JP2002090566A - 光導波回路装置 - Google Patents
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- G02B6/1203—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides characterised by means for reducing the temperature dependence using mounting means, e.g. by using a combination of materials having different thermal expansion coefficients
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 落下等の衝撃強度の強い光導波回路装置を提
供する。 【解決手段】 シリコンの基板１上に、光入力導波路２
と第１のスラブ導波路３と互いに異なる長さの複数の並
設したアレイ導波路４と第２のスラブ導波路５と複数の
並設した光出力導波路６とを順に接続してなる導波路形
成部１０を設ける。第１のスラブ導波路３を通る光の経
路と交わる交差分離面８で第１のスラブ導波路３を分離
し、温度に依存して分離スラブ導波路３ａ側を分離面８
に沿ってスライド移動させるスライド移動部材１７を設
けて、アレイ導波路型回折格子の各光透過中心波長の温
度依存変動を低減する。交差分離面８とそれに連通する
非交差分離面１８を基板１の劈開面４３と一致しない面
とする。
供する。 【解決手段】 シリコンの基板１上に、光入力導波路２
と第１のスラブ導波路３と互いに異なる長さの複数の並
設したアレイ導波路４と第２のスラブ導波路５と複数の
並設した光出力導波路６とを順に接続してなる導波路形
成部１０を設ける。第１のスラブ導波路３を通る光の経
路と交わる交差分離面８で第１のスラブ導波路３を分離
し、温度に依存して分離スラブ導波路３ａ側を分離面８
に沿ってスライド移動させるスライド移動部材１７を設
けて、アレイ導波路型回折格子の各光透過中心波長の温
度依存変動を低減する。交差分離面８とそれに連通する
非交差分離面１８を基板１の劈開面４３と一致しない面
とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に導波路形
成領域を形成してなるアレイ導波路回折格子型光合分波
器等の光導波回路装置に関するものである。
成領域を形成してなるアレイ導波路回折格子型光合分波
器等の光導波回路装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光通信分野において、コア回路とクラッ
ドとを有する導波路形成領域を基板上に形成した光導波
回路装置が様々に用いられており、導波路形成領域は、
一般に、石英系ガラスによって形成されている。この種
の光導波回路装置においては、コア回路の構成により様
々な機能を果たすことができる。なお、上記基板とし
て、一般的にシリコン基板等の単結晶の基板が適用され
ている。
ドとを有する導波路形成領域を基板上に形成した光導波
回路装置が様々に用いられており、導波路形成領域は、
一般に、石英系ガラスによって形成されている。この種
の光導波回路装置においては、コア回路の構成により様
々な機能を果たすことができる。なお、上記基板とし
て、一般的にシリコン基板等の単結晶の基板が適用され
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記光導波
回路装置において、その用途に応じて、少なくとも１本
のコア回路を横切る溝を形成し、この溝にフィルタ等の
光部品を挿入してなる装置が提案されている。
回路装置において、その用途に応じて、少なくとも１本
のコア回路を横切る溝を形成し、この溝にフィルタ等の
光部品を挿入してなる装置が提案されている。
【０００４】この種の装置は、溝部への光部品挿入等の
構成によって従来の光導波回路装置では成されなかった
効果を発揮することができるが、例えば光導波回路装置
をパッケージ内に収容した状態でパッケージを誤って落
下させてしまった場合等に、上記溝の形成部を起点とし
て基板や導波路形成領域にひびが生じる可能性がある。
構成によって従来の光導波回路装置では成されなかった
効果を発揮することができるが、例えば光導波回路装置
をパッケージ内に収容した状態でパッケージを誤って落
下させてしまった場合等に、上記溝の形成部を起点とし
て基板や導波路形成領域にひびが生じる可能性がある。
【０００５】そこで、本発明者は、溝等の形成により溝
等の無い領域に比べて衝撃強度が弱い構成部分を有して
いても、落下時等に基板や導波路形成領域にひび等が生
じない光導波回路装置を提案することが重要な課題であ
ると考えた。
等の無い領域に比べて衝撃強度が弱い構成部分を有して
いても、落下時等に基板や導波路形成領域にひび等が生
じない光導波回路装置を提案することが重要な課題であ
ると考えた。
【０００６】本発明は上記課題を解決するために成され
たものであり、その目的は、溝等を有していても、落下
等の衝撃強度の強い光導波回路装置を提供することにあ
る。
たものであり、その目的は、溝等を有していても、落下
