JP2014193583A - 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及び液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及び液体吐出ヘッドの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014193583A JP2014193583A JP2013071280A JP2013071280A JP2014193583A JP 2014193583 A JP2014193583 A JP 2014193583A JP 2013071280 A JP2013071280 A JP 2013071280A JP 2013071280 A JP2013071280 A JP 2013071280A JP 2014193583 A JP2014193583 A JP 2014193583A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure chamber
- flow path
- plate
- liquid
- liquid discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/1618—Fixing the piezoelectric elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14362—Assembling elements of heads
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Abstract
【課題】圧力素子と他の部材とを良好に接合させることが可能な液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及び液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧力室11で液体流路4の圧力を変化させることでノズル孔から液体を噴射する液体吐出ヘッドであって、圧力室11が形成されたセラミックス製の流路部材と、少なくともセラミックス製の第1圧電体層を備える圧電素子5と、を有し、圧電素子5の第1圧電体層は、流路部材と接合されており、第1圧電体層が圧力室11に面している。
【選択図】図1
【解決手段】圧力室11で液体流路4の圧力を変化させることでノズル孔から液体を噴射する液体吐出ヘッドであって、圧力室11が形成されたセラミックス製の流路部材と、少なくともセラミックス製の第1圧電体層を備える圧電素子5と、を有し、圧電素子5の第1圧電体層は、流路部材と接合されており、第1圧電体層が圧力室11に面している。
【選択図】図1
Description
本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
ノズルプレートと複数枚の金属のプレートとが積層された流路ユニットと、当該流路ユニットに重ねて接着される圧電式の圧電素子と、を備える液体吐出ヘッドが知られている。この液体吐出ヘッドでは、圧電素子が変位することで、圧力室に圧力変化が生じ、液体がノズルプレートのノズル孔から吐出される。圧電素子は、セラミックスで形成された圧電体層と、電極とを有している。そして、電極に駆動信号が供給されることで、圧電体層が変位し、圧力室に圧力変化を生じさせる(特許文献1参照)。
上述の圧力素子では、圧電体層と接合されるプレートが金属であるため、接合界面の強度が弱くなるといった問題があった。例えば、圧電体層とプレートとの線膨張差により、圧電素子又はプレート側の反りやクラックを生じさせる場合があり、接合界面の強度が弱くなる場合がある。
本発明は上述の課題の少なくとも一つを解決するためになされたものであり、圧力素子と他の部材とを良好に接合させることが可能な液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及び液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
本発明の態様の一つは、圧力室で液体流路の圧力を変化させることでノズル孔から液体を噴射する液体吐出ヘッドであって、前記圧力室が形成されたセラミックス製の流路部材と、少なくともセラミックス製の第1圧電体層を備える圧電素子と、を有し、前記圧電素子の前記第1圧電体層は、前記流路部材と接合されており、前記第1圧電体層が前記圧力室に面している。
前記のように構成された発明では、圧電素子の第1圧電体層が、流路部材の圧力室に面するよう当該流路部材と接合されている。また、圧力変化が生じる圧力室に第1圧電体層が面している。そのため、最も応力変化が加わる圧力室において、接合界面を挟む材料が共にセラミックスとなるため、接合状態を良好にすることができる。
ここで、圧電体層が圧力室に面するとは、圧電体層が圧力室を遮蔽する壁となっていることを意味する。ただし、圧力室の内壁に被覆膜が被覆されている場合も含まれる。
ここで、圧電体層が圧力室に面するとは、圧電体層が圧力室を遮蔽する壁となっていることを意味する。ただし、圧力室の内壁に被覆膜が被覆されている場合も含まれる。
また、前記第1圧電体層と前記流路部材とは、一体となっていてもよい。
ここで、圧電体層と流路部材とが一体となるとは、圧電体層と流路部材とを同時に焼成しており、1つの部材となっていることをいう。また、圧電体層と流路部材との間にセラミックスでできた異なる層を含むものであってもよい。
上記のように構成された発明では、圧電体層と流路部材との接合を強固にすることができる。
ここで、圧電体層と流路部材とが一体となるとは、圧電体層と流路部材とを同時に焼成しており、1つの部材となっていることをいう。また、圧電体層と流路部材との間にセラミックスでできた異なる層を含むものであってもよい。
