JP2001343427A

JP2001343427A - テスト装置およびテスト方法

Info

Publication number: JP2001343427A
Application number: JP2000163968A
Authority: JP
Inventors: Genichi Yonemori; 玄一米森
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2000-06-01
Filing date: 2000-06-01
Publication date: 2001-12-14

Abstract

(57)【要約】【課題】比較手段のテストを適切に行いテスト対象に
おける故障検出を的確に行えるテスト装置およびテスト
方法を得る。【解決手段】同一の内部構造を持つ複数のブロック
１，２を同じ半導体集積回路に設け、複数のブロック
１，２に同一の入力パターンを与えた上で、複数のブロ
ック１，２のうち特定のブロック１について、その出力
それぞれを検証するとともに、他のブロック２の出力に
ついては、その出力をブロック１の出力と比較する比較
器３の出力のみを検証することでテストを行うものにお
いて、比較器３の入力値の少なくとも一部を固定値に切
換えることにより、比較器３のテストを行うようにし
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体のＬＳＩ
開発におけるテスト容易化設計に係るテスト装置および
テスト方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】同一のＬＳＩ内に同一の内部構造を持つ
複数のブロックが存在する場合のテスターテストについ
ては、全ブロックに同一の入力パターンを与えた上で、
それらのブロックのうち特定の一つである参照ブロック
のみ全出力をストローブして検証し、他のブロックの出
力については、その出力を参照ブロックの出力と比較す
る回路である比較器の出力１本のみストローブすること
でテストすることにより、ＬＳＩの端子を節約する、と
いう手法が行われている。

【０００３】図５は、上記手法を実現する従来技術によ
る回路構成を示したものである。図において、１は参照
ブロックとしての第１ブロック、２は第１ブロックと同
じＬＳＩ内に設けられ、同一の内部構造を持つ第２ブロ
ック、３は比較器である。比較器３は、複数の排他的論
理和ゲートと、それらの出力を全て入力するＯＲゲート
とからなる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このような手法につい
て、以下の３点を可能にすることが要請される。（１）比較器の故障により「一致」を表す値しか出力さ
れなくなって、対応するブロックが全くテストできなく
なってしまうことを防ぐため、比較器自体のテストをす
る。（２）テスターでフェイルした場合の解析が容易にでき
るようにする。（３）一部の出力比較をマスクできるようにすること
で、ブロックの内部構造が部分的に異なっていても適用
できるようにする。

【０００５】この発明は、比較手段のテストを適切に行
いテスト対象における故障検出を的確に実現できるテス
ト装置およびテスト方法を得ようとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】第１の発明に係るテスト
装置では、同一の内部構造を持つ複数のブロックを同じ
半導体集積回路に設け、前記複数のブロックに同一の入
力パターンを与えた上で、前記複数のブロックのうち特
定のブロックについて、その出力それぞれを検証すると
ともに、他のブロックの出力については、その出力を前
記特定のブロックの出力と比較する比較手段の出力のみ
を検証することでテストを行うものにおいて、前記比較
手段の入力値の少なくとも一部を所定値に切換えること
により、前記比較手段のテストを行うようにしたもので
ある。

【０００７】第２の発明に係るテスト装置では、前記比
較手段の入力値の少なくとも一部を固定値に切換えるこ
とにより、前記比較手段のテストを行うようにしたもの
である。

【０００８】第３の発明に係るテスト装置では、固定値
を出力し得るテスト用レジスタと、前記テスト用レジス
タの出力を前記比較手段の入力値として切換える切換手
段とを設け、前記比較手段の入力値の少なくとも一部を
固定値に切換えるようにしたものである。

【０００９】第４の発明に係るテスト装置では、前記比
較手段の入力値の少なくとも一部を前記複数のブロック
からの出力値を反転した値に切換えることにより、前記
比較手段のテストを行うようにしたものである。

【００１０】第５の発明に係るテスト装置では、テスト
用レジスタと、前記テスト用レジスタの出力に応じ前記
複数のブロックからの出力値を反転して前記比較手段の
入力値とする排他的論理和ゲートとを設け、前記比較手
段の入力値の少なくとも一部を前記複数のブロックから
の出力値を反転した値に切換えるようにしたものであ
る。

【００１１】第６の発明に係るテスト装置では、同一の
内部構造を持つ複数のブロックを同じ半導体集積回路に
設け、前記複数のブロックに同一の入力パターンを与え
た上で、前記複数のブロックのうち特定のブロックにつ
いて、その出力それぞれを検証するとともに、他のブロ
ックの出力については、その出力を前記特定のブロック
の出力と比較する比較手段の出力のみを検証することで
テストを行うものにおいて、前記比較手段の出力が不一
致を示す場合に、前記比較手段の入力値をそれぞれ任意
の値に切換えることにより、前記複数のブロックについ
て解析を行うようにしたものである。

【００１２】第７の発明に係るテスト装置では、任意の
値を出力し得るテスト用レジスタと、前記テスト用レジ
スタの出力を前記比較手段の入力値として切換える切換
手段とを設け、前記比較手段の入力値のそれぞれを任意
の値に切換えるようにしたものである。

【００１３】第８の発明に係るテスト装置では、テスト
対象の所定箇所をマスク状態として解析を行うようにし
たものである。

【００１４】第９の発明に係るテスト装置では、テスト
用レジスタと、前記テスト用レジスタの出力を比較手段
の入力値として切換える切換え手段とを設け、前記テス
ト用レジスタのマスク用出力を比較手段の入力値とする
ことにより、テスト対象の所定箇所をマスク状態とする
ものである。

