JP2001332086A - 同期信号発生回路 - Google Patents

同期信号発生回路

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JP2001332086A
JP2001332086A JP2000150254A JP2000150254A JP2001332086A JP 2001332086 A JP2001332086 A JP 2001332086A JP 2000150254 A JP2000150254 A JP 2000150254A JP 2000150254 A JP2000150254 A JP 2000150254A JP 2001332086 A JP2001332086 A JP 2001332086A
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    • H03L7/06Automatic control of frequency or phase; Synchronisation using a reference signal applied to a frequency- or phase-locked loop
    • H03L7/08Details of the phase-locked loop
    • H03L7/081Details of the phase-locked loop provided with an additional controlled phase shifter
    • H03L7/0812Details of the phase-locked loop provided with an additional controlled phase shifter and where no voltage or current controlled oscillator is used
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    • G11C2207/00Indexing scheme relating to arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C2207/22Control and timing of internal memory operations
    • G11C2207/2254Calibration

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  • Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)
  • Pulse Circuits (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Information Transfer Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】アナログDLLのコンパレータにおける製造プ
ロセス、電源電圧、温度バラツキによる遅延時間の変動
による影響を抑制する。 【解決手段】外部クロックを遅延するI/Oレプリカ1
2、その出力を遅延する遅延時間が可変のコンパレータ
レプリカ13、レプリカ13の出力レベルの遷移時に電
位レベルが上昇し、あるタイミングで上昇が停止するよ
うな電圧Vmeansを出力するランプ電圧発生回路14、
電圧Vmeansの上昇停止後に電位レベルが上昇する電圧
Vdly を出力するランプ電圧発生回路15、電圧Vmean
s、Vdlyを比較して内部クロックを発生するコンパレー
タ16、レプリカ12と実質的に等しい遅延時間を持ち
内部クロックを遅延するI/Oレプリカ19、レプリカ
19の出力及びレプリカ12への入力の位相を比較する
位相比較器20を有し、コンパレータレプリカ13の遅
延時間が位相比較器20の出力に応じて調整される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えばシンクロ
ナスDRAM等の半導体集積回路内に設けられ、外部ク
ロックから、この外部クロックに同期した内部クロック
を発生する同期信号発生回路に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体集積回路ではI/O(デー
タ入出力部)におけるデータの入出力動作速度の向上が
望まれており、データとシステムクロックの位相を合わ
せるために、PLL(Phase Locked Loop)やDLL(D
elay Locked Loop)が用いられている。DLLの内でも
ミラータイプDLLはフィードバックタイプDLLより
も同期速度が速いという利点を有する。
【0003】特に、Journal of Solid-State Circuit V
ol.34, No.4, April, 1999 “An Analog Synchronous M
irror Delay for High-Speed DRAM Application”に開
示されているASMD(Analog Synchronous Mirror De
lay)や、特願平11-228710号の出願の明細書及び図面に
記載されているアナログ動作のミラータイプDLLは、
デジタル動作するデジタルミラータイプDLLにおける
ような量子化誤差が発生せず、高い精度が期待できると
いう優れた特性を有する。
【0004】図16は、アナログ動作する従来のミラー
タイプDLLの一構成例を示している。このミラータイ
プDLLは、入力バッファ(Input buffer)51、I/
Oレプリカ(I/O replica)52、コンパレータレプリ
カ(Comparator replica)53、2個のランプ電圧発生
回路(RVG1,RVG2)54、55、コンパレータ
(Comparator)56、及びDQバッファ(DQ buffer)
57によって構成されている。
【0005】入力バッファ51は、外部クロック(exte
rnal clock)を受け、外部クロックに対して遅延された
クロックCLK1を出力する。I/Oレプリカ52は、
クロックCLK1を受け、このクロックCLK1に対
し、入力バッファ51における遅延時間と、DQバッフ
ァ57における遅延時間との和の時間に実質的に等しい
遅延時間だけ遅延されたクロックCLK2を出力する。
コンパレータレプリカ53は、クロックCLK2を受
け、このクロックCLK2に対し、コンパレータ56に
おける遅延時間に実質的に等しい遅延時間だけ遅延され
たクロックを出力する。
【0006】一方のランプ電圧発生回路(RVG1)5
4は、コンパレータレプリカ53から出力されるクロッ
ク及びクロックCLK1を受け、コンパレータレプリカ
53から出力されるクロックの立ち上がりに同期して電
位レベルが一定の勾配で上昇し、クロックCLK1の立
ち上がりに同期して電位レベルの上昇が停止するような
ランプ電圧(アナログ電圧)Vmeansを発生する。
【0007】他方のランプ電圧発生回路(RVG2)5
5は、少なくともクロックCLK1を受け、このクロッ
クCLK1の立ち上がりに同期して電位レベルが一定の
勾配で上昇するようなランプ電圧(アナログ電圧)Vdl
yを発生する。なお、上記両ランプ電圧発生回路54、
55における出力電圧Vmeans、Vdlyの上昇時における
勾配は互いに等しくされている。
【0008】コンパレータ56は、上記両電圧Vmean
s、Vdlyを受け、両電圧を比較することによって内部ク
ロック(internal clock)を発生する。DQバッファ5
7は内部データ及び上記内部クロックを受け、内部クロ
ックに同期して内部データを取り込み、外部にデータD
Qとして出力する。
【0009】図17は、上記ランプ電圧発生回路54、
55の原理を説明するための回路図である。電源ノード
には、定電流源(constant current source)として働
くPMOSFET QPの一端が接続されている。この
PMOSFET QPの他端は、スイッチSWを介して
キャパシタCに接続されている。
【0010】一方のランプ電圧発生回路54では、コン
パレータレプリカ53の出力クロックによってスイッチ
SWがオン状態にされると、キャパシタCがPMOSF
ETQPを流れる一定電流によって充電され、出力電圧
