JP2001527301A5 - - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】 ポッドシェルに解放可能に固定されたポッドドアを有するＳＭＩＦポッドの中にウェーハを移送し且つＳＭＩＦポッドの外にウェーハを移送するシステムであって、
内部領域を有する加工ツールを有し、この加工ツールは、ウェーハがＳＭＩＦポッドと前記内部領域との間を移動することを可能にするＩ／Ｏポートと、前記Ｉ／Ｏポートに解放可能に固定されたポートドアと、を含み、前記ポートドアは、第１の側と第２の側とを有し、前記第２の側は、前記ポッドドアと前記ポットシェルとを固定したり取り外したりし且つ前記ポートドアと前記ポッドドアとを固定したり取り外したりするための一対のラッチキーを有し、
更に、エンドエフェクタを有するロボットを有し、前記エンドエフェクタは、ウェーハを前記ＳＭＩＦポッドと前記加工ツールとの間で移送させるためのウェーハアクセス装置と、前記エンドエフェクタを前記ポートドアの第１の側に解放可能に固定するためのポートドア掴み組立体と、を有し、それにより、前記ロボットは、前記ポートドアを前記Ｉ／Ｏポートと前記加工ツール内の所定の位置との間で移送するシステム。
【請求項２】 前記ポートドアは、前記Ｉ／Ｏポートとのシールを形成する、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】 前記ポートドアは、更に、前記ポートドアを前記Ｉ／Ｏポートに解放可能に固定させるためのボルト機構を有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】 前記ポートドアは、更に、前記ポートドアを前記Ｉ／Ｏポートに解放可能に固定させるための磁石を有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】 前記ポートドア掴み組立体は、磁石を有する、請求項１記載のシステム。
【請求項６】 前記ポートドア掴み組立体は、真空源を有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】 前記ポートドアの第１の側は、支持孔を有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項８】 前記エンドエフェクタは、更に、前記エンドエフェクタが前記ポートドアの第１の側に固定されるときに前記支持孔に突出する支持装置を有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項９】 前記エンドエフェクタは、更に、前記一対のラッチキーが作動するように前記ポートドアに動力を供給するための動力結合装置を有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項１０】 ウェーハをＳＭＩＦポッドと加工ツールとの間で移送することが可能なウェーハハンドリングロボットであって、ＳＭＩＦポッドは、ポッドシェルに解放可能に固定されたポッドドアを有し、前記加工ツールは、Ｉ／Ｏポートに解放可能に固定されるポートドアを有し、ポートドアは、第１の側と、前記ポッドドアと前記ポットシェルとを固定したり取り外したりし且つ前記ポートドアと前記ポッドドアとを固定したり取り外したりするように構成された第２の側と、を有し、
ベースと、
前記ベースに作動可能に連結された第１端と、第２端と、を有する第１のアームと、
前記第１のアームの第２端に作動可能に連結された第１端と、第２端と、を有する第２のアームと、
前記第２のアームの第２端に作動可能に連結されたエンドエフェクタと、を有し、
前記エンドエフェクタは、ウェーハを前記ＳＭＩＦポッドと前記加工ツールとの間で移送するように構成されたウェーハ移送機構と、ポートドア掴み機構と、を有し、このポートドア掴み機構は、ポートドアかみ合い装置と、動力供給部と、を有し、
前記ポートドアかみ合い装置は、前記エンドエフェクタを前記ポートドアの第１の側に解放可能に固定させ、それにより、ウェーハハンドリングロボットは、前記ポートドアを前記Ｉ／Ｏポートと前記加工ツール内の所定の位置との間で移送させ、
前記動力供給部は、前記ポッドドアと前記ポットシェルとを固定したり取り外したりし且つ前記ポートドアと前記ポッドドアとを固定したり取り外したりするように、動力を前記ポートドアに供給する、ウェーハハンドリングロボット。
【請求項１１】 前記ポートドアかみ合い装置は、磁石を有する、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】 前記ポートドアかみ合い装置は、真空源を有する、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１３】 前記ポートドアの第１の側は、少なくとも１つの支持孔を有する、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１４】 前記エンドエフェクタは、更に、少なくとも１つの支持装置を有し、この少なくとも１つの支持装置は、前記エンドエフェクタが前記ポートドアの第１の側に固定されるとき、前記少なくとも１つの支持孔の中に突出する、請求項１３に記載のシステム。