【００１５】第１０の発明に係るテスト装置では、同一
の内部構造を持つ複数のブロックを同じ半導体集積回路
に設け、前記複数のブロックに同一の入力パターンを与
えた上で、前記複数のブロックのうち特定のブロックに
ついて、その出力それぞれを検証するとともに、他のブ
ロックの出力については、その出力を前記特定のブロッ
クの出力と比較する比較手段の出力のみを検証すること
でテストを行うものにおいて、前記比較手段の出力が不
一致を示す場合に、前記複数のブロックの特定ブロック
以外のブロックについて、その出力それぞれを検証でき
るようにしたものである。

【００１６】第１１の発明に係るテスト装置では、前記
複数のブロックの特定ブロック以外のブロックについ
て、その出力それぞれを検証できるように切換える切換
手段と、前記切換手段に出力を供給して切換手段を作動
させるテスト用レジスタを設けたものである。

【００１７】第１２の発明に係るテスト方法では、同一
の内部構造を持つ複数のブロックを同じ半導体集積回路
に設け、前記複数のブロックに同一の入力パターンを与
えた上で、前記複数のブロックのうち特定のブロックに
ついて、その出力それぞれを検証するとともに、他のブ
ロックの出力については、その出力を前記特定のブロッ
クの出力と比較する比較手段の出力のみを検証すること
でテストを行うにあたり、前記比較手段の入力値の少な
くとも一部を所定値として、前記比較手段のテストを行
うようにしたものである。

【００１８】第１３の発明に係るテスト方法では、前記
比較手段の入力値の少なくとも一部を固定値として、前
記比較手段のテストを行うようにしたものである。

【００１９】第１４の発明に係るテスト方法では、前記
比較手段の入力値の少なくとも一部を前記複数のブロッ
クからの出力値を反転した値として、前記比較手段のテ
ストを行うようにしたものである。

【００２０】第１５の発明に係るテスト方法では、同じ
半導体集積回路に設けられ、同一の内部構造を持つ複数
のブロックに、同一の入力パターンを与えた上で、前記
複数のブロックのうち特定のブロックについて、その出
力それぞれを検証するとともに、他のブロックの出力に
ついては、その出力を前記特定のブロックの出力と比較
する比較手段の出力のみを検証することでテストを行う
にあたり、前記比較手段の出力が不一致を示す場合に、
前記比較手段の入力値をそれぞれ任意の値に切換えるこ
とにより、前記複数のブロックについて解析を行うよう
にしたものである。

【００２１】第１６の発明に係るテスト方法では、テス
ト対象の所定箇所をマスク状態として解析を行うように
したものである。

【００２２】第１７の発明に係るテスト方法では、同じ
半導体集積回路に設けられ、同一の内部構造を持つ複数
のブロックに、同一の入力パターンを与えた上で、前記
複数のブロックのうち特定のブロックについて、その出
力それぞれを検証するとともに、他のブロックの出力に
ついては、その出力を前記特定のブロックの出力と比較
する比較手段の出力のみを検証することでテストを行う
ものにおいて、前記比較手段の出力が不一致を示す場合
に、前記複数のブロックの特定ブロック以外のブロック
について、その出力それぞれを検証できるようにしたも
のである。

【００２３】

【発明の実施の形態】実施の形態１．この発明による実
施の形態１を、図１について説明する。図１は、実施の
形態１における構成を示す接続図である。図において、
１は参照ブロックとしての第１ブロック、２は第１ブロ
ックと同じＬＳＩ内に設けられ、同一の内部構造を持つ
第２ブロック、３は比較器である。比較器３は、複数の
排他的論理和ゲートと、それらの出力を全て入力するＯ
Ｒゲートとからなる。Ｇ１〜Ｇ４はゲートを構成するセ
レクタ、Ｒ１〜Ｒ６はテスト用レジスタである。

【００２４】テスト用レジスタＲ１〜Ｒ６には、各ブロ
ック１，２の動作とは関係なく自由に値を設定できる。
この回路を以下の通り用いて、比較器３内部および各ブ
ロック１，２と比較器３を接続する信号線のテストを行
う。

【００２５】レジスタＲ１，Ｒ３，Ｒ５，Ｒ６の出力が
比較器３に入力するようにレジスタＲ２，Ｒ４を設定
し、レジスタＲ１，Ｒ３，Ｒ５，Ｒ６に様々な値を設定
して、比較器３の出力がそれらに応じた値になることを
確かめる。以上により、比較器３内部および比較器３に
おける全入出力信号線がテストできる。

【００２６】ブロック１の出力およびレジスタＲ３，Ｒ
６の出力が比較器３に入力するようにレジスタＲ２，Ｒ
４を設定し、レジスタＲ３，Ｒ６に「オール０」を設定
してブロック１を動作させ、ブロック１の出力がオール
０の時だけ比較器３の出力が「０（一致）」になること
を確かめる。次に、レジスタＲ３，Ｒ６に「オール１」
を設定してブロック１を動作させ、ブロック１の出力が
「オール１」のときだけ比較器３の出力が「０（一
致）」になることを確かめる。以上により、ブロック１
と比較器３を接続する信号線がテストできる。

【００２７】ブロック２の出力およびレジスタＲ１，Ｒ
５の出力が比較器３に入力するようにレジスタＲ２，Ｒ
４を設定し、レジスタＲ１，Ｒ５にオール０を設定して
ブロック２を動作させ、ブロック２の出力が「オール
０」のときだけ比較器３の出力が「０（一致）」になる
ことを確かめる。次に、レジスタＲ１，Ｒ５に「オール
１」を設定してブロック２を動作させ、ブロック２の出
力が「オール１」のときだけ比較器３の出力が「０（一
致）」になることを確かめる。以上により、ブロック２
と比較器３を接続する信号線がテストできる。

