JP2002061592A - 分子ポンプの油循環ポンプ装置 - Google Patents
分子ポンプの油循環ポンプ装置Info
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- JP2002061592A JP2002061592A JP2000249551A JP2000249551A JP2002061592A JP 2002061592 A JP2002061592 A JP 2002061592A JP 2000249551 A JP2000249551 A JP 2000249551A JP 2000249551 A JP2000249551 A JP 2000249551A JP 2002061592 A JP2002061592 A JP 2002061592A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/06—Lubrication
- F04D29/063—Lubrication specially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Rolling Contact Bearings (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 分子ポンプの軸受潤滑用の油循環装置におい
て、装置の小型化が図れると共に分子ポンプのアイドリ
ング運転時にも軸受部の潤滑が可能な油循環ポンプ装置
を提供する。 【解決手段】 分子ポンプの回転軸４の下端部に設けた
軸方向の穴６ｂと、回転軸４の下方の潤滑油槽７内に立
設されたねじ付きシャフト６ａとでねじ型粘性ポンプ６
を形成し、該ねじ型粘性ポンプ６で前記回転軸４内に供
給された潤滑油が軸受８を潤滑して再び潤滑油槽７へ還
流するようにした。
て、装置の小型化が図れると共に分子ポンプのアイドリ
ング運転時にも軸受部の潤滑が可能な油循環ポンプ装置
を提供する。 【解決手段】 分子ポンプの回転軸４の下端部に設けた
軸方向の穴６ｂと、回転軸４の下方の潤滑油槽７内に立
設されたねじ付きシャフト６ａとでねじ型粘性ポンプ６
を形成し、該ねじ型粘性ポンプ６で前記回転軸４内に供
給された潤滑油が軸受８を潤滑して再び潤滑油槽７へ還
流するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、中真空から高真空
にわたる圧力範囲の真空発生に使用されるターボ分子ポ
ンプや複合分子ポンプ等の分子ポンプに関する。
にわたる圧力範囲の真空発生に使用されるターボ分子ポ
ンプや複合分子ポンプ等の分子ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にターボ分子ポンプ又は複合分子ポ
ンプのロータは、中心部に回転軸を有してケーシング内
に立設され、毎分数万回の高速回転を行なう。
ンプのロータは、中心部に回転軸を有してケーシング内
に立設され、毎分数万回の高速回転を行なう。
【０００３】この回転軸の軸受装置には、潤滑油を用い
ない磁気軸受を使用する場合もあるが、潤滑油を用いる
湿式軸受も一般に使用されている。
ない磁気軸受を使用する場合もあるが、潤滑油を用いる
湿式軸受も一般に使用されている。
【０００４】従来の湿式軸受を用いた分子ポンプの例を
図３に示す。
図３に示す。
【０００５】図３は、滑り軸受を有するターボ分子ポン
プの縦断面図の１例であり、ａはロータ、ｂは回転軸、
ｃはケーシングである。
プの縦断面図の１例であり、ａはロータ、ｂは回転軸、
ｃはケーシングである。
【０００６】ロータａには多数の動翼ｄが外方に向かっ
て放射状に多段に取付けられており、又、ケーシングｃ
には多数の静翼ｅが内方へ向かって放射状に多段に取付
けられている。
て放射状に多段に取付けられており、又、ケーシングｃ
には多数の静翼ｅが内方へ向かって放射状に多段に取付
けられている。
【０００７】ｆは駆動モータである。
【０００８】前記回転軸ｂは、滑り軸受ｇ、ｈを介して
前記ケーシングｃに支承されている。
前記ケーシングｃに支承されている。
【０００９】これら滑り軸受ｇ、ｈは、それぞれ潤滑油
供給用のコネクターｉ、ｊからの給油により潤滑され、
潤滑を終った潤滑油はケーシングｃの外部へ排出され
る。
供給用のコネクターｉ、ｊからの給油により潤滑され、
潤滑を終った潤滑油はケーシングｃの外部へ排出され
る。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】分子ポンプのケーシン
