KR100516863B1 - 기판 처리 장치의 로드 포트 시스템 및 기판의 처리 방법 - Google Patents

기판 처리 장치의 로드 포트 시스템 및 기판의 처리 방법 Download PDF

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Abstract

FOUP(웨이퍼 캐리어)의 도어의 개폐 신뢰성의 향상, 및 처리 장치 내부에의 파티클(이물 미립자)의 충분한 침입 방지성의 실현을 도모하는 것으로 고수율로 집적 회로의 생산을 할 수 있는 로드 포트 및 FOUP 구조 및 이들을 이용한 생산 방법을 얻는다.
기판 처리 장치의 로드 포트 기구에 있어서, 기판 처리 장치가 웨이퍼 캐리어와 도킹하는 도어 주위의 시일면, 또는, 웨이퍼 캐리어의 도어주위의 시일면에 돌기를 설치하여 양자를 접촉시키도록 하여, 기판 처리 장치의 시일면과 웨이퍼 캐리어의 시일면 사이를 소정 거리 만큼 이격시키고, 기판 처리 장치 내부로부터 외부로의 청정 공기의 유통로를 형성한다.

Description

기판 처리 장치의 로드 포트 시스템 및 기판의 처리 방법 {Load Port System for Substrate Treating Apparatus and Treating Method for Substrate}
본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 기판을 수납, 운반 및 보관한 차세대 기판 수납 지그인 FOUP(Front Opening Unified Pod : 전방 개방형·유니파이드·포드), 그것을 개폐하는 로드 포트 구조, 및 이들을 포함하는 로드 포트 시스템, 및 이들을 이용한 기판의 처리 방법 혹은 생산 방법에 관한 것으로, 특히 FOUP 도어의 개폐 신뢰성의 향상, 및 기판 처리 장치의 내부로의 파티클(이물 미립자)이 충분한 침입 방지성의 실현을 도모하고자 하는 것이다.
가로 도어 일체형 기판 수납 지그(웨이퍼 캐리어)는, 종래 사용되어 온 오픈 카세트(SEMI Standard E1.9 이외로 대표되는 8인치 대응 이전의 카세트)와 달리, 밀폐 공간 중에 웨이퍼를 유지함으로써, 대기 중의 이물이나 화학적인 오염으로부터 웨이퍼를 방어하는 것이다.
도9는, 종래의 반도체 제조시에 이용하고 있었던 가로 도어 일체형 기판 수납 지그(웨이퍼 캐리어)로서의 FOUP 시스템을 설명하기 위한 사시도이다. 도9에 있어서, P30은 FOUP 시스템, P1은 FOUP 셸부(포드 본체), P2는 FOUP 도어, P5는 래치 키 구멍, P8은 시일 부재(패킹), P9는 도어 클램핑 기구부(스토퍼 기구), P10는 수용기를 가리킨다.
도9에 도시한 FOUP 시스템(P30)은, 포토 레티클(reticle: 회로 원판)용 기판, 액정 모니터 패널용 기판이나 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 등의 표시 패널 기판, 하드 디스크용 기판, 반도체 장치 등의 전자 장치용 웨이퍼 등의 기판을 수납, 운반 및 보관한 차세대의 기판 수납 지그인 전방 개방형 유니파이드 포드(Front Opening Unified Pod : FOUP) 시스템에 속하고, 예를 들면, FLUOROWARE(플루오로웨어)사 제조 F300 Wafer Carrier 카타로그에 기재되어 있는 것으로서, 상세한 치수 등의 정보는, SEMI Standards E57, E1.9, E47.1 등에 기재되어 있다. 이후, 이러한 가로 도어 일체형 기판 수납 지그(웨이퍼 캐리어)를 FOUP 시스템이라 총칭하기로 한다.
종래의 FOUP 시스템(P30)은, 종래 사용되어 온 오픈 카세트(SEMI Standards E1.9로 대표되는 8인치 대응 이전의 카세트)와 다르고, 밀폐 공간 중에 웨이퍼를 유지함으로써, 대기중의 이물이나 화학적인 오염으로부터 웨이퍼를 방어하는 것으로서, 밀폐성을 유지하기 위해서 FOUP 도어(P2)에 시일 부재(P8)(패킹)를 주위 설치하고, 수용기(P10)라고 불리는 웨이퍼 누름 부재, 웨이퍼 치형부(도시되지 않음)라고 불리는 웨이퍼를 안착시키기 위한 보, 및 도어 클램핑 기구부(P9) 등의 기계적 개폐 기구를 FOUP 도어(P2)에 구비하고 있다.
한 편, 이러한 FOUP 시스템(P30)을 반도체 제조 장치(기판 처리 장치) 부위에서 개폐하기 때문에, SEMI 규격으로 규정된 FIMS 면을 갖는 로드 포트가 필요해진다. 여기서, FIMS는, 전방 개방형 인터페이스 메카니컬 스텐다드(Front-opening Interface Mechanical Standard)의 약어이다.
로드 포트는, FOUP 시스템(P30)을 일정 위치에 두기 위한 동적 핀과, FOUP 도어(P2)와 끼워 맞추어져 도어 개방 동작(래치 키 회전) 후, 함께 장치 미니 환경 내에 수납되는 FIMS 도어와, 외부에서 미니 환경을 분리하기 위한 케이스 면을 구비하고 있다. 로드 포트의 케이스 면의 내에 있어FOUP 시스템(P30)의 FOUP 시일면과 끼워 맞춰지는 면을 FIMS 시일면이라고 부른다.
이러한 종래의 기판 수납 지그(FOUP 시스템) (P30)의 웨이퍼 유지부(본체)는, FOUP 셸부(P1), 개폐 도어부인 FOUP 도어(P2)를 중심으로 하여 구성되어 있다. F0UP 도어(P2)를 F0UP 셸부(P1)에 고정하기 위해서, 도어 클램핑 기구부(P9)(스토퍼 기구)가 필요하여, 이 때문에 복잡한 구조를 갖고, 도어에 구멍을 뚫을 필요가 있었다. 또한 FOUP 셸부(P1)측으로도 도어 고정용의 서로 대향하는 클램프되는 구멍이나, 두께부, 시일부를 필요로 하고 있었다. 실제 제조 현장에서는, 복수 종류의 로드 포트 및 복수 종류의 기판 수납 지그(FOUP 시스템) (P30)을 조합시켜 사용해가게 된다. 따라서 요구되는 치수 정밀도도 높아야 하고, 미소한 변형도 FOUP 개폐 신뢰성에 큰 영향을 준다.