上記のように構成された発明では、圧電体層と流路部材との接合を強固にすることができる。
そして、前記第1圧電体層の前記圧力室に面する側には、前記流路部材と接合されるセラミックス製の接合層が形成されていてもよい。
上記のように構成された発明では、流路部材は、セラミックス製の接合層を介して流路部材と接合されるため、接合界面付近での線膨張差を小さくすることができ、圧電素子又は流路部材の反りやクラック等の発生を抑制することができる。
上記のように構成された発明では、流路部材は、セラミックス製の接合層を介して流路部材と接合されるため、接合界面付近での線膨張差を小さくすることができ、圧電素子又は流路部材の反りやクラック等の発生を抑制することができる。
さらに、前記圧電素子は、前記流路部材側から少なくとも前記第1圧電体層、第1電極、第2圧電体層、第2電極の順で積層されて構成されていてもよい。
上記のように構成された発明では、圧電体層が複数積層して構成された圧電素子に対しても本発明を適用することができる。
上記のように構成された発明では、圧電体層が複数積層して構成された圧電素子に対しても本発明を適用することができる。
また、本発明にかかる技術的思想は液体吐出ヘッドという形態のみで実現されるものではなく、他の物によって具現化されてもよい。例えば、上述の液体吐出ヘッドを搭載した装置(液体吐出装置)を一つの発明として捉えることが可能である。また、上述の液体吐出ヘッドを製造する製造方法の発明を捉えることも可能である。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
1.第1の実施形態:
2.第2の実施形態:
3.その他の実施形態:
1.第1の実施形態:
2.第2の実施形態:
3.その他の実施形態:
1.第1の実施形態:
図1は、液体吐出ヘッドの構成を説明する断面図である。また、図2は、液体吐出ヘッド1の主要構成の一つである流路ユニット2の一部を、分解斜視図により例示している。そして、図3は、液体吐出ヘッド1の断面図であって、流路ユニット2の図3に示した断面を含む断面図である。
図1は、液体吐出ヘッドの構成を説明する断面図である。また、図2は、液体吐出ヘッド1の主要構成の一つである流路ユニット2の一部を、分解斜視図により例示している。そして、図3は、液体吐出ヘッド1の断面図であって、流路ユニット2の図3に示した断面を含む断面図である。
本実施形態では、液体吐出ヘッド1は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドの一部として説明を行う。
図1に示すように、液体吐出ヘッド1は、流路ユニット2と、圧電素子5とを有している。流路ユニット2は、内部にインク(液体)が流れる液体流路4が形成されている。また、液体流路4には、圧力変化が生じる圧力室11が含まれる。そして、圧力室の上方には圧電素子5が位置しており、圧電素子5が変位することで圧力室11に圧力変化を生じさせる。
図1に示すように、液体吐出ヘッド1は、流路ユニット2と、圧電素子5とを有している。流路ユニット2は、内部にインク(液体)が流れる液体流路4が形成されている。また、液体流路4には、圧力変化が生じる圧力室11が含まれる。そして、圧力室の上方には圧電素子5が位置しており、圧電素子5が変位することで圧力室11に圧力変化を生じさせる。
図2に示すように、流路ユニット2は、積層方向の一方側から他方側に向けて順に、圧力室プレート10と、第1接続プレート20、第2接続プレート30、第1リザーバープレート40、第2リザーバープレート50、コンプライアンスプレート60、カバープレート70、ノズルプレート80を有する。
図2、図3では、これら各プレート10、20、30、40,50,60,70,80を便宜上区別して記載しているが、全てが個別の部材である必要はなく、少なくとも、それらの一部が一体的に構成されていてもよい。また、流路ユニット2は、これら各プレート10、20、30,40,50,60,70,80の一部を有さない構成であってもよいし、不図示の他の部材(プレート)を有する構成であってもよい。以下では、前記積層方向をZ方向とも呼ぶ。また以下では、Z方向における圧力室プレート側を「上側」、ノズルプレート側を「下側」として説明を行う。
圧力室プレート10は、セラミックスで形成された薄板体である。圧力室プレート10には、圧力室11が複数形成されている。圧力室11は、長尺状に形成されており、長手方向をX方向と平行とした状態で、X方向に直交するY方向に並設されている。X,Y方向はいずれもZ方向に対して垂直である。圧力室11と圧力室11との間は、隔壁12により隔てられている。
圧力室プレート10の材質は、部分安定化ジルコニアや、安定化ジルコニア等を用いることができる。
圧力室プレート10の材質は、部分安定化ジルコニアや、安定化ジルコニア等を用いることができる。
なお、本願において、液体吐出ヘッド1の各構成の方向や位置や形状等について、平行、直交、垂直あるいは同一、等と表現した場合であっても、それらは厳密な平行、直交、垂直あるいは同一のみを意味するのではなく、製品性能上許容される程度の誤差や製品製造時に生じ得る程度の誤差なども含む意味である。また、本願において、物と物とが「接する」とは、物と物との間に接着剤等が介在する状態と、介在する物が無い状態とのどちらをも含む意味である。
圧力室プレート10の下側の面には、第1接続プレート20が接している。第1接続プレート20には、圧力室11の長手方向の一端側において各圧力室11と一対一で連通する複数の第1連通孔21と、当該長手方向の他端側において各圧力室11と一対一で連通する複数の第2供給孔22とが形成されている。
