JP2002126450A - 空気の清浄化方法とその装置 - Google Patents
空気の清浄化方法とその装置Info
- Publication number
- JP2002126450A JP2002126450A JP2000323749A JP2000323749A JP2002126450A JP 2002126450 A JP2002126450 A JP 2002126450A JP 2000323749 A JP2000323749 A JP 2000323749A JP 2000323749 A JP2000323749 A JP 2000323749A JP 2002126450 A JP2002126450 A JP 2002126450A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- water
- gas
- treated
- organic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被処理空気中に含まれる難溶解性の有機化合
物を水に溶かして空気を清浄化する。 【解決手段】 オゾンガス雰囲気ＡＯ3内で過酸化水素
Ｈ2Ｏ2を含む水滴Ｄに、被処理空気ＤＡｒを接触させ、
水滴Ｄ内に含む過酸化水素Ｈ2Ｏ2とオゾンガスＯ 3との
反応によりＯＨラジカルを生成させ、生成したＯＨラジ
カルを空気中の有機物ＯＭに作用させ、被処理空気ＤＡ
ｒ中の有機物ＯＭを主として有機酸ＯＡに分解し、生成
した有機酸ＯＡを処理水Ｗ中に溶解させて被処理空気Ｄ
Ａｒ中から除去する。
物を水に溶かして空気を清浄化する。 【解決手段】 オゾンガス雰囲気ＡＯ3内で過酸化水素
Ｈ2Ｏ2を含む水滴Ｄに、被処理空気ＤＡｒを接触させ、
水滴Ｄ内に含む過酸化水素Ｈ2Ｏ2とオゾンガスＯ 3との
反応によりＯＨラジカルを生成させ、生成したＯＨラジ
カルを空気中の有機物ＯＭに作用させ、被処理空気ＤＡ
ｒ中の有機物ＯＭを主として有機酸ＯＡに分解し、生成
した有機酸ＯＡを処理水Ｗ中に溶解させて被処理空気Ｄ
Ａｒ中から除去する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機物を含む空気
を清浄化する方法および空気清浄化装置に関する。
を清浄化する方法および空気清浄化装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造、液晶ディスプレイ製造工
場、その他有機溶剤を使用する工場においては、洗浄の
処理に各種の薬品や有機溶剤が使用される。その結果、
これらの工場においては、有機物の薬品ベーパが発生し
て周囲の空気を汚染するという問題がある。
場、その他有機溶剤を使用する工場においては、洗浄の
処理に各種の薬品や有機溶剤が使用される。その結果、
これらの工場においては、有機物の薬品ベーパが発生し
て周囲の空気を汚染するという問題がある。
【０００３】従来より、空気中に発生した薬品ベーパの
処理方法として、充填物が詰まった槽内部で薬品ベーパ
を含む空気を水に接触させる事により、空気中の薬品を
水に溶かし込んで空気中より除去する方法が知られてい
る。
処理方法として、充填物が詰まった槽内部で薬品ベーパ
を含む空気を水に接触させる事により、空気中の薬品を
水に溶かし込んで空気中より除去する方法が知られてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、薬品中
には水に溶解しない有機化合物があり、これら不溶性の
有機物は、水に溶け込まないまま空気中に排出されて大
気を汚染しているのが実状である。
には水に溶解しない有機化合物があり、これら不溶性の
有機物は、水に溶け込まないまま空気中に排出されて大
気を汚染しているのが実状である。
【０００５】本発明の目的は、被処理空気中に含まれる
難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を清浄化する
方法とその方法を実施する装置を提供することにある。
難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を清浄化する
方法とその方法を実施する装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明による空気の清浄
化方法は上記目的を達成するために、酸化分解処理を有
する空気の清浄化方法であって、酸化分解処理は、オゾ
ンガス雰囲気内で過酸化水素を含む水滴に被処理空気を
接触させ、被処理空気中の有機物を主として有機酸に分
解し、生成した有機酸を水中に溶解させて被処理空気中
から除去する処理であるとしたものである。
化方法は上記目的を達成するために、酸化分解処理を有
する空気の清浄化方法であって、酸化分解処理は、オゾ
ンガス雰囲気内で過酸化水素を含む水滴に被処理空気を
接触させ、被処理空気中の有機物を主として有機酸に分
解し、生成した有機酸を水中に溶解させて被処理空気中
から除去する処理であるとしたものである。
【０００７】本発明によれば、被処理空気中に含まれる
難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を清浄化する
空気の清浄化方法が得られる。
難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を清浄化する
空気の清浄化方法が得られる。
【０００８】また他の手段は、酸化分解処理は、オゾン
ガス雰囲気内に塩基を添加しつつ雰囲気を中性またはア
ルカリ性領域に保持しつつ行なう処理であるとしたもの
である。
ガス雰囲気内に塩基を添加しつつ雰囲気を中性またはア
ルカリ性領域に保持しつつ行なう処理であるとしたもの
である。
【０００９】本発明によれば、被処理空気中に含まれる
難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を清浄化する
空気の清浄化方法が得られる。
難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を清浄化する
空気の清浄化方法が得られる。
【００１０】また、他の手段は、酸化分解処理は、水滴
内に含む過酸化水素をオゾンガス雰囲気に接触させてＯ
Ｈラジカルを生成させ、生成したＯＨラジカルを空気中
の有機物に作用させて酸化分解させる処理であるとした
ものである。
内に含む過酸化水素をオゾンガス雰囲気に接触させてＯ