그러나, 종래 기술에는 이하에 기술하는 바와 같은 문제점이 있었다. 우선 제1 문제점은, FOUP 셸부(P1)의 시일면의 시일 부재(P8)(패킹)를 FIMS의 시일면에 접촉시킨 때에, 그 접촉 위치에서 FOUP 시스템(P30)을 정지한 상태로 유지하여 위치 결정하기가 어렵고, FOUP 시스템을 신뢰성 좋게 개폐하기가 어렵다는 것이다.
그리고, 제2 문제점은, FOUP 셸부(P1)의 시일면과 FIMS 시일면이 접촉하고 있으면, 처리 장치 내(FIMS 내)의 미니 환경으로부터 처리 장치 외부(FIMS 외부)로의 청정 공기의 취출이 제한되어 버리기 때문에, 부착 이물의 관점에서 바람직하지 못하고, 특히 처리 장치 내(FIMS 내)에의 파티클(이물 미립자)의 침입 방지성이 불충분해져 버리는 것이다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 이루어진 것으로, FOUP 도어의 개폐 신뢰성의 향상, 및 처리 장치 내(FIMS 내)에의 파티클(이물 미립자)의 충분한 침입 방지성의 실현을 도모하는 것으로 고수율로 집적 회로의 생산을 할 수 있는 로드 포트 구조 및 FOUP 구조 및 이들을 이용한 생산 방법을 얻는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 청구항 1에 기재된 발명에 관한 기판 처리 장치의 로드 포트 시스템은, 웨이퍼를 수납한 웨이퍼 캐리어를 기판 처리 장치의 로드 포트에 적재하고, 로드 포트 도어와 웨이퍼 캐리어의 도어를 대향시키고, 또한 로드 포트 도어의 주위의 시일면과 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면을 대향시키는 것에 있어서, 기판 처리 장치의 로드 포트 도어의 주위의 시일면에, 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면에 접촉하기 위한 복수의 돌기를 설치하여 로드 포트 도어 주위의 시일면과, 웨이퍼 캐리어 도어 개구부 주위의 시일면과의 사이에 소정의 간극을 유지하도록 한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 청구항 2에 기재된 발명에 관한 기판 처리 장치의 로드 포트 시스템은, 웨이퍼를 수납한 웨이퍼 캐리어를 기판 처리 장치의 로드 포트에 적재하고, 로드 포트 도어와 웨이퍼 캐리어의 도어를 대향시키고, 또한 로드 포트 도어의 주위의 시일면과 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면을 대향시키는 것에 있어서, 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면에, 기판 처리 장치의 로드 포트에 있어서 로드 포트 도어의 주위의 시일면에 접촉하기 위한 복수의 돌기를 설치하여 로드 포트 도어 주위의 시일면과, 웨이퍼 캐리어 도어 개구부 주위의 시일면과의 사이에 소정의 간극을 유지하도록 한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 청구항 3에 기재된 발명에 관한 기판 처리 장치의 로드 포트 시스템은, 상기 청구항 1 또는 2에 있어서, 상기 복수의 돌기의 적어도 하나를 접촉식 스위치로 하고, 접촉 신호에 의해서 상기 웨이퍼 캐리어의 도킹 동작을 제어하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 청구항 4에 기재된 발명에 관한 기판 처리 장치의 로드 포트 시스템은, 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 돌기의 높이를 0.5mm 내지 3.0mm의 범위로 한 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 청구항 5에 기재된 발명에 관한 기판의 처리 방법은, 청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 기재된 기판 처리 장치의 로드 포트 시스템을 이용하여 기판을 처리하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 청구항 6에 기재된 발명에 관한 기판의 처리 방법은, 청구항 5에 기재된 방법에 있어서, 상기 로드 포트 도어의 주위의 시일면과 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면 사이의 소정의 간극을 통하여 상기 기판 처리 장치의 내부로부터 청정 공기를 유출시키는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 청구항 7에 기재된 발명에 관한 기판의 처리 방법은, 기판 처리 장치의 로드 포트에 웨이퍼 캐리어를 적재하여, 로드 포트 도어의 주위의 시일면과 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면을 대향시키고, 로드 포트 도어의 주위의 시일면 또는 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면에 설치한 돌기부에 의해 접촉시키는 동시에, 로드 포트 도어의 주위의 시일면과 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면의 사이에 소정의 간극을 두고 위치 결정하도록 한 것을 특징으로 하는 것이다.
실시 형태1.
이하, 본 발명의 실시 형태 1을 도1 내지 도7를 참조하여 상세히 설명한다.
도1 내지 도6은 본원 발명의 기초가 되는 선행 발명에 관해서 설명하는 도면이고, 도7은 선행 발명을 기초에 개량한 본원의 실시 형태 1의 구성을 설명하는 도이다.
우선, 도1 내지 도6을 참조하여 본원 발명의 기초가 되는 선행 발명에 관해서 설명한다.
도1은, 선행 발명에 관한 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 FOUP 셸부(1)를 설명하기 위한 외관 구성도이다. 도1에 있어서, 1은 FOUP 셸부, 2는 FOUP 도어, 3은 머쉬룸, 4은 레지스트레이션 핀 구멍, 5는 래치 키 구멍, 6은 매뉴얼 핸들, 7은 사이드 레일을 도시하고 있다. 또 도2는, 도1에 도시한 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)에 있어서의 FOUP 도어(2)의 내측의 구성도이다. 도2에 있어서, 2는 FOUP 도어, 8는 시일 부재(패킹), 9는 도어 클램핑 기구부, 10은 수용기를 도시하고 있다.
도1, 도2를 참조하면, 선행 발명의 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)는, 포토 레티클(reticle: 회로 원판)용 기판, 액정 모니터 패널용 기판이나 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 등의 표시 패널 기판, 하드 디스크용 기판, 반도체 장치 등의 전자 장치용 웨이퍼 등의 기판이 이용되는 유리 기판, 자성체 기판, 수지 기판 등의 기판에 적용 가능한 기판 수납 지그이며, FOUP 셸부(1)(도1참조) 및 FOUP 도어(2)(도2참조)를 중심으로 하여 구성되어 있다.
FOUP 셸부(1)는, 기계적 강도의 향상을 도모하는 동시에, 바람직하게는 금속으로 만들어진 하우징이고, 도1에 도시한 바와 같이, 포드 본체인 FOUP 셸부(1), 도6에서 후술하는 OHT부(19)(OHT는 오버 헤드 호이스트 트랜스퍼(Overhead Hoist Transfer)의 약칭)로 파지하여 낚아 올리기 위한 머쉬룸(3), 후술하는 로드 포트(13)에 돌출 설치된 레지스트레이션 핀이 삽입된 상태로 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 위치 결정을 하기 위한 레지스트레이션 핀 구멍(4), 후술하는 래치 키(15)(기계적개폐 기구)가 삽입된 상태로 FOUP 도어(2)의 개폐를 하기 위한 래치 키 구멍(5), 매뉴얼 핸들(6), FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 반송을 하기 위한 사이드 레일(7), 수지제 또는 유리제 창(도시되지 않음)을 구비하고 있다.