第1接続プレート20の下側には、第2接続プレート30が接している。第2接続プレート30には、圧力室11の長手方向の一端側において各第1連通孔21と一対一で連通する複数の第2連通孔31と、当該長手方向の他端側において各第2供給孔22と一対一で連通する複数の供給路32とが形成されている。供給路32は、第2接続プレート30を貫通する第1供給孔32aと、長尺状の接続流路32bとからなる。接続流路32bは、第2接続プレート30の上側の面に開口する凹部であり、長手方向をX方向と平行としている。接続流路32bは、その長手方向の一端側において第1供給孔32aと連通し、他端側において第2供給孔22と連通する。
第2接続プレート30の下側には、第1リザーバープレート40が接している。第1リザーバープレート40は、各第2連通孔31と一対一で連通する複数の第3連通孔41と、リザーバー42とを有する。第3連通孔41およびリザーバー42は、いずれも第1リザーバープレート40を貫通している。
また、第1リザーバープレート40の下側の面には、第2リザーバープレート50が接している。第2リザーバープレート50は、各第3連通孔41と一対一で連通する複数の第4連通孔51と、リザーバー52とを有する。第4連通孔51およびリザーバー52は、いずれも第2リザーバープレート50を貫通している。
リザーバー42,52は、それらで一つの大きな空洞を形成しており、以下では単に「リザーバー」と表現した場合には、リザーバー42およびリザーバー52からなる空洞を指すものとする。リザーバーは、Y方向において後述のノズル列82の長さと同程度の長さが確保された形状となっている。またリザーバーは、上側において各第1供給孔32aと連通している。言い換えると、リザーバーは、上側が各第1供給孔32aと相対する範囲を除いて第2接続プレート30によって封止されている。リザーバーは、共通液室あるいは共通インク室等と呼ぶこともできる。
第2リザーバープレート50の下側の面には、コンプライアンスプレート60が接している。コンプライアンスプレート60は、各第4連通孔51と一対一で連通する複数の第5連通孔61を有する。第5連通孔61は、コンプライアンスプレート60を貫通している。コンプライアンスプレート60は、上側の面によってリザーバーの下側を封止している。
また、コンプライアンスプレート60の下側の面には、カバープレート70が接している。カバープレート70は、各第5連通孔61と一対一で連通する複数の第6連通孔71を有する。第6連通孔71は、カバープレート70を貫通している。
コンプライアンスプレート60のリザーバーを封止する範囲は、他の範囲よりも板厚が薄く形成されており、薄膜部62と表記する。薄膜部62は弾性を有する。薄膜部62とカバープレート70との間には空間が確保されている。薄膜部62は、リザーバー内の圧力変動に応じてカバープレート70側に撓むことにより、リザーバー内の圧力変動を和らげる役割を果たす。
カバープレート70の下側の面には、ノズルプレート80が接している。ノズルプレート80は、インクを噴射するための貫通孔としてのノズル81を複数有する。上述の連通孔21,31,41,51,61,71は、各圧力室11と各ノズル81とを一対一で連通させるための液体流路4の一部となる。従って図2、図3の例では、ノズル81は、第6連通孔71と一対一で連通する。ただし、流路ユニット2は、カバープレート70を有さず、ノズルプレート80とコンプライアンスプレート60とが接するように構成してもよい。
ノズルプレート80は、図2に例示したように、ノズル81がY方向に沿って所定の間隔で並ぶノズル列82を有している。ただし、ノズルプレート80は、複数のノズル81がY方向に沿って形成された複数のノズル列をX方向に並設し、一方のノズル列と他方のノズル列とをY方向においてずらして配置する(いわゆる千鳥配置とする)構成を採用してもよい。
ノズルプレート80は、図2に例示したように、ノズル81がY方向に沿って所定の間隔で並ぶノズル列82を有している。ただし、ノズルプレート80は、複数のノズル81がY方向に沿って形成された複数のノズル列をX方向に並設し、一方のノズル列と他方のノズル列とをY方向においてずらして配置する(いわゆる千鳥配置とする)構成を採用してもよい。
圧力室プレート10の第1接続プレート20と接する面と逆側の面には、圧電式の圧電素子5が積層されている。圧電素子5は、セラミックスで構成された複数枚の圧電シート(圧電体層)6が積層されて構成されている。例えば、圧電シート6に用いられるセラミックスとしては、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)といった鉛を含有するものや、チタン酸ビスマスナトリウム((BixNay)TiO3)、チタン酸ビスマスカリウム((BixKy)TiO3)といった非鉛系のものを用いることができる。
各圧電シート6のうち最下層の圧電シート(第1圧電体層)6aから上方へ数えて奇数番目の圧電シート6の上面には、複数の圧力室11に対応して連続して配置された共通電極7が形成されている。最下層の圧電シート6aから上方へ数えて偶数番目の圧電シート6の上面には、個々の圧力室11に対応して位置するように配置された複数の個別電極8が形成されている。また、共通電極7及び個別電極8は、各圧電シート6の側端面またはスルーホール(図示せず)に設けた中継配線(図示せず)や、ケーブル類(図示せず)等を介して、制御回路基板(図示せず)に接続されている。
図3に示すように、各圧電シート6の内、最下層の圧電シート6aは、圧力室プレート10の上面と接合しており、圧力室11の上側開口部11aを遮蔽する壁となっている。またこの第1の実施形態では、最下層の圧電シート6aの圧力室プレート10側の層には、接合層9が含まれる(図1)。この接合層9は、最下層の圧電シート6aの他の部位と比べて流塊の結晶成長が異なるが、他の圧電シート6aの部位と同様、電位により変位する。そのため、この接合層9も圧電素子5における圧電体層の一部である。
また、圧力室プレート10と最下層の圧電シート6aとで構成される圧力室の内壁を被覆膜で被覆するものであってもよい。
また、圧力室プレート10と最下層の圧電シート6aとで構成される圧力室の内壁を被覆膜で被覆するものであってもよい。