等の衝撃強度の強い光導波回路装置を提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次のような構成をもって課題を解決するた
めの手段としている。すなわち、第１の発明は、コア回
路とクラッドとを有する導波路形成領域を基板上に形成
してなる光導波回路装置において、少なくとも１本のコ
ア回路を横切る溝が形成されており、該溝の内壁面は前
記基板の劈開面と一致しない面と成している構成をもっ
て課題を解決する手段としている。
に、本発明は次のような構成をもって課題を解決するた
めの手段としている。すなわち、第１の発明は、コア回
路とクラッドとを有する導波路形成領域を基板上に形成
してなる光導波回路装置において、少なくとも１本のコ
ア回路を横切る溝が形成されており、該溝の内壁面は前
記基板の劈開面と一致しない面と成している構成をもっ
て課題を解決する手段としている。
【０００８】単結晶の場合、ある特定の結晶面において
割れる特性があり、その現象を劈開と呼ぶ。この割れる
面を劈開面と呼ぶ。例えば結晶軸〈１００〉、オリエン
テーションフラット位置（１１０）で形成されたシリコ
ン基板の場合、図２の（ａ）に示すように、劈開面４３
はシリコン基板１のオリエンテーションフラット（図の
Ａ）と水平または垂直に形成される。
割れる特性があり、その現象を劈開と呼ぶ。この割れる
面を劈開面と呼ぶ。例えば結晶軸〈１００〉、オリエン
テーションフラット位置（１１０）で形成されたシリコ
ン基板の場合、図２の（ａ）に示すように、劈開面４３
はシリコン基板１のオリエンテーションフラット（図の
Ａ）と水平または垂直に形成される。
【０００９】また、第２の発明は、上記第１の発明の構
成に加え、１本以上の並設された光入力導波路の出射側
に第１のスラブ導波路が接続され、該第１のスラブ導波
路の出射側には該第１のスラブ導波路から導出された光
を伝搬する互いの長さが設定量異なる複数のチャンネル
導波路が並設されて成るアレイ導波路が接続され、該ア
レイ導波路の出射側には第２のスラブ導波路が接続さ
れ、該第２のスラブ導波路の出射側には複数の並設され
た光出力導波路が接続されたコア回路を備えたアレイ導
波路回折格子型光合分波器が光導波回路装置であり、コ
ア回路を横切る溝は少なくとも前記アレイ導波路を横切
る態様で形成されており、前記溝の内壁面は前記基板の
劈開面と一致しない面と成している構成をもって課題を
解決する手段としている。
成に加え、１本以上の並設された光入力導波路の出射側
に第１のスラブ導波路が接続され、該第１のスラブ導波
路の出射側には該第１のスラブ導波路から導出された光
を伝搬する互いの長さが設定量異なる複数のチャンネル
導波路が並設されて成るアレイ導波路が接続され、該ア
レイ導波路の出射側には第２のスラブ導波路が接続さ
れ、該第２のスラブ導波路の出射側には複数の並設され
た光出力導波路が接続されたコア回路を備えたアレイ導
波路回折格子型光合分波器が光導波回路装置であり、コ
ア回路を横切る溝は少なくとも前記アレイ導波路を横切
る態様で形成されており、前記溝の内壁面は前記基板の
劈開面と一致しない面と成している構成をもって課題を
解決する手段としている。
【００１０】さらに、第３の発明は、１本以上の並設さ
れた光入力導波路の出射側に第１のスラブ導波路が接続
され、該第１のスラブ導波路の出射側には該第１のスラ
ブ導波路から導出された光を伝搬する互いの長さが設定
量異なる複数のチャンネル導波路が並設されて成るアレ
イ導波路が接続され、該アレイ導波路の出射側には第２
のスラブ導波路が接続され、該第２のスラブ導波路の出
射側には複数の並設された光出力導波路が接続された導
波路構成を基板上に形成したアレイ導波路回折格子型光
合分波器の前記第１のスラブ導波路と第２のスラブ導波
路の少なくとも一方がスラブ導波路を通る光の経路と交
わる交差面で分離されて分離スラブ導波路と成し、この
分離された分離スラブ導波路の少なくとも一方側を前記
分離面に沿って温度に依存してスライド移動させること
によりアレイ導波路回折格子型光合分波器の光透過中心
波長をシフトさせるスライド移動部材が設けられてお
り、前記分離面は前記基板の劈開面と一致しない面と成
している構成をもって課題を解決する手段としている。
れた光入力導波路の出射側に第１のスラブ導波路が接続
され、該第１のスラブ導波路の出射側には該第１のスラ
ブ導波路から導出された光を伝搬する互いの長さが設定
量異なる複数のチャンネル導波路が並設されて成るアレ
イ導波路が接続され、該アレイ導波路の出射側には第２
のスラブ導波路が接続され、該第２のスラブ導波路の出
射側には複数の並設された光出力導波路が接続された導
波路構成を基板上に形成したアレイ導波路回折格子型光
合分波器の前記第１のスラブ導波路と第２のスラブ導波
路の少なくとも一方がスラブ導波路を通る光の経路と交
わる交差面で分離されて分離スラブ導波路と成し、この
分離された分離スラブ導波路の少なくとも一方側を前記
分離面に沿って温度に依存してスライド移動させること
によりアレイ導波路回折格子型光合分波器の光透過中心
波長をシフトさせるスライド移動部材が設けられてお
り、前記分離面は前記基板の劈開面と一致しない面と成
している構成をもって課題を解決する手段としている。