한 편, FOUP 도어(2)는, 수지 또는 금속을 주 재료로 하여 형성되어 있고, 도2에 도시한 바와 같이, 밀폐성을 유지하기 위해서 FOUP 도어(2)에 주위 설치된 시일 부재(8)(패킹), FOUP 도어(2)의 기계적 개폐 기구인 도어 클램핑 기구부(9), 웨이퍼(기판) 압축 기구인 수용기(10)를 구비하고 있다. 도어 클램핑 기구부(9)는, 바람직하게는 수지를 주 재료로 한 구성, 또는 수지로 코팅된 구성으로 되어 있다. 수용기(10)는, 웨이퍼(기판)에의 금속 오염을 방지하기 위해서 수지를 주 재료로 하여 형성되어 있다. FOUP 도어(2) 자체는 수지든 금속이든 어느쪽이나 좋지만, FOUP 셸부(1)와 강하게 문질러지는 도어 클램핑 기구부(9)를 수지제로 함으로써 금속 오염을 억제할 수 있다. 기판(예를 들면, 후술하는 웨이퍼(17))에 직접 닿는 것은 후술하는 웨이퍼 치형부(18)(도5참조) 및 수용기(10) 뿐이므로, 웨이퍼 치형부(18) 및 수용기(10)의 재질을 수지로 함으로써 금속 오염을 억제할 수 있다.
도3의 (a)는, 로드 포트(13)(후술하는 도4참조) 상에 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)을 위치 결정하기 위한 원리를 설명하기 위한 도면이며, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 저면에 설치된 V홈부(11)(V 홈)(도1에는 도시 않음)와, 로드 포트(13)(후술하는 도4참조)의 상면에 설치되어 있는 동적 핀(12)(기준핀)에 의한 위치 결정 동작 원리를 도시하고 있다. 그리고 도3의 (b)는, 도1에 도시한 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)에 있어서의 V홈부(11)(V홈)와 동적 핀(12)(기준핀)에 의한 위치 결정한 상태를 도시하는 도면이다.
도3의 (a) 및 (b)에 있어서, FOUP 셸부(1)의 저면에 설치된 V홈부(11)(V 홈)는, 바람직하게는 수지를 주 재료로 한 구성, 또는 수지로 코팅된 구성으로 되어 있다. 또한, 후술하는 로드 포트(13)(후술하는 도4참조) 상면에 설치되어 있는 동적 핀(12)(기준핀)은 금속을 주 재료로 한 구성이다.
도4는, 기판 처리 장치에 있어서, FIMS 면을 갖는 로드 포트 상에서, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 FOUP 도어(2)의 개폐 방법을 도시하는 구성도이다. 또, FIMS는, 이미 설명한 바와 같이, 전방 개방형 인터페이스 메카니컬 스텐다드(Front-opening Interface Mechanical Standard)를 의미한다.
도4에 있어서, 1은 FOUP 셸부, 2는 FOUP 도어, 9는 도어 클램핑 기구부, 11은 V홈부(V 홈), 12는 동적 핀(기준핀), 13은 로드 포트, 14는 로드 포트 도어, 15는 래치 키, 16은 로드 포트 도어 개폐 기구, 17은 웨이퍼, 21은 처리 장치, 24는 FIMS 시일면, 25은 FOUP 시일면, 30은 FOUP 시스템(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)을 도시하고 있다.
웨이퍼(17)는, 포토 레티클(reticle: 회로 원판)용 기판, 액정 모니터 패널용 기판이나 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 등의 표시 패널 기판, 하드 디스크용 기판, 반도체 장치 등의 전자 장치용 웨이퍼 등의 기판이 이용되는 유리 기판, 자성체 기판, 수지 기판 등의 기판 중의 일종이고, 구체적으로는, 직경 300mm 급 실리콘(Si) 웨이퍼이다.
FOUP 셸부(1)는 웨이퍼(17)를 복수매 일정 간격만 이격시켜 수납할 수 있다. V 홈부(V 홈)(11)는 FOUP 셸부(1)의 저면에 설치되고, 동적 핀(기준핀)(12)은 로드 포트(13)의 상면에 설치되고, 로드 포트 도어(14)는 로드 포트(13)로부터 처리 장치(21) 내측에 FOUP 도어(2) 및 웨이퍼(7)를 반입하기 위한 입구이고, FIMS 시일면(24)과 FOUP 시일면(25)이 접촉한 상태로, 로드 포트 도어 개폐 기구(16)에 의해서 개폐(도면 상에서는 승강)할 수 있다.
래치 키(15)는 로드 포트 도어(14)의 표면 상에 설치되고, FOUP 도어(2)의 개폐를 하기 위한 래치 키 구멍(5)(도1참조)에 삽입된 상태로 FOUP 도어(2)를 개폐하기 위해서 이용된다.
기판 처리 장치(21)는, 세정 장치나 건조 장치, 에칭 장치, CVD 장치(화학적 기상 성장 박막 형성 장치), 스퍼터링(진공 방전 가스 박막 형성) 장치, 열 처리로로 대표되는 표시 패널 제조 장치, 하드 디스크나 등의 자기 기억 매체의 제조 장치, MO(광자기 디스크), PD(광 디스크), CD(컴팩트 디스크), DVD(디지털 비디오 디스크) 등의 자기 광학 기억 매체의 제조 장치, LSI(집적 회로 디바이스) 등의 전자 디바이스 제조 장치를 의미한다.
이 예에서는, 웨이퍼(17)(기판)에 직접 닿는 부분은 수용기(10)(도2참조)와 후술하는 웨이퍼 치형부(18)(도5참조) 뿐이며, 수용기(10)와 후술하는 웨이퍼 치형부(18)의 재질을 수지로 하면 금속 오염을 억제할 수 있다.
또한, FOUP 셸부(1)의 저면에 위치하는 위치 결정 용 V홈부(11)(V 홈)(도3의 (a), (b) 및 도4참조)를 수지로 구성, 혹은 표면 코팅하면, 로드 포트(13) 상의 금속제의 동적 핀(12)(기준핀)과의 스침이 발생하고 있는 경우에도 금속 오염이 비산하는 것을 회피할 수 있다.
