JPH10123449A - 光スキャナ - Google Patents
光スキャナInfo
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- JPH10123449A JPH10123449A JP27934096A JP27934096A JPH10123449A JP H10123449 A JPH10123449 A JP H10123449A JP 27934096 A JP27934096 A JP 27934096A JP 27934096 A JP27934096 A JP 27934096A JP H10123449 A JPH10123449 A JP H10123449A
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- permanent magnet
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は大きな偏向角を持って振動する光スキ
ャナにおいて、高い耐久性を示す電気要素を有する光ス
キャナを提供する。 【解決手段】本発明による光スキャナは、任意の部材に
固定するための支持体と、少なくとも一方の面が光を反
射する反射面である可動板と、前記支持体と前記可動板
を接続する弾性部材と、少なくとも一辺が可動板上に形
成された駆動コイルと、前記可動板との間に所定の間隔
を有するように前記可動板近傍に配置された永久磁石と
からなり、前記駆動コイルに交流電流を印加すること
で、前記弾性部材をねじりバネとして前記可動板がねじ
り振動を行う光スキャナにおいて、前記弾性部材は、内
部に電気要素を有し、前記可動板上と前記支持体上に達
する絶縁性の弾性膜からなることを特徴とする。
ャナにおいて、高い耐久性を示す電気要素を有する光ス
キャナを提供する。 【解決手段】本発明による光スキャナは、任意の部材に
固定するための支持体と、少なくとも一方の面が光を反
射する反射面である可動板と、前記支持体と前記可動板
を接続する弾性部材と、少なくとも一辺が可動板上に形
成された駆動コイルと、前記可動板との間に所定の間隔
を有するように前記可動板近傍に配置された永久磁石と
からなり、前記駆動コイルに交流電流を印加すること
で、前記弾性部材をねじりバネとして前記可動板がねじ
り振動を行う光スキャナにおいて、前記弾性部材は、内
部に電気要素を有し、前記可動板上と前記支持体上に達
する絶縁性の弾性膜からなることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光源からの光を反
射し、その反射光を一次元または二次元に走査する小型
の光スキャナに関する。
射し、その反射光を一次元または二次元に走査する小型
の光スキャナに関する。
【０００２】
【従来の技術】また、小型の光スキャナの一例として、
シリコン基板（半導体基板）とねじりバネとを用い、電
磁力によって反射鏡を揺動させて光を走査する光偏向子
を用いるようにしたものが知られている。
シリコン基板（半導体基板）とねじりバネとを用い、電
磁力によって反射鏡を揺動させて光を走査する光偏向子
を用いるようにしたものが知られている。
【０００３】このような光スキャナは、例えば、文献
“ＴＥＣＨＮＩＣＡＬ ＤＩＧＥＳＴＯＦ ＴＨＥ Ｓ
ＥＮＳＯＲ ＳＹＭＰＯＳＩＵＭ，１９９５．ｐｐ１７
−２０“に開示されている。
“ＴＥＣＨＮＩＣＡＬ ＤＩＧＥＳＴＯＦ ＴＨＥ Ｓ
ＥＮＳＯＲ ＳＹＭＰＯＳＩＵＭ，１９９５．ｐｐ１７
−２０“に開示されている。
【０００４】図１０は、この文献に開示された光スキャ
ナの構成を示す図である。この光スキャナは、光偏向子
としてシリコンからなる半導体基板３１に反射鏡３４
と、ねじりバネ３３と、これらを支持する固定枠５０と
を一体に形成している。
ナの構成を示す図である。この光スキャナは、光偏向子
としてシリコンからなる半導体基板３１に反射鏡３４
と、ねじりバネ３３と、これらを支持する固定枠５０と
を一体に形成している。
【０００５】前記反射鏡３４の周縁部には平面コイル３
５が敷設されており、この平面コイル３５は前記ねじり
バネ３３上を伝わって前記固定枠５０上に形成された電
極３６に電気的に接続されている。
５が敷設されており、この平面コイル３５は前記ねじり
バネ３３上を伝わって前記固定枠５０上に形成された電
極３６に電気的に接続されている。
【０００６】また、円形の永久磁石３８はスペーサ絶縁
基板４０を介してその磁化方向が前記反射鏡３４に平行
でかつ、前記ねじりバネ３３の軸方向と約４５度をなす
方向になる場所に配置されている。
基板４０を介してその磁化方向が前記反射鏡３４に平行
でかつ、前記ねじりバネ３３の軸方向と約４５度をなす
方向になる場所に配置されている。
【０００７】交流電流が印加される前記平面コイル３５
には前記永久磁石３８が発生する磁界との相互作用によ
ってローレンツ力が生じる。このローレンツ力によっ
て、前記反射鏡３４は前記ねじりバネ３３のねじり方向
に揺動する。
には前記永久磁石３８が発生する磁界との相互作用によ
ってローレンツ力が生じる。このローレンツ力によっ
て、前記反射鏡３４は前記ねじりバネ３３のねじり方向
に揺動する。
【０００８】前記ねじりバネ３３の弾性特性と前記反射
鏡３４の質量および重心によって規定される共振周波数
と同じ周波数を有する電流を前記平面コイル３５に印加
すると、その電流値における最大の振幅を得ることがで
きる。
鏡３４の質量および重心によって規定される共振周波数
と同じ周波数を有する電流を前記平面コイル３５に印加
すると、その電流値における最大の振幅を得ることがで
きる。
【０００９】また、ここでは反射鏡３４を真空封止する
ことによってダンピング係数を小さくしている。なお、
図１０において、参照符号３９はガス吸着剤であり、４
１は前カバー絶縁基板であり、４２は裏面絶縁基板であ
る。
ことによってダンピング係数を小さくしている。なお、
図１０において、参照符号３９はガス吸着剤であり、４
１は前カバー絶縁基板であり、４２は裏面絶縁基板であ
る。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た図１０に示した従来技術には大きな偏向角を持って振