【００１１】光導波回路の基板として適用される基板
は、シリコン単結晶等の基板が一般的であり、周知の如
く、この種の単結晶基板には劈開面が形成される。そこ
で、本発明者は、この劈開面と溝や分離面などの比較的
衝撃強度の弱い構成要素との位置関係に着目し、溝の内
壁面や分離面をシリコン単結晶基板の劈開面と一致させ
て形成したサンプルと、溝の内壁面や分離面をシリコン
単結晶基板の劈開面と一致しない面としたサンプルとを
複数ずつ形成し、これらの各サンプルの衝撃試験を行な
った。
は、シリコン単結晶等の基板が一般的であり、周知の如
く、この種の単結晶基板には劈開面が形成される。そこ
で、本発明者は、この劈開面と溝や分離面などの比較的
衝撃強度の弱い構成要素との位置関係に着目し、溝の内
壁面や分離面をシリコン単結晶基板の劈開面と一致させ
て形成したサンプルと、溝の内壁面や分離面をシリコン
単結晶基板の劈開面と一致しない面としたサンプルとを
複数ずつ形成し、これらの各サンプルの衝撃試験を行な
った。
【００１２】なお、この衝撃試験は、光導波回路装置を
パッケージ内に収容した状態で行なった。
パッケージ内に収容した状態で行なった。
【００１３】その結果、上記溝の内壁面や分離面を基板
の劈開面と一致させて形成した場合は、導波路形成領域
にひび（クラック）等が生じることがあるが、溝の内壁
面や分離面を基板の劈開面と一致しない面とした場合に
は、溝等の衝撃強度が弱い構成部分を有していても、落
下時等に基板や導波路形成領域にひび等が生じないこと
を確認できた。
の劈開面と一致させて形成した場合は、導波路形成領域
にひび（クラック）等が生じることがあるが、溝の内壁
面や分離面を基板の劈開面と一致しない面とした場合に
は、溝等の衝撃強度が弱い構成部分を有していても、落
下時等に基板や導波路形成領域にひび等が生じないこと
を確認できた。
【００１４】本発明は、上記検討結果に基づき、導波路
形成領域の少なくとも１本のコアを横切る溝の内壁面や
コア回路を横切る分離面を、基板の劈開面と一致しない
面と成したものであるから、落下等の衝撃強度の強い光
導波回路装置とすることが可能となる。
形成領域の少なくとも１本のコアを横切る溝の内壁面や
コア回路を横切る分離面を、基板の劈開面と一致しない
面と成したものであるから、落下等の衝撃強度の強い光
導波回路装置とすることが可能となる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明におい
て、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重
複説明は省略する。図１には、本発明に係る光導波回路
装置の一実施形態例の要部構成が平面図により示されて
いる。
に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明におい
て、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重
複説明は省略する。図１には、本発明に係る光導波回路
装置の一実施形態例の要部構成が平面図により示されて
いる。
【００１６】同図に示すように、本実施形態例の光導波
回路装置は、シリコン単結晶の基板１上に、同図に示す
導波路構成のコア回路を備えた導波路形成領域１０を有
するアレイ導波路回折格子型光合分波器である。
回路装置は、シリコン単結晶の基板１上に、同図に示す
導波路構成のコア回路を備えた導波路形成領域１０を有
するアレイ導波路回折格子型光合分波器である。
【００１７】前記導波路構成は、１本以上の並設された
光入力導波路２の出射側に、第１のスラブ導波路３が接
続され、第１のスラブ導波路３の出射側にはアレイ導波
路４が接続され、アレイ導波路４の出射側には第２のス
ラブ導波路５が接続され、第２のスラブ導波路５の出射
側には複数の並設された光出力導波路６が接続されて形
成されている。
光入力導波路２の出射側に、第１のスラブ導波路３が接
続され、第１のスラブ導波路３の出射側にはアレイ導波
路４が接続され、アレイ導波路４の出射側には第２のス
ラブ導波路５が接続され、第２のスラブ導波路５の出射
側には複数の並設された光出力導波路６が接続されて形
成されている。
【００１８】前記アレイ導波路４は、第１のスラブ導波
路３から導出された光を伝搬するものであり、アレイ導
波路４内の隣り合うチャンネル導波路４ａの長さは互い
に設定量異なるように形成され、例えば隣り合うチャン
ネル導波路４ａの長さは互いにΔＬ異なっている。な
お、光出力導波路６は、例えばアレイ導波路型回折格子
によって分波あるいは合波される互いに異なる波長の信
号光の数に対応させて設けられるものであり、アレイ導
波路４は、通常、例えば１００本といったように多数設
けられるが、同図においては、図の簡略化のために、こ
れらのチャンネル導波路４ａ、光出力導波路６および光
入力導波路２の各々の本数を簡略的に示してある。
路３から導出された光を伝搬するものであり、アレイ導
波路４内の隣り合うチャンネル導波路４ａの長さは互い
に設定量異なるように形成され、例えば隣り合うチャン
ネル導波路４ａの長さは互いにΔＬ異なっている。な
お、光出力導波路６は、例えばアレイ導波路型回折格子
によって分波あるいは合波される互いに異なる波長の信
号光の数に対応させて設けられるものであり、アレイ導
