JP2002067311A - 液体噴射装置 - Google Patents

液体噴射装置

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JP2002067311A
JP2002067311A JP2000254366A JP2000254366A JP2002067311A JP 2002067311 A JP2002067311 A JP 2002067311A JP 2000254366 A JP2000254366 A JP 2000254366A JP 2000254366 A JP2000254366 A JP 2000254366A JP 2002067311 A JP2002067311 A JP 2002067311A
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plate
nozzle
chamber
ejecting apparatus
flow path
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JP2000254366A
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Takahiro Katakura
孝浩 片倉
Minoru Usui
稔 碓井
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14419—Manifold

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ノズルプレートを交換可能にして容易かつ完
全にノズル開口の目詰まりを回復できる液体噴射装置を
提供する。 【解決手段】 ノズル開口３が穿設されたノズルプレー
ト１７と、上記ノズル開口３に連通する圧力発生室２な
らびにインク貯留室４が形成されて上記ノズルプレート
１７上に存在する流路形成部２４と、上記流路形成部２
４に積層されて圧力発生室２の開口を封止する振動板１
１と、上記圧力発生室２に圧力を発生させる圧電振動子
６とを備え、上記ノズルプレート１７を吸引孔２３で吸
引することにより交換可能にしたため、ノズル開口３に
目詰まりが生じたときは、ノズルプレート１７を交換す
ればノズル開３口の目詰まりはほぼ完全に回復するた
め、目詰まりの回復に要するコストや時間が大幅に低減
されるうえ、各種産業用途等においてノズル開口３に目
詰まりを起こしやすい液体の噴射にも適用が容易にな
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電振動子の振動
等によりノズル開口から液体を吐出させる液体噴射装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】圧電振動子を用いた液体噴射装置（以下
の説明では、インクジェット式記録ヘッドに適用した例
を示し、「記録ヘッド」という）は、一般に、図５に示
すように、上面に圧電振動子６が貼着され、上記圧電振
動子６に対応する圧力発生室２が形成されたアクチュエ
ータユニット１と、ノズル開口３およびインク貯留室４
が形成され上記アクチュエータユニット１の下面に貼着
された流路ユニット５とを備え、上記圧電振動子６の振
動により圧力発生室２に圧力を発生させ、ノズル開口３
からインク滴を吐出させるようになっている。
【０００３】上記アクチュエータユニット１は、圧力発
生室２を形成する空間が形成された圧力発生室形成板１
０と、この圧力発生室形成板１０の上面に位置して上記
空間の上面開口を塞ぐ振動板１１と、上記圧力発生室形
成板１０の下面に位置する連通穴形成板１４とを備えて
いる。この連通穴形成板１４には、インク貯留室４と圧
力発生室２を連通させる連通穴１２と、圧力発生室２と
ノズル開口３を連通させるノズル連通路８とが形成され
ている。
【０００４】上記アクチュエータユニット１には、その
振動板１１の上面に、共通の下部電極１９が形成されて
いる。そして、上記下部電極１９の上面に、平板状の圧
電振動子６が形成され、上記圧電振動子６の上面には、
個別の上部電極２０が形成されている。そして、上記下
部電極１９および上部電極２０を介して圧電振動子６に
駆動信号を入力するようになっている。
【０００５】一方、上記流路ユニット５は、インク貯留
室４を形成する空間が形成されたインク貯留室形成板１
６と、ノズル開口３が穿設され、上記インク貯留室形成
板１６の下面に位置するノズルプレート１７と、上記イ