【００２８】この発明による実施の形態１によれば、同
一の内部構造を持つ複数のブロック１，２を同じ半導体
集積回路に設け、前記複数のブロック１，２に同一の入
力パターンを与えた上で、前記複数のブロック１，２の
うち参照ブロックとしての特定のブロック１について、
その出力それぞれを検証するとともに、他のブロック２
の出力については、その出力を前記特定のブロック１の
出力と比較する比較器３からなる比較手段の出力のみを
検証することでテストを行うものにおいて、固定値等の
所定値を出力し得るテスト用レジスタＲ１，Ｒ３，Ｒ
５，Ｒ６と、テスト用レジスタＲ１，Ｒ３，Ｒ５，Ｒ６
の出力を比較器３からなる比較手段の入力値として切換
えるセレクタＧ１〜Ｇ４からなる切換手段とを設け、比
較器３からなる比較手段の入力値の少なくとも一部を固
定値等の所定値に切換えるようにしたので、固定値等の
所定値を比較器３からなる比較手段に入力することによ
り、比較器３からなる比較手段のテストを適切に行いブ
ロック１，２からなるテスト対象における故障検出を的
確に行うことができるテスト装置が得られる効果があ
る。

【００２９】また、この発明による実施の形態１によれ
ば、同一の内部構造を持つ複数のブロック１，２を同じ
半導体集積回路に設け、前記複数のブロック１，２に同
一の入力パターンを与えた上で、前記複数のブロック
１，２のうち参照ブロックとしての特定のブロック１に
ついて、その出力それぞれを検証するとともに、他のブ
ロック２の出力については、その出力を前記特定のブロ
ック１の出力と比較する比較器３からなる比較手段の出
力のみを検証することでテストを行うにあたり、比較器
３からなる比較手段の入力値の少なくとも一部を固定値
等の所定値として、比較器３からなる比較手段のテスト
を行うようにしたので、固定値等の所定値を比較器３か
らなる比較手段に入力することにより、比較器３からな
る比較手段のテストを適切に行いブロック１，２からな
るテスト対象における故障検出を的確に行うことができ
るテスト方法が得られる効果がある。

【００３０】実施の形態２．この発明による実施の形態
２を、図２について説明する。図２は、実施の形態２に
おける構成を示す接続図である。図において、１は参照
ブロックとしての第１ブロック、２は第１ブロックと同
じＬＳＩ内に設けられ、同一の内部構造を持つ第２ブロ
ック、３は比較器である。比較器３は、複数の排他的論
理和ゲートと、それらの出力を全て入力するＯＲゲート
とからなる。Ｇ５〜Ｇ８は排他的論理和ゲートであり、
Ｒ７〜Ｒ１０はテスト用レジスタである。

【００３１】テスト用レジスタＲ７，Ｒ１０には、各ブ
ロックの動作とは関係なく自由に値を設定できる。この
回路を以下の通り用いて、比較器３内部および各ブロッ
ク１，２と比較器３を接続する信号線のテストを行う。

【００３２】レジスタＲ７に「１」を設定し、レジスタ
Ｒ８，Ｒ９，Ｒ１０に「０」を設定して、ブロック１を
動作させ、比較器３の出力が必ず１（不一致）になるこ
とを確かめる。次に、レジスタＲ８，Ｒ９，Ｒ１０につ
いて同様のことを行う。以上により、不一致の場合の、
比較器３内部および比較器３の全入出力信号線がテスト
できる。

【００３３】この発明による実施の形態２によれば、同
一の内部構造を持つ複数のブロック１，２を同じ半導体
集積回路に設け、前記複数のブロック１，２に同一の入
力パターンを与えた上で、前記複数のブロック１，２の
うち参照ブロックとしての特定のブロック１について、
その出力それぞれを検証するとともに、他のブロック２
の出力については、その出力を前記特定のブロック１の
出力と比較する比較器３からなる比較手段の出力のみを
検証することでテストを行うものにおいて、テスト用レ
ジスタＲ７〜１０と、テスト用レジスタＲ７〜１０の出
力に応じブロック１，２からの出力値を反転して比較器
３からなる比較手段の入力値とする排他的論理和ゲート
Ｇ５〜Ｇ８とを設け、比較器３からなる比較手段の入力
値の少なくとも一部をブロック１，２からの出力値を反
転した値に切換えるようにしたので、ブロック１，２か
らの出力反転値を比較器３からなる比較手段に入力する
ことにより、比較器３からなる比較手段のテストを適切
に行いブロック１，２からなるテスト対象における故障
検出を的確に行うことができるテスト装置が得られる効
果がある。

【００３４】また、この発明による実施の形態２によれ
ば、同一の内部構造を持つ複数のブロック１，２を同じ
半導体集積回路に設け、前記複数のブロック１，２に同
一の入力パターンを与えた上で、前記複数のブロック
１，２のうち参照ブロックとしての特定のブロック１に
ついて、その出力それぞれを検証するとともに、他のブ
ロック２の出力については、その出力を前記特定のブロ
ック１の出力と比較する比較器３からなる比較手段の出
力のみを検証することでテストを行うにあたり、比較器
３からなる比較手段の入力値の少なくとも一部をブロッ
ク１，２からの出力値を反転した値として、比較器３か
らなる比較手段のテストを行うようにしたので、ブロッ
ク１，２からの出力反転値を比較器３からなる比較手段
に入力することにより、比較器３からなる比較手段のテ
ストを適切に行いブロック１，２からなるテスト対象に
おける故障検出を的確に行うことができるテスト方法が
得られる効果がある。

