニット１１にエアを供給するためのもの
で、図外のバルブ等を介してエア供給源に通じている。

【００２２】また、ヘッド本体１０には、ノズルの昇降
及び回転を行わせるための駆動手段として、サーボモー
タ２０，２２が設けられるとともに、被装着部１５ａの
上下２箇所に開口部１８，１９が形成されており、これ
ら開口部１８，１９内に上記ユニット１１への動力伝達
のための部材が配置されている。具体的には、開口部１
８，１９のうち上側の開口部１８内にはサーボモータ２
０の作動により昇降駆動されるレバー２１が配置され、
また、下側の開口部１９には、サーボモータ２２の作動
によりＺ軸回りに回転駆動されるギア２３が配置されて
いる。

【００２３】また、被装着部１５ａの左右両側には、上
記ユニット１１を固定するための一対のクランプ２５が
設けられている。各クランプ２５は、Ｚ軸方向の支持軸
２６を介してフレーム１５に回動自在に支持されている
とともに、サーボモータ２０下方に配置された図外のシ
リンダのピストンに連結されている。そして、このシリ
ンダの作動に伴い、各クランプ先端に形成された係合部
が互いに離間して被装着部１５ａに対するユニット１１
の脱着を可能とする開放状態と、各係合部が相互に接近
してユニット１１を拘束するロック状態とに切換えられ
るようになっている。

【００２４】一方、上記ユニット１１は、図４及び図５
に示すように、フレーム３０を有し、このフレーム３０
の背面側に、上記ユニット１１の被装着部１５ａに対応
した略正方形の平面からなる装着部３０ａを備えてい
る。装着部３０ａの四隅部には上記ヘッド本体１０の位
置決め孔１６に対応する先細りの突起３１が設けられ、
また、右側縁部であって上下の各突起３１の間には、フ
レーム３０に一体形成されたエア供給通路に通じるエア
供給孔４７が開口している。さらに、装着部３０ａの左
右両側には、上記ユニット１１のクランプ２５に対応す
る一対の被クランプ部５０が設けられている。

【００２５】また、上記フレーム３０には、先端にノズ
ル部材３６を装着した筒状のシリンジホルダ３５が設け
られ、このシリンジホルダ３５に塗布液を貯留したシリ
ンジ４５が装着されている。そして、図示を省略する
が、フレーム３０に回転自在に支持された筒状の保持部
材にシリンジホルダ３５が挿入されるとともに、シリン
ジホルダ３５とこの保持部材とが軸方向の相対変位が可
能で、かつ相対的な回転が阻止されるようにスプライン
で結合されることにより、上記シリンジホルダ３５がフ
レーム３０に対して昇降および回転（Ｚ軸回りの回転）
可能に支持されている。

【００２６】上記保持部材には、ユニット１１の上記ギ
ア２３と噛合可能なギア４１が外嵌され、このギア４１
が上記装着部３０ａに形成された開口部３３を介して外
部に臨んでいる。また、シリンジホルダ３５の周面に
は、上記ユニット１１のレバー２１と係合可能なレバー
３５ｂが突設され、このレバー３５ｂが装着部３０ａに
形成された開口部３２を介して外部に臨んでいる。

【００２７】なお、シリンジ４５は、円筒状の容器でシ
リンジホルダ３５に挿入された状態で装着されている。
シリンジ４５の上端部分には、内部にエアの通路を有し
たキャップ４６が装着され、このキャップ４６に接続さ
れたホース４６ａがフレーム３０に接続されることによ
り、シリンジ４５の内部がキャップ４６の上記通路、ホ
ース４６ａ及びフレーム内のエア供給通路を介して上記
エア供給孔４７に連通している。

【００２８】一方、交換ステージ９は、図２に示すよう
にＸ軸方向に並ぶ３つのユニット保持部５７ａ〜５７ｃ
を有しており、これら各ユニット保持部５７ａ〜５７ｃ
に、種類の異なる３つのユニット１１を保持するように
構成されている。なお、図示の例では、ユニット１１の
一つはヘッド本体１０に装着されている。

【００２９】各ユニット保持部５７ａ〜５７ｃには、ユ
ニット１１を両側から保持するための板ばねからなる左
右一対の保持片６１が上下二個所に設けられるととも
に、これら保持片６１の下側に、ユニット１１をＹ軸方
向に出し入れ可能な状態で支持する支持プレート（図示
省略）が設けられている。

