JPH09170589A

JPH09170589A - ターボ分子ポンプ

Info

Publication number: JPH09170589A
Application number: JP8312612A
Authority: JP
Inventors: Roberto Cerruti; ロベルト・セルルーティ; Giampaolo Levi; ジャイアンパオロ・レヴィ
Original assignee: Varian Associates Inc
Current assignee: Varian Medical Systems Inc
Priority date: 1995-11-10
Filing date: 1996-11-11
Publication date: 1997-06-30
Also published as: IT1281025B1; DE773367T1; EP0773367B1; US5688106A; DE69600306D1; ITTO950911A1; ITTO950911A0; EP0773367A1; DE69600306T2

Abstract

(57)【要約】【課題】高圧縮比をもつポンピングステージをもつタ
ーボ分子ポンプを提供する。【解決手段】本発明はガス入口ポート（3）およびガ
ス排気ポート（4）を取り囲むポンプ体（2）、前記ポン
プ体内に配置されるポンプ組立体（56a、56b）を含む。
ポンピング組立体は、複数のステータ（5a、5b）および
ロータ（6a）により形成され、ステータとロータは交互
に配置され、少なくとも一つの支持手段（5、9）により
支持され、モータ（10）により駆動され回転シャフト
（7）に取り付けられ、前記ステータの一つが、ガス
を、シャフト（7）に近接した領域から前記シャフトか
ら離れた末端領域に、またはその逆に押し出し、吐き出
すようにするために、少なくとも一つのポンピング螺旋
チャネルを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ターボ分子ポンプ
に関する。特に、本発明は、半導体デバイスの製造にお
いて使用するタイプのもので、高圧縮比を有するポンピ
ングステージを有するーボ分子真空ポンプに関する。

【０００２】

【従来の技術および発明が解決しようとする課題】ター
ボ分子真空ポンプは、集積回路（IC）またはチップの製
造においてドライエッチング法が導入されて以来、半導
体デバイスの製造に広く使用されてきた。

【０００３】半導体業界においてターボ分子ポンプを使
用するときの主要な問題の一つは、在来のボールベアリ
ングや磁気媒体が通常半導体回路の処理において使用さ
れる、HCl、HBr、CL2、Fl2のような腐食性のガス混合物
にさらされることによる腐食に対して抵抗性が低いこと
であるる。これは、ポンプのポンピングステージによる
拡散現象のため、無視できないほどのガス量によりなさ
れることによる。これらガスは、端部支持部材のスチー
ルおよびベアリング内のケージの材料、ならびに中に含
まれる潤滑油を回復不能に変化させ、そのためベアリン
グが故障することになる。

【０００４】ターボ分子ポンプの急激な損傷を避けるた
めに、“CP”（耐腐食）ポンプとして知られる、腐食に
強い特別なポンプを開発することが必要となってきた。

【０００５】このタイプのポンプでは、不活性ガスがベ
アリングを囲む空間に入ることができ、IC製造のための
プロセス中に生じる腐食性物質に対して障壁を作る。

【０００６】図１は在来のターボ分子ポンプ1’の縦断
面の略示であり、そのポンプは羽根6a’をもつロータデ
ィスクを有するポンピングステージの第1の組立体56
a’、および滑らかなロータディスク6b’を有するポン
ピングステージの第2の組立体56b’を備えもつ。このタ
イプのポンプが、「ターボ分子ポンプ」と題する米国特
許第5,238,362号（これは本出願人に譲渡されている）
に開示されており、この文献はここに参考文献として組
み入れられる。

【０００７】図１において、矢印は、半径方向の穴16’
を通り、モータ組立体10’とポンプ体2’との間に入
り、ベアリング8’に向かって、圧力をもって流れる不
活性ガスの経路を示す。このタイプのポンプで、不活性
ガスをベアリング8’に向けて流すために、円形プレー
ト11’（これはベアリング8’を滑らかなロータディス
ク6b’を有するポンピングステージの第2のポンピング
組立体56b’から離す）に三つの半径方向のチャネル1
4’が設けられ、そのチャネルは、互いに120°だけ離
れ、ポンプ1’のポンプ体2’およびモータ組立体10’に
設けられた多数の軸線方向の穴17’と連通する。これに
より、前記チャネル14’はポンプ1’のポンプ体2’とモ
ータ組立体10’との間にある開口またはポートと連通す
る。

