JP2002040354A - 光スキャナ - Google Patents

光スキャナ

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JP2002040354A
JP2002040354A JP2000227482A JP2000227482A JP2002040354A JP 2002040354 A JP2002040354 A JP 2002040354A JP 2000227482 A JP2000227482 A JP 2000227482A JP 2000227482 A JP2000227482 A JP 2000227482A JP 2002040354 A JP2002040354 A JP 2002040354A
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torsion bar
optical scanner
displacement
rotation
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Kazunari Tokuda
一成 徳田
Yoshiro Nishimura
芳郎 西村
Masahiro Katashiro
雅浩 片白
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Olympus Optical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 激しい衝撃や振動を受けた場合でも、破損や
特性変化を防止できる光スキャナを提供する。 【解決手段】 本実施の形態に従った光スキャナ１０
は、反射面を有する可動板２０と、１対の板ばね状のト
ーションバー３０により可動板２０を開口４１中に揺動
可能に支持する支持体４０と、可動板２０の表面の外周
に沿って設けられているコイル５と、支持体４０の表面
に固定されている１対の永久磁石６と、可動板２０に対
面して設けられている制限部材７とを有している。制限
部材７は、支持体４０においてコイル側の表面に設けら
れているコイル側制限部材７０と、反射面側の表面に固
定されている反射面側制限部材７１とを有している。制
限部材７が、可動板２０の所定量以上の変位を防ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、可動板が支持体に
対してトーションバーにより支持され、トーションバー
を回動軸として可動板を回動することにより光をスキャ
ンする方式の光スキャナに関する。
【０００２】
【従来の技術】上述した如き方式の光スキャナは、例え
ば、特開平１０−１２３４４９号公報により広く知られ
ている。
【０００３】特開平１０−１２３４４９号公報の光スキ
ャナ１は、図１１中に示されている如く、可動板２と、
１対の板ばね状のトーションバー３により可動板２を揺
動可能に支持する支持体４と、可動板２の外周に沿って
設けられているコイル５とが半導体製造プロセスを利用
して一体に形成されており、支持体４に２個の永久磁石
６を固定した構成になっている。１対のトーションバー
３は、軸心が一致するように直線状に配置されている。
コイル５の両端は、１対のトーションバー３上を通り、
支持体４上に引き出されており、支持体４上に１対の給
電パッド５ａを構成している。コイル５の１対の給電パ
ッド５ａからコイル５に電流を印加することによって、
永久磁石６により形成された磁界の中で電流がローレン
ツ力を発生させ、これにより可動板２は１対のトーショ
ンバー３を回動軸とした揺動（回動）を行う。可動板２
の裏面（コイル５が設けられている面に対して反対側の
表面）に反射面を形成されており、該反射面に外部から
光を入射させることにより、光スキャナとして用いられ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記光スキャナは落下
するなどして強い衝撃や振動を受けると、以下に示すよ
うな動作をする。
【０００５】以下、図１２を参照しながら上記光スキャ
ナが落下して衝撃を受けた際にトーションバーが受ける
力について説明する。
【０００６】まず、可動板２が中立位置ある光スキャナ
１が、可動板２の表面が水平な状態で、水平な床面に対
して落下する第１の方向の落下について図１２（ａ）を
用いて説明する。なお、前記中立位置とは、可動板２が
１対のトーションバー３により、支持体４に対して同一
平面に支持されている状態を示している。この中立位置
において、１対のトーションバー３も支持体４に対して
同一平面で互いの軸心が一致するような状態に保たれて
いる。
【０００７】前記第１の方向の落下が行われると、光ス
キャナ１が前記床面に衝突した瞬間に、可動板２には、
可動板２の質量に落下による加速度を乗じた慣性力が加
わる。このとき可動板２は、図１２（ａ）に示すよう
に、可動板２の表面に対して直交する方向に変位する。
前記慣性力が過大な場合は、１対のトーションバー３に
許容以上の応力が発生し、トーションバー３が紙面にお
いて下方に伸び又は曲げられて永久変形が生じ、光スキ
ャナ１に破損や特性変化が生じる可能性がある。このよ
うにことで、光スキャナ１に破損や特性変化が生じると
可動板２に所望の揺動を行わせることが出来ず、所望の
光の走査が行えなくなる。
【０００８】可動板２が中立位置ある光スキャナ１が、
１対のトーションバー３を水平にし可動板２を、水平な
床面Ｈに対して垂直にし、可動板２の重心と回動軸の軸
心とが一致していない状態で、矢印Ｆで示す如く落下す
る不一致状態第２の方向の落下について図１２（ｂ）及
び（ｂ’）を用いて説明する。
【０００９】前記不一致状態第２の方向の落下が行われ
ると、光スキャナ１が前記床面Ｈに衝突した瞬間に、可
動板２には、第１の方向の落下と同様に慣性力が加わ
る。ここで、可動板２の重心が可動板２の回転軸と一致
していないため、前記慣性力が回転軸に対してモーメン
トとして作用する。従って、トーションバー３に伸び及
びねじれによる変形を起こし、図１２（ｂ’）に矢印Ｒ
で示すように、可動板２は、回動軸回りの回動方向へ変
位する。慣性力が過大な場合は、この変位によりトーシ
ョンバー３は、伸び及びねじれにより永久変形が生じ、
光スキャナ１に破損や特性変化が生じる可能性がある。
【００１０】可動板２が中立位置において、光スキャナ
１が、１対のトーションバー３の軸心及び可動板２を水
平面に対して垂直にし、可動板２の重心と回動軸の軸心
とが一致していない状態で、矢印Ｆで示す如く水平な床
面に対して落下する不一致状態第３の方向の落下につい
て図１２（ｃ）及び（ｃ’）を用いて説明する。
【００１１】前記不一致状態第３の方向の落下が行われ
ると、光スキャナ１が前記床面Ｈに衝突した瞬間に、可
動板２には、第１の方向の落下と同様に慣性力が加わ
る。このため、トーションバー３が伸び及び曲げによる
変形を起こし、図１２（ｃ’）に示すように、可動板２
は、回動軸に沿った面が支持体４に対して傾斜するよう
に変位する。慣性力が過大な場合は、この変位によりト
ーションバー３は、伸び及び曲げにより永久変形が生
じ、光スキャナ１が、破損や特性変化が生じる可能性が
ある。
【００１２】以上は、可動板２の重心と回動軸の軸心と
が一致していない場合の説明であるが、以下、可動板２
の重心と回動軸の軸心とが一致している場合の説明を行
う。
【００１３】可動板２が中立位置にある光スキャナ１
が、１対のトーションバー３を水平にし、可動板２の表
面を垂直にし、可動板２の重心と回動軸の軸心とが一致
している状態で、水平な床面に対して落下する一致状態
第２の方向の落下について図１２（ｄ）を用いて説明す
る。
【００１４】前記一致状態第２の方向の落下が行われる
と、可動板２には、光スキャナ１が前記床面に衝突した
瞬間に、第１の方向の落下と同様に慣性力が加わる。こ
のため、図１２（ｄ）に示すように、可動板２は垂直方
向に変位する。慣性力が過大な場合は、この変位により
トーションバー３は、伸びにより永久変形が生じ、光ス
キャナ１に破損や特性変化が生じる可能性がある。
【００１５】可動板２が中立位置にある光スキャナ１
が、１対のトーションバー３を垂直にし可動板２の表面
を垂直にした状態で、水平な床面に対して落下する一致
状態第３の方向の落下ついて図１２（ｅ）を用いて説明
する。
【００１６】前記一致状態第３の方向の落下が行われる
と、可動板２には、光スキャナ１が前記床面に衝突した
瞬間に、第１の方向の落下と同様に慣性力が加わる。こ
のため、図１２（ｅ）に示すように、可動板２はトーシ
ョンバー３の軸方向に変位する。慣性力が過大な場合
は、この変位によりトーションバー３は、伸び又は圧縮
により永久変形が生じ、光スキャナ１に破損や特性変化
が生じる可能性がある。
【００１７】上述のように、可動板２が所定の可動域を
超えて過度に変位すると、トーションバー３が塑性変形
を生じたり、亀裂を生じたりして、破損してしまう可能
性があり、そして、光スキャナ１の可動板２の揺動する
特性が変わる可能性を有している。本発明は上記欠点に
鑑みてなされたものであり、激しい衝撃や振動を受けた
場合でも、破損や特性変化を防止できる光スキャナを提
供することを目的とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決し、目的
を達成するために、本発明の光スキャナは、下記の如く
構成されている。
【００１９】本発明の光スキャナは、可動板が支持体に
対してトーションバーにより支持され、該トーションバ
ーを回動軸として該可動板が回動する光スキャナーにお
いて、衝撃が加わった時に該可動板と物理的に接触し
て、該可動板の所定量以上の変位を制限する制限部材
を、該可動板の表面から所定距離離れた位置に備えてい
ることを特徴としている。
【００２０】上記構成により、この光スキャナは、衝撃
が加わった時に、可動板が所定量以上の変位をしようと