Ｈラジカルを生成させ、生成したＯＨラジカルを空気中
の有機物に作用させて酸化分解させる処理であるとした
ものである。
【００１１】本発明によれば、被処理空気中に含まれる
難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を清浄化する
空気の清浄化方法が得られる。
難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を清浄化する
空気の清浄化方法が得られる。
【００１２】また、他の手段は、酸化分解処理は、生成
したＯＨラジカルを空気中の有機物に作用させ、有機物
の大部分を有機酸に分解して水中に溶解させるとしたも
のである。
したＯＨラジカルを空気中の有機物に作用させ、有機物
の大部分を有機酸に分解して水中に溶解させるとしたも
のである。
【００１３】本発明によれば、被処理空気中に含まれる
難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を清浄化する
空気の清浄化方法が得られる。
難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を清浄化する
空気の清浄化方法が得られる。
【００１４】また、他の手段は酸化分解処理に水分裂処
理と、気液分離処理とを併用して被処理空気の清浄化を
行なう空気の清浄化方法であって、水分裂処理は、過酸
化水素と、塩基とを含む処理水を水滴に分裂させる処理
であり、気液分離処理は、水分裂処理によって発生した
水滴を分離して空気中から除去し、被処理空気を清浄化
して外部に排出する処理であるとしたものである。
理と、気液分離処理とを併用して被処理空気の清浄化を
行なう空気の清浄化方法であって、水分裂処理は、過酸
化水素と、塩基とを含む処理水を水滴に分裂させる処理
であり、気液分離処理は、水分裂処理によって発生した
水滴を分離して空気中から除去し、被処理空気を清浄化
して外部に排出する処理であるとしたものである。
【００１５】本発明によれば、被処理空気中に含まれる
難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を清浄化する
空気の清浄化方法が得られる。
難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を清浄化する
空気の清浄化方法が得られる。
【００１６】また他の手段は、本発明による空気清浄化
装置においては、気液混合槽を有する空気清浄化装置で
あって、気液混合槽は、過酸化水素と塩基とを含む水滴
で満たされたオゾン雰囲気を形成し、外部から導入した
空気を水滴に接触させて空気中に含まれる有機物を有機
酸として水中に取込ませる条件を形成するとしたもので
ある。
装置においては、気液混合槽を有する空気清浄化装置で
あって、気液混合槽は、過酸化水素と塩基とを含む水滴
で満たされたオゾン雰囲気を形成し、外部から導入した
空気を水滴に接触させて空気中に含まれる有機物を有機
酸として水中に取込ませる条件を形成するとしたもので
ある。
【００１７】本発明によれば、被処理空気中に含まれる
難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を清浄化する
空気の清浄化装置が得られる。
難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を清浄化する
空気の清浄化装置が得られる。
【００１８】また他の手段は、気液混合槽はノズルを有
し、ノズルはオゾン雰囲気を形成する気液混合槽内に過
酸化水素と塩基を含む処理水を水滴として気液混合槽内
に噴出するとしたものである。
し、ノズルはオゾン雰囲気を形成する気液混合槽内に過
酸化水素と塩基を含む処理水を水滴として気液混合槽内
に噴出するとしたものである。
【００１９】本発明によれば、被処理空気中に含まれる
難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を清浄化する
空気の清浄化装置が得られる。
難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を清浄化する
空気の清浄化装置が得られる。
【００２０】難水溶性の有機物、例えば、フタル酸−２
−エチルヘキシル（ＤＯＰ）は、水に溶解しないが、オ
ゾンと接触させることにより水中に溶解させることがで
きる。
−エチルヘキシル（ＤＯＰ）は、水に溶解しないが、オ
ゾンと接触させることにより水中に溶解させることがで
きる。
【００２１】図１は、酸化分解処理にＯ3のみを用いた
場合、Ｏ3とＨ2Ｏ2とを用いた場合、Ｏ3とＨ2Ｏ2とＫＯ
Ｈとを用いた場合について、それぞれの場合における酸
化反応時間とＴＯＣとの関係を示している。もっともＤ
ＯＰは水に溶解しないので、そのままでは、ＤＯＰを含
む水の全有機炭素量（ＴＯＣ）を測定しようとしてもＴ
ＯＣ計で測定することができない。
場合、Ｏ3とＨ2Ｏ2とを用いた場合、Ｏ3とＨ2Ｏ2とＫＯ
Ｈとを用いた場合について、それぞれの場合における酸
化反応時間とＴＯＣとの関係を示している。もっともＤ
ＯＰは水に溶解しないので、そのままでは、ＤＯＰを含
む水の全有機炭素量（ＴＯＣ）を測定しようとしてもＴ
ＯＣ計で測定することができない。
【００２２】しかし、酸化剤を水中に添加することによ
り、ＴＯＣ濃度の測定が可能となる。図１に明らかなよ
うに酸化剤としてＯ3を添加したときには、ＴＯＣ濃度
の高まりがみられるが、オゾン（Ｏ3）に比べて、Ｏ3／
Ｈ2Ｏ2を添加したときにはＴＯＣの検出率がより高ま
り、Ｏ3／Ｈ2Ｏ2／ＫＯＨを添加したときには、さらに
ＴＯＣの検出率が高まった。
り、ＴＯＣ濃度の測定が可能となる。図１に明らかなよ
うに酸化剤としてＯ3を添加したときには、ＴＯＣ濃度
の高まりがみられるが、オゾン（Ｏ3）に比べて、Ｏ3／
Ｈ2Ｏ2を添加したときにはＴＯＣの検出率がより高ま
り、Ｏ3／Ｈ2Ｏ2／ＫＯＨを添加したときには、さらに
ＴＯＣの検出率が高まった。
【００２３】その理由は、ＤＯＰがオゾンにより酸化分
解し、イオン状の有機物になったため、水に溶解するよ
うになったものと考えられる。図２は、有機物の酸化分
解処理にＯ3／Ｈ2Ｏ2／ＫＯＨを用いた場合について、
酸化分解処理開始前と、酸化分解処理実行中（反応開始
後３０分）と、イオン交換処理開始後とにおける水中の
ＴＯＣ濃度の変化を示したものである。
解し、イオン状の有機物になったため、水に溶解するよ
うになったものと考えられる。図２は、有機物の酸化分