【０００８】腐食性ガスの相当の減少にもかかわらず、
この解決策には依然として多くの問題がある。まず、そ
れは、乾燥窒素源、弁および調節手段をもつガス導入連
結回路、ならびに不活性ガスを送り込むための、より大
きな流量比をもつ主ポンプを必要とする。

【０００９】さらに、製造プロセスの間に無関係のガス
の導入は汚染を伴い、製造サイクルにおいて使用される
開始混合ガスを変え、同時にポンプの最終の圧力を減少
させる。

【００１０】上記問題を解決するために、ALCATEL CIT
のL.マシューおよびJ.M.グラファットは“反転した動的
シール”(Inverted Dynamic Seal)として知られる解決
策を提案した。この解決策の詳細は、“Vacuum”第44
巻、No.5-7、第701-703頁（Pergamon Press Ltd,1993）
に記載されている。図２は反転した動的シールを有する
ターボ分子ポンプを示す。

【００１１】図２において、反転した動的シールは実質
的に、滑らかな壁部を有し、ポンプのロータ組立体100
のポンプ体103内に形成される円筒形チャンバー102内に
位置するネジ101を有する。回転運動、およびチャンバ
ー102の壁部とネジ101との間の減少した間隙は、いわゆ
る“反転した動的シール”、ならびにガスをポンピング
するために使用できる圧力差を形成する。得られたシー
リングはターボ分子ポンプ100において与えられ、ベア
リング105を囲む空間にガスをポンピングするために使
用される。

【００１２】反転した動的シールをもつターボ分子ポン
プには多くの問題がある。まず、反転した動的シール
は、ポンピングされたガスが、たとえばAr(40)、HF(2
0)、HCl(36)よりく軽く、ポンピングされたガスが低流
量比であるときに非効率的である。

【００１３】さらに、反転した動的シールは、入力圧力
が10-2Paより高い応用例に対して、すなわち高送込み流
量比に対して適切ではなく、これとは反対に腐食性ガス
に対する最大の防護が必要となる。さらにまた、ベアリ
ングを囲むチャンバー内に位置する反転した動的シール
のネジを製造することは難しい。

【００１４】いわゆるシーグバン(Siegbahn)タイプの螺
旋形ポンピングステージをもつターボ分子ポンプも知ら
れている。このポンプは一段（ステージ）の形状におい
てのみ実施でき、ガスのポンピングは、螺旋形チャネル
内でもっぱら生じる。

【００１５】本発明の主要な目的は、既に知られた解決
策の利点を達成し、同時に前記問題を避ける、動的シー
ルを備えたターボ分子ポンプを提供することである。

【００１６】本発明の他の目的は、高圧縮比をもつポン
ピングステージをもつターボ分子ポンプを提供すること
である。

【００１７】さらに、本発明の他の目的は、製造が容易
でかつ経済的な動的シールを提供することである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明にしたがって、タ
ーボ分子ポンプがガス入口ポートおよびガス排気ポート
を有するポンプ体、および入口ポートと排気ポートとの
間で一緒に位置する複数の真空ポンピングステージを有
する。各ポンピングステージはロータおよび一対の面を
もつステータを有し、少なくとも一つのロータは、ステ
ータの一面に形成される少なくとも一つの螺旋チャネル
を有する。ターボ分子ポンプはまた、各ロータを取り付
けるための回転シャフトを含み、そのシャフトは少なく
とも一つの支持手段により保持されている。一つのプレ
ートが、その支持手段と近接したポンピングステージと
の間に位置する。そのプレートは、前記近接したポンピ
ングステージに面した表面に形成される少なくとも一つ
の螺旋チャネルを有し、シャフトの近くの領域から、そ
こから離れた末端の領域へのそのチャネルに含まれるガ
スが押し出され、吐き出される。ポンプ体はさらに、前
記プレートに近接した少なくとも一つの軸線方向の穴を
有し、前記プレートはさらに少なくとも一つの半径方向
のチャネルを有し、そのチャネルは前記軸線方向の穴と
連通し、プレートと近接したポンピングステージのロー
タとの間の空間にガスを導入し、螺旋チャネルをもつ螺
旋シールを形成する。