【００３０】なお、ヘッド本体１０に装着される３種類
のユニット１１（以下、必要に応じて第１〜第３のユニ
ット１１という）は、ノズルの数や配置が異なる異種の
ノズル部材３６をそれぞれ備えている点で差別化されて
いる。

【００３１】すなわち、各ユニット１１には図６〜図８
に示すようなノズル部材３６が装着されている。各ノズ
ル部材３６は、シリンジホルダ３５への連結部分である
本体部分３７を有し、この本体部分３７の下端部に、塗
布液を導出するノズル３８と、塗布動作の際にプリント
基板３に当接してノズル先端とプリント基板３との間に
距離を確保するストッパー３９とを備えている点で構成
が共通するが、第１のユニット１１には、ノズル３８及
びストッパー３９（ストッパー部材）を夫々一つだけ備
えた図６（ａ），（ｂ）に示すようなノズル部材３６
（必要に応じて３６Ａとよぶ）が装着され、第２のユニ
ット１１には、２つのノズル３８と一つのストッパー３
９を備えた図７（ａ），（ｂ）に示すようなノズル部材
３６（必要に応じて３６Ｂとよぶ）が装着され、第３の
ユニット１１には、３つのノズル３８と２つのストッパ
ー３９を備えた図８（ａ），（ｂ）に示すようなノズル
部材３６（必要に応じて３６Ｃとよぶ）が装着されてい
る。

【００３２】第２及び第３のユニット１１に装着される
ノズル部材３６Ｂ，３６Ｃの各ノズル３８は、実装部品
に対応してプリント基板３上に形成される一群のランド
に対応して配置が設定されている。具体的には、第２の
ユニット１１に装着されるノズル部材３６Ｂにおいて
は、二箇所固定の部品（例えばチップ抵抗）の実装位置
である一対のランドに対応する配置で各ノズル３８が設
けられており、また第３のユニット１１に装着されるノ
ズル部材３６Ｃにおいては、三箇所固定の部品（例えば
トランジスタ）の実装位置である３つのランドに対応す
る配置で各ノズル３８が設けられている。

【００３３】なお、上記各ノズル部材３６Ａ〜３６Ｃに
は、図９に示すように本体部分３７の内部に液溜め部３
７ａが設けられており、前記ノズル３８がこの液溜め部
３７ａに連通しているとともに、各ノズル部材３６Ａ〜
３６Ｃがシリンジホルダ３５に装着された状態で、シリ
ンジ４５の先端（下端）に形成される液導出口４５ａが
この液溜め部３７ａ内に臨むようになっている。これに
よりプリント基板３に塗布液を塗布する際には、シリン
ジ４５内の塗布液がこの液溜め部３７ａ内に一旦貯溜さ
れながら各ノズル３８に導入されるように構成されてい
る。なお、複数のノズル３８を有するノズル部材３６
Ｂ，３６Ｃについては、同図（同図はノズル部材３６Ｂ
を示している）に示すように各ノズル３８が独立して液
溜め部３７ａ内に連通するようになっており、これによ
り後述するように各ノズル３８から均等に塗布液が導出
され得るようになっている。

【００３４】また、各ノズル部材３６Ａ〜３６Ｃにおい
て、上記ストッパー３９は、当該塗布位置に実装される
部品の外形寸法以内のエリアにおいてプリント基板３に
当接するようにノズル部材３６において位置設定されて
おり、これによって既に塗布液が塗布された場所（塗布
位置）にストッパー３９が当接するといったトラブルを
未然に防止し得るように構成されている。