도5는, 웨이퍼(17)(기판)와 웨이퍼 치형부(18)의 위치 관계를 도시하는 구성도이다. 도5를 참조하면, 웨이퍼 치형부(18)는, 전술한 수용기(10)와 같이, 기계적 강도를 향상시키고, 건조 온도를 높이고, 또, 웨이퍼(17)(기판)에의 금속 오염을 방지하기 위해서, 내열성 수지(PEEK 등)을 주 재료로 한 구성, 또는 내열성 수지(PEEK 등)로 코팅된 구성으로 하는 것이 바람직하다. 또, 벽면에 일정 간격으로 설치된 볼록부를 이용한 선반 구조를 구비하여, 볼록부의 상면에 웨이퍼(17)를 얹어 놓음으로써 수납을 실현하고 있다. 벽면에는 볼록부가 일정 간격으로 설치되어 있기 때문에, 웨이퍼(17)를 복수매 일정 간격 만큼 이격시켜 수납할 수 있다.
도6은, 복수의 기판 처리 장치가 설치된 생산 현장에서의 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 자동 반송 방법을 설명하기 위한 개략도 이며, 오버헤드 호이스트 트랜스퍼(OHT : Overhead Hoist Transfer)에 의한 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 자동 반송 기구를 도시한다.
도6에 있어서, 13은 로드 포트, 19는 OHT부, 20은 호이스트 기구, 21은 기판 처리 장치, 30은 FOUP 시스템(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)을 도시하고 있다. 또, 로드 포트(13)는 FIMS 구조를 가지고 있다.
도6을 참조하면, OHT부(19)는, 반도체 공장의 베이 내에서의 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 대표적인 자동 반송 기기이다. 줄지어 설치된 복수의 처리 장치(21)의 각각에는 로드 포트(13)가 설치되어 있고, 호이스트 기구(20)를 이용하여 반송되는 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)이 적재되도록 구성되어 있다.
이와 같이 이 예에서는, 금속제의 FOUP 셸부(1)를 이용하면 기계적 강도가 증가하고, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 반송시간(OHT 부(19)에 의한 인상시)의 FOUP 셸부(1)의 변형, 및 변형에 수반하는 이물 발생도 억제된다. 또한, 금속 성형 쪽이 치수 정밀도를 발생시키기 쉽기 때문에 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그) 자체의 기계적 신뢰성이 향상된다. 또한, FOUP 셸부(1)를 금속제로 하는 동시에, 웨이퍼 치형부(18)를 PEEK재 등의 고온 성형 수지로 하면 내열 온도가 향상되기 때문에, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 세정시의 건조 온도를 100℃ 이상으로 하는 것이 가능해지고, 그 결과, 물방울 잔류에 의한 건조 불량이 없어진다. 또한, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 내벽에 흡착된 유기물도 건조 온도를 높임으로써 제거하기 쉬워진다. 또, 웨이퍼 치형부(18) 및 수용기(10)가 수지이기 때문에, 웨이퍼(17)(기판)에 직접 접하는 것은 종래와 같이 수지 뿐으로 되며, 웨이퍼(17)(기판)에의 금속 오염의 걱정은 없다.
다음에, 도면에 기초하여 기판 수납 지그(웨이퍼 캐리어)의 반송 방법을 설명한다. 반도체공장내에서는, 각종 처리를 받는 웨이퍼(17)(기판)은 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)에 수납된 상태로 각 처리 장치(21) 사이를 이동한다. 직경 300mm급 웨이퍼(17)(기판)를 수납한 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)는 8kg 이상의 중량이기 때문에, 안전상 사람 손으로 반송한다는 것은 생각하기 어렵고, OHT부(19) 등의 자동 반송 기기를 사용하게 된다.
도6의 예로서는, 처리되는 웨이퍼(17)(기판)가 수납된 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)을, 공정 내에 설치된 스토커로부터 OHT 부(19)(도6참조)에 의해서 처리 장치(21)(예를 들면 에칭 장치, 도6)상에 반송한다.
이어서, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)을, 호이스트(Hoist) 기구(20)(도6참조)를 이용하여 처리 장치(21)의 로드 포트(13) 상으로 내려서 소정 위치(이동 탑재 위치)에 세트한다. 이어서, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 하면에 설치되어 있는 V홈부(11)(V 홈)를, 로드 포트(13) 상의 동적 핀(12)(기준핀)상으로 유도하여 소정의 수납 위치에 고정한다.(도3 참조)
이어서, 호이스트 기구(20)를 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)으로부터 제거하여 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)을 로드 포트(13) 상에 남긴다. 그 후, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)을 전진시켜 로드 포트 도어(14)(도4참조)와 도킹한다.
이어서, 래치 키(15)(도4참조)를 회전함으로써 FOUP 도어(2)를 도어 클램핑 기구부(9)로부터 제거하는 동시에, FOUP 도어(2)를 로드 포트 도어(14)에 고정한다.
이어서, 로드 포트 도어 개폐 기구(16)를 구동하여 FOUP 도어(2)를 FOUP 셸부(1)로부터 제거하고, 처리 장치(21) 내 하부로 FOUP 도어(2)를 이동한다. FOUP 도어(2)가 제거된 상태에서 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 전방면으로부터 웨이퍼(17)(기판)를 추출하고, 처리 장치(21) 내의 웨이퍼 반송 로봇(도시되지 않음)으로 웨이퍼(17)(기판)를 처리 장치(21) 내부의 처리부(도시되지 않음)로 반송하여 소요의 처리를 행한다.
이어서, 처리의 종료 후, 처리 완료된 웨이퍼(17)(기판)를 웨이퍼 반송 로봇을 이용하여 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)으로 복귀한다. 이와 같이, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그) 내에 수납되어 있는 웨이퍼(17)(기판)의 각각에 소요의 처리를 행한 후, 로드 포트 도어 개폐 기구(16)를 구동하여 FOUP 도어(2)를 FOUP 셸부(1)와 도킹시켜 래치 키(15)를 회전시킴으로써 도어 클램핑 기구부(9)를 작동시켜, FOUP 도어(2)를 FOUP 셸부(1)에 고정한다.
그 후, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)을 후퇴시켜 이동 탑재 포지션에 수납한다. 반송 요구에 따라서, 로드 포트(13), 즉 반송 요구의 대상으로 되어 있는 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)가 놓여 있는 로드 포트(13) 상으로 공중의 OHT 부(19)를 정지시키고, 호이스트 기구(20)의 로봇 핸드(도시되지 않음)를 이용하여 머쉬룸(3)을 협지하여 인상한다.
이어서, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)를OHT 부(19)로 스토커에 반송하여 일시 보관한 후에, 다음 처리 공정(예를 들면, 애싱 공정 등)으로 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)를 반송한다. 이러한 플로우(기판 수납 지그반송 방법)를 반복함으로써 원하는 회로를 웨이퍼(17)(기판) 상에 형성한다.
또, 상기에 있어서는, 자동 반송으로서OHT 부(19)를 이용하는 예를 설명했지만, 이것에 특히 한정되지 않고, AGV(Automated Guided Vehicle)나 RGV(Rail Guided Vehicle)를 이용해도 좋고, 또 PGV(Person Guided Vehicle)를 이용한 수동 반송을 이용하더라도 좋음은 분명하다.
이상으로, 본 발명의 기초가 되는 선행 발명에 관해서 설명했다.
다음에 상기한 선행 발명을 더욱 개선한 본 발명의 실시 형태 1에 의한 기판 처리 장치의 로드 포트 시스템에 관해서 설명한다.
도7은 본 발명의 실시 형태 2에 의한 기판 처리 장치의 로드 포트 시스템을 설명하기 위한 도면으로서, 기판 처리 장치에 있어서, 개선된 FIMS면, 즉, 처리 장치(21)의 로드 포트 도어(14)의 주위의 시일면(24)(FIMS 시일면)에 복수의 돌기를 설치한 구조의 로드 포트 상에, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)를 얹어 놓은 상태를 도시하는 단면도이며, 또, FOUP 도어(2)의 개폐 방법을 도시하는 구성도이다.
도7에 있어서, 22는, 기판 처리 장치(21)의 로드 포트 도어(14)의 주위의 시일면에, 즉 FIMS 시일면 상에 설치된 돌기 구조를 도시하고 있다.
도7를 참조하면, 본 실시 형태는, 상기 선행 발명의 구성에다가, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 FOUP 시일면(25)(FOUP 셸부(1)의 시일 부재8(패킹)이 설치되어 있는 면)을 FIMS 시일면(24)에 소정 거리 만큼 이격시키는 높이(H1)를 가지는 돌기 구조(22)를 FIMS 시일면(24)에 설치하고 있다. 이에 따라, 처리 장치(21) 내(FIMS(40)내)의 미니 환경으로부터의 처리 장치(21) 외부(FIMS(40)외부)에의 청정 공기의 취출을 방해하는 일이 없도록 하고 있다.
또한, 이에 따라, FIMS 시일면(24) 상의 돌기 구조(22)에 FOUP 셸부(1)의 FOUP 시일면(25)을 접촉시킨 때에 해당 접촉 위치에서 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)를 정지한 상태로 유지하여 위치 결정할 수 있게 되고, 그 결과, 돌기 구조를 거쳐서 FIMS 시일면(24)에 FOUP 시일면(25)을 정밀도 좋게 위치 결정할 수 있게 된다. 또, 돌기 구조(22)는, 적어도 1개, 보통은 3 내지 4개 또는 그 이상 설치한다.
구체예로서는, FIMS 시일면(24)에 0.5mm 내지 3.0mm 정도의 높이 H1를 가지는 돌기 구조(22)(FOUP 시스템(30)측으로 향해서 볼록)를 복수 설치한다. 이에 따라, FOUP 셸부(1)의 FOUP 시일면(25)과의 접촉이 돌기 구조(22)(높이 H1)의 접촉면에서 발생하여, 그 위치에서 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)은 정지한다. 이에 따라 돌기가 없는 부분에서는 FIMS 시일면(24)과 FOUP 셸부(1)의 FOUP 시일면(25)과의 거리를 돌기 구조(22)의 높이 H1와 동등한 0.5mm 내지 3.0mm 정도로 유지할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, FIMS 시일면(24) 상의 돌기 구조(22)(높이 H1) 중 적어도 1개 이상의 돌기 구조(22)(높이 H1)에 접촉식 스위치를 설치하여, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)이 FIMS 시일면(24) 상의 돌기 구조(22)(높이 H1) 내의 접촉식 스위치에 접촉한 때에, 접촉식 스위치로부터의 신호를 기초로 이 접촉(접촉 상태)를 검지하고, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 도킹 동작의 제어, 즉, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 FOUP 시일면(25)을 FIMS 시일면(24) 상의 돌기 구조(22)(높이 H1)에 접촉시키는(맞닿게 하는) 제어를 실행하는 구성(로드 포트 구조)으로 할 수도 있다.
또한 FIMS 시일면(24) 상의 돌기 구조(22)(높이 H)는, 처리 장치(21) 내(FIMS(40) 내)의 미니 환경으로부터의 처리 장치(21) 외부(FIMS(40) 외부)에의 청정 공기의 취출을 방해하지 않는 구성(로드 포트 구조), 즉, FOUP 셸부(1)의 FOUP 시일면(25)의 돌기 구조(22)가 FIMS 시일면(24)에 접촉한 위치로 정지하는 구성으로 되어 있기 때문에, 정지 위치의 재현성이 좋고,따라서 FOUP 도어(2)의 개폐 제어를 높은 신뢰성으로 실행할 수 있다.
또한 정지한 위치에서 FOUP 셸부(1)의 FOUP 시일면(25)과 FIMS 시일면(24) 사이에, 접촉점을 제외하고 FIMS 시일면(24) 상의 돌기 구조(22)의 높이(H1)와 동등한 일정 간극(0.5mm 내지 3.0mm)을 유지할 수 있다.
이 때문에, 처리 장치(21) 내(FIMS(40) 내)의 미니 환경으로부터 처리 장치(21) 외부(FIMS(40) 외부)로의 청정 공기의 취출을 제한하지 않고, 그 결과, FIMS(40) 내부로의 파티클(이물 미립자)의 충분한 침입 방지성을 확보할 수 있게 된다는 효과를 발휘한다. 이러한 본 실시 형태의 로드 포트(13) 및 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)를 이용한 로드 포트 시스템을 사용함으로써 반도체 장치 등의 제조 장치에 있어서 높은 신뢰성으로 먼지 발생이 적은 생산 방법을 실현할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 이 실시 형태에서는, 기판 처리 장치의 로드 포트 도어의 주위의 시일면에, 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면에 접촉하기 위한 복수의 돌기를 설치한 기판 처리 장치의 로드 포트 시스템을 제공한다.
이러한 본 실시 형태에 따르면, 이하에 제시한 바와 같은 효과를 발휘한다. 우선 제1 효과는, FIMS 시일면(24) 상에 돌기 구조(22)(높이 H)를 마련함으로써, FOUP 도어(2)의 개폐 신뢰성을 향상할 수 있는 것이다.
그리고 제2 효과는, 처리 장치(21) 내(FIMS(40) 내)의 청정 공기가 FIMS 시일면(24)과 FOUP 시일면(25)의 간극을 통해서 FOUP 시스템(30) 측으로 분출하는 구성(로드 포트 구조)으로 함으로써 처리 장치(21) 내(FIMS(40) 내)에의 파티클(이물 미립자)의 충분한 침입 방지성을 실현할 수 있고, 그 결과, 고수율로 집적 회로의 생산을 할 수 있는 것이다.