解処理にＯ3／Ｈ2Ｏ2／ＫＯＨを用いた場合について、
酸化分解処理開始前と、酸化分解処理実行中（反応開始
後３０分）と、イオン交換処理開始後とにおける水中の
ＴＯＣ濃度の変化を示したものである。
【００２４】図２から明らかなように、ＤＯＰは酸化さ
れて水中に溶け込んでいること、ＤＯＰが水中でイオン
交換樹脂を用いて除去できることを示している。この事
実により、ＤＯＰがイオン状になっていることが裏付け
られる。
れて水中に溶け込んでいること、ＤＯＰが水中でイオン
交換樹脂を用いて除去できることを示している。この事
実により、ＤＯＰがイオン状になっていることが裏付け
られる。
【００２５】
【発明の実施の形態】本発明は、酸化分解処理を有する
空気の清浄化方法であって、酸化分解処理は、オゾンガ
ス雰囲気内で過酸化水素を含む水滴に被処理空気を接触
させ、被処理空気中の有機物を主として有機酸に分解
し、生成した有機酸を水中に溶解させて被処理空気中か
ら除去する処理であるとしたものであり、被処理空気中
に含まれる難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を
清浄化するという作用を有する。また、酸化分解処理
は、オゾンガス雰囲気内に塩基を添加しつつ雰囲気を中
性またはアルカリ性領域に保持しつつ行なう処理である
としたものであり、有機物の酸化分解処理を促進すると
いう作用を有する。
空気の清浄化方法であって、酸化分解処理は、オゾンガ
ス雰囲気内で過酸化水素を含む水滴に被処理空気を接触
させ、被処理空気中の有機物を主として有機酸に分解
し、生成した有機酸を水中に溶解させて被処理空気中か
ら除去する処理であるとしたものであり、被処理空気中
に含まれる難溶解性の有機化合物を水に溶かして空気を
清浄化するという作用を有する。また、酸化分解処理
は、オゾンガス雰囲気内に塩基を添加しつつ雰囲気を中
性またはアルカリ性領域に保持しつつ行なう処理である
としたものであり、有機物の酸化分解処理を促進すると
いう作用を有する。
【００２６】また、酸化分解処理は、水滴内に含む過酸
化水素をオゾンガス雰囲気に接触させてＯＨラジカルを
生成させ、生成したＯＨラジカルを空気中の有機物に作
用させて酸化分解させる処理であるとしたものであり、
ＯＨラジカルにより酸化分解反応を起こすという作用を
有する。
化水素をオゾンガス雰囲気に接触させてＯＨラジカルを
生成させ、生成したＯＨラジカルを空気中の有機物に作
用させて酸化分解させる処理であるとしたものであり、
ＯＨラジカルにより酸化分解反応を起こすという作用を
有する。
【００２７】また、酸化分解処理に水分裂処理と、気液
分離処理とを併用して被処理空気の清浄化を行なう空気
の清浄化方法であって、水分裂処理は、過酸化水素と塩
基とを含む処理水を水滴に分裂させる処理であり、気液
分離処理は、水分裂処理によって発生した水滴を分離し
て空気中から除去し、被処理空気を清浄化して外部に排
出する処理であるとしたものであり、有機物除去性能を
さらに高めるという作用を有する。
分離処理とを併用して被処理空気の清浄化を行なう空気
の清浄化方法であって、水分裂処理は、過酸化水素と塩
基とを含む処理水を水滴に分裂させる処理であり、気液
分離処理は、水分裂処理によって発生した水滴を分離し
て空気中から除去し、被処理空気を清浄化して外部に排
出する処理であるとしたものであり、有機物除去性能を
さらに高めるという作用を有する。
【００２８】以下に本発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００２９】
【実施例】（実施例１）本発明は、酸化分解処理を行な
って、空気中に含まれた有機物を除去する空気の清浄化
方法およびその方法に用いる装置である。本発明におい
て、酸化分解処理は、オゾンガス雰囲気内で過酸化水素
を含む水滴に空気を接触させ、空気中の有機物を水中に
溶解させる処理であり、この処理の結果、有機物は空気
中から除去される。
って、空気中に含まれた有機物を除去する空気の清浄化
方法およびその方法に用いる装置である。本発明におい
て、酸化分解処理は、オゾンガス雰囲気内で過酸化水素
を含む水滴に空気を接触させ、空気中の有機物を水中に
溶解させる処理であり、この処理の結果、有機物は空気
中から除去される。
【００３０】なお、酸化分解処理に際しては、オゾンガ
ス雰囲気内に塩基を添加しつつ雰囲気を中性またはアル
カリ性領域に保持しつつ行なう。また、酸化分解処理に
おいて添加された過剰の過酸化水素及びオゾンガスは、
活性炭を用いた接触分解処理によって水中から除去する
ことができる。
ス雰囲気内に塩基を添加しつつ雰囲気を中性またはアル
カリ性領域に保持しつつ行なう。また、酸化分解処理に
おいて添加された過剰の過酸化水素及びオゾンガスは、
活性炭を用いた接触分解処理によって水中から除去する
ことができる。
【００３１】酸化分解処理によって、過酸化水素とオゾ
ンガスとの反応生成物を空気中の有機物に作用させる
と、有機物は酸化分解して有機酸（酢酸、蟻酸など）が
生成する。有機酸は水に溶解し、水中の有機酸はイオン
交換処理によって除去することができる。
ンガスとの反応生成物を空気中の有機物に作用させる
と、有機物は酸化分解して有機酸（酢酸、蟻酸など）が
生成する。有機酸は水に溶解し、水中の有機酸はイオン
交換処理によって除去することができる。
【００３２】図３において、本発明に用いる空気清浄化
装置は、気液混合槽１を有している。気液混合槽１は、
過酸化水素（Ｈ2Ｏ2）と塩基（ＯＨ）とを含む処理水Ｗ
の水滴Ｄで満たされたオゾン雰囲気ＡＯ3を形成し、外
部から導入した被処理空気ＤＡｒを水滴Ｄに接触させて
被処理空気ＤＡｒ中に含まれる有機物ＯＭを有機酸ＯＡ
として水中に取込ませる条件を形成する空間である。
装置は、気液混合槽１を有している。気液混合槽１は、
過酸化水素（Ｈ2Ｏ2）と塩基（ＯＨ）とを含む処理水Ｗ
の水滴Ｄで満たされたオゾン雰囲気ＡＯ3を形成し、外
部から導入した被処理空気ＤＡｒを水滴Ｄに接触させて
被処理空気ＤＡｒ中に含まれる有機物ＯＭを有機酸ＯＡ
として水中に取込ませる条件を形成する空間である。
【００３３】そして、気液混合槽１は、過酸化水素と塩
基を含む処理水Ｗを水滴Ｄとして気液混合槽１内に噴出
するノズル２を備え、過酸化水素と塩基を含む処理水Ｗ
は、配管を通じてノズル２に供給される。
基を含む処理水Ｗを水滴Ｄとして気液混合槽１内に噴出
するノズル２を備え、過酸化水素と塩基を含む処理水Ｗ
は、配管を通じてノズル２に供給される。
