JP2013117308A - 転がり軸受を備えた真空ポンプ - Google Patents
転がり軸受を備えた真空ポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013117308A JP2013117308A JP2012264170A JP2012264170A JP2013117308A JP 2013117308 A JP2013117308 A JP 2013117308A JP 2012264170 A JP2012264170 A JP 2012264170A JP 2012264170 A JP2012264170 A JP 2012264170A JP 2013117308 A JP2013117308 A JP 2013117308A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- rolling bearing
- rolling
- ring
- lubricant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 title claims abstract description 78
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 claims description 31
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 claims description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 4
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000009291 secondary effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/056—Bearings
- F04D29/0566—Ceramic bearing designs
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/06—Lubrication
- F04D29/063—Lubrication specially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/66—Special parts or details in view of lubrication
- F16C33/6637—Special parts or details in view of lubrication with liquid lubricant
- F16C33/664—Retaining the liquid in or near the bearing
- F16C33/6648—Retaining the liquid in or near the bearing in a porous or resinous body, e.g. a cage impregnated with the liquid
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
- F16C19/02—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows
- F16C19/04—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly
- F16C19/06—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly with a single row or balls
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2206/00—Materials with ceramics, cermets, hard carbon or similar non-metallic hard materials as main constituents
- F16C2206/40—Ceramics, e.g. carbides, nitrides, oxides, borides of a metal
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2240/00—Specified values or numerical ranges of parameters; Relations between them
- F16C2240/40—Linear dimensions, e.g. length, radius, thickness, gap
- F16C2240/70—Diameters; Radii
- F16C2240/80—Pitch circle diameters [PCD]
- F16C2240/82—Degree of filling, i.e. sum of diameters of rolling elements in relation to PCD
- F16C2240/84—Degree of filling, i.e. sum of diameters of rolling elements in relation to PCD with full complement of balls or rollers, i.e. sum of clearances less than diameter of one rolling element
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C25/00—Bearings for exclusively rotary movement adjustable for wear or play
- F16C25/06—Ball or roller bearings
- F16C25/08—Ball or roller bearings self-adjusting
- F16C25/083—Ball or roller bearings self-adjusting with resilient means acting axially on a race ring to preload the bearing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C27/00—Elastic or yielding bearings or bearing supports, for exclusively rotary movement
- F16C27/06—Elastic or yielding bearings or bearing supports, for exclusively rotary movement by means of parts of rubber or like materials
- F16C27/066—Ball or roller bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/303—Parts of ball or roller bearings of hybrid bearings, e.g. rolling bearings with steel races and ceramic rolling elements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