しても、所定量以上の変位を制限する制限部材を備えて
いるため、可動板が、制限部材に当たり、それ以上の変
位することが防止される。このためトーションバーに発
生する応力を一定以下に抑えることができ、トーション
バーが塑性変形を生じたり、亀裂を生じたりして、光ス
キャナに破損や特性変化をしてしまうことを防ぐことが
出来る。なお、前記制限部材を、前記可動板の本来の動
作である回動をする場合において、可動板が前記制限部
材に接触することはなく、可動板の本来の動作である回
動は妨げない。
【００２１】また、前記制限部材は、中立位置の前記可
動板の表面から、該表面に対し垂直な方向に所定距離離
れた位置に設けられており、前記可動板の回動軸回りの
変位を制限するように構成することが可能である。
【００２２】上記構成により、この光スキャナは、衝撃
が加わった時に、可動板が回動軸に対して所定量以上に
回動しようとしても、可動板の回動変位を制限する部材
を備えているため、可動板が、制限部材に当たりそれ以
上に変位することが防止される。このためトーションバ
ーに発生する応力を一定以下に抑えることが出来、上記
変位による光スキャナに破損や特性変化を防ぐことがで
きる。
【００２３】また、前記制限部材は、中立位置における
前記可動板の表面の少なくとも一方に対面し、該表面か
ら該表面に対し垂直な方向に所定距離離れた位置に設け
られており、該表面に対して垂直な方向における該可動
板の変位を制限するように構成することが可能である。
【００２４】上記構成により、この光スキャナは、衝撃
が加わった時に、可動板が、可動板の表面に対して垂直
方向に所定量以上に変位しようとしても、前記垂直方向
への変位を制限する部材を備えているため、可動板が、
制限部材に当たりそれ以上に変位することが防止され
る。このためトーションバーに発生する応力を一定以下
に抑えることが出来、上記変位による光スキャナの破損
や特性変化を防ぐことができる。
【００２５】また、前記制限部材は、前記可動板におい
て前記回動軸と直交する方向の端部から、中立位置にお
ける前記可動板の表面と平行な方向で、且つ可動板の回
動軸と直交する方向に、所定距離離れた位置に設けられ
ており、中立位置における前記可動板の表面と平行な方
向で、且つ前記可動板の回動軸と直交する方向の変位を
制限するように構成することが可能である。
【００２６】上記構成により、この光スキャナは、衝撃
が加わった時に、可動板が、中立位置における前記可動
板の表面と平行な方向で、且つ前記可動板の回動軸と直
交する方向に所定量以上に変位しようとしても、上記の
方向への変位を制限する部材を備えているため、可動板
が、制限部材に当たりそれ以上に変位することが防止さ
れる。このためトーションバーに発生する応力を一定以
下に抑えることが出来、上記変位による光スキャナの破
損や特性変化を防ぐことができる。
【００２７】また、前記制限部材は、前記可動板の回動
軸方向の端部から、前記回動軸方向に所定距離離れた位
置に設けられており、前記可動板の回動軸方向の変位を
制限するように構成することが可能である。
【００２８】上記構成により、この光スキャナは、衝撃
が加わった時に、可動板が、可動板の回動軸方向に所定
量以上に変位しようとしても、上記の方向への変位を制
限する部材を備えているため、可動板が、制限部材に当
たりそれ以上に変位することが防止される。このためト
ーションバーに発生する応力を一定以下に抑えることが
出来、上記変位による光スキャナの破損や特性変化を防
ぐことができる。
【００２９】また、前記制限部材は、中立位置の前記可
動板の表面から、該表面に対し垂直な方向に所定距離離
れた位置に設けられており、前記可動板の回動軸回りの
変位を制限する回動変位制限部と、中立位置における前
記可動板の表面の少なくとも一方に対面し、該表面から
該表面に対し垂直な方向に所定距離離れた位置に設けら
れており、該表面に対して垂直な方向における該可動板
の変位を制限する垂直変位制限部と、を有することも可
能である。
【００３０】上記構成により、この光スキャナは、衝撃
が加わった時に、可動板が、可動板の回動軸回りに、及
び可動板の表面に垂直に所定量以上に変位しようとして
も、上記の各方向への変位を制限する部材を備えている
ため、可動板が上記各方向の変位制限部材に当たりそれ
以上に変位することが防止される。このためトーション
バーに発生する応力を一定以下に抑えることが出来、上
記変位による光スキャナの破損や特性変化を防ぐことが
できる。
【００３１】また、前記可動板は、第１の可動板と、第
１の可動板を開口中に収容する第２の可動板とを有して
おり、前記トーションバーが、第１のトーションバーと
第２のトーションバーとを有しており、該第１のトーシ
ョンバーが、該第１の可動板を第１のトーションバーを
回動軸として回動可能に該第２の可動板に接続し、該第
２のトーションバーが、該第２の可動板を第２のトーシ
ョンバーを回動軸として前記第１の可動板の回動方向と
直交する方向に回動可能に前記支持体に接続し、前記制
限部材が、中立位置の前記第１の可動板の表面から、該
表面に対し垂直な方向に所定距離離れた位置に設けられ
ており、前記第１及び第２の可動板の少なくとも一方の
回動軸回りの変位を制限するように構成することが可能
である。
【００３２】上記の構成により、制限部材が、前記第１
及び第２の可動板の少なくとも一方の回動軸回りの変位
を制限するため、衝撃が加わった時に、第１及び第２の
可動板の少なくとも一方が、上記各回動軸回りの回動方
向への所定量を超えて変位しようとしたとしても、上述
のように変位された第１及び第２の可動板の少なくとも
一方の可動板は、前記制限部材に当たってそれ以上の変
位することが防止される。このためトーションバーに発
生する応力を一定以下に抑えることが出来、上記変位に
よる光スキャナの破損や特性変化を防ぐことができる。
【００３３】また、前記可動板は、第１の可動板と、第
１の可動板を開口中に収容する第２の可動板とを有して
おり、前記トーションバーが、第１のトーションバーと
第２のトーションバーとを有しており、該第１のトーシ
ョンバーが、該第１の可動板を第１のトーションバーを
回動軸として回動可能に該第２の可動板に接続し、該第
２のトーションバーが、該第２の可動板を第２のトーシ
ョンバーを回動軸として前記第１の可動板の回動方向と
直交する方向に回動可能に前記支持体に接続し、前記制
限部材が、中立位置における前記第１の可動板の表面の
少なくとも一方に対面し、前記第１及び第２の可動板の
回動軸の交差する点を通り、該表面から該表面に対し垂
直な方向に所定距離離れた位置に設けられ、該表面に対
して垂直な方向における該第１の可動板の変位を制限す
るように構成することが可能である。
【００３４】上記の構成により、制限部材が、第１の可
動板の少なくとも一方の表面に対して垂直な方向におけ
る第１の可動板の変位を制限するため、衝撃が加わった
時に、第１の可動板が、前記第１の可動板の表面に対し
て垂直な方向における所定量を超えた変位をしようとし
たとしても、第１の可動板が、前記制限部材に当たって
それ以上の変位することが防止される。このため第１及
び第２のトーションバーに発生する応力を一定以下に抑
えることが出来、上記変位による光スキャナの破損や特
性変化を防ぐことができる。
【００３５】さらに、制限部材が、第１の可動板の回動
軸と第２の可動板の回動軸との交点（通常幾何学的形状
の中心と一致）に配置されているため、第１及び第２の
可動板の本来の動作である回動をする場合において、前
記第１及び第２の可動板が前記制限部材に接触すること
はなく、前記第１及び第２の可動板の本来の動作である
回動は妨げない。
【００３６】前記可動板は、第１の可動板と、第１の可
動板を開口中に収容する第２の可動板とを有しており、
前記トーションバーが、第１のトーションバーと第２の
トーションバーとを有しており、該第１のトーションバ
ーが、該第１の可動板を第１のトーションバーを回動軸
として回動可能に該第２の可動板に接続し、該第２のト
ーションバーが、該第２の可動板を第２のトーションバ
ーを回動軸として前記第１の可動板の回動方向と直交す
る方向に回動可能に前記支持体に接続し、前記制限部材
が、中立位置における前記第２の可動板の表面の少なく
とも一方に対面し、前記第２の可動板の表面から、第２
のトーションバーの軸を通り前記第２の可動板の表面に
対し垂直な方向に所定距離離れた位置に設けられ、前記
第２の可動板の表面に対して垂直な方向における前記第
２の可動板の変位を制限するように構成することが可能
である。
【００３７】上記の構成により、制限部材が、第２の可
動板の少なくとも一方の表面に対して垂直な方向におけ
る前記第２の可動板の変位を制限するため、衝撃が加わ
った時に、第２の可動板が、第２の可動板の少なくとも
一方の表面に対して垂直な方向における所定量を超えた
変位をしようとしたとしても、第２の可動板が、前記制
限部材に当たってそれ以上の変位することが防止され
る。このため第１及び第２トーションバーに発生する応
力を一定以下に抑えることが出来、上記変位による光ス
キャナの破損や特性変化を防ぐことができる。
【００３８】さらに、前記制限部材は、第２の可動板の
回動軸上に配置されているため、第２の可動板の本来の
動作である回動をする場合において、前記第２の可動板
が前記制限部材に接触することはない。このため、前記
制限部材は、第２の可動板の本来の動作である回動を妨
げない。
【００３９】また、前記可動板は、第１の可動板と、第
１の可動板を開口中に収容する第２の可動板とを有して
おり、前記トーションバーが、第１のトーションバーと
第２のトーションバーとを有しており、該第１のトーシ
ョンバーが、該第１の可動板を第１のトーションバーを
回動軸として回動可能に該第２の可動板に接続し、該第
２のトーションバーが、該第２の可動板を第２のトーシ
ョンバーを回動軸として前記第１の可動板の回動方向と