ンク貯留室形成板１６の上面に位置する供給口形成板１
８とから構成されている。上記インク貯留室形成板１６
には、圧力発生室２とノズル開口３を連通させるノズル
連通路８が形成されている。また、上記供給口形成板１
８には、インク貯留室４から連通穴１２を介して圧力発
生室２にインクを供給するインク供給口９が穿設される
とともに、圧力発生室２とノズル開口３を連通させるノ
ズル連通路８が形成されている。
【０００６】また、上記供給口形成板１８には、そのイ
ンク貯留室４に対応する部分に、インク貯留室４内の圧
力変動を逃がすダンパ室７となる空間が形成されてい
る。そして、上記供給口形成板１８とインク貯留室形成
板１６との間には、上記ダンパ室７の開口を塞ぐダンパ
板１３が挟まれている。
【０００７】上記アクチュエータユニット１は、セラミ
ックスから形成された振動板１１，圧力発生室形成板１
０，連通穴形成板１４が積層され、一体的に焼成されて
形成されている。一方、上記流路ユニット５は、ステン
レス鋼から形成された供給口形成板１８，ダンパ板１
３，インク貯留室形成板１６，ノズルプレート１７が、
接着剤層１５を介して積層されている。そして、アクチ
ュエータユニット１と流路ユニット５とは、接着剤層１
５を介して接合されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記記録ヘッドでは、
ノズルプレート１７に穿設されているノズル開口３は極
めて径が小さいため、ノズル開口３近傍のインクの乾燥
等によりノズル開口３に目詰まりが生じやすい。しかし
ながら、上記記録ヘッドでは、ノズルプレート１７が接
着剤で接合されており、交換することができないため、
ノズル開口３から強制的にインクを吸引するクリーニン
グ動作等によっても回復できない程度の目詰まりが生じ
ると、記録ヘッド自体を交換するしかなく、交換修理等
にコストと時間を要していた。一方、近年では、インク
ジェット式記録ヘッド以外の各種産業用途等において、
インクに比べてノズル開口に目詰まりを起こしやすい液
体の噴射に対する要求も高くなっており、上記従来の記
録ヘッドではそれらの要求に対応できていなかったのが
実情である。
【０００９】本発明は、このような事情に鑑みなされた
もので、ノズルプレートを交換可能にして容易かつ完全
にノズル開口の目詰まりを回復できる液体噴射装置の提
供を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の液体噴射装置は、ノズル開口が穿設された
ノズルプレートと、上記ノズル開口に連通する圧力発生
室ならびに上記圧力発生室に供給する液体を貯留する液
体貯留室が形成されて上記ノズルプレート上に存在する
流路形成部と、上記流路形成部に積層されて圧力発生室
の開口を封止する封止板と、上記圧力発生室に圧力を発
生させる圧力発生素子とを備え、上記ノズルプレートが
交換可能になるよう構成されていることを要旨とする。
【００１１】すなわち、本発明の液体噴射装置は、ノズ
ルプレートが交換可能になるよう構成されているため、
ノズル開口に目詰まりが生じたときは、ノズルプレート
を交換すればノズル開口の目詰まりはほぼ完全に回復す
る。したがって、目詰まりの回復に要するコストや時間
が大幅に低減されるうえ、各種産業用途等においてノズ
ル開口に目詰まりを起こしやすい液体の噴射にも適用が
容易になる。
【００１２】本発明の液体噴射装置において、上記ノズ
ルプレートを吸引により流路形成部に密着させている場
合には、例えば、噴射する液体として油や薬品等を使用
したとしても、ノズルプレートの密着性を確保でき、各
種産業用途において各種の液体の噴射に利用できる。
【００１３】本発明の液体噴射装置において、ノズルプ
レートを吸引する箇所が、少なくともノズル開口の近傍
に設けられている場合には、ノズル開口の近傍が吸引さ
れてノズルプレートが流路形成部に密着することから、
ノズル開口周辺でノズルプレートの浮き上がりが生じに
くく、噴射特性がより安定化する。
【００１４】本発明の液体噴射装置において、ノズルプ
レートを吸引する吸引孔が流路形成部に形成されている
場合には、構造的な無駄が少なくシンプルになる。
【００１５】本発明の液体噴射装置において、流路形成
部を収容するケース部材を備え、ノズルプレートを吸引
する吸引孔が上記ケース部材に形成されている場合に
は、吸引孔の開口とノズルプレートとの接触面の精度が
比較的向上し、吸引力のロスが少なくなる。
【００１６】本発明の液体噴射装置において、ノズルプ
レートに、流路形成部とノズルプレートとを位置決めす