【００３５】実施の形態３．この発明による実施の形態
３を、図３について説明する。図３は、実施の形態３に
おける構成を示す接続図である。図において、１は参照
ブロックとしての第１ブロック、２は第１ブロックと同
じＬＳＩ内に設けられ、同一の内部構造を持つ第２ブロ
ック、３は比較器である。比較器３は、複数の排他的論
理和ゲートと、それらの出力を全て入力するＯＲゲート
とからなる。Ｇ５〜Ｇ８はゲートを構成するセレクタ、
Ｒ１１〜Ｒ１８はテスト用レジスタである。

【００３６】テスト用レジスタＲ１１〜Ｒ１８には、各
ブロックの動作とは関係なく自由に値を設定できる。実
施の形態１において、各セレクタＧ５〜Ｇ８のセレクト
信号を１つ１つ別の値に設定できるようにしたものであ
る。この回路を以下の通り用いて、テスターで比較器３
の出力が不一致になった場合の解析を行う。

【００３７】ブロック１の出力Ｓ１とブロック２の出力
Ｓ３、およびレジスタＲ１５，Ｒ１７の出力が比較器３
に入力するようにレジスタＲ１２，Ｒ１４，Ｒ１６，Ｒ
１８を設定し、レジスタＲ１５，Ｒ１７に「０」を設定
してブロック１およびブロック２を動作させる。比較器
３の出力が不一致になった場合、ブロック１の出力Ｓ１
とブロック２の出力Ｓ３が異なるということなので、ど
ちらかに異常があることがわかる。

【００３８】上記で比較器３の出力が常に一致になった
場合、ブロック１の出力Ｓ２とブロック２の出力Ｓ４、
およびレジスタＲ１１，Ｒ１３の出力が比較器３に入力
するようにレジスタＲ１２，Ｒ１４，Ｒ１６，Ｒ１８を
設定し、レジスタＲ１１，Ｒ１３に「０」を設定してブ
ロック１およびブロック２を動作させる。比較器３の出
力が不一致になった場合、ブロック１の出力Ｓ２とブロ
ック２の出力Ｓ４が異なるということなので、どちらか
に異常があることがわかる。

【００３９】この発明による実施の形態３によれば、同
一の内部構造を持つ複数のブロック１，２を同じ半導体
集積回路に設け、前記複数のブロック１，２に同一の入
力パターンを与えた上で、前記複数のブロック１，２の
うち参照ブロックとしての特定のブロック１について、
その出力それぞれを検証するとともに、他のブロック２
の出力については、その出力を前記特定のブロック１の
出力と比較する比較器３からなる比較手段の出力のみを
検証することでテストを行うものにおいて、任意の値を
出力し得るテスト用レジスタＲ１１，Ｒ１３，Ｒ１５，
Ｒ１７と、テスト用レジスタＲ１１，Ｒ１３，Ｒ１５，
Ｒ１７の出力を比較器３からなる比較手段の入力値とし
て切換えるセレクタＧ５〜Ｇ８からなる切換手段とを設
け、比較器３からなる比較手段の出力が不一致を示す場
合に、比較器３からなる比較手段の入力値をそれぞれ任
意の値に切換えることにより、前記複数のブロック１，
２について解析を行うようにしたので、比較器３からな
る比較手段の入力値をそれぞれ任意の値に切換えること
によって比較器３からなる比較手段のテストを適切に行
いブロック１，２からなるテスト対象における故障検出
を的確に行うことができるテスト装置が得られる効果が
ある。

【００４０】また、この発明による実施の形態３によれ
ば、同じ半導体集積回路に設けられ、同一の内部構造を
持つ複数のブロック１，２に、同一の入力パターンを与
えた上で、前記複数のブロック１，２のうち参照ブロッ
クとしての特定のブロック１について、その出力それぞ
れを検証するとともに、他のブロック２の出力について
は、その出力を前記特定のブロック１の出力と比較する
比較器３からなる比較手段の出力のみを検証することで
テストを行うにあたり、比較器３からなる比較手段の出
力が不一致を示す場合に、比較器３からなる比較手段の
入力値をそれぞれ任意の値に切換えることにより、複数
のブロック１，２について解析を行うようにしたので、
比較器３からなる比較手段の入力値をそれぞれ任意の値
に切換えることによって比較器３からなる比較手段のテ
ストを適切に行いブロック１，２からなるテスト対象に
おける故障検出を的確に行うことができるテスト方法が
得られる効果がある。

【００４１】実施の形態４．この発明による実施の形態
４を、図３について説明する。図３は、前述した実施の
形態３における構成を示す接続図であり、この実施の形
態４では、この図３を流用して説明を行うものである。

【００４２】ブロック１とブロック２とで故障発生によ
り一部内部構成に違いが生じているために、テストパタ
ーン中のある箇所で出力値が異なる場合、実施の形態３
の回路を流用して、以下のようにする。

【００４３】図３において、例えばテストパターン中の
ある箇所でブロック１の出力Ｓ２とブロック２の出力Ｓ
４の値が異なる場合、そのときのみレジスタＲ１５，Ｒ
１７の出力が比較器３に入力するようにレジスタＲ１
６，Ｒ１８を設定し、レジスタＲ１５，Ｒ１７に「０」
を設定する。以上により、テストパターン中のＳ２とＳ
４の値が異なる箇所をマスク状態とすることができて、
他の出力（Ｓ１，Ｓ３）のテストが可能になる。