(output voltage)Vmeansは一定の電位勾配で上昇す
る。また、入力バッファ51から出力されるクロックC
LK1によってスイッチSWがオフ状態にされると、キ
ャパシタCの充電が停止し、出力電圧Vmeansの電位上
昇も停止する。
【0011】なお、コンパレータ56における電圧比較
後は、両ランプ電圧発生回路54、55における出力電
圧Vmeans、Vdlyが図示しない手段によりリセットされ
る。
【0012】図18は、図16に示したミラータイプD
LLの動作の一例を示す波形図である。
【0013】外部クロック(external clock)が供給さ
れると、この外部クロックの立ち上がりに対し、tIB
(input buffer delay:入力バッファ51における遅延
時間)だけ遅れてクロックCLK1が立ち上がる。さら
に、クロックCLK1の立ち上がりに対し、tREP (=
tIB+tOB:tOBはDQバッファ57における遅延時
間)だけ遅れてクロックCLK2が立ち上がる。そし
て、クロックCLK2の立ち上がりから、コンパレータ
レプリカ53における遅延時間の後、コンパレータレプ
リカ53の出力クロックが立ち上がると、一方のランプ
電圧発生回路54における出力電圧Vmeansが上昇を開
始する。
【0014】外部クロックの1つ目のサイクルタイム
(cycle time)tCLK の期間が経過し、2サイクル目の
外部クロックが立ち上がり、さらに2サイクル目のクロ
ックCLK1が立ち上がると、一方のランプ電圧発生回
路54における出力電圧Vmeansの上昇が停止し、他方
のランプ電圧発生回路55における出力電圧Vdlyが上
昇を開始する。そして、VdlyがVmeansとが比較され
(compare)、両電圧が一致した後に内部クロックが立
ち上がる。この内部クロックの立ち上がりに対し、tOB
(DQ buffer delay)だけ遅れてデータDQがDQバッ
ファ57から出力される。
【0015】ここで、2個のランプ電圧発生回路54、
55内の出力電圧Vmeans、Vdlyは同じ勾配で上昇する
ので、一方のランプ電圧発生回路54の出力電圧Vmean
sが上昇を開始してからクロックCLK1に同期して上
昇を停止するまでの間の時間tRAMPと、他方のランプ電
圧発生回路55の出力電圧Vdlyが上昇を開始してから
Vmeansと一致するまでの間の時間tRAMPとは互いに等
しい。また、コンパレータレプリカ53及びコンパレー
タ56における遅延時間は実質的に等しく、この時間を
それぞれtCMP とすると、外部クロックに対するデータ
DQの遅延時間ΔTOTAL は以下のように与えられる。
【0016】 ΔTOTAL =tIB+tREP +tCMP +tRAMP+tRAMP+tCMP +tOB … (1) ここで、tIB+tOB=tREP なので、これを上記(1)
式に代入してまとめると次の(2)式が得られる。
【0017】 ΔTOTAL =2(tREP +tCMP +tRAMP) … (2) また、tRAMPは、1サイクル目の外部クロックが立ち上
がるタイミングから、2サイクル目のクロックCKL1
が立ち上がるタイミングまでの期間(tIB+tCLK )か
ら、tIB、tREP 及びtCMP の総和の時間を差し引いた
下記の(3)式に示すような時間となる。
【0018】 tRAMP=(tIB +tCLK )−(tIB+tREP +tCMP ) =tCLK −(tREP +tCMP ) … (3) そして、(3)式を(2)式に代入してまとめると次の
(4)式が得られる。
【0019】 ΔTOTAL =2{tREP +tCMP +tCLK −(tREP +tCMP )} =2tCLK … (4) すなわち、データDQは外部クロックの3サイクル目か
ら、外部クロックに同期して出力されることになる(Sy
nchronized with external clock)。
【0020】ところで、図16中のコンパレータ56と
して、図19に示すようにそれぞれ2個のPMOSFE
T QP11,QP12、NMOSFET QN11,
QN12及び電流源Iとからなる差動増幅器や、図20
に示すようにスイッチSW1〜SW3、比較用のキャパ
シタCCMP 及びインバータINV1,INV2を用いた
ダイナミック型コンパレータなどが使用される。
【0021】図21は、図20のダイナミック型コンパ
レータの動作例を示す波形図である。ダイナミック型コ
ンパレータにはサンプリングモード期間(sampling mod
e)と比較モード期間(comparison mode)とがあり、サ
ンプリングモード期間ではスイッチSW1とSW3がオ
ン状態、スイッチSW2がオフ状態に、比較モード期間
ではスイッチSW1とSW3がオフ状態、スイッチSW
2がオン状態にされる。
【0022】サンプリングモード期間にスイッチSW1
がオン状態になると、スイッチSW1を介して一方のラ
ンプ電圧発生回路54の出力電圧Vmeansがキャパシタ
CCMPの一端のノードXに供給される。このノードXの
電位は電圧Vmeansの上昇に伴って上昇する。
【0023】また、この期間ではスイッチSW3がオン
状態になり、インバータINV1の入出力ノート間が短
絡される。これにより、インバータINV1の入力ノー
ド側の電位がインバータINV1の論理閾値電圧(logi
cal threshold voltage)に設定される。
【0024】次に、比較モード期間になり、スイッチS
W1がオフ状態になり、スイッチSW2がオン状態にな
ると、スイッチSW2を介して今度は他方のランプ電圧
発生回路55の出力電圧VdlyがキャパシタCCOMPの一
端のノードXに供給される。両スイッチSW1、SW2
が切り替わった直後は、ノードXの電位は電圧Vdlyが
低いので、インバータINV1の出力ノード(output n
ode)の信号はHレベルに立ち上がる。その後、電圧Vd
lyの上昇に伴ってノードXの電位が上昇し、電圧Vdly
が電圧Vmeansと一致した後は、インバータINV1の
入力ノード(input node)の電位が論理閾値電圧を超
え、インバータINV1の出力ノードの信号はLレベル
に反転する。インバータINV1の出力はインバータI
NV2によって波形整形され、内部クロックとして出力
される。
【0025】ところで、図19及び図20に示すコンパ
レータはアナログ回路である。一般にアナログ回路は、
製造プロセス、使用電圧及び動作温度(Process,Volta
ge,Temperature:以下PVTと称する)などによって
特性にバラツキが生じる。特に回路を集積化する際にデ
ジタル用プロセスを用いると、アナログ用プロセスと比
較してプロセスバラツキが大きくなる。これらのPVT
バラツキは、特にアナログ回路に大きな影響を与え、特
性の変動が発生する。
【0026】図22は、図20のダイナミック型コンパ
レータにおいて、NMOSFET/PMOSFETの閾
値電圧(Vth)が規定値(center)よりも高い場合(HI
GH)と低い場合(LOW )、温度Temp(℃)が−10℃
から100℃の範囲で変化した場合に、遅延時間(dela
y time variation)(ps)がどのように変化するかを
示したものである。図示のように、NMOS/PMOS
の閾値電圧(Vth)が規定値よりも共に高い場合(HIGH
/HIGH)に遅延時間が大きく増加し、閾値電圧(Vth)
が規定値よりも共に低い場合(LOW /LOW )に遅延時間
が大きく減少する。また、温度が低くなると遅延時間が
増加する。
【0027】このように、アナログ回路からなる図16
中のコンパレータ56ではPVTバラツキが存在してお
り、このPVTバラツキによってコンパレータ56の遅
延時間tCMP が変動する。すると、このコンパレータ5
6から出力される内部クロックの位相ずれが発生し、図
23に示すように、この内部クロックに同期してデータ
を取り込むDQバッファ57ではデータウィンドウ(da
ta window:データを出力している期間)が変動し、出
力データDQが外部クロックに同期しなくなってしま
う。
【0028】コンパレータにおける上記遅延時間の変動
量は基本的には補償されない変動量であり、また補償回
路を作ろうとしても、デジタル回路で構成することは極
めて困難であるとという問題がある。
【0029】
【発明が解決しようとする課題】このようにアナログ動
作する従来のミラータイプDLLは、デジタル動作する
デジタルミラータイプDLLにおけるような量子化誤差
