JP2011021610A - 液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ノズル開口3が穿設されたノズルプレート17と、上記ノズル開口3に連通する圧力発生室2ならびに上記圧力発生室2に連通する圧力発生室2以外の流路空間としてインク貯留室4が形成された流路形成板13と、上記流路形成板13に積層されて開口を封止する振動板11と、上記振動板11を振動させて圧力発生室2に圧力を発生させる撓み振動モードの圧電振動子6とを含むことにより、1枚の流路形成板13に、圧力発生室2とインク貯留室4とが形成されていることから、記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。
【選択図】図1
Description
また、本発明の液体噴射装置は、ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、上記ノズル開口に連通する圧力発生室ならびに上記圧力発生室に連通する圧力発生室以外の流路空間が形成された流路形成板と、上記流路形成板に積層されて開口を封止する振動板と、上記振動板を振動させて圧力発生室に圧力を発生させる撓み振動モードの圧電振動子とを含むことを要旨とする。
上記圧力発生室2,インク貯留室4,インク供給路7に対応する空間は、流路形成板13もしくは供給路形成板21を上下に貫通している。
Claims (11)
- ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、上記ノズル開口に連通する圧力発生室ならびに上記圧力発生室に連通する圧力発生室以外の流路空間が形成された流路形成板と、上記流路形成板に積層されて開口を封止する振動板と、圧力発生室に圧力を発生させる圧電振動子とを含み、上記振動板,流路形成板,ノズルプレートがセラミックスから形成されていることを特徴とする液体噴射装置。
- 上記圧力発生室以外の流路空間が、圧力発生室に供給される液体を貯留する液体貯留室である請求項1記載の液体噴射装置。
- 上記液体貯留室から圧力発生室に液体を供給する液体供給路およびノズル開口と圧力発生室を連通させる連通路が形成された液体供給路形成板を備えている請求項2記載の液体噴射装置。
- 上記液体供給路形成板と流路形成板との間に、液体供給路から圧力発生室に液体を供給する供給口ならびに液体供給路と液体貯留室とを連通させる連通穴が形成された供給口形成板が積層されている請求項3記載の液体噴射装置。
- 液体供給路形成板の、液体貯留室に対応する部分に、液体貯留室の一部を構成する空間が形成されている請求項3記載の液体噴射装置。
- 上記圧力発生室以外の流路空間が、圧力発生室に液体を供給する液体供給路である請求項1記載の液体噴射装置。
- 上記液体供給路を介して圧力発生室に供給する液体を貯留する液体貯留室が形成された液体貯留室形成板を備えている請求項6記載の液体噴射装置。
- 上記流路形成板の液体貯留室に対応する部分に、液体貯留室の一部を構成する空間が形成されている請求項7記載の液体噴射装置。
- 上記流路形成板,振動板,ノズルプレートの積層体が、接着層を介さずに一体的に形成されている請求項1記載の液体噴射装置。
- 上記流路形成板,振動板,ノズルプレートの積層体が、流路形成板,封止板,ノズルプレートにそれぞれ対応するセラミックス材料のグリーンシートが積層され焼成されて形成されている請求項9記載の液体噴射装置。
- 上記ノズルプレートにノズル開口が形成されておらず、上記流路形成板の圧力発生室に対応する空間の内周面に切欠き凹部が形成され、流路形成板,振動板,ノズルプレートにそれぞれ対応するセラミックス材料のグリーンシートが積層されたのち、上記切欠き凹部を外部と連通させてノズル開口を形成する請求項10記載の液体噴射装置。
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CN112543844A (zh) * | 2018-05-18 | 2021-03-23 | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 | 制造具有机械预载隔膜致动器的微型泵的方法和保持装置 |
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JP2000121400A (ja) * | 1998-10-14 | 2000-04-28 | Seiko Epson Corp | マスフローコントローラ、流量制御方法、液相材料気化供給装置および薄膜形成装置 |
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