- F16C33/66—Special parts or details in view of lubrication
- F16C33/6637—Special parts or details in view of lubrication with liquid lubricant
- F16C33/6688—Lubricant compositions or properties, e.g. viscosity
Abstract
【解決手段】ロータおよび転がり軸受を備えた真空ポンプであって、転がり軸受はロータを回転可能に支持し且つ転がり本体32を含み、転がり本体32がボール直径102を有し且つ転がり本体32のボール中心点100が円周を有するピッチ円104上に位置する、転がり軸受を備えた真空ポンプに関するものである。高速回転ロータの支持を改善するために、転がり軸受が完全にボールのみで支持器なしで形成され且つ支持ボールのボール直径102の総和が円周の約0.85倍ないし0.97倍の値であることが提案される。
【選択図】図2
Description
循環潤滑は確かに寿命および使用温度に関して改善を意味するが、構造が複雑である。このシステムにおいては、しばしば、潤滑剤供給の改善が図られている。ドイツ特許公開第102007014142A1号は、例えば、保持器の内側に設けられた螺旋状溝により保持器と外輪との間に潤滑膜を形成することを提案する。
主請求項に記載のように形成された真空ポンプの転がり軸受は、一方で支持するボールの数に関する高い支持数(又は支持強度、支持指標)と、他方で保持器を省略することに基づく低減された摩擦と、を特徴とする。低減された摩擦は軸受温度を低下させ、これにより摩耗が低下し且つ潤滑量を減少することが可能である。これは真空ポンプの真空範囲内における潤滑剤損失のリスクを低下させ且つコストを低減させる。高い支持数は小さい寸法の転がり軸受の使用を可能にし、このことは高い回転数を可能にし且つコストを低減させる。同時に、保持器を省略することによりエラー源が排除される。請求項1に記載の形態により、高速回転ロータを備えた真空ポンプ内に使用するために、完全にボールのみの転がり軸受を提供し、且つこれにより、完全にボールのみの転がり軸受はきわめて小さい寿命のために高い回転数に対して適切ではないという先入観を克服することが可能となった。
真空ポンプ内にロータ10が配置され、ロータ10は軸12を有している。軸は2つの点で回転可能に支持される。一方の点に、外輪34、内輪36およびこれらの輪間に配置されたボール32を有する、完全にボールのみで保持器のない転がり軸受30が存在し、他方の点に、永久磁気軸受16が設けられていてもよく、永久磁気軸受16は摩耗がなく且つ潤滑剤がないので高真空領域内に配置可能であることが有利である。転がり軸受の外輪34は軸受取付け部(軸受箱)28内に保持され、一方、軸受取付け部28はハウジング2内に保持されている。軸受取付け部28は、転がり軸受30が揺動を実行可能であるが、揺動が減衰されるように設計されている。
転がり軸受の内輪に存在する内側転がり面108と、転がり軸受の外輪に形成されている外側転がり面110とが示されている。転がり面の間にボール32が存在し、ボール32はそれぞれボール中心点100を有している。ボール中心点100は、良好な近似において、円即ちピッチ円104上に存在し、ピッチ円104は、ピッチ円直径106およびこれから得られる円周を有している。支持ボール32が示され、支持ボール32は、内側および外側転がり面108、110上を同時に転がる。支持ボール32のボール直径102の総和は、円104の円周の約0.85倍ないし0.97倍の値となっていることが好ましい。図2に示す図は、寸法に関して正確ではない。支持ボール32のボール直径102の総和を、円104の円周の約0.85倍ないし0.97倍の値とすることにより、転がり軸受は、きわめて良好な転がり特性となり、また、長寿命が達成される。有利な一変更態様により、支持ボール32のボール直径102の総和が円周の約0.89倍ないし0.92倍の値であってもよい。
転がり軸受の内輪は、第1および第2の部分輪361および362を有する2つの部分で形成されている。両方の部分輪361、362が軸12上に配置されている。内輪の分割は、回転軸112に対して垂直な平面内で、分割が転がり面の高さ内に位置しているように行われることが好ましい。
4 フランジ
6 吸込開口
8 出口
10 ロータ
12 軸
14 ロータ・ディスク
16 永久磁気軸受
20 ステータ・ディスク
24 駆動コイル
26 駆動磁石
28 軸受取付け部(軸受箱又は軸受枠部)
30 転がり軸受
32 転がり本体(支持ボール)
34 外輪
36 内輪
40 排出通路
42 フランジ
44 シール・カラー
50、52、54 揺動要素
60 潤滑剤貯蔵装置
62 潤滑剤供給装置
64 構造部分(ナット)
66 円錐面
68 部分
70 容積
72 遠心放射端縁
74 潤滑剤戻し装置
100 ボール中心点
102 ボール直径
104 ピッチ円
106 ピッチ円直径
108 内側転がり面
110 外側転がり面
112 回転軸
341 外輪の第1の部分輪
342 外輪の第2の部分輪
361 内輪の第1の部分輪
362 内輪の第2の部分輪
Claims (12)
- 特に高速で回転するロータ(10)および転がり軸受(30)を備えた真空ポンプであって、
転がり軸受(30)は、ロータ(10)を回転可能に支持し且つ転がり本体(32)を含み、転がり本体(32)がボール直径(102)を有し且つ転がり本体(32)のボール中心点(100)が円周を有するピッチ円(104)上に位置する、転がり軸受(30)を備えた真空ポンプにおいて、
転がり軸受(30)が完全にボールのみで支持器なしで形成され、支持ボールのボール直径(102)の総和が円周の約0.85倍ないし0.97倍の値であることを特徴とする転がり軸受を備えた真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
転がり軸受が、第1の部分輪(361)および第2の部分輪(362)を有する内輪(36)を含むことを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項2に記載の真空ポンプにおいて、
内輪(36)の転がり面(108)が溝として形成され、溝は第1の部分輪(361)および第2の部分輪(362)にわたり伸長することを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の真空ポンプにおいて、
全てのボールが支持ボールであることを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の真空ポンプにおいて、
転がり軸受が、第1の部分輪(341)および第2の部分輪(342)を有する外輪(34)を含むことを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の真空ポンプにおいて、
外輪(34)および内輪(36)の少なくともいずれかが、重量%において、炭素0.25−0.35、クロム14−16、モリブデン0.85−1.10および窒素0.3−0.5の合金元素を有する鋼を含むことを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の真空ポンプにおいて、