【００１９】本発明の一実施例にしたがい、プレートは
同じ方向に伸長する四つの螺旋チャネルを有する。本発
明の他の実施例にしたがい、ターボ分子ポンプの一つ以
上のポンピングステージが、羽根をもつロータを含む入
口ポートに近接して位置し、第1のポンピング組立体を
形成するとともに、一つ以上のポンピングステージが、
平坦なディスクを有するロータを含む排気ポートに近接
して位置し、第2のポンピング組立体を形成し、第2のポ
ンピング組立体の少なくとも一つのステータがそれぞ
れ、または少なくとも一面上に少なくとも一つの螺旋チ
ャネルを含む。

【００２０】本発明の上記または他の目的、利点は添付
の図面とともに以下の好適実施例の詳細な説明から明ら
かになろう。

【００２１】

【発明の実施の形態】図３において、本発明のターボ分
子ポンプ1はガス用の軸線方向の入口ポート3および半径
方向の排気ポート4を有する実質的に円筒状のポンプ体2
を含む。

【００２２】ポンプ体2内で、入口ポート3に面したポン
プ部分に、第1のポンピング組立体56aがはめ込まれ、そ
の組立体は、複数のステータ5aおよびロータ6aを含み、
ロータは羽根を有しており、ステータおよびロータは共
通平面（すなわち同じ面）に位置し、互いに互い違いに
なっている。複数のスタータ5aおよびロータ6aのそれぞ
れのスタータおよびロータの各対がポンピングステージ
を形成する。

【００２３】第2のポンピング組立体56bが、滑らかな
（すなわち羽根をもたない）、共面にあり、互いに互い
違いになった、複数のスタータ5bおよびロータ6bから成
り、これは排気ポート4に近くで、前記第1のポンピング
組立体56aと軸線方向に整合するようにはめ込まれてい
る。複数のステータ5bおよびロータ6bのそれぞれのステ
ータおよびロータの各対がポンピングステージを形成す
る。

【００２４】円形プレート11がベアリング8と第2のポン
ピング組立体56bとの間に設けられ、螺旋チャネル12が
ポンピング組立体56bの第1のロータ6bと面するプレート
面に形成されている。

【００２５】図４に良く示されているように、ロータ6a
および6bが矢印13の方向に回転するとき、チャネルに含
まれるガスがシャフト7の近傍の領域からその末端の領
域へと押し出し、吐き出される。このような螺旋チャネ
ル12はそれ自身特徴的な圧縮比およびポンピング速度を
もつ効果的なポンピングステージを形成する。

【００２６】図６に示されているように、円形プレート
11もまた、互いに120°の角度をもって配置された三つ
の半径方向のチャネル14を有し、各半径方向のチャネル
は、モータ10を取り囲む空間15に開いた、ポンプ体12内
の三つの軸線方向の穴17の一つと連通している。半径方
向の穴16がポンプ体2を貫通し、不活性ガスの空間15へ
の導入を可能にしている。

【００２７】図３において矢印により示されているよう
に、不活性ガスは空間15から軸線方向の穴17および半径
方向のチャネル14を通り、プレート11と、螺旋シールが
螺旋チャネルにより形成される隣接したロータ6bとの間
の間隙へと流れる。螺旋チャネル12により生じるポンピ
ング動作および螺旋チャネル12内におけるプレート11に
対応して存在する不活性ガスの動きのため、腐食性ガス
はペアリング8から押し出され、ポンプ1のガス排気ポー
ト4に向かって吐き出される。