が発生せず、高い精度が期待できるという優れた特性を
有するが、アナログ回路である故に製造プロセス、使用
電圧及び動作温度などによって遅延時間が変動し、高精
度な同期特性が得られないという不都合がある。
【0030】この発明は上記のような事情を考慮してな
されたものであり、その目的は、高精度な同期特性が得
られるアナログ動作する同期信号発生回路を提供するこ
とである。
【0031】
【課題を解決するための手段】この発明の同期信号発生
回路は、外部クロックが入力される入力バッファ回路
と、上記入力バッファ回路の出力を第1の時間だけ遅延
して出力する第1の遅延回路と、上記第1の遅延回路の
出力を遅延して出力する遅延時間が可変の第2の遅延回
路と、上記第2の遅延回路及び上記入力バッファ回路の
出力を受け、上記第2の遅延回路の出力レベルの遷移時
に電位レベルが一定の勾配で上昇を開始し、上記入力バ
ッファ回路の出力レベルの遷移時に電位レベルの上昇が
停止するような第1のアナログ電圧を出力する第1の電
圧発生回路と、少なくとも上記入力バッファ回路の出力
を受け、この入力バッファ回路の出力のレベルの遷移時
に電位レベルが一定の勾配で上昇を開始するような第2
のアナログ電圧を出力する第2の電圧発生回路と、上記
第1及び第2のアナログ電圧を比較して内部クロックを
発生する電圧比較回路と、上記電圧比較回路で発生され
る内部クロックに同期して動作が制御される内部回路
と、上記電圧比較回路で発生される内部クロックを上記
第1の時間と実質的に等しい時間だけ遅延して出力する
第3の遅延回路と、上記第3の遅延回路及び上記入力バ
ッファ回路の出力を受け、両出力の位相を比較してその
位相差に応じた制御信号を出力する位相比較器とを具備
し、上記第2の遅延回路における遅延時間が、上記位相
比較器から出力される制御信号に基づいて調整されるこ
とを特徴とする。
【0032】この発明の同期信号発生回路は、外部クロ
ックが入力される入力バッファ回路と、上記入力バッフ
ァ回路の出力を第1の時間だけ遅延して出力する第1の
遅延回路と、上記第1の遅延回路の出力を第2の時間だ
け遅延して出力する第2の遅延回路と、上記第2の遅延
回路及び上記入力バッファ回路の出力を受け、上記第2
の遅延回路の出力レベルの遷移時に電位レベルが一定の
勾配で上昇を開始し、上記入力バッファ回路の出力レベ
ルの遷移時に電位レベルの上昇が停止するような第1の
アナログ電圧を出力する第1の電圧発生回路と、少なく
とも上記入力バッファ回路の出力を受け、この入力バッ
ファ回路の出力のレベルの遷移時に電位レベルが一定の
勾配で上昇を開始するような第2のアナログ電圧を出力
する第2の電圧発生回路と、上記第1及び第2のアナロ
グ電圧を比較して内部クロックを発生し、この内部クロ
ックを遅延して出力する遅延時間が可変の電圧比較回路
と、上記電圧比較回路で発生される内部クロックに同期
して動作が制御される内部回路と、上記電圧比較回路で
発生される内部クロックを上記第1の時間と実質的に等
しい時間だけ遅延して出力する第3の遅延回路と、上記
第3の遅延回路及び上記入力バッファ回路の出力を受
け、両出力の位相を比較してその位相差に応じた制御信
号を出力する位相比較器とを具備し、上記電圧比較回路
における第3の時間が上記位相比較器から出力される位
相差に応じた制御信号に基づいて調整されることを特徴
とする。
【0033】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
実施の形態を詳細に説明する。
【0034】図1は、この発明に係る同期信号発生回路
を、アナログ動作するミラータイプDLLに実施した第
1の実施の形態による構成を示すブロック図である。
【0035】このミラータイプDLLは、入力バッファ
(Input buffer)11、I/Oレプリカ(I/O replic
a)12、コンパレータレプリカ(Comparator replic
a)13、2個のランプ電圧発生回路(RVG1,RV
G2)14、15、コンパレータ(Comparator:電圧比
較回路)16、DQバッファ(DQ buffer)17、及び
自己調整フィードバック制御回路(Self-calibration f
eedback loop)18によって構成されている。
【0036】入力バッファ11は、外部クロック(exte
rnal clock)を受け、外部クロックに対して遅延された
クロックCLK1を出力する。I/Oレプリカ12は、
クロックCLK1を受け、このクロックCLK1に対
し、入力バッファ11における遅延時間と、DQバッフ
ァ17における遅延時間との和の時間に実質的に等しい
遅延時間だけ遅延されたクロックCLK2を出力する。
コンパレータレプリカ13は、クロックCLK2を受
け、このクロックCLK2に対し、コンパレータ16に
おける遅延時間に実質的に等しい遅延時間だけ遅延され
たクロックを出力する。なお、このコンパレータレプリ
カ13には上記自己調整フィードバック制御回路18か
らの制御信号が供給され、この制御信号に応じてその遅
延時間が調整されるようになっている。
【0037】一方のランプ電圧発生回路14は、コンパ
レータレプリカ13から出力されるクロック及びクロッ
クCLK1を受け、コンパレータレプリカ13から出力
されるクロックの立ち上がりに同期して電位レベルが一
定の勾配で上昇し、クロックCLK1の立ち上がりに同
期して電位レベルの上昇が停止するようなランプ電圧
(アナログ電圧)Vmeansを発生する。
【0038】他方のランプ電圧発生回路15は、少なく
ともクロックCLK1を受け、このクロックCLK1の
立ち上がりに同期して電位レベルが一定の勾配で上昇す
るようなランプ電圧(アナログ電圧)Vdlyを発生す
る。
【0039】上記両ランプ電圧発生回路14、15は、
例えば図17に示す場合と同様にPMOSFET、スイ
ッチ及びキャパシタによって構成されており、出力電圧
Vmeans、Vdlyの上昇時における勾配が互いに等しくな
るように、定電流源として働くPMOSFETに流れる
電流値が互いに等しくなるようにされている。
【0040】コンパレータ16は、上記両出力電圧Vme
ans、Vdlyを受け、両電圧を比較することによって内部
クロック(internal clock)を発生する。このコンパレ
ータ16としては、図19に示すような差動増幅器や、
図20に示すようなダイナミック型コンパレータなどが
使用される。
【0041】DQバッファ17は内部データ及び上記コ
ンパレータ16で発生される内部クロックを受け、内部
クロックに同期して内部データを取り込み、外部にデー
タDQとして出力する。
【0042】自己調整フィードバック制御回路18は、
I/Oレプリカ(I/O replica)19と位相比較回路(P
hase comparator)20とから構成されている。I/O
レプリカ19は上記I/Oレプリカ12と実質的に等し
い遅延時間を有しており、このI/Oレプリカ19には
上記コンパレータ16で発生される内部クロックが入力
される。上記I/Oレプリカ12からの出力クロック
は、入力バッファ11から出力されるクロックCLK1
と共に位相比較回路20に入力される。位相比較回路2
0は、上記両入力クロックの位相を比較し、その比較結
果に応じた制御信号を発生する。そして、位相比較回路
20で発生された制御信号はコンパレータレプリカ13
に供給される。
【0043】このような構成でなるミラータイプDLL
において、コンパレータ16における遅延時間と、コン
パレータレプリカ13における遅延時間とが等しい場
合、コンパレータ16から出力される内部クロックを遅
延する自己調整フィードバック制御回路18内のI/O
レプリカ19の出力クロックの位相と、入力バッファ1
1の出力クロックCKL1の位相とは一致する。なぜな
ら、コンパレータ16から出力される内部クロックに対
するDQバッファ17の出力データDQの遅延時間はt
OB、出力データDQと入力バッファ11の出力クロック
CLK1との間の遅延時間はtIBであり、コンパレータ
16から出力される内部クロックからみて、入力バッフ
ァ11の出力クロックCLK1の遅延時間は(tIB+t
OB)となる。これに対して、コンパレータ16から出力
される内部クロックからみて、I/Oレプリカ19の出
力クロックの遅延時間も(tIB+tOB)となるからであ
る。
【0044】ここで、コンパレータ16における遅延時
間が、先に説明したPVTバラツキの影響によって例え