【００３４】なお、オゾンＯ3は、気液混合槽１の底に
貯められた処理水Ｗを通し、バブリングによって気液混
合槽１内に供給される。
貯められた処理水Ｗを通し、バブリングによって気液混
合槽１内に供給される。
【００３５】本発明において、気液混合槽１内に形成さ
れた高濃度オゾンの雰囲気ＡＯ3中にノズル２から処理
水Ｗを噴霧すると、Ｏ3とＨ2Ｏ2との反応によって、Ｏ
Ｈラジカル[・ＯＨ]が生成する。この条件が整ったとこ
ろで、被処理空気ＤＡｒを気液混合槽１内へ導入する。
れた高濃度オゾンの雰囲気ＡＯ3中にノズル２から処理
水Ｗを噴霧すると、Ｏ3とＨ2Ｏ2との反応によって、Ｏ
Ｈラジカル[・ＯＨ]が生成する。この条件が整ったとこ
ろで、被処理空気ＤＡｒを気液混合槽１内へ導入する。
【００３６】生成した[・ＯＨ]は、被処理空気ＤＡｒ中
の有機物ＯＭを酸化分解して有機酸ＯＡを生成させ、有
機酸ＯＡは水に溶解する。有機物ＯＭは酸化分解の結
果、一部はＣＯ2、Ｈ2Ｏにまで分解するものもあるが、
本発明においては有機物ＯＭの全てを一挙にＣＯ2にま
で分解反応を進行させることなく、反応をＣＨ3ＣＯＯ-
のような有機酸ＯＡの段階に留める点が最大の特徴であ
る。被処理空気ＤＡｒは、過酸化水素（Ｈ2Ｏ2）と塩基
（ＯＨ）とを含む処理水Ｗの水滴Ｄで満たされたオゾン
雰囲気ＡＯ3で空気中に含まれた有機物ＯＭが除去さ
れ、清浄空気ＣＡｒとなって気液混合槽１内から外部に
送り出される。
の有機物ＯＭを酸化分解して有機酸ＯＡを生成させ、有
機酸ＯＡは水に溶解する。有機物ＯＭは酸化分解の結
果、一部はＣＯ2、Ｈ2Ｏにまで分解するものもあるが、
本発明においては有機物ＯＭの全てを一挙にＣＯ2にま
で分解反応を進行させることなく、反応をＣＨ3ＣＯＯ-
のような有機酸ＯＡの段階に留める点が最大の特徴であ
る。被処理空気ＤＡｒは、過酸化水素（Ｈ2Ｏ2）と塩基
（ＯＨ）とを含む処理水Ｗの水滴Ｄで満たされたオゾン
雰囲気ＡＯ3で空気中に含まれた有機物ＯＭが除去さ
れ、清浄空気ＣＡｒとなって気液混合槽１内から外部に
送り出される。
【００３７】図４は、酸化分解処理に、水分裂処理と、
気液分離処理とを併用して被処理空気ＤＡｒの清浄化を
さらに積極的に行なう例である。水分裂処理は、過酸化
水素（Ｈ2Ｏ2）と塩基（ＯＨ）とを含む処理水Ｗにエネ
ルギーを付与して気液混合槽１内で微細水滴に分裂させ
る処理であり、気液分離処理は、水分裂処理後、微細水
滴を遠心力分離して空気中から微細水滴を除去し、被処
理空気ＤＡｒを清浄空気ＣＡｒにして外部に排出する処
理である。気液分離処理は、気液混合槽１内で行ない、
気液分離処理にはサイクロンセパレータ１０を用いてい
る。なお、サイクロンセパレータ１０から送出される清
浄空気ＣＡｒを外部へ排出するに際しては、残留オゾン
分解装置１３を通して外部へ排出すればより安全であ
る。
気液分離処理とを併用して被処理空気ＤＡｒの清浄化を
さらに積極的に行なう例である。水分裂処理は、過酸化
水素（Ｈ2Ｏ2）と塩基（ＯＨ）とを含む処理水Ｗにエネ
ルギーを付与して気液混合槽１内で微細水滴に分裂させ
る処理であり、気液分離処理は、水分裂処理後、微細水
滴を遠心力分離して空気中から微細水滴を除去し、被処
理空気ＤＡｒを清浄空気ＣＡｒにして外部に排出する処
理である。気液分離処理は、気液混合槽１内で行ない、
気液分離処理にはサイクロンセパレータ１０を用いてい
る。なお、サイクロンセパレータ１０から送出される清
浄空気ＣＡｒを外部へ排出するに際しては、残留オゾン
分解装置１３を通して外部へ排出すればより安全であ
る。
【００３８】図４において、気液混合槽１内にはモータ
１１にて回転駆動される回転羽根１２が設置されてい
る。ノズル２から、過酸化水素（Ｈ2Ｏ2）と塩基（Ｏ
Ｈ）とを含む処理水Ｗを噴出し、また、気液混合槽１の
底に貯められた処理水Ｗを通し、バブリングによって、
Ｏ3を気液混合槽１内に供給し、外部から導入した被処
理空気ＤＡrの酸化分解処理を行なう点は、図３の例と
同じであるが、図４においては、ノズル２から噴出され
た処理水Ｗは、回転羽根１２に叩打されて微細水滴に分
裂し気液接触反応が促進される。
１１にて回転駆動される回転羽根１２が設置されてい
る。ノズル２から、過酸化水素（Ｈ2Ｏ2）と塩基（Ｏ
Ｈ）とを含む処理水Ｗを噴出し、また、気液混合槽１の
底に貯められた処理水Ｗを通し、バブリングによって、
Ｏ3を気液混合槽１内に供給し、外部から導入した被処
理空気ＤＡrの酸化分解処理を行なう点は、図３の例と
同じであるが、図４においては、ノズル２から噴出され
た処理水Ｗは、回転羽根１２に叩打されて微細水滴に分
裂し気液接触反応が促進される。
【００３９】ついで微細水滴を含む空気は、気液混合槽
１からサイクロンセパレータ１０に圧送され、空気流の
旋回によって生じた遠心力作用で空気中の水分が除去さ
れ、さらに、空気中にたとえオゾンが残留することがあ
っても残留オゾン分解装置１３にて完全に除去され、オ
ゾンを含まない清浄空気ＣＡｒとなって外部に排出され
る。排出された空気は、負イオンを多量に含む多湿の清
浄空気である。この実施形態において、水分裂処理には
回転羽根を用いて噴出された処理水に機械的エネルギー
を付与して微細水滴に分裂させる例を示したが、微細水
滴に分裂させる為に付与するエネルギーは、機械的エネ
ルギーに限らず電磁エネルギーであってもよい。
１からサイクロンセパレータ１０に圧送され、空気流の
旋回によって生じた遠心力作用で空気中の水分が除去さ
れ、さらに、空気中にたとえオゾンが残留することがあ
っても残留オゾン分解装置１３にて完全に除去され、オ
ゾンを含まない清浄空気ＣＡｒとなって外部に排出され
る。排出された空気は、負イオンを多量に含む多湿の清
浄空気である。この実施形態において、水分裂処理には
回転羽根を用いて噴出された処理水に機械的エネルギー
を付与して微細水滴に分裂させる例を示したが、微細水
滴に分裂させる為に付与するエネルギーは、機械的エネ
ルギーに限らず電磁エネルギーであってもよい。
【００４０】一方、反応に使用されなかった処理水中の
オゾンや過酸化水素水などの酸化剤は、活性炭を用いて
分解除去し、有機酸はイオン交換樹脂を用いて処理水Ｗ
中から除去することができる。本発明において、有機物
の全てが一挙にＣＯ2になるまで分解を進行させること
なく反応を有機酸の段階に留めるのは、有機物の酸化分
解・除去効率を高めるためである。
オゾンや過酸化水素水などの酸化剤は、活性炭を用いて
分解除去し、有機酸はイオン交換樹脂を用いて処理水Ｗ
