JP2002107144A - 粗さ測定方法及び粗さ測定装置 - Google Patents
粗さ測定方法及び粗さ測定装置Info
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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- G01B7/34—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、カットオフ値が指示されていないワ
ークの表面粗さを正確に測定することができる粗さ測定
方法及び粗さ測定装置を提供する。 【解決手段】粗さ測定装置１０のデータ処理装置１４に
は、規格で規定されている複数のカットオフ値（０．０
８、０．２５、０．８、２．５（ｍｍ））が記憶された
補助記憶装置３４が内蔵される。これらのカットオフ値
は、ＣＰＵ２８によって読み出される。そして、ＣＰＵ
２８は、複数のカットオフ値を備えたフイルタを用い
て、測定データから複数のカットオフ値に対応する評価
長さ毎の複数の仮評価値を算出し、これらの仮評価値の
なかから最大値を取得する。そして、ＣＰＵ２８は評価
値出力手段３６を制御して、算出した前記最大値がその
粗さの範囲に存在するカットオフ値において、この最大
値を前記測定領域の粗さの有効評価値としてモニタ１８
に出力させる。
ークの表面粗さを正確に測定することができる粗さ測定
方法及び粗さ測定装置を提供する。 【解決手段】粗さ測定装置１０のデータ処理装置１４に
は、規格で規定されている複数のカットオフ値（０．０
８、０．２５、０．８、２．５（ｍｍ））が記憶された
補助記憶装置３４が内蔵される。これらのカットオフ値
は、ＣＰＵ２８によって読み出される。そして、ＣＰＵ
２８は、複数のカットオフ値を備えたフイルタを用い
て、測定データから複数のカットオフ値に対応する評価
長さ毎の複数の仮評価値を算出し、これらの仮評価値の
なかから最大値を取得する。そして、ＣＰＵ２８は評価
値出力手段３６を制御して、算出した前記最大値がその
粗さの範囲に存在するカットオフ値において、この最大
値を前記測定領域の粗さの有効評価値としてモニタ１８
に出力させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は粗さ測定方法及び粗
さ測定装置に係り、特にカットオフ値が指示されていな
いワークの表面粗さを規格に基づいて測定することがで
きる粗さ測定方法及び粗さ測定装置に関する。
さ測定装置に係り、特にカットオフ値が指示されていな
いワークの表面粗さを規格に基づいて測定することがで
きる粗さ測定方法及び粗さ測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】表面粗さ測定装置は、加工されたワーク
の表面の仕上がりを検査するために使用される。この
時、ワーク加工指示の図面には、検査基準値（カットオ
フ値、評価対象パラメータ、パラメータ値の許容限界等
の基準値）が指示されており、この検査基準値に基づい
てワークの表面粗さが測定される。
の表面の仕上がりを検査するために使用される。この
時、ワーク加工指示の図面には、検査基準値（カットオ
フ値、評価対象パラメータ、パラメータ値の許容限界等
の基準値）が指示されており、この検査基準値に基づい
てワークの表面粗さが測定される。
【０００３】しかしながら、ワーク加工指示の図面に検
査基準値が示されていない場合、加工後経年変化により
表面形状が大きく変化したワークを測定する場合、又は
購入品等のような図面の無いワークを測定する場合に
は、カットオフ値を選択することが困難な場合がある。
査基準値が示されていない場合、加工後経年変化により
表面形状が大きく変化したワークを測定する場合、又は
購入品等のような図面の無いワークを測定する場合に
は、カットオフ値を選択することが困難な場合がある。
【０００４】そこで、このような場合を想定して各国の
規格では、評価対象となるパラメータ（Ｒａ、Ｒｚ、Ｒ
Ｓｍ）の大きさを推定して、測定基準長さであるカット
オフ値を選択するように規定されている（ISO4288 、JI
S B 0601等）。
規格では、評価対象となるパラメータ（Ｒａ、Ｒｚ、Ｒ
Ｓｍ）の大きさを推定して、測定基準長さであるカット
オフ値を選択するように規定されている（ISO4288 、JI
S B 0601等）。
【０００５】一方、ドイツ特許公報：DE19817406C1に開
示された粗さ測定方法は、評価長さをカットオフ値の５
倍に設定し、その評価長さ測定後において算出されたパ
ラメータの大きさが、そのカットオフ値の粗さの範囲内
に存在する場合に、そのカットオフ値における有効評価
値として出力していた。
示された粗さ測定方法は、評価長さをカットオフ値の５
倍に設定し、その評価長さ測定後において算出されたパ
ラメータの大きさが、そのカットオフ値の粗さの範囲内
に存在する場合に、そのカットオフ値における有効評価
値として出力していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記DE
19817406C1に開示された粗さ測定方法は、１つの測定範
囲で算出された１つの評価値を有効評価値として判断し
ているので、その有効評価値の信頼性が低く、よって、
ワークの表面粗さを正確に測定できないという欠点があ
った。
19817406C1に開示された粗さ測定方法は、１つの測定範
囲で算出された１つの評価値を有効評価値として判断し
ているので、その有効評価値の信頼性が低く、よって、
ワークの表面粗さを正確に測定できないという欠点があ
った。
【０００７】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、カットオフ値が指示されていないワークの表面
粗さを正確に測定することができる粗さ測定方法及び粗
さ測定装置を提供することを目的とする。
もので、カットオフ値が指示されていないワークの表面
粗さを正確に測定することができる粗さ測定方法及び粗
さ測定装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワークの表面粗さの測定領域を指定し、
該指定された前記測定領域の全範囲を測定してワークの
表面粗さを示す測定データを取得し、予め設定された複
数のカットオフ値を備えたフイルタを用いて、前記測定
データから前記複数のカットオフ値に対応する評価長さ
毎の複数の仮評価値を算出することにより該仮評価値の
最大値を取得し、該最大値が、その時に用いたカットオ
フ値の粗さ範囲に存在する場合には、該最大値を有効評
価値として取得し、該最大値が、その時に用いたカット
オフ値の粗さ範囲に存在しない場合には、別のカットオ
フ値を用いて有効評価値を取得することを特徴とする。
成するために、ワークの表面粗さの測定領域を指定し、
該指定された前記測定領域の全範囲を測定してワークの
表面粗さを示す測定データを取得し、予め設定された複
数のカットオフ値を備えたフイルタを用いて、前記測定
データから前記複数のカットオフ値に対応する評価長さ
毎の複数の仮評価値を算出することにより該仮評価値の
最大値を取得し、該最大値が、その時に用いたカットオ
フ値の粗さ範囲に存在する場合には、該最大値を有効評
価値として取得し、該最大値が、その時に用いたカット
オフ値の粗さ範囲に存在しない場合には、別のカットオ
フ値を用いて有効評価値を取得することを特徴とする。
【０００９】また、本発明は、前記目的を達成するため
に、ワーク表面に触針を接触させ、該触針をワーク表面
に沿って移動させることによりワークの表面粗さを測定
する粗さ測定装置において、ワークの表面粗さの測定領
域を指定する測定領域指定手段と、該測定領域指定手段
で指定された前記測定領域の全範囲に前記触針を移動さ
せてワークの表面粗さを示す測定データを取得する測定
データ取得手段と、予め設定された複数のカットオフ値
を備えたフイルタを用い、前記測定データ取得手段で取
得された前記測定データから前記複数のカットオフ値に
対応する評価長さ毎の複数の仮評価値を算出することに
より該仮評価値の最大値を取得する最大値取得手段と、
該最大値取得手段で取得された最大値が、その時に用い
たカットオフ値の粗さ範囲に存在する場合には、該最大
値を有効評価値として取得し、また、該最大値が、その
時に用いたカットオフ値の粗さ範囲に存在しない場合に
は、別のカットオフ値を用いて有効評価値を取得し出力
する評価値出力手段と、を有することを特徴としてい
る。
に、ワーク表面に触針を接触させ、該触針をワーク表面
に沿って移動させることによりワークの表面粗さを測定
する粗さ測定装置において、ワークの表面粗さの測定領
域を指定する測定領域指定手段と、該測定領域指定手段
で指定された前記測定領域の全範囲に前記触針を移動さ
せてワークの表面粗さを示す測定データを取得する測定
データ取得手段と、予め設定された複数のカットオフ値
を備えたフイルタを用い、前記測定データ取得手段で取
得された前記測定データから前記複数のカットオフ値に
対応する評価長さ毎の複数の仮評価値を算出することに
より該仮評価値の最大値を取得する最大値取得手段と、
該最大値取得手段で取得された最大値が、その時に用い
たカットオフ値の粗さ範囲に存在する場合には、該最大
値を有効評価値として取得し、また、該最大値が、その
時に用いたカットオフ値の粗さ範囲に存在しない場合に
は、別のカットオフ値を用いて有効評価値を取得し出力
する評価値出力手段と、を有することを特徴としてい
る。
【００１０】本発明によれば、まず、測定領域指定手段
によってワークの表面粗さの測定領域を指定する。次
に、指定した前記測定領域の全範囲を、測定データ取得
手段によって測定し、ワークの表面粗さを示す測定デー
タを取得する。次いで、最大値取得手段により、予め設
定された複数のカットオフ値を備えたフイルタを用い
て、前記測定データから前記複数のカットオフ値に対応
する評価長さ毎の複数の仮評価値を算出し、これらの仮
評価値の中から最大値を取得する。そして、評価値出力
手段は、前記最大値が、その時に用いたカットオフ値の
粗さの範囲内に存在する場合には、この最大値を前記測
定領域の粗さの有効評価値として出力する。また、前記
最大値が、その時に用いたカットオフ値の粗さの範囲内
に存在しない場合には、別のカットオフ値を用いて有効
評価値を取得し出力する。
によってワークの表面粗さの測定領域を指定する。次
に、指定した前記測定領域の全範囲を、測定データ取得
手段によって測定し、ワークの表面粗さを示す測定デー
タを取得する。次いで、最大値取得手段により、予め設
定された複数のカットオフ値を備えたフイルタを用い
て、前記測定データから前記複数のカットオフ値に対応
する評価長さ毎の複数の仮評価値を算出し、これらの仮
評価値の中から最大値を取得する。そして、評価値出力
手段は、前記最大値が、その時に用いたカットオフ値の
粗さの範囲内に存在する場合には、この最大値を前記測
定領域の粗さの有効評価値として出力する。また、前記
最大値が、その時に用いたカットオフ値の粗さの範囲内
に存在しない場合には、別のカットオフ値を用いて有効
評価値を取得し出力する。
【００１１】このように、本発明では、複数の評価値か
ら有効評価値を判断しているので、１つ評価値で有効評
価値を判断する従来技術と比較して、有効評価値の信頼
性が高く、よって、ワークの表面粗さを正確に測定する
ことができる。
ら有効評価値を判断しているので、１つ評価値で有効評
価値を判断する従来技術と比較して、有効評価値の信頼
性が高く、よって、ワークの表面粗さを正確に測定する
ことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る粗さ測定方法及び粗さ測定装置の好ましい実施の形態
について詳説する。
る粗さ測定方法及び粗さ測定装置の好ましい実施の形態
について詳説する。
【００１３】図１に示す実施の形態の粗さ測定装置１０
は、測定部１２、データ処理装置１４、入力装置（キー
ボード：測定領域指定手段）１６、及びモニタ１８から
構成される。測定部１２は、テーブル２０上に載置され
た図２のワークＷの表面粗さを測定するピックアップ２
２を有し、このピックアップ２２は駆動部２４のホルダ
２４Ａに支持されている。
は、測定部１２、データ処理装置１４、入力装置（キー
ボード：測定領域指定手段）１６、及びモニタ１８から
構成される。測定部１２は、テーブル２０上に載置され
た図２のワークＷの表面粗さを測定するピックアップ２
２を有し、このピックアップ２２は駆動部２４のホルダ
２４Ａに支持されている。
【００１４】ピックアップ２２は、先端に触針２６を有
し、この触針２６の変位量が駆動部２４に内蔵された不
図示の差動トランスによって電圧に変換される。そし
て、この電圧値はＡ／Ｄ変換器によってＡ／Ｄ変換さ
れ、データ処理装置１４のＣＰＵ（測定データ取得手
段、最大値取得手段）２８に出力される。これにより、
ＣＰＵ１６によってワークＷの表面粗さを示す測定デー
タが取得される。
し、この触針２６の変位量が駆動部２４に内蔵された不
図示の差動トランスによって電圧に変換される。そし
て、この電圧値はＡ／Ｄ変換器によってＡ／Ｄ変換さ
れ、データ処理装置１４のＣＰＵ（測定データ取得手
段、最大値取得手段）２８に出力される。これにより、
ＣＰＵ１６によってワークＷの表面粗さを示す測定デー
タが取得される。
【００１５】駆動部２４は、図１の如くテーブル２０に
立設されたコラム３０に取り付けられ、図２のＣＰＵ２
８からの指示に従ってモーターが駆動されることによ
り、駆動部２４全体がコラム３０に沿って上下に移動さ
れるとともに、ホルダ２４Ａが左右に移動される。な
お、テーブル２０の前面に装着されたジョイスティック
３２によって、駆動部２４を操作することもできる。
立設されたコラム３０に取り付けられ、図２のＣＰＵ２
８からの指示に従ってモーターが駆動されることによ
り、駆動部２４全体がコラム３０に沿って上下に移動さ
れるとともに、ホルダ２４Ａが左右に移動される。な
お、テーブル２０の前面に装着されたジョイスティック
３２によって、駆動部２４を操作することもできる。
【００１６】図２の如くデータ処理装置１４には、ハー
ドディスク又は電気的消去書き込み可能な読み出し専用
メモリであるＥＥＰＲＯＭ等の補助記憶装置３４が内蔵
される。この補助記憶装置３４には、規格で規定されて
いる４種類のカットオフ値（０．０８、０．２５、０．
８、２．５（ｍｍ））が記憶され、これらのカットオフ
値は、ＣＰＵ２８によって読み出される。そして、ＣＰ
Ｕ２８は、前記複数のカットオフ値を備えたフイルタを
用いて、前記測定データから複数のカットオフ値に対応
する評価長さ毎の複数の仮評価値を算出し、これらの仮
評価値の中から最大値を取得する。そして、ＣＰＵ２８
は評価値出力手段３６を制御して、算出した前記最大値
がその粗さの範囲内に存在するカットオフ値において、
この最大値が前記測定領域の粗さの有効評価値であると
判断してモニタ１８に出力させる。
ドディスク又は電気的消去書き込み可能な読み出し専用
メモリであるＥＥＰＲＯＭ等の補助記憶装置３４が内蔵
される。この補助記憶装置３４には、規格で規定されて
いる４種類のカットオフ値（０．０８、０．２５、０．
８、２．５（ｍｍ））が記憶され、これらのカットオフ
値は、ＣＰＵ２８によって読み出される。そして、ＣＰ
Ｕ２８は、前記複数のカットオフ値を備えたフイルタを
用いて、前記測定データから複数のカットオフ値に対応
する評価長さ毎の複数の仮評価値を算出し、これらの仮
評価値の中から最大値を取得する。そして、ＣＰＵ２８
は評価値出力手段３６を制御して、算出した前記最大値
がその粗さの範囲内に存在するカットオフ値において、
この最大値が前記測定領域の粗さの有効評価値であると
判断してモニタ１８に出力させる。
【００１７】次に、前記の如く構成された粗さ測定装置
１０の作用について図３のフローチャート、及び図３の
フローチャートを模式的に説明する図４の模式図を参照
して説明する。
１０の作用について図３のフローチャート、及び図３の
フローチャートを模式的に説明する図４の模式図を参照
して説明する。
【００１８】図３によれば、まず、評価対象パラメータ
（Ｒａ、Ｒｚ、ＲＳｍ）を選択する（Ｓ１００）。な
お、複数のパラメータが選択された場合には、一般的に
使用頻度の高いパラメータを優先して、そのパラメータ
の有効評価値を先に出力させる。例えば、ＩＳＯにおけ
る優先度は、Ｒａ→Ｒｚ→ＲＳｍの順である。
（Ｒａ、Ｒｚ、ＲＳｍ）を選択する（Ｓ１００）。な
お、複数のパラメータが選択された場合には、一般的に
使用頻度の高いパラメータを優先して、そのパラメータ
の有効評価値を先に出力させる。例えば、ＩＳＯにおけ
る優先度は、Ｒａ→Ｒｚ→ＲＳｍの順である。
【００１９】次に、測定長さ（測定領域）を、キーボー
ド１６を用いて１２．５ｍｍに設定する（Ｓ１１０）。
また、実施の形態では、評価長さをＩＳＯ４２８８に規
定された、基準長さ（カットオフ値）×５の長さに設定
している。したがって、前記測定長さの中から、各々の
評価範囲と重複させない場合は、゛測定長さ／評価長さ
゛分の評価個数を取ることができる。なお、測定長さは
１２．５ｍｍに限定されるものではなく、例えば推定し
た粗さに基づいて変更してもよい。
ド１６を用いて１２．５ｍｍに設定する（Ｓ１１０）。
また、実施の形態では、評価長さをＩＳＯ４２８８に規
定された、基準長さ（カットオフ値）×５の長さに設定
している。したがって、前記測定長さの中から、各々の
評価範囲と重複させない場合は、゛測定長さ／評価長さ
゛分の評価個数を取ることができる。なお、測定長さは
１２．５ｍｍに限定されるものではなく、例えば推定し
た粗さに基づいて変更してもよい。
【００２０】そして、指定された前記測定長さの全範囲
を測定してワークの表面粗さを示す測定データを図４の
如く取得する。
を測定してワークの表面粗さを示す測定データを図４の
如く取得する。
【００２１】次いで、図３の如くカットオフ値：０．０
８ｍｍにて評価対象パラメータを算出する。このパラメ
ータ値をＰ００８とする。なお、この時の評価範囲は３
１〔（１２．５／０．０８×５）≒３１〕個取れるの
で、３１個の評価範囲毎に算出された３１個のパラメー
タ値（仮評価値：図４のＳＡ１、ＳＡ２、ＳＡ３…）の
うち最大のパラメータ値（図４のＳＡｍａｘ）を取得す
る（Ｓ１２０）。
８ｍｍにて評価対象パラメータを算出する。このパラメ
ータ値をＰ００８とする。なお、この時の評価範囲は３
１〔（１２．５／０．０８×５）≒３１〕個取れるの
で、３１個の評価範囲毎に算出された３１個のパラメー
タ値（仮評価値：図４のＳＡ１、ＳＡ２、ＳＡ３…）の
うち最大のパラメータ値（図４のＳＡｍａｘ）を取得す
る（Ｓ１２０）。
【００２２】同様に、カットオフ値：０．２５ｍｍにて
評価対象パラメータを算出する。このパラメータ値をＰ
０２５とする。この時の評価範囲は１０個取れるので、
１０個の評価範囲毎に算出された１０個のパラメータ値
（仮評価値：図４のＳＢ１、ＳＢ２、ＳＢ３…）のうち
最大のパラメータ値（図４のＳＢｍａｘ）を取得する
（Ｓ１３０）。
評価対象パラメータを算出する。このパラメータ値をＰ
０２５とする。この時の評価範囲は１０個取れるので、
１０個の評価範囲毎に算出された１０個のパラメータ値
（仮評価値：図４のＳＢ１、ＳＢ２、ＳＢ３…）のうち
最大のパラメータ値（図４のＳＢｍａｘ）を取得する
（Ｓ１３０）。
【００２３】同様に、カットオフ値：０．８ｍｍにて評
価対象パラメータを算出する。このパラメータ値をＰ０
８０とする。この時の評価範囲は３個取れるので、３個
の評価範囲毎に算出された３個のパラメータ値（仮評価
値）のうち最大のパラメータ値を取得する（Ｓ１４
０）。
価対象パラメータを算出する。このパラメータ値をＰ０
８０とする。この時の評価範囲は３個取れるので、３個
の評価範囲毎に算出された３個のパラメータ値（仮評価
値）のうち最大のパラメータ値を取得する（Ｓ１４
０）。
【００２４】同様に、カットオフ値：２．５ｍｍにて評
価対象パラメータを算出する。このパラメータ値をＰ２
５０とする。この時の評価範囲は１個取れるので、その
パラメータ値（仮評価値）を最大値として取得する（Ｓ
１５０）。
価対象パラメータを算出する。このパラメータ値をＰ２
５０とする。この時の評価範囲は１個取れるので、その
パラメータ値（仮評価値）を最大値として取得する（Ｓ
１５０）。
【００２５】なお、１個の仮評価値では信頼性が低いの
で、このような場合には、測定長さを、１２．５ｍｍか
ら例えば１５．０ｍｍに変更するとともに、図４のλｃ
＝ＣのＬｏ＝Ｌｃの如く、評価長さの評価開始点を所定
量ずらして評価範囲を複数個（図４では３個）取る。こ
れにより、複数個（３個）の仮評価値を取得できるの
で、仮評価値の信頼性が向上する。
で、このような場合には、測定長さを、１２．５ｍｍか
ら例えば１５．０ｍｍに変更するとともに、図４のλｃ
＝ＣのＬｏ＝Ｌｃの如く、評価長さの評価開始点を所定
量ずらして評価範囲を複数個（図４では３個）取る。こ
れにより、複数個（３個）の仮評価値を取得できるの
で、仮評価値の信頼性が向上する。
【００２６】次に、Ｐ００８の最大値が、ＩＳＯ４２８
８で規定された図５〜図７で示す表１〜表３の粗さの範
囲（０．００６＜Ｒａ≦０．０２、０．０２５＜Ｒｚ，
Ｒｚ１ｍａｘ≦０．１、０．０１３＜ＲＳｍ≦０．０
４）内にあるか否かを判断し（Ｓ１６０）、その範囲内
にある場合には、カットオフ値を０．０８ｍｍとして、
この最大値を測定領域の粗さの有効評価値として出力す
る（Ｓ１７０）。
８で規定された図５〜図７で示す表１〜表３の粗さの範
囲（０．００６＜Ｒａ≦０．０２、０．０２５＜Ｒｚ，
Ｒｚ１ｍａｘ≦０．１、０．０１３＜ＲＳｍ≦０．０
４）内にあるか否かを判断し（Ｓ１６０）、その範囲内
にある場合には、カットオフ値を０．０８ｍｍとして、
この最大値を測定領域の粗さの有効評価値として出力す
る（Ｓ１７０）。
【００２７】一方、前記最大値がＰ００８の前記粗さの
範囲内にない場合には、Ｐ０２５の最大値が、前記表１
〜表３の粗さの範囲（０．０２＜Ｒａ≦０．１、０．１
＜Ｒｚ，Ｒｚ１ｍａｘ≦０．５、０．０４＜ＲＳｍ≦
０．１３）内にあるか否かを判断し（Ｓ１８０）、その
範囲内にある場合には、カットオフ値を０．２５ｍｍと
して、この最大値を測定領域の粗さの有効評価値として
出力する（Ｓ１９０）。
範囲内にない場合には、Ｐ０２５の最大値が、前記表１
〜表３の粗さの範囲（０．０２＜Ｒａ≦０．１、０．１
＜Ｒｚ，Ｒｚ１ｍａｘ≦０．５、０．０４＜ＲＳｍ≦
０．１３）内にあるか否かを判断し（Ｓ１８０）、その
範囲内にある場合には、カットオフ値を０．２５ｍｍと
して、この最大値を測定領域の粗さの有効評価値として
出力する（Ｓ１９０）。
【００２８】また、前記最大値がＰ０２５の前記粗さの
範囲内にない場合には、Ｐ０８０の最大値が、前記表１
〜表３の粗さの範囲（０．１＜Ｒａ≦２、０．５＜Ｒ
ｚ，Ｒｚ１ｍａｘ≦１０、０．１３＜ＲＳｍ≦０．４）
内にあるか否かを判断し（Ｓ２００）、その範囲内にあ
る場合には、カットオフ値を０．８ｍｍとして、この最
大値を測定領域の粗さの有効評価値として出力する（Ｓ
２１０）。
範囲内にない場合には、Ｐ０８０の最大値が、前記表１
〜表３の粗さの範囲（０．１＜Ｒａ≦２、０．５＜Ｒ
ｚ，Ｒｚ１ｍａｘ≦１０、０．１３＜ＲＳｍ≦０．４）
内にあるか否かを判断し（Ｓ２００）、その範囲内にあ
る場合には、カットオフ値を０．８ｍｍとして、この最
大値を測定領域の粗さの有効評価値として出力する（Ｓ
２１０）。
【００２９】また、前記最大値がＰ０８０の前記粗さの
範囲内にない場合には、Ｐ２５０の最大値が、前記表１
〜表３の粗さの範囲（２＜Ｒａ≦１０、１０＜Ｒｚ，Ｒ
ｚ１ｍａｘ≦５０、０．４＜ＲＳｍ≦１．３）内にある
か否かを判断し（Ｓ２２０）、その範囲内にある場合に
は、カットオフ値を２．５ｍｍとして、この最大値を測
定領域の粗さの有効評価値として出力する（Ｓ２３
０）。
範囲内にない場合には、Ｐ２５０の最大値が、前記表１
〜表３の粗さの範囲（２＜Ｒａ≦１０、１０＜Ｒｚ，Ｒ
ｚ１ｍａｘ≦５０、０．４＜ＲＳｍ≦１．３）内にある
か否かを判断し（Ｓ２２０）、その範囲内にある場合に
は、カットオフ値を２．５ｍｍとして、この最大値を測
定領域の粗さの有効評価値として出力する（Ｓ２３
０）。
【００３０】なお、前記最大値がＰ２５０の粗さの範囲
内にない場合には、最も一般的な値である０．０８ｍｍ
をカットオフ値に設定する（Ｓ２４０）。
内にない場合には、最も一般的な値である０．０８ｍｍ
をカットオフ値に設定する（Ｓ２４０）。
【００３１】このように、実施の形態の粗さ測定方法で
は、測定データから前記複数のカットオフ値に対応する
評価長さ毎の複数の仮評価値を算出し、これらの仮評価
値の中から最大値を取得する。そして、この最大値がそ
の粗さの範囲内に存在するカットオフ値において、この
最大値を前記測定領域の粗さの有効評価値として出力す
る。
は、測定データから前記複数のカットオフ値に対応する
評価長さ毎の複数の仮評価値を算出し、これらの仮評価
値の中から最大値を取得する。そして、この最大値がそ
の粗さの範囲内に存在するカットオフ値において、この
最大値を前記測定領域の粗さの有効評価値として出力す
る。
【００３２】したがって、実施の形態の粗さ測定装置１
０は、複数の仮評価値から有効評価値を判断しているの
で、１つ評価値で有効評価値を判断する従来技術と比較
して、有効評価値の信頼性が高く、よって、ワークの表
面粗さを正確に測定することができる。
０は、複数の仮評価値から有効評価値を判断しているの
で、１つ評価値で有効評価値を判断する従来技術と比較
して、有効評価値の信頼性が高く、よって、ワークの表
面粗さを正確に測定することができる。
【００３３】なお、図３のフローチャートでは、Ｐ００
８、Ｐ０２５、Ｐ０８０、Ｐ２５０の各パラメータ値
（仮評価値）の最大値を予め算出した後、これら４つの
最大値から有効評価値を判断するようにしたが、図８の
フローチャートに示すように、Ｐ００８、Ｐ０２５、Ｐ
０８０、Ｐ２５０毎にパラメータ値（仮評価値）の最大
値を算出し、有効評価値を判断してもよい。
８、Ｐ０２５、Ｐ０８０、Ｐ２５０の各パラメータ値
（仮評価値）の最大値を予め算出した後、これら４つの
最大値から有効評価値を判断するようにしたが、図８の
フローチャートに示すように、Ｐ００８、Ｐ０２５、Ｐ
０８０、Ｐ２５０毎にパラメータ値（仮評価値）の最大
値を算出し、有効評価値を判断してもよい。
【００３４】図８のフローチャートによれば、まず、評
価対象パラメータ（Ｒａ、Ｒｚ、ＲＳｍ）を選択する
（Ｓ３００）。この場合も、図３の測定方法と同様に、
複数のパラメータが選択された場合には、一般的に使用
頻度の高いパラメータを優先して、そのパラメータの有
効評価値を出力させる。
価対象パラメータ（Ｒａ、Ｒｚ、ＲＳｍ）を選択する
（Ｓ３００）。この場合も、図３の測定方法と同様に、
複数のパラメータが選択された場合には、一般的に使用
頻度の高いパラメータを優先して、そのパラメータの有
効評価値を出力させる。
【００３５】次に、評価長さ（測定領域）を１２．５ｍ
ｍに設定する（Ｓ３１０）。この測定長さも変更可能で
ある。
ｍに設定する（Ｓ３１０）。この測定長さも変更可能で
ある。
【００３６】そして、指定された前記測定長さの全範囲
を測定してワークの表面粗さを示す測定データを取得す
る。
を測定してワークの表面粗さを示す測定データを取得す
る。
【００３７】次いで、カットオフ値：０．０８ｍｍにて
評価対象パラメータを算出する。このパラメータ値をＰ
００８とする。この時の評価範囲は３１個取れるので、
３１個の評価範囲毎に算出された３１個のパラメータ値
（仮評価値）のうち最大のパラメータ値を取得する（Ｓ
３２０）。
評価対象パラメータを算出する。このパラメータ値をＰ
００８とする。この時の評価範囲は３１個取れるので、
３１個の評価範囲毎に算出された３１個のパラメータ値
（仮評価値）のうち最大のパラメータ値を取得する（Ｓ
３２０）。
【００３８】次に、Ｐ００８の最大値が、表１〜表３の
粗さの範囲内にあるか否かを判断し（Ｓ３３０）、その
範囲内にある場合には、カットオフ値を０．０８ｍｍと
して、この最大値を測定領域の粗さの有効評価値として
出力する（Ｓ３４０）。
粗さの範囲内にあるか否かを判断し（Ｓ３３０）、その
範囲内にある場合には、カットオフ値を０．０８ｍｍと
して、この最大値を測定領域の粗さの有効評価値として
出力する（Ｓ３４０）。
【００３９】一方、前記最大値がＰ００８の前記粗さの
範囲内にない場合には、カットオフ値：０．２５ｍｍに
て評価対象パラメータを算出する。このパラメータ値を
Ｐ０２５とする。この時の評価範囲は１０個取れるの
で、１０個の評価範囲毎に算出された１０個のパラメー
タ値（仮評価値）のうち最大のパラメータ値を取得する
（Ｓ３５０）。
範囲内にない場合には、カットオフ値：０．２５ｍｍに
て評価対象パラメータを算出する。このパラメータ値を
Ｐ０２５とする。この時の評価範囲は１０個取れるの
で、１０個の評価範囲毎に算出された１０個のパラメー
タ値（仮評価値）のうち最大のパラメータ値を取得する
（Ｓ３５０）。
【００４０】次に、Ｐ０２５の最大値が、前記表１〜表
３の粗さの範囲内にあるか否かを判断し（Ｓ３６０）、
その範囲内にある場合には、カットオフ値を０．２５ｍ
ｍとして、この最大値を測定領域の粗さの有効評価値と
して出力する（Ｓ３７０）。
３の粗さの範囲内にあるか否かを判断し（Ｓ３６０）、
その範囲内にある場合には、カットオフ値を０．２５ｍ
ｍとして、この最大値を測定領域の粗さの有効評価値と
して出力する（Ｓ３７０）。
【００４１】同様に、前記最大値がＰ０２５の前記粗さ
の範囲内にない場合には、カットオフ値：０．８ｍｍに
て評価対象パラメータを算出する。このパラメータ値を
Ｐ０８０とする。この時の評価範囲は３個取れるので、
３個の評価範囲毎に算出された３個のパラメータ値（仮
評価値）のうち最大のパラメータ値を取得する（Ｓ３８
０）。
の範囲内にない場合には、カットオフ値：０．８ｍｍに
て評価対象パラメータを算出する。このパラメータ値を
Ｐ０８０とする。この時の評価範囲は３個取れるので、
３個の評価範囲毎に算出された３個のパラメータ値（仮
評価値）のうち最大のパラメータ値を取得する（Ｓ３８
０）。
【００４２】次に、Ｐ０８０の最大値が、前記表１〜表
３の粗さの範囲内にあるか否かを判断し（Ｓ３９０）、
その範囲内にある場合には、カットオフ値を０．８ｍｍ
として、この最大値を測定領域の粗さの有効評価値とし
て出力する（Ｓ４００）。
３の粗さの範囲内にあるか否かを判断し（Ｓ３９０）、
その範囲内にある場合には、カットオフ値を０．８ｍｍ
として、この最大値を測定領域の粗さの有効評価値とし
て出力する（Ｓ４００）。
【００４３】同様に、前記最大値がＰ０８０の前記粗さ
の範囲内にない場合には、カットオフ値：２．５ｍｍに
て評価対象パラメータを算出する。このパラメータ値を
Ｐ２５０とする。この時の評価範囲は１個取れるので、
そのパラメータ値（仮評価値）を最大値として取得する
（Ｓ４１０）。
の範囲内にない場合には、カットオフ値：２．５ｍｍに
て評価対象パラメータを算出する。このパラメータ値を
Ｐ２５０とする。この時の評価範囲は１個取れるので、
そのパラメータ値（仮評価値）を最大値として取得する
（Ｓ４１０）。
【００４４】次に、Ｐ２５０の最大値が、前記表１〜表
３の粗さの範囲内にあるか否かを判断し（Ｓ４２０）、
その範囲内にある場合には、カットオフ値を２．５ｍｍ
として、この最大値を測定領域の粗さの有効評価値とし
て出力する（Ｓ４３０）。
３の粗さの範囲内にあるか否かを判断し（Ｓ４２０）、
その範囲内にある場合には、カットオフ値を２．５ｍｍ
として、この最大値を測定領域の粗さの有効評価値とし
て出力する（Ｓ４３０）。
【００４５】なお、前記最大値がＰ２５０の前記粗さの
範囲内にない場合には、最も一般的な値である０．０８
ｍｍをカットオフ値とする（Ｓ４４０）。
範囲内にない場合には、最も一般的な値である０．０８
ｍｍをカットオフ値とする（Ｓ４４０）。
【００４６】このような方法で有効評価値を判断すれ
ば、Ｓ３４０、Ｓ３７０、又はＳ４００で測定処理を終
了することができる場合があるので、Ｐ００８〜Ｐ２５
０の全てのパラメータ値（仮評価値）の最大値を算出す
ることなく、有効評価値を判断することができる。
ば、Ｓ３４０、Ｓ３７０、又はＳ４００で測定処理を終
了することができる場合があるので、Ｐ００８〜Ｐ２５
０の全てのパラメータ値（仮評価値）の最大値を算出す
ることなく、有効評価値を判断することができる。
【００４７】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る粗さ測
定方法及び粗さ測定装置によれば、測定データから複数
のカットオフ値に対応する評価長さ毎の複数の仮評価値
を算出し、これらの仮評価値の中から最大値を取得して
有効評価値を判断したので、１つ評価値で有効評価値を
判断する従来技術と比較して、有効評価値の信頼性が高
く、よって、ワークの表面粗さを正確に測定することが
できる。
定方法及び粗さ測定装置によれば、測定データから複数
のカットオフ値に対応する評価長さ毎の複数の仮評価値
を算出し、これらの仮評価値の中から最大値を取得して
有効評価値を判断したので、１つ評価値で有効評価値を
判断する従来技術と比較して、有効評価値の信頼性が高
く、よって、ワークの表面粗さを正確に測定することが
できる。
【図１】実施の形態の粗さ測定装置を示す全体図
【図２】図１に示した粗さ測定装置の構成を示すブロッ
ク図
ク図
【図３】粗さ測定方法の第１の実施の形態を示すフロー
チャート
チャート
【図４】図３に示したフローチャートを模式的に説明し
た図
た図
【図５】カットオフ値に対するＲａの範囲と評価長さと
の関係を示した図
の関係を示した図
【図６】カットオフ値に対するＲｚの範囲と評価長さと
の関係を示した図
の関係を示した図
【図７】カットオフ値に対するＲＳｍの範囲と評価長さ
との関係を示した図
との関係を示した図
【図８】粗さ測定方法の第２の実施の形態を示すフロー
チャート
チャート
１０…粗さ測定装置、１２…測定部、１４…データ処理
装置、１６…キーボード、１８…モニタ、２６…触針、
２８…ＣＰＵ、３４…補助記憶装置、３６…評価値出力
手段
装置、１６…キーボード、１８…モニタ、２６…触針、
２８…ＣＰＵ、３４…補助記憶装置、３６…評価値出力
手段
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１３年９月７日（２００１．９．７）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３０】なお、前記最大値がＰ２５０の粗さの範囲
内にない場合には、最も一般的な値である０．８ｍｍを
カットオフ値に設定する（Ｓ２４０）。
内にない場合には、最も一般的な値である０．８ｍｍを
カットオフ値に設定する（Ｓ２４０）。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４５】なお、前記最大値がＰ２５０の前記粗さの
範囲内にない場合には、最も一般的な値である０．８ｍ
ｍをカットオフ値とする（Ｓ４４０）。
範囲内にない場合には、最も一般的な値である０．８ｍ
ｍをカットオフ値とする（Ｓ４４０）。
Claims (2)
- 【請求項１】 ワークの表面粗さの測定領域を指定し、 該指定された前記測定領域の全範囲を測定してワークの
表面粗さを示す測定データを取得し、 予め設定された複数のカットオフ値を備えたフイルタを
用いて、前記測定データから前記複数のカットオフ値に
対応する評価長さ毎の複数の仮評価値を算出することに
より該仮評価値の最大値を取得し、 該最大値が、その時に用いたカットオフ値の粗さ範囲に
存在する場合には、該最大値を有効評価値として取得
し、 該最大値が、その時に用いたカットオフ値の粗さ範囲に
存在しない場合には、別のカットオフ値を用いて有効評
価値を取得することを特徴とする粗さ測定方法。 - 【請求項２】 ワーク表面に触針を接触させ、該触針を
ワーク表面に沿って移動させることによりワークの表面
粗さを測定する粗さ測定装置において、 ワークの表面粗さの測定領域を指定する測定領域指定手
段と、 該測定領域指定手段で指定された前記測定領域の全範囲
に前記触針を移動させてワークの表面粗さを示す測定デ
ータを取得する測定データ取得手段と、 予め設定された複数のカットオフ値を備えたフイルタを
用い、前記測定データ取得手段で取得された前記測定デ
ータから前記複数のカットオフ値に対応する評価長さ毎
の複数の仮評価値を算出することにより該仮評価値の最
大値を取得する最大値取得手段と、 該最大値取得手段で取得された最大値が、その時に用い
たカットオフ値の粗さ範囲に存在する場合には、該最大
値を有効評価値として取得し、また、該最大値が、その
時に用いたカットオフ値の粗さ範囲に存在しない場合に
は、別のカットオフ値を用いて有効評価値を取得し出力
する評価値出力手段と、 を有することを特徴とする粗さ測定装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000299670A JP3525432B2 (ja) | 2000-09-29 | 2000-09-29 | 粗さ測定方法及び粗さ測定装置 |
| US09/956,952 US6696697B2 (en) | 2000-09-29 | 2001-09-21 | Roughness measuring method and apparatus, using a filter having a plurality of cutoff values |
| EP01123184A EP1197727A3 (en) | 2000-09-29 | 2001-09-27 | Roughness measuring method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000299670A JP3525432B2 (ja) | 2000-09-29 | 2000-09-29 | 粗さ測定方法及び粗さ測定装置 |
Publications (2)
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|---|---|
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| JP3525432B2 JP3525432B2 (ja) | 2004-05-10 |
Family
ID=18781446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000299670A Expired - Fee Related JP3525432B2 (ja) | 2000-09-29 | 2000-09-29 | 粗さ測定方法及び粗さ測定装置 |
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|---|---|
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| EP (1) | EP1197727A3 (ja) |
| JP (1) | JP3525432B2 (ja) |
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| WO2009004872A1 (ja) | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 |
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| KR101091260B1 (ko) | 2003-12-29 | 2011-12-07 | 주식회사 포스코 | 도금 강판의 골링 시험 장치 |
| JP2006308476A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 表面粗さ／形状測定装置 |
| US20090025464A1 (en) * | 2005-08-23 | 2009-01-29 | Masafumi Ishii | Surface-roughness/contour measuring apparatus |
| JP4417986B2 (ja) * | 2007-07-18 | 2010-02-17 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定装置 |
| JP6086311B2 (ja) * | 2012-03-28 | 2017-03-01 | 日立金属株式会社 | 金型用鋼材の磨き性の評価方法および金型の磨き性の評価方法 |
| CN105841657B (zh) * | 2016-03-25 | 2018-05-18 | 北京科技大学 | 一种金属表面形貌高斯滤波过程中的边缘效应抑制方法 |
| KR102180526B1 (ko) * | 2019-08-16 | 2020-11-18 | 한양대학교 산학협력단 | 휴대용 표면 측정 장치 및 제어 방법 |
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| LU86194A1 (fr) * | 1985-12-05 | 1987-07-24 | Centre Rech Metallurgique | Procede de mesure en continu de la rugosite de la surface d'un produit lamine a froid |
| GB2242976A (en) * | 1990-04-12 | 1991-10-16 | Rank Taylor Hobson Ltd | Measuring surface characteristics |
| US5204826A (en) * | 1991-02-01 | 1993-04-20 | General Electric Company | Quality assurance of surface treatments by analysis of substrate surface line traces |
| US5204734A (en) * | 1991-06-12 | 1993-04-20 | Wyko Corporation | Rough surface profiler and method |
| GB2272059B (en) * | 1992-10-20 | 1996-03-20 | Mitutoyo Corp | Surface-roughness measuring apparatus |
| JPH08159751A (ja) * | 1994-12-08 | 1996-06-21 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | ガラス板表面評価方法 |
| JP3241615B2 (ja) * | 1996-11-01 | 2001-12-25 | 株式会社東京精密 | 表面粗さ形状測定機の測定条件自動設定方法及びその装置 |
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| DE69813144T2 (de) * | 1997-11-07 | 2003-12-04 | Rohm & Haas | Kunstoffsubstrate zur Verwendung in elektronischen Anzeigesystemen |
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-
2000
- 2000-09-29 JP JP2000299670A patent/JP3525432B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-09-21 US US09/956,952 patent/US6696697B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-09-27 EP EP01123184A patent/EP1197727A3/en not_active Withdrawn
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Also Published As
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