直交する方向に回動可能に前記支持体に接続し、前記制
限部材が、中立位置の前記第１の可動板の表面から所定
距離離れた位置に設けられており、前記第１及び第２の
可動板の少なくとも一方の回動軸回りの変位を制限する
回動制限部と中立位置における前記第１の可動板の表面
の少なくとも一方に対面し、前記第１及び第２の可動板
の回動軸の交差する点を通り、該表面から該表面に対し
垂直な方向に所定距離離れた位置に設けられ、該表面に
対して垂直な方向における該第１の可動板の変位を制限
する第１の垂直変位制限部と、上記第１の可動板の表面
と同一側の前記第２の可動板の表面に対面し、前記第２
の可動板の表面から、第２のトーションバーの軸を通り
前記第２の可動板の表面に対し垂直な方向に所定距離離
れた位置に設けられ、前記第２の可動板の表面に対して
垂直な方向における前記第２の可動板の変位を制限する
第２の垂直変位制限部と、を有することも可能である。
【００４０】上記の構成により、回動制限部が、前記第
１及び第２の可動板の少なくとも一方の回動軸回りの変
位を制限するため、衝撃が加わった時に、第１及び第２
の可動板の少なくとも一方が、上記各回動軸回りの回動
方向への所定量を超えて変位しようとしたとしても、上
述のように変位された第１及び第２の可動板の少なくと
も一方が前記回動制限部に当たってそれ以上の変位する
ことが防止される。このためトーションバーに発生する
応力を一定以下に抑えることが出来、光スキャナの破損
や特性変化を防ぐことができる。
【００４１】そして、第１の垂直変位制限部が、第１の
可動板の少なくとも一方の表面に対して垂直な方向にお
ける第１の可動板の変位を制限するため、衝撃が加わっ
た時に、第１の可動板が、前記第１の可動板の表面に対
して垂直な方向における所定量を超えた変位をしようと
したとしても、第１の可動板が、前記第１の垂直変位制
限部に当たってそれ以上の変位することが防がれる。こ
のため第１及び第２のトーションバーに発生する応力を
一定以下に抑えることが出来、上記変位による光スキャ
ナの破損や特性変化を防ぐことができる。
【００４２】さらに、第１の垂直変位制限部が、第１の
可動板の回動軸と第２の可動板の回動軸との交点（通常
幾何学的形状の中心と一致）に配置されているため、第
１及び第２の可動板の本来の動作である回動をする場合
において、前記第１及び第２の可動板が前記第１の垂直
変位制限部に接触することはなく、第１及び第２の可動
板の本来の動作である回動は妨げない。
【００４３】そして、前記第２の垂直変位制限部が、前
記第１の可動板の表面と同一側の第２の可動板の表面に
対して垂直な方向における前記第２の可動板の変位を制
限するため、衝撃が加わった時に、第２の可動板が、第
２の可動板の少なくとも一方の表面に対して垂直な方向
における所定量を超えた変位をしようとしたとしても、
第２の可動板が、前記第２の垂直変位制限部に当たって
それ以上の変位することが防がれる。このため第１及び
第２トーションバーに発生する応力を一定以下に抑える
ことが出来、上記変位による光スキャナの破損や特性変
化を防ぐことができる。
【００４４】さらに、前記第２の垂直変位制限部は、第
２の可動板の回動軸上に配置されているため、第２の可
動板の本来の動作である回動をする場合において、前記
第２の可動板が前記第２の垂直変位制限部に接触するこ
とはない。このため、前記制限部材は、第２の可動板の
本来の動作である回動を妨げない。
【００４５】
【発明の実施の形態】以下、図１乃至１０を参照しなが
ら本発明の種々の実施の形態について説明する。
【００４６】（第１の実施の形態） （構成）まず、第一の実施の形態に従った光スキャナ１
０について図1（ａ）及び図1（ｂ）を参照して説明す
る。図1（ａ）は、本実施の形態に従った光スキャナ１
０を示す斜視図である。図1（ｂ）は、図1（ａ）の光ス
キャナ１０を裏側から見た斜視図である。
【００４７】光スキャナ１０は、反射面を有する可動板
２０と、同軸に配置された１対の板ばね状のトーション
バー３０により可動板２０を開口４１中に揺動可能に支
持する支持体４０と、可動板２０の表面の外周に沿って
設けられているコイル５と、コイル５と同一側の支持体
４０の表面に固定されている１対の永久磁石６と、可動
板２０に対面して設けられている制限部材７とを有して
いる。可動板２０、トーションバー３０、及び支持体４
０は、半導体製造プロセスを利用して一体的に形成さ
れ、ねじり揺動体を形成しているが、可動板２０が所望
の揺動をし得るならば、各構成部材は、別体で構成さ
れ、接着剤などの接着手段により該ねじり揺動体を形成
することも可能である。
【００４８】可動板２０は、所定の厚さを有する長方形
の板状に形成されており、一方の表面には金などがコー
ティングされて反射面が形成されており、他方の面には
コイル５が外周に沿って設けられている。光スキャナ１
０は、前記反射面に外部から光を入射させることによ
り、光を走査する。なお、可動板２０の形状は、所望の
揺動が可能であり、所望の光の走査が行えるならば、円
形や多角形や他の矩形形状のような他の形状でも構わな
い。
【００４９】１対のトーションバー３０は、弾性部材を
有しており、夫々の一端が可動板２０の正反対の２辺の
夫々の略中央のコイル側の表面に接続され、夫々の他端
が支持体４０の正反対の２辺の夫々の中央部のコイル側
の表面に接続されている。１対のトーションバー３０
は、互いに軸心が一致するように直線状に延びていて、
夫々の一端が接続されている可動板２０の２辺に対して
垂直で、可動板２０の同一平面内に配置されている。な
お、１対のトーションバー３０は、単に可動板２０を支
持体４０に対して揺動可能に支持していればよく、可動
板２０における接続箇所は任意に選定し得るが、好まし
くは、トーションバー３０の回動中心線の延長が可動板
２０の重心を通る。
【００５０】支持体４０は、可動板２０を所定の間隔を
開けて収容し得る開口４１を有した枠状に形成されてい
る。そして、支持体４０は、前述のように接続されてい
る１対のトーションバー３０により開口４１中で１対の
トーションバー３０回りに可動板２０を揺動可能に支持
している。
【００５１】前述のように可動板２０の表面の外周に沿
って設けられているコイル５は、両端部が一方のトーシ
ョンバー３０上を通り、支持体４０上に引き出されて１
対の給電パッド５ａを構成している。コイル５が通って
いる、可動板２０、トーションバー３０，及び支持体４
０の表面には、ポリイミドフィルムが被覆されている。
本実施の形態において、上述したようにコイル５が通る
各構成部材の表面には、前記ポリイミドフィルムが被覆
されているが、所望の絶縁効果を発揮するならば、他の
絶縁被膜が被覆されていてもかまわない。また、コイル
５は、可動板２０の表面の外周に沿って設けられている
が、光スキャナ１０が、所望の光の走査が行えるならば
配置において限定されることはない。
【００５２】一対の永久磁石６は、可動板２０において
１対のトーションバー３０の回動軸と直交する方向に位
置している２辺に向き合うよう支持体４０上に設けられ
ている。１対の永久磁石６は、前述のように配置されて
いるが、可動板２０上のコイル５と協働して光スキャナ
１０の所望の光の走査が行えるならば配置において限定
されることはない。
【００５３】１対の永久磁石６の間に、略直方体形状の
コイル側制限部材７０が配置されている。コイル側制限
部材７０において、可動板２０の回動中心線に沿った方
向に延出し支持体４０の表面に対し垂直な面（以後、軸
沿い側面とする）は、この１対の永久磁石６に固定され
ており、前記永久磁石６を介してコイル側制限部材７０
が、支持体４０に固定されている。なお、コイル側制限
部材７０は、上記のように軸沿い側面に１対の永久磁石
６を固定してから、１対の永久磁石６を支持体４０に固
定することで、永久磁石６のコイル５に対する相対的な
位置を確定することが容易になる。また、可動板２０と
対面するコイル側制限部材７０の面（以後、下面とす
る）には、可動板２０の回動中心線上の両端に向かい、
垂直に突出している突部である１対の垂直変位制限部７
ａが設けられている。また、コイル側制限部材７０の前
記下面において垂直変位制限部７ａ以外の部分は、回動
変位制限部７ｂを規定している。
【００５４】垂直変位制限部７ａは、可動板２０の回動
中心線に沿ったコイル側制限部材７０の下面の両端に設
けられているが、前記回動中心線に沿ってコイル側制限
部材７０の下面全体に配置されることも可能であるし、
前記回動中心線に沿って、相互間に間隔を空けて複数配
置されることも可能である。また、コイル側制限部材７
０は、略直方体形状に形成されているが、他の多角柱
や、円柱などでもよく、形状において限定されることは
ない。
【００５５】図1（ｂ）に示すように、支持体４０にお
いてコイル側制限部材７０が配置されているのとは反対
側の表面（可動板２０の反射面側に対応する支持体４０
の表面）に橋状の反射面側制限部材７１が、配置されて
いる。反射面側制限部材７１の下面（図1（ｂ）におい
ては上側の面）は、中央部に開口７１ａを有している。
開口７１ａは、光スキャナ１０が光の走査を行う際に、
可動板２０の反射面に入射する光ＬＩを遮らず、前記反
射面により反射された光ＬＲにより所望の走査を行うに
十分な大きさを有している。反射面側制限部材７１にお
いて可動板２０に対面する面には、可動板２０の回動中
心線に沿った両端に向かい、垂直に突出している突部で
ある１対の垂直変位制限部７ａが設けられている。ま
た、反射面側制限部材７１において可動板２０に対面す
る面には、垂直変位制限部７ａ以外の部分が、回動変位
制限部７ｂを規定している。なお、反射面側制限部材７
１は、四角形状の橋状に形成されているが、垂直変位制
限部７ａ及び回動変位制限部７ｂの少なくとも一方を有
し、光の走査時に可動板２０の反射面への光の入射と前
記反射面からの反射光の出射とを許容し得る開口７１ａ