【００２８】実施テストから、上述した螺旋チャネルを
備えるポンプのベアリングを保護するために使用され
る、不活性ガス、たとえばN2の量が、螺旋シーリングの
ないポンプで必要な量よりも少ないことが証明された。

【００２９】図５は、プレート21の表面に形成された螺
旋シーリングが同じ方向に伸長する四つの螺旋チャネル
を含む本発明の螺旋シーリングの他の実施例を示す。図
５の実施例において、腐食性ガスによる影響をなくし、
ターボ分子ポンプのベアリングを維持するために必要な
不活性ガスの量を30％減少させることが実験で分かっ
た。

【００３０】本発明にしたがった螺旋シーリングは平坦
なロータディスク6bをもつタイプの二つのポンピングス
テージの間でも効果的に使用でき、ロータ6bが配置され
るポンピングステージの圧縮比を増加させる。

【００３１】図３および７乃至９において、ステータ5b
の一つは、それぞれが対応する隣接したロータ6ｂと協
働する二重螺旋シーリングを有する。二重螺旋シーリン
グは、スタータ5bの一面に位置する一つの螺旋チャネル
18により、そして隣接するステータ5bに向かい合った面
に位置する四つの螺旋チャネル19により得られる。

【００３２】チャネル18および19の向きは、ポンピング
ステージにより形成されるポンピング流に関して反ポン
ピング効果を発生するように決められ、このような反ポ
ンピングは、より高い圧力をもって、ロータディスク6b
の面とステータディスク5bの面との間に位置する穴を通
ってステージに向かって逃げるガス分子の自然な運動と
は対称的である。

【００３３】図８および９は、矢印13により示された回
転方向をもつロータディスクの運動に関して、螺旋方向
を図示する。このように、ガスの外側に向くポンピング
が行われ、従ってポンピングステージのシーリングおよ
び圧縮比が増加する。

【００３４】一つのチャネル18をもつ構成と四つのチャ
ネル19をもつ構成とのいずれかの選択は、一つの螺旋チ
ャネルのシーリング結果が典型的に約10-1Paの低圧のも
とでより良いものとなっている一方で、四つのチャネル
が典型的に約10Pa（これはポンプのガス排気ポートの近
傍で存在すべき圧力である）という高圧のもとでよりよ
い結果をもたらすという事実に基づく。

【００３５】このような構成において螺旋シーリングは
ラビリンス(labyrinth)シーリングとして知られている
ものと似ているが、ターボ分子ポンプにおけるそれらの
機能は全く異なっている。ラビリンスシーリングの目的
は、コンダクタンス、したがって吹き抜けによる損失を
減少させるために、ターボ機の静的パーツと回転パーツ
との間の隙間路を幾何学的に増加させることである。し
たがって、ラビリンスシーリングは、それらがシーリン
グ効果を達成するために可動パーツを使用せず、経路の
増加の幾何学的効果のみを利用することから、“静的”
装置なのである。

【００３６】対照的に、本発明（逃げ道を幾何学的に増
加させることにも寄与する）は、ごみを吸い込む傾向の
あるガスを吐き出すことにより劇的に作動する。

【００３７】さらに、本発明の他の実施例として、前述
してきた実施例のものに関して、一つの螺旋チャンネル
または四つの螺旋チャネルの向きを逆にしてもよい。こ
の場合、螺旋チャネルはロータディスクの回転に関して
近づくもので、チャネルの一入口は、ポンピング組立体
におけるポンピングチャネルの出口に対応して配置さ
れ、平滑なロータをもつポンピングステージの同じ向き
で、ポンピング効果が達成される。ガスが螺旋チャンネ
ルへと押し出され、ポンプ内部に吐き出されるという解
決策でもって、螺旋チャンネルのポンピング効果により
ポンピングステージの圧縮比を増加させることができ
る。好適実施例、特に腐食性ガスの存在の下における好
適実施例としては、螺旋シールを直列に（図３に示され
ているように配置される）配列するもので、第1のもの
は、プレート11の表面に形成され、外側に向かってポン
ピングする一つのチャネルを有し、第2のものはプレー
ト11に面するステータ5bの表面に形成され、内側に向か
ってポンピングする一つのチャネルを有し、第3のもの
は同じステータ5bの他の面に形成され、外側に向かって
ポンピングする四つのチャネルをもつ。この構成にした
がったポンプにおいて、このような螺旋チャンネルと協
働するポンピングステージは圧縮比ｋ=10をもつことが
実験的に分かった。三つの螺旋シールを使用することに
より、ｋ=1000に近い圧縮比を達成することが可能とな
った。