中から除去することができる。本発明において、有機物
の全てが一挙にＣＯ2になるまで分解を進行させること
なく反応を有機酸の段階に留めるのは、有機物の酸化分
解・除去効率を高めるためである。
【００４１】すなわち、水中に溶け込ませたＴＯＣを完
全にＣＯ2とＨ2Ｏにまで分解させるには、多くのエネル
ギーが必要であるが、有機物の分解を有機酸までに止め
ることによって水中に溶け込ませることができ、水中の
有機酸はイオン交換樹脂に接触させることによって水中
から取り除くことができ、酸化分解処理とイオン交換処
理との２段階処理によって、有機物の分解に要するエネ
ルギーの消費を大幅に軽減できる。
全にＣＯ2とＨ2Ｏにまで分解させるには、多くのエネル
ギーが必要であるが、有機物の分解を有機酸までに止め
ることによって水中に溶け込ませることができ、水中の
有機酸はイオン交換樹脂に接触させることによって水中
から取り除くことができ、酸化分解処理とイオン交換処
理との２段階処理によって、有機物の分解に要するエネ
ルギーの消費を大幅に軽減できる。
【００４２】図５に市水又は排水処理水を用いて空気中
に含まれた有機性ガスを処理する例を具体的に説明す
る。市水又は排水処理水Ｗは、タンク４からポンプ５で
汲み出され、配管３を通して気液混合槽１内に供給され
るが、その途中の配管３内に過酸化水素（Ｈ2Ｏ2）と、
塩基として例えば水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）が添加
され、Ｈ2Ｏ2とＮａＯＨとを含む処理水Ｗがノズル２か
ら気液混合槽１内に噴射され、水滴Ｄとなって、気液混
合槽１内に落下する。
に含まれた有機性ガスを処理する例を具体的に説明す
る。市水又は排水処理水Ｗは、タンク４からポンプ５で
汲み出され、配管３を通して気液混合槽１内に供給され
るが、その途中の配管３内に過酸化水素（Ｈ2Ｏ2）と、
塩基として例えば水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）が添加
され、Ｈ2Ｏ2とＮａＯＨとを含む処理水Ｗがノズル２か
ら気液混合槽１内に噴射され、水滴Ｄとなって、気液混
合槽１内に落下する。
【００４３】一方、気液混合槽１内には、予め定量の処
理水Ｗが充填され、水中を通してオゾン（Ｏ3）がバブ
リングされ、気液混合槽１内は高濃度オゾン雰囲気ＡＯ
3が満たされている。
理水Ｗが充填され、水中を通してオゾン（Ｏ3）がバブ
リングされ、気液混合槽１内は高濃度オゾン雰囲気ＡＯ
3が満たされている。
【００４４】気液混合槽１内の高濃度オゾン雰囲気ＡＯ
3中に、被処理空気ＤＡｒとして、有機性ガスを含んだ
空気を導入する。気液混合槽１内に導入された空気中の
有機性ガス（有機物）ＯＭは、図３に示したようにＯ3
とＨ2Ｏ2との反応によって、生成した[・ＯＨ]に接触
し、有機物ＯＭが酸化分解されて有機酸ＯＡが生成さ
れ、生成した有機酸ＯＡは、処理水Ｗ中に溶解し、気液
混合槽１の底に貯められ、有機物ＯＭが除去された空気
は、清浄空気ＣＡｒとして、気液混合槽１の外部に送出
される。
3中に、被処理空気ＤＡｒとして、有機性ガスを含んだ
空気を導入する。気液混合槽１内に導入された空気中の
有機性ガス（有機物）ＯＭは、図３に示したようにＯ3
とＨ2Ｏ2との反応によって、生成した[・ＯＨ]に接触
し、有機物ＯＭが酸化分解されて有機酸ＯＡが生成さ
れ、生成した有機酸ＯＡは、処理水Ｗ中に溶解し、気液
混合槽１の底に貯められ、有機物ＯＭが除去された空気
は、清浄空気ＣＡｒとして、気液混合槽１の外部に送出
される。
【００４５】一方、気液混合槽１内に貯められた処理水
Ｗは、ポンプ６で吸引され、配管７を経由して接触分解
槽８内に送入され、接触分解槽８内に充填された活性炭
による接触分解反応によって、水中に残存する余剰のＯ
3とＨ2Ｏ2は分解され、水中に残る有機酸ＯＡは中和さ
れ、さらに生物処理によって最終的にＣＯ2とＨ2Ｏまで
分解されて放流される。
Ｗは、ポンプ６で吸引され、配管７を経由して接触分解
槽８内に送入され、接触分解槽８内に充填された活性炭
による接触分解反応によって、水中に残存する余剰のＯ
3とＨ2Ｏ2は分解され、水中に残る有機酸ＯＡは中和さ
れ、さらに生物処理によって最終的にＣＯ2とＨ2Ｏまで
分解されて放流される。
【００４６】（実施例２）図６は、純水を処理水Ｗとし
て用い、空気中に含まれた有機性ガスを処理する例であ
る。この実施例においては、気液混合槽１に接続された
処理水供給用の配管３と処理水送出用の配管７とが循環
管路を形成し、気液混合槽１の送出側配管７にポンプ６
と、接触分解槽８と、イオン交換樹脂反応槽９とが順に
接続され、処理水供給用の配管３を通して、気液混合槽
１へ供給する処理水Ｗ中にＨ2Ｏ2とＮａＯＨが添加され
る。
て用い、空気中に含まれた有機性ガスを処理する例であ
る。この実施例においては、気液混合槽１に接続された
処理水供給用の配管３と処理水送出用の配管７とが循環
管路を形成し、気液混合槽１の送出側配管７にポンプ６
と、接触分解槽８と、イオン交換樹脂反応槽９とが順に
接続され、処理水供給用の配管３を通して、気液混合槽
１へ供給する処理水Ｗ中にＨ2Ｏ2とＮａＯＨが添加され
る。
【００４７】本実施例においても、実施例１と同様にＨ
2Ｏ2と塩基（たとえばＮａＯＨ）とを含む処理水Ｗがノ
ズル２から気液混合槽１内に噴射され、処理水Ｗは水滴
Ｄとなって気液混合槽１内に落下する。一方、気液混合
槽内には予め定量の水が充填され、水中を通してオゾン
（Ｏ3）がバブリングされる。オゾン（Ｏ3）は、気液混
合槽１内に吹込む被処理空気ＤＡｒ内に添加してもよ
い。
2Ｏ2と塩基（たとえばＮａＯＨ）とを含む処理水Ｗがノ
ズル２から気液混合槽１内に噴射され、処理水Ｗは水滴
Ｄとなって気液混合槽１内に落下する。一方、気液混合
槽内には予め定量の水が充填され、水中を通してオゾン
（Ｏ3）がバブリングされる。オゾン（Ｏ3）は、気液混
合槽１内に吹込む被処理空気ＤＡｒ内に添加してもよ
い。
【００４８】気液混合槽１内に形成された高濃度オゾン
雰囲気ＡＯ3中に有機性ガスを含んだ被処理空気ＤＡｒ
が導入されると、前実施例と同様に、被処理空気Ａｒ中
の有機性ガス（有機物）ＯＭは、[・ＯＨ]によって酸化
分解され、有機酸ＯＡが生成され、生成した有機酸ＯＡ
は水中に溶解する。有機物ＯＭが除去された空気は、清
浄空気ＣＡｒとして、気液混合槽１の外部に送出され、
有機酸ＯＡは、気液混合槽１内の処理水Ｗ中に貯められ
る。
雰囲気ＡＯ3中に有機性ガスを含んだ被処理空気ＤＡｒ
が導入されると、前実施例と同様に、被処理空気Ａｒ中