とを有し得るならば、形状において限定されることはな
い。
【００５６】コイル側制限部材７０及び反射面側制限部
材７１の各々の垂直変位制限部７ａ及び回動変位制限部
７ｂは、１対のトーションバー３０を回動軸とした可動
板２０の所望の揺動（回動）を妨げないように、可動板
２０の対応する表面との間に所定の間隔があけられてい
る。
【００５７】まず、突形状の垂直変位制限部７ａの頂点
と可動板２０の対応する表面との間の間隔は、可動板２
０の所望の揺動（回動）を妨げなければ限定されること
はないが、好ましくは０ｍｍより大きく０．２ｍｍ以下
である。前記間隔の最小値は０ｍｍより大きくなければ
ならない。何故ならば、間隔が０ｍｍであるということ
は、垂直変位制限部７ａの頂点と可動板２０の対応する
表面とが接しているということであり、この接触が生じ
させる摩擦抵抗が可動板２０のスムーズな揺動（回動）
を妨げるからである。
【００５８】また、回動変位制限部７ｂと可動板２０の
対応する表面との間隔は、可動板２０の所望の揺動（回
動）を妨げなければ限定されることはないが、好ましく
は０．５ｍｍである。
【００５９】なお、上述の可動板２０の対応する表面に
対する垂直変位制限部７ａ及び回動変位制限部７ｂの間
隔の最大値は、トーションバー３０の弾性変形の結果と
して生じるトーションバー３０内の応力がトーションバ
ー３０の構成材料の許容応力を越えないという条件によ
って決められる。
【００６０】（動作）ここで上述した第１の実施の形態
に従った光スキャナ１０の動作について説明する。
【００６１】光スキャナ１０は、給電パッド５ａからコ
イル５に駆動電流を供給すると、永久磁石６により形成
された磁界の中で前記電流がローレンツ力である電磁力
を発生させ、これにより可動板２０は１対のトーション
バー３０を回動軸とした揺動（回動）を行う。この揺動
（回動）は、可動板２０において前記電磁力が回動軸か
ら等距離の場所に逆方向に働くいわゆる偶力となるため
に生じる。トーションバー３０のねじり剛性と可動板２
０の慣性モーメントによって決まる固有の共振周波数に
合致した周波数の交流電流をコイル５に供給すると可動
板２０は最も効率よく回動軸（トーションバー３０）回
りに揺動（回動）する。
【００６２】本実施形態に従った光スキャナ１０は、落
下などによって激しい衝撃や振動を受けた場合において
以下に示す動作をする。
【００６３】まず、光スキャナ１０が図１２（ａ）を参
照しながら前述のような第１の方向の落下をした場合に
ついて説明する。このとき、可動板２０には、光スキャ
ナ１０が前記床面に衝突した瞬間に、可動板２０の質量
に落下による加速度を乗じた慣性力が加わり、図１２
（ａ）に示されているように可動板２０は支持体４０に
対して垂直な方向に変位する。このとき、本実施の形態
に従った光スキャナ１０の可動板２０は、図２（ａ）に
概略的に示すように下方に位置するコイル側制限部材７
０又は反射面側制限部材７１の垂直変位制限部７ａに接
触する。この接触により、可動板２０は、垂直方向にこ
れ以上変位することが防止され、１対のトーションバー
３０には、許容以上の応力が発生せず、紙面において下
方へのトーションバー３０の伸びによる永久変形が生じ
ることが防止される。
【００６４】光スキャナ１０が図１２（ｂ）を参照しな
がら前述した不一致状態第２の方向の落下をした際も、
図２（ｂ）に示すように可動板２０が、垂直な方向に所
定範囲を超えて変位する前に下方のコイル側制限部材７
０又は反射面側制限部材７１の垂直変位制限部７ａの少
なくとも一方に接触して垂直方向にこれ以上変位するこ
とが防止されるとともに、回動軸（トーションバー３
０）回りの回動を所定の回動範囲から超える前に、コイ
ル側制限部材７０及び反射面側制限部材７１の回動変位
制限部７ｂと接触し、トーションバー３０には、許容以
上の応力が発生せず、トーションバー３０のねじれ及び
伸びによる永久変形が生じることが防止される。
【００６５】光スキャナ１０が図１２（ｃ）を参照しな
がら前述したに示した不一致状態第３の方向の落下をし
た際も、図２（ｃ）に示すように可動板２０が、回動中
心線に沿った部分が支持体４０に対して傾斜するような
変位が所定の揺動範囲から超える前に、コイル側制限部
材７０及び反射面側制限部材７１の垂直変位制限部７ａ
と接触し、トーションバー３０には、許容以上の応力が
発生せず、トーションバー３０の下方への伸びによる永
久変形が生じることが防止される。
【００６６】このため再び光スキャナ１０を使用するに
際して、光スキャナ１０が、可動板２０に所望の揺動
（回動）を行わせ、所望の光の走査を行うことが出来
る。
【００６７】ここで、上述したように、可動板２０が過
度の力を受けた際の、可動板２０の変位を制限部材７の
コイル側制限部材７０及び反射面側制限部材７１の垂直
変位制限部７ａ及び回動変位制限部７ｂによって制限さ
れることで、トーションバー３０内で起こる応力低減効
果について図３を参照して説明する。
【００６８】図３は、梁が曲げられた時に梁の長手方向
中心線に沿った各位置の剪断力及び曲げモーメントの分
布を示す図である。
【００６９】トーションバー３０は支持体４０（紙面に
対して左）と可動板２０（紙面に対して右）とで両端を
固定されている長さｌの梁と考えることが出来る。この
梁の一端が軸線に対してδだけ変位したとする。このと
き、梁に剪断力Ｆと曲げモーメントＭが生ずる。剪断力
Ｆはこの梁の長手方向中心線に沿って一定であり、大き
さは Ｆ＝１２ＥＩδ／ｌ３ である。また曲げモーメントＭは両端で最大値となり大
きさは Ｍmax＝６ＥＩδ／ｌ２ となる。ただし、Ｅ：はりの材質のヤング率、Ｉ：梁の
断面２次モーメントとする。
【００７０】梁の長手方向中心線に沿った方向における
各点に生ずる応力はＦ，Ｍ、及び梁の断面形状と関連し
ており、断面形状が一定ならばＦ，Ｍが小さいほど応力
も小さい。ここで、Ｆ，Ｍは梁の一端に対する他端の変
位δに比例している。従って、δを小さくすればＦ，Ｍ
は小さくなり梁に生ずる応力も小さくなる。従って、こ
のδを制限するのが可動板２０の変位を制限する制限部
材７の役割となる。ここで、制限部材７が、δをどこま
でで制限するかは、可動板２０と制限部材７との間隔に
より決まる。式から明らかなように梁の応力を小さくす
るには可動板２０の変位が小さい程良いため、可動板２
０と制限部材７との間隔は、可動板２０の所定の揺動
（回動）を接触により妨げない程度に小さく選定され
る。
【００７１】このため、本発明の光スキャナには、可動
板の変位を制限する制限部材が設けられているため、ト
ーションバーには、許容以上の応力が発生せず、トーシ
ョンバーの永久変形を防ぐことが出来る。
【００７２】また、可動板２０と、制限部材７との間隔
は、最大どれだけ大きく出来るのかは、式から分かるよ
うに梁の長さｌ、断面２次モーメントＩ（梁の断面形状
で決まる）、によって変わり、材料の許容応力によって
も変わる。本発明の可動板と制限部材との間隔は、トー
ションバーの材料、形状、大きさを変えることで、任意
に選定し得る。
【００７３】このように、本実施形態の光スキャナ１０
によれば、落下するなどの強い衝撃や振動を受けても、
これによるトーションバー３０の伸びやねじりを原因と
した可動板２０の変位をより小さく抑えることができ、
光スキャナ１０の破損や特性変化を防止することができ
る。
【００７４】（第２の実施の形態）以下に、図４及び図
５（ａ）乃至図５（ｃ）を参照して、本発明の第２の実
施の形態に従った光スキャナ１１の構成を説明する。な
お、光スキャナ１１において前述した本発明の第１の実
施の形態に従った光スキャナ１０の構成部材と同じ構成
部材は、この光スキャナ１０の同じ構成部材を指摘した
参照符号を使用して指摘し、詳細な説明は省略する。
【００７５】図４は光スキャナ１１の概略的な上面図で
あり、説明のために、コイル側制限部材７０の図示は省
略している。図５（ａ）は、図４中の切断線Ａ−Ａに沿
った光スキャナ１１の断面図である。図５（ｂ）は、図
４中の切断線Ｂ−Ｂに沿った光スキャナ１１の断面図で
ある。図５（ｃ）は、図４中の切断線Ｃ−Ｃに沿った光
スキャナ１１の断面図である。
【００７６】本実施の形態の光スキャナ１１の制限部材
７のコイル側制限部材７０及び反射面側制限部材７１の
夫々は、第１の実施の形態と同様に１対の垂直変位制限
部７ａと、回動変位制限部７ｂとを有している。光スキ
ャナ１１はさらに、可動板２０の回動中心線と直交し支
持体４０と同一面内における可動板２０の軸直交側面方
向の変位を制限する側面方向変位制限部７ｃと、また、
前記回動中心線に沿った方向で支持体４０と同一面内に
おける可動板２０の変位を制限する軸方向変位制限部７
ｄと、をさらに有している。
【００７７】可動板２０の反射面側制限部材７１におい
て、１対の垂直変位制限部７ａの間には、図４中に破線
で示されている長方形状のスリットである開口７１ｂが
設けられている。開口７１ｂは、光スキャナ１０が光の
走査を行う際に、可動板２０の反射面に入射する光を遮
らず、所望の光の走査を行うに十分な大きさを有してい
る。
【００７８】側面方向変位制限部７ｃは、図５（ａ）中
に示されているように、可動板２０の回動中心線と直交
する方向における可動板２０の２つの辺２０ａと、この
２つの辺２０ａに対応する支持体４０の２つの辺との間
に、コイル側制限部材７０と反射面側制限部材７１との
夫々から、相互に接近するように垂直に延び、互いに接
触して可動板２０の上記２つの辺２０ａに対して垂直な
面７２を規定している。側面方向変位制限部７ｃの面７
２と可動板２０の対応する辺２０ａとの間隔は、可動板
２０と側面方向変位制限部材７ｃの面７２との間の空気
の流れの影響を考慮しなければならない。すなわち、こ
れらの間の層流境界層の厚さが０．０５ｍｍ程度であ
り、間隔がこれより小さいと空気の粘性の影響が現れ、
スクイーズ効果（液体を狭い隙間から押し出す時の抵抗