波路４は、通常、例えば１００本といったように多数設
けられるが、同図においては、図の簡略化のために、こ
れらのチャンネル導波路４ａ、光出力導波路６および光
入力導波路２の各々の本数を簡略的に示してある。
【００１９】また、本実施形態例の光導波回路装置は、
上記構成のアレイ導波路回折格子型光合分波器におい
て、前記第１のスラブ導波路３が第１のスラブ導波路３
を通る光の経路と交わる交差面の分離面（交差分離面）
８で分離されて分離スラブ導波路３ａ，３ｂと成してい
る。
上記構成のアレイ導波路回折格子型光合分波器におい
て、前記第１のスラブ導波路３が第１のスラブ導波路３
を通る光の経路と交わる交差面の分離面（交差分離面）
８で分離されて分離スラブ導波路３ａ，３ｂと成してい
る。
【００２０】交差分離面８は導波路形成領域１０の一端
側（図の上端側）から導波路形成領域の途中部にかけて
設けられており、この交差分離面８に連通させて、第１
のスラブ導波路３と交差しない非交差分離面１８が形成
されている。本実施形態例において、非交差分離面１８
は交差分離面８と直交して設けられているが、非交差分
離面１８は交差分離面８と直交しなくてもよく、同図は
直交している態様を記載している。
側（図の上端側）から導波路形成領域の途中部にかけて
設けられており、この交差分離面８に連通させて、第１
のスラブ導波路３と交差しない非交差分離面１８が形成
されている。本実施形態例において、非交差分離面１８
は交差分離面８と直交して設けられているが、非交差分
離面１８は交差分離面８と直交しなくてもよく、同図は
直交している態様を記載している。
【００２１】本実施形態例では、交差分離面８と非交差
分離面１８とによって、導波路形成領域１０を、一方側
の分離スラブ導波路３ａを含む第１の導波路形成領域１
０ａと、他方側の分離スラブ導波路３ｂを含む第２の導
波路形成領域１０ｂとに分離している。
分離面１８とによって、導波路形成領域１０を、一方側
の分離スラブ導波路３ａを含む第１の導波路形成領域１
０ａと、他方側の分離スラブ導波路３ｂを含む第２の導
波路形成領域１０ｂとに分離している。
【００２２】なお、上記第１の導波路形成領域１０ａと
第２の導波路形成領域１０ｂは分離されたため間隔を介
して配置されており、例えば、同図に示すＣ部の間隔
（非交差分離面１８同士の間隔）は１００μｍ程度であ
り、同図に示すＢ部の間隔（交差分離面８同士の間隔）
は２５μｍ程度である。
第２の導波路形成領域１０ｂは分離されたため間隔を介
して配置されており、例えば、同図に示すＣ部の間隔
（非交差分離面１８同士の間隔）は１００μｍ程度であ
り、同図に示すＢ部の間隔（交差分離面８同士の間隔）
は２５μｍ程度である。
【００２３】また、本実施形態例では、アレイ導波路型
回折格子の温度に依存して、第１の導波路形成領域１０
ａを第２の導波路形成領域１０ｂに対して交差分離面８
に沿って移動させるスライド移動部材１７が設けられて
いる。スライド移動部材１７は、このスライド移動を、
アレイ導波路型回折格子の光透過中心波長温度依存性を
低減する方向に行なう構成と成している。
回折格子の温度に依存して、第１の導波路形成領域１０
ａを第２の導波路形成領域１０ｂに対して交差分離面８
に沿って移動させるスライド移動部材１７が設けられて
いる。スライド移動部材１７は、このスライド移動を、
アレイ導波路型回折格子の光透過中心波長温度依存性を
低減する方向に行なう構成と成している。
【００２４】また、スライド移動部材１７は導波路形成
領域１０ａ，１０ｂの表面上に、導波路形成領域１０ａ
と導波路形成領域１０ｂに跨る態様で設けられており、
この態様により、前記導波路形成領域１０ａのスライド
移動時に、導波路形成領域１０ａが前記ベース９に対し
て上方側（ＸＹ平面に垂直なＺ軸方向）に変位すること
を抑制している。
領域１０ａ，１０ｂの表面上に、導波路形成領域１０ａ
と導波路形成領域１０ｂに跨る態様で設けられており、
この態様により、前記導波路形成領域１０ａのスライド
移動時に、導波路形成領域１０ａが前記ベース９に対し
て上方側（ＸＹ平面に垂直なＺ軸方向）に変位すること
を抑制している。
【００２５】上記スライド移動部材１７は、基板１より
も熱膨張率が大きい金属である銅板により形成されてい
る。銅の熱膨張係数は１．６５×１０−５（１／Ｋ）で
ある。スライド移動部材１７の下側には半田（図示せ
ず）が設けられ、この半田の下側には金属膜（図示せ
ず）が設けられており、金属膜と半田とを介して、導波
路形成領域１０ａ，１０ｂの固定用部位にスライド移動
部材１７が固定されている。
も熱膨張率が大きい金属である銅板により形成されてい
る。銅の熱膨張係数は１．６５×１０−５（１／Ｋ）で
ある。スライド移動部材１７の下側には半田（図示せ
ず）が設けられ、この半田の下側には金属膜（図示せ
ず）が設けられており、金属膜と半田とを介して、導波
路形成領域１０ａ，１０ｂの固定用部位にスライド移動
部材１７が固定されている。
【００２６】本実施形態例は、上記のように、アレイ導
波路回折格子型光合分波器の第１のスラブ導波路３を分
離スラブ導波路３ａ，３ｂに分離し、スライド移動部材
１７によって、分離スラブ導波路３ａを前記交差分離面
（分離面）８に沿って温度に依存してスライド移動させ
ることによりアレイ導波路回折格子型光合分波器の光透
過中心波長をシフトさせる構成としたものである。
波路回折格子型光合分波器の第１のスラブ導波路３を分
離スラブ導波路３ａ，３ｂに分離し、スライド移動部材
１７によって、分離スラブ導波路３ａを前記交差分離面
（分離面）８に沿って温度に依存してスライド移動させ
ることによりアレイ導波路回折格子型光合分波器の光透
過中心波長をシフトさせる構成としたものである。
【００２７】本実施形態例の特徴的な構成は、前記交差
分離面８を前記基板１の劈開面４３と一致しない面と成
していることであり、さらに、本実施形態例では、交差
分離面８に連通する非交差分離面１８も基板１の劈開面
４３と一致しない面と成している。
分離面８を前記基板１の劈開面４３と一致しない面と成
していることであり、さらに、本実施形態例では、交差
分離面８に連通する非交差分離面１８も基板１の劈開面
４３と一致しない面と成している。
【００２８】このように、交差分離面８及び非交差分離
面１８を基板１の劈開面４３と一致しない面とするため
に、本実施形態例は、図２の（ｃ）に示すように、交差
分離面８と基板１のオリエンテーションフラットＡとの
角度θが２０°となるように、交差分離面８を斜めに形
成した。なお、同図の（ｂ）に示すように、交差分離面
８を基板１のオリエンテーションフラットＡと垂直に形
成すると、交差分離面８が基板１の劈開面４３と一致す
る面となる。
面１８を基板１の劈開面４３と一致しない面とするため
に、本実施形態例は、図２の（ｃ）に示すように、交差
分離面８と基板１のオリエンテーションフラットＡとの
角度θが２０°となるように、交差分離面８を斜めに形
成した。なお、同図の（ｂ）に示すように、交差分離面
８を基板１のオリエンテーションフラットＡと垂直に形
成すると、交差分離面８が基板１の劈開面４３と一致す
る面となる。
【００２９】本実施形態例は以上のように構成されてお
り、この光導波回路装置の落下衝撃強度を求めるため
に、まず、以下のようにして光導波回路装置を光モジュ
ール化した。すなわち、上記構成の光導波回路装置を複
数形成し、各光導波回路装置について、図３の（ａ）に
示すように、光導波回路装置の光入力導波路２の入射端
に、光ファイバアレイ２１の光ファイバ２３を光接続
し、各光出力導波路６の出射端に光ファイバアレイ２２
に固定された光ファイバテープ心線２４の光ファイバを
光接続した。
り、この光導波回路装置の落下衝撃強度を求めるため
に、まず、以下のようにして光導波回路装置を光モジュ
ール化した。すなわち、上記構成の光導波回路装置を複
数形成し、各光導波回路装置について、図３の（ａ）に
示すように、光導波回路装置の光入力導波路２の入射端
に、光ファイバアレイ２１の光ファイバ２３を光接続
し、各光出力導波路６の出射端に光ファイバアレイ２２
に固定された光ファイバテープ心線２４の光ファイバを
光接続した。
【００３０】次に、同図の（ｂ）に示すように、光導波
回路装置の四隅に、導波路形成領域１０の表面側と基板
１の裏面側から光導波回路装置を挟むバイトンゴム４５
を設け、図４の（ａ）に示すようにパッケージ４６内に
収容した。この状態で、パッケージ４６内にマッチング
オイルを注入し、Ｏリング嵌合溝４８にＯリングを装着
し、さらに、同図の（ｂ）に示すように蓋４７を締め、
ねじ穴５１にねじを螺合し、蓋４７をねじ止め固定して
密封し、光モジュールとした。
回路装置の四隅に、導波路形成領域１０の表面側と基板
１の裏面側から光導波回路装置を挟むバイトンゴム４５
を設け、図４の（ａ）に示すようにパッケージ４６内に
収容した。この状態で、パッケージ４６内にマッチング
オイルを注入し、Ｏリング嵌合溝４８にＯリングを装着
し、さらに、同図の（ｂ）に示すように蓋４７を締め、
ねじ穴５１にねじを螺合し、蓋４７をねじ止め固定して
密封し、光モジュールとした。
【００３１】そして、衝撃試験器（ＡＶＣＯ衝撃試験装
置 ＡＶＥＸ ＣＯＲＰ.．ＵＳＡ、ＭＯＤＥＬ ＳＭ
−１０５−ＭＰ）を用い、一般的な取り扱い時の衝撃を
想定して１００Ｇ（１Ｇ＝９．８ｍ／ｓ２）の衝撃加速
度で衝撃を加え、上記光モジュールの衝撃試験を行なっ
た。
置 ＡＶＥＸ ＣＯＲＰ.．ＵＳＡ、ＭＯＤＥＬ ＳＭ
−１０５−ＭＰ）を用い、一般的な取り扱い時の衝撃を
想定して１００Ｇ（１Ｇ＝９．８ｍ／ｓ２）の衝撃加速
度で衝撃を加え、上記光モジュールの衝撃試験を行なっ
た。
【００３２】その結果、衝撃試験を行なった光モジュー
ルは、光導波回路装置にひび等が生じることは無かっ
た。
ルは、光導波回路装置にひび等が生じることは無かっ
た。
【００３３】本実施形態例によれば、以上のように、光
導波回路装置に形成した交差分離面８および非交差分離
面１８を、基板１の劈開面４３と一致しない面とするこ
とにより、落下等の衝撃強度の強い光導波回路装置とす
ることができる。
導波回路装置に形成した交差分離面８および非交差分離
面１８を、基板１の劈開面４３と一致しない面とするこ
とにより、落下等の衝撃強度の強い光導波回路装置とす
ることができる。
【００３４】なお、本発明は上記実施形態例に限定され
ることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば上
記実施形態例では、交差分離面８と劈開面４３との角度
