KR20020061132A - 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키 및 그 제어방법 - Google Patents

웨이퍼이송용기 오프너의 래치키 및 그 제어방법 Download PDF

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KR20020061132A
KR20020061132A KR1020010002370A KR20010002370A KR20020061132A KR 20020061132 A KR20020061132 A KR 20020061132A KR 1020010002370 A KR1020010002370 A KR 1020010002370A KR 20010002370 A KR20010002370 A KR 20010002370A KR 20020061132 A KR20020061132 A KR 20020061132A
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hole
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이완근
김용표
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주식회사 신성이엔지
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Abstract

개시된 내용은 래치키의 양단부에 래치키홀과의 접촉마찰을 완화할 수 있는 한쌍의 완충롤러를 설치하고 웨이퍼이송용기(FOUP)의 래치각도를 유효적절하게 조절함으로써 래치키홀과 래치키와의 마찰을 줄여 그로 인해 유발되는 마모를 감소시키는 한편 래치키홀에 발생된 파티클을 흡입하여 청소함으로써 파티클로 인한 오염을 방지할 수 있는 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키 및 그 제어방법에 관한 것이다.
이에 의하여 본 발명은 래치키의 각도를 유효적절하게 조절하여 이송용기도어의 잠금 및 해제작동을 정확하게 유도하는 한편 완충롤러의 채용으로 래치키의 삽입회전시 래치키홀과의 유격으로 인해 유발되는 마찰을 줄여 두 부재간의 마모에 의해 발생하는 파티클을 원천적으로 방지한다. 그에 따라서, 본 발명은 궁극적으로 작업공간인 공정장비내로 파티클이 유입되지 못하게 하므로 그 내부의 청정도를 개선하여 보다 고품질의 반도체를 생산할 수 있게 하는 효과를 갖는다.

Description

웨이퍼이송용기 오프너의 래치키 및 그 제어방법{A Latch Key of FOUP Opener and the Method}
본 발명은 웨이퍼이송용기(통상 후프(FOUP)라고 하며, 직경이 큰 웨이퍼를 수납하여 가공장소로 이송하는 용기)의 오프너에서 용기를 개방하는 래치키(Latch key)에 관한 것으로, 특히 래치키의 양단부에 래치키홀과의 접촉마찰을 완화할 수 있는 한쌍의 완충롤러를 설치하고 웨이퍼이송용기(FOUP)의 래치각도를 유효적절하게 조절함으로써 래치키홀과 래치키와의 마찰을 줄여 그로 인해 유발되는 마모를 감소시키는 한편 래치키홀에 발생된 파티클을 흡입하여 청소함으로써 파티클로 인한 오염을 방지할 수 있는 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키 및 그 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조공정에 있어 웨이퍼는 무엇보다도 중요한 재료이다. 이러한 웨이퍼는 통상 청정도와 안정성을 가지고 작업공간내로 운반되어야 한다. 이를 위해 웨이퍼이송용기내에 수납하여 외부와 차단된 상태로 작업공간까지 이송한 후, 웨이퍼이송용기 오프너를 이용하여 이송용기의 잠금수단을 해정한 후 웨이퍼를 작업공간(공정장비)내로 운반하게 된다. 이 웨이퍼이송용기 오프너의 일반적인 구조에 대해 도 1를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 일반적인 웨이퍼이송용기 오프너의 개략적인 구조를 나타낸 사시도로, 이송용기도 함께 도시하고 있다.
이 웨이퍼이송용기 오프너(100)는 국부청정을 유지하고 있는 공정장비측 입구부에 설치된다. 즉, 웨이퍼이송용기 오프너(100)는 공정장비측 입구부를 차폐하고 있는 수직프레임(110)과, 이 수직프레임(110)에 수평의 받침대(120)가 결합되어 구성되어 있다. 이 웨이퍼이송용기 오프너(100)의 받침대(120)에는 이송테이블(122)이 설치되어 있고, 수직프레임(110)측에는 웨이퍼이송용기(200) 크기의 틀체(112)가 마련되어 있다. 틀체(112)에는 그 내측을 타고 수평방향으로 전후진되는 도어홀더(130)가 설치되며, 도어홀더(130)는 이송테이블(122)위에 탑재된 웨이퍼이송용기(200)의 도어(210)를 개방하는 소정의 장치들을 구비한다.