グの外部に油循環ポンプや潤滑油槽を設置した従来の方
法は、油循環装置が大となり好ましくないので、油循環
装置を小型化するために、これらを分子ポンプのケーシ
ングの内部に設置したいという問題があった。
グの外部に油循環ポンプや潤滑油槽を設置した従来の方
法は、油循環装置が大となり好ましくないので、油循環
装置を小型化するために、これらを分子ポンプのケーシ
ングの内部に設置したいという問題があった。
【００１１】又、分子ポンプのスタンバイ状態では、毎
分１０００回転程度のアイドリング回転にまで回転数を
下げて運転を行なう必要があるが、このような低速回転
時にも前記回転軸の軸受の循環が十分に行なわれる必要
があるという問題があった。
分１０００回転程度のアイドリング回転にまで回転数を
下げて運転を行なう必要があるが、このような低速回転
時にも前記回転軸の軸受の循環が十分に行なわれる必要
があるという問題があった。
【００１２】本発明はこれらの問題点を解消し、分子ポ
ンプのケーシング内に設置できて、しかも回転軸の低速
回転時にも前記軸受の潤滑を行なえるような油循環ポン
プを提供することを目的とする。
ンプのケーシング内に設置できて、しかも回転軸の低速
回転時にも前記軸受の潤滑を行なえるような油循環ポン
プを提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成すべく、ケーシング内に回転軸を回転自在に立設した
分子ポンプにおいて、回転軸の下端部に軸方向の穴を設
けて該穴内にねじ型粘性ポンプを形成すると共に該回転
軸の下方に潤滑油槽を設置して、これらねじ型粘性ポン
プと潤滑油槽とを用いて前記回転軸の軸受の潤滑を行な
うように形成したことを特徴とする。
成すべく、ケーシング内に回転軸を回転自在に立設した
分子ポンプにおいて、回転軸の下端部に軸方向の穴を設
けて該穴内にねじ型粘性ポンプを形成すると共に該回転
軸の下方に潤滑油槽を設置して、これらねじ型粘性ポン
プと潤滑油槽とを用いて前記回転軸の軸受の潤滑を行な
うように形成したことを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１及び
図２により説明する。
図２により説明する。
【００１５】図１は本発明の一実施の形態の油循環ポン
プ装置２を具備したターボ分子ポンプ１の縦断面図であ
る。
プ装置２を具備したターボ分子ポンプ１の縦断面図であ
る。
【００１６】ロータ３は中心部に回転軸４を有して、ケ
ーシング５内に回動自在に支承されて立設する。
ーシング５内に回動自在に支承されて立設する。
【００１７】回転軸４の下端部には、ねじ型粘性ポンプ
６が設けられており、又、該回転軸４の下方には、潤滑
油槽７がケーシング５内に設けられていて、これらねじ
型粘性ポンプ６と潤滑油槽７とが油循環ポンプ装置２を
形成して、回転軸４を支承する軸受８の潤滑を行なうよ
うになっている。
６が設けられており、又、該回転軸４の下方には、潤滑
油槽７がケーシング５内に設けられていて、これらねじ
型粘性ポンプ６と潤滑油槽７とが油循環ポンプ装置２を
形成して、回転軸４を支承する軸受８の潤滑を行なうよ
うになっている。
【００１８】尚、９は回転軸４を駆動するモータであ
る。
る。
【００１９】油循環ポンプ装置２の詳細を図２に示し
た。
た。
【００２０】即ち、回転軸４の下端部に、軸方向の穴６
ｂを有して下方に突出する突出部４ａを設けると共に、
該穴６ｂを挿通するねじ付きシャフト６ａを前記潤滑油
槽７内に立設して、該穴６ｂをスリーブとするねじ型粘
性ポンプ６が形成されている。尚、前記ねじ付きシャフ
ト６ａは外周にねじ溝を有し、潤滑油を前記穴６ｂの上
方に送るポンプ作用をする。
ｂを有して下方に突出する突出部４ａを設けると共に、
該穴６ｂを挿通するねじ付きシャフト６ａを前記潤滑油
槽７内に立設して、該穴６ｂをスリーブとするねじ型粘
性ポンプ６が形成されている。尚、前記ねじ付きシャフ
ト６ａは外周にねじ溝を有し、潤滑油を前記穴６ｂの上
方に送るポンプ作用をする。
【００２１】前記突出部４ａは、先端部を潤滑油槽７中
に没入させていると共に外径を細くして、潤滑油中での
回転時の摩擦損失の低減を図っている。
に没入させていると共に外径を細くして、潤滑油中での
回転時の摩擦損失の低減を図っている。
【００２２】次に本実施の形態の油循環ポンプ装置２の
作動及び効果について説明する。
作動及び効果について説明する。
【００２３】分子ポンプ１の駆動は、モータ９によって
行なわれる。
行なわれる。
【００２４】回転軸４の回転方向は常に同一方向であ
り、前記ねじ型粘性ポンプ６の作用によって潤滑油槽７