動する光スキャナの配線などの電気要素の耐久性や大気
からの保護という観点については記載されていない。
た図１０に示した従来技術には大きな偏向角を持って振
動する光スキャナの配線などの電気要素の耐久性や大気
からの保護という観点については記載されていない。
【００１１】そこで、本発明はこのような点に着目し、
大きな偏向角を持って振動する光スキャナにおいて、高
い耐久性を示す電気要素を有する光スキャナを提供する
ことを課題とするものである。
大きな偏向角を持って振動する光スキャナにおいて、高
い耐久性を示す電気要素を有する光スキャナを提供する
ことを課題とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１による
と、任意の部材に固定するための支持体と、少なくとも
一方の面が光を反射する反射面である可動板と、前記支
持体と前記可動板を接続する弾性部材と、少なくとも一
辺が可動板上に形成された駆動コイルと、前記可動板と
の間に所定の間隔を有するように前記可動板近傍に配置
された永久磁石とからなり、前記駆動コイルに交流電流
を印加することで、前記弾性部材をねじりバネとして前
記可動板がねじり振動を行う光スキャナにおいて、前記
弾性部材は、内部に電気要素を有し、前記可動板上と前
記支持体上に達する絶縁性の弾性膜からなることを特徴
とする光スキャナが提供される。
と、任意の部材に固定するための支持体と、少なくとも
一方の面が光を反射する反射面である可動板と、前記支
持体と前記可動板を接続する弾性部材と、少なくとも一
辺が可動板上に形成された駆動コイルと、前記可動板と
の間に所定の間隔を有するように前記可動板近傍に配置
された永久磁石とからなり、前記駆動コイルに交流電流
を印加することで、前記弾性部材をねじりバネとして前
記可動板がねじり振動を行う光スキャナにおいて、前記
弾性部材は、内部に電気要素を有し、前記可動板上と前
記支持体上に達する絶縁性の弾性膜からなることを特徴
とする光スキャナが提供される。
【００１３】本発明の請求項２によると、前記永久磁石
は、前記可動板の対向する側壁面近傍にそれぞれ配置さ
れた少なくとも二つの永久磁石からなることを特徴とす
る請求項１記載の光スキャナが提供される。
は、前記可動板の対向する側壁面近傍にそれぞれ配置さ
れた少なくとも二つの永久磁石からなることを特徴とす
る請求項１記載の光スキャナが提供される。
【００１４】本発明の請求項３によると、少なくとも二
つの前記永久磁石がヨークによって接続されていること
を特徴とする請求項２記載の光スキャナが提供される。
本発明の請求項４によると、前記絶縁性の弾性膜は、有
機膜からなることを特徴とする請求項１、請求項２およ
び請求項３記載の光スキャナが提供される。
つの前記永久磁石がヨークによって接続されていること
を特徴とする請求項２記載の光スキャナが提供される。
本発明の請求項４によると、前記絶縁性の弾性膜は、有
機膜からなることを特徴とする請求項１、請求項２およ
び請求項３記載の光スキャナが提供される。
【００１５】本発明の請求項５によると、前記駆動コイ
ルは、前記永久磁石近傍で前記駆動コイルの配線の幅と
前記配線間の間隔が最小になるように形成したことを特
徴とする請求項１、請求項２および請求項３記載の光ス
キャナが提供される。
ルは、前記永久磁石近傍で前記駆動コイルの配線の幅と
前記配線間の間隔が最小になるように形成したことを特
徴とする請求項１、請求項２および請求項３記載の光ス
キャナが提供される。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態につき詳細に説明する。 ＜第１の実施の形態＞図１乃至図５は、本発明による光
スキャナの第１の実施の形態を示す図である。
施の形態につき詳細に説明する。 ＜第１の実施の形態＞図１乃至図５は、本発明による光
スキャナの第１の実施の形態を示す図である。
【００１７】この第１の実施の形態の光スキャナは一次
元の光の走査を行うことができるもので、図１はこの光
スキャナの斜視図を示し、図２，図３はそれぞれ、図１
に示した斜視図のＡ−Ａ’断面図、Ｂ−Ｂ’断面図であ
る。また、図４はこの光スキャナに使用される駆動コイ
ルを示し、図５（ａ）〜（ｊ）は、この光スキャナの製
作工程を示す図である。
元の光の走査を行うことができるもので、図１はこの光
スキャナの斜視図を示し、図２，図３はそれぞれ、図１
に示した斜視図のＡ−Ａ’断面図、Ｂ−Ｂ’断面図であ
る。また、図４はこの光スキャナに使用される駆動コイ
ルを示し、図５（ａ）〜（ｊ）は、この光スキャナの製
作工程を示す図である。
【００１８】この第１の実施の形態は次のように構成さ
れている。この光スキャナは可動板１０１と弾性部材１
０２と支持体１０３と永久磁石１０４から構成されてい
る。可動板１０１には、光を反射するための反射面１０
５が形成されており、図１における可動板１０１の裏面
がそれに対応している。可動板１０１に用いる主材料に
は振動中に反射面が変形しないことが望まれる。ここで
は、可動板１０１の主材料として高剛性材料である単結
晶シリコンを用いている。さらに、この可動板１０１に
は、前記単結晶シリコンの他に、窒化シリコン、アル
ミ、ポリイミド材料が用いられている。
れている。この光スキャナは可動板１０１と弾性部材１
０２と支持体１０３と永久磁石１０４から構成されてい
る。可動板１０１には、光を反射するための反射面１０
５が形成されており、図１における可動板１０１の裏面
がそれに対応している。可動板１０１に用いる主材料に
は振動中に反射面が変形しないことが望まれる。ここで
は、可動板１０１の主材料として高剛性材料である単結
晶シリコンを用いている。さらに、この可動板１０１に
は、前記単結晶シリコンの他に、窒化シリコン、アル
ミ、ポリイミド材料が用いられている。
【００１９】窒化シリコンは、光スキャナを作製すると
きのマスク材料として用いられたものの残留物でシリコ
ンとの絶縁に用いられ、アルミは駆動コイル１０６の配
線と駆動コイルの始点終点にあるコンタクトパッド１０
７として、場合によっては反射面１０５のミラー材料と
して用いられる。ポリイミドは、駆動コイル１０６を上
下から挟み込むように形成されており、コイル配線間の