θを２０°としたが、この角度は特に限定されるもので
はなく適宜設定されるものである。
ることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば上
記実施形態例では、交差分離面８と劈開面４３との角度
θを２０°としたが、この角度は特に限定されるもので
はなく適宜設定されるものである。
【００３５】また、上記実施形態例は、光導波回路装置
としてアレイ導波路回折格子型光合分波器の第１のスラ
ブ導波路３を横切る交差分離面８を有する構成を適用し
たが、アレイ導波路回折格子型光合分波器は光の相反性
を利用して形成されているものであり、第２のスラブ導
波路５側を分離する分離面を有するアレイ導波路回折格
子型光合分波器としてもよい。
としてアレイ導波路回折格子型光合分波器の第１のスラ
ブ導波路３を横切る交差分離面８を有する構成を適用し
たが、アレイ導波路回折格子型光合分波器は光の相反性
を利用して形成されているものであり、第２のスラブ導
波路５側を分離する分離面を有するアレイ導波路回折格
子型光合分波器としてもよい。
【００３６】この場合も、上記実施形態例と同様の機能
を有するスライド移動部材１７を設けることにより同様
の動作が行なわれ、かつ、分離面を基板１の劈開面４３
と一致しない面と成すことにより、衝撃強度の強い光導
波回路装置とすることができる。
を有するスライド移動部材１７を設けることにより同様
の動作が行なわれ、かつ、分離面を基板１の劈開面４３
と一致しない面と成すことにより、衝撃強度の強い光導
波回路装置とすることができる。
【００３７】さらに、アレイ導波路回折格子型光合分波
器に分離面を形成せず、例えば図５に示すように、アレ
イ導波路４を横切る形態で溝２０を形成したアレイ導波
路回折格子型光合分波器に本発明を適用することもでき
る。なお、同図では、溝２０に半波長板３６を設けてい
る。この構成においても、溝２０の内壁面を基板１の劈
開面４３と一致しない面と成すことにより、上記実施形
態例と同様に、衝撃強度の強い光導波回路装置とするこ
とができる。なお、図５の構成に、上記実施形態例と同
様の分離面を形成してもよい。
器に分離面を形成せず、例えば図５に示すように、アレ
イ導波路４を横切る形態で溝２０を形成したアレイ導波
路回折格子型光合分波器に本発明を適用することもでき
る。なお、同図では、溝２０に半波長板３６を設けてい
る。この構成においても、溝２０の内壁面を基板１の劈
開面４３と一致しない面と成すことにより、上記実施形
態例と同様に、衝撃強度の強い光導波回路装置とするこ
とができる。なお、図５の構成に、上記実施形態例と同
様の分離面を形成してもよい。
【００３８】さらに、本発明の光導波回路装置は、必ず
しもアレイ導波路回折格子型光合分波器とするとは限ら
ず、コア回路とクラッドとを有する導波路形成領域１０
を基板１上に形成してなる様々な光導波回路装置におい
て、少なくとも１本のコア回路を横切る溝が形成されて
いる光導波回路装置に本発明を適用することができ、前
記溝の内壁面を前記基板の劈開面と一致しない面と成す
ことにより、上記実施形態例と同様に、衝撃強度の強い
光導波回路装置とすることができる。
しもアレイ導波路回折格子型光合分波器とするとは限ら
ず、コア回路とクラッドとを有する導波路形成領域１０
を基板１上に形成してなる様々な光導波回路装置におい
て、少なくとも１本のコア回路を横切る溝が形成されて
いる光導波回路装置に本発明を適用することができ、前
記溝の内壁面を前記基板の劈開面と一致しない面と成す
ことにより、上記実施形態例と同様に、衝撃強度の強い
光導波回路装置とすることができる。
【００３９】
【発明の効果】本発明によれば、本発明者の検討結果に
基づき、導波路形成領域の少なくとも１本のコアを横切
る溝の内壁面や分離面を、基板の劈開面と一致しない面
と成したものであるから、落下等の衝撃強度の強い光導
波回路装置とすることができる。
基づき、導波路形成領域の少なくとも１本のコアを横切
る溝の内壁面や分離面を、基板の劈開面と一致しない面
と成したものであるから、落下等の衝撃強度の強い光導
波回路装置とすることができる。
【００４０】そして、上記溝や分離面を設けて様々な機
能を有する光導波回路装置を構成することにより、例え
ば用途に応じた様々な機能を付加することができ、さら
に、上記のように衝撃強度の強い優れた光導波回路とす
ることができる。
能を有する光導波回路装置を構成することにより、例え
ば用途に応じた様々な機能を付加することができ、さら
に、上記のように衝撃強度の強い優れた光導波回路とす
ることができる。
【図１】本発明に係る光導波回路装置の一実施形態例を
示す要部構成図である。
示す要部構成図である。
【図２】シリコン基板の劈開面の説明図（ａ）と、シリ
コン基板を用いて形成されるアレイ導波路回折格子型光
合分波器の設計例（ｂ）、（ｃ）の説明図である。
コン基板を用いて形成されるアレイ導波路回折格子型光
合分波器の設計例（ｂ）、（ｃ）の説明図である。
【図３】上記実施形態例を用いた光モジュール作製工程
例の説明図である。
例の説明図である。
【図４】上記実施形態例を用いた光モジュールの作製工
程例を図３に続いて示す説明図である。
程例を図３に続いて示す説明図である。
【図５】本発明に係る光導波回路装置の他の実施形態例
