JP2002124097A - 半導体メモリ装置及びこの装置の救済方法 - Google Patents
半導体メモリ装置及びこの装置の救済方法Info
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- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
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Abstract
救済することによって収率を向上させることができ、し
かもレイアウト面で有利となる半導体メモリ装置及びそ
の装置の救済方法を提供する。 【解決手段】 メモリセルアレイ、救済セル制御回路、
センス増幅回路、救済セル回路を有し、救済セル制御回
路は不良セルアドレスを貯蔵して、不良セルアドレスと
入力アドレスが一致すれば救済セルイネーブル制御信号
を発生して、救済セルイネーブル制御信号に応答してリ
ード時には救済セルリード制御信号を発生し、ライト時
には救済セルライト制御信号を発生し、救済セル回路は
救済セルライト制御信号に応答して入出力ライングルー
プに伝送される入力データを貯蔵し、リード時には救済
セルリード制御信号に応答して貯蔵されたデータを入出
力ライングループに伝送する。
Description
関するものであり、特にパッケージ状態でメモリセルア
レイの不良を救済できる半導体メモリ装置及びこの装置
の救済方法に関するものである。
アレイは正常なメモリセルアレイとリダンダンシメモリ
セルアレイで構成されている。それで、ウェハ状態の半
導体メモリ装置をテストして正常なメモリセルアレイの
メモリセルに不良が発見されると、これをリダンダンシ
メモリセルで代えるようになる。このような方法を遂行
し半導体メモリ装置を救済することによって収率が向上
する。
よって救済された半導体メモリ装置であってもパッケー
ジ状態でテストを遂行すると、メモリセルアレイに不良
メモリセルが発見される。しかし、パッケージ状態のメ
モリセルアレイの不良中約80%以上が1ビットまたは
2ビットメモリセルの不良である。したがって、パッケ
ージ状態で1ビットまたは2ビットの不良メモリセルを
救済できるならば半導体メモリ装置の収率が相当な水準
に向上することになる。
の救済方法は、救済セルを、メモリセルアレイブロック
間に位置してデータ入出力ライングループを構成するデ
ータ入出力ライン対間に配置した。
レイの容量が増加するのに伴ってメモリセルアレイを構
成するメモリセルアレイブロック間の面積が狭くなりつ
つある。したがって、データ入出力ライン対間に救済セ
ルを配置することはレイアウト面で不利である。
セルアレイの不良を救済することによって収率を向上さ
せることができ、しかもレイアウト面で有利となる半導
体メモリ装置を提供することにある。本発明の他の目的
は、前記目的を達成するための半導体メモリ装置の救済
方法を提供することにある。
の本発明の半導体メモリ装置の第1形態は、データ入出
力ライングループを通してデータを入出力するためのメ
モリセルアレイと、不良セルアドレスを貯蔵して、この
不良セルアドレスと入力アドレスが一致すれば救済セル
イネーブル制御信号を発生して、この救済セルイネーブ
ル制御信号に応答してリード時には救済セルリード制御
信号を発生し、ライト時には救済セルライト制御信号を
発生するための少なくとも一つ以上の救済セル制御手段
と、前記データ入出力ライングループに共通連結された
入出力ライングループに連結されてリード時に前記メモ
リセルアレイから出力されるデータを増幅して出力し、
前記救済セルリード制御信号に応答してディスエーブル
されるセンス増幅手段と、前記救済セルライト制御信号
に応答して前記入出力ライングループに伝送される入力
データを貯蔵し、リード時には前記救済セルリード制御
信号に応答して貯蔵されたデータを前記入出力ライング
ループに伝送するための少なくとも一つ以上の救済セル
手段とを備えたことを特徴とする。
増幅手段は、前記入出力ライングループを構成する入出
力ライン対各々の電流差を感知して増幅するための電流
増幅手段と、この電流増幅手段の出力信号を駆動するた
めの駆動手段とを備えたことを特徴とする。
メモリ装置の第2形態は、データ入出力ライングループ
を通してデータを入出力するためのメモリセルアレイ
と、不良セルアドレスを貯蔵して、この不良セルアドレ
スと入力アドレスが一致すれば救済セルイネーブル制御
信号を発生して、この救済セルイネーブル制御信号に応
答してリード時には救済セルリード制御信号を発生し、
ライト時には救済セルライト制御信号を発生するための
少なくとも一つ以上の救済セル制御手段と、リード時に
前記データ入出力ライングループを通して伝送されるデ
ータを増幅して前記データ入出力ライングループに共通
連結された入出力ライングループに伝送し、前記救済セ
ルリード制御信号に応答してディスエーブルされるセン
ス増幅手段と、前記救済セルライト制御信号に応答して
前記入出力ライングループに伝送される入力データを貯
蔵し、前記救済セルリード制御信号に応答して貯蔵され
たデータを前記入出力ライングループに伝送するための
少なくとも一つ以上の救済セル手段とを備えたことを特
徴とする。
増幅手段は、前記データ入出力ライングループを通して
伝送されるデータの電圧差を感知して増幅することを特
徴とする。
導体メモリ装置の救済方法は、データ入出力ライングル
ープを通してデータを入出力するためのメモリセルアレ
イと、前記データ入出力ライングループに共通連結され
た入出力ライングループとを備えた半導体メモリ装置の
救済方法において、モード制御信号に応答して不良セル
アドレスを貯蔵する第1段階と、入力アドレスが前記不
良アドレスと一致すれば救済セルイネーブル制御信号を
発生する第2段階と、前記救済セルイネーブル制御信号
に応答してリード時には前記救済セルリード制御信号を
発生し、ライト時には前記救済セルライト制御信号を発
生する第3段階と、リード時に前記救済セルリード制御
信号に応答して前記救済セル手段に貯蔵されたデータを
前記入出力ライングループに出力し、ライト時に前記救
済セルライト制御信号に応答して前記救済セル手段とし
て入力データを貯蔵する第4段階とを備えたことを特徴
とする。
発明の半導体メモリ装置及びこの装置の救済方法を説明
する。図1は本発明の一実施形態の半導体メモリ装置の
ブロック図で、メモリセルアレイ10、行アドレスデコ
ーダ12、列アドレスデコーダ14、モード設定レジス
タ16、アドレス入力バッファ18、ライト増幅器20
−1,20−2,...,20−8、センス増幅器22
−1,22−2,...,22−8、ドライバ24−
1,24−2,...,24−8、出力バッファ26−
1,26−2,...,26−8、入力バッファ28−
1,28−2,...,28−8、不良セルアドレス制
御信号発生回路30、救済セルイネーブル制御信号発生
回路32、救済セルリード及びライト制御回路34、ス
イッチ36−1,36−2,...,36−8,40−
1,40−2,...,40−8、及び救済セル38−
1,38−2,...,38−8で構成されている。
半導体メモリ装置の構成に不良セルアドレス制御信号発
生回路30、救済セルイネーブル制御信号発生回路3
2、救済セルリード及びライト制御回路34、スイッチ
36−1,26−2,...,36−8,40−1,4
0−2,...,40−8、及び救済セル38−1,3
8−2,...,38−8を追加して構成されている。
個のデータを入出力するための構成を示すものであり、
図示しなかったがデータ入力信号DI1,DI
2,...,DI8とデータ出力信号DO1,DO
2,...,DO8は共通のデータ入出力ピンを通して
入出力される。そして、DIOG1,...,DIOG
8で示した部分はデータ入出力ライングループを示し、
IOGで示した部分は入出力ライングループを示す。
ると次のようである。メモリセルアレイ10はm個のワ
ードライン選択信号WL1〜m中の一つの信号とn個の
列選択信号Y1〜n中の一つの信号に応答して8個のデ
ータ入出力ライングループDIOG1,...,DIO
G8中の一つのグループにデータを出力したり、一つの
グループからデータを入力する。行アドレスデコーダ1
2はバッファされた行アドレスPRAjをデコーディン
グしてm個のワードライン選択信号WL1〜mを発生す
る。列アドレスデコーダ14はバッファされた列アドレ
スPCAiをデコーディングしてn個の列選択信号Y1
〜nを発生する。モード設定レジスタ16は制御信号P
MRSに応答してアドレス入力ピン(図示せず)から印加
される不良アドレスを貯蔵して不良アドレス信号MRS
kを発生する。アドレス入力バッファ18はアドレスA
kを入力してバッファしてバッファされた行アドレスP
RAj,PRAjBとバッファされた列アドレスPCA
i,PCAiBを発生する。ライト増幅器20−1,2
0−2,...,20−8は入力バッファ28−1,2
8−2,...,28−8から出力されるデータを増幅
して入出力ライングループIOGに出力する。入力バッ
ファ28−1,28−2,...,28−8は入力デー
タDI1,DI2,...,DI8をバッファして出力
する。センス増幅器22−1,22−2,...,22
−8は救済セルリード制御信号CREに応答して入出力
ライングループIOGの各入出力ライン対の電流差を増
幅して出力する。センス増幅器22−1,22−
2,...,22−8は電流センス増幅器として入出力
ライングループIOGの入出力ライン対各々の電流差を
増幅する。ドライバ24−1,24−2,...,24
−8はセンス増幅器22−1,22−2,...,22
−8から出力されるデータを駆動する。出力バッファ2
6−1,26−2,...,26−8はドライバ24−
1,24−2,...,24−8から出力されるデータ
をバッファして出力する。スイッチ36−1,36−
2,...,36−8は救済セルリード制御信号CRE
に応答して救済セル38−1,38−2,...,38
−8に貯蔵されたデータを出力する。スイッチ40−
1,40−2,...,40−8は入力バッファ28−
1,28−2,...,28−8から出力されたデータ
を救済セル38−1,38−2,...,38−8に伝
送する。救済セル38−1,38−2,...,38−
8はスイッチ40−1,40−2,...,40−8か
ら伝送されたデータを貯蔵する。不良セルアドレス制御
信号発生回路30は不良アドレス信号MRSkを貯蔵し
て不良セルアドレス制御信号PCEi,PREjを発生
する。救済セルイネーブル制御信号発生回路32は不良
セルアドレス制御信号PCEi,PREjに応答してバ
ッファされたアドレスが不良アドレスであれば救済セル
イネーブル制御信号PSを発生する。救済セルリード及
びライト制御回路34は他の制御命令CONTiとリー
ド命令REに応答して救済セルイネーブル制御信号PS
を救済セルリード制御信号CREとして発生し、かつ他
の制御命令CONTiとライト命令WEに応答して救済
セルイネーブル制御信号PSを救済セルリード制御信号
CWEとして発生する。
済セル38−1,38−2,...,38−8がセンス
増幅器22−1,22−2,...,22−8とドライ
バ24−1,24−2,...,24−8間に配置され
る。
ス制御信号発生回路30の具体的回路図であり、インバ
ータI1,I2,I3,I4、ヒューズF1,F2、N
MOSトランジスタN1,N2,N3,N4,N5、及
びPMOSトランジスタP1,P2で各々構成された不
良セルアドレス制御信号PCE1,...,PCEi,
PRE1,...,PREj発生回路42−
1,...,42−i,42−(i+1),...,42
−kで構成されている。図2で、ヒューズF1の抵抗値
がヒューズF2の抵抗値より小さく設計されている。
CE1発生回路42−1の動作を説明すると次のようで
ある。“ロー”レベルの信号MRS1が印加されるとヒ
ューズF1がカッティングされない。この状態で、“ハ
イ”レベルのリセット信号RESETが印加されるとN
MOSトランジスタN2,N5がオンする。そうする
と、ノードbの電圧がノードcの電圧より若干高くな
る。この状態で、リセット信号RESETが“ハイ”レ
ベルから“ロー”レベルに遷移するとNMOSトランジ
スタN2,N5がオフして、NMOSトランジスタN4
がNMOSトランジスタN3よりさらに多くオンしてノ
ードbの電圧レベルは高まって、ノードcの電圧レベル
は低くなるようになる。インバータI3,I4はノード
cの信号をバッファして遅延して“ロー”レベルの不良
セルアドレス制御信号PCE1を発生する。ノードcの
“ロー”レベルの信号はPMOSトランジスタP1,P
2とNMOSトランジスタN3,N4によってラッチさ
れて維持される。
ると、ヒューズF1がカッティングされる。そうする
と、ヒューズF1の抵抗値がヒューズF2の抵抗値より
高まるようになる。この状態で、“ハイ”レベルのリセ
ット信号RESETが印加されると、NMOSトランジ
スタN2,N5がオンする。そうすると、ノードbの電
圧がノードcの電圧より若干低くなるようになる。リセ
ット信号RESETが“ハイ”レベルから“ロー”レベ
ルに遷移するとNMOSトランジスタN2,N5がオフ
して、NMOSトランジスタN3がNMOSトランジス
タN4よりさらに多くオンしてノードcの電圧レベルは
高まって、ノードbの電圧レベルは低くなるようにな
る。インバータI3,I4はノードcの信号をバッファ
して遅延して“ハイ”レベルの不良セルアドレス制御信
号PCE1を発生する。ノードcの“ハイ”レベルの信
号はPMOSトランジスタP1,P2とNMOSトラン
ジスタN3,N4によってラッチされて維持される。
号PCE1のレベルを固定することが可能である。残り
の他の回路42−2...,42−i,42−(i+
1),...,42−kの各々の動作は上述した回路4
2−1の動作と同一である。すなわち、図2に示した不
良セルアドレス制御信号発生回路の各々は信号MRSk
が“ハイ”レベルであれば“ハイ”レベルの不良セルア
ドレス制御信号PCEi,PREjを発生し、信号MR
Skが“ロー”レベルであれば“ロー”レベルの不良セ
ルアドレス制御信号PCEi,PREjを発生する。
御信号発生回路32の具体的回路図であり、インバータ
I5、及びCMOS伝送ゲートC1,C2で各々構成さ
れた信号PCAR1,...,PCARi,PRAR
1,...,PRARj発生回路44−1,...,4
4−i,44−(i+1),...,44−k、及びNA
NDゲートNA1とインバータI6で構成された論理積
ゲート46で構成されている。
−1の動作を説明すると次のようである。“ハイ”レベ
ルの不良セルアドレス制御信号PCE1に応答してCM
OS伝送ゲートC2がオンしてバッファされた反転列ア
ドレスPCA1Bを信号PCAR1として発生する。
“ロー”レベルの不良セルアドレス制御信号PCE1に
応答してCMOS伝送ゲートC1がオンしてバッファさ
れた列アドレスPCA1を信号PCAR1として発生す
る。残りの他の回路44−2...,44−i,44−
(i+1),...,44−kの動作は回路44−1の動
作と同一である。NANDゲートNA1とインバータI
6は信号PCAR1,...,PCARi,PRAR
1,...,PRARjがすべて“ハイ”レベルであれ
ば論理積して“ハイ”レベルの救済セルイネーブル制御
信号PSを発生する。
半導体メモリ装置の救済セルイネーブル制御信号発生回
路32の動作を例を挙げて説明すると次のようである。
もしもパッケージ状態で半導体メモリ装置に対するテス
トを遂行することによって不良セルのアドレスがすべて
“0”に判断されると、パッケージ状態でモード設定制
御信号PMRSを印加することによってモード設定レジ
スタ16にすべて“1”であるkビットのアドレスAk
を貯蔵する。不良セルアドレス制御信号発生回路30は
モード設定レジスタ16から出力されるすべて“1”で
あるkビットの不良セルのアドレスMRSkを貯蔵す
る。
すべて“0”であるkビットのアドレスAkが印加され
ると、“ロー”レベルのiビットのバッファされた列ア
ドレスPCAiとjビットのバッファされた行アドレス
PRAiで構成されたk(=i+j)ビットのバッファさ
れたアドレス、及び“ハイ”レベルのjビットのバッフ
ァされた反転列アドレスPCAjBとjビットのバッフ
ァされた反転行アドレスPRAjBで構成されたk(=
i+j)ビットのバッファされた反転アドレスを発生す
る。
−kはすべて“1”であるkビットの不良セルアドレス
制御信号PCEi,PREjに応答して“ハイ”レベル
のkビットのバッファされた反転アドレスを信号PCA
R1,...,PCARi,PRAR1,...,PR
ARjとして発生し、論理積ゲート46は信号PCAR
1,...,PCARi,PRAR1,...,PRA
Rjを論理積して“ハイ”レベルの信号PSを発生す
る。
合に不良セルを救済セルに代えるための動作が遂行され
る。
御信号発生回路32の他の具体的回路図であり、NAN
DゲートNA2,NA3,NA4とインバータI7で構
成された信号PCAR1,...,PCARi,PRA
R1,...,PRARj発生回路48−1,...,
48−i,48−(i+1),...,48−k、及びN
ANDゲートNA5とインバータI8で構成された論理
積ゲート50で構成されている。
−1の動作を説明すると次のようである。信号PCE1
が“ハイ”レベルであればバッファされた反転列アドレ
スPCA1Bを反転して出力し、信号PCE1が“ロ
ー”レベルであればバッファされた列アドレスPCA1
Bを反転して出力する。NANDゲートNA4はNAN
DゲートNA2,NA3の出力信号がすべて“ハイ”レ
ベルであれば“ロー”レベルの不良セルアドレス制御信
号PCE1を発生し、少なくとも一つ以上の出力信号が
“ロー”レベルであれば“ハイ”レベルの不良セルアド
レス制御信号PCE1を発生する。残りの他の回路48
−2...,48−i,48−(i+1),...,48
−kの動作は回路48−1の動作と同一である。NAN
DゲートNA5とインバータI8は信号PCAR
1,...,PCARi,PRAR1,...,PRA
Rjがすべて“ハイ”レベルであれば論理積して“ハ
イ”レベルの信号PSを発生する。すなわち、図4の具
体的回路の救済セルイネーブル制御信号発生回路32も
図3に示した回路と同一の動作を遂行する。
イト制御回路34の具体的回路図であり、NANDゲー
トNA6,NA7,NA9、インバータI9,I10,
I13、及びNANDゲートNA8とインバータI1
1,I12で構成されたパルス発生器52で構成されて
いる。
ようである。NANDゲートNA6とインバータI9は
“ハイ”レベルの救済セルイネーブル制御信号PSが入
力される場合にリード命令RE及びライト命令WEを除
外した“ハイ”レベルの他の制御命令CONTiが印加
されると“ハイ”レベルの信号PSOを発生する。他の
制御命令CONTiというのは半導体メモリ装置の固有
のデータ入出力制御信号を言う。NANDゲートNA7
とインバータI10は“ハイ”レベルの信号PSOが入
力される場合に“ハイ”レベルのリード命令REが発生
されると“ハイ”レベルの救済セルリード制御信号CR
Eを発生する。NANDゲートNA8とインバータI1
1,I12で構成されたパルス発生器52は“ハイ”レ
ベルの信号PSOを入力して“ハイ”レベルに遷移した
後所定時間後に“ロー”レベルに遷移するパルス出力信
号を発生する。NANDゲートNA9とインバータI1
3は“ハイ”レベルのパルス発生器52の出力信号と
“ハイ”レベルのライト命令WEに応答して“ハイ”レ
ベルの救済セルライト制御信号CWEを発生する。
8−2,...,38−8の各々の具体的回路図であ
り、インバータI14,I15で構成されたラッチL
A、及びインバータI16で構成されている。
ようである。インバータI14,I15で構成されたラ
ッチLAは入力されるデータをラッチする。インバータ
I16はラッチLAにラッチされたデータを反転して出
力する。
6−2,...,36−8の各々の具体的回路図であ
り、CMOS伝送ゲートC3で構成されている。
ようである。CMOS伝送ゲートC3は“ハイ”レベル
の救済セルリード制御信号CREに応答してセンス増幅
器22−1〜22−8から出力されるデータを救済セル
38−1〜38−8に伝送する。
0−2,...,40−8の各々の具体例回路図であ
り、CMOS伝送ゲートC4で構成されている。
ようである。CMOS伝送ゲートC4は“ハイ”レベル
の救済セルライト制御信号CWEに応答して入力バッフ
ァ28−1〜28−8から出力されるデータを救済セル
38−1〜38−8に伝送する。
リ装置のブロック図であり、ドライバ24−1,24−
2,...,24−8の出力端と入力バッファ28−
1,28−2,...,28−8の出力端間にスイッチ
36−1,36−2,...,36−8、救済セル38
−1,38−2,...,38−8、及びスイッチ40
−1,40−2,...,40−8が配置されることが
図1に示したブロック図の構成と相異なる。
ックの動作は図1に示した半導体メモリ装置の回路ブロ
ックの動作と同一である。
リ装置のブロック図でセンス増幅器22−1〜22−8
とドライバ24−1〜24−8は電流センス増幅器を構
成するものであり、図1では電流センス増幅器を構成す
るセンス増幅器22−1〜22−8と入力バッファ28
−1〜28−8間に救済セル38−1〜38−8を備え
ることを示し、図9では電流センス増幅器を構成するド
ライバ24−1〜24−8と入力バッファ28−1〜2
8−8間に救済セル38−1〜38−8を備えることを
示す。
リ装置のブロック図から分かるように、本発明の半導体
メモリ装置は電流センス増幅器を構成するセンス増幅器
またはドライバの出力端と入力バッファ間に救済セルを
備えるように構成される。
導体メモリ装置のブロック図であり、入出力ライングル
ープIOGと入力バッファ28−1,28−
2,...,28−8の出力端間にスイッチ36−1,
36−2,...,36−8、救済セル38−1,38
−2,...,38−8、及びスイッチ40−1,40
−2,...,40−8が配置されて、センス増幅器2
2−1,22−2,...,22−8とドライバ24−
1,24−2,...,24−8の構成が除去されたこ
とが図1に示したブロック図の構成と相異なる。
セルアレイ10からデータ入出力ライングループDIO
G1,...,DIOG8にデータが伝送される時メモ
リセルアレイ10内部に電圧センス増幅器(図示せず)を
備えてデータ入出力ライングループDIOG
1,...,DIOG8に増幅されたデータを伝送する
ようになる。したがって、この場合はセンス増幅器22
−1,22−2,...,22−8とドライバ24−
1,24−2,...,24−8の構成が要らなくなっ
て、救済セルリード制御信号CREに応答してメモリセ
ルアレイ10内部の電圧センス増幅器(図示せず)の動
作を制御するようになる。
はパッケージ状態での不良セルを救済するために救済セ
ル38−1〜38−8を入出力ライングループIOGに
配置すれば良いのでレイアウト面で有利である。
置は1ビットの不良を救済するための回路構成を示し
た。しかし、救済セル及びスイッチを並列に追加的に連
結して、スイッチに印加される救済セルリード及びライ
ト制御信号を発生するための回路構成を追加的に構成す
ることによって2ビット以上の不良を救済するための半
導体メモリ装置を設計できる。
レス制御信号発生回路30を備えてモード設定レジスタ
16から出力される信号MRSkに応答して不良セルア
ドレス制御信号PCEi,PCEjをプログラムしてラ
ッチして出力するように構成した。しかし、不良セルア
ドレス制御信号発生回路30を備えなくてモード設定レ
ジスタ16で信号MRSkをラッチして出力するように
構成することもできる。すなわち、この場合には半導体
メモリ装置が不良セルアドレス制御信号発生回路30を
備えなくても良いので回路構成が簡単になる。
して説明したが、該技術分野の熟練した当業者は特許請
求の範囲に記載された本発明の思想及び領域から外れな
い範囲内で本発明を多様に修正及び変更させることがで
きることを理解できる。
はパッケージ状態の不良セルを救済できることによって
収率が向上する。また、本発明の半導体メモリ装置は入
出力ライングループに救済セルを配置することによって
レイアウト面で有利となる。
ック図である。
発生回路の具体的回路図である。
回路の具体的回路図である。
回路の他の具体的回路図である。
路の具体的回路図である。
2,...,36−8の具体的回路図である。
2,...,40−8の具体的回路図である。
ロック図である。
装置のブロック図である。
Claims (33)
- 【請求項1】 データ入出力ライングループを通してデ
ータを入出力するためのメモリセルアレイと、 不良セルアドレスを貯蔵して、この不良セルアドレスと
入力アドレスが一致すれば救済セルイネーブル制御信号
を発生して、この救済セルイネーブル制御信号に応答し
てリード時には救済セルリード制御信号を発生し、ライ
ト時には救済セルライト制御信号を発生するための少な
くとも一つ以上の救済セル制御手段と、 前記データ入出力ライングループに共通連結された入出
力ライングループに連結されてリード時に前記メモリセ
ルアレイから出力されるデータを増幅して出力し、前記
救済セルリード制御信号に応答してディスエーブルされ
るセンス増幅手段と、 前記救済セルライト制御信号に応答して前記入出力ライ
ングループに伝送される入力データを貯蔵し、リード時
には前記救済セルリード制御信号に応答して貯蔵された
データを前記入出力ライングループに伝送するための少
なくとも一つ以上の救済セル手段とを備えたことを特徴
とする半導体メモリ装置。 - 【請求項2】 前記センス増幅手段は、 前記入出力ライングループを構成する入出力ライン対各
々の電流差を感知して増幅するための電流増幅手段と、 この電流増幅手段の出力信号を駆動するための駆動手段
とを備えたことを特徴とする請求項1に記載の半導体メ
モリ装置。 - 【請求項3】 前記救済セル手段は、 前記救済セルライト制御信号に応答して前記入力データ
を伝送するための第1スイッチング手段と、 この第1スイッチング手段から印加されるデータを貯蔵
するための救済セルと、 前記救済セルリード制御信号に応答して前記救済セルか
ら出力されるデータを伝送するための第2スイッチング
手段とを備えたことを特徴とする請求項1に記載の半導
体メモリ装置。 - 【請求項4】 前記救済セルは、 前記第1スイッチング手段から伝送されるデータを反転
するための第1インバータと、 この第1インバータの出力信号を反転して前記第1イン
バータに伝送するための第2インバータと、 前記第1インバータの出力信号を反転して前記第2スイ
ッチング手段に伝送するための第3インバータとを備え
たことを特徴とする請求項3に記載の半導体メモリ装
置。 - 【請求項5】 前記第2スイッチング手段は、 前記救済セルリード制御信号に応答して前記救済セルに
貯蔵された信号を伝送するための第1CMOS伝送ゲー
トを備えたことを特徴とする請求項3に記載の半導体メ
モリ装置。 - 【請求項6】 前記第1スイッチング手段は、 前記救済セルライト制御信号に応答して前記救済セルに
データを貯蔵するための第2CMOS伝送ゲートを備え
たことを特徴とする請求項3に記載の半導体メモリ装
置。 - 【請求項7】 前記救済セル制御手段は、 モード制御信号に応答して外部から印加される前記不良
セルアドレスを貯蔵するためのモード設定レジスタと、 前記不良セルアドレスを貯蔵して不良セルアドレス制御
信号を発生するための不良セルアドレス制御信号発生手
段と、 前記不良セルアドレス制御信号に応答して前記入力アド
レスが前記不良セルアドレスであれば前記救済セルイネ
ーブル制御信号を発生するための救済セルイネーブル制
御信号発生手段と、 前記救済セルイネーブル制御信号に応答してリード時に
前記救済セルリード制御信号を発生し、ライト時に前記
救済セルライト制御信号を発生するための救済セルリー
ド及びライト制御手段とを備えたことを特徴とする請求
項1に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項8】 前記不良セルアドレス制御信号発生手段
は、 電源電圧に連結された一側を有した第1ヒューズと、 前記電源電圧に連結された一側を有した第2ヒューズ
と、 前記不良セルアドレスをバッファするための第1バッフ
ァと、 前記第1ヒューズの他側に連結されたドレインと前記バ
ッファの出力信号に連結されたゲートと接地電圧に連結
されたソースを有した第1スイッチングトランジスタ
と、 前記第1ヒューズの他側に連結されたソースと第1ノー
ドに連結されたゲートと第2ノードに連結されたドレイ
ンを有した第1PMOSトランジスタと、 前記第2ヒューズの他側に連結されたソースと前記第2
ノードに連結されたゲートと前記第1ノードに連結され
たドレインを有した第2PMOSトランジスタと、 リセット信号が印加されるゲートと前記第2ノードに連
結されたドレインと接地電圧に連結されたソースを有し
た第1NMOSトランジスタと、 この第1NMOSトランジスタのドレインに連結された
ドレインと前記第1ノードに連結されたゲートと接地電
圧に連結されたソースを有した第2NMOSトランジス
タと、 前記第1ノードに連結されたドレインと前記第2ノード
に連結されたゲートと接地電圧に連結されたソースを有
した第3NMOSトランジスタと、 前記リセット信号が印加されるゲートと前記第1ノード
に連結されたドレインと接地電圧に連結されたソースを
有した第4NMOSトランジスタと、 前記第1ノードの信号をバッファして不良セルアドレス
制御信号を出力するための第2バッファとを前記アドレ
スのビット各々に対して備えたことを特徴とする請求項
7に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項9】 前記救済セルイネーブル制御信号発生手
段は、 前記不良セルアドレス制御信号に応答して前記入力アド
レスの反転されたアドレスを出力信号として伝送するた
めの第3CMOS伝送ゲート、及び 前記不良セルアドレス制御信号の反転された信号に応答
して前記入力アドレスを前記出力信号として伝送するた
めの第4CMOS伝送ゲートを備えた前記アドレスのビ
ット各々に備わった信号発生手段と、 この信号発生手段から出力される信号を論理積すること
によって前記救済セルイネーブル制御信号を発生するた
めの論理積ゲートとを備えたことを特徴とする請求項7
に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項10】 前記救済セルイネーブル制御信号発生
手段は、 前記不良セルアドレス制御信号に応答して前記入力アド
レスの反転アドレスを出力するための第1NANDゲー
ト、 前記不良セルアドレス制御信号の反転された信号に応答
して前記入力アドレスを出力するための第2NANDゲ
ート、 前記第1及び2NANDゲートの出力信号を非論理積し
て出力信号を発生するための第3NANDゲートを備え
た前記アドレスのビット各々に備わった信号発生手段
と、 この信号発生手段から出力される信号を論理積すること
によって前記救済セルイネーブル制御信号を発生するた
めの論理積ゲートとを備えたことを特徴とする請求項7
に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項11】 前記救済セルリード及びライト制御手
段は、 リード時に前記救済セルイネーブル制御信号と制御命令
を論理積した信号を前記救済セルリード制御信号として
発生するための救済セルリード制御信号発生手段と、 前記救済セルイネーブル制御信号と前記制御命令を論理
積した信号を入力して所定のパルス幅を有したパルス信
号を発生するためのパルス発生手段と、 ライト時に前記パルス発生手段の出力信号を前記救済セ
ルライト制御信号として発生するための救済セルライト
制御信号発生手段とを備えたことを特徴とする請求項7
に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項12】 前記救済セル制御手段は、 モード制御信号に応答して外部から印加される前記不良
セルアドレスを貯蔵して不良セルアドレス制御信号とし
て出力するためのモード設定レジスタと、 前記不良セルアドレス制御信号に応答して前記入力アド
レスが前記不良セルアドレスであれば前記救済セルイネ
ーブル制御信号を発生するための救済セルイネーブル制
御信号発生手段と、 前記救済セルイネーブル制御信号に応答してリード時に
前記救済セルリード制御信号を発生し、ライト時に前記
救済セルライト制御信号を発生するための救済セルリー
ド及びライト制御手段とを備えたことを特徴とする請求
項1に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項13】 前記救済セルイネーブル制御信号発生
手段は、 前記不良セルアドレス制御信号に応答して前記入力アド
レスの反転されたアドレスを出力信号として伝送するた
めの第3CMOS伝送ゲート、及び 前記不良セルアドレス制御信号の反転された信号に応答
して前記入力アドレスを前記出力信号として伝送するた
めの第4CMOS伝送ゲートを備えた前記アドレスのビ
ット各々に備わった信号発生手段と、 この信号発生手段から出力される信号を論理積すること
によって前記救済セルイネーブル制御信号を発生するた
めの論理積ゲートとを備えたことを特徴とする請求項1
2に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項14】 前記救済セルイネーブル制御信号発生
手段は、 前記不良セルアドレス制御信号に応答して前記入力アド
レスの反転アドレスを出力するための第1NANDゲー
ト、 前記不良セルアドレス制御信号の反転された信号に応答
して前記入力アドレスを出力するための第2NANDゲ
ート、 前記第1及び2NANDゲートの出力信号を非論理積し
て出力信号を発生するための第3NANDゲートを備え
た前記アドレスのビット各々に備わった信号発生手段
と、 この信号発生手段から出力される信号を論理積すること
によって前記救済セルイネーブル制御信号を発生するた
めの論理積ゲートとを備えたことを特徴とする請求項1
2に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項15】 前記救済セルリード及びライト制御手
段は、 リード時に前記救済セルイネーブル制御信号と制御命令
を論理積した信号を前記救済セルリード制御信号として
発生するための救済セルリード制御信号発生手段と、 前記救済セルイネーブル制御信号と前記制御命令を論理
積した信号を入力して所定のパルス幅を有したパルス信
号を発生するためのパルス発生手段と、 ライト時に前記パルス発生手段の出力信号を前記救済セ
ルライト制御信号として発生するための救済セルライト
制御信号発生手段とを備えたことを特徴とする請求項1
2に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項16】 データ入出力ライングループを通して
データを入出力するためのメモリセルアレイと、 不良セルアドレスを貯蔵して、この不良セルアドレスと
入力アドレスが一致すれば救済セルイネーブル制御信号
を発生して、この救済セルイネーブル制御信号に応答し
てリード時には救済セルリード制御信号を発生し、ライ
ト時には救済セルライト制御信号を発生するための少な
くとも一つ以上の救済セル制御手段と、 リード時に前記データ入出力ライングループを通して伝
送されるデータを増幅して前記データ入出力ライングル
ープに共通連結された入出力ライングループに伝送し、
前記救済セルリード制御信号に応答してディスエーブル
されるセンス増幅手段と、 前記救済セルライト制御信号に応答して前記入出力ライ
ングループに伝送される入力データを貯蔵し、前記救済
セルリード制御信号に応答して貯蔵されたデータを前記
入出力ライングループに伝送するための少なくとも一つ
以上の救済セル手段とを備えたことを特徴とする半導体
メモリ装置。 - 【請求項17】 前記センス増幅手段は、 前記データ入出力ライングループを通して伝送されるデ
ータの電圧差を感知して増幅することを特徴とする請求
項16に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項18】 前記救済セル手段は、 前記救済セルライト制御信号に応答して前記入力データ
を伝送するための第1スイッチング手段と、 この第1スイッチング手段から印加されるデータを貯蔵
するための救済セルと、 前記救済セルリード制御信号に応答して前記救済セルに
貯蔵されたデータを伝送するための第2スイッチング手
段とを備えたことを特徴とする請求項16に記載の半導
体メモリ装置。 - 【請求項19】 前記救済セルは、 前記第1スイッチング手段から伝送されるデータを反転
するための第1インバータと、 この第1インバータの出力信号を反転して前記第1イン
バータに伝送するための第2インバータと、 前記第1インバータの出力信号を反転して前記第2スイ
ッチング手段に伝送するための第3インバータとを備え
たことを特徴とする請求項18に記載の半導体メモリ装
置。 - 【請求項20】 前記第2スイッチング手段は、 前記救済セルリード制御信号に応答して前記救済セルに
貯蔵された信号を伝送するための第1CMOS伝送ゲー
トを備えたことを特徴とする請求項18に記載の半導体
メモリ装置。 - 【請求項21】 前記第1スイッチング手段は、 前記救済セルライト制御信号に応答して前記救済セルに
データを貯蔵するための第2CMOS伝送ゲートを備え
たことを特徴とする請求項18に記載の半導体メモリ装
置。 - 【請求項22】 前記救済セル制御手段は、 モード制御信号に応答して外部から印加される前記不良
セルアドレスを貯蔵するためのモード設定レジスタと、 前記不良セルアドレスを貯蔵して不良セルアドレス制御
信号を発生するための不良セルアドレス制御信号発生手
段と、 前記不良セルアドレス制御信号に応答して前記入力アド
レスが前記不良セルアドレスであれば前記救済セルイネ
ーブル制御信号を発生するための救済セルイネーブル制
御信号発生手段と、 前記救済セルイネーブル制御信号に応答してリード時に
前記救済セルリード制御信号を発生し、ライト時に前記
救済セルライト制御信号を発生するための救済セルリー
ド及びライト制御手段とを備えたことを特徴とする請求
項16に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項23】 前記不良セルアドレス制御信号発生手
段は、 電源電圧に連結された一側を有した第1ヒューズと、 前記電源電圧に連結された一側を有した第2ヒューズ
と、 前記不良セルアドレスをバッファするための第1バッフ
ァと、 前記第1ヒューズの他側に連結されたドレインと前記バ
ッファの出力信号に連結されたゲートと接地電圧に連結
されたソースを有した第1スイッチングトランジスタ
と、 前記第1ヒューズの他側に連結されたソースと第1ノー
ドに連結されたゲートと第2ノードに連結されたドレイ
ンを有した第1PMOSトランジスタと、 前記第2ヒューズの他側に連結されたソースと前記第2
ノードに連結されたゲートと前記第1ノードに連結され
たドレインを有した第2PMOSトランジスタと、 リセット信号が印加されるゲートと前記第2ノードに連
結されたドレインと接地電圧に連結されたソースを有し
た第1NMOSトランジスタと、 この第1NMOSトランジスタのドレインに連結された
ドレインと前記第1ノードに連結されたゲートと接地電
圧に連結されたソースを有した第2NMOSトランジス
タと、 前記第1ノードに連結されたドレインと前記第2ノード
に連結されたゲートと接地電圧に連結されたソースを有
した第3NMOSトランジスタと、 前記リセット信号が印加されるゲートと前記第1ノード
に連結されたドレインと接地電圧に連結されたソースを
有した第4NMOSトランジスタと、 前記第1ノードの信号をバッファして不良セルアドレス
制御信号を出力するための第2バッファとを前記アドレ
スのビット各々に対して備えたことを特徴とする請求項
22に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項24】 前記救済セルイネーブル制御信号発生
手段は、 前記不良セルアドレス制御信号に応答して前記入力アド
レスの反転されたアドレスを出力信号として伝送するた
めの第3CMOS伝送ゲート、 前記不良セルアドレス制御信号の反転された信号に応答
して前記入力アドレスを前記出力信号として伝送するた
めの第4CMOS伝送ゲートを備えた前記アドレスのビ
ット各々に備わった信号発生手段と、 この信号発生手段から出力される信号を論理積すること
によって前記救済セルイネーブル制御信号を発生するた
めの論理積ゲートとを備えたことを特徴とする請求項2
2に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項25】 前記救済セルイネーブル制御信号発生
手段は、 前記不良セルアドレス制御信号に応答して前記入力アド
レスの反転アドレスを出力するための第1NANDゲー
ト、 前記不良セルアドレス制御信号の反転された信号に応答
して前記入力アドレスを出力するための第2NANDゲ
ート、 前記第1及び2NANDゲートの出力信号を非論理積し
て出力信号を発生するための第3NANDゲートを備え
た前記アドレスのビット各々に備わった信号発生手段
と、 この信号発生手段から出力される信号を論理積すること
によって前記救済セルイネーブル制御信号を発生するた
めの論理積ゲートとを備えたことを特徴とする請求項2
2に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項26】 前記救済セルリード及びライト制御手
段は、 リード時に前記救済セルイネーブル制御信号と制御命令
を論理積した信号を前記救済セルリード制御信号として
発生するための救済セルリード制御信号発生手段と、 前記救済セルイネーブル制御信号と前記制御命令を論理
積した信号を入力して所定のパルス幅を有したパルス信
号を発生するためのパルス発生手段と、 ライト時に前記パルス発生手段の出力信号を前記救済セ
ルライト制御信号として発生するための救済セルライト
制御信号発生手段とを備えたことを特徴とする請求項2
2に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項27】 前記救済セル制御手段は、 モード制御信号に応答して外部から印加される前記不良
セルアドレスを貯蔵して不良セルアドレス制御信号とし
て出力するためのモード設定レジスタと、 前記不良セルアドレス制御信号に応答して前記入力アド
レスが前記不良セルアドレスであれば前記救済セルイネ
ーブル制御信号を発生するための救済セルイネーブル制
御信号発生手段と、 前記救済セルイネーブル制御信号に応答してリード時に
前記救済セルリード制御信号を発生し、ライト時に前記
救済セルライト制御信号を発生するための救済セルリー
ド及びライト制御手段とを備えたことを特徴とする請求
項16に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項28】 前記救済セルイネーブル制御信号発生
手段は、 前記不良セルアドレス制御信号に応答して前記入力アド
レスの反転されたアドレスを出力信号として伝送するた
めの第3CMOS伝送ゲート、 前記不良セルアドレス制御信号の反転された信号に応答
して前記入力アドレスを前記出力信号として伝送するた
めの第4CMOS伝送ゲートを備えた前記アドレスのビ
ット各々に備わった信号発生手段と、 この信号発生手段から出力される信号を論理積すること
によって前記救済セルイネーブル制御信号を発生するた
めの論理積ゲートとを備えたことを特徴とする請求項2
7に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項29】 前記救済セルイネーブル制御信号発生
手段は、 前記不良セルアドレス制御信号に応答して前記入力アド
レスの反転アドレスを出力するための第1NANDゲー
ト、 前記不良セルアドレス制御信号の反転された信号に応答
して前記入力アドレスを出力するための第2NANDゲ
ート、 前記第1及び2NANDゲートの出力信号を非論理積し
て出力信号を発生するための第3NANDゲートを備え
た前記アドレスのビット各々に備わった信号発生手段
と、 この信号発生手段から出力される信号を論理積すること
によって前記救済セルイネーブル制御信号を発生するた
めの論理積ゲートとを備えたことを特徴とする請求項2
7に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項30】 前記救済セルリード及びライト制御手
段は、 リード時に前記救済セルイネーブル制御信号と制御命令
を論理積した信号を前記救済セルリード制御信号として
発生するための救済セルリード制御信号発生手段と、 前記救済セルイネーブル制御信号と前記制御命令を論理
積した信号を入力して所定のパルス幅を有したパルス信
号を発生するためのパルス発生手段と、 ライト時に前記パルス発生手段の出力信号を前記救済セ
ルライト制御信号として発生するための救済セルライト
制御信号発生手段とを備えたことを特徴とする請求項2
7に記載の半導体メモリ装置。 - 【請求項31】 データ入出力ライングループを通して
データを入出力するためのメモリセルアレイと、 前記データ入出力ライングループに共通連結された入出
力ライングループとを備えた半導体メモリ装置の救済方
法において、 モード制御信号に応答して不良セルアドレスを貯蔵する
第1段階と、 入力アドレスが前記不良アドレスと一致すれば救済セル
イネーブル制御信号を発生する第2段階と、 前記救済セルイネーブル制御信号に応答してリード時に
は前記救済セルリード制御信号を発生し、ライト時には
前記救済セルライト制御信号を発生する第3段階と、 リード時に前記救済セルリード制御信号に応答して前記
救済セル手段に貯蔵されたデータを前記入出力ライング
ループに出力し、ライト時に前記救済セルライト制御信
号に応答して前記救済セル手段に入力データを貯蔵する
第4段階とを備えたことを特徴とする半導体メモリ装置
の救済方法。 - 【請求項32】 前記第4段階は、 前記救済セル手段に貯蔵されたデータが前記入出力ライ
ングループに伝送される場合に前記メモリセルアレイに
貯蔵されたデータが前記入出力ライングループに伝送さ
れることを遮断することを特徴とする請求項31に記載
の半導体メモリ装置の救済方法。 - 【請求項33】 前記第4段階は、 前記救済セル手段に入力データが貯蔵される場合に前記
メモリセルアレイにもデータが伝送されることを特徴と
する請求項31に記載の半導体メモリ装置の救済方法。
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