絶縁と、コンタクトパッド１０７も含めて電気要素が大
気に触れないようにしている。
きのマスク材料として用いられたものの残留物でシリコ
ンとの絶縁に用いられ、アルミは駆動コイル１０６の配
線と駆動コイルの始点終点にあるコンタクトパッド１０
７として、場合によっては反射面１０５のミラー材料と
して用いられる。ポリイミドは、駆動コイル１０６を上
下から挟み込むように形成されており、コイル配線間の
絶縁と、コンタクトパッド１０７も含めて電気要素が大
気に触れないようにしている。
【００２０】弾性部材１０２は、可動板１０１から延在
するポリイミド膜を主材料として、その内部にコンタク
トパット１０７から支持体１０３に向かう配線１０８が
形成されている。配線１０８もアルミにより形成されて
いる。支持体１０３は、光スキャナをダイキャスト等に
固定するための接着部として用いられる一方、外部から
の電力を配線１０８を通して駆動コイル１０６に供給す
るためのボンディングパッド１０９が形成されている。
するポリイミド膜を主材料として、その内部にコンタク
トパット１０７から支持体１０３に向かう配線１０８が
形成されている。配線１０８もアルミにより形成されて
いる。支持体１０３は、光スキャナをダイキャスト等に
固定するための接着部として用いられる一方、外部から
の電力を配線１０８を通して駆動コイル１０６に供給す
るためのボンディングパッド１０９が形成されている。
【００２１】この支持体１０３は、主材料として単結晶
シリコンを用いている。単結晶シリコンは剛性が高いた
め、ダイキャストなどに固定するのに都合がよい。その
他に支持体１０３には、光スキャナを作製するときのマ
スク材料となる窒化シリコンと、ボンディングパッド１
０９と配線１０８を形成するアルミと、配線１０８を上
下から挟み込むことによって大気に触れないようにする
ためのポリイミド膜などが用いられている。このポリイ
ミド膜は可動板１０１、弾性部材１０２から延在するポ
リイミド膜を用いている。また、支持体１０３の単結晶
シリコンと可動板１０１で用いられる単結晶シリコンは
同一の基板から形成されている。
シリコンを用いている。単結晶シリコンは剛性が高いた
め、ダイキャストなどに固定するのに都合がよい。その
他に支持体１０３には、光スキャナを作製するときのマ
スク材料となる窒化シリコンと、ボンディングパッド１
０９と配線１０８を形成するアルミと、配線１０８を上
下から挟み込むことによって大気に触れないようにする
ためのポリイミド膜などが用いられている。このポリイ
ミド膜は可動板１０１、弾性部材１０２から延在するポ
リイミド膜を用いている。また、支持体１０３の単結晶
シリコンと可動板１０１で用いられる単結晶シリコンは
同一の基板から形成されている。
【００２２】図４に示すように、駆動コイル１０６は配
線の線幅と配線間の距離を各辺で変化させている。すな
わち、永久磁石１０４近傍でその幅方向に平行に形成さ
れた駆動コイル１０６の配線は、その他の場所に形成し
た配線と比べると配線の線幅が短く、配線間の間隔も短
く形成している。ただし、駆動コイル１０６の厚みは均
一にしている。
線の線幅と配線間の距離を各辺で変化させている。すな
わち、永久磁石１０４近傍でその幅方向に平行に形成さ
れた駆動コイル１０６の配線は、その他の場所に形成し
た配線と比べると配線の線幅が短く、配線間の間隔も短
く形成している。ただし、駆動コイル１０６の厚みは均
一にしている。
【００２３】永久磁石１０４の配置位置について、この
光スキャナは可動板の一方の側壁近傍に一つの永久磁石
を配置することで十分駆動することができるのである
が、可動板の対向する二つの側壁近傍にそれぞれ一つず
つ永久磁石を配置し、さらに、可動板１０１の板厚方向
に着磁方向を合わせ、可動板１０１先端の駆動コイル１
０６に対して上方あるいは下方約４５度の延長線上に永
久磁石１０４下部あるいは上部先端が合うような位置に
配置することで、より駆動力を増大させるためことがで
きる。
光スキャナは可動板の一方の側壁近傍に一つの永久磁石
を配置することで十分駆動することができるのである
が、可動板の対向する二つの側壁近傍にそれぞれ一つず
つ永久磁石を配置し、さらに、可動板１０１の板厚方向
に着磁方向を合わせ、可動板１０１先端の駆動コイル１
０６に対して上方あるいは下方約４５度の延長線上に永
久磁石１０４下部あるいは上部先端が合うような位置に
配置することで、より駆動力を増大させるためことがで
きる。
【００２４】次に、この実施の形態の光スキャナの作製
方法を説明する。この光スキャナは半導体製造技術によ
って作製することができる。光スキャナの作製方法を図
５に示す。使用する材料は単結晶シリコンの基板と窒化
シリコンとポリイミドとアルミの４種類だけである。
方法を説明する。この光スキャナは半導体製造技術によ
って作製することができる。光スキャナの作製方法を図
５に示す。使用する材料は単結晶シリコンの基板と窒化
シリコンとポリイミドとアルミの４種類だけである。
【００２５】まず、シリコン基板１１０は洗浄し、低圧
CVD装置を用いて窒化シリコン膜１１１を成膜する[図５
(a)]。シリコン基板１１０の両面に形成された窒化シリ
コン膜１１１は可動板１０１と支持体１０３を分離する
際のマスク材料として用いる。そのため、裏面の窒化シ
リコン膜１１１はフッ素系のドライエッチングによっ
て、シリコンが除去される部分をパターニングしておく
[図５(b)]。パターニングされた面と逆の面の窒化シリ
コン膜１１１上に第１のポリイミド層１１２を形成する
[図５(c)]。
CVD装置を用いて窒化シリコン膜１１１を成膜する[図５
(a)]。シリコン基板１１０の両面に形成された窒化シリ
コン膜１１１は可動板１０１と支持体１０３を分離する
際のマスク材料として用いる。そのため、裏面の窒化シ
リコン膜１１１はフッ素系のドライエッチングによっ
て、シリコンが除去される部分をパターニングしておく
[図５(b)]。パターニングされた面と逆の面の窒化シリ
コン膜１１１上に第１のポリイミド層１１２を形成する
[図５(c)]。
【００２６】形成方法としては液状のポリイミド溶液を
窒化シリコン膜１１１上に塗布し印刷法あるいはスピン
コーティング法によって均一に成膜し、焼結する手法を
用いる。第１ポリイミド層１１２上にスパッタされたア
ルミをエッチングすることによって、駆動コイル１０６
とコンタクトパッド１０７そしてボンディングパッド１
０９が形成される[図５(d)]。第２ポリイミド層１１３
は第１ポリイミド層１１２と同様に液状のポリイミド溶
液を第１ポリイミド層１１２上に塗布し印刷法あるいは
スピンコーティング法によって均一に成膜され、焼結さ
れる[図５(e)]。
窒化シリコン膜１１１上に塗布し印刷法あるいはスピン
コーティング法によって均一に成膜し、焼結する手法を
用いる。第１ポリイミド層１１２上にスパッタされたア
ルミをエッチングすることによって、駆動コイル１０６
とコンタクトパッド１０７そしてボンディングパッド１
０９が形成される[図５(d)]。第２ポリイミド層１１３
は第１ポリイミド層１１２と同様に液状のポリイミド溶
液を第１ポリイミド層１１２上に塗布し印刷法あるいは
スピンコーティング法によって均一に成膜され、焼結さ
れる[図５(e)]。
【００２７】この時、コンタクトパッド１０７及びボン
ディングパッド１０９上のポリイミドは除去しておく。
第２ポリイミド層１１３上にスパッタされたアルミをエ
ッチングすることによって、配線１０８を形成する[図
５(f)]。第３ポリイミド層１１４は弾性部材１０２の剛
性を決定する目的とコンタクトパッドを大気から保護す
る目的で成膜される。成膜後、ボンディングパッド１０
９上のポリイミドはフォトリソグラフィー技術とドライ
エッチングにより除去される[図５(g)]。ボンディング
パッド１０９のボンディング特性を改善するためにさら
にスパッタされたアルミ１２１を積層する[図５(h)]。
シリコン基板１１０から可動板１０１と支持体１０３を
作製するためにアルカリ性溶液を用いて基板の裏面から
シリコンの異方性エッチングを行う[図５(ｉ)]。
ディングパッド１０９上のポリイミドは除去しておく。
第２ポリイミド層１１３上にスパッタされたアルミをエ
ッチングすることによって、配線１０８を形成する[図
５(f)]。第３ポリイミド層１１４は弾性部材１０２の剛
性を決定する目的とコンタクトパッドを大気から保護す
る目的で成膜される。成膜後、ボンディングパッド１０
９上のポリイミドはフォトリソグラフィー技術とドライ
エッチングにより除去される[図５(g)]。ボンディング
パッド１０９のボンディング特性を改善するためにさら
にスパッタされたアルミ１２１を積層する[図５(h)]。
シリコン基板１１０から可動板１０１と支持体１０３を
作製するためにアルカリ性溶液を用いて基板の裏面から
シリコンの異方性エッチングを行う[図５(ｉ)]。
【００２８】このとき、弾性部材１０２となる第１ポリ
イミド層１１２下には窒化シリコン膜１１１があり、シ
リコン基板１１０が貫通エッチングされた際に第１ポリ
イミド層１１２を保護するための保護層になる。シリコ
ンの貫通エッチング後に弾性部材１０２と可動板１０１
と支持体１０３の裏面に露出した窒化シリコン膜１１１
はドライエッチングによって除去される[図５(j)]。
イミド層１１２下には窒化シリコン膜１１１があり、シ
リコン基板１１０が貫通エッチングされた際に第１ポリ
イミド層１１２を保護するための保護層になる。シリコ
ンの貫通エッチング後に弾性部材１０２と可動板１０１
と支持体１０３の裏面に露出した窒化シリコン膜１１１
はドライエッチングによって除去される[図５(j)]。
【００２９】その後、図５には示されていないが、弾性
部材１０２を形成する部分以外の第１ポリイミド層１１
２を裏面から除去するため、酸素系のドライエッチング
も行い、必要に応じて、光を反射する面にアルミをスパ
ッタして反射率の高い反射面を形成すれば光スキャナの
完成となる。
部材１０２を形成する部分以外の第１ポリイミド層１１
２を裏面から除去するため、酸素系のドライエッチング
も行い、必要に応じて、光を反射する面にアルミをスパ
ッタして反射率の高い反射面を形成すれば光スキャナの
完成となる。
【００３０】次に、この実施の形態の作用を説明する。
ボンディングパット１０９から交流電流を印加すること
により、可動板１０１上でその先端を周回する駆動コイ
ル１０６には永久磁石との相互作用によってローレンツ
力が発生する。この力のベクトル方向は永久磁石１０４
と駆動コイル１０６の位置関係によって決まり、この場
合、可動板１０１の板厚方向に力が発生する。この光ス
キャナは、支持体１０３が可動板１０１を囲むように形
成されている。また弾性部材１０２は可動部１０１の対
向する２辺から支持体１０３に接続するように形成され
ている。
ボンディングパット１０９から交流電流を印加すること
により、可動板１０１上でその先端を周回する駆動コイ
ル１０６には永久磁石との相互作用によってローレンツ
力が発生する。この力のベクトル方向は永久磁石１０４
と駆動コイル１０６の位置関係によって決まり、この場
合、可動板１０１の板厚方向に力が発生する。この光ス
キャナは、支持体１０３が可動板１０１を囲むように形
成されている。また弾性部材１０２は可動部１０１の対
向する２辺から支持体１０３に接続するように形成され
ている。
【００３１】従って、可動板１０１はこの２本の弾性部
材１０２の長手方向の中心軸を回転軸としたねじり振動
しか行うことができない。ねじり振動は永久磁石１０４
近傍のコイル配線１０６に生じるローレンツ力と２本の
弾性部材１０２の長手方向の中心軸から永久磁石１０４
近傍のコイル配線までの距離の積によって決まる。ま
た、ローレンツ力は永久磁石１０４の性能とサイズ、駆
動コイル１０６のターン数と配線長と駆動コイル１０６
に印加する電流量と永久磁石１０４から駆動コイル１０
６までの距離によって決まる。駆動コイル１０６が可動
板最外周を周回するように形成されるのは、発生力量を
少しでも大きくするためである。
材１０２の長手方向の中心軸を回転軸としたねじり振動
しか行うことができない。ねじり振動は永久磁石１０４
近傍のコイル配線１０６に生じるローレンツ力と２本の
弾性部材１０２の長手方向の中心軸から永久磁石１０４
近傍のコイル配線までの距離の積によって決まる。ま
た、ローレンツ力は永久磁石１０４の性能とサイズ、駆
動コイル１０６のターン数と配線長と駆動コイル１０６
に印加する電流量と永久磁石１０４から駆動コイル１０