から潤滑油が吸入され、回転軸４内の油溜まり６ｃへ圧
送される。該油溜まり６ｃ内の潤滑油は細孔６ｄを通っ
て軸受８へ供給され、軸受８の潤滑を終った潤滑油は潤
滑油槽７へと還流する。
り、前記ねじ型粘性ポンプ６の作用によって潤滑油槽７
から潤滑油が吸入され、回転軸４内の油溜まり６ｃへ圧
送される。該油溜まり６ｃ内の潤滑油は細孔６ｄを通っ
て軸受８へ供給され、軸受８の潤滑を終った潤滑油は潤
滑油槽７へと還流する。
【００２５】前記軸受８は、玉軸受などの転がり軸受を
用いて、軸受部の発熱の低減を図っている。
用いて、軸受部の発熱の低減を図っている。
【００２６】尚、粘性ポンプには、円筒を潤滑油槽内で
高速回転させて、該円筒の内壁に接する液の粘性摩擦作
用と回転の遠心力とによって液体を送り出す方式の円筒
型粘性ポンプもあるが、これは該円筒の回転数が低下す
るとポンプ能力が低下して潤滑油を送れなくなる問題が
ある。
高速回転させて、該円筒の内壁に接する液の粘性摩擦作
用と回転の遠心力とによって液体を送り出す方式の円筒
型粘性ポンプもあるが、これは該円筒の回転数が低下す
るとポンプ能力が低下して潤滑油を送れなくなる問題が
ある。
【００２７】ねじ型粘性ポンプは、低回転速度における
ポンプ能力が前記円筒型粘性ポンプより高いので、毎分
１０００回転程度のアイドリング回転時にも軸受の潤滑
を十分に行なうことができる。
ポンプ能力が前記円筒型粘性ポンプより高いので、毎分
１０００回転程度のアイドリング回転時にも軸受の潤滑
を十分に行なうことができる。
【００２８】尚、本実施の形態では、シャフト６ａ側に
ねじを有するねじ型粘性ポンプ６としたが、これはシャ
フト側にねじを設けず、突出部４ａの穴６ｂ側にねじを
有するねじ型粘性ポンプとしてもよい。
ねじを有するねじ型粘性ポンプ６としたが、これはシャ
フト側にねじを設けず、突出部４ａの穴６ｂ側にねじを
有するねじ型粘性ポンプとしてもよい。
【００２９】
【発明の効果】このように本発明によれば、分子ポンプ
の軸受を潤滑する油循環ポンプ装置の小型化が図れると
共に、アイドリング回転時にも軸受部の潤滑を十分に行
なえるので、分子ポンプの運転モードの変化にも対応で
きて、分子ポンプの運転コストが低減する効果を有す
る。
の軸受を潤滑する油循環ポンプ装置の小型化が図れると
共に、アイドリング回転時にも軸受部の潤滑を十分に行
なえるので、分子ポンプの運転モードの変化にも対応で
きて、分子ポンプの運転コストが低減する効果を有す
る。
【図１】本発明の一実施の形態の油循環ポンプ装置を具
備したターボ分子ポンプの縦断面図である。
備したターボ分子ポンプの縦断面図である。
【図２】同上油循環ポンプ装置の説明図である。
【図３】従来のターボ分子ポンプの縦断面図である。
１ 分子ポンプ ２ 油循環ポンプ装置 ４ 回転軸 ５ ケーシング ６ ねじ型粘性ポンプ ６ａ シャフト ６ｂ 穴（スリーブ） ７ 潤滑油槽 ８ 軸受
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H022 AA01 AA03 BA06 BA07 CA42 CA43 CA44 CA47 DA00 DA07 DA20 3H031 DA01 DA02 EA00 EA06 FA22 FA23 FA24 3J101 AA02 AA42 AA54 AA62 CA01 CA14 CA33 FA32 FA53 GA29 GA57
Claims (4)
- 【請求項１】 ケーシング内に回転軸を回転自在に立設
した分子ポンプにおいて、回転軸の下端部に軸方向の穴
を設けて該穴内にねじ型粘性ポンプを形成すると共に該
回転軸の下方に潤滑油槽を設置して、これらねじ型粘性
ポンプと潤滑油槽とを用いて前記回転軸の軸受の潤滑を
行なうように形成したことを特徴とする分子ポンプの油
循環ポンプ装置。 - 【請求項２】 前記ねじ型粘性ポンプは、前記回転軸に
設けた穴の内壁をスリーブとし、該スリーブとはめ合う
シャフトは外径にねじ溝を有して前記潤滑油槽内に立設
されていることを特徴とする請求項１に記載の分子ポン
プの油循環ポンプ装置。 - 【請求項３】 前記ねじ型粘性ポンプは、前記回転軸に
設けた穴の内壁にねじ溝を有し、該穴とはめ合うシャフ
トは円柱状として前記潤滑油槽内に立設されていること
を特徴とする請求項１に記載の分子ポンプの油循環ポン
プ装置。 - 【請求項４】 前記軸方向の穴を設けた回転軸の下端部
が、前記潤滑油槽内に没入していることを特徴とする請
求項１に記載の分子ポンプの油循環ポンプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000249551A JP2002061592A (ja) | 2000-08-21 | 2000-08-21 | 分子ポンプの油循環ポンプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000249551A JP2002061592A (ja) | 2000-08-21 | 2000-08-21 | 分子ポンプの油循環ポンプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002061592A true JP2002061592A (ja) | 2002-02-28 |
Family
ID=18739276
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000249551A Pending JP2002061592A (ja) | 2000-08-21 | 2000-08-21 | 分子ポンプの油循環ポンプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002061592A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008075857A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Jtekt Corp | 転がり軸受装置 |
| JP2013117308A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 転がり軸受を備えた真空ポンプ |
| CN104329202A (zh) * | 2014-10-24 | 2015-02-04 | 上海福思特流体机械有限公司 | 灯泡贯流式水轮机 |
| CN105545794A (zh) * | 2015-10-02 | 2016-05-04 | 陈良二 | 用于风扇马达的转轴 |
| CN106438725A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-22 | 合肥华升泵阀股份有限公司 | 一种自吸式轴承润滑装置 |
| CN107110172A (zh) * | 2014-10-31 | 2017-08-29 | 特灵国际有限公司 | 提供润滑剂到轴承的系统和方法 |
| EP3473858A1 (de) * | 2017-10-17 | 2019-04-24 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zur lebensdaueroptimierung von wälzlagern einer vakuumpumpe |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS5996378A (ja) * | 1982-11-25 | 1984-06-02 | 三協アルミニウム工業株式会社 | 改装窓 |
| JPS6053695A (ja) * | 1983-09-02 | 1985-03-27 | Hitachi Ltd | タ−ボ分子ポンプ |
| JPS60159393A (ja) * | 1984-01-28 | 1985-08-20 | Toshiba Corp | ロ−タリコンプレツサの給油装置 |
| JPS6111492A (ja) * | 1984-06-25 | 1986-01-18 | Toshiba Corp | 回転式圧縮機 |
-
2000
- 2000-08-21 JP JP2000249551A patent/JP2002061592A/ja active Pending
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| JP4605130B2 (ja) * | 2006-09-25 | 2011-01-05 | 株式会社ジェイテクト | 転がり軸受装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070806 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100624 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100628 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101105 |