の有機性ガス（有機物）ＯＭは、[・ＯＨ]によって酸化
分解され、有機酸ＯＡが生成され、生成した有機酸ＯＡ
は水中に溶解する。有機物ＯＭが除去された空気は、清
浄空気ＣＡｒとして、気液混合槽１の外部に送出され、
有機酸ＯＡは、気液混合槽１内の処理水Ｗ中に貯められ
る。
【００４９】この実施例においては、気液混合槽１内に
貯められた処理水Ｗは、ポンプ６で配管７内に吸引さ
れ、まず、接触分解槽８内に送り込まれ、水中に残存す
る余剰のＯ3とＨ2Ｏ2を分解した後に、処理水Ｗはイオ
ン交換樹脂反応槽９内に送り込まれる。
貯められた処理水Ｗは、ポンプ６で配管７内に吸引さ
れ、まず、接触分解槽８内に送り込まれ、水中に残存す
る余剰のＯ3とＨ2Ｏ2を分解した後に、処理水Ｗはイオ
ン交換樹脂反応槽９内に送り込まれる。
【００５０】イオン交換反応槽９内では、槽内に充填さ
れたイオン交換樹脂と有機酸間でイオン交換が行われ、
有機酸イオンがイオン交換樹脂に捕捉され、有機酸から
分離したＨ+と、イオン交換樹脂から分離したＯＨ-が結
合して水が生じ、処理水Ｗとともに配管３内に戻され、
再び気液混合槽１に供給されて循環を繰り返す。
れたイオン交換樹脂と有機酸間でイオン交換が行われ、
有機酸イオンがイオン交換樹脂に捕捉され、有機酸から
分離したＨ+と、イオン交換樹脂から分離したＯＨ-が結
合して水が生じ、処理水Ｗとともに配管３内に戻され、
再び気液混合槽１に供給されて循環を繰り返す。
【００５１】この実施形態によれば、気液混合槽１内で
被処理空気ＤＡｒ中に含まれる有機物ＯＭを酸化分解さ
せて処理水Ｗ中に有機酸ＯＡとして取込み、水中に取込
まれた有機酸ＯＡは、イオン交換処理により水中から除
去して空気の清浄化に用いた処理水Ｗを繰り返し利用す
ることができる。
被処理空気ＤＡｒ中に含まれる有機物ＯＭを酸化分解さ
せて処理水Ｗ中に有機酸ＯＡとして取込み、水中に取込
まれた有機酸ＯＡは、イオン交換処理により水中から除
去して空気の清浄化に用いた処理水Ｗを繰り返し利用す
ることができる。
【００５２】
【発明の効果】以上のように本発明による空気の清浄化
方法によるときには、酸化分解処理として、オゾンガス
雰囲気内に過酸化水素を含む水滴に空気を接触させ、空
気中の有機物を主として有機酸に分解し、有機酸を水中
に溶解させて空気中から除去するため、空気中に不溶性
の有機物が含まれていても容易にこれを水中に溶解させ
て空気中から除去することができ、水中に取込んだ有機
物の分解に要するエネルギーの消費を大幅に軽減でき
る。また、酸化分解処理に水分裂処理と、気液分離処理
とを併用し、さらに被処理空気中の残留オゾンを除去す
ることによって、被処理空気をより清浄化して外部に送
出することができる。
方法によるときには、酸化分解処理として、オゾンガス
雰囲気内に過酸化水素を含む水滴に空気を接触させ、空
気中の有機物を主として有機酸に分解し、有機酸を水中
に溶解させて空気中から除去するため、空気中に不溶性
の有機物が含まれていても容易にこれを水中に溶解させ
て空気中から除去することができ、水中に取込んだ有機
物の分解に要するエネルギーの消費を大幅に軽減でき
る。また、酸化分解処理に水分裂処理と、気液分離処理
とを併用し、さらに被処理空気中の残留オゾンを除去す
ることによって、被処理空気をより清浄化して外部に送
出することができる。
【００５３】また、酸化分解処理は、オゾンガス雰囲気
内に塩基を添加しつつ雰囲気を中性またはアルカリ性に
保持しつつ行なうことにより、円滑に進行させることが
できる。
内に塩基を添加しつつ雰囲気を中性またはアルカリ性に
保持しつつ行なうことにより、円滑に進行させることが
できる。
【００５４】また、酸化分解処理に用いられたオゾンや
過酸化水素は、酸化分解処理によって除去し、さらにイ
オン交換処理を施すことによって、純水に再生し、繰返
し酸化分解処理に用いることができる。
過酸化水素は、酸化分解処理によって除去し、さらにイ
オン交換処理を施すことによって、純水に再生し、繰返
し酸化分解処理に用いることができる。
【００５５】また、本発明による空気清浄化装置によれ
ば、外部から導入した空気を水滴に接触させて空気中に
含まれる有機物を有機酸として水中に取込ませる条件を
形成する気液混合槽を用いることによって実現でき、上
記条件は、オゾン雰囲気を形成する気液混合槽内に過酸
化水素と塩基を含む処理水を水滴として気液混合槽内に
噴出するノズルを用いて容易に実現できる効果を有す
る。
ば、外部から導入した空気を水滴に接触させて空気中に
含まれる有機物を有機酸として水中に取込ませる条件を
形成する気液混合槽を用いることによって実現でき、上
記条件は、オゾン雰囲気を形成する気液混合槽内に過酸
化水素と塩基を含む処理水を水滴として気液混合槽内に
噴出するノズルを用いて容易に実現できる効果を有す
る。
【図１】酸化反応時間とＴＯＣ値との関係を示す図。
【図２】酸化分解処理と、イオン交換処理前後の水中に
おけるＴＯＣ値の変化を示す図。
おけるＴＯＣ値の変化を示す図。
【図３】本発明の基本的構成を示す図。
【図４】被処理空気を清浄化する具体的な一例を示す
図。
図。
【図５】実施例１の構成を示す図。
【図６】実施例２の構成を示す図。
１ 気液混合槽 ２ ノズル ３，７ 配管 ４ タンク ５，６ ポンプ ８ 接触分解槽 ９ イオン交換樹脂反応槽 １０ サイクロンセパレータ １１ モータ １２ 回転羽根 １３ 残留オゾン分解装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柳 基典 神奈川県厚木市岡田二丁目９番８号 野村 マイクロ・サイエンス株式会社内 (72)発明者 小島 泉里 神奈川県厚木市岡田二丁目９番８号 野村 マイクロ・サイエンス株式会社内 Ｆターム(参考） 4D002 AA40 AB03 BA02 CA01 CA13 DA35 DA51 DA52 EA03 GA03 GB09 4D020 AA08 BA01 BA08 BA23 BA30 BB03 CB25 CB35 CC21 CD01 CD10 DA01 DB08 4D032 AC01 AC07 BA03 BA05 BA06 BB18 BB19 CA01 CA10 DA01
Claims (7)
- 【請求項１】 酸化分解処理を有する空気の清浄化方法
であって、酸化分解処理は、オゾンガス雰囲気内で過酸
化水素を含む水滴に被処理空気を接触させ、被処理空気
中の有機物を主として有機酸に分解し、生成した有機酸
を水中に溶解させて被処理空気中から除去する処理であ
