JP2001339082A - 真空成膜装置 - Google Patents
真空成膜装置Info
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- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
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- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】成膜面への種々の影響を排除した上で、フィル
ムの張力を付与（制御）する機構を装置に備えることに
より、各薄膜の特性を安定して得られる巻き取り式フィ
ルム太陽電池成膜装置（に例示される真空成膜装置）を
提供する。 【解決手段】ロールツーロール方式（または、ステッピ
ングロール方式）の真空成膜装置において、搬送される
フィルムの幅方向に平行なローラ対によりフィルムを表
裏から挟んだ状態で、ローラ対の相対位置を維持しなが
ら、ローラ対の軸線に平行な任意の回転軸を中心にして
回転変位を与えることにより、フィルムの搬送経路を変
位させて、フィルムの張力を制御する機構を備わせる。
ムの張力を付与（制御）する機構を装置に備えることに
より、各薄膜の特性を安定して得られる巻き取り式フィ
ルム太陽電池成膜装置（に例示される真空成膜装置）を
提供する。 【解決手段】ロールツーロール方式（または、ステッピ
ングロール方式）の真空成膜装置において、搬送される
フィルムの幅方向に平行なローラ対によりフィルムを表
裏から挟んだ状態で、ローラ対の相対位置を維持しなが
ら、ローラ対の軸線に平行な任意の回転軸を中心にして
回転変位を与えることにより、フィルムの搬送経路を変
位させて、フィルムの張力を制御する機構を備わせる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ロールツーロール
方式でフィルム表面に薄膜を形成する構成の真空成膜装
置での、搬送されるフィルムの張力を制御する機構の改
良に関する。特に、ロールツーロール方式のうち、間欠
的にフィルムを搬送→停止・成膜が行なわれるステッピ
ングロール方式の真空成膜装置での上記改良に関する。
本発明の適用される分野としては、複数の電極層および
半導体層などを有する多層の薄膜半導体素子が代表的で
あり、太陽電池素子，透明電極，タッチパネルなどの製
造に好適である。
方式でフィルム表面に薄膜を形成する構成の真空成膜装
置での、搬送されるフィルムの張力を制御する機構の改
良に関する。特に、ロールツーロール方式のうち、間欠
的にフィルムを搬送→停止・成膜が行なわれるステッピ
ングロール方式の真空成膜装置での上記改良に関する。
本発明の適用される分野としては、複数の電極層および
半導体層などを有する多層の薄膜半導体素子が代表的で
あり、太陽電池素子，透明電極，タッチパネルなどの製
造に好適である。
【０００２】
【従来の技術】複数の電極層および半導体層などを有す
る薄膜半導体装置の代表例として、アモルファスシリコ
ン（以下ａ−Ｓｉと記す）を主原料とした半導体層を光
電変換層とし、電極層がこの層を挟む構造の薄膜太陽電
池が公知である。
る薄膜半導体装置の代表例として、アモルファスシリコ
ン（以下ａ−Ｓｉと記す）を主原料とした半導体層を光
電変換層とし、電極層がこの層を挟む構造の薄膜太陽電
池が公知である。
【０００３】発電量の点から太陽電池の大面積化に対す
る要求が強く、このような大面積の薄膜太陽電池の製造
方式としては、枚葉方式より生産性の優れているロール
ツーロール方式の連続巻き取り方式またはステッピング
ロール方式による製造の実現が要求されている。
る要求が強く、このような大面積の薄膜太陽電池の製造
方式としては、枚葉方式より生産性の優れているロール
ツーロール方式の連続巻き取り方式またはステッピング
ロール方式による製造の実現が要求されている。
【０００４】これらの方式は、ロールに巻かれた長尺の
高分子材料あるいはステンレス鋼などの金属材料からな
るフレキシブル（可撓性）の基板を、各成膜室に順次に
送りながら、基板上に光電変換層，電極層などの各層を
各成膜室毎に形成して、薄膜太陽電池を製造する方式で
ある。前者は、各成膜室内を連続的に移動する基板上に
成膜し、後者は各成膜室内で同時に停止させた基板上に