【００４４】この発明による実施の形態４によれば、同
一の内部構造を持つ複数のブロックを同じ半導体集積回
路に設け、前記複数のブロックに同一の入力パターンを
与えた上で、前記複数のブロックのうち特定のブロック
について、その出力それぞれを検証するとともに、他の
ブロックの出力については、その出力を前記特定のブロ
ックの出力と比較する比較手段の出力のみを検証するこ
とでテストを行うものにおいて、任意の値を出力し得る
テスト用レジスタと、前記テスト用レジスタの出力を前
記比較手段の入力値として切換える切換手段とを設け、
前記比較手段の出力が不一致を示す場合に、前記比較手
段の入力値をそれぞれ任意の値に切換えることにより、
前記複数のブロックについて解析を行うようにするとと
もに、テスト対象の所定箇所をマスク状態としたので、
テスト対象としてのブロック１，２の所定箇所をマスク
状態とすることにより、比較器３からなる比較手段のテ
ストを適切に行いブロック１，２からなるテスト対象に
おける故障検出を的確に行うことができるテスト装置が
得られる効果がある。

【００４５】また、この発明による実施の形態４によれ
ば、同じ半導体集積回路に設けられ、同一の内部構造を
持つ複数のブロック１，２に、同一の入力パターンを与
えた上で、前記複数のブロック１，２のうち参照ブロッ
クとしての特定のブロック１について、その出力それぞ
れを検証するとともに、他のブロック２の出力について
は、その出力を前記特定のブロック１の出力と比較する
比較器３からなる比較手段の出力のみを検証することで
テストを行うにあたり、比較器３からなる比較手段の出
力が不一致を示す場合に、比較器３からなる比較手段の
入力値をそれぞれ任意の値に切換えることにより、前記
複数のブロック１，２について解析を行うとともに、テ
スト対象の所定箇所をマスク状態として解析を行うよう
にしたので、テスト対象としてのブロック１，２の所定
箇所をマスク状態として解析を行うことにより、比較器
３からなる比較手段のテストを適切に行いブロック１，
２からなるテスト対象における故障検出を的確に行うこ
とができるテスト方法が得られる効果がある。

【００４６】実施の形態５．この発明による実施の形態
５を、図４について説明する。図４は、実施の形態３に
おける構成を示す接続図である。図において、１は参照
ブロックとしての第１ブロック、２は第１ブロックと同
じＬＳＩ内に設けられ、同一の内部構造を持つ第２ブロ
ック、３は比較器である。比較器３は、複数の排他的論
理和ゲートと、それらの出力を全て入力するＯＲゲート
とからなる。Ｇ９，Ｇ１０はゲートを構成するセレクタ
であり、Ｒ１９はテスト用レジスタである。

【００４７】テスト用レジスタＲ１９には、各ブロック
の動作とは関係なく自由に値を設定できる。通常はブロ
ック１の出力（Ｓ５，Ｓ６）が外部に出力するようレジ
スタＲ１９を設定し、ブロック２についてはブロック１
の出力と比較器３で比較することでテストする。テスタ
ーで比較器３の出力が不一致になった場合は、ブロック
２の出力（Ｓ７，Ｓ８）が外部に出力するようレジスタ
Ｒ１９を設定し、Ｓ７とＳ８のどちらかが異常な値にな
っているかを調べることで、解析を行う。

【００４８】なお、図４には示されていないが、この実
施の形態５では、前述の実施の形態１ないし実施の形態
４において詳述した比較器３のテストを行う構成を具備
し、実施の形態１ないし実施の形態４におけると同様の
テスト動作を行うことができるものである。

【００４９】この発明による実施の形態５によれば、同
一の内部構造を持つ複数のブロック１，２を同じ半導体
集積回路に設け、前記複数のブロック１，２に同一の入
力パターンを与えた上で、前記複数のブロック１，２の
うち参照ブロックとしての特定のブロック１について、
その出力それぞれを検証するとともに、他のブロック２
の出力については、その出力を前記特定のブロック１の
出力と比較する比較器３からなる比較手段の出力のみを
検証することでテストを行い、かつ、比較器３からなる
比較手段の入力値の少なくとも一部を固定値等の所定値
に切換えることにより、比較器３からなる比較手段のテ
ストを行うものにおいて、前記複数のブロック１，２の
特定ブロック１以外のブロック２について、その出力そ
れぞれを検証できるように切換えるセレクタＧ９，Ｇ１
０からなる切換手段と、セレクタＧ９，Ｇ１０からなる
切換手段に出力を供給してセレクタＧ９，Ｇ１０からな
る切換手段を作動させるテスト用レジスタＲ１９を設
け、比較器３からなる比較手段の出力が不一致を示す場
合に、前記複数のブロック１，２の特定ブロック１以外
のブロック２について、その出力それぞれを検証できる
ようにしたので、比較器３からなる比較手段の出力が不
一致を示す場合に、前記複数のブロック１，２の特定ブ
ロック１以外のブロック２について、その出力それぞれ
を検証することにより、比較器３からなる比較手段のテ
ストを適切に行いブロック１，２からなるテスト対象に
おける故障検出を的確に行うことができるテスト装置が
得られる効果がある。

【００５０】また、この発明による実施の形態５によれ
ば、同じ半導体集積回路に設けられ、同一の内部構造を
持つ複数のブロック１，２に、同一の入力パターンを与
えた上で、前記複数のブロック１，２のうち参照ブロッ
クとしての特定のブロック１について、その出力それぞ
れを検証するとともに、他のブロック２の出力について
は、その出力を前記特定のブロック１の出力と比較する
比較器３からなる比較手段の出力のみを検証することで
テストを行い、かつ、比較器３からなる比較手段の入力
値の少なくとも一部を固定値等の所定値に切換えること
により、比較器３からなる比較手段のテストを行うもの
において、比較器３からなる比較手段の出力が不一致を
示す場合に、前記複数のブロック１，２の特定ブロック
１以外のブロック２について、その出力それぞれを検証
できるようにしたので、比較器３からなる比較手段の出
力が不一致を示す場合に、前記複数のブロック１，２の
特定ブロック１以外のブロック２について、その出力そ
れぞれを検証することにより、比較器３からなる比較手
段のテストを適切に行いブロック１，２からなるテスト
対象における故障検出を的確に行うことができるテスト
方法が得られる効果がある。