る位置決め部が設けられている場合には、ノズル開口の
位置決めが容易に行なえ、交換作業が極めて容易にな
る。
【００１７】本発明の液体噴射装置において、流路形成
部と封止板の少なくともいずれかがセラミックスから形
成されたものである場合には、液体と接触する流路のほ
とんどがセラミックスから形成されることになるため、
流路の耐液体性が向上する。したがって、使用する液体
の種類に制限を受けず、例えば、ステンレス鋼に対して
エッチング作用のある液体や、接着剤を溶出させるよう
な特性の液体でも使用が可能になる。
【００１８】本発明の液体噴射装置において、流路形成
部が、圧力発生室が形成された圧力発生室形成板と、上
記圧力発生室とノズル開口を連通させるノズル連通路な
らびに液体貯留室が形成された液体貯留室形成板と、上
記液体貯留室から圧力発生室に液体を供給する供給口な
らびにノズル開口と圧力発生室を連通させるノズル連通
路が形成された供給口形成板を含む場合には、積層構造
であるためプレート部材を積層することにより、液体噴
射装置を容易に形成することができる。
【００１９】本発明の液体噴射装置において、流路形成
部が、ダンパ室が形成されたダンパ室形成板と、上記ダ
ンパ室と液体貯留室との間に挟まれるダンパ板とを含む
場合には、ダンパ室を有する液体噴射装置において、ノ
ズルプレートを交換可能にして容易にノズル開口の目詰
まりを回復できる。
【００２０】本発明の液体噴射装置において、上記流路
形成部が、液体貯留室のノズルプレート側の開口を塞ぐ
プレート部材を含む場合には、ノズルプレートを外した
状態で液体貯留室の開口が塞がれるため、ノズルプレー
ト交換時の液体の流出が少なくてすみ、周囲の汚染や液
体の無駄を軽減する。
【００２１】本発明の液体噴射装置において、上記プレ
ート部材がダンパ板である場合には、構造的な無駄が少
なくなる。
【００２２】本発明の液体噴射装置において、封止板が
振動板であり、上記圧力発生素子が圧電振動子である場
合には、圧力発生素子として圧電振動子を用いた液体噴
射装置において、ノズルプレートを交換可能にして容易
にノズル開口の目詰まりを回復できる。
【００２３】本発明の液体噴射装置において、上記圧力
発生素子が流路内の液体を加熱する加熱素子である場合
には、圧力発生素子として加熱素子を用いた液体噴射装
置において、ノズルプレートを交換可能にして容易にノ
ズル開口の目詰まりを回復できる。
【００２４】
【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施の形態を詳
しく説明する。
【００２５】図１および図２は、本発明の液体噴射装置
を示す図である。この実施の形態では、本発明の液体噴
射装置をインクジェット式記録ヘッドに適用した例を示
している。この記録ヘッドは、ノズル開口３が穿設され
たノズルプレート１７と、上記ノズル開口３から吐出さ
れるインクの流路が形成されて上記ノズルプレート１７
の上に積層された流路形成部２４と、上記流路形成部２
４の上に積層された振動板（封止板）１１とを備えてい
る。
【００２６】上記流路形成部２４は、上記ノズル開口３
に連通する圧力発生室２が形成された圧力発生室形成板
１０と、上記圧力発生室２に供給するインクが貯留され
るインク貯留室４が形成されたインク貯留室形成板１６
と、上記インク貯留室４内の圧力変動を吸収するダンパ
室７が形成されたダンパ室形成板２１とを備えている。
【００２７】また、上記流路形成部２４は、圧力発生室
２の下部開口を塞ぐとともに、インク貯留室４に貯留さ
れたインクを圧力発生室２に供給するインク供給口９が
穿設された供給口形成板１８を備えている。
【００２８】さらに、上記流路形成部２４は、上記ダン
パ室形成板２１とインク貯留室形成板１６との間に積層
され、ダンパ室７とインク貯留室４との間に挟まれてダ
ンパ室７の上部開口を塞ぎ、インク貯留室４内の圧力変
動によって弾性変形することにより上記圧力変動をダン
パ室７に逃がすダンパ板１３を備えている。
【００２９】そして、上記流路形成部２４は、ノズルプ
レート１７側から、ダンパ室形成板２１，ダンパ板１
３，インク貯留室形成板１６，供給口形成板１８，圧力
発生室形成板１０の順に積層されて構成されている。こ
こで、上記ダンパ室形成板２１，ダンパ板１３，インク
貯留室形成板１６，供給口形成板１８には、それぞれ、
ノズル開口３と圧力発生室２とを連通させるノズル連通
路８が穿設されている。
【００３０】一方、上記振動板１１の上面には、櫛歯状
の下部電極１９が形成されている。この下部電極１９の
各櫛歯部１９Ａは、それぞれ圧力発生室２の上部を覆う