成膜し、成膜の終わった基板部分を次の成膜室へ送り出
している。ステッピングロール方式の成膜装置は、隣接
する成膜室間でのガスの相互拡散を防止できることか
ら、各薄膜の特性が安定して得られる点で優れている。
高分子材料あるいはステンレス鋼などの金属材料からな
るフレキシブル（可撓性）の基板を、各成膜室に順次に
送りながら、基板上に光電変換層，電極層などの各層を
各成膜室毎に形成して、薄膜太陽電池を製造する方式で
ある。前者は、各成膜室内を連続的に移動する基板上に
成膜し、後者は各成膜室内で同時に停止させた基板上に
成膜し、成膜の終わった基板部分を次の成膜室へ送り出
している。ステッピングロール方式の成膜装置は、隣接
する成膜室間でのガスの相互拡散を防止できることか
ら、各薄膜の特性が安定して得られる点で優れている。
【０００５】太陽電池を構成する光電変換素子の成膜に
おいては、光電変換層各層、例えばｐ−ｉ−ｎ構成の太
陽電池の場合、ｉ層に対してｐ層およびｎ層はｐｐｍオ
ーダーのジボラン，フォスフィンなどの微量元素の添加
（＝ドーパント）によって膜特性を規定しているため、
ステッピングロール方式において、フィルムを搬送する
際に成膜面にローラが接触してしまうと、ロール表面に
残留した微量元素の成膜面上への転移または機械的応力
によりデリケートな各層の界面に影響を与えてしまう。
おいては、光電変換層各層、例えばｐ−ｉ−ｎ構成の太
陽電池の場合、ｉ層に対してｐ層およびｎ層はｐｐｍオ
ーダーのジボラン，フォスフィンなどの微量元素の添加
（＝ドーパント）によって膜特性を規定しているため、
ステッピングロール方式において、フィルムを搬送する
際に成膜面にローラが接触してしまうと、ロール表面に
残留した微量元素の成膜面上への転移または機械的応力
によりデリケートな各層の界面に影響を与えてしまう。
【０００６】上記の事情から、成膜が施されることにな
るフィルム表面には、搬送ロールを接触させないように
する工夫が必要となる。また、成膜準備および成膜自体
において、約２００°前後の加熱処理が必要な場合もあ
り、高分子材料（樹脂）製のフィルムでは、温度上昇に
より伸び・たるみを生じてしまい、設計通りの成膜が行
なわれない。本発明は、ステンレス鋼などの金属材料よ
りも「温度上昇による伸び・たるみ」が問題となり、成
膜に十分な耐熱性および可撓性は備える材料からなるフ
レキシブル基板を用いる場合に、特に有効である。
るフィルム表面には、搬送ロールを接触させないように
する工夫が必要となる。また、成膜準備および成膜自体
において、約２００°前後の加熱処理が必要な場合もあ
り、高分子材料（樹脂）製のフィルムでは、温度上昇に
より伸び・たるみを生じてしまい、設計通りの成膜が行
なわれない。本発明は、ステンレス鋼などの金属材料よ
りも「温度上昇による伸び・たるみ」が問題となり、成
膜に十分な耐熱性および可撓性は備える材料からなるフ
レキシブル基板を用いる場合に、特に有効である。
【０００７】そのため、ステッピングロール方式では、
成膜中の温度上昇によるフィルムの伸びを吸収して、成
膜室内のフィルムに張力を付与する機構が必要となる。
従来のそれは、図１に示すダンサロールなどが使用され
ていた。同図に示すように、搬送されるフィルムに接す
るダンサロールが、同図上方に移動することにより、フ
ィルムの搬送路（パス）を長くして、その上流または下
流に位置する温度上昇で伸びたフィルムに張力を付与す
る機構である。しかしながら、ダンサロールの上下動
（ストローク）を大きくとらなければ、吸収できる伸び
の量が少ないこと、軸やロールが移動するためのスペー
スを確保しなければならないという問題があった。
成膜中の温度上昇によるフィルムの伸びを吸収して、成
膜室内のフィルムに張力を付与する機構が必要となる。
従来のそれは、図１に示すダンサロールなどが使用され
ていた。同図に示すように、搬送されるフィルムに接す
るダンサロールが、同図上方に移動することにより、フ
ィルムの搬送路（パス）を長くして、その上流または下
流に位置する温度上昇で伸びたフィルムに張力を付与す
る機構である。しかしながら、ダンサロールの上下動
（ストローク）を大きくとらなければ、吸収できる伸び
の量が少ないこと、軸やロールが移動するためのスペー
スを確保しなければならないという問題があった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】このように、生産性お