支持ボールがセラミックであることを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の転がり軸受(30)を備えた真空ポンプにおいて、
真空ポンプがターボ分子ポンプとして形成されている、真空ポンプ。 - 請求項8に記載の真空ポンプにおいて、
転がり軸受(30)がグリース潤滑されていることを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項8に記載の真空ポンプにおいて、
真空ポンプが、転がり軸受(30)に潤滑剤を供給するために、潤滑剤循環潤滑を含むことを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項10に記載の真空ポンプにおいて、
潤滑剤は反応不活性でありおよび/または90℃を超える温度に対して適していることを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項10または11のいずれかに記載の真空ポンプにおいて、
潤滑剤循環潤滑が円錐面(66)を有する構造部分(64)を含み、
円錐面(66)が、転がり軸受(30)の内輪(36)および外輪(34)の間の容積(70)内に配置されている部分(68)を有することを特徴とする真空ポンプ。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102011119907.5 | 2011-12-01 | ||
DE102011119907A DE102011119907A1 (de) | 2011-12-01 | 2011-12-01 | Wälzlager für eine Vakuumpumpe |
EP12192697.6 | 2012-11-15 | ||
EP12192697.6A EP2600005B1 (de) | 2011-12-01 | 2012-11-15 | Vakuumpumpe mit einem käfiglosen Wälzlager |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013117308A true JP2013117308A (ja) | 2013-06-13 |
JP5840596B2 JP5840596B2 (ja) | 2016-01-06 |
Family
ID=47227610
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012264170A Active JP5840596B2 (ja) | 2011-12-01 | 2012-12-03 | 転がり軸受を備えた真空ポンプ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2600005B1 (ja) |
JP (1) | JP5840596B2 (ja) |
CN (1) | CN103133362B (ja) |
DE (1) | DE102011119907A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017020495A (ja) * | 2015-07-08 | 2017-01-26 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | ターボ機械 |
JP2018517089A (ja) * | 2015-04-14 | 2018-06-28 | エドワーズ リミテッド | 真空ポンプ用潤滑剤 |
GB2574648A (en) * | 2018-06-14 | 2019-12-18 | Edwards Ltd | Pump bearing lubricant supply systems |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10787195B2 (en) * | 2013-05-22 | 2020-09-29 | Jtekt Corporation | Electric power steering system |
GB2535163B (en) | 2015-02-09 | 2017-04-05 | Edwards Ltd | Pump lubricant supply systems |
GB2552700A (en) | 2016-08-04 | 2018-02-07 | Edwards Ltd | Turbomolecular pump lubricant supply systems |
WO2023156765A1 (en) * | 2022-02-16 | 2023-08-24 | Edwards Limited | A pump, a bearing assembly for a pump and a method of assembling the bearing assembly |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07110029A (ja) * | 1993-10-08 | 1995-04-25 | Koyo Seiko Co Ltd | 総玉軸受 |
JPH11117942A (ja) * | 1997-07-10 | 1999-04-27 | Fag Aircraft Super Precision Bearing Gmbh | ころがり軸受 |
JP2002061592A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-02-28 | Osaka Vacuum Ltd | 分子ポンプの油循環ポンプ装置 |
JP2005287147A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Nsk Ltd | ウォームギア・モータ装置 |
JP2005344184A (ja) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Daido Steel Co Ltd | マルテンサイト系ステンレス鋼 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2913061B2 (ja) * | 1990-03-05 | 1999-06-28 | 光洋精工株式会社 | 真空用玉軸受およびそれを用いたターボ分子ポンプ |
FR2811385B1 (fr) * | 2000-07-06 | 2002-11-29 | Cit Alcatel | Roulements hybrides d'atterrissage pour pompe a vide |
EP1760319A4 (en) * | 2004-06-25 | 2010-07-07 | Osaka Vacuum Ltd | BEARING SUPPORT STRUCTURE FOR TURBOMOLECULAR PUMP |
DE102007014142B4 (de) | 2007-03-23 | 2019-05-29 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