ば設計値よりも短くなったとする。すると、自己調整フ
ィードバック制御回路18内の位相比較回路20によっ
て両入力クロックの位相差が検出され、この位相差に応
じた制御信号がコンパレータレプリカ13に供給される
ことによって、コンパレータレプリカ13における遅延
時間が短くなるように制御される。そして、コンパレー
タレプリカ13における遅延時間がコンパレータ16に
おける遅延時間と一致するまで自己調整フィードバック
制御回路18による制御動作が行われ、最終的にコンパ
レータレプリカ13における遅延時間がコンパレータ1
6における遅延時間と一致する。
【0045】上記とは逆に、コンパレータ16における
遅延時間が設計値よりも長くなった場合には、自己調整
フィードバック制御回路18内の位相比較回路20によ
って両入力クロックの位相差が検出され、この位相差に
応じた制御信号がコンパレータレプリカ13に供給され
ることによって、コンパレータレプリカ13における遅
延時間が長くなるように制御される。そして、コンパレ
ータレプリカ13における遅延時間がコンパレータ16
における遅延時間と一致するまで自己調整フィードバッ
ク制御回路18による制御動作が行われる。
【0046】このように、コンパレータ16における遅
延時間が変動しても、コンパレータレプリカ13におけ
る遅延時間がそれに応じて変化し、コンパレータ16に
おける遅延時間の変動が補償されるので、DQバッファ
17から出力されるデータDQが常に外部クロックと同
期するような内部クロックをコンパレータ16で発生す
ることができる。
【0047】図2は、図1のミラータイプDLLにおけ
る要部の信号波形を示している。図2中、tCMP REP は
クロックCLK2に対するコンパレータレプリカ13の
出力クロックの遅延時間であり、上記のようなフィード
バック制御により、この遅延時間tCMP REP は常にコン
パレータ16の遅延時間tCMP に一致するように制御さ
れる。
【0048】なお、図1に示した第1の実施の形態によ
るミラータイプDLLでは、I/Oレプリカ12の後段
にコンパレータレプリカ13を設ける場合について説明
したが、これは両者の位置を変える、すなわち、コンパ
レータレプリカ13の後段にI/Oレプリカ12を配置
するように回路を変更しても同様の効果が得られる。
【0049】図3は、この発明に係る同期信号発生回路
をミラータイプDLLに実施した第2の実施の形態によ
る構成を示すブロック図である。なお、この図3に示す
ミラータイプDLLの基本的な構成は図1の場合と同様
なので、図1と対応する個所には同じ符号を付してその
説明は省略し、図1と異なる点のみを以下に説明する。
【0050】図3のミラータイプDLLが図1のものと
異なる点は、遅延時間の調整機能を持つ先のコンパレー
タレプリカ13の替わりに遅延時間の調整機能を持たな
いコンパレータレプリカ21が設けられている点と、遅
延時間の調整機能を持たない先のコンパレータ16に替
えて遅延時間の調整機能を持つコンパレータ(comparat
or:電圧比較回路)22が設けられている点と、自己調
整フィードバック制御回路18から出力される制御信号
に応じてコンパレータ22の遅延時間を調整するように
した点である。
【0051】すなわち、図1のミラータイプDLLで
は、コンパレータレプリカ13に遅延時間の調整機能を
持たせ、自己調整フィードバック制御回路18の制御信
号に応じてコンパレータレプリカ13の遅延時間の調整
を行っていたが、図3のミラータイプDLLでは、内部
クロックを発生するコンパレータ22自体に遅延時間の
調整機能を持たせるようにしたものである。
【0052】この場合、コンパレータ22では、その遅
延時間がコンパレータレプリカ13の遅延時間と一致す
るように、自己調整フィードバック制御回路18による
フィードバック制御によって調整される。
【0053】この実施の形態によれば、コンパレータレ
プリカ21として、適当な遅延時間を持つ回路を任意に
選択して使用することができる。例えばコンパレータレ
プリカ21として、複数個のインバータが直列接続され
て構成されたインバータチェーンのようなPVTバラツ
キの小さい回路を選択すれば、同期回路としての動作タ
イミングをPVTバラツキによらず一定にでき、チップ
内部で発生するノイズの発生タイミングを一定にできる
という効果が得られる。
【0054】次に、図1中のコンパレータレプリカ13
及び図3中のコンパレータ22における遅延時間の調整
方法の具体例について説明する。
【0055】2つのクロックの位相を比較する位相比較
回路から出力される制御信号を受けて遅延時間を調整す
る回路としては、PLLやDLLなどで用いられている
一般的な方式をそのまま用いることができる。例えば、
IEEE Journal of Solid-State Circuits. Vol.34, No.1
1, November 1999 “A 2.5-V, 333-Mb/s/pin, 1-Gbit,
Double-Data-Rate Synchronous DRAM”(公知文献1)
で行われているように、位相比較回路から出力される制
御信号をチャージポンプに供給し、チャージポンプでは
位相比較回路の出力信号に応じた値を有する直流電圧を
発生させ、この直流電圧を遅延線に対して電源電圧とし
て供給することにより、遅延線における遅延時間を調整
する方式を用いることができる。
【0056】図4(a)は、チャージポンプを用いて図
1中のコンパレータレプリカ13の遅延時間の調整を行
う場合の回路構成例を示している。位相比較回路20か
ら出力される制御信号はチャージポンプ23に供給さ
れ、このチャージポンプ23からは制御信号に応じた値
の直流電圧が出力される。そして、この直流電圧がコン
パレータレプリカ13に対し電源電圧として供給される
ことにより、コンパレータレプリカ13の遅延時間が調
整される。
【0057】図4(b)は、チャージポンプを用いて図
3中のコンパレータ22の遅延時間の調整を行う場合の
回路構成例を示している。この回路では図4(a)の場
合と同様に、チャージポンプ23から出力される制御信
号に応じた値の直流電圧がコンパレータ22に電源電圧
として供給されることにより、コンパレータ22の遅延
時間が調整される。
【0058】なお、図1の場合のように、コンパレータ
レプリカ13の遅延時間の調整を行う場合に、コンパレ
ータレプリカ13には、例えば図5に示すように複数個
のインバータ24を直列接続して構成されたインバータ
チェーン25が設けられる。
【0059】図6は、図1中のコンパレータレプリカ1
3の他の具体例を示している。このコンパレータレプリ
カ13は、例えばIEEE Journal of Solid-State Circui
ts.Vol.34, No.4, April 1999 “Source-Synchronizati
on and Timing Vernier Techniques for 1.2 GB/s SLDR
AM Interface”(公知文献2)で行われているように、
基本的には複数個のインバータ26を直列接続して構成
された遅延回路を用い、各インバータ26のソースと電
源ノードとの間に電流制限素子として機能するMOSF
ETを挿入し、これら各MOSFETのゲートに前記チ
ャージポンプから出力される直流電圧及びこの直流電圧
に応じてその値が変化する直流電圧を供給することによ
って電流制限素子として機能するMOSFETの抵抗値
を変え、これによって各インバータ26における遅延時
間を調整するようにしたものである。
【0060】すなわち、図6において、各インバータ2
6では、電源ノードと出力ノードとの間に2個のPMO
SFET QP1,QP2が直列に挿入され、出力ノー
ドと接地ノードとの間には2個のNMOSFET QN
1,QN2が直列に挿入され、それぞれ1個のNMOS
FET(本例ではNMOSFET QN2)のゲートに
はチャージポンプ23(図4(a)に図示)の出力電圧
が供給され、それぞれ1個のPMOSFET(本例では
PMOSFET QP1)のゲートには、PMOSFE
T QP21及びNMOSFET QN21からなり、
チャージポンプ23の出力電圧を受けるカレントミラー
回路の出力電圧が供給される。
【0061】このような構成により、各インバータ26
内のPMOSFET QP1及びNMOSFET QN
2のオン抵抗がチャージポンプ23の出力電圧に応じて
変化することにより、各インバータ26の遅延時間が制