制御回路基板によって、圧電素子5の個別電極8に選択的に電圧が印加されて共通電極7との間に電位差が生じることで、圧電シート6の各電極7,8間に位置する活性部に電界が作用して、各圧電シート6の積層方向の歪み変形が発生する。リザーバーへは、図示しないインク供給経路を介して外部よりインクが供給される。リザーバーへ供給されたインクは、各供給路32および各第2供給孔22を介して各圧力室11へ供給される。上記歪み変形に伴い圧力室11内に圧力変化が生じ、かかる圧力変化に応じて圧力室11内のインクがノズル81から噴射される。このような、リザーバーからノズル81に亘る流路は、リザーバー側が上流側であり、ノズル81側が下流側である。
このような構成において、図1に示すように、圧電素子5と圧力室プレート10との接合界面3付近は、圧電素子5の駆動により最も応力を受ける場所となる。即ち、圧電素子5の歪み変形や、この歪み変形により生じる熱の発生により、圧力室11に応力が生じ、特に、接合界面3付近での応力の集中が高くなる。そのため、この第1の実施形態では、接合界面3を挟んで上下の部材を共にセラミックスにより構成することで、セラミックス同士を接合させ、接合強度を高めている。また、接合界面3を挟んで上下の部材を共にセラミックスにより構成することで、線膨張差が低くなり、圧電素子5や圧力室プレート10に生じる歪みやクラックの発生を抑制することができる。
また、圧力室プレート10をセラミックス製とすることにより、圧力室を含めた流路を形成する際、金属を用いる場合よりもコストを下げることができる。
なお、リザーバーと圧力室11とを繋ぐ流路の一部である第2供給孔22を有する第1接続プレート20や、供給路32を有する第2接続プレート30については、圧力室プレート10とともにセラミックスにより一体焼成されるものであってもよいし、いずれかを金属で形成するものであってもよい。
さらに、第1接続プレート20、第2接続プレート30が少なくともリザーバーの一部を有する構成としてもよい。例えば、第2接続プレート30の第1供給孔が、複数の圧力室11及び接続流路32bの共通の流路となることでリザーバーが形成されてもよい。
このような構成とすれば、リザーバーの容積を十分に確保しつつ、第1リザーバープレート40、又は第2リザーバープレート50のいずれかを抹消することができ、液体吐出ヘッド1を小さくすることができる。
なお、コンプライアンスプレート60、カバープレート70、ノズルプレート80については、金属、セラミックス、樹脂等、種々の素材で形成することができる。
このような構成とすれば、リザーバーの容積を十分に確保しつつ、第1リザーバープレート40、又は第2リザーバープレート50のいずれかを抹消することができ、液体吐出ヘッド1を小さくすることができる。
なお、コンプライアンスプレート60、カバープレート70、ノズルプレート80については、金属、セラミックス、樹脂等、種々の素材で形成することができる。
また、液体吐出ヘッド1は、インクカートリッジ等と連通するインク供給経路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェットプリンター200に搭載される。インクジェットプリンター200は液体吐出装置の一例である。
図4は、インクジェットプリンター200の一例を示す概略図である。インクジェットプリンター200において、複数の液体吐出ヘッド1を有するインクジェット式記録ヘッドユニット(以下、ヘッドユニット202)には、例えば、インクカートリッジ202A,202B等が着脱可能に設けられる。ヘッドユニット202を搭載したキャリッジ203は、装置本体204に取り付けられたキャリッジ軸205に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター206の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト207を介してキャリッジ203に伝達されることで、キャリッジ203はキャリッジ軸205に沿って移動する。
装置本体204にはキャリッジ軸205に沿ってプラテン208が設けられており、図示しないローラー等により供給された印刷媒体Sがプラテン208上を搬送される。そして、搬送される印刷媒体Sに対して、液体吐出ヘッド1のノズル81からインクが噴射され任意の画像が印刷媒体Sに印刷される。なお、インクジェットプリンター200は、ヘッドユニット202が上記のように移動するものだけでなく、例えば、液体吐出ヘッド1が固定されて、印刷媒体Sを移動させるだけで印刷を行ういわゆるラインヘッド型のプリンターであってもよい。
次に、このような液体吐出ヘッドの製造方法を説明する。図5、図6は、液体吐出ヘッドの製造方法を説明する工程図である。
まず、図5(a)に示すように、圧力室プレート10と、第1接続プレート20と、第2接続プレート30とを一体で焼成する(第1の工程)。圧力室プレート10、第1接続プレート20と、第2接続プレート30は、それぞれに対応する焼成前のセラミックスシートを積層し、これを加熱することで一体焼成する。なお、各プレート10、20、30のもととなるセラミックスシートには、打ち抜き加工を施し、圧力室11等の液体流路4の一部に相当する貫通孔が形成されている。焼成温度としては、例えば、1000度から1400度とすることができる。
第1接続プレート20と第2接続プレート30とが金属製である場合は、以下でスラリー91を加熱した後、第1接続プレート20と第2接続プレート30とを接着する。
第1接続プレート20と第2接続プレート30とが金属製である場合は、以下でスラリー91を加熱した後、第1接続プレート20と第2接続プレート30とを接着する。
次に、図5(b)に示すように、圧力室プレート10の上面側に、スラリー(接着剤)91を塗布し、この状態で、最下層の圧電シート6aが圧力室プレート10と面するよう圧電素子5を固定する(第2の工程)。ここで、スラリー91は、セラミックス材料と水等の液体を混合させたペースト状の接着材である。スラリー91は、焼成されることでセラミックス製の接合層9となる。