실시 형태 2.
이하, 본 발명의 실시 형태 2를 도면을 기초로 하여 상세히 설명한다. 또 상기 실시 형태에 있어서 이미 기술한 것과 동일한 부분에 관하여는, 동일 부호를 붙이고, 중복한 설명은 생략한다.
도8은 본 발명의 실시 형태 1에 의한 기판 처리 장치의 로드 포트 시스템을 설명하기 위한 도면으로서, 기판 처리 장치에 있어서, 개선된 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)을, FIMS 면을 갖는 로드 포트 상에 적재한 상태를 도시하는 단면도이며, 또, FOUP 도어(2)의 개폐 방법을 도시하는 구성도이다.
도8에 있어서 22는, FOUP 시스템(30)의 FOUP 도어(2) 주위의 시일면에, 즉FOUP의 시일면에 설치된 돌기 구조를 도시하고 있다.
도8를 참조하면, 본 실시 형태는, 상기 선행 발명의 구성에다가, FOUP 시일면(25)(FOUP 셸부(1)의 시일 부재(8)(패킹)이 설치되어 있는 면)을 FIMS 시일면(24)에 소정 거리 만큼 이격시키는 높이 H2를 가지는 돌기 구조(23)를 FOUP 시일면(25)에 설치하고 있다. 이에 따라, 처리 장치(21) 내(FIMS(40) 내)의 미니 환경으로부터의 처리 장치(21) 외부(FIMS(40) 외부)에의 청정 공기의 취출을 방해하는 일이 없게 하고 있다.
또한, 이에 따라, FOUP 시일면(25) 상의 돌기 구조(23)(높이 H2)를 FIMS 시일면(24)에 접촉시킨 때에 해당 접촉 위치에서 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)을 정지한 상태를 유지하여 위치 결정할 수 있게 되고, 그 결과, 돌기 구조를 거쳐서 FOUP 시일면(25)을 FIMS 시일면(24)에 정밀도 좋게 위치 결정할 수 있게 된다. 또, 돌기 구조(23)는, 적어도 1개, 보통은 3 내지 4개 또는 그 이상 설치한다.
구체적으로는, FOUP 시일면(25)에 0.5mm 내지 3.0mm 정도의 높이 H2를 가지는 돌기 구조(23)(FIMS(40) 측을 향해서 볼록)를 복수 설치한다. 이에 따라, FIMS 시일면(24)과의 접촉이 돌기 구조(23)(높이 H2)에서 발생하고, 그 위치에서 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)은 정지한다. 이에 따라 돌기가 없는 부분에서는 FIMS 시일면(24)과 FOUP 셸부(1)의 FOUP 시일면(25)의 거리를 돌기 구조(23)의 높이 H2와 같은 정도인 0.5mm 내지 3.0mm 정도로 유지할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, FOUP 시일면(25)상의 돌기 구조(23)(높이 H2) 내의 적어도 1개 이상의 돌기 구조(23)(높이 H2)에 접촉식 스위치를 설치하고, FIMS 시일면(24)이 FOUP 시일면(25) 상의 돌기 구조(23)(높이 H2) 내의 접촉식 스위치에 접촉한 때에, 접촉식 스위치로부터의 신호를 기초로 이 접촉(접촉 상태)을 검지하고, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 도킹 동작의 제어, 즉, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 FOUP 시일면(25)상의 돌기 구조(23)(높이 H2)를 FIMS 시일면(24)에 접촉(맞닿음)시키는 제어를 실행하는 구성(FOUP 구조)으로 할 수도 있다.
또한 본 실시 형태의 FOUP 시일면(25) 상의 돌기 구조(23)(높이 H2)는, 처리 장치(21) 내(FIMS(40) 내)의 미니 환경으로부터의 처리 장치(21) 외부(FIMS(40) 외부)에의 청정 공기의 취출을 방해하지 않는 구성(FOUP 구조), 즉, FOUP 셸부(1)의 FOUP 시일면(25)이 FIMS 시일면(24)에 접촉한 위치에서 정지하는 구성으로 되어 있기 때문에, 정지 위치의 재현성이 좋고, 따라서 FOUP 도어(2)의 개폐 제어를 높은 신뢰성으로 실행할 수 있다.
또한 정지한 위치에서 FOUP 셸부(1)의 FOUP 시일면(25)과 FIMS 시일면(24)의 사이에, 접촉점을 제외하고 FOUP 시일면(25) 상의 돌기 구조(23)의 높이(H2)와 같은 정도의 일정 간극(0.5mm 내지 3.0mm)을 유지할 수 있다. 이 때문에, 처리 장치(21) 내(FIMS(40) 내)의 미니 환경으로부터의 처리 장치(21) 외부(FIMS(40)외부)로의 청정 공기의 취출을 제한하는 일이 없고, 그 결과, 처리 장치(21) 내(FIMS(40) 내)로의 파티클(이물 미립자)의 충분한 침입 방지성을 확보할 수 있게 되는 효과를 발휘한다.
또한, 이러한 본 실시 형태의 로드 포트(13) 및 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)을 이용한 로드 포트 시스템을 사용함으로써, 반도체 장치 등의 제조 장치에 있어서 높은 신뢰성으로 먼지 발생이 적은 생산 방법을 실현할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 이 실시 형태에서는, 기판 처리 장치의 로드 포트 도어의 주위의 시일면에, 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면에 접촉하기 위한 복수의 돌기를 설치한 기판 처리 장치의 로드 포트 시스템을 제공한다.
이러한 본 실시 형태에 따르면, 이하에 기술하는 바와 같은 효과를 발휘한다. 우선 제1 효과는, FOUP 시일면(25) 상에 돌기 구조(23)(높이 H2)를 설치함으로써, FOUP 도어(2)의 개폐 신뢰성을 향상할 수 있는 것이다.
그리고 제2 효과는, 처리 장치(21) 내(FIMS(40) 내)의 청정 공기가 FIMS 시일면(24)과 FOUP 시일면(25)의 간극을 통해서 FOUP 시스템(30) 측으로 분출하는 구성(FOUP 구조)으로 함으로써 처리 장치(21) 내(FIMS(40) 내)에의 파티클(이물 미립자)이 충분한 침입 방지성을 실현할 수 있고, 그 결과, 고수율로 집적 회로의 생산을 할 수 있는 것이다.
실시 형태3.
이하, 본 발명의 실시 형태 3을 도면을 기초로 하여 상세히 설명한다. 또 상기 실시 형태에 있어서 이미 기술한 것으로 동일한 부분에 관하여는, 동일 부호를 붙이고, 중복한 설명은 생략한다. 상기 실시 형태1, 2로서는 FIMS 시일면(24) 또는 FOUP 시일면(25) 중 어느 한 쪽에 돌기 구조를 설치한 구조에 관해서 설명했지만, 본 발명은 이에 특히 한정되는 것은 아니다.