御される。
【0062】なお、上記説明では電流制限素子として機
能するMOSFET(PMOSFET QP1,NMO
SFET QN2)をPチャネル側及びNチャル側の両
方に設ける場合について説明したが、これはいずれか一
方側のみに設けるように回路を変更してもよい。
【0063】図7は、図1中のコンパレータレプリカ1
3のさらに他の具体例を示している。このコンパレータ
レプリカ13は、例えば先の公知文献1に記載されてい
るように、位相比較回路から出力される制御信号をカウ
ントするカウンタを持ち、このカウンタのカウント状態
に応じて、信号を遅延する遅延素子の個数を調整するこ
とにより遅延時間を調整するようにしたものである。
【0064】すなわち、前記位相比較回路20(図1中
に図示)から出力される制御信号はカウンタ27によっ
てカウントされる。一方、それぞれ遅延素子として機能
する複数個のインバータ28が直列接続されてインバー
タチェーン29が構成されている。インバータチェーン
29内の異なる2個のインバータの出力ノードには2個
のスイッチ30、31それぞれの各一端が接続され、こ
の2個のスイッチ30、31の他端は共通接続されてい
る。そして、上記2個のスイッチ30、31は、カウン
タ27の異なる2つのカウント出力ノードから出力され
る制御信号に応じて導通制御される。
【0065】このような構成でなるコンパレータレプリ
カ13では、位相比較回路20から出力される制御信号
に応じて、カウンタ27の異なる2つのカウント出力ノ
ードのいずれか一方から出力される制御信号が活性化さ
れ、この活性化された制御信号を受ける2個のスイッチ
30、31のいずれか一方が導通して、対応するインバ
ータ28からの出力が次段の回路に供給される。
【0066】ここで、スイッチ30、31が導通した時
に、スイッチ30又は31を介して出力される信号は、
それぞれの伝達経路に存在するインバータの個数が異な
るので、入力信号、すなわちクロックCLK2に対する
遅延時間が異なる。このようにして遅延時間を調整する
ことができる。
【0067】また、第2の実施の形態の場合、コンパレ
ータ22として電圧を比較する電圧比較回路と、その後
段に設けられた遅延回路とで構成する場合に、この遅延
回路として図5乃至図7に示すような構成の回路を用い
るようにすればよい。
【0068】ところで、先に説明したようにアナログ回
路からなるコンパレータの遅延時間はPVTバラツキに
より変動する。先の図22から分かるように、特にプロ
セスバラツキの影響が大きいが、プロセスバラツキは基
本的には動作途中での変動はなく、一度補償してしまえ
ば、動作途中で調整する必要はない。従って、電源投入
時に一度調整すれば、後は温度及び電圧による影響分の
みを調整すればよい。
【0069】近年、LSIは外部供給電源電圧に対し
て、降圧した内部電源電圧を用いており、電源電圧の変
動も急速な変動は起こらない。また、温度の変動速度
は、同期回路の動作速度と比較すると非常に遅い。従っ
て、温度及び電圧の変動に対する調整は常に行う必要は
なく、一定の間隔をおいて、同期誤差が仕様から著しく
離れることがない程度に、間欠的に行うことができる。
【0070】次に、遅延時間の調整を間欠的に行う場合
の実施の形態について以下に説明する。
【0071】図8は、この発明のミラータイプDLLの
第3の実施の形態による構成を示すブロック図である。
なお、この図8に示すミラータイプDLLの基本的な構
成は図1の場合と同様なので、図1と対応する個所には
同じ符号を付してその説明は省略し、図1と異なる点の
みを以下に説明する。
【0072】図8のミラータイプDLLが図1のものと
異なる点は、新たに分周回路32及びAND論理回路3
3が追加されている点である。
【0073】上記分周回路32には入力バッファ11か
ら出力されるクロックCLK1が入力され、分周回路3
2はこのクロックCLK1を所定の分周比で分周して出
力する。この分周回路32の分周出力はAND論理回路
33に入力される。このAND論理回路33の出力信号
はコンパレータレプリカ13に供給されている。
【0074】この実施の形態によるミラータイプDLL
では、位相比較回路20から出力される制御信号は、A
ND論理回路33によって分周回路32の分周出力と論
理が取られた後にコンパレータレプリカ13に供給され
る。
【0075】このような構成によれば、分周回路32の
分周出力が活性化されている期間にのみ、位相比較回路
20から出力される制御信号がコンパレータレプリカ1
3に入力するので、コンパレータレプリカ13における
遅延時間の調整動作が分周回路32の分周出力に応じて
間欠的に制御されるようになる。
【0076】図9は、この発明のミラータイプDLLの
第4の実施の形態による構成を示すブロック図である。
なお、この図9に示すミラータイプDLLの基本的な構
成は図3の場合と同様なので、図3と対応する個所には
同じ符号を付してその説明は省略し、図3と異なる点の
みを以下に説明する。
【0077】図9のミラータイプDLLが図3のものと
異なる点は、図8の場合と同様に、新たに分周回路32
及びAND論理回路33が追加されている点である。こ
れら分周回路32及びAND論理回路33については、
図8の実施の形態において説明したので、その説明は省
略する。
【0078】この実施の形態の場合には、分周回路32
の分周出力が活性化されている期間にのみ、位相比較回
路20から出力される制御信号がコンパレータ22に入
力するので、コンパレータ22における遅延時間の調整
動作が分周回路32の分周出力に応じて間欠的に制御さ
れるようになる。
【0079】なお、上記第3、第4の実施の形態では、
入力バッファ11からの出力クロックCLK1を分周回
路32で分周してAND論理回路33に供給する場合に
ついて説明したが、これは外部クロック、コンパレータ
16または22から出力される内部クロックなどを分周
回路32で分周してAND論理回路33に供給するよう
に回路を変更しても同様の効果が得られる。
【0080】図10は、この発明のミラータイプDLL
の第5の実施の形態による構成を示すブロック図であ
る。なお、この図10に示すミラータイプDLLの基本
的な構成は図1の場合と同様なので、図1と対応する個
所には同じ符号を付してその説明は省略し、図1と異な
る点のみを以下に説明する。
【0081】図10のミラータイプDLLが図1のもの
と異なる点は、新たに2個の分周回路34、35が追加
されている点である。
【0082】一方の分周回路34は、コンパレータ16
と自己調整フィードバック制御回路18内のI/Oレプ
リカ19との間の経路の途中に挿入され、他方の分周回
路35は、入力バッファ11と自己調整フィードバック
制御回路18内の位相比較回路20との間のクロックC
LK1の伝達経路の途中に挿入されている。
【0083】このような構成によれば、位相比較回路2
0に入力される2つのクロックの周期が図1の場合に比
べて長くなるので、コンパレータレプリカ13における
遅延時間の調整動作が間欠的に制御されるようになる。
【0084】図11は、この発明のミラータイプDLL
の第5の実施の形態による構成を示すブロック図であ
る。なお、この図11に示すミラータイプDLLの基本
的な構成は図3の場合と同様なので、図3と対応する個
所には同じ符号を付してその説明は省略し、図3と異な
る点のみを以下に説明する。
【0085】図11のミラータイプDLLが図3のもの
と異なる点は、図10の場合と同様に、新たに2個の分
周回路34、35が追加されている点である。この2個
の分周回路33、34については、図10の実施の形態
において説明したので、その説明は省略する。
【0086】この実施の形態の場合には、位相比較回路
20に入力される2つのクロックの周期が図3の場合に
比べて長くなるので、コンパレータ22における遅延時
間の調整動作が間欠的に制御されるようになる。
【0087】ところで、DRAM(Dynamic Random Acc
ess Memory)ではセルフリフレッシュと呼ばれ、ダイナ
ミック型メモリセルに記憶されているデータをセンスア
ンプで読み出した後、元のメモリセルに再格納する制御
が行われている。従来から、このセルフリフレッシュ中
にDLLの動作を停止させて消費電流の削減を図るよう
にしているが、セルフリフレッシュ中以外でもI/Oに
おけるデータの送受信がなければ、DLLの動作を停止
させることができる。すなわち、チップがリード・コマ
ンドを受け取ってからDLLの動作を開始しても、実際
にチップからデータが出力されるまでにDLLの動作が
ロック(外部クロックに同期した内部クロックが得られ
る状態)しているからである。
【0088】図8または図9に示すDLLがDRAMに
内蔵されているものであると、データの送受信がないと
きでも、温度変化などの影響をなくすために、フィード
バックに必要な回路部分のみを通常の周期よりも長い周
期で間欠的に動作させれば、図8においてはコンパレー
タレプリカ13の遅延時間をコンパレータ16の遅延時
間と実質的に等しく、図9においてはコンパレータ22
の遅延時間をコンパレータレプリカ21の遅延時間と実
質的に等しく保ちつつ、低消費電力化も図ることができ
る。
【0089】また、以上と同様のことがセルフリフレッ
シュ中についてもいえる。セルフリフレッシュからイグ
ジット(exit)したら直ちにロックできるようにするた
めに、セルフリフレッシュ中にもチップ温度の変化によ
る遅延時間を補償し続けることが望ましい。この場合、
セルフリフレッシュ中に間欠的に外部クロックを取り込
み、DLLでフィードバック動作を行わせる必要があ
る。このような間欠動作を行わせるためには、図12に
示すように外部クロックが入力される入力バッファ4
1、この入力バッファ41の出力クロックを分周する分
周回路42からなる起動回路を設け、分周回路42から
出力されるクロックが、前記図8または図9中の分周回
路31の出力の代わりに、AND論理回路32に入力さ
れる。セルフリフレッシュからイグジットしたら、分周
回路42の出力をAND論理回路32に入力する代わり
に、図示しない手段によってAND論理回路32に対し
てHレベルの信号を入力すれば、位相比較回路20の出
力がコンパレータレプリカ13又はコンパレータ22に
供給され、セルフリフレッシュ中よりも短い周期で遅延
時間の調整動作が行われる。
【0090】図13は、上記図12に示す起動回路の替
わりに使用される他の起動回路の構成例を示している。
この起動回路は、起動専用の内部クロック発生回路43
からなり、前記図8または図9中の分周回路31の出力
の代わりに、この内部クロック発生回路43で発生され
るクロックがAND論理回路32に入力される。この場
合にも、セルフリフレッシュからイグジットしたら、内
部クロック発生回路43の出力をAND論理回路32に
入力する代わりに、AND論理回路32に対してHレベ
ルの信号を入力すれば、位相比較回路20の出力がコン
パレータレプリカ13又はコンパレータ22に供給さ
れ、セルフリフレッシュ中よりも短い周期で遅延時間の
調整動作が行われる。
【0091】図14は、上記図12に示す起動回路の替
わりに使用される他の起動回路の構成例を示している。
DRAMでは、セルフリフレッシュ動作を制御するため
に、セルフリフレッシュ周期を決めるタイマーとして、
チップ内にタイマー付きクロック発生回路や、温度モニ
ター付きのクロック発生回路が内蔵されている。図14
に示す起動回路は、このセルフリフレッシュ周期を決め
るタイマー回路44を起動回路としても使用するように
したものである。このタイマー回路44から出力される
一方のクロックが、前記図8または図9中の分周回路3
1の出力の代わりにAND論理回路32に起動信号とし
て入力される。タイマー回路44から出力される他方の
クロックは、セルフリフレッシュ起動信号としてセルフ
リフレッシュ動作を制御する回路に入力される。この場
合にも、セルフリフレッシュからイグジットしたら、タ
イマー回路44の出力をAND論理回路32に入力する
代わりに、AND論理回路32に対してHレベルの信号
を入力すれば、位相比較回路20の出力がコンパレータ
レプリカ13又はコンパレータ22に供給され、セルフ
リフレッシュ中よりも短い周期で遅延時間の調整動作が
行われる。
【0092】なお、上記各実施の形態では、この発明を
アナログ動作するミラータイプDLLに実施した場合に
ついて説明したが、デジタル動作するデジタルミラータ
イプDLLに適用できることはもちろんである。デジタ
ルミラータイプDLLであってもPVTバラツキが生じ
ることがあり、デジタルミラータイプDLLに本発明を
適用すればこのようなPVTバラツキによる内部クロッ
クの同期ずれの発生を防止することができ、高精度な同
期特性を得ることができる。
【0093】図15は、この発明をデジタルミラータイ
プDLLに適用した、この発明の第7の実施の形態によ
る構成を示すブロック図である。デジタルミラータイプ
DLLの基本的な構成については、例えば本出願人によ
る特開平10−69326号で提案されているSTBD
(synchronous Traced Backwards Delay)が知られてい
る。このSTBDは、入力バッフア(Input buffer)1
1、ディレイモニタとしてのI/Oレプリカ12、多段
縦続接続された複数の単位遅延ユニットを有する前進パ
ルス用遅延線(forward delay line)FDL、前進パル
ス用遅延線内の単位遅延ユニットと同数の多段縦続接続
された複数の単位遅延ユニットを有する後退パルス用遅
延線(backward delay line)BDL等から構成されて
おり、図15のデジタルミラータイプDLLでは、さら
に後退パルス用遅延線BDLの出力が入力され、遅延時
間が可変の遅延調整回路(delay cont)61が設けられ
ている。そして、この遅延調整回路61の出力が内部ク
ロックとしてDQバッファ17に供給される。なお、図
15中のその他の回路において、図1や図3と対応する
個所には同じ符号を付してその説明は省略する。
【0094】前進パルス用遅延線FDLは、I/Oレプ
リカ12と入力バッフア11の出力を受け、I/Oレプ
リカ12からの出力レベルの遷移時にI/Oレプリカ1
2からの出力を多段縦続接続された複数の単位遅延ユニ
ットで順次遅延し、その後の入力バッフア11の出力レ
ベルの遷移時に遅延動作を停止する。後退パルス用遅延
線BDLは、入力バッフア11の出力を受け、前進パル
ス用遅延線FDLにおける遅延動作の停止後に、入力バ
ッフア11の出力を、前進パルス用遅延線FDL内でI
/Oレプリカ12からの出力が伝播した単位遅延ユニッ
トの段数と同じ段数の単位遅延ユニットを介して順次遅
延する。従って、後退パルス用遅延線BDLにおける信
号遅延は前進パルス用遅延線FDLと同じになる。
【0095】ここで、遅延調整回路61における信号遅
延時間は、位相比較回路20の比較結果に応じて制御さ
れ、これにより例えば前進パルス用遅延線FDLと後退
パルス用遅延線BDLとの間に生じるPVTバラツキな
どによる同期誤差を抑制することができる。
【0096】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明の同期信号
発生回路によれば、アナログ動作するミラータイプDL
Lが持つ、量子化誤差が発生しない、高い精度が期待で
きるという優れた特性を有する上に、製造プロセス、使
用電圧及び動作温度などによって遅延時間が変動するこ
とを補償することができるので、高精度な同期特性を得
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施の形態によるミラータイ
プDLLの構成を示すブロック図。
【図2】図1のミラータイプDLLの動作の一例を示す
信号波形図。
【図3】この発明の第2の実施の形態によるミラータイ
プDLLの構成を示すブロック図。
【図4】図1及び図2のミラータイプDLLにおいて遅
延時間を調整するための具体的な回路例を示す図。
【図5】図1及び図2のミラータイプDLLにおいて遅
延時間を調整するための具体的な回路例を示す図。
【図6】図1及び図2のミラータイプDLLにおいて遅
延時間を調整するための具体的な回路例を示す図。
【図7】図1及び図2のミラータイプDLLにおいて遅
延時間を調整するための具体的な回路例を示す図。
【図8】この発明の第3の実施の形態によるミラータイ
プDLLの構成を示すブロック図。
【図9】この発明の第4の実施の形態によるミラータイ
プDLLの構成を示すブロック図。
【図10】この発明の第5の実施の形態によるミラータ
イプDLLの構成を示すブロック図。
【図11】この発明の第6の実施の形態によるミラータ
イプDLLの構成を示すブロック図。
【図12】図8または図9の実施の形態において分周回
路の替わりに使用される起動回路の一構成例を示すブロ