【００３５】次に、上記塗布装置の動作についてその作
用と共に説明する。

【００３６】まず、塗布装置の初期状態では、ヘッド５
にユニット１１は搭載されておらず、第１〜第３の各ユ
ニット１１は交換ステージ９にセットされている。

【００３７】この初期状態においてプリント基板３が所
定の作業位置に搬入されると、ヘッド５が交換ステージ
９に移動し、最初のユニット１１（最初に使用するユニ
ット１１）がヘッド５に搭載される。具体的には、各ク
ランプ２５が開放状態に切換えられた状態でヘッド５が
対応するユニット１１に向って接近し、ヘッド本体１０
の被装着部１５ａとユニット１１の装着部３０ａとが重
なり合うと各クランプ２５がロック状態に切換えられ
る。これにより各クランプ２５の係合部がユニット１１
の被クランプ部５０に係合してヘッド本体１０とユニッ
ト１１とが合体される。そして、この状態でヘッド５が
交換ステージ９から離間する方向に移動することにより
ユニット１１が交換ステージ９から取出されてヘッド本
体１０に搭載されることとなる。このとき、装着部３０
ａの突起３１が被装着部１５ａのフレーム３０に挿入さ
れることによってユニット１１がヘッド本体１０に対し
て位置決めされる。また、ヘッド本体１０およびユニッ
ト１１の上記各ギア２３，４１が互いに噛合するととも
に、上記各レバー２１，３５ｂが相互に係合し、さらに
上記各エア供給孔１７，４７を介してヘッド本体１０お
よびユニット１１の各エア供給通路が連通し、これによ
ってヘッド本体１０からユニット１１へ駆動伝達が可能
な状態となる。

【００３８】ユニット１１の搭載が完了すると、次い
で、ディスペンサヘッド５が最初の目標位置に移動し、
上記ノズル３８からプリント基板３へと塗布液が塗布さ
れる。

【００３９】詳しく説明すると、目標位置の上方にノズ
ル３８が配置された後、上記サーボモータ２０が正転駆
動され、これにより上記各レバー２１，３５ｂを介して
シリンジホルダ３５等と一体にノズル部材３６が下降す
るとともに、この下降中にエア供給通路およびホース４
６ａを介してシリンジ４５内にエアが供給され、そのエ
ア圧によりノズル３８先端に塗布液が押し出される。そ
して、ノズル３８が下降端に達してノズル先端の塗布液
がプリント基板３に押し付けられると、直ちにサーボモ
ータ２０が反転駆動されてノズル３８が上昇させられ、
これによりノズル先端の塗布液が切り離されてプリント
基板３に塗布液が残ることとなる。この際、必要に応じ
てサーボモータ２２が駆動されることにより、上記各ギ
ア２３，４１を介してシリンジホルダ３５と一体にノズ
ル部材３６が回転駆動され、これによりノズル部材３６
が回転方向に位置決めされる。

【００４０】最初の目標位置への作業が完了すると、ヘ
ッド５が次の目標位置に移動し、上記と同様にして塗布
液が塗布され、以後、順次定められた位置に定められた
順番で塗布液が塗布される。そして、このような塗布動
作において、チップ抵抗やトランジスタの部品の実装位
置については、ヘッド本体１０に第２又は第３のユニッ
ト１１が搭載されることにより、当該部品の実装位置で
ある複数のランドに対して同時に、つまり一度の昇降動
作で複数のランドに塗布液が同時に塗布されることとな
る。なお、この際、各ユニット１１のノズル部材３６Ｂ
及び３６Ｃにおいては、上述したように本体部分３７内
に液溜め部３７ａが設けられ、これに各ノズル３８がそ
れぞれ独立して連通する構造となっているため、エア圧
に応じて各ノズル３８から均等に塗布液が押し出される
こととなり、その結果、各ランドに対して均等に塗布液
が塗布されることとなる。

【００４１】ヘッド５に搭載した最初のユニット１１に
対応する塗布液の塗布が完了すると、次いで、塗布液の
種類を変更すべく、あるいは部品の種類に対応したノズ
ル配置のノズル部材３６と変更すべくヘッド５が交換ス
テージ９へと移動する。そして、現在装着しているユニ
ット１１を、ユニット１１搭載時と逆の動作で交換ステ
ージ９のもとのユニット保持部５７ａ〜５７ｃに戻した
後、次のユニット１１をヘッド本体１０に装着して交換
ステージ９から取り出し、このユニット１１を用いて塗
布動作に移る。

【００４２】こうして順次、ユニット１１を交換しなが
らプリント基板３に塗布し、全ての塗布作業が完了する
とプリント基板３がコンベア２によって次工程に搬送さ
れるとともに、最後の塗布作業に供されていたユニット
１１が交換ステージ９のもとのユニット保持部５７ａ〜
５７ｃに戻される。これにより上記塗布装置によるプリ
ント基板３への塗布液の塗布が完了する。なお、次に処
理するプリント基板３がある場合には、該プリント基板
３が作業位置に到達する前に、交換ステージ９において
ヘッド５の最後の塗布作業に供されたユニット１１と、
次の未塗布状態のプリント基板３で使用する最初のユニ
ット１１とを交換させるとともに、ユニット１１交換後
直ちにヘッド５を交換ステージ９から目標位置に移動さ
せることによりタクトタイムを短縮することができる。