DE102007033905A1 (de) * | 2007-07-20 | 2009-01-22 | Schaeffler Kg | Vollkugeliges Schrägkugellager |
DE102009052180A1 (de) * | 2009-11-06 | 2011-05-12 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Hochvakuumpumpe |
-
2011
- 2011-12-01 DE DE102011119907A patent/DE102011119907A1/de active Pending
-
2012
- 2012-11-15 EP EP12192697.6A patent/EP2600005B1/de active Active
- 2012-11-28 CN CN201210497170.6A patent/CN103133362B/zh active Active
- 2012-12-03 JP JP2012264170A patent/JP5840596B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07110029A (ja) * | 1993-10-08 | 1995-04-25 | Koyo Seiko Co Ltd | 総玉軸受 |
JPH11117942A (ja) * | 1997-07-10 | 1999-04-27 | Fag Aircraft Super Precision Bearing Gmbh | ころがり軸受 |
JP2002061592A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-02-28 | Osaka Vacuum Ltd | 分子ポンプの油循環ポンプ装置 |
JP2005287147A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Nsk Ltd | ウォームギア・モータ装置 |
JP2005344184A (ja) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Daido Steel Co Ltd | マルテンサイト系ステンレス鋼 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018517089A (ja) * | 2015-04-14 | 2018-06-28 | エドワーズ リミテッド | 真空ポンプ用潤滑剤 |
US10662955B2 (en) | 2015-04-14 | 2020-05-26 | Edwards Limited | Vacuum pump lubricants |
JP7023713B2 (ja) | 2015-04-14 | 2022-02-22 | エドワーズ リミテッド | 真空ポンプ用潤滑剤 |
JP2017020495A (ja) * | 2015-07-08 | 2017-01-26 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | ターボ機械 |
GB2574648A (en) * | 2018-06-14 | 2019-12-18 | Edwards Ltd | Pump bearing lubricant supply systems |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103133362A (zh) | 2013-06-05 |
EP2600005A1 (de) | 2013-06-05 |
CN103133362B (zh) | 2016-12-21 |
JP5840596B2 (ja) | 2016-01-06 |
EP2600005B1 (de) | 2016-05-04 |
DE102011119907A1 (de) | 2013-06-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5840596B2 (ja) | 転がり軸受を備えた真空ポンプ | |
JP2008240728A (ja) | 真空ポンプ | |
JP5187593B2 (ja) | 真空ポンプ | |
US8628247B2 (en) | Bearing structure of turbocharger | |
JP4510638B2 (ja) | 玉軸受およびこの形式の軸受が装備された真空ポンプ | |
CN107044439B (zh) | 真空泵 | |
US9909592B2 (en) | Vacuum pump | |
US11828284B2 (en) | Screw compressor element and machine | |
CN107532505B (zh) | 旋转机械 | |
KR101004701B1 (ko) | 원심압축기 | |
US9086093B2 (en) | Angular contact ball bearing | |
WO2019163162A1 (ja) | ティルティングパッドジャーナル軸受及びこれを用いた回転機械 | |
AU2014273308A1 (en) | Electro-magnetic bearing assembly with inner ventilation to cool the bearing | |
JP6747355B2 (ja) | 遠心圧縮機 | |
CN111720355B (zh) | 电动流体泵的轴承结构 | |
JP2020041470A (ja) | コンプレッサ | |
US11493090B2 (en) | Bearing cage | |
CN103322396B (zh) | 碟式分离机高速轴承润滑装置 | |
KR102155064B1 (ko) | 저널 베어링 및 회전 기계 | |
JP2010190400A (ja) | タッチダウン軸受 | |
JP2020016312A (ja) | 油浴式すべり軸受装置及び回転機械 | |
JP2007132487A (ja) | ターボ分子ポンプ用タッチダウン軸受装置 | |
CN111417788B (zh) | 轴承保持架限位器 | |
US6991424B2 (en) | Gas friction pump | |
JP4484051B2 (ja) | 転がり軸受 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140411 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150107 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20150403 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150617 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151014 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151111 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5840596 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |