JP2002031532A - 振動型ジャイロスコープ及びその調整方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の振動脚を有する振動子を用いた振動型
ジャイロスコープでは、温度変化に基づくオフセット量
が大きく変化しやすく、角速度出力の精度に影響を及ぼ
していた。 【解決手段】 各振動脚の幅寸法を厚み寸法よりもわず
かに大きく設定すると、第１の共振点ＲｖがＨモード共
振点Ｒｈからを引き離され、第２の共振点Ｒ２０を表出
させることができる。そして、前記第２の共振点Ｒ２０
の大きさを低減させる方向に両端の振動子の重量バラン
スを調整することにより、位相差特性曲線を一次直線で
近似できるため、温度補正が容易になり且つより高精度
の角速度を得ることが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動子に複数の振
動脚が分岐形成された振動型ジャイロスコープに係わ
り、特に振動子の角速度出力に影響を及ぼすオフセット
量を最小にできるようにした振動型ジャイロスコープお
よびその調整方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図４は振動型ジャイロスコープなどに使
用される三脚型の振動子の斜視図、図５は図４の振動子
の出力信号間の位相差の周波数特性（位相差特性曲線）
を示すグラフである。

【０００３】図４に示す振動子１は、例えば圧電型又は
静電容量型の振動子であり、３本の振動脚２ａ，２ｂ，
３が分岐形成されている。各振動脚２ａ，２ｂ，３の一
方の面（下面）には、長手方向（Ｚ方向）に延びる駆動
電極（図示せず）がそれぞれ形成されており、また他方
の面（上面）にも同様の検出電極５ａ，５ｂがそれぞれ
形成されている。前記各駆動電極に所定の正弦波状の交
流駆動信号を与えると、圧電効果により、あるいはクー
ロン力により、各振動脚２ａ，２ｂ，３が各振動脚の並
び方向（Ｘ方向）に振動駆動させられる。

【０００４】このとき、両端の振動脚２ａ，２ｂが同位
相で駆動させられ、中央の振動脚３は前記振動脚２ａ，
２ｂとは位相が１８０度異なるように駆動させられる。
すなわち、ある時点で振動脚２ａ，２ｂがＸ１方向に振
動させられているとき、中央の振動脚３はＸ２方向に振
動させられる関係にある。

【０００５】ここで、上記のように振動駆動させた振動
子１を、長軸（Ｚ軸）回りの回転系に置くと、すなわち
振動子１に回転を与えると各振動脚２ａ，２ｂ及び３に
は前記振動方向（Ｘ方向）と直交する方向（Ｙ方向）に
コリオリ力が作用する。このため、前記振動脚２ａ，２
ｂ及び３は、各振動脚２ａ，２ｂ及び３が軸Ｏａ，Ｏｂ
及びＺを中心とする楕円運動をそれぞれ起こす。このと
き、前記検出電極５ａ，５ｂからそれぞれ出力される正
弦波状の出力信号の間には、コリオリ力の大きさに応じ
た、すなわち直交する方向（Ｙ方向）への振動成分に応
じた位相差出力が検出される。そして、上記振動型ジャ
イロスコープでは、前記出力信号間の位相差出力から前
記回転系に与えられた角速度が求められる。

【０００６】ここで、上記振動型ジャイロスコープは図
５に示すような周波数特性を持つことが知られている。
図５は、コリオリ力の影響を受けない条件下で振動子１
に与えられる駆動信号の大きさ（電圧量のピーク値）を
一定に維持しつつその駆動周波数のみを低周波から高周
波領域に遷移させたときの検出電極５ａ，５ｂから出力
される両出力信号間の位相差の特性を示す位相差特性曲
線である。図５では、符号Ｒｖで示す山部が第１の共振
点であり、前記第１の共振点Ｒｖの中心が共振周波数ｆ
ｖである。また前記共振周波数ｆｖの山裾部分に位置
し、振動子１の並び方向の共振を示す点がＨモード共振
点Ｒｈであり、この共振による周波数がＨモード共振周
波数ｆｈである。

【０００７】そして、上記振動型ジャイロスコープでは
交流駆動源Ｓの駆動周波数を前記Ｈモード共振周波数ｆ
ｈに設定することにより、前記第１の共振点Ｒｖによる
オフセット量の影響を受けずに精度の高い角速度を検出
できるようになる。

【０００８】そこで、従来においては前記振動脚２ａ，
２ｂおよび振動子３の先端や基端部をトリミングし、前
記Ｈモード共振周波数ｆｈを所定の駆動周波数に合せ込
むことにより調整するというものであった。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の振
動型ジャイロスコープの振動子１では、温度変化に敏感
に反応して前記位相差特性曲線の形が変化するという特
徴を有する。

【００１０】すなわち、下述するように位相差特性曲線
内の前記山部（第１の共振点Ｒｖ）は、純粋なＹ方向へ
の共振によるオフセット量の他に両端の振動脚２ａ，２
ｂの重量バランスのずれから生じる第２の共振点Ｒ２０
によるオフセット量が重畳されたものであり、しかもこ
れら両オフセット量は温度特性がそれぞれ異なる。つま
り例え常温下において駆動周波数をＨモード共振周波数
ｆｈ（オフセット量を０）に調整したとしても、温度が
変化すると位相差（オフセット量）が現れ、且つ前記位
相差（オフセット量）は温度変化によって複雑に変動す
るため、角速度の検出精度を高めることができないとい
った問題が生じる。

【００１１】この点上記のように、振動脚２ａ，２ｂお
よび振動子３の先端や基端部をトリミングすることによ
る調整を行なってはいたが、従来は両端の振動脚１１ａ
と１１ｂの断面形状を正方形としており、第２の共振点
Ｒ２０は第１の共振点Ｒｖに内包されて区別できない状
態にあった。このため、Ｈモード共振周波数ｆｈにおけ
るオフセット量が低減されていても、その低減が第２の
共振点Ｒ２０によるオフセット量の低減をも含むもので
あるかは不明であった。その一方で、第２の共振点Ｒ２
０によるオフセット量は温度変化によって複雑に変動す
るものであり、前記位相差特性曲線の形が変化すること
から精度の高い角速度を得難いという問題がある。

【００１２】本発明は上記従来の問題を解決するための
ものであり、振動子の角速度出力に影響を及ぼすオフセ
ット量（位相差）を最小とすることができるようにした
振動型ジャイロスコープおよびその調整方法を提供する
ことを目的としている。

【００１３】また本発明は、より高い精度の角速度出力
を得ることのできるジャイロスコープを提供することを
目的としている。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は、複数の平行な
振動脚が分岐形成された振動子と、前記振動脚に設けら
れた駆動電極および少なくとも一対の検出電極と、前記
振動脚を並び方向に振動させる駆動手段と、前記一対の
検出電極から出力される検出信号の位相差を検出する検
出手段とを有し、前記位相差により角速度を検出可能と
した振動型ジャイロスコープの調整方法において、前記
角速度が与えられていない状態で前記駆動電極に与える
駆動周波数を遷移させたときに、前記検出手段には、前
記振動子が前記並び方向と直交する方向に共振すること
による第１の共振周波数（ｆｖ）での位相差出力と、前
記並び方向の共振によるＨモード共振周波数（ｆｈ）と
前記第１の共振周波数（ｆｖ）との間にあり、前記各振
動脚間の重量バランスの崩れによる前記Ｈモード共振周
波数（ｆｈ）の縮退分離による第２の共振周波数（ｆ２
０）での位相差出力とが得られるものであり、前記振動
脚の断面の幅寸法を厚み寸法よりも大きく設定すること
により、前記第１の共振周波数（ｆｖ）とＨモード共振
周波数（ｆｈ）との周波数帯を離すように調整する第１
の工程と、前記振動脚間の重量バランスを調整すること
により、前記第２の共振周波数（ｆ２０）におけるオフ
セット量を低減させて前記Ｈモード共振周波数（ｆｈ）
での位相差出力のオフセット量がほぼゼロとなるように
調整する第２の工程と、からなることを特徴とするもの
である。

【００１５】上記においては、前記検出手段から出力さ
れる角速度出力の温度補正を施す温度補償手段が設けら
れ、所定の温度ごとに前記Ｈモード共振周波数（ｆｈ）
の近傍の位相差を、オフセット量および温度勾配として
取得し、前記温度補償手段内のメモリに記憶させる工程
を有するものが好ましい。

【００１６】また前記調整おいては、前記第２の工程
が、一方の振動脚の端面にレーザーを照射して前記振動
脚の質量の除去し、他方の振動脚の重量に一致又は近似
させてることにより両振動脚の重量バランスを取るもの
である。

【００１７】本発明では、これまで第１の共振点に重畳
的に内在していた、両端の振動脚のバランスの崩れによ
るＨモード共振周波数の縮退分離による第２の共振点を
表出させることができる。そして、この第２の共振点Ｒ
２０近傍におけるオフセット量を小さくさせるように両
端の振動脚の重量バランスを調整することが可能とな
る。よって、第１の共振点が温度によって変位したとし
ても、その山裾に位置するＨモード共振点の変位を低く
抑えることができる。

【００１８】また位相差特性曲線中の第１の共振点Ｒｖ
の山裾の部分からＨモード共振点Ｒｈに至るまでの部分
を直線的に近似できるようになるため、第２の共振点Ｒ
２０でのオフセット量に対する温度補正を容易に行うこ
とが可能となり、より高精度で角速度を検出できるよう
になる。

【００１９】また本発明は、複数の平行な振動脚が分岐
形成された振動子と、前記振動脚に設けられた駆動電極
および少なくとも一対の検出電極と、前記振動脚を並び
方向に振動させる駆動手段と、前記一対の検出電極から
出力される検出信号の位相差を検出する検出手段とを有
し、前記位相差により角速度を検出可能とした振動型ジ
ャイロスコープにおいて、前記角速度が与えられていな
い状態で前記駆動電極に与える駆動周波数を遷移させた
ときに、前記検出手段には、前記振動子が前記並び方向
と直交する方向に共振することによる第１の共振周波数
（ｆｖ）での位相差出力と、前記並び方向の共振による
Ｈモード共振周波数（ｆｈ）と前記第１の共振周波数
（ｆｖ）との間にあり、前記各振動脚間の重量バランス
の崩れによる前記Ｈモード共振周波数（ｆｈ）の縮退分
離による第２の共振周波数（ｆ２０）での位相差出力が
得られるものであり、前記振動脚の断面の幅寸法が厚み
寸法よりも大きく設定されることにより、前記第１の共
振周波数（ｆｖ）とＨモード共振周波数（ｆｈ）との周
波数帯が離され、且つ前記振動脚間の重量バランスがと
られていることにより、前記第２の共振周波数（ｆ２
０）におけるオフセット量が低減されて前記Ｈモード共
振周波数（ｆｈ）での位相差出力のオフセット量がほぼ
ゼロとなるように設定されていることを特徴とするもの
である。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明について図面を参照
して説明する。

【００２１】図１は振動型のジャイロスコープの実施の
形態として、三脚音叉型の振動子を示す斜視図であり、
図２は電極配置とその電極の配線を示す振動子の端面の
正面図、図３は本発明における振動子の出力信号間の位
相差の周波数特性（位相差特性曲線）を示すグラフであ
る。

【００２２】図１に示す振動子１０は、圧電材料の歪み
を利用する圧電型の振動子、または静電引力（クーロン
力）を利用する静電容量型の振動子などである。

【００２３】振動子１０の先端は、３脚に分岐形成され
た振動脚１１ａ，１１ｂおよび１２が設けられている。
前記振動脚１１ａ、１１ｂ及び１２の断面形状は、外観
上はほぼ均一な正方形状であるが、微視的に振動脚１１
ａ、１１ｂ及び１２の並び方向（Ｘ方向）の幅寸法Ｗの
方が、前記並び方向と直交する厚み方向（Ｙ方向）の寸
法Ｈに比べわずかに幅広くなるように形成されている
（Ｗ＞Ｈ）。

【００２４】図１及び図２に示すように、各振動脚１１
ａ、１１ｂ及び１２の両面には、一対の駆動電極１４
ａ，１４ｂ及び検出電極１５ａ，１５ｂが長手方向に平
行にそれぞれ形成されている。なお、図２において示す
矢印は振動子１０が圧電型の場合における分極方向を示
しており、両端の振動脚１１ａ，１１ｂは同一の分極配
置で形成されており、中央の振動脚１２は前記振動子１
１ａ，１１ｂとは異なる分極配置で形成されている。

【００２５】前記各駆動電極１４ａ，１４ｂに対し、交
流信号源（駆動手段）Ｓより所定の駆動信号を与える
と、両端の振動脚１１ａ、１１ｂが同じ位相で各振動脚
の並び方向（Ｘ方向）に振動駆動させられ、中央の振動
脚１２のみが前記両端の振動脚１１ａ、１１ｂとは逆位
相で振動駆動させられる。例えば、両端の振動脚１１
ａ、１１ｂがＸ１方向に駆動させられるときには、中央
の振動脚１２はＸ２方向に振動するように駆動させられ
る。

【００２６】そして、このような振動駆動状態にある振
動子１０が、Ｚ軸回りの回転系に置かれると、即ち振動
子１０に回転が与えられると、コリオリ力が振動駆動
（振動脚の並び方向）方向であるＸ方向と直交するＹ方
向に作用し、各振動脚１１ａ，１１ｂ及び１２はＹ方向
に歪み変形させられる。このため、各振動脚１１ａ，１
１ｂ及び１２には、Ｘ軸方向の運動成分以外にコリオリ
力に起因するＹ軸方向に成分が加わり、全体としてそれ
ぞれＯａ軸，Ｏｂ軸およびＺ軸を中心とした楕円運動と
なる。

【００２７】このとき、前記中央の振動脚１２の他方の
面の形成された検出電極１５ａ，１５ｂからは、正弦波
状の出力信号Ｃ，Ｄが出力される。ここで、振動子１０
が理想的なものであるとすると、Ｚ軸回りの回転系内に
振動子１０が存在しない場合、すなわちコリオリ力が生
じていない場合には前記出力信号Ｃと出力信号Ｄとの間
の位相差は０である。一方、振動子１０がＺ軸回りの回
転系に置かれた場合には、前記出力信号Ｃと出力信号Ｄ
との間にコリオリ力に応じた位相差が生じる。

【００２８】上記振動型ジャイロスコープ内には、この
位相差を検出する検出手段（図示せず）が設けられてお
り、前記検出手段から角速度が電圧量として出力され
る。例えば、位相差が０の場合には０（Ｖ）を出力し、
正方向のコリオリ力の場合には正の電圧を出力する。ま
たコリオリ力が負方向に作用した場合には負の電圧が出
力される。

【００２９】しかしながら、図３に示すように、上記振
動子１０の位相差にはオフセットが生じやすく、コリオ
リ力が存在しない場合にも前記出力信号ＣとＤとの間に
位相差が生じて角速度が検出されることがある。しかも
前記オフセット量は、温度変化に敏感に反応するため、
各温度ごとに検出されるオフセット量も変化しやすい。

【００３０】そこで、本発明では以下に示すような調整
が行われる。上記振動子からなる振動型ジャイロスコー
プでは、各振動脚の断面の幅寸法Ｗを厚み寸法Ｈよりも
大きくなるように形成し、前記第１の共振周波数（ｆ
ｖ）からＨモード共振周波数（ｆｈ）を離すような調整
が行われる（第１の工程）。そして、振動型ジャイロス
コープに与えられる駆動信号の大きさ（電圧量）のピー
ク値を一定レベルとし、コリオリ力の無い条件下で駆動
信号の周波数のみを低周波帯域から高周波帯域まで遷移
させることにより、図３に示すような周波数特性を取得
する。

【００３１】すなわち、従来（図５参照）の山部（第１
の共振点Ｒｖ）が示すＹ方向の第１の共振周波数ｆｖお
よび山裾部分のＨモード共振点Ｒｈが示すＨモード共振
周波数ｆｈの他に、前記第１の共振周波数ｆｖとＨモー
ド共振周波数ｆｈとの間に第２の共振点Ｒ２０が現れた
位相差特性曲線を得ることができる。なお、前記第２の
共振点Ｒ２０の中心の周波数が、第２の共振周波数ｆ２
０である。

【００３２】前記第２の共振周波数ｆ２０は、両端の振
動脚１１ａと１１ｂとの重量バランスのずれによるＨモ
ード共振周波数の縮退分離により発生する。すなわち、
三脚型の振動子１０は、２つの２脚型振動子のそれぞれ
一方の脚を機械的に結合させたものと考えられ、本来は
２脚型振動子それぞれが独自の共振周波数を有する。よ
って、各々異なる共振周波数を有する２脚型振動子を機
械的に結合させた三脚型の振動子１０では、両端の振動
脚１１ａ，１１ｂの重量バランスにずれが生じると、こ
れに起因したオフセット量が発生し、これが第２の共振
周波数ｆ２０の近傍で第２の共振点Ｒ２０として現れ
る。

【００３３】なお、従来は各振動子１０の断面の幅寸法
Ｗと厚み寸法Ｈを同一寸法（正方形）としていたため、
第１の共振周波数ｆｖとＨモード共振周波数ｆｈとが接
近し、前記第２の共振周波数ｆ２０が第１の共振周波数
ｆｖに重畳的に含まれ（上記図５の状態）、位相差特性
曲線を見ただけでは区別することはもとより、このよう
な第２の共振点Ｒ２０の存在すら知られていないもので
あった。

【００３４】本発明では、各振動子１０の断面の幅寸法
Ｗを厚み寸法Ｈよりもわずかに大きく設定したことによ
り、Ｈモード共振点Ｒｈから第１の共振点Ｒｖを引き離
すことが可能となり、同時に第２の共振点Ｒ２０を表出
させることが可能となる。ただし、Ｈモード共振点Ｒｈ
から第１の共振点Ｒｖを大きく引き離しても、Ｈモード
共振点Ｒｈと第２の共振点Ｒ２０との間はほぼ一定の周
波数に維持され、第２の共振点Ｒ２０が第１の共振点Ｒ
ｖに追従して移動することはない。

【００３５】そして、この状態から両端の振動脚１１ａ
と１１ｂのいずれか重量の重い方の振動脚の重量を削
り、他方の振動脚の重量に一致又は近似させることによ
り、前記第２の共振点Ｒ２０の山部の大きさを低減させ
る（第２の工程）。

【００３６】この際、前記第２の共振点Ｒ２０の大きさ
を低減させる方向に両端の振動子の重量バランスを調整
されるとともに、第１の共振点Ｒｖの山裾の部分からＨ
モード共振点Ｒｈに至るまでの勾配部分を直線的に近似
されるように、前記調整が行われることが好ましい。

【００３７】また本発明では、第１の共振点Ｒｖから第
２の共振点Ｒ２０を分離させているため、振動子１０の
位相差に対する周波数特性を調べることにより、第２の
共振点Ｒ２０の大きさが低減されるか否かを確認でき、
前記振動子１０を調整する上での目安とすることができ
る。

【００３８】上記振動子１０の重量バランスの調整の方
法としては、例えば両端の振動脚１１ａ，１１ｂのいず
れか重量の重い方の振動脚の先端側の端面にレーザース
ポットをピンポイント的に照射して質量を部分的に除去
することにより行なうことができる。

【００３９】上記のように、既に両振動脚１１ａと１１
ｂの重量バランスが調整され、第２の共振点Ｒ２０のオ
フセット量が低減されると、温度変化が生じた場合であ
っても、前記両振動脚１１ａ，１１ｂの重量バランスの
ずれに起因する第２の共振点Ｒ２０の影響を少なくでき
る。よって、第１の共振点Ｒｖの山裾の部分からＨモー
ド共振点Ｒｈに至るまでの部分が複雑に変化することを
防止でき、温度変化に対するオフセット量についてもよ
り一次直線に近い勾配とすることができる。

【００４０】よって、位相差特性曲線のうち、特に駆動
周波数に近いＨモード共振点Ｒｆ近傍のオフセット量や
勾配（温度係数）のデータ（温度補正データ）を各温度
ごとに容易に取得することが可能となる。そして、これ
ら温度補正データのデータ量が膨大となることを避ける
ことができる。

【００４１】なお、前記温度補正データは、振動型ジャ
イロスコープの駆動制御系内の温度補償手段内のメモリ
に記憶される。前記温度補償手段では、振動型ジャイロ
スコープ内に設けられる温度センサ（図示せず）より与
えられる温度に応じた温度補償データをメモリから読み
出し、検出電極１５ａ，１５ｂから出力される出力信号
ＣおよびＤの位相差から検出される角速度出力の温度補
償を行なうことにより、精度の高い角速度を求めること
ができる。

【００４２】この際、前記温度補償では、オフセット量
の補間が必要となる場合もあるが、一次直線で近似でき
るため補間データの誤差を極めて小さなものとすること
ができる。よって、コリオリ力によって出力信号ＣとＤ
との間に生じる位相差を高い精度で検出することが可能
となるため、より角速度の精度を高めることができる。

【００４３】

【発明の効果】以上詳述した本発明によれば、Ｈモード
共振点近傍の位相差特性曲線を一次直線で近似すること
が可能となるため、適正なオフセット量及び温度係数な
どの温度補償データを各温度ごとに得ることができる。

【００４４】よって、最適な温度補償を行なうことがで
き、精度の高い角速度を検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】振動型のジャイロスコープの実施の形態とし
て、三脚音叉型の振動子を示す斜視図、

【図２】電極配置とその電極の配線を示す振動子の端面
の正面図、

【図３】本発明における振動子の出力信号間の位相差の
周波数特性（位相差特性曲線）を示すグラフ、

【図４】振動型ジャイロスコープなどに使用される三脚
型の振動子の斜視図、

【図５】図４の振動子の出力信号間の位相差の周波数特
性（位相差特性曲線）を示すグラフ、

【符号の説明】

１０ 振動子 １１ａ，１１ｂ、１２ 振動脚 １４ａ，１４ｂ 駆動電極 １５ａ，１５ｂ 検出電極 Ｃ，Ｄ 出力信号 Ｒｖ 第１の共振点 ｆｖ 第１の共振周波数 Ｒｈ Ｈモード共振点 ｆｈ Ｈモード共振周波数 Ｒ２０ 第２の共振点 ｆ２０ 第２の共振周波数

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高井 大輔 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アルプ ス電気株式会社内 Ｆターム(参考） 2F105 BB03 BB09 CC06 CD02 CD05 CD06

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の平行な振動脚が分岐形成された振
   動子と、前記振動脚に設けられた駆動電極および少なく
   とも一対の検出電極と、前記振動脚を並び方向に振動さ
   せる駆動手段と、前記一対の検出電極から出力される検
   出信号の位相差を検出する検出手段とを有し、前記位相
   差により角速度を検出可能とした振動型ジャイロスコー
   プの調整方法において、 前記角速度が与えられていない状態で前記駆動電極に与
   える駆動周波数を遷移させたときに、前記検出手段に
   は、前記振動子が前記並び方向と直交する方向に共振す
   ることによる第１の共振周波数（ｆｖ）での位相差出力
   と、前記並び方向の共振によるＨモード共振周波数（ｆ
   ｈ）と前記第１の共振周波数（ｆｖ）との間にあり、前
   記各振動脚間の重量バランスの崩れによる前記Ｈモード
   共振周波数（ｆｈ）の縮退分離による第２の共振周波数
   （ｆ２０）での位相差出力とが得られるものであり、 前記振動脚の断面の幅寸法を厚み寸法よりも大きく設定
   することにより、前記第１の共振周波数（ｆｖ）とＨモ
   ード共振周波数（ｆｈ）との周波数帯を離すように調整
   する第１の工程と、前記振動脚間の重量バランスを調整
   することにより、前記第２の共振周波数（ｆ２０）にお
   けるオフセット量を低減させて前記Ｈモード共振周波数
   （ｆｈ）での位相差出力のオフセット量がほぼゼロとな
   るように調整する第２の工程と、からなることを特徴と
   する振動型ジャイロスコープの調整方法。
2. 【請求項２】 前記検出手段から出力される角速度出力
   の温度補正を施す温度補償手段が設けられ、 所定の温度ごとに前記Ｈモード共振周波数（ｆｈ）の近
   傍の位相差を、オフセット量および温度勾配として取得
   し、前記温度補償手段内のメモリに記憶させる工程を有
   する請求項２記載の振動型ジャイロスコープの調整方
   法。
3. 【請求項３】 前記第２の工程が、一方の振動脚の端面
   にレーザーを照射して前記振動脚の質量の除去し、他方
   の振動脚の重量に一致又は近似させてることにより両振
   動脚の重量バランスを取るものである請求項１記載の振
   動型ジャイロスコープの調整方法。
4. 【請求項４】 複数の平行な振動脚が分岐形成された振
   動子と、前記振動脚に設けられた駆動電極および少なく
   とも一対の検出電極と、前記振動脚を並び方向に振動さ
   せる駆動手段と、前記一対の検出電極から出力される検
   出信号の位相差を検出する検出手段とを有し、前記位相
   差により角速度を検出可能とした振動型ジャイロスコー
   プにおいて、 前記角速度が与えられていない状態で前記駆動電極に与
   える駆動周波数を遷移させたときに、前記検出手段に
   は、前記振動子が前記並び方向と直交する方向に共振す
   ることによる第１の共振周波数（ｆｖ）での位相差出力
   と、前記並び方向の共振によるＨモード共振周波数（ｆ
   ｈ）と前記第１の共振周波数（ｆｖ）との間にあり、前
   記各振動脚間の重量バランスの崩れによる前記Ｈモード
   共振周波数（ｆｈ）の縮退分離による第２の共振周波数
   （ｆ２０）での位相差出力が得られるものであり、 前記振動脚の断面の幅寸法が厚み寸法よりも大きく設定
   されることにより、前記第１の共振周波数（ｆｖ）とＨ
   モード共振周波数（ｆｈ）との周波数帯が離され、且つ
   前記振動脚間の重量バランスがとられていることによ
   り、前記第２の共振周波数（ｆ２０）におけるオフセッ
   ト量が低減されて前記Ｈモード共振周波数（ｆｈ）での
   位相差出力のオフセット量がほぼゼロとなるように設定
   されていることを特徴とする振動型ジャイロスコープ。