部分に形成されている。また、上記下部電極１９の各櫛
歯部１９Ａ上面に、それぞれ平板状の圧電振動子６が形
成され、上記圧電振動子６の上面には、個別の上部電極
２０が形成されている。上記上部電極２０および下部電
極１９を介して各圧電振動子６に駆動信号を印加するよ
うになっている。
【００３１】そして、ノズルプレート１７上に流路形成
部２４が載置され、この流路形成部２４上に、圧電振動
子６および上部電極２０，下部電極１９が形成された振
動板１１が積層されている。図において、２２はインク
カートリッジ（図示せず）等からインク貯留室４にイン
クを補給するインク補給口である。
【００３２】上記記録ヘッドにおいて、圧電振動子６に
駆動信号が印加されると、圧電振動子６が横方向に収縮
する。このとき、圧電振動子６の振動板１１に固定され
た下面側は収縮せず、上面側だけが収縮するため、圧電
振動子６および振動板１１が下方にたわみ、圧力発生室
２を圧縮する。そして、圧力発生室２内の圧力上昇によ
り、圧力発生室２内のインクがノズル開口３からインク
滴として吐出され、記録紙等にドットが形成されて印刷
が行われる。ついで、圧電振動子６が放電されて元の状
態に戻ると、圧力発生室２内が減圧され、インク貯留室
４からインク供給口９を通して圧力発生室２へ新しいイ
ンクが供給される。
【００３３】ここで、上記記録ヘッドでは、流路形成部
２４（インク貯留室形成板１６，ダンパ板１３，ダンパ
室形成板２１，供給口形成板１８，圧力発生室形成板１
０）および振動板１１がセラミックスから一体的に形成
され、ノズルプレート１７だけが別体となって取り付け
取り外し自在で交換可能になっている。
【００３４】そして、振動板１１，圧力発生室形成板１
０，供給口形成板１８，インク貯留室形成板１６，ダン
パ板１３，ダンパ室形成板２１には、それぞれ同軸上
に、上下に貫通する吸引孔２３が穿設され、上記吸引孔
２３を真空ポンプ（図示せず）と接続して吸引すること
により、ノズルプレート１７を吸引して流路形成部２４
下面に密着させるようになっている。
【００３５】ノズルプレート１７のノズル開口３に目詰
まり等が生じた場合には、真空ポンプを停止して吸引孔
２３内の負圧を解除することにより、図３に示すよう
に、容易にノズルプレート１７を流路形成部２４から取
り外すことができる。このとき、インク貯留室４のノズ
ルプレート１７側がダンパ板１３で塞がれていることか
ら、ノズルプレート１７を外した状態でインク貯留室４
の開口が塞がれるため、ノズルプレート１７交換時のイ
ンクの流出が少なくてすみ、周囲の汚染やインクの無駄
が軽減される。
【００３６】そして、あらかじめ準備しておいた新しい
ノズルプレート１７を流路形成部２４の下面に当接さ
せ、真空ポンプを可動させることにより、吸引孔２３内
に負圧が発生してノズルプレート１７を吸引し、流路形
成部２４下面にノズルプレート１７が密着する。
【００３７】ここで、上記吸引孔２３は、少なくともノ
ズル開口３の近傍に設けることが好ましい。このように
することにより、ノズル開口３の近傍が吸引されてノズ
ルプレート１７が流路形成部２４に密着することから、
ノズル開口３周辺でノズルプレート１７の浮き上がりが
生じにくく、噴射特性がより安定化するからである。
【００３８】上記のような記録ヘッドは、例えば、つぎ
のようにしてつくられる。すなわち、まず、セラミック
スのグリーンシートを準備し、上記グリーンシートを打
ち抜いて、インク貯留室形成板１６，ダンパ板１３，ダ
ンパ室形成板２１，供給口形成板１８，圧力発生室形成
板１０，振動板１１にそれぞれ対応するプレートを形成
する。このとき、インク貯留室４，ダンパ室７，インク
供給口９，圧力発生室２，ノズル連通路８，吸引孔２３
にそれぞれ対応する空間を打ち抜き等で形成しておく。
【００３９】そして、上記インク貯留室形成板１６，ダ
ンパ板１３，ダンパ室形成板２１，供給口形成板１８，
圧力発生室形成板１０，振動板１１に対応するグリーン
シートを所定の順序で積層したのち焼成することによ
り、接着剤を介することなくセラミックスで一体的に形
成することができる。そののち、上述したように、ノズ
ルプレート１７を流路形成部２４の下面に当接させて真
空ポンプを可動させて吸引孔２３内を負圧にすることに
より、ノズルプレート１７を流路形成部２４に密着させ
る。
【００４０】なお、上記記録ヘッドを構成するセラミッ
クス材料としては、特に限定するものではなく、各種の
材料を用いることができる。例えば、炭化珪素，炭化チ
タン，炭化クロム，炭化ニオブ，炭化バナジウム，炭化