接着剤としてスラリーを用いることは一例であり、焼成後にセラミックスとなる材料であれば、どのようなものであってもよい。焼成によりセラミックスとなる前駆体をセラミックス焼成前とも記載する場合がある。スラリー(接着剤)91に含まれるセラミックス材料は、好ましくは、圧力室プレート10と同じ材質(部分安定化ジルコニア、又は安定化ジルコニア)であることが望ましい。また、スラリーには、セラミックス材料を分散させる周知のバインダーが含有されていてもよい。
接着剤としてスラリーを用いることは一例であり、焼成後にセラミックスとなる材料であれば、どのようなものであってもよい。焼成によりセラミックスとなる前駆体をセラミックス焼成前とも記載する場合がある。スラリー(接着剤)91に含まれるセラミックス材料は、好ましくは、圧力室プレート10と同じ材質(部分安定化ジルコニア、又は安定化ジルコニア)であることが望ましい。また、スラリーには、セラミックス材料を分散させる周知のバインダーが含有されていてもよい。
そして、スラリー91を加熱し、図5(c)に示す接合層9を形成する(第3の工程)。セラミックスで構成された接合層9は、最下層の圧電シート6aの下面全体に渡って形成される。スラリーの加熱温度としては、含有されるセラミックス材料が焼成する温度であることが望ましい。
また、この実施形態では、圧力室11の内壁に被覆膜92が形成される。被覆膜92の材料としてパラキシレン系樹脂を使用する場合、例えば、周知のパリレン(登録商標)を用いることができる。パラキシレン系樹脂を材料に使用する場合、まず、第2接続プレート30の第1供給孔32aを除いてフィルム状のマスク膜を成膜する。次に、パラキシレン系固体ダイマーを気化、熱分解し、パラキシレン系モノマーを発生させる。そして、第1供給孔32aから、パラキシレン系モノマーを供給し、圧力室11の内壁にパラキシレン系モノマーを反応させて成膜する。具体的には、被覆膜92の成膜方法は、化学気相堆積(Chemical Vapor Deposition:CVD)法を用いることができる。被覆膜92の成膜方法としてはこれ以外にも、スパッタリング法、真空蒸着法等を用いることもできる。
そして、図6(a)に示すように、第2接続プレート30の下方に、SUS等の金属で形成された第1リザーバープレート40を接着する。同様に、第1リザーバープレート40の下方に金属で形成された第2リザーバープレート50を接着する。第1リザーバープレート40と第2リザーバープレート50とは接着剤を用いて接着される。例えば、接着剤としてはエポキシ系のペースト状やフィルム状のものを用いることができる。
そして、図6(b)に示すように、第2リザーバープレート50の下方に、コンプライアンスプレート60、カバープレート70、ノズルプレート80をそれぞれ接着する。コンプライアンスプレート60、カバープレート70、ノズルプレート80の接着には、接着剤を用いることができる。
以下、図示しないケースヘッド、中継配線、ケーブル類(図示せず)等を接続する。以上のような工程を経て、第1の実施形態に係る液体吐出ヘッドが製造される。
上記した製造方法では、セラミックス製の接合層9を用いて圧電素子5と流路部材とを接合させるため、液体吐出ヘッド1を作りやすくすることができる。
上記した製造方法では、セラミックス製の接合層9を用いて圧電素子5と流路部材とを接合させるため、液体吐出ヘッド1を作りやすくすることができる。
2.第2の実施形態:
この第2の実施形態では、液体吐出ヘッド1の異なる製造方法を説明する。なお、この第2の実施形態に示す製造方法で製造された液体吐出ヘッド1は、第1の実施形態と比べて、接合層9を備えない構成において異なる。また、第1の実施形態と同様の構成及び製造工程については、第1の実施形態の態様を流用し、説明を省略又は簡略化する場合がある。
この第2の実施形態では、液体吐出ヘッド1の異なる製造方法を説明する。なお、この第2の実施形態に示す製造方法で製造された液体吐出ヘッド1は、第1の実施形態と比べて、接合層9を備えない構成において異なる。また、第1の実施形態と同様の構成及び製造工程については、第1の実施形態の態様を流用し、説明を省略又は簡略化する場合がある。
図7、図8は、液体吐出ヘッドの製造方法を説明する工程図である。
まず、圧力室プレート10と、第1接続プレート20と、第2接続プレート30とのもととなるセラミックスシート110、120、130を積層する(第4の工程)。各プレート10、20、30のもととなるセラミックスシート110、120、130の製造方法は、第1の実施形態と同様である。
まず、圧力室プレート10と、第1接続プレート20と、第2接続プレート30とのもととなるセラミックスシート110、120、130を積層する(第4の工程)。各プレート10、20、30のもととなるセラミックスシート110、120、130の製造方法は、第1の実施形態と同様である。
次に、図7(a)に示すように、セラミックスシート110の上方側に、最下層の圧電シート6aのもととなる前駆体層106を形成する(第4の工程)。前駆体層は、例えば、セラミックスペーストでコートして形成される。
そして、図7(b)に示すように、前駆体層106、セラミックスシート110、120、130を焼成温度以上で加熱し、圧力室プレート10と、第1接続プレート20と、第2接続プレート30と、圧電シート6aとを一体焼成する(第5の工程)。焼成温度としては、例えば、1000度から1400度とすることができる。
次に、図7(c)に示すように、圧電シート6aの上方に共通電極7を形成する。共通電極7の形成方法としては、材料となる導電性材料を圧電シート6上に配置し、その後必要に応じて焼成を行ことで、電極が形成される。そして、この電極をパターニングして共通電極7が形成される。共通電極7の形成に用いられる導電性材料及びその形成方法等については、電気的な接続がなされるのであれば、特に制限は無い。