ック図。
【図13】図8または図9の実施の形態において分周回
路の替わりに使用される起動回路の他の構成例を示すブ
ロック図。
【図14】図8または図9の実施の形態において分周回
路の替わりに使用される起動回路のさらに他の構成例を
示すブロック図。
【図15】この発明の第7の実施の形態によるミラータ
イプDLLの構成を示すブロック図。
【図16】アナログ動作する従来のミラータイプDLL
の一構成例を示すブロック図。
【図17】図16中のランプ電圧発生回路の原理を説明
するための回路図。
【図18】図16の従来のミラータイプDLLの動作の
一例を示す信号波形図。
【図19】図16中のコンパレータの一具体例を示す回
路図。
【図20】図16中のコンパレータの他の具体例を示す
回路図。
【図21】図20のダイナミック型コンパレータの動作
例を示す信号波形図。
【図22】図20のダイナミック型コンパレータにおけ
る遅延時間の変化特性を示す図。
【図23】図16の従来のミラータイプDLLで同期誤
差が発生する場合を説明するための信号波形図。
【符号の説明】
11…入力バッファ(Input buffer)、 12…I/Oレプリカ(I/O replica)、 13、21…コンパレータレプリカ(Comparator repli
ca)、 14、15…ランプ電圧発生回路(RVG1,RVG
2)、 16、22…コンパレータ(Comparator:電圧比較回
路)、 17…DQバッファ(DQ buffer)、 18…自己調整フィードバック制御回路(Self-calibra
tion feedback loop), 19…I/Oレプリカ(I/O replica)、 20…位相比較回路(Phase comparator)、 23…チャージポンプ、 24、26、28…インバータ、 25、29…インバータチェーン、 27…カウンタ、 30、31…スイッチ、 32、34、35…分周回路、 33…AND論理回路、 41…入力バッファ、 42…分周回路、 43…内部クロック発生回路、 44…タイマー回路。
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H03K 5/13 G06F 1/04 340A H03L 7/00 G11C 11/34 362S 7/081 363M H03L 7/08 J Fターム(参考) 5B024 AA03 AA15 BA21 BA23 CA07 DA08 5B077 GG07 GG15 GG33 MM02 5B079 BC03 CC02 CC14 DD08 DD13 5J001 AA05 BB00 BB05 BB08 BB12 BB14 BB21 BB24 BB25 CC00 DD01 DD02 DD03 DD05 DD06 DD09 5J106 AA04 BB00 CC00 CC13 CC21 CC52 CC58 CC59 DD06 DD17 DD24 DD32 DD33 KK05

Claims (29)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外部クロックが入力される入力バッファ
    回路と、 上記入力バッファ回路の出力を第1の時間だけ遅延して
    出力する第1の遅延回路と、 上記第1の遅延回路の出力を遅延して出力する遅延時間
    が可変の第2の遅延回路と、 上記第2の遅延回路及び上記入力バッファ回路の出力を
    受け、上記第2の遅延回路の出力レベルの遷移時に電位
    レベルが一定の勾配で上昇を開始し、上記入力バッファ
    回路の出力レベルの遷移時に電位レベルの上昇が停止す
    るような第1のアナログ電圧を出力する第1の電圧発生
    回路と、 少なくとも上記入力バッファ回路の出力を受け、この入
    力バッファ回路の出力のレベルの遷移時に電位レベルが
    一定の勾配で上昇を開始するような第2のアナログ電圧
    を出力する第2の電圧発生回路と、 上記第1及び第2のアナログ電圧を比較して内部クロッ
    クを発生する電圧比較回路と、 上記電圧比較回路で発生される内部クロックに同期して
    動作が制御される内部回路と、 上記電圧比較回路で発生される内部クロックを上記第1
    の時間と実質的に等しい時間だけ遅延して出力する第3
    の遅延回路と、 上記第3の遅延回路及び上記入力バッファ回路の出力を
    受け、両出力の位相を比較してその位相差に応じた制御
    信号を出力する位相比較器とを具備し、 上記第2の遅延回路における遅延時間が、上記位相比較
    器から出力される制御信号に基づいて調整されることを
    特徴とする同期信号発生回路。
  2. 【請求項2】 前記第1の遅延回路における第1の時間
    が、前記入力バッファ回路の前記外部クロックに対する
    信号遅延時間と、前記内部回路における前記内部クロッ
    クに対する信号遅延時間との和の時間に実質的に等しい
    ことを特徴とする請求項1記載の同期信号発生回路。
  3. 【請求項3】 前記制御信号を受け、この制御信号に応
    じた直流電圧を発生するチャージポンプ回路をさらに具
    備し、このチャージポンプ回路で発生される直流電圧が
    前記第2の遅延回路に電源電圧として供給されることを
    特徴とする請求項2に記載の同期信号発生回路。
  4. 【請求項4】 前記第2の遅延回路が直列接続された2
    個以上のインバータで構成されることを特徴とする請求
    項3に記載の同期信号発生回路。
  5. 【請求項5】 前記制御信号を受け、この制御信号に応
    じた直流電圧を発生するチャージポンプ回路をさらに具
    備し、 かつ前記第2の遅延回路には直列接続された2個以上の
    遅延素子が設けられ、これら複数個の各遅延素子と電源
    との間には電流制限素子がそれぞれ挿入され、上記チャ
    ージポンプ回路で発生される直流電圧が上記電流制限素
    子に供給されることを特徴とする請求項2に記載の同期
    信号発生回路。
  6. 【請求項6】 前記遅延素子がインバータで構成される
    ことを特徴とする請求項5に記載の同期信号発生回路。
  7. 【請求項7】 前記制御信号を受け、この制御信号をカ
    ウントするカウンタ回路をさらに具備し、このカウンタ
    回路の出力に応じて前記第2の遅延回路における遅延時
    間が制御されることを特徴とする請求項2に記載の同期
    信号発生回路。
  8. 【請求項8】 前記第2の遅延回路が直列接続された2
    個以上のインバータで構成され、 さらに上記2個以上のインバータの異なる出力を選択す
    る選択回路をさらに具備し、前記カウンタ回路出力に応
    じて上記選択回路の選択動作が制御されることを特徴と
    する請求項7に記載の同期信号発生回路。
  9. 【請求項9】 前記位相比較器から出力される制御信号
    を、前記第2の遅延回路に対し所定のタイミングで供給
    する制御回路をさらに具備したことを特徴とする請求項
    3ないし8のいずれか1項記載の同期信号発生回路。
  10. 【請求項10】 前記制御回路は、 前記外部クロックを分周する分周回路と、 上記分周回路の出力及び前記位相比較器から出力される
    制御信号とが入力され、出力が前記第2の遅延回路に入
    力される論理回路とを含むことを特徴とする請求項9記
    載の同期信号発生回路。
  11. 【請求項11】 前記制御回路は、内部クロック発生回
    路と、上記内部クロック発生回路の出力及び前記位相比
    較器から出力される制御信号とが入力され、出力が前記
    第2の遅延回路に入力される論理回路とを含むことを特
    徴とする請求項9記載の同期信号発生回路。
  12. 【請求項12】 前記内部回路が内部データを前記内部
    クロックに同期して出力するDRAMに内蔵されたDQ
    バッファ回路であり、 前記制御回路は、 DRAMのセルフリフレッシュ動作を制御するために使
    用されるリフレッシュ用クロックを発生するセルフリフ
    レッシュ用クロック発生回路と、 上記リフレッシュ用クロックと前記位相比較器から出力
    される制御信号とが入力され、出力が前記第2の遅延回
    路に入力される論理回路とを含むことを特徴とする請求
    項9記載の同期信号発生回路。
  13. 【請求項13】 前記制御回路は、 前記入力バッファと前記位相比較器との間に設けられて