力）の影響が大きくなり、可動板２０が揺動（回動）し
にくくなってしまうため、０．０５ｍｍ以上が望まし
い。また、側面方向変位制限部７ｃは、互いに接触し
て、可動板２０の２つの辺２０ａに対して垂直な面７２
を規定しているが、可動板２０の回動中心線と直交する
方向における可動板２０の変位を制限し得るならば、互
いに接触していなくともよく、また可動板２０の２つの
辺２０ａに対して垂直でなくともよく、形状において限
定されることはない。
【００７９】軸方向変位制限部７ｄは、図５（ｃ）中に
示されているように反射面側制限部材７１から、可動板
２０の表面に対して直交する方向に延出して、可動板２
０の回動中心線に沿った方向における２つの辺２０ｂ
と、この２つの辺２０ｂに対応する支持体４０の２つの
辺との間の隙間に突入している。軸方向変位制限部７ｄ
と可動板２０の対応する辺２０ｂとの間隔も、可動板２
０と側面方向変位制限部材７ｃの面７２との間の空気の
流れの影響を考慮しなければならない。すなわち、これ
らの間の層流境界層の厚さが０．０５ｍｍ程度であり、
間隔がこれより小さいと空気の粘性の影響が現れ、スク
イーズ効果（液体を狭い隙間から押し出す時の抵抗力）
の影響が大きくなり、可動板２０が揺動（回動）しにく
くなってしまうため、０．０５ｍｍ以上が望ましい。ま
た、可動板２０の回動中心線方向に沿った変位を制限し
得るならば、可動板２０の表面に対して直交する方向に
延出していなくともよく、形状において限定されること
はない。また、本実施の形態において、軸方向変位制限
部７ｄは、反射面側制限部材７１から延出しているが、
上記構成と同様にコイル側制限部材７０から延出させる
ことも可能である。
【００８０】（動作）ここで上述した第２の実施の形態
に従った光スキャナ１１の動作について説明する。本実
施形態に従った光スキャナ１１は、落下などによって激
しい衝撃や振動を受けた場合において以下に示す動作を
する。
【００８１】まず、光スキャナ１１が図１２（ａ）中に
示されているような第１の方向の落下をした場合につい
て説明する。光スキャナ１１が前記第１の方向の落下に
より過度の衝撃を受けると、可動板２０は、図２（ａ）
を参照しながら前述した第１の実施の形態の光スキャナ
の場合と同様に、制限部材７のコイル側制限部材７０又
は反射面側制限部材７１の垂直変位制限部７ａに接触す
る。この接触により、垂直方向に可動板２０がこれ以上
変位することが防止され、１対のトーションバー３０に
は、許容以上の応力が発生せず、トーションバー３０の
下方への伸びによる永久変形が生じることが防止され
る。
【００８２】同様に、光スキャナ１１が図１２（ｂ）中
に示されているような不一致状態第２の方向の落下によ
り過度の衝撃を受けると、図２（ｂ）を参照しながら前
述した第１の実施の形態の光スキャナ１０の場合と同様
に可動板２０が、コイル側制限部材７０又は反射面側制
限部材７１の垂直変位制限部７ａに接触して、可動板２
０から所定の範囲を超えて変位するのが防止されるとと
もに、可動板２０が回動中心線回りの回動を所定の回動
範囲から超える前に、コイル側制限部材７０及び反射面
側制限部材７１の回動変位制限部７ｂと接触し、トーシ
ョンバー３０には、許容以上のねじり応力が発生せず、
トーションバー３０のねじれによる永久変形が生じるこ
とが防がれる。
【００８３】そして、光スキャナ１１が図１２（ｃ）中
に示されているような不一致状態第３の方向の落下によ
り過度の衝撃を受けると、図２（ｃ）を参照しながら前
述した第１の実施の形態の光スキャナ１０の場合と同様
に可動板２０の変位が所定の揺動範囲から超える前に、
コイル側制限部材７０及び反射面側制限部材７１の垂直
変位制限部７ａと接触し、トーションバー３０には、許
容以上の応力が発生せず、トーションバー３０の伸びに
よる永久変形が生じることが防止される。
【００８４】また、光スキャナ１１が図１２（ｄ）中に
示されているような一致状態第２の方向の落下により過
度の衝撃を受けると、図５（ｄ）に示すように、可動板
２０の回動中心線と直交する方向に可動板２０が変位し
たとしても、可動板２０のこの変位が所定の範囲から超
える前に、２つの側面方向変位制限部７ｃのいずれかの
面７２に可動板２０の２つの辺２０ａのいずれかが接触
し、トーションバー３０には、許容以上の応力が発生せ
ず、前記回動中心線に直交する方向のトーションバー３
０の伸びによる永久変形が生じることが防止される。
【００８５】そして、光スキャナ１１が図１２（ｅ）中
に示されているような一致状態第３の方向の落下により
過度の衝撃を受けると、図５（ｅ）中に示すように、可
動板２０の回動中心線に沿った方向に可動板２０が変位
したとしても、可動板２０のこの変位が所定の範囲から
超える前に、可動板２０の２つの辺２０ｂのいずれかが
対応する軸方向変位制限部７ｄと接触し、トーションバ
ー３０には、許容以上の応力が発生せず、上記回動中心
線に沿った方向のトーションバー３０の伸びによる永久
変形が生じることが防止される。
【００８６】このため再び光スキャナ１１の使用に際し
て、光スキャナ１１が、可動板２０に所望の揺動（回
動）を行わせ、所望の光の走査を行うことが出来る。
【００８７】（第３の実施の形態） （構成）以下に、図６を参照して、本発明の第３の実施
の形態に従った光スキャナ１２を説明する。なお、光ス
キャナ１２において前述した本発明の第２の実施の形態
に従った光スキャナ１１の構成部材と同じ構成部材は、
この光スキャナ１１の同じ構成部材を指摘した参照符号
を使用して指摘し、詳細な説明は省略する。
【００８８】第３の実施の形態に従った光スキャナ１２
が前述の第２の実施の形態に従った光スキャナ１１と異
なっているのは、側面方向変位制限部７ｃにおいて可動
板２０の辺２０ａと対応している面７２’が円弧面に形
成されていることである。この円弧状の面７２’は、可
動板２０が回動中心線回りに回動したときに、可動板端
部が描く円弧状の軌跡と略同じであり、上記円弧状の軌
跡から所定の間隔を空けて離間している。前記所定の間
隔は、可動板２０の所望の揺動（回動）を妨げなければ
限定されることはないが、好ましくは、０．０５〜０．
５ｍｍである。
【００８９】（動作）ここで上述した第３の実施の形態
に従った光スキャナ１２の動作について説明する。本実
施形態に従った光スキャナ１２は、前述の第１の方向の
落下、不一致状態第２並びに第３の方向の落下、又は一
致状態第３の方向の落下などによって激しい衝撃や振動
を受けた場合において、第２の実施の形態と同様に動作
する。
【００９０】そして、本実施の形態の光スキャナ１１が
前述した一致状態第２の方向の落下により過度の衝撃を
受けると、図１２（ｄ）に示すような可動板２０の回動
中心線と直交する方向に可動板２０が変位する。しか
し、可動板２０の変位が所定の範囲から超える前に、可
動板２０の２辺のいずれかが、対応する側面方向変位制
限部７ｃの円弧状の面７２’と接触し、トーションバー
３０には、許容以上の応力が発生せず、トーションバー
３０の回動中心線に直交する方向の伸びによる永久変形
が生じることが防止される。上述のように側面方向変位
制限部７ｃの面７２’が円弧状になっているので、上記
回動中心線に対して直交する方向と、上記回動中心線回
りの回動変位との合成の可動板２０の変位がどのような
合成比で生じても、可動板２０の辺２０ａと側面方向変
位制限部７ｃの面７２’との間の距離が常に一定である
ので第２の実施の形態のように面７２が垂直である場合
に比べ、面７２’のように円弧状である場合の方が上記
回動中心線と直交する方向における可動板の変位をより
小さく抑えることができる。
【００９１】（第４の実施の形態） （構成）以下に、図７、図８（ａ）及び図８（ｂ）を参
照して、本発明の第４の実施の形態に従った光スキャナ
１３を説明する。なお、光スキャナ１３において前述し
た本発明の第１の実施の形態に従った光スキャナ１０の
構成部材と同じ構成部材は、この光スキャナ１０の同じ
構成部材を指摘した参照符号を使用して指摘し、詳細な
説明は省略する。
【００９２】図７は、反射面側から見た光スキャナ１３
の上面図である。図８（ａ）は、図７中の切断線Ａ−Ａ
に沿った光スキャナ１３の断面図である。図８（ｂ）
は、図７中の切断線Ｂ−Ｂに沿った光スキャナ１３の断
面図である。
【００９３】本実施の形態の光スキャナ１３は、第１の
実施の形態の光スキャナ１１と同様な構成であるが、反
射面側制限部材７１’が異なっている。
【００９４】本実施の形態の光スキャナ１３の反射面側
制限部材７１’は、第１の実施の形態の反射面側制限部
材７１とは異なり、開口７１ａを有していない。このた
め、本実施の形態の光スキャナ１３は、可動板２０の反
射面に光を入射させるために、反射面側制限部材７１’
が光学素子を有している。このため、反射面側制限部材
７１’は、光学用樹脂ポリメチルメタアクリレート（Ｐ
ＭＭＡ）により成形されており、集光作用を有する凸状
の曲面７１ｃを可動板２０と対面する側の面とその反対
側の面との二面（紙面において上下面）を有している。
反射面側制限部材７１’において支持体４０と対面する
周辺部は、肉厚のフランジ７１ｄに形成されており、フ
ランジ７１ｄにおいて支持体４０と対面する部分が支持
体４０に接着されている。可動板２０と対面する反射面
側制限部材７１’の表面において、中立位置における可
動板２０の表面に垂直で可動板２０の回動中心線を含む
両端に中立位置の可動板２０の表面に対して垂直な方向
における変位を制限する垂直変位制限部７ａが一体的に
形成されている。また、可動板２０と対面した前記表面
の垂直変位制限部７ａ以外の部分が、自身の回動中心線
回りの可動板２０の回動変位を制限する回動変位制限部
７ｂを規定している。
【００９５】（動作）ここで本実施の形態に従った光ス
キャナ１３の動作について説明する。
【００９６】光スキャナ１３は、図示しない光源から発
された発散光束が光学素子である反射面側制限部材７