ジルコニウム，炭化モリブデン，炭化ボロン等の各種炭
化物、酸化ジルコニウム（ジルコニア），酸化アルミニ
ウム，酸化マグネシウム，酸化珪素，酸化チタン，酸化
ベリリウム等の各種酸化物、窒化アルミニウム，，窒化
珪素，窒化ベリリウム，窒化ボロン等の各種窒化物，ほ
う化ジルコニウム，ほう化クロム，ほう化チタン等の各
種ほう化物、サイアロン等のような複合化合物等をあげ
ることができる。これらは、単独でもしくは併せて用い
られる。これらのなかでも、ジルコニアは、機械的強度
や靭性に優れるうえ耐食性にも優れ、液体噴射装置を構
成する材料として好適である。
【００４１】上記記録ヘッドでは、ノズルプレート１７
が交換可能になっているため、ノズル開口３に目詰まり
が生じたときは、ノズルプレート１７を交換すればノズ
ル開口３の目詰まりはほぼ完全に回復する。したがっ
て、目詰まりの回復に要するコストや時間が大幅に低減
されるうえ、各種産業用途等においてノズル開口３に目
詰まりを起こしやすい液体の噴射にも適用が容易にな
る。
【００４２】また、流路形成部２４および振動板１１が
それぞれセラミックスから形成されているため、インク
と接触する流路のほとんどがセラミックスから形成され
ることとなり、流路の耐インク性が飛躍的に向上する。
したがって、使用するインクの種類に制限を受けず、例
えば、ステンレス鋼に対してエッチング作用のあるイン
クや、接着剤を溶出させるようなインクも使用でき、使
用するインクの特性に制限がほとんどなくなる。また、
流路の化学的安定性が向上して有機物の溶出等がなくな
るため、例えば、食品分野や医療分野等にも使用できる
ようになり、適用分野の制限もほとんどなくなる。
【００４３】さらに、上記記録ヘッドでは、流路形成部
２４に吸引孔２３を設けたため、構造的な無駄が少なく
シンプルである。また、上記記録ヘッドでは、上記流路
形成部２４と振動板１１の積層体が、接着層を介さずに
一体的に形成されているため、貼り合わせの作業が不要
になるうえ、熱収縮率や線膨張係数の相違による歪の発
生や剥離のおそれがない。さらに、積層構造であるた
め、セラミックスのグリーンシートからの製造に適して
いる。
【００４４】図４は、本発明の第２の実施の形態を示
す。この記録ヘッドでは、振動板１１が積層された流路
形成部２４を収容する樹脂製のケース部材２７を備えて
いる。そして、吸引孔２３は、流路形成部２４に形成さ
れるのではなく、上記ケース部材２７を上下に貫通する
ように形成されている。さらに、ノズルプレート１７
は、ケース部材２７に対応する大きさに形成されてい
る。そして、ケース部材２７のノズルプレート１７当接
面には、ノズルプレート１７を位置決めする位置決め突
部２５が形成され、ノズルプレート１７には、上記位置
決め突部２５が嵌合してノズルプレート１７を位置決め
する位置決め穴２６が穿設されている。それ以外は、上
記第１の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ
符号を付している。
【００４５】上記記録ヘッドでは、ケース部材２７の位
置決め突部２５にノズルプレート１７の位置決め穴２６
を嵌合させてノズルプレート１７の位置決めを行なうた
め、ノズルプレート１７交換の際の位置決め作業が極め
て容易に行なえる。また、セラミックス製の流路形成部
２４ではなく、樹脂製のケース部材２７に吸引孔２３を
形成したことから、吸引孔２３の開口とノズルプレート
１７との接触面の精度が向上し、吸引力のロスが少なく
なる。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様の作用
効果を奏する。
【００４６】なお、上記各実施の形態では、本発明を撓
み振動モードの圧電振動子が用いられた液体噴射装置に
適用した例を示したが、これに限定するものではなく、
縦振動モードの圧電振動子が用いられた液体噴射装置に
適用することもできるし、圧力発生素子として流路内の
インクを加熱する加熱素子が用いられた液体噴射装置に
適用することも可能である。
【００４７】また、上記各実施の形態では、本発明の液
体噴射装置を、インクジェット式記録ヘッドに適用した
例を示したが、これに限定するものではなく、例えば、
吐出する液体をガソリン等の燃料とし、内燃機関の燃料
噴射装置として用いることもできる。さらに、透明基板
上にマトリックス状に形成された透明電極の上に有機発
光層を形成する表示体の、有機発光層の形成等にも応用
することができる。このように、本発明の液体噴射装置
では、噴射する液体として各種の液体を適用することが
でき、各種の産業分野に応用することが可能である。