즉, 본 실시 형태에서는, 상기 선행 발명의 구성에다가, FIMS 시일면(24) 및 FOUP 시일면(25)의 양방에 상기 돌기 구조(FIMS 시일면(24) 상의 돌기 구조(22)(높이 H) 및 FOUP 시일면(25)상의 돌기 구조(23)(높이 H2)를 설치하더라도 좋다. 단지, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 FOUP 시일면(25)을 FIMS 시일면(24) 상의 돌기 구조(22)(높이 H1)에 접촉(맞닿음)시키는 동시에, FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 FOUP 시일면(25) 상의 돌기 구조(23)(높이 H2)를 FIMS 시일면(24)에 접촉(맞닿음)시키는 FOUP 시스템(30)(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 도킹 동작의 제어를 하는 경우, FIMS 시일면(24)에 설치한 돌기 구조(22)(높이 H1)와 FOUP 시일면(25)에 설치한 돌기 구조(23)가 중복되지 않도록 각각의 돌기 구조(22)(높이 H1) 및 돌기 구조(23)(높이 H2)의 위치를 결정할 필요가 있다.
이상 설명한 바와 같이 상기 실시 형태에 따르면, 이하에 기술하는 바와 같은 효과를 발휘한다. 우선 제1 효과는, FIMS 시일면(24) 상에 돌기 구조(22)를 설치하는 동시에, FOUP 시일면(25) 상에 돌기 구조(23)를 설치함으로써, FOUP 도어(2)의 개폐 신뢰성을 향상할 수 있는 것이다.
그리고 제2 효과는, 처리 장치(21) 내(FIMS(40) 내)의 청정 공기가 FIMS 시일면(24)과 FOUP 시일면(25)의 간극을 통해서 FOUP 시스템(30) 측으로 분출하는 구성(FOUP 구조 및 로드 포트 구조)으로 함으로써 처리 장치(21) 내(FIMS(40) 내)로의 파티클(이물 미립자)의 충분한 침입 방지성을 실현할 수 있고, 그 결과, 고수율로 집적 회로의 생산을 할 수 있는 것이다.
또, 상기 각 실시의 형태에 있어서, 웨이퍼(기판)으로서 설명한 것은, 반도체 장치에 이용되는 웨이퍼에 특히 한정되지 않고, 포토 레티클(reticle: 회로 원판)용 기판, 액정 모니터 패널용 기판이나 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 등의 표시 패널 기판, 하드 디스크용 기판, 반도체 장치 등의 전자 장치용 기판 등의 각종의 기판이 이용되는 유리 기판, 자성체 기판, 수지 기판 등의 기판을 포함하는 넓은 의미의 기판을 포함하는 것이다.
또한, 상기 각 실시의 형태는, 이러한 웨이퍼(기판)을 수납, 운반 및 보관한 FOUP 시스템(30)에 이용되는 FOUP 구조, 및 이러한 FOUP 시스템(30)을 이용하는 FIMS(40)의 로드 포트 구조, 및 이들을 이용한 생산 방법에 적용 가능하다.
또, 본 발명이 상기 각 실시의 형태에 한정되지 않고, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서, 상기 실시 형태는 적절하게 변경될 수 있음은 분명하다. 또한 상기 구성 부재의 수, 위치, 형상 등은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 본 발명을 실시하는 데에 있어서 적합한 수, 위치, 형상 등으로 할 수 있다. 또한, 각 도면에 있어서, 동일 구성 요소에는 동일 부호를 부여하고 있다.
또, 본 발명의 각 측면은 다음과 같이 별도의 표현으로 요약할 수도 있다.
본 발명에 관한 로드 포트 구조는, 기판을 수납, 운반 및 보관한 차세대의 기판 수납 지그인 FOUP를 개폐하는 로드 포트 기구를 구비하여, 기판 처리 장치 내(FIMS 내)의 미니 환경으로부터의 기판 처리 장치 외부(FIMS 외부)에의 청정 공기의 취출을 방해하지 않고, FOUP 시스템의 FOUP 시일면을 FIMS 시일면에 소정 거리 만큼 이격시키는 높이를 지니고 FOUP 시스템측을 향해서 볼록 형상의 돌기 구조를 FIMS 시일면에 설치한 구성을 가지는 것이다.
또한, 다른 발명에 관한 로드 포트 구조는, FIMS 시일면 상의 돌기 구조에 FOUP 셸부의 FOUP 시일면을 접촉시킨 때에 그 접촉 위치에서 FOUP 시스템을 정지한 상태를 유지하여 위치 결정하는 구성을 가지는 것이다.
또한, 다른 발명에 관한 로드 포트 구조는, FOUP 셸부의 FOUP 시일면과의 접촉이 돌기 구조의 접촉면에서 발생하여, 그 접촉 위치로 FOUP 시스템이 정지하여, 또한, 돌기가 없는 부분에서는 FIMS 시일면과 FOUP 셸부의 FOUP 시일면 사이의 거리를 돌기 구조의 높이와 동등한 정도로 유지하는 구성을 가지는 것이다.
또한, 다른 발명에 관한 로드 포트 구조는, FIMS 시일면 상의 돌기 구조 내의 적어도 1개 이상에 접촉식 스위치를 갖고, FOUP 시스템이 FIMS 시일면 상의 돌기 구조 내의 접촉식 스위치에 접촉한 때에, 접촉식 스위치로부터의 신호를 기초로 접촉 상태를 검지하여, FOUP 시스템의 도킹 동작의 제어를 실행하는 구성을 가지는 것이다.
또한, 다른 발명에 관한 FOUP 구조는, 기판을 수납, 운반 및 보관한 차세대의 기판 수납 지그인 FOUP를 개폐하는 로드 포트 기구를 구비하여, 기판 처리 장치내(FIMS 내)의 미니 환경으로부터의 기판 처리 장치 외부(FIMS 외부)에의 청정 공기의 취출을 방해하지 않고, FOUP 시일면을 FIMS 시일면에 소정 거리 만큼 이격시키는 높이를 지니고 FIMS 측으로 향해서 볼록 형상의 돌기 구조를 FOUP 시일면에 설치한 구성을 가지는 것이다.
또한, 다른 발명에 관한 FOUP 구조는, FOUP 시일면 상의 돌기 구조를 FIMS 시일면에 접촉시킨 때에 그 접촉 위치에서 FOUP 시스템을 정지한 상태를 유지하여 위치 결정하는 구성을 가지는 것이다.