【００３８】図2に示された反転した動的シールに関し
て、ポンプのサイズが等しいとき本発明により得られた
シーリングは、70ｍ/秒に代わって典型的に200ｍ/秒の
より高い周囲速度（これはロータ内に位置するシリンダ
上におけるものでななく、平面上で形成される）で効果
的に作動する。特定の実施例を参照して本発明が説明さ
れてきたが、この説明は、説明のためのもので、特許請
求の範囲により画成される発明の思想から逸脱すること
なく、当業者によりなし得る種々の修正例および応用例
に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来技術のターボ分子ポンプの略示断面図であ
る。

【図２】従来技術の、反転した動的シールを組み入れた
ターボ分子ポンプの略示断面図である。

【図３】本発明にしたがったターボ分子ポンプの断面図
である。

【図４】一つのチャネルを有する螺旋シールが形成され
たプレートの平面図である。

【図５】四つのチャネルを有する螺旋シールが形成され
たプレートの平面図である。

【図６】図４または図５とは反対側からみたプレートの
平面図である。

【図７】図３に示されたポンプのステータの断面図であ
る。

【図８】図７に示されたステータの平面図である。

【図９】図７のステータの、図８に示されたのとは反対
側の平面図である。

【符号の説明】

1 ターボ分子ポンプ 2 ポンプ体 3 ガス入口ポート 4 ガス排気ポート 5a、5b ステータ 6a、6b ロータ 7 回転シャフト 8 ベアリング 9 支持手段 10 モータ 56a、56b ポンピング組立体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ターボ分子ポンプであって、ガス入口ポートおよびガス排気ポートを有するポンプ体
と、該ポンプ体内に位置し、前記入口ポートと排気ポートと
の間に配置され、それぞれがロータおよび向き合った一
対の面をもつステータを有する、複数の真空ポンピング
ステージを含み、前記複数の真空ポンピングステージの少なくとも一つの
ステータが、前記ステータの前記面の一方に形成される
少なくとも一つの螺旋チャネルを有する、ところのター
ボ分子ポンプ。
【請求項２】請求項1に記載のターボ分子ポンプであ
って、さらに、前記複数の真空ポンピングステージのそれぞれのロータ
を取り付けるための回転シャフトと、前記回転シャフトを保持するための少なくとも一つの支
持手段と、前記回転シャフトを保持する前記支持手段と、それに近
接した前記ポンピングステージとの間に配置されるプレ
ートとを有し、前記プレートが、前記チャネルに含まれるガスを、前記
シャフトに近接した領域からそこから離れた末端領域に
押し出し、そして吐き出すために、前記近接したポンピ
ングステージに面した面に形成される少なくとも一つの
螺旋チャンネルを有する、ところのターボ分子ポンプ。
【請求項３】請求項2に記載のターボ分子ポンプであ
って、前記ポンプ体がさらに、前記プレートの近傍に少なくと
も一つの軸線方向に穴を含み、前記プレートがさらに、
前記プレートと前記近接したポンピングステージの前記
ロータとの間に不活性ガスを導入し、前記螺旋チャネル
とともに螺旋シールを形成するために、前記軸線方向の
穴と連通する少なくとも一つの螺旋チャネルを含む、と
ころのターボ分子ポンプ。
【請求項４】請求項3に記載のターボ分子ポンプであ
って、前記プレートが、前記ポンプ体の各軸線方向の穴と連通
する三つの半径方向の半径方向のチャネルを有する、と
ころのターボ分子ポンプ。
【請求項５】請求項4に記載のターボ分子ポンプであ
って、前記半径方向のチャンネル同士の間に等しい間隔があけ
られる、ところのターボ分子ポンプ。
【請求項６】請求項3に記載のターボ分子ポンプであ
って、前記プレートが同じ方向に伸長する四つの螺旋チャネル
を有する、ところのターボ分子ポンプ。
【請求項７】請求項3に記載のターボ分子ポンプであ
って、前記入口ポートに近接したところに位置する一つ以上の
ポンピングステージが羽根をもつロータを含み、第1の
ポンピング組立体を形成し、前記排気ポートに近接した
ところに位置する一つ以上のポンピングステージが平坦
なディスクをもつロータを含み、第2のポンピング組立
体を形成するところのターボ分子ポンプ。
【請求項８】請求項7に記載のターボ分子ポンプであ
って、前記第2のポンピング組立体の少なくとも一つのステー
タが、その各面上に少なくとも一つの螺旋チャネルを有
する、ところのターボ分子ポンプ。
【請求項９】請求項7に記載のターボ分子ポンプであ
って、前記第2のポンピング組立体の前記ステータが、その面
の少なくとも一面に少なくとも一つの螺旋チャネルを有
する、ところのターボ分子ポンプ。
【請求項１０】請求項7に記載のターボ分子ポンプで
あって、前記第2のポンピング組立体の前記ステータが、前記プ
レートに面する前記ステータの一つの面上に一つのチャ
ネルを、その向かい側の面に四つのチャネルを有する、
ところのターボ分子ポンプ。
【請求項１１】ターボ分子ポンプであって、入口ポートおよび排気ポートを有するポンプ体と、前記入口および排気ポートのそれぞれの近傍で、前記ポ
ンプ体内に配置される第1および第2のポンピング組立体
であって、前記各ポンピング組立体が複数のロータおよ
びステータを有し、前記ポンピング組立体の各ロータは
それぞれのスタータに隣接し、前記第1のポンピング組
立体の各ロータが羽根をもつロータディスクを有し、前
記第2のポンピング組立体の各ロータが平坦なディスク
を有する、ところの第および第2のポンピング組立体
と、前記第1および第2のポンピング組立体の複数のロータを
取り付けるための回転シャフトと、前記回転シャフトを保持するための支持手段と、前記回転シャフトと前記支持手段との間に配置されるプ
レートと、を含み、前記プレートが、ガスを、前記回転シャフトに近接した
領域から外に向かってポンピングするために、そこで近
接する前記第2のポンピング組立体の前記ロータに面す
る面上に少なくとも一つの螺旋チャネルを有し、前記プレートに近接する第2のポンピング組立体の前記
ステータが、ガスを、前記回転シャフトに近接した領域
から内側に向けてポンピングするために、前記プレート
に面する第1の表面上に形成される少なくとも一つの螺
旋チャネルを有し、ガスを、前記回転シャフトに近接し
た領域から外に向けてポンピングするために、前記第1
の表面とは反対側の第2の表面上に形成される複数のチ
ャネルを有する、ところのターボ分子ポンプ。
【請求項１２】ターボ分子ポンプであって、ガス入口ポートおよびガス排気ポートを有するポンプ体
と、該ポンプ体内に位置し、それぞれの複数のステータおよ
びロートにより形成されるポンピング組立体であって、
前記各ステータが各ロータに隣接し、かつ向かい合う一
対の面を有し、前記各ロータがディスクを有し、前記ス
テータの少なくとも一つが、前記ステータの少なくとも
一つの面上に形成される少なくとも一つの螺旋チャネル
を有する、ところのポンピング組立体と、前記複数のロータおよびステータが取り付けられる回転
シャフトと、前記回転シャフトのための少なくとも一つの支持体と、
を含む、ところのターボ分子ポンプ。
【請求項１３】請求項12に記載のターボ分子ポンプで
あって、前記ポンピング組立体が、前記ガス入口ポートに近接す
る第1のポンピング組立体、および前記ガス排気ポート
に近接する第2のポンピング組立体を有し、前記第1およ
び第2のポンピング組立体の各ロータが羽根をもつロー
タディスクおよび平坦なロータディスクをそれぞれ有す
る、ところのターボ分子ポンプ。
【請求項１４】請求項13に記載のターボ分子ポンプで
あって、さらに、前記第2のポンピング組立体と前記支
持体との間に位置するプレートを含む、ところのターボ
分子ポンプ。
【請求項１５】請求項14に記載のターボ分子ポンプで
あって、前記プレートに近接して位置する少なくとも一つのステ
ータが、前記プレートに面する少なくとも一つの螺旋チ
ャネルを含む、ところのターボ分子ポンプ。
【請求項１６】請求項14に記載のターボ分子ポンプで
あって、前記第2のポンピング組立体の少なくとも一つのステー
タが、前記第2のポンピング組立体の隣接するステータ
に面する少なくとも一つの螺旋チャネルを有する、ター
ボ分子ポンプ。
【請求項１７】請求項14に記載のターボ分子ポンプで
あって、前記プレートが少なくとも一つの螺旋チャネルを有す
る、ところのターボ分子ポンプ。
【請求項１８】請求項15に記載のターボ分子ポンプで
あって、さらに、前記螺旋チャネルをもつ前記ステータ
と、そこで隣接し、前記螺旋チャネルに面する前記ロー
タとの間に形成される、ポンピングチャネルを含み、動作中に、前記螺旋チャネルに含まれるガスが、前記シ
ャフトから離れた末端領域から前記シャフトに近接する
領域に向けて押し出され、吐き出される、ところのター
ボ分子ポンプ。
【請求項１９】請求項16に記載のターボ分子ポンプで
あって、さらに、前記螺旋チャネルをもつ前記ステータ
と、そこで隣接し、前記螺旋チャネルに面する前記ロー
タとの間に形成される、ポンピングチャネルを含み、動作中に、前記螺旋チャネルに含まれるガスが、前記シ
ャフトに近接した領域から前記シャフトから離れた末端
領域に向けて押し出され、吐き出される、ところのター
ボ分子ポンプ。
【請求項２０】請求項17に記載のターボ分子ポンプで
あって、さらに、前記プレートに近接した前記第2のポ
ンピング組立体の前記ロータと、前記螺旋チャネルをも
つプレートとの間に形成されるポンピングチャネルを含
み、動作中に、前記螺旋チャネルに含まれるガスが前記シャ
フトに近接した領域から前記シャフトから離れた末端領
域に向けて押し出され、吐き出される、ところのターボ
分子ポンプ。
【請求項２１】請求項20に記載のターボ分子ポンプで
あって、さらに、不活性ガスを前記ポンプ体に導入する
ために、前記ポンプ体に少なくとも半径方向の入口穴を
有する、ところのターボ分子ポンプ。
【請求項２２】請求項21に記載のターボ分子ポンプで
あって、前記プレートがさらに複数の半径方向のチャネルを含
み、前記ポンプ体がさらに、ガス流を前記半径方向の入
口穴から前記螺旋チャネルに向けるために、複数の軸線
方向の穴をそれそれ含む、ところのターボ分子ポンプ。
【請求項２３】請求項22に記載のターボ分子ポンプで
あって、さらに、前記プレート上に設けられ、前記螺旋
チャネルにより形成される螺旋シーリングを含む、とこ
ろのターボ分子ポンプ。
【請求項２４】請求項22に記載のターボ分子ポンプで
あって、少なくとも一つのステータが、その面上に少なくとも一
つの螺旋チャネル、およびその向かい合う面上に位置す
る少なくとも他の螺旋ポンピングチャネルを備え、ポン
ピングチャネルを画成する前記螺旋チャネルが前記回転
シャフトの近傍の領域から、前記回転シャフトから離れ
た領域に向けて、またはその逆方向にガスを押し出し、
そして吐き出す、ところのターボ分子ポンプ。