よび成膜室の相互拡散防止において優れるステッピング
ロール方式の成膜装置においても、成膜面の汚染防止・
フィルム搬送の観点からは、未解決の問題点を有してい
る。本発明は、前記問題点を鑑みなされたものであり、
その目的とするところは、成膜面への種々の影響を排除
した上で、フィルムの張力を付与（制御）する機構を装
置に備えることにより、各薄膜の特性を安定して得られ
る巻き取り式フィルム太陽電池成膜装置（に例示される
真空成膜装置）を提供することにある。
よび成膜室の相互拡散防止において優れるステッピング
ロール方式の成膜装置においても、成膜面の汚染防止・
フィルム搬送の観点からは、未解決の問題点を有してい
る。本発明は、前記問題点を鑑みなされたものであり、
その目的とするところは、成膜面への種々の影響を排除
した上で、フィルムの張力を付与（制御）する機構を装
置に備えることにより、各薄膜の特性を安定して得られ
る巻き取り式フィルム太陽電池成膜装置（に例示される
真空成膜装置）を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、ロールツーロ
ール方式（または、ステッピングロール方式）でフィル
ム表面に薄膜を形成する真空成膜装置において、搬送さ
れるフィルムの幅方向に平行なローラ対によりフィルム
を表裏から挟んだ状態で、ローラ対の相対位置を維持し
ながら、ローラ対の軸線に平行な任意の回転軸を中心に
して回転変位を与えることにより、フィルムの搬送経路
を変位させて、フィルム張力を制御する機構を有するこ
とを特徴とする真空成膜装置である。
ール方式（または、ステッピングロール方式）でフィル
ム表面に薄膜を形成する真空成膜装置において、搬送さ
れるフィルムの幅方向に平行なローラ対によりフィルム
を表裏から挟んだ状態で、ローラ対の相対位置を維持し
ながら、ローラ対の軸線に平行な任意の回転軸を中心に
して回転変位を与えることにより、フィルムの搬送経路
を変位させて、フィルム張力を制御する機構を有するこ
とを特徴とする真空成膜装置である。
【００１０】＜作用＞本発明の構造の「フィルム張力の
制御機構」によると、フィルムの伸びを、一対のローラ
の回転によって巻き込んで吸収し張力を付与することが
でき、前述のダンサロールのように、軸やロールが大き
く上下動する動作が無く、装置の省スペース化の上で有
効である。
制御機構」によると、フィルムの伸びを、一対のローラ
の回転によって巻き込んで吸収し張力を付与することが
でき、前述のダンサロールのように、軸やロールが大き
く上下動する動作が無く、装置の省スペース化の上で有
効である。
【００１１】好ましくは、一対のローラーが、適度な間
隔を空けて離間できる構成とすることにより、成膜の行
なわれるフィルム表面が搬送されて、ローラー間を通過
する際に、前記フィルム表面はローラ表面に接触するこ
とがないので、成膜面を清浄に保つことができる。
隔を空けて離間できる構成とすることにより、成膜の行
なわれるフィルム表面が搬送されて、ローラー間を通過
する際に、前記フィルム表面はローラ表面に接触するこ
とがないので、成膜面を清浄に保つことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を、フレ
キシブル（可撓性）基材に対して光電変換層を形成する
太陽電池用の真空成膜装置について説明する。図２は、
太陽電池成膜装置の全体構成を示す説明図である。上記
装置は、真空成膜法によりフィルム上に薄膜太陽電池の
光電変換部を形成する成膜室を有するステッピングロー
ル方式の成膜装置であって、フィルムが、巻き出しロー
ル２から巻き取りロール８に搬送される間、成膜に必要
なガス雰囲気以外の気体に曝されることなく、また、搬
送に必要な張力以外の機械的外力に曝されること無く成
膜を施すことができる構成である。
キシブル（可撓性）基材に対して光電変換層を形成する
太陽電池用の真空成膜装置について説明する。図２は、
太陽電池成膜装置の全体構成を示す説明図である。上記
装置は、真空成膜法によりフィルム上に薄膜太陽電池の
光電変換部を形成する成膜室を有するステッピングロー
ル方式の成膜装置であって、フィルムが、巻き出しロー
ル２から巻き取りロール８に搬送される間、成膜に必要
なガス雰囲気以外の気体に曝されることなく、また、搬
送に必要な張力以外の機械的外力に曝されること無く成
膜を施すことができる構成である。
【００１３】フィルムは、ｎ層成膜室１８→ｉ層成膜室
１７→ｐ層成膜室１９を順に経由して、光電変換部が形
成される。各成膜室の前後には、成膜が行なわれるフィ
ルム表面の清浄や温度調整などの成膜準備と共に、成膜
室内の雰囲気と成膜前後のフィルムを隔離するための中
間室が備えられている。隔離は、ゲートバルブ１０〜１
５によって確実にされる。
１７→ｐ層成膜室１９を順に経由して、光電変換部が形
成される。各成膜室の前後には、成膜が行なわれるフィ
ルム表面の清浄や温度調整などの成膜準備と共に、成膜
室内の雰囲気と成膜前後のフィルムを隔離するための中
間室が備えられている。隔離は、ゲートバルブ１０〜１
５によって確実にされる。
【００１４】本発明の主要部である「フィルム張力の制
御機構」は、各中間室内に備えられている。前記機構
は、前述の通り、フィルムの幅方向に平行な一対のロー
ラーが、フィルムを挟んで対抗する位置に配置され、こ
の一対のローラの軸線に平行した軸を中心に回転変位を
与えることにより、フィルムの搬送路（パス）を変位さ
せて、ローラで巻き取り、フィルム張力が制御され、一
般には、熱に起因するフィルムの伸びを吸収し、適正な
張力を付与することができる。成膜室と中間室、および
ゲートバルブの構造を、図３に拡大して示す。また、
「フィルム張力の制御機構」の駆動の一例を、図４に示
す。
御機構」は、各中間室内に備えられている。前記機構
は、前述の通り、フィルムの幅方向に平行な一対のロー
ラーが、フィルムを挟んで対抗する位置に配置され、こ
の一対のローラの軸線に平行した軸を中心に回転変位を
与えることにより、フィルムの搬送路（パス）を変位さ
せて、ローラで巻き取り、フィルム張力が制御され、一
般には、熱に起因するフィルムの伸びを吸収し、適正な
張力を付与することができる。成膜室と中間室、および
ゲートバルブの構造を、図３に拡大して示す。また、
「フィルム張力の制御機構」の駆動の一例を、図４に示
す。
【００１５】以下、装置および機構の動作を詳細に説明
する。まず、図２および図３に従って、ステッピングロ
ール方式による本発明に係る太陽電池成膜装置の説明を
する。
する。まず、図２および図３に従って、ステッピングロ
ール方式による本発明に係る太陽電池成膜装置の説明を
する。
【００１６】巻き出し室１に配置された成膜前のロール
フィルム２は、アイドルロール３からテンションロール
４を経て第一の中間室５に入る。この間、フィルム６
は、テンションロール４に設置された（図示しない）張
力検出器により検出された張力値が電気信号に変換さ
れ、（図示しない）巻き出し軸に連結されたモータの制
御ループにフィードバックされることにより、所定の張
力に制御されることになる。
フィルム２は、アイドルロール３からテンションロール
４を経て第一の中間室５に入る。この間、フィルム６
は、テンションロール４に設置された（図示しない）張
力検出器により検出された張力値が電気信号に変換さ
れ、（図示しない）巻き出し軸に連結されたモータの制
御ループにフィードバックされることにより、所定の張
力に制御されることになる。
【００１７】巻き取り室７においても、同様に巻き取り
張力の制御が行われ、成膜後のロールフィルム８として
巻き取られる。所定の長さ、即ち成膜室−中間室の間隔
相当分の長さが繰り出されて搬送された後、フィルムは
停止する。停止後、中間室では、図３に示すように、駆
動ロールが隣接した成膜室内のフィルムに適正な張力を
与え、電極に対するフィルムの距離を一定に保たれる。
この際の張力は、駆動ロールの回転角により定義され制
御される。
張力の制御が行われ、成膜後のロールフィルム８として
巻き取られる。所定の長さ、即ち成膜室−中間室の間隔
相当分の長さが繰り出されて搬送された後、フィルムは
停止する。停止後、中間室では、図３に示すように、駆
動ロールが隣接した成膜室内のフィルムに適正な張力を
与え、電極に対するフィルムの距離を一定に保たれる。
この際の張力は、駆動ロールの回転角により定義され制
御される。
【００１８】以上は、ステッピングロール方式の成膜装
置に係る説明であるが、ロールツーロール方式の成膜装
置についても、フィルムの搬送は一対のローラの間で行
われるので、例えば、単層のみの成膜が行なわれるよう
な装置では、成膜されるフィルム表面には非接触な構成
をとるならば、本発明が適用される。
置に係る説明であるが、ロールツーロール方式の成膜装
置についても、フィルムの搬送は一対のローラの間で行
われるので、例えば、単層のみの成膜が行なわれるよう
な装置では、成膜されるフィルム表面には非接触な構成
をとるならば、本発明が適用される。
【００１９】次に、図４および図５に従って、本発明の
主要部である「フィルムの張力制御機構」の駆動の一例
について説明する。図４は、一対の巻き込みローラ２２
の軸線に平行な軸を、巻き込みローラ２２同士の中心を
結んだ中点に置き、回転変位を与えることによってフィ
ルムに張力を付与する例に係る説明図である。
主要部である「フィルムの張力制御機構」の駆動の一例
について説明する。図４は、一対の巻き込みローラ２２
の軸線に平行な軸を、巻き込みローラ２２同士の中心を
結んだ中点に置き、回転変位を与えることによってフィ
ルムに張力を付与する例に係る説明図である。
【００２０】一対の巻き込みローラの中心間距離を３０
ｍｍ、巻き込みローラ，フリーロールの径をφ５０ｍｍ
とした場合の、駆動ロールの回転変位（ｄｅｇ）とフィ
ルム行程距離の増分（ｍｍ）との関係を図５に示す。こ
れにより、一対の巻き込みローラ２２の回転変位量に応
じてフィルムの行程距離が変化し、任意の張力を付与す
ることができ、本発明の目的が果たされる。
ｍｍ、巻き込みローラ，フリーロールの径をφ５０ｍｍ
とした場合の、駆動ロールの回転変位（ｄｅｇ）とフィ
ルム行程距離の増分（ｍｍ）との関係を図５に示す。こ
れにより、一対の巻き込みローラ２２の回転変位量に応
じてフィルムの行程距離が変化し、任意の張力を付与す
ることができ、本発明の目的が果たされる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によって、
ステッピングロール方式で成膜が行われる場合は、成膜
室内のフィルムに適正な張力が与えられると共に、成膜
面への種々の悪影響が排除され、各薄膜の特性を安定し
て得られるような、生産性の高い巻き取り式フィルム太
陽電池の生産が可能となる。
ステッピングロール方式で成膜が行われる場合は、成膜
室内のフィルムに適正な張力が与えられると共に、成膜
面への種々の悪影響が排除され、各薄膜の特性を安定し
て得られるような、生産性の高い巻き取り式フィルム太
陽電池の生産が可能となる。
【００２２】本発明の「フィルムの張力制御機構」で
は、前記機構を配置する間隔や数量を調整することによ
り、上流〜下流の複数の成膜箇所のそれぞれで、任意の
張力をフィルムに付与することができる。
は、前記機構を配置する間隔や数量を調整することによ
り、上流〜下流の複数の成膜箇所のそれぞれで、任意の
張力をフィルムに付与することができる。
【００２３】さらに、前記機構は、駆動ローラの回転に
よってフィルムを巻き込んで張力を付与する性質を有し
ており、装置前後のフィルムの行程（パス）に大幅な変
化が生じないことから、従来のダンサロールと比べて、
設置スペース上の制約は受けない構成である。
よってフィルムを巻き込んで張力を付与する性質を有し
ており、装置前後のフィルムの行程（パス）に大幅な変
化が生じないことから、従来のダンサロールと比べて、
設置スペース上の制約は受けない構成である。
【００２４】
【図１】フィルムに張力を付与する手段として用いられ
ている従来技術の１つであるダンサロールの説明図。
ている従来技術の１つであるダンサロールの説明図。
【図２】本発明に係るフィルム張力制御機構を内蔵した
太陽電池成膜装置の全体を示す説明図（側面図）。
太陽電池成膜装置の全体を示す説明図（側面図）。
【図３】本発明に係るフィルム張力制御機構の説明図。
【図４】本発明に係るフィルム張力制御機構の駆動例を
示す説明図。
示す説明図。
【図５】本発明に係るフィルム張力制御機構の駆動例に
おける駆動ロールの回転変位（ｄｅｇ）とフィルム行程
距離の増分（ｍｍ）との関係を示すグラフ。
おける駆動ロールの回転変位（ｄｅｇ）とフィルム行程
距離の増分（ｍｍ）との関係を示すグラフ。
１…巻き出し室 ２…成膜前のロールフィルム ３…アイドルロール ４…テンションロール ５…中間室 ６…フィルム ７…巻き取り室 ８…成膜後のロールフィルム ９…巻き出し室ゲートバルブ １０…ゲートバルブ １１…ゲートバルブ １２…ゲートバルブ １３…ゲートバルブ １４…ゲートバルブ １５…ゲートバルブ １６…巻き取り室ゲートバルブ １７…ｉ層成膜室 １８…ｎ層成膜室 １９…ｐ層成膜室 ２０…駆動ロール ２１…フリーロール ２２…巻き込みロール ２３…フィルム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 恭市 東京都台東区台東１丁目５番１号 凸版印 刷株式会社内 Ｆターム(参考） 5F045 AB04 CA13 DP22 DQ15 EB02 EB08 HA24 5F051 BA14 CA22