を示す説明図である。
を示す説明図である。
１ 基板 ２ 光入力導波路 ３ 第１のスラブ導波路 ３ａ，３ｂ 分離スラブ導波路 ４ アレイ導波路 ５ 第２のスラブ導波路 ６ 光出力導波路 ８ 交差分離面 １０，１０ａ，１０ｂ 導波路形成部 １７ スライド移動部材 １８ 非交差分離面 ２０ 溝 ４３ 劈開面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 奈良 一孝 東京都千代田区丸の内２丁目６番１号 古 河電気工業株式会社内 (72)発明者 斎藤 恒聡 東京都千代田区丸の内２丁目６番１号 古 河電気工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2H047 KA03 KA15 LA18 TA00
Claims (3)
- 【請求項１】 コア回路とクラッドとを有する導波路形
成領域を基板上に形成してなる光導波回路装置におい
て、少なくとも１本のコア回路を横切る溝が形成されて
おり、該溝の内壁面は前記基板の劈開面と一致しない面
と成していることを特徴とする光導波路回路装置。 - 【請求項２】 １本以上の並設された光入力導波路の出
射側に第１のスラブ導波路が接続され、該第１のスラブ
導波路の出射側には該第１のスラブ導波路から導出され
た光を伝搬する互いの長さが設定量異なる複数のチャン
ネル導波路が並設されて成るアレイ導波路が接続され、
該アレイ導波路の出射側には第２のスラブ導波路が接続
され、該第２のスラブ導波路の出射側には複数の並設さ
れた光出力導波路が接続されたコア回路を備えたアレイ
導波路回折格子型光合分波器が光導波回路装置であり、
コア回路を横切る溝は少なくとも前記アレイ導波路を横
切る態様で形成されており、前記溝の内壁面は前記基板
の劈開面と一致しない面と成していることを特徴とする
請求項１記載の光導波路回路装置。 - 【請求項３】 １本以上の並設された光入力導波路の出
射側に第１のスラブ導波路が接続され、該第１のスラブ
導波路の出射側には該第１のスラブ導波路から導出され
た光を伝搬する互いの長さが設定量異なる複数のチャン
ネル導波路が並設されて成るアレイ導波路が接続され、
該アレイ導波路の出射側には第２のスラブ導波路が接続
され、該第２のスラブ導波路の出射側には複数の並設さ
れた光出力導波路が接続された導波路構成を基板上に形
成したアレイ導波路回折格子型光合分波器の前記第１の
スラブ導波路と第２のスラブ導波路の少なくとも一方が
スラブ導波路を通る光の経路と交わる交差面で分離され
て分離スラブ導波路と成し、この分離された分離スラブ
導波路の少なくとも一方側を前記分離面に沿って温度に
依存してスライド移動させることによりアレイ導波路回
折格子型光合分波器の光透過中心波長をシフトさせるス
ライド移動部材が設けられており、前記分離面は前記基
板の劈開面と一致しない面と成していることを特徴とす
る光導波路回路装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000285380A JP2002090566A (ja) | 2000-09-20 | 2000-09-20 | 光導波回路装置 |
| US09/955,120 US6829418B2 (en) | 2000-09-20 | 2001-09-19 | Optical waveguide circuit device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000285380A JP2002090566A (ja) | 2000-09-20 | 2000-09-20 | 光導波回路装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002090566A true JP2002090566A (ja) | 2002-03-27 |
Family
ID=18769462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000285380A Pending JP2002090566A (ja) | 2000-09-20 | 2000-09-20 | 光導波回路装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6829418B2 (ja) |
| JP (1) | JP2002090566A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007272159A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Kyocera Corp | 光導波路コネクタ及びそれを用いた光接続構造、並びに光導波路コネクタの製造方法 |
| JP2010152177A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Furukawa Electric Co Ltd:The | アサーマルａｗｇモジュール |
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| JP5100175B2 (ja) * | 2007-03-28 | 2012-12-19 | 古河電気工業株式会社 | アレイ導波路格子型の合分波装置 |