【００４８】
【発明の効果】以上のように、本発明の液体噴射装置に
よれば、ノズルプレートが交換可能になっているため、
ノズル開口に目詰まりが生じたときは、ノズルプレート
を交換すればノズル開口の目詰まりはほぼ完全に回復す
る。したがって、目詰まりの回復に要するコストや時間
が大幅に低減されるうえ、各種産業用途等においてノズ
ル開口に目詰まりを起こしやすい液体の噴射にも適用が
容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の液体噴射装置の基本構
造を示す分解斜視図である。
【図２】上記液体噴射装置の断面図である。
【図３】上記液体噴射装置の作用を説明する断面図であ
る。
【図４】本発明の第２の実施の形態の液体噴射装置を示
す断面図である。
【図５】従来例の液体噴射装置を示す断面図である。
【符号の説明】
２ 圧力発生室 ３ ノズル開口 ４ インク貯留室 １１ 振動板 １７ ノズルプレート ２３ 吸引孔 ２４ 流路形成部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2C057 AF61 AG06 AG12 AG33 AG44 AG75 AG99 AP02 AP22 AP26 AP77 AQ10 BA04 BA14 4F033 DA05

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ノズル開口が穿設されたノズルプレート
    と、上記ノズル開口に連通する圧力発生室ならびに上記
    圧力発生室に供給する液体を貯留する液体貯留室が形成
    されて上記ノズルプレート上に存在する流路形成部と、
    上記流路形成部に積層されて圧力発生室の開口を封止す
    る封止板と、上記圧力発生室に圧力を発生させる圧力発
    生素子とを備え、上記ノズルプレートが交換可能になる
    よう構成されていることを特徴とする液体噴射装置。
  2. 【請求項２】 上記ノズルプレートを吸引により流路形
    成部に密着させている請求項１記載の液体噴射装置。
  3. 【請求項３】 ノズルプレートを吸引する箇所が、少な
    くともノズル開口の近傍に設けられている請求項２記載
    の液体噴射装置。
  4. 【請求項４】 ノズルプレートを吸引する吸引孔が流路
    形成部に形成されている請求項１〜３のいずれか一項に
    記載の液体噴射装置。
  5. 【請求項５】 流路形成部を収容するケース部材を備
    え、ノズルプレートを吸引する吸引孔が上記ケース部材
    に形成されている請求項１〜３のいずれか一項に記載の
    液体噴射装置。
  6. 【請求項６】 ノズルプレートに、流路形成部とノズル
    プレートとを位置決めする位置決め部が設けられている
    請求項１〜５のいずれか一項に記載の液体噴射装置。
  7. 【請求項７】 流路形成部と封止板の少なくともいずれ
    かがセラミックスから形成されたものである請求項１〜
    ６のいずれか一項に記載の液体噴射装置。
  8. 【請求項８】 上記流路形成部が、圧力発生室が形成さ
    れた圧力発生室形成板と、上記圧力発生室とノズル開口
    を連通させるノズル連通路ならびに液体貯留室が形成さ
    れた液体貯留室形成板と、上記液体貯留室から圧力発生
    室に液体を供給する供給口ならびにノズル開口と圧力発
    生室を連通させるノズル連通路が形成された供給口形成
    板を含む請求項１〜７のいずれか一項に記載の液体噴射
    装置。
  9. 【請求項９】 流路形成部が、ダンパ室が形成されたダ
    ンパ室形成板と、上記ダンパ室と液体貯留室との間に挟
    まれるダンパ板とを含む請求項８記載の液体噴射装置。
  10. 【請求項１０】 上記流路形成部が、液体貯留室のノズ
    ルプレート側の開口を塞ぐプレート部材を含む請求項８
    または９記載の液体噴射装置。
  11. 【請求項１１】 上記プレート部材がダンパ板である請
    求項１０記載の液体噴射装置。
  12. 【請求項１２】 上記封止板が振動板であり、上記圧力
    発生素子が圧電振動子である請求項１〜１１のいずれか
    一項に記載の液体噴射装置。
  13. 【請求項１３】 上記圧力発生素子が流路内の液体を加
    熱する加熱素子である請求項１〜１１のいずれか一項に
    記載の液体噴射装置。
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