【００５１】

【発明の効果】第１の発明によれば、同一の内部構造を
持つ複数のブロックを同じ半導体集積回路に設け、前記
複数のブロックに同一の入力パターンを与えた上で、前
記複数のブロックのうち特定のブロックについて、その
出力それぞれを検証するとともに、他のブロックの出力
については、その出力を前記特定のブロックの出力と比
較する比較手段の出力のみを検証することでテストを行
うものにおいて、前記比較手段の入力値の少なくとも一
部を所定値に切換えることにより、前記比較手段のテス
トを行うようにしたので、比較手段のテストを適切に行
いテスト対象における故障検出を的確に行うことができ
るテスト装置が得られる効果がある。

【００５２】第２の発明によれば、前記比較手段の入力
値の少なくとも一部を固定値に切換えることにより、前
記比較手段のテストを行うようにしたので、比較手段の
入力値の少なくとも一部を固定値とすることにより、比
較手段のテストを適切に行いテスト対象における故障検
出を的確に行うことができるテスト装置が得られる効果
がある。

【００５３】第３の発明によれば、固定値を出力し得る
テスト用レジスタと、前記テスト用レジスタの出力を前
記比較手段の入力値として切換える切換手段とを設け、
前記比較手段の入力値の少なくとも一部を固定値に切換
えるようにしたので、テスト用レジスタによって比較手
段の入力値の少なくとも一部を固定値とすることによ
り、比較手段のテストを適切に行いテスト対象における
故障検出を的確に行うことができるテスト装置が得られ
る効果がある。

【００５４】第４の発明によれば、前記比較手段の入力
値の少なくとも一部を前記複数のブロックからの出力値
を反転した値に切換えることにより、前記比較手段のテ
ストを行うようにしたので、比較手段の入力値の少なく
とも一部を複数のブロックからの出力値を反転した値と
することにより、比較手段のテストを適切に行いテスト
対象における故障検出を的確に行うことができるテスト
装置が得られる効果がある。

【００５５】第５の発明によれば、テスト用レジスタ
と、前記テスト用レジスタの出力に応じ前記複数のブロ
ックからの出力値を反転して前記比較手段の入力値とす
る排他的論理和ゲートとを設け、前記比較手段の入力値
の少なくとも一部を前記複数のブロックからの出力値を
反転した値に切換えるようにしたので、排他的論理和ゲ
ートによって比較手段の入力値の少なくとも一部を、前
記複数のブロックからの出力値を反転した値とすること
により、比較手段のテストを適切に行いテスト対象にお
ける故障検出を的確に行うことができるテスト装置が得
られる効果がある。

【００５６】第６の発明によれば、同一の内部構造を持
つ複数のブロックを同じ半導体集積回路に設け、前記複
数のブロックに同一の入力パターンを与えた上で、前記
複数のブロックのうち特定のブロックについて、その出
力それぞれを検証するとともに、他のブロックの出力に
ついては、その出力を前記特定のブロックの出力と比較
する比較手段の出力のみを検証することでテストを行う
ものにおいて、前記比較手段の出力が不一致を示す場合
に、前記比較手段の入力値をそれぞれ任意の値に切換え
ることにより、前記複数のブロックについて解析を行う
ようにしたので、比較手段の入力値をそれぞれ任意の値
に切換えることによって比較手段のテストを適切に行い
テスト対象における故障検出を的確に行うことができる
テスト装置が得られる効果がある。

【００５７】第７の発明によれば、任意の値を出力し得
るテスト用レジスタと、前記テスト用レジスタの出力を
前記比較手段の入力値として切換える切換手段とを設
け、前記比較手段の入力値のそれぞれを任意の値に切換
えるようにしたので、テスト用レジスタと切換手段によ
り比較手段の入力値をそれぞれ任意の値に切換えること
によって比較手段のテストを適切に行いテスト対象にお
ける故障検出を的確に行うことができるテスト装置が得
られる効果がある。

【００５８】第８の発明によれば、テスト対象の所定箇
所をマスク状態として解析を行うようにしたので、テス
ト対象の所定箇所をマスク状態とすることにより、比較
手段のテストを適切に行いテスト対象における故障検出
を的確に行うことができるテスト装置が得られる効果が
ある。

【００５９】第９の発明によれば、テスト用レジスタ
と、前記テスト用レジスタの出力を比較手段の入力値と
して切換える切換え手段とを設け、前記テスト用レジス
タのマスク用出力を比較手段の入力値とすることによ
り、テスト対象の所定箇所をマスク状態とするようにし
たので、テスト用レジスタのマスク用出力によってテス
ト対象の所定箇所をマスク状態とすることにより、比較
手段のテストを適切に行いテスト対象における故障検出
を的確に行うことができるテスト装置が得られる効果が
ある。