Claims (5)
- 【請求項１】ロールツーロール方式でフィルム表面に薄
膜を形成する真空成膜装置において、搬送されるフィル
ムの幅方向に平行なローラ対によりフィルムを表裏から
挟んだ状態で、ローラ対の相対位置を維持しながら、ロ
ーラ対の軸線に平行な任意の回転軸を中心にして回転変
位を与えることにより、フィルムの搬送経路を変位させ
て、フィルムの張力を制御する機構を有することを特徴
とする真空成膜装置。 - 【請求項２】ステッピングロール方式の真空成膜装置で
あり、 複数の成膜室と、 各成膜室の前後には、成膜が行なわれるフィルム表面の
清浄や温度調整などの成膜準備と共に、成膜室内の雰囲
気と成膜前後のフィルムを隔離するための中間室を備
え、 中間室内に、フィルムの張力を制御する機構を備えるこ
とを特徴とする請求項１記載の真空成膜装置。 - 【請求項３】フィルムの張力を制御する機構が、成膜の
準備処理が行われる箇所の上流にも備えられ、各成膜室
の直前の複数箇所に備わることを特徴とする請求項２記
載の真空成膜装置。 - 【請求項４】張力の制御は、成膜が行われない領域にあ
たるフィルム表面が、中間室に存在する際に行なわれ、 前記ローラ対の間を、成膜が行われる領域のフィルム表
面が通過する際には、少なくとも成膜面側に接するロー
ラの接触が解除される構成であることを特徴とする請求
項２または３に記載の真空成膜装置。 - 【請求項５】複数の成膜室では、太陽電池を構成する光
電変換層や電極層などが形成されることを特徴とする請
求項２〜４の何れかに記載の真空成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000158647A JP4857456B2 (ja) | 2000-05-29 | 2000-05-29 | 真空成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000158647A JP4857456B2 (ja) | 2000-05-29 | 2000-05-29 | 真空成膜装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001339082A true JP2001339082A (ja) | 2001-12-07 |
| JP4857456B2 JP4857456B2 (ja) | 2012-01-18 |
Family
ID=18663084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000158647A Expired - Fee Related JP4857456B2 (ja) | 2000-05-29 | 2000-05-29 | 真空成膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4857456B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101002188B1 (ko) | 2008-12-22 | 2010-12-20 | 주식회사 야스 | 박막형 반도체 소자를 유연한 기판에 제작하는 롤투롤 장치 |
| KR101024017B1 (ko) | 2008-06-30 | 2011-03-29 | 세종대학교산학협력단 | 롤투롤 공정에서 분산 처리 장력 관측 방법 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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- 2000-05-29 JP JP2000158647A patent/JP4857456B2/ja not_active Expired - Fee Related
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