JPS6053695A - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
タ−ボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPS6053695A JPS6053695A JP58160372A JP16037283A JPS6053695A JP S6053695 A JPS6053695 A JP S6053695A JP 58160372 A JP58160372 A JP 58160372A JP 16037283 A JP16037283 A JP 16037283A JP S6053695 A JPS6053695 A JP S6053695A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- rotor
- turbo
- lubrication oil
- center shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/06—Lubrication
- F04D29/063—Lubrication specially adapted for elastic fluid pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、半導体製造装置の排気系への適用に好適なタ
ーボ分子ポンプに関する。。
ーボ分子ポンプに関する。。
現在、半導体製造装置の排気系の大部分に油拡散ポンプ
が使用されている。しか１−１逆流した拡散ポンプ油が
素子特性に悪影響を及はすという理由から、排気系の清
浄化の要請が強い。
が使用されている。しか１−１逆流した拡散ポンプ油が
素子特性に悪影響を及はすという理由から、排気系の清
浄化の要請が強い。
この目的には、大気圧から運転可能なと操作が簡単であ
るターボ分子ポンプが合致する。
るターボ分子ポンプが合致する。
第１図にターボ分子ポンプの概略構成を示した（機種に
よシ細部に若干の相異があるが、基本的には図に示され
た構成と同じである）。吸気口１に流入した気体は、静
翼３および回転する動翼４によシ圧縮され、排気口２よ
シ排気される。動翼４けロータ９に直結されておシ、毎
分約１万〜数万回転で高速回転する。この際にロータ９
の中心軸１４を保持するベアリング６および１３の摩耗
および発熱を防ぐため、オイルだめ６よシ潤滑油７が供
給される。
よシ細部に若干の相異があるが、基本的には図に示され
た構成と同じである）。吸気口１に流入した気体は、静
翼３および回転する動翼４によシ圧縮され、排気口２よ
シ排気される。動翼４けロータ９に直結されておシ、毎
分約１万〜数万回転で高速回転する。この際にロータ９
の中心軸１４を保持するベアリング６および１３の摩耗
および発熱を防ぐため、オイルだめ６よシ潤滑油７が供
給される。
ターボ分子ポンプを半導体製造装置排気系へ適用する際
の最大の問題点は、この潤滑油供給方式である。通常、
ターボ分子ポンプは空気や不活性気体等非反応性気体の
排気を主目的としているため、潤滑油供給方式も潤滑油
の粘性を利用した自然循環の方式となっている。すなわ
ち、第１図においては、ロータ９の回転に伴ない、潤滑
油７はロータ９の中心軸１４を貫く内径の均一な・（イ
ブ１０中を上昇しベアリング５に供給される（ベアリン
グ５に供給された潤滑油がオイルだめ６にもどる途中で
ベアリング１３が潤滑油に触れる）。
の最大の問題点は、この潤滑油供給方式である。通常、
ターボ分子ポンプは空気や不活性気体等非反応性気体の
排気を主目的としているため、潤滑油供給方式も潤滑油
の粘性を利用した自然循環の方式となっている。すなわ
ち、第１図においては、ロータ９の回転に伴ない、潤滑
油７はロータ９の中心軸１４を貫く内径の均一な・（イ
ブ１０中を上昇しベアリング５に供給される（ベアリン
グ５に供給された潤滑油がオイルだめ６にもどる途中で
ベアリング１３が潤滑油に触れる）。
一方、半導体製造装置では、排気される気体は放電直後
の活性粒子を多数含んだ反応性気体であるのが普通であ
る。また、排気される気体の中には付着しやすい反応生
成物も多く含まれる。このため、（１）ベアリング球や
ベアリングリテーナ（ベアリング中の球の間隔を均等に
保つだめベアリング中に挿入される支持具）等の腐ｊ’
＜、（２＋これらへの異物の付着、（３）反応性気体に
さらされることによる潤滑油の変質（たとえば、粘度の
低下）、が起こシやすい。この結果、ベアリング部分に
故障が生じロータの高速回転が不可能になるばかシでな
く、回転ぶれ等によシ動翼および静翼が破損するという
致命的事態が起きる。
の活性粒子を多数含んだ反応性気体であるのが普通であ
る。また、排気される気体の中には付着しやすい反応生
成物も多く含まれる。このため、（１）ベアリング球や
ベアリングリテーナ（ベアリング中の球の間隔を均等に
保つだめベアリング中に挿入される支持具）等の腐ｊ’
＜、（２＋これらへの異物の付着、（３）反応性気体に
さらされることによる潤滑油の変質（たとえば、粘度の
低下）、が起こシやすい。この結果、ベアリング部分に
故障が生じロータの高速回転が不可能になるばかシでな
く、回転ぶれ等によシ動翼および静翼が破損するという
致命的事態が起きる。
以上述べたように、ターボ分子ポンプを半導体製造装置
排気系へ適用するためには、潤滑油供給方式の改良が必
要である。
排気系へ適用するためには、潤滑油供給方式の改良が必
要である。
本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、半
導体製造装置排気系への適用が可能な、反応性気体の排
気に好適なターボ分子ポンプを提供することを目的とす
るものである。
導体製造装置排気系への適用が可能な、反応性気体の排