１’を透過して可動板２０の反射面上に集光され、前記
反射面で反射して再び反射面側制限部材７１’を透過し
て出射される。光スキャナ１３は、可動板２０が回動す
ることにより、光を走査することが出来る。
【００９７】なお、本実施形態に従った光スキャナ１３
は、落下などによって激しい衝撃や振動を受けた場合に
おいて、第１の実施の形態の光スキャナ１０と同様な動
作をする。
【００９８】（第５の実施の形態） （構成）以下に、図９及び図１０を参照して、本発明の
第５の実施の形態に従った光スキャナ１４を説明する。
図９（ａ）は、光スキャナ１４の概略的な上面図であ
り、説明のために、反射面側制限部材の図示は省略して
いる。図９（ｂ）は、図９（ａ）中の切断線Ｂ−Ｂに沿
った光スキャナ１４の断面図である。図９（ｃ）は、図
９（ａ）中の切断線Ｃ−Ｃに沿った光スキャナ１４の断
面図である。
【００９９】本実施の形態の光スキャナ１４は、図９
（ａ）中に示すように、反射面２１ａを有する第１の可
動板２１と、１対の板ばね状の第１のトーションバー３
１により第１の可動板２１を開口２２ａ中に揺動可能に
支持する第２の可動板２２と、１対の板ばね状の第２の
トーションバー３２により第２の可動板２２を開口４１
中に揺動可能に支持する支持体４０と、第１及び第２の
可動板２１，２２に対面して設けられている制限部材７
と、を有している。また、第２のトーションバー３２の
回動中心線に沿った方向の支持体４０の両辺に配置され
ている１対の永久磁石６１と、第１のトーションバー３
１の回動中心に沿った方向の支持体４０の両辺に配置さ
れている１対の永久磁石６２とを有している。さらに、
第１の可動板２１と第２の可動板２２において反射面２
１ａとは反対側の面の外周に沿ってそれぞれ独立して設
けられているコイル（図示省略）を有している。そして
第１の可動板２１のコイルの両端は、１対の第１のトー
ションバー３１の一方若しくは両方及び第２の可動板２
２のための１対の第２のトーションバーの一方若しくは
両方を介して支持体４０上に引き出されており、図示さ
れていない１対の第１の給電パッドを構成している。ま
た、第２の可動板２２のコイルの両端は、１対の第２の
トーションバー３２の他方若しくは両方を介して支持体
４０に引きだされており、支持体４０上に図示されてい
ない１対の第２の給電パッドを構成している。
【０１００】第１及び第２の可動板２１，２２、第１及
び第２のトーションバー３１，３２、及び支持体４０
は、半導体製造プロセスを利用して一体的に形成され、
ねじり揺動体を形成しているが、第１の可動板２１が所
望の揺動をし得るならば、第１及び第２の可動板２１，
２２、第１及び第２のトーションバー３１，３２、及び
支持体４０は、別体で構成され、接着剤などの公知の接
着手段により該ねじり揺動体を形成することも可能であ
る。
【０１０１】第１の可動板２１は、所定の厚さを有する
略正方形の板状に形成されており、一方の表面には金な
どがコーティングされて反射面２１ａが形成されてお
り、他方の面には前述のコイルが外周に沿って設けられ
ている。光スキャナ１４は、反射面２１ａに外部から光
を入射させるとともに第１の可動板２１を揺動（回動）
させることにより、反射面２１ａからの反射光を走査す
る。なお、第１の可動板２１の形状は、所望の揺動が可
能であり、所望の光の走査が行えるならば、円形や他の
矩形形状のような他の形状でも構わない。
【０１０２】なお、１対の第１のトーションバー３１
は、単に第１の可動板２１を揺動可能に支持していれば
よいが、好ましくは、１対の第１のトーションバー３１
は、弾性部材を有しており、夫々の一端が第１の可動板
２１の対応する一辺の略中央のコイル側の表面に接続さ
れ、夫々の他端が第２の可動板２２の一辺の略中央のコ
イル側の表面に接続されている。１対の第１のトーショ
ンバー３１は、互いに軸心が一致するように直線状に配
置されており、第１の可動板２１の上記一辺に対して直
交し、さらに軸心が第１の可動板２１の表面に対して平
行に延びて、第１の可動板２１の重心を通っている。
【０１０３】第２の可動板２２は、第１の可動板２１を
所定の間隔を開けて収容し得る開口２２ａを有した枠状
に形成されている。そして、第２の可動板２２は、前述
のように開口２２ａの２辺が、第１のトーションバー３
１と接続され、１対の第１のトーションバー３１により
第１の可動板２１を揺動（回動）可能に支持している。
【０１０４】１対の第２のトーションバー３２は、弾性
部材を有しており、第１のトーションバー３１と直交
し、夫々の一端が第２の可動板２２の対応する一辺の略
中央のコイル側の表面に接続され、夫々の他端が支持体
４０の対応する一辺の中央部のコイル側の表面に接続さ
れている。なお、１対の第２のトーションバー３２は、
単に第２の可動板２２を支持体４０に対して揺動（回
動）可能に支持していればよいが、好ましくは、１対の
第２のトーションバー３２は、互いに軸心が一致するよ
うに直線状に配置されており、夫々が第２の可動板２２
の上記一辺に対して直交し、さらに第２の可動板２２の
表面に対して平行に延び、この１対の第２のトーション
バー３２の軸心が、第１の可動板２１の重心と第２の可
動板２２の重心とを通るように配置される。
【０１０５】本実施の形態において、上述したようにコ
イル５１，５２が通る各構成部材、即ち第１及び第２の
可動板２１，２２、第１及び第２のトーションバー３
１，３２、そして支持体４０、の表面は、前記ポリイミ
ドフィルムが被覆されているが、所望の絶縁効果を発揮
するならば、他の絶縁皮膜が被覆されていてもかまわな
い。前記コイルは、第１及び第２の可動板２１，２２の
夫々の表面の外周に沿って設けられているが、光スキャ
ナ１４が、所望の光の走査が行えるならば配置において
限定されることはない。
【０１０６】上述した如く構成された前記ねじり揺動体
により、第１の可動板２１が、支持体４０に対して、第
１のトーションバー３１を回動軸とする回動方向と、第
２の可動板２２を介して前記回動方向と直交する方向の
第２のトーションバー３２を回動軸とする回動方向とに
回動し得る。すなわち、第１の可動板２１が２次元的に
回動し得る。
【０１０７】制限部材７は、ポリアセタール樹脂で成形
されており、支持体４０においてコイルが設けられてい
る側の表面に設けられているコイル側制限部材７０を有
している。
【０１０８】このコイル側制限部材７０は、略直方体形
状に形成されている。コイル側制限部材７０において、
第１の可動板２１の回動中心線（第１のトーションバー
３１）に沿った方向の両端面には、１対の永久磁石６２
が固定されている。また、コイル側制限部材７０の外周
部の支持体４０と対面している面が、支持体４０に固定
されている。コイル側制限部材７０において、第２の可
動板２２の回動中心線（第２のトーションバー３２）に
沿った方向の両端面には、１対の永久磁石６１が固定さ
れ、このもう１対の永久磁石６１を介してもコイル側制
限部材７０は、支持体４０に固定されている。コイル側
制限部材７０は、支持体４０に固定される前に、上記の
ように２対の両端面に２対の永久磁石６１，６２を固定
することで、前記コイルに対する２対の永久磁石６１，
６２の相対的な位置を確定することが容易になる。
【０１０９】コイル側制限部材７０において、第１の可
動板２１と対面する部分には、第１の可動板２１におい
て第１の可動板２１の回動中心線と第２の可動板２２の
回動中心線との交点に向かって突出している突部である
第１の垂直変位制限部７ａ’が設けられている。そし
て、コイル側制限部材７０において、第２のトーション
バー３２の軸心に沿って、コイル側制限部材７０の第２
の可動板２２の２辺と対面する部分には、第２の可動板
２２に向かって突出している突部である１対の第２の垂
直変位制限部７ａ”が設けられている。コイル側制限部
材７０において、第１及び第２の可動板２１，２２に対
面している面で第１及び第２の垂直変位制限部７ａ’、
７ａ”以外は、回動変位制限部７ｂを規定している。
【０１１０】反射面側制限部材７１は、橋状に形成され
ており、支持体４０においてコイル側制限部材７０が配
置されているのとは反対の表面（第１の可動板２１の反
射面２１ａ側の表面）に固定されている。反射面側制限
部材７１は、四角形状に形成されており、中央部に開口
７１ａを有している。開口７１ａは、光スキャナ１４が
光の走査を行う際に、第１の可動板２１の反射面２１ａ
に入射する光を遮らず、反射面２１ａにおける反射光で
所望の走査を行うのに十分な大きさを有している。
【０１１１】反射面側制限部材７１において第２の可動
板２２と対面する表面には、第２のトーションバー３２
の軸心に沿って、１対の第２のトーションバーの３２に
隣接した位置において、第２の可動板２２の部分に向か
って夫々突出している突部である１対の第２の垂直変位
制限部７ａ”が設けられている。また、反射面側制限部
材７１において第１及び第２の可動板２１，２２と対面
している表面は、第２の垂直変位制限部７ａ”以外の部
分が、回動変位制限部７ｂを規定している。
【０１１２】第１の垂直変位制限部７ａ’、第２の垂直
変位制限部７ａ”、及び回動変位制限部７ｂは、第１及
び第２の可動板２１，２２の所望の揺動（回動）を妨げ
ないように、第１及び第２の可動板２１，２２の対応す
る表面との間に所定の間隔が空けられている。
【０１１３】第１及び第２の垂直変位制限部７ａ’、７
ａ”の頂点と、第１及び第２の可動板２１，２２の対応
する表面との間隔は、第１及び第２の可動板２１，２２
の所望の揺動（回動）を妨げなければ限定されることは
ないが、好ましくは０ｍｍより大きく０．２ｍｍ以下で
ある。前記間隔の最小値は０ｍｍより大きくなければな
らない。何故ならば、間隔が０ｍｍであるということ
は、第１及び第２の垂直変位制限部７ａ’、７ａ”と第
１及び第２の可動板２１，２２の対応する表面とが接し
ているということであり、摩擦抵抗が第１及び第２の可
動板２１，２２のスムーズな動きを妨げるからである。
【０１１４】また、回動変位制限部７ｂと第１及び第２
の可動板２１，２２の対応している表面との間隔は、第
１及び第２の可動板２１，２２の所望の揺動を妨げなけ
れば限定されることはないが、好ましくは０．５ｍｍで
ある。
【０１１５】なお、第１及び第２の可動板２１，２２の
対応する表面に対する突形状の第１及び第２の垂直変位
制限部７ａ’、７ａ”、及び回動変位制限部７ｂの間隔
の最大値は、第１及び第２のトーションバー３１，３２
の夫々の弾性変形の結果として生じる第１及び第２のト
ーションバー３１，３２内の応力が第１及び第２のトー
ションバー３１，３２の構成材料の許容応力を越えない
という条件によって決められる。
【０１１６】（動作）ここで上述した第５の実施の形態
に従った光スキャナ１４の動作について説明する。
【０１１７】光スキャナ１４は、前述した図示されてい
ない給電パッドから第１の可動板２１の為の前述した図
示されていないコイルに駆動電流を供給すると、第１の
可動板２１に近い方の１対の永久磁石６１により形成さ
れた磁界の中で上記電流がローレンツ力である電磁力を
発生させ、これにより第１の可動板２１は１対の第１の
トーションバー３１を回動軸とした揺動（回動）を行
う。この揺動（回動）は、上記電磁力が第１の可動板２
１の回動中心線から等距離の場所に逆方向に働くいわゆ
る偶力として作用することにより生じる。また、光スキ
ャナ１４は、前述した図示されていない給電パッドから
第２の可動板２２の為の前述した図示されていないコイ
ルに駆動電流が供給される。そして、光スキャナ１４
は、第１の可動板２１からは遠い方のもう１対の永久磁
石６２により形成された磁界の中で上記電流がローレン
ツ力である電磁力を発生させる。これにより第２の可動
板２２は、１対の第２のトーションバー３２を回動軸と
した揺動（回動）を行う。この揺動（回動）は、上記電
磁力が第２の可動板２２の回動中心線から等距離の場所
に逆方向に働くいわゆる偶力として作用することにより
生じる。
【０１１８】光スキャナ１４は、第１のトーションバー
３１のねじり剛性と第１の可動板２１の慣性モーメント
によって決まる固有の共振周波数に合致した周波数の交
流電流を、第２の可動板２２の為のコイルに供給すると
第２の可動板２２は最も効率よく回動中心線回りに揺動
（回動）する。
【０１１９】また、第２のトーションバー３２のねじり
合成と第２の可動板２２の慣性モーメントによって決ま
る固有の共振周波数に合致した周波数の交流電流を、第
１の可動板２１の為のコイルに供給すると第１の可動板
２１は最も効率よく回動中心線回りに揺動（回動）す
る。
【０１２０】光スキャナ１４は、この第１及び第２の可
動板２１，２２の揺動（回動）により、２次元的に光を
走査することが可能である。
【０１２１】なお、本実施の形態において、１対の永久
磁石６１は、第２の可動板２２の回動中心線に沿った方
向において相互に夫々対面するように配置されており、
１対の永久磁石６２は第１の可動板２１の回動中心線に
沿った方向において相互に対面するように配置されてい
る。１対の永久磁石６１は、第１の可動板２１に対して
上記もう１対の永久磁石６２より近接して配置されてい
る。しかしながら、第１及び第２の永久磁石の配置は、
第１及び第２の可動板２１，２２に所望の駆動力を与え
られるならば、限定されるものではないが、各コイルと
協働する永久磁石は、他の永久磁石（当該コイルと協働
しない永久磁石）よりも協働するコイルに近接して配置
されることが好ましい。このことは、本実施の形態にお
いては、第１の可動板２１の為のコイルと協働する１対
の永久磁石６１は、上記コイルと協働しないもう１対の
永久磁石６２より、上記コイルに近接して配置させるこ
とが好ましいことを示している。
【０１２２】本実施形態に従った光スキャナ１４は、落
下などによって激しい衝撃や振動を受けた場合において
以下に示す動作をする。
【０１２３】まず、光スキャナ１４が図１２（ａ）を参
照して、前述した第１の方向の落下をした場合について
説明する。この第１の方向の落下をした場合、第１及び
第２の可動板２１，２２には、光スキャナ１４が床面に
衝突した瞬間に、第１及び第２の可動板２１，２２の質
量に落下による加速度を乗じた慣性力が加わり、第１及
び第２の可動板２１，２２は、第１及び第２の可動板２
１，２２の表面に対して垂直な方向に変位する。このと
き、本実施の形態に従った光スキャナ１４の第１及び第
２の可動板２１，２２は、図１０（ａ）に示すように、
制限部材７のコイル側制限部材７０の第１及び第２の垂
直変位制限部７ａ’，７ａ”に接触するか、又は反射面
側制限部材７１の第２の垂直変位制限部７ａ”に接触す
る。この接触により、第１及び第２の可動板２１，２２
は、垂直方向にこれ以上変位することが防がれ、２対の
第１及び第２のトーションバー３１，３２には、許容以
上の応力が発生せず、第１及び第２のトーションバー３
１，３２には下方への伸びによる永久変形が生じること
が防止される。コイル側制限部材７０の第１の垂直変位
制限部７ａ’は、第１の可動板２１において、第１の可
動板２１の２次元的な揺動（回動）に関わらず、この揺
動（回動）時に動かない第１の可動板２１の回動中心線
と第２の可動板２２の回動中心線との交点（通常幾何学
的形状の中心と一致）に対向して配置されているため、
第１の可動板２１の２次元的な所定の揺動を邪魔するこ
とはない。
【０１２４】同様に、１対の第１のトーションバー３１
が水平であるような不一致状態第２の方向の落下をした
際は、図１０（ｂ）に示すように第１の可動板２１が、
反射面側制限部材７１及びコイル側制限部材７０の少な
くともいずれか１方の回動変位制限部７ｂに接触し、第
２の可動板２２が、第２の垂直変位制限部７ａ”に接触
する。これらの接触により、第１及び第２の可動板２
１，２２は、所定の回動範囲及び所定の移動範囲を超え
る前に変位が制限され、第１及び第２のトーションバー
３１，３２には、許容以上の応力が発生せず、第１及び
第２のトーションバー３１，３２のねじりや伸びによる
永久変形が生じることが防止される。
【０１２５】そして、１対の第１のトーションバー３１
が垂直であるような不一致状態第３の方向の落下をした
際は、図１０（ｃ）に示すように、第２の可動板２２
が、反射面側制限部材７１及びコイル側制限部材７０の
回動変位制限部７ｂに接触する。この接触により、第１
及び第２の可動板２１，２２は、所定の回動範囲及び移
動範囲を超える前に変位が制限され、第１及び第２のト
ーションバー３１，３２には、許容以上の応力が発生せ
ず、第１及び第２のトーションバー３１，３２のねじり
や伸びによる永久変形が生じることが防止される。この
ため上述した落下後に再び光スキャナ１４を使用するに
際して、光スキャナが、第１及び第２の可動板２１，２
２に所望の揺動（回動）を行わせ、所望の光の走査を行
うことが出来る。
【０１２６】本発明の光スキャナにおいては、可動板の
変位を制限する制限部材の材質はポリアセタールの成形
品またはポリメチルメタアクリレー(ＰＭＭＡの成形品
としたが、粘弾性体であれば他の材料や構造でも良く、
ポリカーボネートなどの別のプラスチック成形材料によ
る成形品でもよい。また、プラスチック成形品ではな
く、アルミダイキャストなどの金属の母材で形成し、表
面に有機ポリマーをコートした物でも良い。
【０１２７】なお、本発明の光スキャナの落下につい
て、第１の方向、不一致状態並びに一致状態第２及び第
３の方向の落下のみ説明しているが、他の方向において
光スキャナが落下した場合においても、可動板が過度に
変位せぬように、変位に対応した制限部材が、可動板の
過度の変位を防止する。
【０１２８】これまで、いくつかの実施の形態について
図面を参照しながら具体的に説明したが、本発明は、上
述した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨
を逸脱しない範囲で行なわれるすべての実施を含む。
【０１２９】
【発明の効果】本発明は、激しい衝撃や振動を受けた場
合でも、破損や特性変化を防止できる光スキャナを提供
する。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、本発明の第１の実施の形態に従った
光スキャナを示す斜視図であり；（ｂ）は、図１の
（ａ）に示されている光スキャナを反対側から見た斜視
図である。
【図２】（ａ）は、図１の光スキャナが第１の方向の落
下をした際の制限部材の作用を示す概略的な断面図であ
り；（ｂ）は、図１の光スキャナが不一致状態第２の方
向の落下をした際の制限部材の作用を示す概略的な断面
図であり；（ｃ）は、図１の光スキャナが不一致状態第
３の方向の落下をした際の制限部材の作用を示す概略的
な断面図である。
【図３】図３は、梁が曲げられた時に梁の長手方向中心
線に沿った各位置の剪断力及び曲げモーメントの分布を
示す図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に従った光スキャナ
の概略的な上面図である。
【図５】（ａ）は、図４中の切断線Ａ−Ａに沿った断面
図であり；（ｂ）は、図４中の切断線Ｂ−Ｂに沿った断
面図であり；（ｃ）は、図４中の切断線Ｃ−Ｃに沿った
断面図であり（ｄ）は、図４の光スキャナが一致状態第
２の方向の落下をした際の制限部材の作用を示す概略的
な断面図である。（ｅ）は、図４の光スキャナが一致状
態第２の方向の落下をした際の制限部材の作用を示す概
略的な断面図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態に従った光スキャナ
の概略的な断面図である。
【図７】本発明の第４の実施の形態に従った光スキャナ
の上面図である。
【図８】（ａ）は、図７中の切断線Ａ−Ａに沿った断面
図であり；（ｂ）は、図７中の切断線Ｂ−Ｂに沿った断
面図である。
【図９】（ａ）は、本発明に従った第５の実施の形態に