次に、図8(a)に示すように、共通電極7が形成された圧電シート6aの上方に圧電シート(第2圧電体層)6bを形成する。圧電シートの形成方法は、圧電シート6aと同じ手法を用いることができる。
次に、図8(b)に示すように、圧電シート6bの上に個別電極8を形成する。個別電極8の形成方法としては、材料となる導電性材料を圧電シート6b上に配置し、その後必要に応じて焼成を行ことで、電極が形成される。そして、この電極をパターニングして個別電極8が形成される。以下、図7(b)(c)、図8(a)(b)の工程を圧電素子5の端部となる圧電体層6cの形成まで繰返すことで、圧電素子5が形成される(第6の工程)。
次に、図8(b)に示すように、圧電シート6bの上に個別電極8を形成する。個別電極8の形成方法としては、材料となる導電性材料を圧電シート6b上に配置し、その後必要に応じて焼成を行ことで、電極が形成される。そして、この電極をパターニングして個別電極8が形成される。以下、図7(b)(c)、図8(a)(b)の工程を圧電素子5の端部となる圧電体層6cの形成まで繰返すことで、圧電素子5が形成される(第6の工程)。
また、この実施形態でも、圧力室11の内壁に被覆膜92が形成される。被覆膜92の成膜方法は、第1の実施形態と同様の方法とすることができる。
そして、図8(c)に示すように、第2接続プレート30の下方に、第1リザーバープレート40、第2リザーバープレート50、コンプライアンスプレート60、カバープレート70、ノズルプレート80をこの順番でそれぞれ接着する。
以下、図示しないケースヘッド、中継配線、ケーブル類(図示せず)等を接続する。以上のような工程を経て、第2の実施形態に係る液体吐出ヘッドが製造される。
また、この製造方法では、スラリー(セラミックス製の接着剤)を用いることなく流路部材上に圧電シート6aを一体焼成するため、圧電素子5と流路部材との接合強度を強くすることができる。
また、この製造方法では、スラリー(セラミックス製の接着剤)を用いることなく流路部材上に圧電シート6aを一体焼成するため、圧電素子5と流路部材との接合強度を強くすることができる。
3.その他の実施形態:
第2接続層40に形成される供給路32は、第1の実施形態に記載されたものに限定されない。例えば、供給路32の第1供給孔が、X方向に伸びた形状でなく、上側から下側(Z方向)に向かって流路の断面積(Z方向に垂直な断面の面積)が狭くなるテーパー状の貫通孔であってもよい。
第2接続層40に形成される供給路32は、第1の実施形態に記載されたものに限定されない。例えば、供給路32の第1供給孔が、X方向に伸びた形状でなく、上側から下側(Z方向)に向かって流路の断面積(Z方向に垂直な断面の面積)が狭くなるテーパー状の貫通孔であってもよい。
また本発明は、インク以外の液体を噴射(吐出)する液体吐出ヘッドや液体吐出装置にも適用することができる。例えば、液体吐出ヘッドとしては、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレーやFED(電解放出ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出装置にも本発明を適用することができる。
本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能でありこれまでに述べた実施形態を適宜組み合わせた内容も、本発明の開示範囲に含まれる。
6…圧電シート、7…共通電極、8…個別電極、9…接合層、10…圧力室プレート、11…圧力室、12…隔壁、20…第1接続プレート、21…第1連通孔、22…第2供給孔、30…第2接続プレート、31…第2連通孔、32…供給路、32a…第1供給孔、32b…接続流路、40…第1リザーバープレート、41…第3連通孔、42…リザーバー、50…第2リザーバープレート、51…第4連通孔、52…リザーバー、60…コンプライアンスプレート、61…第5連通孔、62…薄膜部、70…カバープレート、71…第6連通孔、80…ノズルプレート、81…ノズル、82…ノズル列、91…スラリー、92…被覆膜、110、120、130…セラミックスシート、200…インクジェットプリンター
Claims (7)
- 圧力室で液体流路の圧力を変化させることでノズル孔から液体を噴射する液体吐出ヘッドであって、
前記圧力室が形成されたセラミックス製の流路部材と、
少なくともセラミックス製の第1圧電体層を備える圧電素子と、を有し、
前記圧電素子の前記第1圧電体層は、前記流路部材と接合されており、前記第1圧電体層が前記圧力室に面している液体吐出ヘッド。 - 前記第1圧電体層と前記流路部材とは、一体となっている、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第1圧電体層の前記圧力室と面する側には、前記流路部材と接合されるセラミックス製の接合層が形成されている、請求項1又は請求項2のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 前記圧電素子は、前記流路部材側から少なくとも前記第1圧電体層、第1電極、第2圧電体層、第2電極の順で積層されて構成されている、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
- 請求項1に記載の液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置。
- 圧力室で液体流路の圧力を変化させることでノズル孔から液体を噴射する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記圧力室を備えるセラミックス製の流路部材を製造する第1の工程と、
少なくともセラミックス製の第1圧電体層を備える圧電素子の前記第1圧電体層が前記圧力室に面するよう、前記圧電素子と前記流路部材との間に加熱後にセラミックスとなる接着剤を介在させて固定する第2の工程と、
前記接着剤を加熱し、前記第1圧電体層と前記流路部材との間にセラミックス製の接合層を形成する第3の工程と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法。 - 圧力室で液体流路の圧力を変化させることでノズル孔から液体を噴射する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記圧力室を備えるセラミックス焼成前の流路部材に、セラミックス焼成前の第1圧電体層を積層し、前記第1圧電体層を前記圧力室に面するよう配置する第4の工程と、
前記積層された前記セラミックス焼成前の流路部材及び第1圧電体層を一体焼成する第5の工程と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013071280A JP2014193583A (ja) | 2013-03-29 | 2013-03-29 | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
US14/227,756 US9248649B2 (en) | 2013-03-29 | 2014-03-27 | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and method of manufacturing liquid ejecting head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013071280A JP2014193583A (ja) | 2013-03-29 | 2013-03-29 | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014193583A true JP2014193583A (ja) | 2014-10-09 |
Family
ID=51620430
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013071280A Withdrawn JP2014193583A (ja) | 2013-03-29 | 2013-03-29 | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9248649B2 (ja) |
JP (1) | JP2014193583A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017213845A (ja) * | 2016-05-27 | 2017-12-07 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018043434A (ja) * | 2016-09-15 | 2018-03-22 | 東芝テック株式会社 | インクジェットヘッド |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11147318A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-06-02 | Seiko Epson Corp | インクジェットプリントヘッド用アクチュエータの熱処理方法およびインクジェットプリントヘッドの製造方法 |
JP2003128473A (ja) * | 2001-10-23 | 2003-05-08 | Nitsukatoo:Kk | セラミックス接合体およびその製造方法 |
JP2006305911A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP2007123585A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Kyocera Corp | 圧電アクチュエータおよびその製造方法、並びにインクジェットヘッド |
JP2010059010A (ja) * | 2008-09-03 | 2010-03-18 | Covalent Materials Corp | 半導体製造用セラミックス接合体およびその製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3144948B2 (ja) | 1992-05-27 | 2001-03-12 | 日本碍子株式会社 | インクジェットプリントヘッド |
JP3290897B2 (ja) * | 1996-08-19 | 2002-06-10 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド |
US7009328B2 (en) * | 2003-06-20 | 2006-03-07 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive device made of piezoelectric/electrostrictive film and manufacturing method |
JP5035486B2 (ja) | 2006-07-14 | 2012-09-26 | ブラザー工業株式会社 | 液体移送装置及びインクジェットヘッド |
JP2012069622A (ja) | 2010-09-22 | 2012-04-05 | Seiko Epson Corp | 圧電素子の製造方法および液体噴射ヘッドの製造方法 |
-
2013
- 2013-03-29 JP JP2013071280A patent/JP2014193583A/ja not_active Withdrawn
-
2014