気に好適なターボ分子ポンプを提供することを目的とす
るものである。
上記目的を達成するために、本発明では、ロータの中心
軸を貫くパイプの形状を変えて大量の潤滑油をベアリン
グ部分に供給することにょシ、ベアリング球やベアリン
グリテーナ等が排気される気体にさらされる機会をなく
如く構成したものである。
軸を貫くパイプの形状を変えて大量の潤滑油をベアリン
グ部分に供給することにょシ、ベアリング球やベアリン
グリテーナ等が排気される気体にさらされる機会をなく
如く構成したものである。
以下、本発明を実施例を用いて詳細に説明する。
第２図は、本発明の一実施例を示し、第１図に示しだ円
筒形状のパイプ１０のかわシにテーパ付パイプ１１を用
いて構成したものである。パイプ形状を円筒型からテー
パ型に変えることによシ、ロータ９の中心軸１４を円筒
型にくりぬいた場合に比べ、潤滑油の上昇速度が増大し
、ベアリング５に供給される単位時間あたシの潤滑油の
量が増える。
筒形状のパイプ１０のかわシにテーパ付パイプ１１を用
いて構成したものである。パイプ形状を円筒型からテー
パ型に変えることによシ、ロータ９の中心軸１４を円筒
型にくりぬいた場合に比べ、潤滑油の上昇速度が増大し
、ベアリング５に供給される単位時間あたシの潤滑油の
量が増える。
第３図は、本発明の他の実施例を示し、第２図における
実施例をさらに改良したものである。ロータ９の中心軸
１４を貫くパイプ１０の内面にらぜん型の溝１２をつけ
た。こうすることによシ、ロータ９の回転に伴ない潤滑
油は溝１２の中を通シベアリング５まで達する。特に、
本実施例においては、潤滑油をらせん溝によつ゛Ｃ機械
的にすくい上げるので、前記実施例に比べさらに大量の
潤滑油の供給が可能である。々お、本実施例の場合には
、パイプ１０の形状は、円筒７４ｙでもテーパ型であっ
てもよい。
実施例をさらに改良したものである。ロータ９の中心軸
１４を貫くパイプ１０の内面にらぜん型の溝１２をつけ
た。こうすることによシ、ロータ９の回転に伴ない潤滑
油は溝１２の中を通シベアリング５まで達する。特に、
本実施例においては、潤滑油をらせん溝によつ゛Ｃ機械
的にすくい上げるので、前記実施例に比べさらに大量の
潤滑油の供給が可能である。々お、本実施例の場合には
、パイプ１０の形状は、円筒７４ｙでもテーパ型であっ
てもよい。
以」二説明したように、本発明によれば、犬１の潤滑油
をベアリング部分に供給できるので、ベアリング部分が
排気される気体にさらされる機会をなくすととが可能で
ある。この結果、ベアリング部分の腐食等が減少できタ
ーボ分子ポンプ全半導体製造装置排気系に対し適用する
ことが可能となる。
をベアリング部分に供給できるので、ベアリング部分が
排気される気体にさらされる機会をなくすととが可能で
ある。この結果、ベアリング部分の腐食等が減少できタ
ーボ分子ポンプ全半導体製造装置排気系に対し適用する
ことが可能となる。
第１図は、ターボ分子ポンプ内鄭の概略構成を示す図、
第２図は、本発明の一実施例を示す図、第３図は、本発
明の他の実施例を示す図である。
第２図は、本発明の一実施例を示す図、第３図は、本発
明の他の実施例を示す図である。
Claims (1)
- １、ターボ分子ポンプのロータの中心軸において、該中
心軸の一端から該中心軸を保持するベアリング部分まで
パイプ状の穴が貫通シフ、かつ、該穴がテーパ形状を々
し、および、／マたは該穴の内面にらせん溝を配設して
構成ｌまたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58160372A JPS6053695A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58160372A JPS6053695A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6053695A true JPS6053695A (ja) | 1985-03-27 |
Family
ID=15713540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58160372A Pending JPS6053695A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-02 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6053695A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002061592A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-02-28 | Osaka Vacuum Ltd | 分子ポンプの油循環ポンプ装置 |
| JP2009121467A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプ |
-
1983
- 1983-09-02 JP JP58160372A patent/JPS6053695A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002061592A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-02-28 | Osaka Vacuum Ltd | 分子ポンプの油循環ポンプ装置 |
| JP2009121467A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプ |
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