【００４３】以上のような塗布装置によれば、第２又は
第３のユニット１１を使用することにより、チップ抵抗
やトランジスタ等の部品実装位置に形成される一群のラ
ンド（塗布位置）に対して塗布液を同時に塗布できるた
め、複数の塗布位置に対して常に一箇所ずつ塗布液を塗
布する従来装置に比べると極めて効率良くプリント基板
３に対して塗布液を塗布することができ、これによりタ
クトタイムを短縮することができる。

【００４４】特に、この装置では、ノズル３８の数及び
配置が異なる２種類のユニット１１（第２、第３のユニ
ット１１）を選択的に使用できるように構成されている
ので、複数の塗布位置に対してより多くの頻度で同時に
塗布液を塗布することができるという特徴がある。

【００４５】なお、実施形態の塗布装置では、シリンジ
４５を搭載したユニット１１自体を交換することにより
ノズル部材３６の種類を変更するように構成されている
が、一のユニット１１に複数のノズル部材３６（ノズル
部材３６Ａ〜３６Ｃ）を交換可能に備えた構成であって
もよい。

【００４６】また、ノズル部材３６に設けられるノズル
３８及びストッパー３９の数や配置は、塗布位置のパタ
ーンに応じて適宜設けるようにすればよく、また、ノズ
ル部材３６の種類や数も、対象となるプリント基板３の
種類等に応じて適宜設定するようにすればよい。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、複数の
ノズルを備えたノズル部材をディスペンサヘッドに搭載
し、トランジスタの実装箇所等、実装部品に応じて基板
上に関連付けて形成された一群の塗布位置に対して一度
の塗布動作で同時に塗布液を塗布できるようにしたの
で、常に一箇所ずつ塗布液を塗布している従来装置に比
べて効率良く塗布液を塗布することができ、これにより
タクトタイムを短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る塗布装置を示す平面図である。

【図２】本発明に係る塗布装置のディスペンサヘッド及
び交換ステージの構成を示す斜視図である。

【図３】ヘッド本体を示す正面図である。

【図４】ディスペンサユニットを示す背面図である。

【図５】ディスペンサユニットを示す側面図である。

【図６】第１のユニットに搭載されるノズル部材の構成
を示す該略図である（（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図
である）。

【図７】第２のユニットに搭載されるノズル部材の構成
を示す該略図である（（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図
である）。

【図８】第３のユニットに搭載されるノズル部材の構成
を示す該略図である（（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図
である）。

【図９】第２のユニットに搭載されるノズル部材の構成
を示す図７のＡ−Ａ断面図である。

【符号の説明】

１基台２コンベア３プリント基板５ディスペンサヘッド１１ディスペンサユニット３６ノズル部材３８ノズル３９ストッパー（ストッパー部材）４５シリンジ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】塗布液を塗布するためのノズル部材を備
えたディスペンサヘッドを有し、このディスペンサヘッ
ドの移動に伴い基板上の所定位置に塗布液を塗布する塗
布装置において、前記ノズル部材は、実装部品に応じて基板上に関連付け
て形成された一群の塗布位置に対して同時に塗布液を塗
布する複数のノズルを有していることを特徴とする塗布
装置。
【請求項２】請求項１記載の塗布装置において、ノズル部材として、一のノズルのみを備えたノズル部材
と、複数のノズルを有したノズル部材とを選択的に使用
可能に備えるとともに、この複数のノズルを有するノズ
ル部材として、さらにノズルの数又は配置が異なる複数
種類のノズル部材を選択的に使用可能に備えていること
を特徴とする塗布装置。
【請求項３】請求項１又は２記載の塗布装置におい
て、前記ノズル部材は、塗布液を塗布する際に基板に当接し
てノズル先端と基板との間に距離を保つストッパー部材
を備えるものであって、このストッパー部材は、当該塗
布位置に装着される部品の外形寸法以内のエリアにおい
て基板に当接するように前記ノズル部材に設けられてい
ることを特徴とする塗布装置。
【請求項４】請求項１乃至３の何れかに記載の塗布装
置において、複数のノズルを有する前記ノズル部材は、その内部に塗
布液の液溜め部を有し、この液溜め部に対して各ノズル
がそれぞれ連通するように構成されていることを特徴と
する塗布装置。