웨이퍼이송용기(200)의 개방은 1차적으로 웨이퍼이송용기(200)를 도어홀더(130)에 밀착시킴에 의하여 시작된다. 이와 같이 밀착된 웨이퍼이송용기(200)는 그 도어(210)가 오프너(100)의 도어홀더(130)와 밀착지지된 상태에서 열린다. 도어(210)가 열리면 지지된 도어(210)를 후방으로 이동시켜 웨이퍼이송용기(200)를 개방하게 되며, 웨이퍼들을 차례로 공정장비내로 인출반입하게 된다. 웨이퍼 인출을 마치면 도어홀더(130)에 밀착지지된 도어(210)를 원상복귀시켜 웨이퍼이송용기(200)에 밀착시킨 뒤 다시 잠금게 된다.
기설명한 바와 같이, 웨이퍼이송용기(200)는 잠금상태로 공정장비 인접부까지 이송되며, 이송후 잠금을 해제하여 웨이퍼를 인출하게 된다. 이러한 이송용기의 잠금 및 해제는 이송용기의 도어(210)에 마련된 래치키홀(220)에 오프너(100)의 도어홀더(130)에 구비된 래치키(140)를 삽입시켜 이루어지게 된다. 이에 대해서는 도 2를 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 종래의 래치키의 작동상의 문제점을 보여주는 도면으로, 보는 바와 같이 이송용기(200)의 래치키홀(220)에 오프너(100)의 래치키(140)를 삽입시켜 이송용기(200)를 개방하게 되는 데, 이때 기존의 장치는 자동화시스템으로 구현되는 장치의 특성상 래치키(140)의 삽입을 위하여 래치키(140)와 래치키홀(220)의 크기에 유격을 두었다. 그로 인하여, 래치키홀(220)에 래치키(140)를 삽입하여 회전시키면 래치키홀(220)에서 래치키(140)가 회전방향으로 약 1~2°정도 회전된 후 래치키홀(220)에 접촉되어 회전하게 되었다.
따라서, FOUP의 커버와 도어와의 잠금시 래치키(140)가 90° 회전할 때 래치키홀(220)은 88~89°만 회전하게 되어 래치키(140)의 삽입 또는 분리시 래치키홀(220)과 충돌 및 마찰이 유발되어 그에 따른 접촉면의 마모가 크게 발생하는 결함이 있었다. 이와 같이 기존의 장치는 이송용기의 잠금시 도어(210)의 래치키홀(220)이 90°가 정확하게 회전하지 않게 되므로 래치키(140)와 래치키홀(220)간의 간섭에 의한 마모로 인해 파티클이 많이 발생할 뿐더러 발생된 파티클을 제거하는 애로가 컸고, 래치키홀(220)과의 삽입간섭에 따라 래치키(140)의 삽입이 용이하지 않은 문제점이 노출되었다.
더욱이, 공정장비 외측에 위치하는 공간에는 파티클이 많으며, 이러한 파티클이 이송용기에 형성된 홈으로 유입되어 있다가 오프너로 개방하여 공정장비측으로 웨이퍼를 반입할 때 유입되기도 한다. 특히, 이송용기의 래치키홀내에 부착되어 있는 파티클이 이송용기가 오프너에 밀착된 후 오프너가 하강하여 공정장비쪽으로 노출되어 그 내부로 유입되는 수가 많다. 이와 같이 파티클이 공정장비 내로 유입되면 반도체공정에 치명적인 결함이 발생하게 된다. 따라서, 공정장비내측은 청정상태를 유지하는 것이 무엇보다도 중요하다.
따라서, 본 발명의 목적은 상술한 제결점들을 해소하기 위해서 안출한 것으로서, 래치키를 유효적절하게 제어조절하여 래치키홀의 각도를 보상함으로써 래치키홀의 각도가 90°로 작동정지하여 다음 작업시 래치키의 삽입이 원활하게 이루어질 수 있도록 하는 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키제어방법을 제공함에 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 래치키의 양단부에 마찰을 완화시키기 위한 완충롤러를 설치하여 래치키가 래치키홀에 삽입회전시 그 대응접촉면부들의 마찰에 의한 마모를 감소시키는 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키를 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 또다른 목적은 래치키홀에 유입된 파티클을 흡입하여 청소함으로써 작업공간으로의 파티클유입을 원천적으로 차단할 수 있게 한 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키를 제공하는 데 있다.
도 1은 일반적인 웨이퍼이송용기 오프너의 개략적인 구조를 나타낸 사시도,
도 2는 종래의 래치키의 작동상의 문제점을 보여주는 도면,
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키제어방법을 순차적으로 나타낸 흐름도,
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키의 구조를 나타낸 도면들,
도 5a 및 도 5b는 본 발명에서 래치키가 래치키홀에 초기삽입된 상태를 보여주는 도면들,
도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키의 다른 실시예를 나타낸 측단면도.
*도면의 주요부분에 대한 부호설명
150,160 : 래치키152,154 : 완충롤러
162,164 : 흡입공166 : 배기라인
170 : 흡배기수단220 : 래치키홀
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키제어방법은 웨이퍼이송용기의 래치키홀에 래치키를 삽입하여 그 도어를 잠금 및 해제하는 방법에 있어서, 상기 래치키홀에 삽입된 래치키를 90°회전시키면 약 1~2°헛동하다가 상기 래치키홀의 회전방향측 대응면부에 상기 래치키가 밀착되면서 상기 래치키홀을 회전시켜 상기 도어의 잠금을 해제하는 단계; 상기 잠금이 해제된 도어가 개방되어 공정작업이 수행되는 단계; 상기 공정작업이 종료되면 상기 도어를 닫고 상기 래치키홀에서 상기 래치키를 해제와는 반대방향으로 91°회전시켜 상기 도어를 잠금하는 단계; 및 상기 도어가 잠금되면 잠금방향과 반대방향으로상기 래치키를 1°정도 역회전시켜 상기 래치키홀과 상기 래치키의 중심을 맞춘 후 상기 래치키를 상기 래치키홀에서 이탈시키는 단계를 포함한다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키는 웨이퍼이송용기의 래치키홀에 삽입되어 잠금을 해제하는 후프(FOUP) 오프너의 래치키에 있어서, 양단에 완충롤러들을 장착하여 상기 래치키홀에 삽입회전시 접촉마찰을 감소시키고 완충성을 부여하는 것을 특징으로 한다.
상기 또다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키는 웨이퍼이송용기의 래치키홀에 삽입되어 잠금을 해제하는 후프(FOUP) 오프너의 래치키에 있어서, 상기 래치키홀내로 진입되는 그 주면부에 흡입공들을 형성하고, 외부에 흡배기수단을 구비하여 배기라인으로 연결함에 의하여 상기 래치키홀내에 부착된 파티클을 외부로 강제 흡입배기시키는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들에 의거하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키제어방법을 순차적으로 나타낸 흐름도이다. 또한, 도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키의 구조를 나타낸 도면들로, 도 4a는 본 장치를 위에서 본 도면이고, 도 4b는 본 장치를 측면에서 본 도면이다.
웨이퍼이송용기는 앞서도 설명했듯이 이송용기오프너에 밀착시킨 후, 오프너의 래치키(150)를 웨이퍼이송용기의 도어에 구비된 래치키홀(220)에 삽입시켜 90°회전시킴으로써 도어를 개방하게 된다.(단계100,102) 이때, 래치키(150)와 래치키홀(220)의 삽입을 위한 유격(공차)을 두게 되는 데, 이로 인하여 래치키홀(220)에 래치키(150)를 삽입시켜 90°회전시킬 경우 래치키(150)는 유격만큼 헛동하다가 래치키홀(220)의 대응면부에 밀착되어 래치키홀(220)을 회전시키게 된다. 따라서, 래치키(150)의 90° 회전구동에 의해 래치키홀(220)은 정확하게 90°가 회전하지 않고, 그 유격만큼 적게 회전하게 된다. 통상, 유격은 상하좌우 0.5mm정도를 두게 되는 바, 이로 인해 래치키홀(220)과 래치키(150)가 중심이 맞은 상태에서 약 1°정도가 좌우로 헛동할 수 있게 되어 있다. 그러므로, 중심이 맞은 상태에서는 래치키홀(220)은 래치키(150)가 약 1°정도 회전한 후 그에 밀착되어 회전되므로 래치키(150)의 90°회전에 의해 약 89°정도가 회전되게 된다. 이와 같이 하여 도어의 잠금이 해제되면 이송용기내에서 웨이퍼를 청정장비내로 반입하는 작업공정이 진행되게 되고, 그 공정이 끝나고나서는 다시 래치키(150)는 해제와 반대로 90°회전하여 도어를 다시 잠금게 되는 데, 이때 래치키홀(220)에 해제방향으로 밀착되어 있던 래치키(150)는 해제방향과 반대방향인 잠금방향으로 회전해야 되므로 2°정도가 헛동되어야 래치키홀(220)의 잠금방향 대응면부에 밀착되게 되고, 이렇게 밀착된 후 계속해서 90°을 회전할 경우 결국에는 래치키홀(220)은 88°밖에 회전하지 않는 결과가 발생하게 된다. 따라서, 해제방향으로 89°회전했던 래치키홀(220)이 반대로 88°만 회전하므로 1°정도가 해제방향으로 기울어져 있게 된다. 이것은 앞서도 지적했듯이 다음에 래치키 삽입시 충돌을 불러일으켜 마모의 원인이 되므로 본 발명에서는 이를 보상하기 위하여 잠금시 1°만큼 래치키(150)를 잠금방향으로 더 회전시켜 총 91°을 회전시켜 주게 된다.(단계104,106) 그에 따라서,래치키홀(220)도 1°만큼 잠금방향으로 더 회전하여 원상태인 정위치로 복귀하게 되는 것이다. 이와 같이 래치키홀(220)을 정위치로 위치시켜 도어를 잠근 상태에서 래치키홀(220)에서 래치키(150)를 이탈시켜 분리해야 하는 데, 이때 래치키(150)는 래치키홀(220)에 잠금방향측 대응면부가 밀착되어 있으므로 그대로 이탈시킬 경우 종전과 마찬가지고 마찰로 인한 마모가 발생하게 된다. 그러므로, 본 발명에서는 잠금회전시와 반대방향으로 그 유격(1°)만큼 역회전시켜 래치키(150)가 래치키홀(220)에서 밀착되지 않고 유격만큼 이격한 상태로 유도한 후 이탈시키게 된다.(단계108,110) 이로 인하여, 도어의 해제 및 잠금작업이 끝나고 래치키홀(220)에서 래치키(150)가 분리될 때 마찰이 발생하지 않게 된다. 또한, 다음 작업시 래치키(150)를 삽입할 때도 래치키홀(220)이 위와 같은 공정에 의해 정위치에 위치하고 있으므로 래치키(150)가 래치키홀(220)의 중심에 삽입되어 간섭이나 충돌이 발생하지 않게 된다.
더욱이, 본 발명에서는 래치키홀(220)에 래치키(150)가 삽입되어 회전할 때, 그들의 접촉마찰로 인한 마모를 줄이기 위하여 도 4a 내지 도 4b에 도시한 바와 같이 래치키(150)의 양단부에 완충롤러들(152,154)을 장착하고 있다. 이 완충롤러(152,154)는 래치키홀(220)과 약간(대략 0.5mm정도)의 유격이 형성될 수 있는 크기로 제작되며, 도 4b에서 보는 바와 같이 그 두께방향으로는 곡률을 갖고 있어 래치키홀(220)에 삽입이 용이하게 되어 있다. 즉, 삽입이 시작되는 하방부는 작은 직경이다가 중심부가 볼록한 최대직경을 이루고 있다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에서 래치키가 래치키홀에 초기삽입된 상태를 보여주는 도면들로, 도 5a는 래치키홀이 전공정에서 정위치에 위치하지 않고 회전방향으로 1°정도 치우져 작업이 종료한 경우를 나타내고 있으며, 도 5b는 래치키홀이 정위치에 위치한 상태를 보여주고 있다.
도 5a에서 보는 바와 같이, 래치키홀(220)이 전공정에서 정위치에 위치하지 않고 회전방향으로 1°정도 치우져 작업이 종료한 경우 도어를 해제하기 위해서 래치키(150)를 래치키홀(220)에 삽입시켜 90°회전시키면 래치키(150)는 래치키홀(220)에 삽입된 후 2°가 헛동하다가 그 대응면이 밀착되면서 래치키홀(220)을 회전시키게 된다. 따라서, 래치키홀(220)은 결국 88°가 회전하여 해제방향으로 1°기울어져 있는 각도를 합해 89°의 위치에 정지하게 된다. 이 위치에서도 도어는 잠금이 해제되어 열리게 되고, 그에 따라 도어를 개폐하여 공정작업이 진행된 후 도어를 잠그기 위해서는 앞서도 설명했듯이 해제와 반대방향으로, 즉 잠금방향으로 91°를 회전시켜 주게 된다. 그에 따라서, 래치키(150)는 래치키홀(220)내에서 잠금방향으로 2°헛동하다가 잠금방향측 대응면부에 접촉되어 래치키홀(220)을 89°회전시키게 된다. 따라서, 해제방향으로 89°회전한 래치키홀(220)은 반대방향인 잠금방향으로 89°회전하여 정위치에 정지하게 된다. 이렇게 도어를 잠그면 래치키홀(220)에서 래치키(150)를 이탈분리시켜 잠금작업을 종료하게 되는 데, 이때 래치키홀(220)과 래치키(150)가 밀착접촉되어 있으므로 강제로 이탈시킬 경우 마모가 발생하게 되므로, 그를 해소하기 위하여 다시 역방향으로 1°회전시켜 래치키홀(220)과 래치키(150)의 접촉상태를 이격상태로 전환시킨 다음 이탈시키게 된다.
도 5b는 래치키홀(220)이 전공정에서 정위치에 위치하고 작업이 종료한 경우를 상정하고 있으며, 이 경우에는 래치키(150)는 래치키홀(220)에 삽입되어 1°만 헛동하다가 그 대응면이 밀착되면서 래치키홀(220)을 회전시키게 된다. 따라서, 래치키(150)를 90°회전구동시키면 래치키홀(220)은 89°가 해제방향으로 회전하여 도어가 해제되게 된다. 그 이후의 과정은 도 5a와 동일하게 이루어지게 되므로 그에 대한 설명은 생략하기로 한다.
도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키의 다른 실시예를 나타낸 측단면도이다.
보는 바와 같이, 오프너의 래치키(160)는 웨이퍼이송용기의 래치키홀(220)로 삽입되어 래치키홀(220)을 선회시킴에 의하여 이송용기의 잠금을 해제하게 된다. 이때, 공정장비 구역의 외부에 위치한 구역에서 이송되는 이송용기의 홈, 특히 여기서는 래치키홀(220)내에는 파티클이 유입되어 부착되어 있게 된다. 이러한 파티클은 공정장비내로 유입되면 반도체제조공정상 큰 문제를 일으킬 소지가 다분하다. 따라서, 래치키(160)의 외주면부에 흡입공들(162,164)을 형성하고, 이 흡입공들(162,164)을 배기라인(166)으로 흡배기수단(170)과 연결한다. 그럼으로써, 흡배기수단(170)을 작동시키면 래치키(160)의 흡입공들(162,164)을 통해 래치키홀(220)내의 파티클을 강제 흡입시켜 배기라인(166)을 경유하여 외부로 배출하게 된다. 물론, 이러한 작동은 웨이퍼이송용기가 오프너에 밀착된 후 래치키(160)를 래치키홀(220)내로 삽입시켜 이송용기의 잠금을 해제하기 전에 흡배기수단(170)을 구동하여 래치키홀(220)내에 위치한 흡입공(162,164)을 통해 래치키홀(220)내의 파티클을 흡입시켜 외부로 배출하게 된다. 이로 인하여, 청정구역인 공정장비내로 파티클의 유입을 원천적으로 봉쇄하여 공정장비내의 청정도를 더욱더 상승시킬 수 있게 된다.
이상 서술한 바와 같이, 본 발명은 래치키를 유효적절하게 제어하여 작업종료시 래치키홀을 정위치에 존재할 수 있도록 함으로써 다음 작업시 래치키와의 삽입간섭을 배제할 뿐만 아니라, 원활한 삽입이 이루어지게 유도하는 잇점을 갖는다. 특히, 래치키를 래치키홀내에서 이탈분리할 때 접촉상태에서 유격만큼 역회전시켜 분리하므로 분리시에도 마찰에 의한 마모를 혁혁하게 줄일 수 있는 장점을 가지고 있다. 특히, 래치키의 양단부에 한쌍의 완충롤러를 설치함에 의하여 래치키홀에 삽입회전시 접촉마찰을 최소화시켜 마모발생을 억제하는 효과를 갖는다. 이로 인하여, 래치키홀에서 래치키가 회전시 완충롤러가 회전하면서 구름접촉을 하므로 서로 부딪혀 마모되거나 파손되는 문제를 해소할 수 있는 잇점을 지니고 있다. 또한, 래치키홀에 유입된 파티클을 흡입하여 청소함으로써 작업공간으로의 파티클유입을 원천적으로 차단할 수 있게 한 장점도 가지고 있다. 따라서, 작업공간인 공정장비내의 청정도를 개선하여 보다 고품질의 반도체를 생산할 수 있게 하는 효과를 지닌다.

Claims (5)

  1. 웨이퍼이송용기의 래치키홀에 래치키를 삽입하여 그 도어를 잠금 및 해제하는 방법에 있어서,
    상기 래치키홀에 삽입된 래치키를 90°회전시키면 약 1~2°헛동하다가 상기 래치키홀의 회전방향측 대응면부에 상기 래치키가 밀착되면서 상기 래치키홀을 회전시켜 상기 도어의 잠금을 해제하는 단계;
    상기 잠금이 해제된 도어가 개방되어 공정작업이 수행되는 단계;
    상기 공정작업이 종료되면 상기 도어를 닫고 상기 래치키홀에서 상기 래치키를 해제와는 반대방향으로 91°회전시켜 상기 도어를 잠금하는 단계; 및
    상기 도어가 잠금되면 잠금방향과 반대방향으로 상기 래치키를 1°정도 역회전시켜 상기 래치키홀과 상기 래치키의 중심을 맞춘 후 상기 래치키를 상기 래치키홀에서 이탈시키는 단계를 포함하는 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키제어방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 도어의 잠금을 해제하는 단계에서 상기 래치키홀이 전공정에서 정위치에 위치하지 않고 회전방향으로 1°정도 치우져 작업이 종료한 경우 상기 래치키는 상기 래치키홀에 삽입되어 2°가 헛동하다가 그 대응면이 밀착되면서 상기 래치키홀을 회전시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키제어방법.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 도어의 잠금을 해제하는 단계에서 상기 래치키홀이 전공정에서 정위치에 위치하고 작업이 종료한 경우 상기 래치키는 상기 래치키홀에 삽입되어 1° 헛동하다가 그 대응면이 밀착되면서 상기 래치키홀을 회전시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키제어방법.
  4. 웨이퍼이송용기의 래치키홀에 삽입되어 잠금을 해제하는 후프(FOUP) 오프너의 래치키에 있어서,
    양단에 완충롤러들을 장착하여 상기 래치키홀에 삽입회전시 접촉마찰을 감소시키고 완충성을 부여하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키.
  5. 웨이퍼이송용기의 래치키홀에 삽입되어 잠금을 해제하는 후프(FOUP) 오프너의 래치키에 있어서,
    상기 래치키홀내로 진입되는 그 주면부에 흡입공들을 형성하고, 외부에 흡배기수단을 구비하여 배기라인으로 연결함에 의하여 상기 래치키홀내에 부착된 파티클을 외부로 강제 흡입배기시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송용기 오프너의 래치키.
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