- 2014-03-27 US US14/227,756 patent/US9248649B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11147318A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-06-02 | Seiko Epson Corp | インクジェットプリントヘッド用アクチュエータの熱処理方法およびインクジェットプリントヘッドの製造方法 |
JP2003128473A (ja) * | 2001-10-23 | 2003-05-08 | Nitsukatoo:Kk | セラミックス接合体およびその製造方法 |
JP2006305911A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP2007123585A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Kyocera Corp | 圧電アクチュエータおよびその製造方法、並びにインクジェットヘッド |
JP2010059010A (ja) * | 2008-09-03 | 2010-03-18 | Covalent Materials Corp | 半導体製造用セラミックス接合体およびその製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017213845A (ja) * | 2016-05-27 | 2017-12-07 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20140292945A1 (en) | 2014-10-02 |
US9248649B2 (en) | 2016-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7230390B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2009178951A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP6024492B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法 | |
US9248649B2 (en) | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and method of manufacturing liquid ejecting head | |
US9073320B2 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
US9387674B2 (en) | Flow path unit and liquid ejecting apparatus equipped with flow path unit | |
US9150018B2 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
JP6268713B2 (ja) | 流路ユニットおよび流路ユニットの製造方法 | |
JP3888454B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP6307890B2 (ja) | 流路ユニット、液体噴射ヘッド、液体噴射装置 | |
KR101305718B1 (ko) | 고집적 잉크젯 헤드 | |
JP2015006755A (ja) | 流路ユニット、液体噴射ヘッド、液体噴射装置 | |
JP2012218251A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2010069688A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
US9701117B2 (en) | Liquid-jet head and liquid-jet apparatus | |
JP6187017B2 (ja) | 流路ユニット、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び、流路ユニットの製造方法 | |
JP2014162038A (ja) | 流路ユニット、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、流路ユニットの製造方法 | |
JP2012213957A (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法 | |
JP2014193547A (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP2009172808A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2011206919A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2014193448A (ja) | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 | |
JP2015054492A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP5568854B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2010274526A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160307 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161220 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20170201 |