６までの距離によって決まる。駆動コイル１０６が可動
板最外周を周回するように形成されるのは、発生力量を
少しでも大きくするためである。
【００３２】支持体１０３をダイキャスト等に固定し、
駆動コイル１０６に電流を印加することによって可動板
１０１は支持体１０３と弾性部材１０２の境界部を固定
端とした振動を開始する。可動板１０１と弾性部材１０
２の形状や材質によって一意的に決定される共振周波数
と同様の周波数で交流電流を印加することにより、可動
板１０１はその電流値における最大の振幅で振動を開始
する。
駆動コイル１０６に電流を印加することによって可動板
１０１は支持体１０３と弾性部材１０２の境界部を固定
端とした振動を開始する。可動板１０１と弾性部材１０
２の形状や材質によって一意的に決定される共振周波数
と同様の周波数で交流電流を印加することにより、可動
板１０１はその電流値における最大の振幅で振動を開始
する。
【００３３】図６に示すように、振動している可動部の
裏面に形成された反射面１０５にコリメートされたレー
ザ光１１５を反射させることにより反射したレーザ光１
１５は一次元に走査される。この光スキャナがバーコー
ドリーダの読み取り部に用いられる場合、反射光はバー
コード１１６に反射して散乱光を発生させる。その散乱
光は受光素子１１７で受光され信号処理回路１１８によ
って電気信号に変換される。当然、この光スキャナは駆
動回路１１９を用いて振動を制御しており、バーコード
上に走査されるレーザ光は一次元に走査される。
裏面に形成された反射面１０５にコリメートされたレー
ザ光１１５を反射させることにより反射したレーザ光１
１５は一次元に走査される。この光スキャナがバーコー
ドリーダの読み取り部に用いられる場合、反射光はバー
コード１１６に反射して散乱光を発生させる。その散乱
光は受光素子１１７で受光され信号処理回路１１８によ
って電気信号に変換される。当然、この光スキャナは駆
動回路１１９を用いて振動を制御しており、バーコード
上に走査されるレーザ光は一次元に走査される。
【００３４】したがって、次のような効果がある。本実
施の形態における光スキャナは１次元の光走査を行うこ
とができる。この光スキャナは弾性部材１０２がねじり
バネとして回動するため、曲げ振動を利用した光スキャ
ナと異なり、可動板１０１上に形成された反射面１０５
の反射点が移動することはなく、光学設計が容易で、光
の走査速度の等速性も改善できる。
施の形態における光スキャナは１次元の光走査を行うこ
とができる。この光スキャナは弾性部材１０２がねじり
バネとして回動するため、曲げ振動を利用した光スキャ
ナと異なり、可動板１０１上に形成された反射面１０５
の反射点が移動することはなく、光学設計が容易で、光
の走査速度の等速性も改善できる。
【００３５】また、弾性部材１０２に有機膜であるポリ
イミドを用いたことにより、上述した従来技術に示され
ているようなシリコンを振動部材に用いた場合と比較し
て脆性破壊が起きにくく、必要最小限の強度を保ちなが
ら、大きな偏向角を得ることができ、駆動コイル１０
６、配線１０８およびコンタクトパッド１０７等の電気
要素がポリイミド膜内部に形成されているため、電気要
素が湿気によって劣化することがほとんどなく、ポリイ
ミド膜内部に駆動コイル１０６を設けることで駆動コイ
ル１０６の配線間の絶縁も安定する。
イミドを用いたことにより、上述した従来技術に示され
ているようなシリコンを振動部材に用いた場合と比較し
て脆性破壊が起きにくく、必要最小限の強度を保ちなが
ら、大きな偏向角を得ることができ、駆動コイル１０
６、配線１０８およびコンタクトパッド１０７等の電気
要素がポリイミド膜内部に形成されているため、電気要
素が湿気によって劣化することがほとんどなく、ポリイ
ミド膜内部に駆動コイル１０６を設けることで駆動コイ
ル１０６の配線間の絶縁も安定する。
【００３６】また、本実施の形態で示した駆動コイル１
０６はコイルに電流が印加される際に発生する消費電力
及び熱を極力抑えながら、大きな駆動力を得るために考
案した形状となっている。
０６はコイルに電流が印加される際に発生する消費電力
及び熱を極力抑えながら、大きな駆動力を得るために考
案した形状となっている。
【００３７】ここで、コイルに発生する駆動力と、電流
値、消費電力、発生熱量との関係は以下に示す（１）〜
（３）式によって求めることができる。コイルの駆動力
Ｆは、 Ｆ＝ｎｉ・Ｂ…（１） で表わされ、ｎはコイルのターン数、ｉはコイルに流れ
る電流量そしてＢが永久磁石１０４に近接して形成され
た駆動コイル１０６の配線部上における平均磁束密度を
示している。
値、消費電力、発生熱量との関係は以下に示す（１）〜
（３）式によって求めることができる。コイルの駆動力
Ｆは、 Ｆ＝ｎｉ・Ｂ…（１） で表わされ、ｎはコイルのターン数、ｉはコイルに流れ
る電流量そしてＢが永久磁石１０４に近接して形成され
た駆動コイル１０６の配線部上における平均磁束密度を
示している。
【００３８】また、コイル部の消費電力Ｐは、及び、発
熱量Ｊは、 Ｐ＝ｉ2・Ｒ…（２） Ｊ＝ｉ2・Ｒ・ｔ…（３） で表すことができる。ここで、ｉは電流値、Ｒはコイル
の電気抵抗値、ｔは電流の流れる時間である。
熱量Ｊは、 Ｐ＝ｉ2・Ｒ…（２） Ｊ＝ｉ2・Ｒ・ｔ…（３） で表すことができる。ここで、ｉは電流値、Ｒはコイル
の電気抵抗値、ｔは電流の流れる時間である。
【００３９】この（１）式から、駆動力Ｆを大きくする
ためには、電流量ｉ、ターン数ｎ、磁束密度Ｂの少なく
とも一つを大きくすればよいことが分かる。ターン数お
よび磁束密度を大きくするには構造を変更する必要があ
るが、電流量を大きくすることは実現が容易である。
ためには、電流量ｉ、ターン数ｎ、磁束密度Ｂの少なく
とも一つを大きくすればよいことが分かる。ターン数お
よび磁束密度を大きくするには構造を変更する必要があ
るが、電流量を大きくすることは実現が容易である。
【００４０】しかし、（２），（３）式から分かるよう
に、コイルに流れる電流値ｉを大きくすると、電流値ｉ
の二乗に比例して、消費電力Ｐ、及び、発熱量Ｊがとも
に増大することになるので、好ましくない。
に、コイルに流れる電流値ｉを大きくすると、電流値ｉ
の二乗に比例して、消費電力Ｐ、及び、発熱量Ｊがとも
に増大することになるので、好ましくない。
【００４１】そこで、駆動コイル１０６のターン数ｎを
増すか、永久磁石と駆動コイルの距離が短くなるよう
に、駆動コイル１０６の線幅と配線間隔を短くして平均
磁束密度Ｂを上げることが考えられるが、いずれの場合
においても、駆動コイル１０６の抵抗値Ｒが大きくな
り、消費電力が増大し、また、発熱量が増大することに
なる。
増すか、永久磁石と駆動コイルの距離が短くなるよう
に、駆動コイル１０６の線幅と配線間隔を短くして平均
磁束密度Ｂを上げることが考えられるが、いずれの場合
においても、駆動コイル１０６の抵抗値Ｒが大きくな
り、消費電力が増大し、また、発熱量が増大することに
なる。
【００４２】すなわち、駆動力Ｆと消費電力Ｐ、発生熱
量Ｊとはトレードオフの関係にあるのだが、消費電力
Ｐ、発生熱量Ｊを極力抑えて、駆動力Ｆを増大させるた
めに本実施の形態では、図２に示すように駆動力に寄与
する配線だけその線幅を短くし、また、配線間の間隔も
短くすることで配線全体が永久磁石１０４の近傍に集中
するようにしたものである。ここで、駆動力に寄与しな
い駆動コイル１０６の配線間隔を大きくしているのは、
駆動コイル１０６の作製歩留まりを向上させるととも
に、駆動コイル１０６の電気抵抗を低減させるためであ
る。
量Ｊとはトレードオフの関係にあるのだが、消費電力
Ｐ、発生熱量Ｊを極力抑えて、駆動力Ｆを増大させるた
めに本実施の形態では、図２に示すように駆動力に寄与
する配線だけその線幅を短くし、また、配線間の間隔も
短くすることで配線全体が永久磁石１０４の近傍に集中
するようにしたものである。ここで、駆動力に寄与しな
い駆動コイル１０６の配線間隔を大きくしているのは、
駆動コイル１０６の作製歩留まりを向上させるととも
に、駆動コイル１０６の電気抵抗を低減させるためであ
る。
【００４３】本実施の形態では光スキャナは一体に形成
することができ、組立作業がほとんどなく、超小型の光
スキャナの生産性を向上することができる。また、半導
体製造技術を応用しているため、超小型化された光スキ
ャナの寸法精度が高く、個々の部品または組立上の問題
で光スキャナの振動が不安定になるようなことはない。
することができ、組立作業がほとんどなく、超小型の光
スキャナの生産性を向上することができる。また、半導
体製造技術を応用しているため、超小型化された光スキ
ャナの寸法精度が高く、個々の部品または組立上の問題
で光スキャナの振動が不安定になるようなことはない。
【００４４】なお、この実施の形態の各構成は、当然、
各種の変形、変更が可能である。第１の実施の形態の変
形例として、大きな振幅を得るために図７に示すように
両端の永久磁石１０４をヨーク１２０に接続しても良
い。図８と図９はそれぞれ図７におけるＡ−Ａ’断面と
Ｂ−Ｂ’断面を示している。
各種の変形、変更が可能である。第１の実施の形態の変
形例として、大きな振幅を得るために図７に示すように
両端の永久磁石１０４をヨーク１２０に接続しても良
い。図８と図９はそれぞれ図７におけるＡ−Ａ’断面と
Ｂ−Ｂ’断面を示している。
【００４５】このとき、両端の永久磁石１０４は図９に
示すように着磁方向を弾性部材１０２の幅方向に平行な
向きにする。ヨークを介することによって両端に配置さ
れた永久磁石１０４は、永久磁石１０４間の空間に生じ
る磁束を弾性部材１０２の幅方向に平行な向きに統一す
ることができる。また、ヨークを用いることで磁気回路
的には閉ループ回路となり図１で示した構成のような開
ループと比べると磁場の持つエネルギーを効率的に駆動
力に変換することができるため、駆動コイルの消費電力
を低減することもできる。
示すように着磁方向を弾性部材１０２の幅方向に平行な
向きにする。ヨークを介することによって両端に配置さ
れた永久磁石１０４は、永久磁石１０４間の空間に生じ
る磁束を弾性部材１０２の幅方向に平行な向きに統一す
ることができる。また、ヨークを用いることで磁気回路
的には閉ループ回路となり図１で示した構成のような開
ループと比べると磁場の持つエネルギーを効率的に駆動
力に変換することができるため、駆動コイルの消費電力
を低減することもできる。
【００４６】また、第１の実施の形態では、可動板１０
１は、弾性部材１０２を軸とした振動運動のため、光を
１次元方向のみしか走査していないが、例えば、図１０
に示した従来技術と同様に、永久磁石を支持体１０３と
別体に設け、弾性部材及び駆動コイルを二重にして設
け、内側の弾性部材と外側の弾性部材とを支持体に対し
て互いに直交するように設けることにより、２次元方向
に光を走査することが可能になる。
１は、弾性部材１０２を軸とした振動運動のため、光を
１次元方向のみしか走査していないが、例えば、図１０
に示した従来技術と同様に、永久磁石を支持体１０３と
別体に設け、弾性部材及び駆動コイルを二重にして設
け、内側の弾性部材と外側の弾性部材とを支持体に対し
て互いに直交するように設けることにより、２次元方向
に光を走査することが可能になる。
【００４７】以上、説明したような実施の形態におい
て、本発明には、以下のような発明が含まれている。 （１）任意の部材に固定するための支持体と、少なくと
も一方の面が光を反射する反射面である可動板と、前記
支持体と前記可動板を接続する弾性部材と、少なくとも
一辺が可動板上に形成された駆動コイルと、前記可動板
との間に所定の間隔を有するように前記可動板近傍に配
置された永久磁石とからなり、前記駆動コイルに交流電
流を印加することで、前記弾性部材をねじりバネとして
前記可動板がねじり振動を行う光スキャナにおいて、前
記弾性部材は、内部に電気要素を有し、前記可動板上と
前記支持体上に達する絶縁性の弾性膜からなることを特
徴とする光スキャナ。 （対応する発明の実施の形態）この発明に関する実施の
形態は、第１実施の形態が対応する。
て、本発明には、以下のような発明が含まれている。 （１）任意の部材に固定するための支持体と、少なくと
も一方の面が光を反射する反射面である可動板と、前記
支持体と前記可動板を接続する弾性部材と、少なくとも
一辺が可動板上に形成された駆動コイルと、前記可動板
との間に所定の間隔を有するように前記可動板近傍に配
置された永久磁石とからなり、前記駆動コイルに交流電
流を印加することで、前記弾性部材をねじりバネとして
前記可動板がねじり振動を行う光スキャナにおいて、前
記弾性部材は、内部に電気要素を有し、前記可動板上と
前記支持体上に達する絶縁性の弾性膜からなることを特
徴とする光スキャナ。 （対応する発明の実施の形態）この発明に関する実施の
形態は、第１実施の形態が対応する。
【００４８】請求項１における駆動コイルは、第１実施
の形態に示すように、交流電流を印加したとき永久磁石
との相互作用によって可動板を振動させる力を発生する
コイルであり、第１実施の形態では平面コイルを用いて
いる。
の形態に示すように、交流電流を印加したとき永久磁石
との相互作用によって可動板を振動させる力を発生する
コイルであり、第１実施の形態では平面コイルを用いて
いる。
【００４９】請求項１における電気要素とは駆動コイ
ル、検出コイル、電気配線、電極パッド等を総称してい
る。 （作用、効果）この光スキャナは可動板がねじり振動す
ることができ、構成が簡単で作製が容易な１次元の光ス
キャナである。板バネ部に絶縁性の弾性膜を用いること
によって、振動部材にシリコンを用いた場合と比べて脆
性な破壊が起きにくく、必要最小限の強度を保ちなが
ら、大きな偏向角が得られる。また、電気要素が絶縁性
の弾性膜内部に形成されているため、電気要素の湿気に
よる劣化がほとんどなく、各電気要素間の絶縁などにも
弾性膜を用いることができる。 （２）前記永久磁石は、前記可動板の対向する側壁面近
傍にそれぞれ配置された少なくとも二つの永久磁石から
なることを特徴とする請求項１記載の光スキャナ。 （対応する発明の実施の形態）この発明に関する実施の
形態は、第１実施の形態が対応する。 （作用、効果）可動板の両側壁面近傍にそれぞれ磁石を
配置することによって、さらに大きな偏向角を実現する
ことができる。 （３）少なくとも二つの前記永久磁石がヨークによって
接続されていることを特徴とする請求項２記載の光スキ
ャナ。 （対応する発明の実施の形態）この発明に関する実施の
形態は、第１の実施の形態の変形例が対応する。 （作用、効果）この光スキャナは両側壁面近傍に配置さ
れた２つの磁石をヨークによって接続することによっ
て、駆動コイルに発生する駆動力に影響を与える駆動コ
イル近傍の磁場分布を理想的な状態にすることができ、
またヨークを用いない場合と異なり、駆動コイル近傍に
磁場が集中するため効率的に駆動力に変換することがで
きる。 （４）前記絶縁性の弾性膜は、有機膜からなることを特
徴とする請求項１、請求項２および請求項３記載の光ス
キャナ。 （対応する発明の実施の形態）この発明に関する実施の
形態は、第１実施の形態が対応する。 （作用効果）板バネ部に有機膜を用いることによってシ
リコンなどを振動部材に用いた場合と比較して脆性な破
壊が起きにくく、必要最小限の強度を保ちながら、大き
な偏向角が得られる。 （５）前記駆動コイルは、前記永久磁石近傍で前記駆動
コイルの配線の幅と前記配線間の間隔が最小になるよう
に形成したことを特徴とする請求項１、請求項２および
請求項３記載の光スキャナ。 （対応する発明の実施の形態）この発明に関する実施の
形態は、第１実施の形態が対応する。 （作用効果）永久磁石近傍に形成された力の発生に寄与
するコイル配線の間隔を狭くし、配線の幅も狭くするこ
とによって永久磁石近傍のコイル配線が永久磁石に近づ
けることができ、通常のコイルよりも大きな発生力を得
ることができる。力の発生に寄与しない部分のコイル配
線の幅を十分にとることによってコイル配線幅を狭くす
ることによって発生する熱の問題を最小限に抑えること
ができる。また、力の発生に寄与しない部分のコイル配
線間の間隔を大きくとることで作製上の歩留まりを改善
することができる。
ル、検出コイル、電気配線、電極パッド等を総称してい
る。 （作用、効果）この光スキャナは可動板がねじり振動す
ることができ、構成が簡単で作製が容易な１次元の光ス
キャナである。板バネ部に絶縁性の弾性膜を用いること
によって、振動部材にシリコンを用いた場合と比べて脆
性な破壊が起きにくく、必要最小限の強度を保ちなが
ら、大きな偏向角が得られる。また、電気要素が絶縁性
の弾性膜内部に形成されているため、電気要素の湿気に
よる劣化がほとんどなく、各電気要素間の絶縁などにも
弾性膜を用いることができる。 （２）前記永久磁石は、前記可動板の対向する側壁面近
傍にそれぞれ配置された少なくとも二つの永久磁石から
なることを特徴とする請求項１記載の光スキャナ。 （対応する発明の実施の形態）この発明に関する実施の
形態は、第１実施の形態が対応する。 （作用、効果）可動板の両側壁面近傍にそれぞれ磁石を
配置することによって、さらに大きな偏向角を実現する
ことができる。 （３）少なくとも二つの前記永久磁石がヨークによって
接続されていることを特徴とする請求項２記載の光スキ
ャナ。 （対応する発明の実施の形態）この発明に関する実施の
形態は、第１の実施の形態の変形例が対応する。 （作用、効果）この光スキャナは両側壁面近傍に配置さ
れた２つの磁石をヨークによって接続することによっ
て、駆動コイルに発生する駆動力に影響を与える駆動コ
イル近傍の磁場分布を理想的な状態にすることができ、
またヨークを用いない場合と異なり、駆動コイル近傍に
磁場が集中するため効率的に駆動力に変換することがで
きる。 （４）前記絶縁性の弾性膜は、有機膜からなることを特
徴とする請求項１、請求項２および請求項３記載の光ス
キャナ。 （対応する発明の実施の形態）この発明に関する実施の
形態は、第１実施の形態が対応する。 （作用効果）板バネ部に有機膜を用いることによってシ
リコンなどを振動部材に用いた場合と比較して脆性な破
壊が起きにくく、必要最小限の強度を保ちながら、大き
な偏向角が得られる。 （５）前記駆動コイルは、前記永久磁石近傍で前記駆動
コイルの配線の幅と前記配線間の間隔が最小になるよう
に形成したことを特徴とする請求項１、請求項２および
請求項３記載の光スキャナ。 （対応する発明の実施の形態）この発明に関する実施の
形態は、第１実施の形態が対応する。 （作用効果）永久磁石近傍に形成された力の発生に寄与
するコイル配線の間隔を狭くし、配線の幅も狭くするこ
とによって永久磁石近傍のコイル配線が永久磁石に近づ