ることを特徴とする空気の清浄化方法。 - 【請求項２】 酸化分解処理は、オゾンガス雰囲気内に
塩基を添加しつつ雰囲気を中性またはアルカリ性領域に
保持しつつ行なう処理であることを特徴とする請求項１
に記載の空気の清浄化方法。 - 【請求項３】 酸化分解処理は、水滴内に含む過酸化水
素をオゾンガス雰囲気に接触させてＯＨラジカルを生成
させ、生成したＯＨラジカルを空気中の有機物に作用さ
せて酸化分解させる処理であることを特徴とする請求項
１に記載の空気の清浄化方法。 - 【請求項４】 酸化分解処理に水分裂処理と、気液分離
処理とを併用して被処理空気の清浄化を行なう空気の清
浄化方法であって、水分裂処理は、過酸化水素と、塩基
とを含む処理水を水滴に分裂させる処理であり、気液分
離処理は、水分裂処理によって発生した水滴を分離して
空気中から除去し、被処理空気を清浄化して外部に排出
する処理であることを特徴とする請求項１に記載の空気
の清浄化方法。 - 【請求項５】 酸化分解処理は、生成したＯＨラジカル
を空気中の有機物に作用させ、有機物の大部分を有機酸
に分解して水中に溶解させる手段を有することを特徴と
する請求項３に記載の空気の清浄化方法。 - 【請求項６】 気液混合槽を有する空気清浄化装置であ
って、気液混合槽は、過酸化水素と塩基とを含む水滴で
満たされたオゾン雰囲気を形成し、外部から導入した空
気を水滴に接触させて空気中に含まれる有機物を有機酸
として水中に取込ませる条件を形成するものであること
を特徴とする空気清浄化装置。 - 【請求項７】 気液混合槽はノズルを有し、ノズルはオ
ゾン雰囲気を形成する気液混合槽内に過酸化水素と塩基
を含む処理水を水滴として気液混合槽内に噴出するもの
であることを特徴とする請求項６に記載の空気清浄化装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000323749A JP4042021B2 (ja) | 2000-10-24 | 2000-10-24 | 空気の清浄化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000323749A JP4042021B2 (ja) | 2000-10-24 | 2000-10-24 | 空気の清浄化方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002126450A true JP2002126450A (ja) | 2002-05-08 |
| JP4042021B2 JP4042021B2 (ja) | 2008-02-06 |
Family
ID=18801381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000323749A Expired - Fee Related JP4042021B2 (ja) | 2000-10-24 | 2000-10-24 | 空気の清浄化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4042021B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100842355B1 (ko) * | 2007-03-26 | 2008-06-30 | 운해이엔씨(주) | 오존 및 ｏｈ 라디칼을 이용한 악취 제거 장치 |
| JP2016000189A (ja) * | 2014-05-21 | 2016-01-07 | 株式会社フジコー | 空気浄化装置 |
| CN113368675A (zh) * | 2021-07-06 | 2021-09-10 | 深圳前海中盛环保科技有限公司 | 离子交换纤维处理烟气脱硫脱硝方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS48101378A (ja) * | 1972-04-05 | 1973-12-20 | ||
| JPS54101764A (en) * | 1978-01-30 | 1979-08-10 | Fusou Kk | Treatment of bad odor gas |
| JPS54128976A (en) * | 1978-03-31 | 1979-10-05 | Chugoku Kogyo Kk | Method and apparatus for treating excrements |
| JPS5597226A (en) * | 1979-01-17 | 1980-07-24 | Kurabo Ind Ltd | Method and apparatus for treating exhaust gas |
| JPH1057749A (ja) * | 1996-08-22 | 1998-03-03 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | オゾン水による空気脱臭方法及び空気脱臭装置 |
| JP2000185217A (ja) * | 1998-10-15 | 2000-07-04 | Mitsubishi Electric Corp | 排ガス処理方法および装置 |
-
2000
- 2000-10-24 JP JP2000323749A patent/JP4042021B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS48101378A (ja) * | 1972-04-05 | 1973-12-20 | ||
| JPS54101764A (en) * | 1978-01-30 | 1979-08-10 | Fusou Kk | Treatment of bad odor gas |
| JPS54128976A (en) * | 1978-03-31 | 1979-10-05 | Chugoku Kogyo Kk | Method and apparatus for treating excrements |
| JPS5597226A (en) * | 1979-01-17 | 1980-07-24 | Kurabo Ind Ltd | Method and apparatus for treating exhaust gas |
| JPH1057749A (ja) * | 1996-08-22 | 1998-03-03 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | オゾン水による空気脱臭方法及び空気脱臭装置 |
| JP2000185217A (ja) * | 1998-10-15 | 2000-07-04 | Mitsubishi Electric Corp | 排ガス処理方法および装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100842355B1 (ko) * | 2007-03-26 | 2008-06-30 | 운해이엔씨(주) | 오존 및 ｏｈ 라디칼을 이용한 악취 제거 장치 |
| JP2016000189A (ja) * | 2014-05-21 | 2016-01-07 | 株式会社フジコー | 空気浄化装置 |
| CN113368675A (zh) * | 2021-07-06 | 2021-09-10 | 深圳前海中盛环保科技有限公司 | 离子交换纤维处理烟气脱硫脱硝方法 |
| CN113368675B (zh) * | 2021-07-06 | 2023-03-17 | 深圳前海中盛环保科技有限公司 | 离子交换纤维处理烟气脱硫脱硝方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4042021B2 (ja) | 2008-02-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101364903B1 (ko) | 가스용해 세정수의 제조방법, 제조장치 및 세정장치 | |
| JP2000195833A (ja) | 洗浄方法及び洗浄装置 | |
| CN202683055U (zh) | 氧化喷淋塔 | |
| JPH05220480A (ja) | 純水製造装置 | |
| JP4224817B2 (ja) | １，４−ジオキサンの処理方法 | |
| JP2002126450A (ja) | 空気の清浄化方法とその装置 | |
| JP2001170615A (ja) | 揮発性有機物の除去方法 | |
| KR101646192B1 (ko) | 인산 용액의 오염 물질 제거 방법 및 플랜트 | |
| JP3129945B2 (ja) | 半導体製造排ガスの処理方法 | |
| KR20160009841A (ko) | 악취제거용 습식 스크러빙 모듈 및 이를 이용한 악취제거용 습식 스크러빙 설비 | |
| JP2008062129A (ja) | 脱臭システム | |
| JP2001113291A (ja) | 有機物含有水の処理装置 | |
| JP2005270886A (ja) | 産業排水の処理方法及び装置 | |
| JPH10202296A (ja) | 超純水製造装置 | |
| WO2006137194A1 (ja) | 基体表面上の有機被膜の除去方法および除去装置 | |
| JPWO2007123198A1 (ja) | 基板処理装置及び基板製造方法 | |
| JPH0671594B2 (ja) | 水中の溶存酸素の除去方法および装置 | |
| JP3789631B2 (ja) | 水処理方法および水処理装置 | |
| JPH0338297A (ja) | トリクロロエチレン及びテトラクロロエチレン汚染水の処理方法 | |
| JP3393211B2 (ja) | 空気清浄化方法とその装置 | |
| JP3928484B2 (ja) | 機能水の回収方法 | |
| JPH0938671A (ja) | 水処理方法及び水処理装置 | |
| EP0522160A1 (en) | Method of washing motor vehicle | |
| JPH0838807A (ja) | 廃液処理装置 | |
| CN212712744U (zh) | 一种脱除硫酸中双氧水的设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040708 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050131 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061204 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070130 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070518 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070711 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070803 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070906 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071002 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071031 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101122 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101122 Year of fee payment: 3 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101122 Year of fee payment: 3 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111122 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111122 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121122 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121122 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131122 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |