JP2002090762A - 液晶パネルの製造方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 一対のガラス基板間のギャップを簡単な構成
で均一化することができる液晶パネルの製造方法及び製
装置を提供する。 【解決手段】 液晶パネル５０の排気ポート５５と注入
ポート５６には、夫々、真空ポンプ５９と液晶供給装置
６１が接続されている。ガラス基板５１，５２には、ガ
ラス基板５１，５２と協働して密閉空間を規定する箱状
チャンバ７２，７５が押し当てられ、箱状チャンバ７
２，７５の底部は、箱状チャンバ７２，７５の内部密閉
空間を加圧する共に減圧される。まず、真空ポンプ５９
によって液晶パネル５０内を真空排気し、次いで、液晶
供給装置６１によって液晶を液晶パネル５０内に加圧注
入する。その後、箱状チャンバ７２，７５の密閉空間内
を加圧して、ガラス基板５１，５２を押圧してギャップ
５４を均一にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルの製造
方法及び装置に関し、特に、液晶パネル内に液晶を注入
する工程を有する液晶パネルの製造方法及び装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置は、図５に示す液晶パネル
５０を有し、この液晶パネル５０は、一対の矩形ガラス
基板５１，５２を備える。一対のガラス基板５１，５２
は、スペーサビーズ６０（図６）により互いに数μｍの
厚さのギャップ５４で対峙し、それらの周縁が、後述す
る排気ポート５５や注入ポート５６として使用される部
分を除いて接着剤５３で接合されている。

【０００３】このような液晶パネル５０内に液晶を注入
する方法としては、例えば特開平８−２６２４６２号公
報に提案されている方法がある。この方法は、図６に示
すように、液晶パネル５０に形成された排気ポート５５
と注入ポート５６に、夫々、排気コネクタ５７と注入コ
ネクタ５８を介して真空ポンプ５９と液晶供給装置６１
を接続し、まず、真空ポンプ５９を駆動させることによ
り排気コネクタ５７を介して液晶パネル５０内を真空排
気し、液晶パネル５０内が所定の真空度に達したときに
液晶供給装置６１によって注入コネクタ５８を介して液
晶を液晶パネル５０内に加圧注入する。

【０００４】液晶注入完了時点において、液晶パネル５
０の注入ポート５６近傍では、液晶の圧力が大気圧より
高くなっており、液晶パネル５０を構成する一対のガラ
ス基板５１，５２間のギャップ５４が正常状態より膨ら
み、これに対して、液晶パネル５０の排気ポート５６近
傍では、真空吸引された影響で液晶の圧力が大気圧より
低く、一対のガラス基板５１，５２間のギャップ５４が
ほぼスペーサビーズ６０の径に対応する寸法となってい
る。

【０００５】このようなガラス基板５１，５２の変形
は、時間の経過によっては元に戻らず、液晶パネル５０
のギャップの不均一、即ち、液晶厚さの不均一さををも
たらし、所望の表示性能の達成を阻害する要因となる。

【０００６】上記のような液晶厚さの不均一さを解消す
るために、例えば特開平１１−０５２３９９号公報に記
載の装置では、上記液晶パネル５０全体及び液晶供給装
置６１をハウジング内に収容し、液晶供給装置６１が液
晶の注入を完了した時点で、ハウジング内に圧縮空気を
供給し、ハウジング内を大気圧より高い圧力、例えば大
気圧の１．５〜２．０倍に加圧して、液晶パネル５０を
取り巻く気圧が一対のガラス基板５１，５２を押圧する
ことになり、その結果、一対のガラス基板５１，５２
は、互いに除々に接近し、本来もっている歪みをも矯正
された状態で平坦になり、ひいては、スペーサビーズ６
０の径によって決定される均一なギャップ５４を得るこ
とができる。次いで、液晶パネル５０を取り巻く気圧を
高圧状態に維持したままコネクタ５７，５８を外し、排
気ポート５５及び注入ポート５６に封止剤を充填し、そ
の後液晶パネル５０を取り巻く気圧を大気圧に戻し液晶
パネル５０をハウジングから取り出す。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の装置では、一対のガラス基板５１，５２、排気コネ
クタ５７及び注入コネクタ５８、封止装置等をハウジン
グ１内に収容する必要があるため、装置全体が大型化す
るという問題がある。

【０００８】本発明は、一対のガラス基板間のギャップ
を簡単な構成で均一化することができる液晶パネルの製
造方法及び装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項１記載の製造方法は、一対の対向位置にお
ける排気ポート及び注入ポートに使用される部分を除い
て周縁が接合された一対のガラス基板を備える液晶パネ
ルの製造方法において、前記排気ポートを介して前記一
対のガラス基板内を真空排気する排気工程と、前記注入
ポートを介して前記真空排気された一対のガラス基板内
に液晶を注入する注入工程と、前記注入工程完了後に、
前記一対のガラス基板を両側から押圧する押圧工程とを
備えることを特徴とする。

【００１０】請求項１記載の製造方法によれば、真空排
気された一対のガラス基板内に液晶を注入する注入工程
完了後に一対のガラス基板を両側から押圧するので、一
対のガラス基板間のギャップを簡単な構成で均一化する
ことができる。

【００１１】請求項２記載の製造方法は、請求項１記載
の製造方法において、前記排気工程中に、前記一対のガ
ラス基板を両側から押圧することを特徴とする。

【００１２】請求項２記載の製造方法によれば、排気工
程中に、一対のガラス基板を両側から押圧するので、液
晶パネル内の真空排気を迅速に行うことができる。

【００１３】請求項３記載の製造方法は、請求項１又は
２記載の製造方法において、前記押圧は、前記一対のガ
ラス基板の全面又は一部の面に対して行うことを特徴と
する。

【００１４】請求項３記載の製造方法によれば、押圧
は、一対のガラス基板の全面又は一部の面に対して行う
ので、一対のガラス基板を押圧する構成を小型化するこ
とができる。

【００１５】請求項４記載の製造方法は、請求項３記載
の製造方法において、前記押圧は、前記注入ポート側に
おける前記一対のガラス基板の全面又は一部の面に対し
て行うことを特徴とする。

【００１６】請求項４記載の製造方法によれば、押圧
は、注入ポート側における一対のガラス基板の全面又は
一部の面に対して行うので、一対のガラス基板の押圧を
効率よく行うことができる。

【００１７】請求項５記載の製造方法は、請求項１乃至
４のいずれか１項に記載の製造方法において、前記注入
工程中に、前記一対のガラス基板の部分を両側に引っ張
ることを特徴とする。

【００１８】請求項５記載の製造方法によれば、注入工
程中に、一対のガラス基板の部分を両側に引っ張るの
で、液晶パネル内への液晶の注入を迅速に行うことがで
きる。

【００１９】請求項６記載の製造方法は、請求項５項に
記載の製造方法において、前記引っ張りは、前記一対の
ガラス基板の全面又は一部の面に対して行うことを特徴
とする。

【００２０】請求項６記載の製造方法によれば、引っ張
りは、一対のガラス基板の全面又は一部の面に対して行
うので、一対のガラス基板を引っ張る構成を小型化する
ことができる。

【００２１】請求項７記載の製造方法は、請求項６項に
記載の製造方法において、前記引っ張りは、前記注入ポ
ート側における前記一対のガラス基板の全面又は一部の
面に対して行うことを特徴とする。

【００２２】請求項７記載の製造方法によれば、押圧
は、注入ポート側における一対のガラス基板の全面又は
一部の面に対して行うので、一対のガラス基板の引っ張
りを効率よく行うことができる。

【００２３】上述の目的を達成するために、請求項８記
載の製造装置は、一対の対向位置における排気ポート及
び注入ポートに使用される部分を除いて周縁が接合され
た一対のガラス基板を備える液晶パネルの製造装置にお
いて、前記排気ポートを介して前記一対のガラス基板内
を真空排気する排気手段と、前記注入ポートを介して前
記一対のガラス基板内に液晶を注入する注入手段と、前
記一対のガラス基板を両側から押圧すると共に両側に引
っ張る押圧引っ張り手段とを備えることを特徴とする。

【００２４】請求項８記載の製造装置によれば、押圧引
っ張り手段が一対のガラス基板を両側から押圧すると共
に両側に引っ張るので、一対のガラス基板間のギャップ
を簡単な構成で均一化することができる。

【００２５】請求項９記載の製造装置は、請求項８記載
の製造装置において、前記押圧引っ張り手段は、前記一
対のガラス基板に両側から当接され、前記ガラス基板と
協働して密閉空間を規定する一対の箱状部材と、前記一
対の箱状部材に接続され、前記箱状部材内を加圧すると
共に減圧する加圧減圧手段とから成ることを特徴とす
る。

【００２６】請求項９記載の製造装置によれば、押圧引
っ張り手段は、一対のガラス基板に両側から当接され、
ガラス基板と協働して密閉空間を規定する一対の箱状部
材と、一対の箱状部材に接続され、箱状部材内を加圧す
ると共に減圧する加圧減圧手段とから成るので、押圧引
っ張り手段の構成を簡単化することができる。

【００２７】請求項１０記載の製造装置は、請求項９記
載の製造装置において、前記押圧引っ張り手段は、前記
一対のガラス基板に吸着することができる一対の吸盤
と、該一対の吸盤を移動させる移動手段とから成ること
を特徴とする。

【００２８】請求項１０記載の製造装置によれば、押圧
引っ張り手段は、一対のガラス基板に吸着することがで
きる一対の吸盤と、該一対の吸盤を移動させる移動手段
とから成るので、押圧引っ張り手段の構成をさらに簡単
化することができる。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
液晶パネルの製造装置を図１及び図２を参照しながら説
明する。

【００３０】図１は、本発明の実施の形態に係る液晶パ
ネルの製造装置の説明図であり、図２は、図１の製造装
置の主要部の斜視図である。

【００３１】図１において、液晶表示装置は、液晶パネ
ル５０を有し、この液晶パネル５０は、一対の矩形ガラ
ス基板５１，５２を備える。一対のガラス基板５１，５
２は、スペーサビーズ６０により、例えば４μｍの厚さ
のギャップで対峙し、それらの周縁が、後述する排気ポ
ート５５や注入ポート５６として使用される部分を除い
て接着剤５３で接合されている。

【００３２】液晶パネル５０に形成された排気ポート５
５と注入ポート５６には、夫々、排気コネクタ５７と注
入コネクタ５８を介して真空ポンプ５９（排気手段）と
液晶供給装置６１（注入手段）が接続されている。

【００３３】ガラス基板５１には、ガラス基板５１と協
働して密閉空間を規定すると共に、周縁にＯリング７１
を有する箱状チャンバ７２（押圧引っ張り手段）が図示
しないストッパにより押し当てられる。箱状チャンバ７
２の底部は、パイプ７３を介して、内部密閉空間を加圧
する共に減圧する図示しない加圧減圧手段（押圧引っ張
り手段）に接続されている。

【００３４】ガラス基板５２には、ガラス基板５２と協
働して密閉空間を規定すると共に、周縁にＯリング７４
を有する箱状チャンバ７５（押圧引っ張り手段）が図示
しないストッパにより押し当てられる。箱状チャンバ７
５の底部は、パイプ７６を介して、前記加圧減圧手段に
接続されている。

【００３５】上記ストッパに代えて箱状チャンバ７２，
７５の両底面をクランプで挟み込んで、ガラス基板５
１，５２から箱状チャンパ７２，７５が浮き上がらない
ようにいしてもよい。

【００３６】また、箱状チャンバ７２，７５の大きさ
を、ガラス基板５１，５２の表面のほとんど全部を覆う
ようにしてもよい。

【００３７】以下、図３を参照しながら、図１の製造装
置によって実行される液晶パネルの製造方法を説明す
る。以下の説明では、図４の概念図をも参照する。

【００３８】図３は、図１の製造装置によって実行され
る液晶パネルの製造工程図であり、図４は、図３の液晶
パネルの製造工程の概念図である。

【００３９】まず、一対の対向位置における排気ポート
５５及び注入ポート５６に使用される部分を除いて周縁
が接着剤５３により接合された一対のガラス基板５１，
５２をセットし、この排気ポート５５には排気コネクタ
５７を、注入ポート５６には注入コネクタ５８を取付け
（工程Ｐ１）、注入ポート５６寄りの位置においてガラ
ス基板５１，５２にチャンバ７２，７５を押し当ててセ
ットする（工程Ｐ２）。

【００４０】次いで、真空ポンプ５９を駆動させること
により排気コネクタ５７を介して液晶パネル５０内を真
空排気する（工程Ｐ３）。このとき、箱状チャンバ７
２，７５を図示しないストッパを用いてガラス基板５
１，５２に押し当てつつ、箱状チャンバ７２，７５の密
閉空間内に圧縮空気を送り込み、ガラス基板５１，５２
を押圧するのが好ましい（図４（ａ））。これにより、
液晶パネル５０内の真空吸引を迅速にしかも効率よく行
うことができる。

【００４１】続く工程Ｐ４では、液晶パネル５０内が所
定の真空度に達したときに液晶供給装置６１によって注
入コネクタ５８を介して液晶を液晶パネル５０内に加圧
注入する（工程Ｐ４）。液晶注入時点において、液晶パ
ネル５０の注入ポート５６近傍では、液晶の圧力が大気
圧より高くなっており、液晶パネル５０を構成する一対
のガラス基板５１，５２間のギャップが正常状態より膨
らむ。液晶の加圧注入直後、図示しないストッパを用い
て箱状チャンバ７２，７５を注入ポート５６寄りの位置
においてガラス基板５１，５２に押し当てつつ、箱状チ
ャンバ７２，７５の密閉空間を減圧し、ガラス基板５
１，５２を両側に引っ張るのが好ましい（図４
（ｂ））。これにより、液晶の経路が確保され液晶パネ
ル５０内への液晶の注入を迅速にしかも効率よく行うこ
とができる。その際、注入する液晶を加圧すれば、より
注入速度を上げることができ、また、注入する液晶を加
温すれば、液晶の注入を容易に行うことができる。

【００４２】これに対して、液晶パネル５０の排気ポー
ト５６近傍では、真空吸引された影響で液晶の圧力が大
気圧より低く、一対のガラス基板５１，５２間のギャッ
プがほぼスペーサビーズ６０の径に対応する寸法となっ
ている。

【００４３】続く工程Ｐ５では、液晶の加圧注入完了直
前又は完了後、図示しないストッパを用いて箱状チャン
バ７２，７５を注入ポート５６寄りの位置においてガラ
ス基板５１，５２に押し当てつつ、チャンバ７２，７５
の密閉空間内に圧縮空気を送り込み、ガラス基板５１，
５２を押圧してギャップを均一にする（図４（ｃ））。

【００４４】さらに、チャンバ７２，７５の密閉空間内
の圧縮空気によりガラス基板５１，５２を押圧した状態
で排気ポート５５及び注入ポート５６から排気コネクタ
５７及び注入コネクタ５８を取り外し（工程Ｐ６）、次
いで、余分な液晶を取り除いた後、排気ポート５５及び
注入ポート５６にＵＶ硬化性樹脂等の封止剤を充填し、
必要に応じて、そのままスポットＵＶ等で硬化させる
か、又はＵＶ炉で硬化させるかして排気ポート５５及び
注入ポート５６を封止する（工程Ｐ７）。

【００４５】図４の液晶パネル製造工程によれば、以下
の効果を奏することができる。 （１）ギャップのバラツキ低減 液晶パネルをセットしたチャンバ内に圧縮空気を送り込
み液晶パネルの雰囲気の気圧を上昇させることで、ガラ
ス基板同士を押しつける方向に力が働き、ギャップを均
一にし、その状態で封止を行うため。 （２）液晶の加圧注入速度増大 ２枚のガラス基板同士を引き離す方向に引っ張り、液晶
パネル内の排気によりガラス基板同士のギャップが狭く
なるのを防ぐ。よって、より広い液晶の経路が確保でき
液晶をスムーズに進行させることが可能なため。 （３）装置の簡単化 液晶パネルサイズに合わせたチャンバを用意すること
で、様々なサイズの液晶パネルに対応できる。また、手
動でも作業可能であり、自動化もし易い。

【００４６】

【実施例】本発明の実施例を以下に説明する。

【００４７】図３の液晶パネルの製造工程を用いて、表
１の各条件の下に実施例１〜３及び比較例１〜３の液晶
パネルを製造した。

【００４８】

【表１】

【００４９】本実施例の条件は、下記の通りである。

【００５０】ガラス基板は対角４０インチ、ガラス基板
間のギャップは７μｍであった。液晶は２種類用意し、
液晶Ａは粘度４７ｍＰａ・ｓ（４７ｃｐｓ）で高粘度の
もの、液晶Ｂは粘度２９．４ｍＰａ・ｓ（２９．４ｃｐ
ｓ）で低粘度のものであった。液晶加圧注入時の箱状チ
ャンバ内の減圧は、１３３０〜１．３３Ｐａ（１０〜
０．０１Ｔｏｒｒ）であり、液晶加圧注入完了後の箱状
チャンバ内の加圧０．０１〜０．５ＭＰａ（０．０１〜
５．０ｋｇｆ／ｃｍ²）であった。液晶加圧注入時のガ
ラス基板の加温は４０〜１００℃であった。また、箱状
チャンバの寸法は、縦８００ｍｍ×幅６００ｍｍ×高さ
２０ｍｍであった。

【００５１】表１の結果において、液晶加圧注入時間で
は、６０分を○、９０分を△、１２０分以上を×で表
し、ガラス基板間のギャップのバラツキは、測定器によ
り計測した平坦度が０．５μｍ以下のものを○、平坦度
１μｍ以上のものを×で表した。

【００５２】表１によれば、液晶加圧注入完了後に箱状
チャンバ内を加圧すると、ギャップのバラツキを良好に
することができること、液晶加圧注入時に箱状チャンバ
内を減圧すると、液晶加圧注入時間を短縮化することが
できること、液晶の粘度が高いときは、ガラス基板の加
温が効果があることが分かる。

【００５３】上記実施の形態では、一対のガラス基板を
押圧／引っ張り手段は、箱状キャップ及び給排気手段で
あったが、これ一対のガラス基板５１，５２に吸着され
得る一対の吸盤であってもよい。これにより、一対のガ
ラス基板を押圧／引っ張り手段を簡単な構成で実現する
ことができる。

【００５４】上記実施の形態では、排気ポート５５及び
注入ポート５６は１個ずつ設けているが、夫々複数個設
てもよい。これにより、液晶パネル５０の真空吸引及び
液晶の注入を迅速に行うことができる。

【００５５】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項１記
載の製造方法によれば、真空排気された一対のガラス基
板内に液晶を注入する注入工程完了後に一対のガラス基
板を両側から押圧するので、一対のガラス基板間のギャ
ップを簡単な構成で均一化することができる。

【００５６】請求項２記載の製造方法によれば、排気工
程中に、一対のガラス基板を両側から押圧するので、液
晶パネル内の真空排気を迅速に行うことができる。

【００５７】請求項３記載の製造方法によれば、押圧
は、一対のガラス基板の全面又は一部の面に対して行う
ので、一対のガラス基板を押圧する構成を小型化するこ
とができる。

【００５８】請求項４記載の製造方法によれば、押圧
は、注入ポート側における一対のガラス基板の全面又は
一部の面に対して行うので、一対のガラス基板の押圧を
効率よく行うことができる。

【００５９】請求項５記載の製造方法によれば、注入工
程中に、一対のガラス基板の部分を両側に引っ張るの
で、液晶パネル内への液晶の注入を迅速に行うことがで
きる。

【００６０】請求項６記載の製造方法によれば、引っ張
りは、一対のガラス基板の全面又は一部の面に対して行
うので、一対のガラス基板を引っ張る構成を小型化する
ことができる。

【００６１】請求項７記載の製造方法によれば、押圧
は、注入ポート側における一対のガラス基板の全面又は
一部の面に対して行うので、一対のガラス基板の引っ張
りを効率よく行うことができる。

【００６２】請求項８記載の製造装置によれば、押圧引
っ張り手段が一対のガラス基板を両側から押圧すると共
に両側に引っ張るので、一対のガラス基板間のギャップ
を簡単な構成で均一化することができる。

【００６３】請求項９記載の製造装置によれば、押圧引
っ張り手段は、一対のガラス基板に両側から当接され、
ガラス基板と協働して密閉空間を規定する一対の箱状部
材と、一対の箱状部材に接続され、箱状部材内を加圧す
ると共に減圧する加圧減圧手段とから成るので、押圧引
っ張り手段の構成を簡単化することができる。

【００６４】請求項１０記載の製造装置によれば、押圧
引っ張り手段は、一対のガラス基板に吸着することがで
きる一対の吸盤と、該一対の吸盤を移動させる移動手段
とから成るので、押圧引っ張り手段の構成をさらに簡単
化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る液晶パネルの製造装
置の説明図である。

【図２】図１の製造装置の主要部の斜視図である。

【図３】図１の製造装置によって実行される液晶パネル
の製造工程図である。

【図４】図３の液晶パネルの製造工程の概念図である。

【図５】液晶表示装置の液晶パネルの平面図である。

【図６】従来の液晶パネルの製造装置の説明図である。

【符号の説明】

５０ 液晶パネル ５１，５２ ガラス基板 ５３ 接着剤 ５５ 排気ポート ５６ 吸気ポート ５７ 排気コネクタ ５８ 注入コネクタ ５９ 真空ポンプ ６０ スペーサビーズ ６１ 液晶供給装置 ７１，７４ Ｏリング ７２，７５ 箱状チャンバ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高見 学 福島県福島市岡島字長岬６番地の７ ナノ ックス株式会社内 (72)発明者 佐々木 あゆみ 福島県福島市岡島字長岬６番地の７ ナノ ックス株式会社内 Ｆターム(参考） 2H089 NA01 NA25 NA32 NA60 QA14 5G435 AA17 BB12 KK05

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対の対向位置における排気ポート及び
   注入ポートに使用される部分を除いて周縁が接合された
   一対のガラス基板を備える液晶パネルの製造方法におい
   て、前記排気ポートを介して前記一対のガラス基板内を
   真空排気する排気工程と、前記注入ポートを介して前記
   真空排気された一対のガラス基板内に液晶を注入する注
   入工程と、前記注入工程完了後に、前記一対のガラス基
   板を両側から押圧する押圧工程とを備えることを特徴と
   する液晶パネルの製造方法。
2. 【請求項２】 前記排気工程中に、前記一対のガラス基
   板を両側から押圧することを特徴とする請求項１記載の
   液晶パネルの製造方法。
3. 【請求項３】 前記押圧は、前記一対のガラス基板の全
   面又は一部の面に対して行うことを特徴とする請求項１
   又は２記載の液晶パネルの製造方法。
4. 【請求項４】 前記押圧は、前記注入ポート側における
   前記一対のガラス基板の全面又は一部の面に対して行う
   ことを特徴とする請求項３記載の液晶パネルの製造方
   法。
5. 【請求項５】 前記注入工程中に、前記一対のガラス基
   板の部分を両側に引っ張ることを特徴とする請求項１乃
   至４のいずれか１項に記載の液晶パネルの製造方法。
6. 【請求項６】 前記引っ張りは、前記一対のガラス基板
   の全面又は一部の面に対して行うことを特徴とする請求
   項５記載の液晶パネルの製造方法。
7. 【請求項７】 前記引っ張りは、前記注入ポート側にお
   ける前記一対のガラス基板の全面又は一部の面に対して
   行うことを特徴とする請求項６記載の液晶パネルの製造
   方法。
8. 【請求項８】 一対の対向位置における排気ポート及び
   注入ポートに使用された部分を除いて周縁が接合された
   一対のガラス基板を備える液晶パネルの製造装置におい
   て、前記排気ポートを介して前記一対のガラス基板内を
   真空排気する排気手段と、前記注入ポートを介して前記
   一対のガラス基板内に液晶を注入する注入手段と、前記
   一対のガラス基板を両側から押圧すると共に両側に引っ
   張る押圧引っ張り手段とを備えることを特徴とする液晶
   パネルの製造装置。
9. 【請求項９】 前記押圧引っ張り手段は、前記一対のガ
   ラス基板に両側から当接され、前記ガラス基板と協働し
   て密閉空間を規定する一対の箱状部材と、前記一対の箱
   状部材に接続され、前記箱状部材内を加圧すると共に減
   圧する加圧減圧手段とから成ることを特徴とする請求項
   ８記載の液晶パネルの製造装置。
10. 【請求項１０】 前記押圧引っ張り手段は、前記一対の
    ガラス基板に吸着することができる一対の吸盤と、該一
    対の吸盤を移動させる移動手段とから成ることを特徴と
    する請求項９記載の液晶パネルの製造装置。