| WO2010099251A2 (en) * | 2009-02-26 | 2010-09-02 | Aidi Corporation | Arrayed waveguide grating (awg) with different radii in the input and output slab regions |
| US20110085761A1 (en) * | 2009-05-26 | 2011-04-14 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Arrayed waveguide grating and method of manufacturing arrayed waveguide grating |
| US8496386B2 (en) * | 2009-12-30 | 2013-07-30 | Corning Cable Systems Llc | Ferrules having an anti-rotation feature and fiber optic connectors using the same |
| JP2012014039A (ja) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 波長合分波器およびその製造方法 |
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|---|---|---|---|---|
| JPS4941953A (ja) | 1973-05-07 | 1974-04-19 | ||
| JPS59152638A (ja) | 1983-02-21 | 1984-08-31 | Sanyo Electric Co Ltd | 化合物半導体の切断方法 |
| JPS62105446A (ja) | 1985-10-31 | 1987-05-15 | Sharp Corp | 半導体装置の製造方法 |
| JP2614365B2 (ja) | 1991-01-14 | 1997-05-28 | 日本電信電話株式会社 | 偏波無依存導波型光デバイス |
| JP3501235B2 (ja) * | 1993-05-07 | 2004-03-02 | 日本電信電話株式会社 | 導波型光デバイス |
| US5546483A (en) * | 1993-08-02 | 1996-08-13 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Integrated optical waveguide circuit and optical branch line test system using the same |
| JP3026477B2 (ja) | 1993-10-18 | 2000-03-27 | 日本電信電話株式会社 | 光導波路基板 |
| JPH08139339A (ja) | 1994-11-11 | 1996-05-31 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体部品およびその製造方法 |
| TW355752B (en) | 1996-09-27 | 1999-04-11 | Siemens Ag | Optical coupling-device to couple the light between two waveguide-end-face |
| FR2770307B1 (fr) * | 1997-10-27 | 1999-11-26 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif a reseau de phase ou phasar et procede de fabrication de celui-ci |
| US5905824A (en) | 1997-12-09 | 1999-05-18 | Delisle; Vincent | Temperature compensated insensitive optical multiplexor/demultiplexor |
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-
2000
- 2000-09-20 JP JP2000285380A patent/JP2002090566A/ja active Pending
-
2001
- 2001-09-19 US US09/955,120 patent/US6829418B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20020034361A1 (en) | 2002-03-21 |
| US6829418B2 (en) | 2004-12-07 |
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|---|---|---|---|
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