けることができ、通常のコイルよりも大きな発生力を得
ることができる。力の発生に寄与しない部分のコイル配
線の幅を十分にとることによってコイル配線幅を狭くす
ることによって発生する熱の問題を最小限に抑えること
ができる。また、力の発生に寄与しない部分のコイル配
線間の間隔を大きくとることで作製上の歩留まりを改善
することができる。
【００５０】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
大きな偏向角を持って振動する光スキャナにおいて、高
い耐久性を示す電気要素を有する光スキャナを提供する
ことができる。
大きな偏向角を持って振動する光スキャナにおいて、高
い耐久性を示す電気要素を有する光スキャナを提供する
ことができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態による光スキャナの
構成を示す斜視図である。
構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示した第１の実施の形態における斜視図
のＡ−Ａ’断面図である。
のＡ−Ａ’断面図である。
【図３】図１に示した第１の実施の形態における斜視図
のＢ−Ｂ’断面図である。
のＢ−Ｂ’断面図である。
【図４】第１の実施の形態における駆動コイルの構成を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図５】第１の実施の形態による光スキャナの製作工程
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図６】第１の実施の形態による光スキャナの適用例を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図７】第１の実施の形態による光スキャナの変形例の
構成を示す斜視図である。
構成を示す斜視図である。
【図８】図７に示した第１の実施の形態の変形例におけ
る斜視図のＡ−Ａ’断面図である。
る斜視図のＡ−Ａ’断面図である。
【図９】図７に示した第１の実施の形態の変形例におけ
る斜視図のＢ−Ｂ’断面図である。
る斜視図のＢ−Ｂ’断面図である。
【図１０】従来技術の構成を示す図である。
１０１ 可動板 １０２ 弾性部材 １０３ 支持体 １０４ 永久磁石 １０５ 反射面 １０６ 駆動コイル １０７ コンタクトパッド １０８ 配線 １０９ ボンディングパッド １１０ シリコン基板 １１１ 窒化シリコン膜 １１２ 第１ポリイミド層 １１３ 第２ポリイミド層 １１４ 第３ポリイミド層 １１５ レーザ光 １１６ バーコード １１７ 受光素子 １１８ 信号処理回路 １１９ 駆動回路 １２０ ヨーク
Claims (5)
- 【請求項１】任意の部材に固定するための支持体と、 少なくとも一方の面が光を反射する反射面である可動板
と、 前記支持体と前記可動板を接続する弾性部材と、 少なくとも一辺が可動板上に形成された駆動コイルと、 前記可動板との間に所定の間隔を有するように前記可動
板近傍に配置された永久磁石とからなり、 前記駆動コイルに交流電流を印加することで、前記弾性
部材をねじりバネとして前記可動板がねじり振動を行う
光スキャナにおいて、 前記弾性部材は、内部に電気要素を有し、前記可動板上
と前記支持体上に達する絶縁性の弾性膜からなることを
特徴とする光スキャナ。 - 【請求項２】前記永久磁石は、前記可動板の対向する側
壁面近傍にそれぞれ配置された少なくとも二つの永久磁
石からなることを特徴とする請求項１記載の光スキャ
ナ。 - 【請求項３】少なくとも二つの前記永久磁石がヨークに
よって接続されていることを特徴とする請求項２記載の
光スキャナ。 - 【請求項４】前記絶縁性の弾性膜は、有機膜からなるこ
とを特徴とする請求項１、請求項２および請求項３記載
の光スキャナ。 - 【請求項５】前記駆動コイルは、前記永久磁石近傍で前
記駆動コイルの配線の幅と前記配線間の間隔が最小にな
るように形成したことを特徴とする請求項１、請求項２
および請求項３記載の光スキャナ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27934096A JP3684003B2 (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | 光スキャナ |
| US09/213,062 US6188504B1 (en) | 1996-06-28 | 1998-12-16 | Optical scanner |
| US09/704,284 US6392776B1 (en) | 1996-06-28 | 2000-11-01 | Optical scanner |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27934096A JP3684003B2 (ja) | 1996-10-22 | 1996-10-22 | 光スキャナ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10123449A true JPH10123449A (ja) | 1998-05-15 |
| JP3684003B2 JP3684003B2 (ja) | 2005-08-17 |
Family
ID=17609820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27934096A Expired - Fee Related JP3684003B2 (ja) | 1996-06-28 | 1996-10-22 | 光スキャナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3684003B2 (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1054285A1 (en) * | 1999-05-20 | 2000-11-22 | Olympus Optical Co., Ltd. | Torsional rocker |
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