【００６０】第１０の発明によれば、同一の内部構造を
持つ複数のブロックを同じ半導体集積回路に設け、前記
複数のブロックに同一の入力パターンを与えた上で、前
記複数のブロックのうち特定のブロックについて、その
出力それぞれを検証するとともに、他のブロックの出力
については、その出力を前記特定のブロックの出力と比
較する比較手段の出力のみを検証することでテストを行
うものにおいて、前記比較手段の出力が不一致を示す場
合に、前記複数のブロックの特定ブロック以外のブロッ
クについて、その出力それぞれを検証できるようにした
ので、比較手段の出力が不一致を示す場合に、前記複数
のブロックの特定ブロック以外のブロックについて、そ
の出力それぞれを検証することにより、比較手段のテス
トを適切に行いテスト対象における故障検出を的確に行
うことができるテスト装置が得られる効果がある。

【００６１】第１１の発明によれば、前記複数のブロッ
クの特定ブロック以外のブロックについて、その出力そ
れぞれを検証できるように切換える切換手段と、前記切
換手段に出力を供給して切換手段を作動させるテスト用
レジスタを設けたので、比較手段の出力が不一致を示す
場合に、前記複数のブロックの特定ブロック以外のブロ
ックについて、その出力それぞれを検証できるようにテ
スト用レジスタによって作動される切換手段により切換
えて、その出力それぞれを検証することにより、比較手
段のテストを適切に行いテスト対象における故障検出を
的確に行うことができるテスト装置が得られる効果があ
る。

【００６２】第１２の発明によれば、同一の内部構造を
持つ複数のブロックを同じ半導体集積回路に設け、前記
複数のブロックに同一の入力パターンを与えた上で、前
記複数のブロックのうち特定のブロックについて、その
出力それぞれを検証するとともに、他のブロックの出力
については、その出力を前記特定のブロックの出力と比
較する比較手段の出力のみを検証することでテストを行
うにあたり、前記比較手段の入力値の少なくとも一部を
所定値として、前記比較手段のテストを行うようにした
ので、比較手段のテストを適切に行いテスト対象におけ
る故障検出を的確に行うことができるテスト方法が得ら
れる効果がある。

【００６３】第１３の発明によれば、前記比較手段の入
力値の少なくとも一部を固定値として、前記比較手段の
テストを行うようにしたので、比較手段のテストを適切
に行いテスト対象における故障検出を的確に行うことが
できるテスト方法が得られる効果がある。

【００６４】第１４の発明によれば、前記比較手段の入
力値の少なくとも一部を前記複数のブロックからの出力
値を反転した値として、前記比較手段のテストを行うよ
うにしたので、比較手段のテストを適切に行いテスト対
象における故障検出を的確に行うことができるテスト方
法が得られる効果がある。

【００６５】第１５の発明によれば、同じ半導体集積回
路に設けられ、同一の内部構造を持つ複数のブロック
に、同一の入力パターンを与えた上で、前記複数のブロ
ックのうち特定のブロックについて、その出力それぞれ
を検証するとともに、他のブロックの出力については、
その出力を前記特定のブロックの出力と比較する比較手
段の出力のみを検証することでテストを行うにあたり、
前記比較手段の出力が不一致を示す場合に、前記比較手
段の入力値をそれぞれ任意の値に切換えることにより、
前記複数のブロックについて解析を行うようにしたの
で、比較手段の入力値をそれぞれ任意の値に切換えるこ
とによって比較手段のテストを適切に行いテスト対象に
おける故障検出を的確に行うことができるテスト方法が
得られる効果がある。

【００６６】第１６の発明によれば、テスト対象の所定
箇所をマスク状態として解析を行うようにしたので、テ
スト対象の所定箇所をマスク状態とすることにより、比
較手段のテストを適切に行いテスト対象における故障検
出を的確に行うことができるテスト方法が得られる効果
がある。

【００６７】第１７の発明によれば、同じ半導体集積回
路に設けられ、同一の内部構造を持つ複数のブロック
に、同一の入力パターンを与えた上で、前記複数のブロ
ックのうち特定のブロックについて、その出力それぞれ
を検証するとともに、他のブロックの出力については、
その出力を前記特定のブロックの出力と比較する比較手
段の出力のみを検証することでテストを行うものにおい
て、前記比較手段の出力が不一致を示す場合に、前記複
数のブロックの特定ブロック以外のブロックについて、
その出力それぞれを検証できるようにしたので、比較手
段の出力が不一致を示す場合に、前記複数のブロックの
特定ブロック以外のブロックについて、その出力それぞ
れを検証することにより、比較手段のテストを適切に行
いテスト対象における故障検出を的確に行うことができ
るテスト方法が得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による実施の形態１における回路構
成を示す接続図である。