従った光スキャナの概略的な上面図であり；（ｂ）は、
図９（ａ）の切断線Ｂ−Ｂに沿った断面図であり；
（ｃ）は、図９（ａ）の切断線Ｃ−Ｃに沿った断面図で
あり；
【図１０】（ａ）は、図９（ａ）に示されている光スキ
ャナが、第１の方向の落下をした際の制限部材の作用を
示す概略的な断面図であり；（ｂ）は、図９（ａ）に示
されている光スキャナが、第１のトーションバーが水平
に配置された状態で、不一致状態第２の方向の落下をし
た際の制限部材の作用を示す概略的な断面図であり；
（ｃ）は、図９（ａ）に示されている光スキャナが、第
２のトーションバーが水平に配置された状態で、不一致
状態第３の方向の落下をした際の制限部材の作用を示す
概略的な断面図である。
【図１１】従来の光スキャナを示す斜視図である。
【図１２】（ａ）は、図１１の従来の光スキャナが第１
の方向の落下をした際のトーションバーの変形の様子を
示す概略的な断面図であり；（ｂ）は、図１１の従来の
光スキャナが不一致状態第２の方向の落下をした際の様
子を示す概略的な断面図であり；（ｂ’）は、図１１の
従来の光スキャナが不一致状態第２の方向の落下をした
際のトーションバーの変形の様子を示す概略的な斜視図
であり；（ｃ）は、図１１の従来の光スキャナが不一致
状態第３の方向の落下をした際の様子を示す概略的な断
面図であり；（ｃ’）は、図１１の従来の光スキャナが
不一致状態第３の方向の落下をした際のトーションバー
の変形の様子を示す概略的な断面図であり；（ｄ）は、
図１１の従来の一致状態第２の方向の落下をした際のト
ーションバーの変形の様子を示す概略的な上面図であ
り；（ｅ）は、図１１の従来の一致状態第３の方向の落
下をした際のトーションバーの変形の様子を示す概略的
な上面図である。
【符号の説明】
１０、１１、１２、１３、１４ 光スキャナ ２０ 可動板 ２１ 第１の可動板 ２２ 第２の可動板 ３０ トーションバー ３１ 第１のトーションバー ３２ 第２のトーションバー ４０ 支持体 ５、５１、５２ コイル ６、６１、６２ 永久磁石 ７ 制限部材 ７ａ 垂直変位制限部 ７ｂ 回動変位制限部 ７ｃ 側面方向変位制限部 ７ｄ 軸方向変位制限部 ７ａ’ 第１の垂直変位制限部 ７ａ” 第２の垂直変位制限部 ７０ コイル側制限部材 ７１ 反射面側制限部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 片白 雅浩 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2H041 AA12 AB14 AC05 AZ02 2H045 AB06 AB16 BA02 BA12 DA41

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 可動板が支持体に対してトーションバー
    により支持され、該トーションバーを回動軸として該可
    動板が回動する光スキャナーにおいて、 衝撃が加わった時に該可動板と物理的に接触して、該可
    動板の所定量以上の変位を制限する制限部材を、該可動
    板の表面から所定距離離れた位置に備えていることを特
    徴とする光スキャナ。
  2. 【請求項２】 前記制限部材は、中立位置の前記可動板
    の表面から、該表面に対し垂直な方向に所定距離離れた
    位置に設けられており、前記可動板の回動軸回りの変位
    を制限することを特徴とする請求項１に記載の光スキャ
    ナ。
  3. 【請求項３】 前記制限部材は、中立位置における前記
    可動板の表面の少なくとも一方に対面し、該表面から該
    表面に対し垂直な方向に所定距離離れた位置に設けられ
    ており、該表面に対して垂直な方向における該可動板の
    変位を制限することを特徴とする請求項１に記載の光ス
    キャナ。
  4. 【請求項４】 前記制限部材は、前記可動板において前
    記回動軸と直交する方向の端部から、中立位置における
    前記可動板の表面と平行な方向で、且つ可動板の回動軸
    と直交する方向に、所定距離離れた位置に設けられてお
    り、中立位置における前記可動板の表面と平行な方向
    で、且つ前記可動板の回動軸と直交する方向の変位を制
    限することを特徴とする請求項１に記載の光スキャナ。
  5. 【請求項５】 前記制限部材は、前記可動板の回動軸方
    向の端部から、前記回動軸方向に所定距離離れた位置に
    設けられており、前記可動板の回動軸方向の変位を制限
    することを特徴とする請求項１に記載の光スキャナ。
  6. 【請求項６】 前記制限部材は、 中立位置の前記可動板の表面から、該表面に対し垂直な
    方向に所定距離離れた位置に設けられており、前記可動
    板の回動軸回りの変位を制限する回動変位制限部と、 中立位置における前記可動板の表面の少なくとも一方に
    対面し、該表面から該表面に対し垂直な方向に所定距離
    離れた位置に設けられており、該表面に対して垂直な方
    向における該可動板の変位を制限する垂直変位制限部
    と、を有することを特徴とする請求項１に記載の光スキ
    ャナ。
  7. 【請求項７】 前記可動板は、第１の可動板と、第１の
    可動板を開口中に収容する第２の可動板とを有してお
    り、 前記トーションバーが、第１のトーションバーと第２の
    トーションバーとを有しており、 該第１のトーションバーが、該第１の可動板を第１のト
    ーションバーを回動軸として回動可能に該第２の可動板
    に接続し、 該第２のトーションバーが、該第２の可動板を第２のト
    ーションバーを回動軸として前記第１の可動板の回動方
    向と直交する方向に回動可能に前記支持体に接続し、 前記制限部材が、中立位置の前記第１の可動板の表面か
    ら、該表面に対し垂直な方向に所定距離離れた位置に設
    けられており、前記第１及び第２の可動板の少なくとも
    一方の回動軸回りの変位を制限することを特徴とする請
    求項１に記載の光スキャナ。
  8. 【請求項８】 前記可動板は、第１の可動板と、第１の
    可動板を開口中に収容する第２の可動板とを有してお
    り、 前記トーションバーが、第１のトーションバーと第２の
    トーションバーとを有しており、 該第１のトーションバーが、該第１の可動板を第１のト
    ーションバーを回動軸として回動可能に該第２の可動板
    に接続し、 該第２のトーションバーが、該第２の可動板を第２のト
    ーションバーを回動軸として前記第１の可動板の回動方
    向と直交する方向に回動可能に前記支持体に接続し、 前記制限部材が、中立位置における前記第１の可動板の
    表面の少なくとも一方に対面し、前記第１及び第２の可
    動板の回動軸の交差する点を通り、該表面から該表面に
    対し垂直な方向に所定距離離れた位置に設けられ、該表
    面に対して垂直な方向における該第１の可動板の変位を
    制限することを特徴とする請求項１に記載の光スキャ
    ナ。
  9. 【請求項９】 前記可動板は、第１の可動板と、第１の
    可動板を開口中に収容する第２の可動板とを有してお
    り、 前記トーションバーが、第１のトーションバーと第２の
    トーションバーとを有しており、 該第１のトーションバーが、該第１の可動板を第１のト
    ーションバーを回動軸として回動可能に該第２の可動板
    に接続し、 該第２のトーションバーが、該第２の可動板を第２のト
    ーションバーを回動軸として前記第１の可動板の回動方
    向と直交する方向に回動可能に前記支持体に接続し、 前記制限部材が、中立位置における前記第２の可動板の
    表面の少なくとも一方に対面し、前記第２の可動板の表
    面から、第２のトーションバーの軸を通り前記第２の可
    動板の表面に対し垂直な方向に所定距離離れた位置に設
    けられ、前記第２の可動板の表面に対して垂直な方向に
    おける前記第２の可動板の変位を制限することを特徴と
    する請求項１に記載の光スキャナ。
  10. 【請求項１０】 前記可動板は、第１の可動板と、第１
    の可動板を開口中に収容する第２の可動板とを有してお
    り、 前記トーションバーが、第１のトーションバーと第２の
    トーションバーとを有しており、 該第１のトーションバーが、該第１の可動板を第１のト
    ーションバーを回動軸として回動可能に該第２の可動板
    に接続し、 該第２のトーションバーが、該第２の可動板を第２のト
    ーションバーを回動軸として前記第１の可動板の回動方
    向と直交する方向に回動可能に前記支持体に接続し、 前記制限部材が、中立位置の前記第１の可動板の表面か
    ら所定距離離れた位置に設けられており、前記第１及び
    第２の可動板の少なくとも一方の回動軸回りの変位を制
    限する回動制限部と中立位置における前記第１の可動板
    の表面の少なくとも一方に対面し、前記第１及び第２の
    可動板の回動軸の交差する点を通り、該表面から該表面
    に対し垂直な方向に所定距離離れた位置に設けられ、該
    表面に対して垂直な方向における該第１の可動板の変位
    を制限する第１の垂直変位制限部と、 上記第１の可動板の表面と同一側の前記第２の可動板の
    表面に対面し、前記第２の可動板の表面から、第２のト
    ーションバーの軸を通り前記第２の可動板の表面に対し
    垂直な方向に所定距離離れた位置に設けられ、前記第２
    の可動板の表面に対して垂直な方向における前記第２の
    可動板の変位を制限する第２の垂直変位制限部と、を有
    することを特徴とする請求項１に記載の光スキャナ。
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