또한, 다른 발명에 관한 FOUP 구조는, FIMS 시일면과의 접촉이 돌기 구조의 접촉면에서 발생하고, 그 접촉 위치에서 FOUP 시스템이 정지하고, 또한, 돌기가 없는 부분에서는 FIMS 시일면과 FOUP 셸부의 FOUP 시일면과의 거리를 돌기 구조의 높이와 같은 정도로 유지하는 구성을 가지는 것이다.
또한, 다른 발명에 관한 FOUP 구조는, FOUP 시일면 상의 돌기 구조 내의 적어도 1개 이상에 접촉식 스위치를 갖고, FIMS 시일면이 FOUP 시일면 상의 돌기 구조 내의 접촉식 스위치에 접촉한 때에, 접촉식 스위치로부터의 신호를 기초로 접촉 상태를 검지하여, FOUP 시스템의 도킹 동작의 제어를 실행하는 구성을 가지는 것이다.
본 발명은 이상과 같이 구성되어 있으므로, 이하에 기술한 바와 같은 효과를 발휘한다.
우선 제1 효과는, FIMS 시일면 상의 돌기 구조, 또는 FOUP 시일면 상의 돌기 구조의 적어도 어느 것을 설치함으로써, FOUP 도어의 개폐 신뢰성을 향상할 수 있는 것이다.
그리고 제2 효과는, 기판 처리 장치 내(FIMS 내)의 청정 공기가 FIMS 시일면과 FOUP 시일면의 간극을 통해서 FOUP 시스템측으로 분출하는 구성으로 함으로써 기판 처리 장치 내(FIMS 내)에의 파티클(이물 미립자)가 충분한 침입 방지성을 실현할 수 있고, 그 결과, 고수율로 집적 회로의 생산을 할 수 있는 것이다.
도1은 본 발명의 실시 형태 1에 있어서, 선행 발명에 관한 FOUP 시스템(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 FOUP 셸부를 설명하기 위한 외관 구성도.
도2는 도1에 도시한 FOUP 시스템(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)에 있어서의 FOUP 도어의 내측의 구성도.
도3의 (a)는 도1에 도시한 FOUP 시스템(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)에 있어서의 동적 핀과 V홈부에 의한 위치 결정 동작 원리를 설명하는 도면.
도3의 (b)는 도3의 (a)의 동적 핀과 V홈부에 의한 위치 결정한 상태를 도시하는 도면.
도4는 도1에 도시한 FOUP 시스템(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 FOUP 도어의 개폐 방법을 도시하는 구성도.
도5는 웨이퍼와 웨이퍼 치형부의 위치 관계를 도시하는 구성도.
도6은 OHT부에 의한 FOUP 시스템(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)의 자동 반송 개략도.
도7은 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의, FIMS 측에 돌기 구조를 설치한 FOUP 구조를 가지는 로드 포트 시스템을 설명하기 위한 측 단면도
도8은 본 발명의 실시 형태 2에 있어서의, FOUP 측에 돌기 구조를 설치한 로드 포트 구조의 로드 포트 시스템을 설명하기 위한 측단면도.
도9는 종래의 가로 도어 일체형 기판 수납 지그(웨이퍼 캐리어)를 설명하기 위한 사시도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : FOUP 셸부
2 : FOUP 도어
3 : 머쉬룸
4 : 레지스트레이션 핀 구멍
5 : 래치 키구멍
6 : 메뉴얼핸들
7 : 사이드 레일
8 : 시일 부재(패킹)
9 : 도어 클램핑 기구부
10 : 수용기
11 : V홈부
12 : 동적 핀(기준핀)
13 : 로드 포트
14 : 로드 포트 도어
15 : 래치 키
16 : 로드 포트 도어 개폐 기구
17 : 웨이퍼
18 : 웨이퍼 치형부
19 : OHT부
20 : 호이스트 기구
21 : 기판 처리 장치
22 : FIMS 시일면 상의 돌기 구조
23 : FOUP 시일면 상의 돌기 구조
24 : FIMS 시일면
25 : FOUP 시일면
30 : FOUP 시스템(가로 도어 일체형 기판 수납 지그)
40 : FIMS

Claims (7)

  1. 웨이퍼를 수납한 웨이퍼 캐리어를 기판 처리 장치의 로드 포트에 적재하고, 로드 포트 도어와 웨이퍼 캐리어의 도어를 대향시키고, 또한 로드 포트 도어의 주위의 시일면과 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면을 대향시키는 것에 있어서, 기판 처리 장치의 로드 포트 도어의 주위의 시일면에, 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면에 접촉하기 위한 복수의 돌기를 설치하여 로드 포트 도어 주위의 시일면과, 웨이퍼 캐리어 도어 개구부 주위의 시일면과의 사이에 소정의 간극을 유지하도록 한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치의 로드 포트 시스템.
  2. 웨이퍼를 수납한 웨이퍼 캐리어를 기판 처리 장치의 로드 포트에 적재하고, 로드 포트 도어와 웨이퍼 캐리어의 도어를 대향시키고, 또한 로드 포트 도어의 주위의 시일면과 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면을 대향시키는 것에 있어서, 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면에, 기판 처리 장치의 로드 포트에 있어서 로드 포트 도어의 주위의 시일면에 접촉하기 위한 복수의 돌기를 설치하여 로드 포트 도어 주위의 시일면과, 웨이퍼 캐리어 도어 개구부 주위의 시일면과의 사이에 소정의 간극을 유지하도록 한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치의 로드 포트 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 복수의 돌기의 적어도 하나를 접촉식 스위치로 하고, 접촉 신호에 의해서 상기 웨이퍼 캐리어의 도킹 동작을 제어하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치의 로드 포트 시스템.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 돌기의 높이를 0.5mm 내지 3.0mm의 범위로 한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치의 로드 포트 시스템.
  5. 제1항 또는 제2항에 기재된 기판 처리 장치의 로드 포트 시스템을 이용하여 기판을 처리하는 것을 특징으로 하는 기판의 처리 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 로드 포트 도어의 주위의 시일면과 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면 사이의 소정의 간극을 통하여, 상기 기판 처리 장치의 내부로부터 청정 공기를 유출시키는 것을 특징으로 하는 기판의 처리 방법.
  7. 기판 처리 장치의 로드 포트에 웨이퍼 캐리어를 적재하고, 로드 포트 도어의 주위의 시일면과 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면을 대향시키고, 로드 포트 도어의 주위의 시일면 또는 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면에 설치한 돌기부에 의해 접촉시키는 동시에, 로드 포트 도어의 주위의 시일면과 웨이퍼 캐리어의 도어 개구부 주위의 시일면의 사이에 소정의 간극을 두고 위치 결정하도록 한 것을 특징으로 하는 기판의 처리 방법.
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