KR100219291B1 - 진동 자이로스코프의 온도특성 조정방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 진동 자이로스코프(vibrating gyroscope)의 온도특성을 조정하는 방법에 관한 것으로, 진동 자이로스코프는 제 1 압전체 기판과 제 2 압전체 기판이 서로 접합된 진동체(vibration member)를 포함한다. 제 1 압전체 기판의 외측주면에는, 여섯 개의 전극부분들로 분할된 제 1 외부전극이 형성된다. 제 2 압전체 기판의 외측주면에는, 제 2 외부전극이 형성된다. 중앙부에 배치된 전극부분들의 일부분을 제거함으로써, 중앙부에 배치된 전극부분들 중의 하나와 제 2 외부전극간에 형성된 정전용량 C(L)과; 중앙부에 배치된 다른 전극부분과 제 2 외부전극간에 형성된 정전용량 C(R)간의 정전용량의 차 C(L)－C(R)이 조정된다.
Description
본 발명은 진동 자이로스코프(vibrating gyro)의 온도특성을 조정하는 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 카메라 요동(shake)방지 또는 자동차-운행 시스템(car-navigation system) 및 포인트 장치(point device) 등에 사용되는 진동 자이로스코프의 온도특성을 조정하는 방법에 관한 것이다.
도 8은 본 발명의 배경으로서 제공하는 진동 자이로스코프의 사시도이다. 진동 자이로스코프 1은 진동체(vibration member) 2를 포함한다. 진동체 2는 제 1 압전체 기판 3과 제 2 압전체 기판 4를 접합함으로써 형성된다. 제 1 압전체 기판 3 및 제 2 압전체 기판 4는 도 8에서 화살표로 나타낸 바와 같이 서로 대향하는 두께방향으로 분극된다.
제 1 압전체 기판 3의 외측주면에는, 분할전극(split electrode) 5가 형성된다. 전극 5는, 제 1 압전체 기판 3의 길이방향으로 연장되는 홈에 의해, 폭방향으로 두 부분으로 분할된다. 또한, 전극 5는 제 1 압전체 기판 3의 폭방향으로 연장되는 두 개의 홈들에 의해 길이방향으로 세 부분들로 분할된다. 이런 방법으로, 전극 5는 여섯 부분들로 분할된다. 제 2 압전체 기판 4의 외측주면 전체에 걸쳐 다른 전극 6이 형성된다.
이 진동 자이로스코프 1에서는, 전극 5의 길이방향의 중앙부에 배치된 두 개의 전극부분들 5a, 5b와, 전극 5와 대향되는 전극 6 사이에 구동신호(drive signal)가 인가된다. 제 1 압전체 기판 3 및 제 2 압전체 기판 4는 서로 역방향으로 분극되기 때문에, 진동체 2는 바이몰프(bimorph) 구조를 갖는다. 구동신호가 인가된 경우, 전극들 5, 6의 형성면에 직교하는 방향으로 진동체 2가 굴곡진동한다. 이때, 진동체 2는 이것의 길이방향의 양단으로부터 조금 내측으로 배치된 두 개의 노드를 중심으로 굴곡진동한다. 진동시에 전극부분 5a와 전극부분 5b로부터 동일한 신호가 출력되기 때문에, 이들 전극부분들 5a와 5b로부터 출력된 신호들간에 정전용량의 차가 측정되는 경우, 두 출력신호들이 상쇄되기 때문에 정전용량의 차는 0이다.
진동체 2가 축을 중심으로 회전하는 경우, 진동체 2의 굴곡진동의 방향에 직교하는 방향으로 코리올리의 힘(Coriolis force)이 발생된다. 그러므로, 진동체 2의 굴곡진동의 방향이 변화되고, 전극부분 5a와 전극부분 5b로부터의 출력신호가 변화된다. 즉, 전극부분 5a로부터의 출력신호가 코리올리의 힘에 대하여 증가하는 경우, 다른 전극부분 5b로부터의 출력신호는 코리올리의 힘에 대하여 감소된다. 그러므로, 이들 전극부분들 5a와 5b의 출력신호의 차로부터 코리올리의 힘에 대한 신호만을 얻을 수 있다. 이 방법으로, 전극부분 5a와 전극부분 5b의 출력신호간의 차를 측정함으로써, 진동 자이로스코프가 갖는 회전각속도(rotational angular velocity)를 검출할 수 있다.
그러나, 이런 진동 자이로스코프는 도 9에 나타낸 바와 같이, 각각의 출력을 위한 온도특성을 갖는다. 즉, 진동 자이로스코프에서 출력된 드리프트 전압은 주위 온도의 변화에 따라서 증가 및 감소한다. 몇몇 진동 자이로스코프는 주위온도의 상승에 따라서 드리프트 전압이 증가하는 정특성(positive temperature coefficients)을 갖는다. 반대로, 몇몇 진동 자이로스코프는 주위온도의 상승에 따라서 드리프트 전압이 감소하는 부특성(negative temperature coefficients)을 갖는다. 각각의 진동 자이로스코프에 있어서, 온도특성의 변화도는 다르다.
진동 자이로스코프의 특성이 주위온도의 변화에 따라서 크게 변화하기 때문에, 온도특성의 변화도가 큰 것은 바람직하지 않다. 그러므로, 드리프트 전압을 위한 상한선과 하한선은 일반적으로 설정되고, 진동 자이로스코프의 특성이 설정범위내에 있는 경우 양품으로 결정되며, 특성이 설정범위외에 있는 경우 불량품으로 결정된다. 그러나, 이 방법의 사용에 의해, 진동 자이로스코프의 생산성이 저하된다.
따라서, 본 발명의 주된 목적은 생산성을 향상시키기 위해 진동 자이로스코프의 온도특성을 조정하는 방법을 제공하는 것이다.
도1은 본 발명의 조정방법이 적용된 진동 자이로스코프의 사시도이다.
도2는 도 1에 나타낸 진동 자이로스코프를 이용하기 위한 회로의 블럭도이다.
도3은 정전용량의 차, C(L)－C(R)가 정의 값인 경우, 진동 자이로스코프의 드리프트 전압의 온도특성을 나타내는 챠트이다.
도4는 정전용량의 차, C(L)－C(R)가 음의 값인 경우, 진동 자이로스코프의 드리프트 전압의 온도특성을 나타내는 챠트이다.
도5는 외부전극의 일부분이 에칭에 의해 제거된 상태도이다.
도6은 외부전극의 일부분이 레이저 트리밍에 의해 제거된 상태도이다.
도7은 외부전극의 일부분이 연마에 의해 제거된 상태도이다.
도8은 본 발명의 배경으로서 제공하는 진동 자이로스코프의 사시도이다.
도9는 진동 자이로스코프의 드리프트 전압의 온도특성을 나타내는 챠트이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : 진동 자이로스코프
12 : 진동체
14 : 제 1 압전체 기판
16 : 제 2 압전체 기판
18 : 접합층
20 : 제 1 외부전극
24 : 제 2 외부전극
본 발명의 전술한 목적은 진동체(vibration member)와, 진동체의 외측주면에 형성된 적어도 한쪽이 분할된 대향하는 외부전극들을 포함하는 진동 자이로스코프의 온도특성을 조정하는 방법을 제공함으로써 달성되며, 상기한 방법은 대향하는 외부전극들의 일부분을 제거함으로써 대향하는 외부전극들간의 정전용량을 조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
진동 자이로스코프의 온도특성을 조정하는 방법에서, 분할된 외부전극과 대향하는 외부전극간의 정전용량이 일치하도록 외부전극들의 일부분을 제거할 수 있다.
진동 자이로스코프의 온도특성을 조정하는 방법에서, 분할된 외부전극과 대향하는 외부전극간의 정전용량의 차이가 있도록 외부전극들의 일부분을 제거할 수 있다.
진동 자이로스코프의 온도특성을 조정하는 방법에서, 외부전극들의 일부분을 레이저 트리밍, 에칭 또는 연마에 의해 제거할 수 있다.
본 발명의 발명가는 진동 자이로스코프의 온도특성이 분할된 외부전극과 분할전극에 대향하는 전극 사이에 형성된 두 커패시터들간의 정전용량의 차와 관련이 있다는 것을 발견하였다. 발명가는 외부전극의 일부분을 제거하여 정전용량의 차를 제거함으로써 온도특성의 변화도를 감소시킬 수 있다는 것을 알았다. 발명가는 또한, 외부회로의 불균형에 의해 진동 자이로스코프의 온도특성의 변화도가 큰 경우, 외부전극을 제거하여 정전용량의 차이를 발생시킴으로써 온도특성의 변화도가 감소될 수 있다는 것을 알았다. 전극은 레이저 트리밍(laser trimming), 에칭(etching) 및 연마(grinding)에 의해 제거될 수 있다.
본 발명에 따르면, 진동 자이로스코프의 드리프트 전압의 온도특성의 변화도가 감소될 수 있다. 그러므로, 진동 자이로스코프의 불량품의 수가 감소될 수 있고, 진동 자이로스코프의 생산성이 향상될 수 있다.
도면을 참조함으로써 설명된 본 발명의 구현예들의 하기의 상세한 설명들에의해, 본 발명의 전술한 목적과, 다른 목적과, 특징 및 장점들이 더욱 명백하게 이해될 것이다.
(구현예)
도 1은 본 발명에 따른 조정방법이 적용된 진동 자이로스코프의 사시도이다. 진동 자이로스코프 10은 진동체 12를 포함한다. 진동체 12는 예를 들어, 압전 세라믹 또는 LiNbO3와 LiTaO3등의 단결정(single crystal)으로 구성된 제 1 압전체 기판 14와 제 2 압전체 기판 16을 포함한다. 제 1 압전체 기판 14 및 제 2 압전체 기판 16은 예를 들어 에폭시계 수지로 구성된 접합층 18로서 접합되고, 도 1의 화살표로써 나타낸 바와 같이, 서로 대향하는 두께방향으로 분극된다. 그러므로, 진동체 12는 바이몰프 구조를 갖는다.
제 1 압전체 기판 14의 외측주면에는, 제 1 외부전극 20이 형성된다. 제 1 외부전극 20에는, 제 1 압전체 기판 14의 길이방향으로 연장되는 홈 22a와, 제 1 압전체 기판 14의 폭방향으로 연장되는 홈 22b가 형성된다. 이들 홈 22a와 홈 22b에 의해, 제 1 외부전극 20이 여섯 개의 전극부분 20a, 20b, 20c, 20d, 20e 및 20f로 분할된다. 제 2 압전체 기판 16의 외측주면의 전면에 걸쳐 제 2 외부전극 24가 형성된다.
이런 진동체 12를 제조하기 위해, 예를 들어, 두 개의 큰 압전체 기판이 에폭시계 수지로 접합되어 적층기판을 구성하고, 하나의 압전체 기판에 형성된 외부전극에는 홈들이 일정한 간격으로 형성되며, 적층기판이 다이싱 커터(dicing cutter)에 의해 절단된다.
이 진동 자이로스코프 10을 사용하기 위해, 도 2에 나타낸 바와 같이 제어저항 30과 제어저항 32가 먼저 제 1 외부전극 20의 중앙부에 길이방향으로 배치된 두 개의 전극부분들 20a와 20b에 접속된다. 발진회로(osciliating circuit) 34는 제 2 외부전극 24와 이들 제어저항들 30, 32 간에 접속된다. 발진회로 34는 예를 들어, 증폭회로(도시하지 않았음)와 위상보정회로(도시하지 않았음)를 포함한다. 제 2 전극 24에서 출력된 신호는 발진회로 34에 피드백된다. 피드백 신호의 레벨 및 위상은 증폭회로와 위상보정회로에서 조정되며, 제 1 외부전극 20의 전극부분들 20a와 20b에 인가된다.
제 1 외부전극 20의 전극부분 20a와 전극부분 20b는, 차동회로(differential circuit) 36의 입력단에 접속된다. 차동회로 36의 출력단은 동기검파회로(synchronous detection circuit) 38에 접속된다. 동기검파회로 38에서는, 예를 들어, 발진회로 34의 신호와 동시에 차동회로 36의 출력신호가 검파된다. 동기검파회로 38은 평활회로(smoothing circuit) 40에 접속되고, 평활회로 40는 증폭회로(amplification circuit) 42에 접속된다.
진동 자이로스코프 10은 발진회로 34에 의해 자기구동된다. 진동체 12가 바이몰프 구조를 갖기 때문에, 제 1 압전체 기판 14가 이것의 주면에 평행한 방향으로 확장하는 경우, 제 2 압전체 기판 16은 이것의 주면에 평행한 방향으로 수축한다. 반면, 제 1 압전체 기판 14가 이것의 주면에 평행한 방향으로 수축하는 경우, 제 2 압전체 기판 16은 이것의 주면에 평행한 방향으로 확장한다. 그러므로, 진동체 12는 제 1 외부전극 20과 제 2 외부전극 24의 형성면에 직교하는 방향으로 굴곡진동한다.
진동 자이로스코프 10에 회전각속도가 인가되지 않은 경우, 전극부분들 20a와 20b로부터 동일한 신호가 출력된다. 이들이 차동회로 36에서 상쇄되기 때문에, 차동회로 36은 신호를 출력하지 않는다. 진동체 12의 축을 중심으로하여 회전하는 경우, 굴곡진동의 방향에 직교하는 방향으로 코리올리의 힘이 작용한다. 진동체 12의 굴곡진동의 방향은 이 코리올리의 힘에 의해 변화된다. 그러므로, 전극부분 20a와 전극부분 20b로부터의 출력신호가 변화된다. 예를 들어, 전극부분 20a로부터의 출력신호가 증가하는 경우, 전극부분 20b로부터의 출력신호는 감소한다. 그러므로, 차동회로 36에 의해, 두 개의 전극부분들 20a와 20b의 출력신호들간의 차가 얻어질 수 있다. 전극부분들 20a와 20b의 출력신호의 변화는, 진동체 12가 굴곡진동하는 방향의 변화, 즉, 코리올리의 힘에 대응한다. 그러므로, 차동회로 36은, 코리올리의 힘에 대응하는 레벨을 갖는 신호를 출력한다.
동기검파회로 38은 차동회로 36의 출력신호와 발진회로 34로부터의 신호를 동시에 검파한다. 동기검파회로 38에 의해 검파된 신호는 평활회로 40에 의해 평활되고, 증폭회로 42에 의해 증폭된다. 그러므로, 진동 자이로스코프 10에 인가된 회전각속도는 증폭회로 42의 출력신호를 측정함으로써 검파될 수 있다.
회전각속도의 방향을 역방향으로 하는 경우, 진동체 12가 굴곡진동하는 방향이 역방향으로 변화되고, 또한, 전극부분 20a와 전극부분 20b의 출력신호들의 변화도 반대가 된다. 그러므로, 차동회로 36으로부터의 출력신호의 위상이 반대로 되고, 또한, 동기검파회로 38이 검파한 신호의 극성이 반대로 된다. 그러므로, 증폭회로 42로부터의 출력신호의 극성이 반대로 된다. 증폭회로 42의 출력신호의 극성으로부터, 회전각속도의 방향을 검파할 수 있다.
이런 진동 자이로스코프 10에서는, 출력신호는 드리프트 전압을 포함한다. 바람직하게는, 드리프트 전압은 작은 것이 좋다. 드리프트 전압이 존재하는 경우에도, 드리프트 전압이 온도변화에 의해 변화하지 않는 것이 바람직하다. 온도변화에 의해 드리프트 전압이 변화하는 경우, 회전각속도에 대응하는 신호를 정확하게 검파하는 것이 어렵다. 발명가는 제 1 외부전극 20의 전극부분 20a와 제 2 외부전극 24 사이에 형성된 커패시터 C(L)과, 전극부분 20b와 제 2 외부전극 24간에 형성된 커패시터 C(R)간의 정전용량의 차와, 드리프트 전압의 온도특성이 관련되어 있다는 것을 발견하였다. 도 3 및 도 4는 온도변화에 따라서 다수개의 진동 자이로스코프의 드리프트 전압을 측정하고, 각 온도에서 드리프트 전압의 평균값을 플로팅하며, 기입된 점들을 이어서 선으로 나타냄으로써 얻은 챠트이다. 도 3 및 도 4에 나타낸 선들은 각 진동 자이로스코프의 온도특성을 나타낸다. 도 3으로부터 이해된 바와 같이, 정전용량의 차 C(L)－C(R)이 0보다 큰 경우, 진동 자이로스코프는 온도상승에 따라서 드리프트 전압이 감소하는 부특성(negative temperature coefficients)을 나타낸다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 정전용량의 차 C(L)－C(R)이 0보다 작은 경우, 진동 자이로스코프는 온도상승에 따라서 드리프트 전압이 증가하는 정특성(positive temperature coefficients)을 나타낸다.
이런 정전용량의 차를 줄이기 위해, 제 1 외부전극 20의 전극부분들 20a 또는 20b의 일부분을 제거한다. 전극부분들 20a 또는 20b의 일부분의 제거방법은 예를 들어, 레이저를 이용한 트리밍과 에칭 및 연마를 포함한다. 제거방법으로 에칭이 사용되는 경우, 도 5에 나타낸 바와 같이, 예를 들어, 전극부분 20b의 길이방향의 한쪽 말단이 제거된다. 제거방법으로 레이저가 사용되는 경우, 도 6에 나타낸 바와 같이, 예를 들어, 전극부분 20b에서 포인트(point) 형상의 부분들이 제거된다. 제거방법으로 연마가 사용되는 경우, 도 7에 나타낸 바와 같이 전극부분 20b의 폭방향의 한쪽 말단이 제거된다.
두 개의 커패시터들 C(L)과 C(R)의 정전용량을 측정하면서, 정전용량의 차가 0이 되도록 전극부분들 20a 또는 20b의 일부분을 제거한다. 차동회로 36의 출력을 모니터하면서, 이것의 출력이 최소가 되도록 전극부분 20a 또는 전극부분 20b의 일부분을 제거할 수 있다. 진동 자이로스코프 10의 외부전극들간의 정전용량의 차를 제거함으로써, 드리프트 전압의 온도특성의 변화도가 감소될 수 있다.
진동 자이로스코프 10의 외부전극들간의 정전용량의 차가 작은 경우에도, 진동 자이로스코프 10을 구동하고 검출하는 회로가 불균형한 부분들을 구비하는 경우, 검출회로에서 출력된 신호는 온도변화에 의해 변화할 수 있다. 진동체 12에서 두 사선방향으로의 진동을 위한 공진점이 일치되지 않는 경우, 진동 자이로스코프 10의 출력신호는 온도변화에 의해 변화할 수 있다. 이런 경우, 제 1 외부전극 20의 전극부분 20a 또는 전극부분 20b의 일부분은, 온도특성의 변화도를 줄이기 위해 출력신호의 온도특성에 따라서 제거될 수 있다. 조정전의 출력신호의 온도특성이 부특성을 나타내는 경우, 예를 들어, 정전용량의 차 C(L)－C(R)이 0보다 작도록 조정하여 온도특성의 변화도를 줄인다. 반대로, 조정전의 출력신호의 온도특성이 정특성을 나타내는 경우, 정전용량의 차 C(L)－C(R)이 0보다 크도록 조정하여 온도특성의 변화도를 줄인다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 조정방법을 사용함으로써, 진동 자이로스코프의 출력의 온도특성이 양호하게 된다. 그러므로, 진동 자이로스코프 10의 불량품의 수가 감소될 수 있고 생산성이 증가된다. 상술한 구현예에서, 제 1 외부전극 20의 전극부분 20a와 제 2 외부전극 24간의 정전용량이 C(L)이고, 전극부분 20b와 외부전극 24 간의 정전용량이 C(R)이다. 전극부분 20b와 제 2 외부전극 24간의 정전용량이 C(L)이고, 전극부분 20a와 외부전극 24간의 정전용량이 C(R)인 경우, 정전용량의 차의 극성과 온도특성의 변화도간의 관계가 전환된다. 즉, 정전용량의 차 C(L)－C(R)과 온도특성의 변화도간의 관계가 있다. 이 관계에 따라서, 제거될 전극을 결정할 필요가 있다.
상기한 진동 자이로스코프 10에서, 제 1 외부전극 20만이 분할된다. 제 2 외부전극 24도 또한 분할될 수 있다. 이런 구조에 의해, 두 개의 전극들 20과 24간의 구동신호를 인가함으로써, 진동체 12는 굴곡진동될 수 있다. 이 경우, 회전각속도에 대응하는 신호는 제 1 외부전극 20의 분할부분 또는 제 2 외부전극 24의 분할부분에서 얻어질 수 있다. 제 1 외부전극 20의 분할부분의 일부분의 제거에 의해서 뿐만 아니라, 제 2 외부전극 24의 분할부분의 일부분의 제거에 의해서도, 정전용량의 차가 조정될 수 있다.
이상에서 정의 구현예들을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명하였지만, 다양한 변화와 변형이 가능하다는 것은 당업계에서는 명백한 일이다. 그러므로, 본 발명은 이상에서의 특정한 결론 이외에도, 첨부한 특허청구범위에 의해서도 한정된다.
Claims (11)
- 진동체와, 이 진동체의 외측주면들에 형성되고 적어도 한쪽이 분할된 대향하는 외부전극들을 포함하는 진동 자이로스코프의 온도특성 조정방법으로서,상기한 대향하는 외부전극들 중의 적어도 하나의 일부분을 제거하여, 상기한 대향하는 외부전극들간의 정전용량들을 조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 자이로스코프의 온도특성 조정방법.
- 제 1항에 있어서, 상기한 분할된 전극은 적어도 제 1 부분과 제 2 부분으로 분할되고,상기한 정전용량들은 상기한 제 1 부분과 대향하는 외부전극간의 제 1 정전용량과, 상기한 제 2 부분과 대향하는 외부전극간의 제 2 정전용량이며,상기한 대향하는 외부전극들 중의 상기한 적어도 하나의 상기한 일부분은, 상기한 제 1 정전용량과 상기한 제 2 정전용량이 일치되도록 제거됨을 특징으로 하는 진동 자이로스코프의 온도특성 조정방법.
- 제 1항에 있어서, 상기한 분할된 전극은 적어도 제 1 부분과 제 2 부분으로 분할되고,상기한 정전용량들은 상기한 제 1 부분과 대향하는 외부전극간의 제 1 정전용량과, 상기한 제 2 부분과 대향하는 외부전극간의 제 2 정전용량이며,상기한 대향하는 외부전극들 중의 상기한 적어도 하나의 상기한 일부분은, 상기한 제 1 정전용량과 상기한 제 2 정전용량이 일치되지 않도록 제거됨을 특징으로 하는 진동 자이로스코프의 온도특성 조정방법.
- 제 1항에 있어서, 상기한 대향하는 외부전극들 중의 상기한 적어도 하나의 상기한 일부분은, 레이저 트리밍, 에칭 또는 연마에 의해 제거됨을 특징으로 하는 진동 자이로스코프의 온도특성 조정방법.
- 제 1항에 있어서, 상기한 진동체는 서로 접합된 두 개의 압전체 기판들을 포함하며,상기한 대향하는 외부전극들 중의 하나는 상기한 압전체 기판들 중의 하나의 외부면에 형성되며,상기한 대향하는 외부전극들 중의 다른 하나는 상기한 압전체 기판들 중의 다른 하나의 외부면에 형성되는 것을 특징으로 하는 진동 자이로스코프의 온도특성 조정방법.
- 제 5항에 있어서, 상기한 분할된 전극은 상기한 진동체의 세로축으로의 한면 위의 제 1 군의 부분들과, 상기한 세로축으로의 다른쪽 면 위의 제 2 군의 부분들로, 6개의 부분으로 분할되며,상기한 정전용량들은 상기한 제 1 군 부분들 중의 중앙부와 상기한 대향하는 외부전극간의 제 1 정전용량과, 상기한 제 2 군의 부분들 중의 중앙부와 상기한 대향하는 외부전극간의 제 2 정전용량임을 특징으로 하는 진동 자이로스코프의 온도특성 조정방법.
- 제 6항에 있어서, 상기한 제 1 군과 제 2 군 각각은 3개의 부분들을 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 자이로스코프의 온도특성 조정방법.
- 제 7항에 있어서, 상기한 대향하는 외부전극들 중의 상기한 적어도 하나의 상기한 일부분은, 상기한 제 1 군 및 제 2 군의 부분들 중의 상기한 중앙부들 중의 적어도 하나에서 제거됨을 특징으로 하는 진동 자이로스코프의 온도특성 조정방법.
- 제 8항에 있어서, 상기한 대향하는 외부전극들 중의 상기한 적어도 하나의 상기한 일부분은, 레이저 트리밍, 에칭 또는 연마에 의해, 제거됨을 특징으로 하는 진동 자이로스코프의 온도특성 조정방법.
- 제 7항에 있어서, 상기한 대향하는 외부전극들 중의 상기한 적어도 하나의 상기한 일부분은, 상기한 제 1 정전용량과 제 2 정전용량이 일치되도록 제거됨을 특징으로 하는 진동 자이로스코프의 온도특성 조정방법.
- 제 7항에 있어서, 상기한 대향하는 외부전극들 중의 상기한 적어도 하나의 상기한 일부분은, 상기한 제 1 정전용량과 제 2 정전용량이 일치되지 않도록 제거됨을 특징으로 하는 진동 자이로스코프의 온도특성 조정방법.
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