【図２】この発明による実施の形態２における回路構
成を示す接続図である。

【図３】この発明による実施の形態３および実施の形
態４における回路構成を示す接続図である。

【図４】この発明による実施の形態５における回路構
成を示す接続図である。

【図５】従来技術における回路構成を示す接続図であ
る。

【符号の説明】

１，２テスト対象としてのブロック、３比較器、Ｇ
１〜Ｇ１０ゲートとしてのセレクタまたは排他的論理
和（Ｅｘ−ＮＯＲ）回路、Ｒ１〜Ｒ１９テスト用レジ
スタ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】同一の内部構造を持つ複数のブロックを
同じ半導体集積回路に設け、前記複数のブロックに同一
の入力パターンを与えた上で、前記複数のブロックのう
ち特定のブロックについて、その出力それぞれを検証す
るとともに、他のブロックの出力については、その出力
を前記特定のブロックの出力と比較する比較手段の出力
のみを検証することでテストを行うものにおいて、前記
比較手段の入力値の少なくとも一部を所定値に切換える
ことにより、前記比較手段のテストを行うようにしたこ
とを特徴とするテスト装置。
【請求項２】前記比較手段の入力値の少なくとも一部
を固定値に切換えることにより、前記比較手段のテスト
を行うようにしたことを特徴とする請求項１に記載のテ
スト装置。
【請求項３】固定値を出力し得るテスト用レジスタ
と、前記テスト用レジスタの出力を前記比較手段の入力
値として切換える切換手段とを設け、前記比較手段の入
力値の少なくとも一部を固定値に切換えることを特徴と
する請求項２に記載のテスト装置。
【請求項４】前記比較手段の入力値の少なくとも一部
を前記複数のブロックからの出力値を反転した値に切換
えることにより、前記比較手段のテストを行うようにし
たことを特徴とする請求項１に記載のテスト装置。
【請求項５】テスト用レジスタと、前記テスト用レジ
スタの出力に応じ前記複数のブロックからの出力値を反
転して前記比較手段の入力値とする排他的論理和ゲート
とを設け、前記比較手段の入力値の少なくとも一部を前
記複数のブロックからの出力値を反転した値に切換える
ことを特徴とする請求項４に記載のテスト装置。
【請求項６】同一の内部構造を持つ複数のブロックを
同じ半導体集積回路に設け、前記複数のブロックに同一
の入力パターンを与えた上で、前記複数のブロックのう
ち特定のブロックについて、その出力それぞれを検証す
るとともに、他のブロックの出力については、その出力
を前記特定のブロックの出力と比較する比較手段の出力
のみを検証することでテストを行うものにおいて、前記
比較手段の出力が不一致を示す場合に、前記比較手段の
入力値をそれぞれ任意の値に切換えることにより、前記
複数のブロックについて解析を行うようにしたことを特
徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のテ
スト装置。
【請求項７】任意の値を出力し得るテスト用レジスタ
と、前記テスト用レジスタの出力を前記比較手段の入力
値として切換える切換手段とを設け、前記比較手段の入
力値のそれぞれを任意の値に切換えることを特徴とする
請求項６に記載のテスト装置。
【請求項８】テスト対象の所定箇所をマスク状態とし
て解析を行うことを特徴とする請求項６ないし請求項８
のいずれかに記載のテスト装置。
【請求項９】テスト用レジスタと、前記テスト用レジ
スタの出力を比較手段の入力値として切換える切換え手
段とを設け、前記テスト用レジスタのマスク用出力を比
較手段の入力値とすることにより、テスト対象の所定箇
所をマスク状態とすることを特徴とする請求項８に記載
のテスト装置。
【請求項１０】同一の内部構造を持つ複数のブロック
を同じ半導体集積回路に設け、前記複数のブロックに同
一の入力パターンを与えた上で、前記複数のブロックの
うち特定のブロックについて、その出力それぞれを検証
するとともに、他のブロックの出力については、その出
力を前記特定のブロックの出力と比較する比較手段の出
力のみを検証することでテストを行うものにおいて、前
記比較手段の出力が不一致を示す場合に、前記複数のブ
ロックの特定ブロック以外のブロックについて、その出
力それぞれを検証できるようにしたことを特徴とする請
求項１ないし請求項５のいずれかに記載のテスト装置。
【請求項１１】前記複数のブロックの特定ブロック以
外のブロックについて、その出力それぞれを検証できる
ように切換える切換手段と、前記切換手段に出力を供給
して切換手段を作動させるテスト用レジスタを設けたこ
とを特徴とする請求項１０に記載のテスト装置。
【請求項１２】同一の内部構造を持つ複数のブロック
を同じ半導体集積回路に設け、前記複数のブロックに同
一の入力パターンを与えた上で、前記複数のブロックの
うち特定のブロックについて、その出力それぞれを検証
するとともに、他のブロックの出力については、その出
力を前記特定のブロックの出力と比較する比較手段の出
力のみを検証することでテストを行うにあたり、前記比
較手段の入力値の少なくとも一部を所定値として、前記
比較手段のテストを行うようにしたことを特徴とするテ
スト方法。
【請求項１３】前記比較手段の入力値の少なくとも一
部を固定値として、前記比較手段のテストを行うように
したことを特徴とする請求項１２に記載のテスト方法。
【請求項１４】前記比較手段の入力値の少なくとも一
部を前記複数のブロックからの出力値を反転した値とし
て、前記比較手段のテストを行うようにしたことを特徴
とする請求項１２に記載のテスト方法。
【請求項１５】同じ半導体集積回路に設けられ、同一
の内部構造を持つ複数のブロックに、同一の入力パター
ンを与えた上で、前記複数のブロックのうち特定のブロ
ックについて、その出力それぞれを検証するとともに、
他のブロックの出力については、その出力を前記特定の
ブロックの出力と比較する比較手段の出力のみを検証す
ることでテストを行うにあたり、前記比較手段の出力が
不一致を示す場合に、前記比較手段の入力値をそれぞれ
任意の値に切換えることにより、前記複数のブロックに
ついて解析を行うようにしたことを特徴とする請求項１
２ないし請求項１４のいずれかに記載のテスト方法。
【請求項１６】テスト対象の所定箇所をマスク状態と
して解析を行うことを特徴とする請求項１５に記載のテ
スト方法。
【請求項１７】同じ半導体集積回路に設けられ、同一
の内部構造を持つ複数のブロックに、同一の入力パター
ンを与えた上で、前記複数のブロックのうち特定のブロ
ックについて、その出力それぞれを検証するとともに、
他のブロックの出力については、その出力を前記特定の
ブロックの出力と比較する比較手段の出力のみを検証す
ることでテストを行うものにおいて、前記比較手段の出
力が不一致を示す場合に、前記複数のブロックの特定ブ
ロック以外のブロックについて、その出力それぞれを検
証できるようにしたことを特徴とする請求項１２ないし
請求項１４のいずれかに記載のテスト方法。