    前記入力バッフアの出力を分周して前記位相比較器に入
    力する第1の分周回路と、 前記電圧比較器と前記第3の遅延回路との間に設けられ
    て前記電圧比較器の出力を分周して前記第3の遅延回路
    に入力する第2の分周回路とを含むことを特徴とする請
    求項9記載の同期信号発生回路。
  14. 【請求項14】 前記制御回路は、電源投入後に1度の
    み前記制御信号を前記第2の遅延回路に供給することを
    特徴とする請求項3ないし8のいずれか1項記載の同期
    信号発生回路。
  15. 【請求項15】 外部クロックが入力される入力バッフ
    ァ回路と、 上記入力バッファ回路の出力を第1の時間だけ遅延して
    出力する第1の遅延回路と、 上記第1の遅延回路の出力を第2の時間だけ遅延して出
    力する第2の遅延回路と、 上記第2の遅延回路及び上記入力バッファ回路の出力を
    受け、上記第2の遅延回路の出力レベルの遷移時に電位
    レベルが一定の勾配で上昇を開始し、上記入力バッファ
    回路の出力レベルの遷移時に電位レベルの上昇が停止す
    るような第1のアナログ電圧を出力する第1の電圧発生
    回路と、 少なくとも上記入力バッファ回路の出力を受け、この入
    力バッファ回路の出力のレベルの遷移時に電位レベルが
    一定の勾配で上昇を開始するような第2のアナログ電圧
    を出力する第2の電圧発生回路と、 上記第1及び第2のアナログ電圧を比較して内部クロッ
    クを発生し、この内部クロックを遅延して出力する遅延
    時間が可変の電圧比較回路と、 上記電圧比較回路で発生される内部クロックに同期して
    動作が制御される内部回路と、 上記電圧比較回路で発生される内部クロックを上記第1
    の時間と実質的に等しい時間だけ遅延して出力する第3
    の遅延回路と、 上記第3の遅延回路及び上記入力バッファ回路の出力を
    受け、両出力の位相を比較してその位相差に応じた制御
    信号を出力する位相比較器とを具備し、 上記電圧比較回路における第3の時間が上記位相比較器
    から出力される位相差に応じた制御信号に基づいて調整
    されることを特徴とする同期信号発生回路。
  16. 【請求項16】 前記第1の遅延回路における第1の時
    間が、前記入力バッファ回路の前記外部クロックに対す
    る信号遅延時間と、前記内部回路における前記内部クロ
    ックに対する信号遅延時間との和の時間に実質的に等し
    いことを特徴とする請求項15記載の同期信号発生回
    路。
  17. 【請求項17】 前記制御信号を受け、この制御信号に
    応じた直流電圧を発生するチャージポンプ回路をさらに
    具備し、このチャージポンプ回路で発生される直流電圧
    が前記電圧比較回路に電源電圧として供給されることを
    特徴とする請求項16に記載の同期信号発生回路。
  18. 【請求項18】 前記電圧比較回路は第4の遅延回路を
    有することを特徴とする請求項16に記載の同期信号発
    生回路。
  19. 【請求項19】 前記制御信号を受け、この制御信号に
    応じた直流電圧を発生するチャージポンプ回路をさらに
    具備し、 かつ前記第4の遅延回路には直列接続された2個以上の
    遅延素子が設けられ、これら複数個の各遅延素子と電源
    との間には電流制限素子がそれぞれ挿入され、上記チャ
    ージポンプ回路で発生される直流電圧が上記電流制限素
    子に供給されることを特徴とする請求項18に記載の同
    期信号発生回路。
  20. 【請求項20】 前記遅延素子がインバータで構成され
    ることを特徴とする請求項19に記載の同期信号発生回
    路。
  21. 【請求項21】 前記制御信号を受け、この制御信号を
    カウントするカウンタ回路をさらに具備し、このカウン
    タ回路の出力に応じて前記第4の遅延回路における信号
    遅延時間が制御されることを特徴とする請求項18に記
    載の同期信号発生回路。
  22. 【請求項22】 前記第4の遅延回路が直列接続された
    2個以上のインバータで構成され、 さらに上記2個以上のインバータの異なる出力を選択す
    る選択回路をさらに具備し、前記カウンタ回路出力に応
    じて上記選択回路の選択動作が制御されることを特徴と
    する請求項21に記載の同期信号発生回路。
  23. 【請求項23】 前記位相比較器から出力される制御信
    号を、前記電圧比較回路に対し所定のタイミングで供給
    する制御回路をさらに具備したことを特徴とする請求項
    17ないし22のいずれか1項記載の同期信号発生回
    路。
  24. 【請求項24】 前記制御回路は、 前記外部クロックを分周する分周回路と、 上記分周回路の出力及び前記位相比較器から出力される
    制御信号とが入力され、出力が前記電圧比較回路に入力
    される論理回路とを含むことを特徴とする請求項23記
    載の同期信号発生回路。
  25. 【請求項25】 前記制御回路は、 内部クロック発生回路と、 上記内部クロック発生回路の出力及び前記位相比較器か
    ら出力される制御信号とが入力され、出力が前記電圧比
    較回路に入力される論理回路とを含むことを特徴とする
    請求項23記載の同期信号発生回路。
  26. 【請求項26】 前記内部回路が内部データを前記内部
    クロックに同期して出力するDRAMに内蔵されたDQ
    バッファ回路であり、 前記制御回路は、 DRAMのセルフリフレッシュ動作を制御するために使
    用されるリフレッシュ用クロックを発生するセルフリフ
    レッシュ用クロック発生回路と、 上記リフレッシュ用クロックと前記位相比較器から出力
    される制御信号とが入力され、出力が前記電圧比較回路
    に入力される論理回路とを含むことを特徴とする請求項
    23記載の同期信号発生回路。
  27. 【請求項27】 前記制御回路は、 前記入力バッファと前記位相比較器との間に設けられて
    前記入力バッフアの出力を分周して前記位相比較器に入
    力する第1の分周回路と、 前記電圧比較器と前記第3の遅延回路との間に設けられ
    て前記電圧比較器の出力を分周して前記第3の遅延回路
    に入力する第2の分周回路とを含むことを特徴とする請
    求項23記載の同期信号発生回路。
  28. 【請求項28】 前記制御回路は、電源投入後に1度の
    み前記制御信号を前記電圧比較回路に供給することを特
    徴とする請求項17ないし22のいずれか1項記載の同
    期信号発生回路。
  29. 【請求項29】 外部クロックが入力される入力バッフ
    ァ回路と、 上記入力バッファ回路の出力を第1の時間だけ遅延して
    出力する第1の遅延回路と、 上記第1の遅延回路及び上記入力バッファ回路の出力を
    受け、上記第1の遅延回路の出力レベルの遷移時に第1
    の遅延回路の出力の遅延を開始し、上記入力バッファ回
    路の出力レベルの遷移時に第1の遅延回路の出力の遅延
    を停止する第2の遅延回路と、 少なくとも上記入力バッファ回路の出力を受け、この入
    力バッファ回路の出力のレベルの遷移時に上記入力バッ
    ファ回路の出力の遅延を開始し、上記入力バッファ回路
    の出力を上記第2の遅延回路と実質的に同じ時間だけ遅
    延して出力する第3の遅延回路と、 上記第3の遅延回路の出力を遅延して内部クロックを出
    力する遅延時間が可変の第4の遅延回路と、 上記第4の遅延回路から出力される内部クロックに同期
    して動作が制御される内部回路と、 上記第4の遅延回路から出力される内部クロックを上記
    第1の時間と実質的に等しい時間だけ遅延して出力する
    第5の遅延回路と、 上記第5の遅延回路及び上記入力バッファ回路の出力を
    受け、両出力の位相を比較してその位相差に応じた制御
    信号を出力する位相比較器とを具備し、 上記第4の遅延回路における遅延時間が、上記位相比較
    器から出力される制御信号に基づいて調整されることを
    特徴とする同期信号発生回路。
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