JP2001509209A - 陰極スパッタリングにより基板上に膜を形成する方法及び装置 - Google Patents
陰極スパッタリングにより基板上に膜を形成する方法及び装置Info
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.陰極スパッタリングにより基板上に膜を形成する方法であって、基板を陰極 スパッタリング室の入口と出口との間で移送する工程と、基板の少なくとも一 方の被膜形成表面を、該基板表面に向かって差し向けられていて、基板上に被 着されるべき1又は2以上の元素を含むターゲットの表面と実質的に平行に通 過させる工程と、この通過中、前記1又は2以上の元素をターゲット表面から 被膜形成表面全体にスパッタ被着させる方法において、室内に移送された所定 の最大幅内で幅が一定していない基板の表面に、基板の前記最大幅にほぼ一致 する不変長さの表面をもつターゲットを用いて膜を形成する工程と、膜形成さ れている基板の幅に応じて、ターゲットの表面と基板の被膜形成表面を相対変 位させて、陰極スパッタリング中、ターゲットの実質的に表面全体を常に被膜 形成表面と対向して位置させるようにする工程とを有することを特徴とする方 法。 2.膜形成されるべき基板は、材料のストリップであり、該ストリップはターゲ ットの前を直進し、ストリップの幅に応じて、前記方法は、ターゲットを、ス トリップの幅がその最大の状態にある場合にとるストリップの運動方向に垂直 な長手方向と、ストリップの幅が最大幅よりも小さい場合にとる前記運動方向 に対する斜めの長手方向位置との間で変位させる工程を有することを特徴とす る請求項1記載の方法。 3.ターゲットの表面と基板の被膜形成表面を相対変位させる工程は、ターゲッ トを室内で回動させる工程から成り、回動中、前記ターゲット表面は、前記被 膜形成表面に平行に且つこれから不変の距離を置いて位置したままであること を特徴とする請求項1又は2記載の方法。 4.ターゲットを中央シャフトの回りに回動させる工程を有することを特徴とす る請求項3記載の方法。 5.ターゲットを特にその長手方向端部のうち一方のところで偏心シャフトの回 りに回動させる工程を有することを特徴とする請求項3記載の方法。 6.ターゲットを回動運動と同時に又はその後に並進運動させる工程を有するこ とを特徴とする請求項5記載の方法。 7.膜形成されるべき基板材料は、金属、ガラス、紙、プラスチック又は類似の 材料であることを特徴とする請求項1〜6のうち何れか一に記載の方法。 8.前記ターゲット表面は、中実又は液体表面層で形成されていることを特徴と する請求項1〜7のうち何れか一に記載の方法。 9.前記ターゲット表面は、液体であり、前記方法は、前記陰極スパッタリング と同時に、膜を形成する1又は2以上の元素を蒸発させ、次に該元素を膜形成 されるべき基板上に凝縮させる工程を有することを特徴とする請求項1〜7の うち何れか一に記載の方法。 10.陰極スパッタリングにより基板(2)上に膜を形成する装置であって、基板 のための入口及び出口を備えた陰極スパッタリング室(1)と、基板(2)を 入口と出口との間で運ぶ移送手段と、基板(2)の被膜形成表面(5)へ差し 向けられていて、該被膜形成表面に平行に配置された表面(4)を有すると共 に基板上に被着されるべき1又は2以上の元素を含有したターゲット(3)と 、ターゲットの前記表面(4)から基板上に被着される前記1又は2以上の元 素の陰極スパッタリングを達成する手段(3,7,8,14)とを有する装置において 、該装置は、所定の最大幅内で幅が一定していない基板の表面に膜を形成する ために用いられ、前記装置は、基板(2)の前記最大幅にほぼ一致する不変長 さの表面(4)をもつターゲット(3)と、ターゲット(3)の表面(4)と 基板の被膜形成表面(5)を相対変位させて、陰極スパッタリング中、ターゲ ットの実質的に表面全体を常に被膜形成表面と対向して位置させるようにする 手段(9〜13)とを有することを特徴とする装置。 11.前記相対変位手段は、ターゲット(3)をその中心で支持するピボットシャ フト(9)から成り、それによりターゲットが被膜形成表面(5)に平行な状 態でシャフトの回りに回転できるようになっていることを特徴とする請求項1 0記載の装置。 12.シャフト(9)は、中空であり、気密状態で室(1)を貫通して延び、それ により、特に水、ガス及び/又は電気を供給するためのユーティリティライン を室内に引き込むことができることを特徴とする請求項11記載の装置。 13.前記相対変位手段は、ターゲット(3)が並進運動で摺動できる滑り子(11 )と、滑り子(11)が被膜形成表面(5)に平行に回動できるよう滑り子を支 持する回転シャフト(12)とから成ることを特徴とする請求項10記載の装置 。 14.前記相対変位手段は、ターゲット(3)を被膜形成表面(5)に平行に回転 させることができるよう偏心的に支持するピボットシャフト(13)から成るこ とを特徴とする請求項10記載の装置。
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